JP2005295762A5 - - Google Patents

Claims (8)

1. 対象物を搭載した可動子が固定子上で移動可動なステージ装置において、
   前記可動子は該可動子の駆動力を発生するためのコイルと、
   該コイルを冷却するための冷却手段と、
   少なくとも一方向に高熱伝導率を有するシート状の熱伝導部材とを備え、
   前記熱伝導部材の一部が前記コイルに接触し、他の一部が前記コイルを囲み前記冷却手段が設けられる筐体、または前記冷却手段に接触することを特徴とするステージ装置。
2. 前記冷却手段は、前記筐体の壁面内部に設けられていることを特徴とする請求項１に記載のステージ装置。
3. 前記熱伝導部材が前記壁面と前記コイルに接触するように設けられることを特徴とする請求項２に記載のステージ装置。
4. 前記冷却手段は、内部に冷媒を循環させる複数の冷却管を有することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のステージ装置。
5. 前記冷却手段は、少なくとも２つの冷却系とを有し、各冷却系は独立に温調されることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のステージ装置。
6. 前記熱伝導部材は熱異方性材料を有することを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のステージ。
7. 請求項１〜６のいずれかに記載のステージ装置と、該ステージ装置に基板を供給する手段とを有し、前記ステージ装置を用いて前記基板を位置決めすることを特徴とする露光装置。
8. 請求項７に記載の露光装置を用いて回路パターンで基板を露光するステップと、該露光した基板を現像するステップとを有することを特徴とするデバイス製造方法。