JP2006149140A - 静電吸引駆動装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 粗送り駆動と微細送り駆動とを選択的に駆動することができるとともに、速度変動の幅を抑制して移動速度の平滑性を高めた静電吸引駆動装置を提供する。
【解決手段】 駆動信号をＳＴ１からＳＴ７の順番でＡ相ないしＨ相電極からなる８相の電極２３にそれぞれ与えると、電極３３ａ，３３ｂを有する可動子側がＰＯ１の状態からＰＯ１’の状態に向けて徐々にＹ１方向に移動させられる。このとき、可動子の平均速度ｖ１(ave)は図８ＢのΣＶ１に示す実線となるため、速度変動の幅を低く抑えることができ、移動速度の平滑性（等速性）を高めることができる。また駆動信号をＡ相ないし４相電極からなる４相の電極２３に所定の組み合わせて与えると、１ステップ当たりの移動距離が延びるため、粗送り駆動とすることが可能となる。
【選択図】図８

Description

本発明は、カメラや携帯電話機などにおいてレンズを前後方向に移動させる駆動装置に係わり、特に静電力（クーロン力）を用いた静電吸引駆動装置に関する。

従来の静電吸引駆動装置に関する先行技術文献としては、例えば以下の特許文献１などが存在している。図１５は、特許文献１に図１として示されている静電吸引駆動装置の概略構成を示す図、図１６は同じく図２として示されている電極に印加される駆動信号を示すタイミングチャートである。

この静電吸引駆動装置では、図１５に示すように第１の固定子２ａと第２の固定子２ｂとが所定の距離を隔てた状態で互いに対向配置され、その間にスライド移動する可動子３が配置されている。

前記第１の固定子２ａには所定方向に順次配列された３系統の電極Ａ，Ｂ，Ｃ（第１電極）が設けられ、前記第２の固定子２ｂには一様な１系統の電極Ｄが設けられている。また前記可動子３は、一方の表面に前記第１の固定子２ａの各電極Ａ，Ｂ，Ｃの電極ピッチに対応して設けられた電極部３ａと、他方の表面に前記第２の固定子２ｂに対向して設けられた平坦な電極部３ｄとを有しており、前記両電極部３ａおよび３ｄは同一電位に維持される１系統の電極Ｅ（第３電極）を形成している。

図１６に示すように、前記第１の固定子２ａに設けられる電極Ａに電圧を印加して、電極Ａの電位を可動子３に設けられる電極Ｅの電位よりも高くすると、電極Ａと電極Ｅとの間で作用する静電力（クーロン力）により、可動子３は第１の固定子２ａ側に吸引される。その際、電極Ａと電極部３ａがぴったり重なり合う状態がもっとも安定であるため、可動子３は電極Ａと電極部３ａとが重なり合うように電極Ａより作用力を受ける。続いて、電圧を印加する電極を第２の固定子２ｂに設けられる電極Ｄに切り換えると、可動子３は第２の固定子２ｂ側に吸引される。さらに、電圧を印加する電極を固定子２ａに設けられる電極Ｂに切り換えると、電極Ａに電圧を印加した際と同様なメカニズムにより、可動子３は電極Ｂと電極部３ａが重なり合う用に電極Ｂより作用力を受ける。このような一連の動作、即ち電圧を電圧源６からスイッチング回路５を介して電極Ａ→電極Ｄ→電極Ｂ→電極Ｄ→電極Ｃ→電極Ｄ→電極Ａ…と順次繰り返して印加する（第１の固定子２ａに設けられる電極Ａ〜Ｃと第２の固定子２ｂに設けられる電極Ｄとに交互に電圧を印加するとともに、第１の固定子２ａに設けられる電極を前記所定方向に順次切り換える）ことにより、可動子３は微視的には上下振動をしながら、巨視的には第１の固定子に配列された電極の配列方向（図中の右側）に駆動されるようになっている。
特開２００１−３４６３８５号公報

上記のような静電吸引駆動装置を、例えばカメラなどに搭載し、オートフォーカスのためのレンズを移動させるための駆動装置として用いる場合には、レンズを移動させるだけの推進力を得ること、およびその際の移動速度や応答速度などを高める必要がある。そして、そのためには大きな静電力（クーロン力）の発生させることにより、大きな推進力を得ることができるような静電吸引駆動装置とする必要がある。

ここで前記静電力は、一般に印加電圧の二乗および電極間の対向面積に比例するとともに、ギャップの隙間寸法の二乗に反比例するという性質を有する。したがって、これら各要素を最適な値に設定することにより大きな静電力を得ることが可能となる。

しかし、前記印加電圧を高めるにはカメラに搭載可能な電池や耐電圧などによる問題からの制約がある。またギャップの隙間寸法を狭めるにも加工精度の問題などからおのずと限界がある。

また上記従来の静電吸引駆動装置は、第１，第２の固定子２ａ，２ｂ側の各電極と可動子３側の電極とが平面的に対向する構成である。このため、前記電極間の対向面積を広くするには、前記第１の固定子２ａ、第２の固定子２ｂおよび可動子３に設けられた各電極の面積を平面的に大きくする必要があるが、それでは静電吸引駆動装置自体が大型化してしまう。しかも、前記可動子３の重量も増加してしまうため、かえって可動子３の移動速度や応答速度を低下させてしまうといった問題がある。

さらに上記のようなオートフォーカス用のレンズ駆動装置では、レンズを初期の待機位置から目標位置（焦点位置）まで移動させるのであるが、前記待機位置から移動させる際には移動速度を高めて移動に要する時間を短縮する粗送り駆動と、目標位置に接近したときには移動速度を落として前記目標位置に正確に停止させる微細送り駆動とを有する構成が好ましい。

しかし、上記従来の静電吸引駆動装置では移動速度を可変することができない構成であり、レンズの粗送り駆動と微細送り駆動とを選択することができなかった。このため、レンズを高い精度で目標位置に停止させることが困難であるといった問題もあった。また精度を高めようとする場合には、前記レンズを何度か往復移動させることなどが必要であり、フォーカシングに時間を要するという問題もあった。

さらには、移動速度を等速に維持することが困難という構造上の問題も有していた。
本発明は上記従来の課題を解決するためのものであり、小型化することができるとともに、大きな推進力を発生することができるようにした静電吸引駆動装置を提供することを目的としている。

また本発明は、粗送り駆動と微細送り駆動とを選択的に駆動することが可能な静電吸引駆動装置を提供することを目的としている。

さらに本発明は、等速移動における速度変動の幅を抑制して移動速度の平滑性（等速性）を高めた静電吸引駆動装置を提供することを目的としている。

本発明は、移動方向および幅方向に配列された複数の電極からなる固定子側電極群を有する固定子と、同じく移動方向および幅方向に配列されるとともに前記固定子側電極群を形成する個々の電極に対向する複数の電極からなる可動子側電極群を有するとともに移動自在に設けられた可動子と、前記可動子を前記移動方向に案内するガイド手段と、所定の相数からなる駆動信号を生成し且つ前記固定子側電極群と可動子側電極群との間に与える駆動信号供給手段と、を備えた静電吸引駆動装置であって、
前記固定子側電極群と可動子側電極群のうち、一方の電極群は、電極と隙間とが前記移動方向に沿って互いに等しい長さ寸法（Ｌ１）で交互に配列され、
他方の電極群は、第１組を形成する電極と隙間および第２組を形成する電極と隙間とを有するとともに、前記第１組と第２組とが移動方向に沿って交互に配列されており、
前記第１組の移動方向の長さ寸法（ａ１＋ｂ１）と前記第２組の移動方向の長さ寸法（ａ２＋ｂ２）とが、互いに等しい長さ寸法（Ｔ）で形成されていることを特徴とするものである。

この場合、前記第１組と前記第２組との間では、電極同士の長さ寸法および隙間同士の長さ寸法が互いに等しく（ａ１＝ａ２，ｂ１＝ｂ２）、且つ前記電極と隙間とは異なる長さ寸法（ａ１＝ａ２≠ｂ１＝ｂ２）で形成されているものが好ましい。

また本発明は、複数の電極からなる固定子側電極群を備えた固定子と、前記固定子側電極を形成する個々の電極に対し前記移動方向と直交する幅方向の両面で対向する可動子側電極群を備えるとともに前記移動方向に移動可能な可動子と、前記可動子を前記移動方向に案内するガイド手段と、所定の相極数からなる駆動信号を生成し且つ前記固定子側電極群と可動子側電極群との間に与える駆動信号供給手段と、を備えた静電吸引駆動装置であって、
前記固定子側電極群と可動子側電極群のうち、一方の電極群は、電極と隙間とが前記移動方向に沿って互いに等しい長さ寸法で交互に配列され、
他方の電極群は、第１組を形成する電極と隙間および第２組を形成する電極と隙間とを有するとともに、前記第１組と第２組とが移動方向に沿って交互に配列されており、
前記第１組の移動方向の長さ寸法（ａ１＋ｂ１＝Ｔ１）と前記第２組の移動方向の長さ寸法（ａ２＋ｂ２＝Ｔ２）とが、互いに異なる長さ寸法（Ｔ１≠Ｔ２）で形成されていることを特徴とするものである。

この場合には、前記第１組の移動方向の長さ寸法（ａ１＋ｂ１＝Ｔ１）に前記第２組の移動方向の長さ寸法（ａ２＋ｂ２＝Ｔ２）を加えた区間を１ピッチ（Ｔ１＋Ｔ２）としたときに、前記他方の電極群では前記１ピッチが移動方向に繰り返されることにより、前記電極と隙間とが形成されているものが好ましい。

さらには、前記一方の電極群に形成された電極の長さ寸法（Ｌ１）と、前記他方の電極群に形成された電極の長さ寸法（ａ１，ａ２）とが、異なる長さ寸法で形成されているものが好ましい。

本発明の静電吸引駆動装置は、電極の配置がいわゆる等ピッチ電極配線の駆動方式として構成することもできるし、あるいはいわゆる不等ピッチ電極配線の駆動方式とすることもできる。

また前記他方の電極群に設けられた前記第１組の移動方向の長さ寸法（ａ１＋ｂ１＝Ｔ１）に前記第２組の移動方向の長さ寸法（ａ２＋ｂ２＝Ｔ２）を加えた区間を１ピッチとしたときに、前記一方の電極群は前記１ピッチに相当する区間内にｎヶ（ただし、ｎは０以外の偶数）の電極を有しており、且つ前記駆動信号供給手段の相数がｎ又はｎ／２とすることができる。

例えばｎ＝８とすると、相数が８相の場合には微細な送り駆動とすることができ、相数が４相（ｎ／２）の場合には粗い送り駆動とすることが可能となる。

前記駆動信号一回当たりの前記可動子の移動量が、前記一方の電極群に形成された電極の長さ寸法（Ｌ１）の整数倍である。

上記においては、前記一方の電極群が可動子側電極群であり、前記他方の電極群が固定子側電極群であるとすることができる。

本発明の静電吸引駆動装置では、小型でありながら大きな推進力を得ることができる。
また可動子に対する粗送り駆動と微細送り駆動とを有し、駆動方式を必要に応じて選択できるようにした静電吸引駆動装置を提供することができる。

また本発明では、可動子の送り速度を一定とすること、すなわち速度変動の幅を低く抑えることにより、等速性（移動速度の平滑性）を高めることができる。

図１は本発明の静電吸引駆動装置を示す分解斜視図、図２は固定子と可動子とが対向した状態を示しており、図１のＩＩ−ＩＩ線における断面図である。図３は固定子の構造を部分的に示す平面図、図４は本発明の第１の実施の形態として静電吸引駆動装置の固定子側の電極と可動子側の電極との関係を示す平面図である。なお、以下においては図示Ｙ１方向が移動方向、Ｘ方向が幅方向、Ｚ方向が高さ方向である。

図１に示すように、本発明の静電吸引駆動装置１０は、高さ方向の図示Ｚ２側に設けられた固定子２０と、図示Ｚ１側に設けられた可動子３０とを有している。

前記固定子２０は、移動方向であるＹ方向に延設された平板状の部材であり、例えばシリコンなどの絶縁性の材料で形成されている。前記固定子２０の図示Ｚ１方向を向く対向面（固定子側対向面）２０ａの幅方向（Ｘ方向）の両端部には、移動方向（Ｙ方向）に沿って互いに平行に延びる一対のＶ字形状の案内溝２１，２１が設けられている。前記案内溝２１，２１の表面は摩擦抵抗の小さな平滑面で形成されている。

一方、前記可動子３０の移動（Ｙ）方向の長さ寸法は、前記固定子２０よりも短い寸法で形成されている。前記可動子３０は導電材料で形成され、その下面には図示Ｚ２方向を向く対向面（可動子側対向面）３０ａが形成されている。あるいは可動子３０をシリコンなどの絶縁材料で形成し、その一方（Ｚ２側）の面に導電性の平板など取り付けて対向面（可動子側対向面）３０ａとしたものであってもよい。

可動子３０の前記対向面３０ａ側の幅方向（Ｘ方向）の両端部には、図示Ｚ２方向に凸状に突出するとともに移動方向（Ｙ方向）に沿って互いに平行に延びる一対の案内凸部３１，３１が設けられている。案内凸部３１，３１の先端には、前記Ｖ字形状の案内溝２１，２１に対向する台形状の一対の対向部３１ａ，３１ａが形成されている。なお、前記対向部３１ａ，３１ａの表面も摩擦抵抗の小さな平滑面で形成されている。

図２に示すように、前記固定子２０の対向面２０ａと可動子３０の対向面３０ａを対向させると、前記案内凸部３１，３１の対向部３１ａ，３１ａが前記案内溝２１，２１に嵌合的に挿入され、前記静電吸引駆動装置１０が組み付けられる。この状態において前記可動子３０に移動方向の力を与えると、前記可動子３０をＹ方向（移動方向）に直線的に移動させることが可能とされている。すなわち、この実施の形態における前記案内溝２１，２１と前記案内凸部３１，３１とは、前記可動子３０を移動方向に案内するガイド手段として機能している。

図１に示すように、前記固定子２０の前記対向面２０ａ上には複数の平板状の電極２３からなる固定子側電極群が設けられている。

個々の電極２３は、例えば銅などの導電性金属をＺ方向に垂直にメッキ成長させることにより形成されている。前記電極２３の向きは、幅広の電極面が前記移動（Ｙ）方向に対して平行となるように、すなわち前記電極面が幅方向に対し垂直となるように形成されている。そして、このような複数の電極２３が、前記移動方向および幅方向に沿って前記対向面２０ａ上に等間隔で規則正しく整列されている。

図３に示す実施の形態では、Ｘ方向（幅方向）に６列形成された電極２３が、Ｙ方向（移動方向）に所定の間隔を開けてｎ行形成されている。すなわち、ｎ行６列からなる固定子側電極群が形成されている。なお、前記固定子側電極群の並びは、前記のようなｎ行６列に限られるものではなく、これよりも多い配列でもよいし、少ない配列でもよい。

また前記固定子２０の対向面２０ａ、即ち前記電極２３の基部には図示Ｘ方向に延びる複数の導電部２４がＹ方向にｎ行形成されており、各導電部２４は一行ごとに６ヶ（６列）の電極２３がすべて同じ電位となるように導通接続されている。ただし、移動方向（Ｙ）方向に隣り合う導電部２４と導電部２４との間は電気的に絶縁された状態にある。そして、前記各導電部２４ごとに固定子２０の外部に引き出されており、外部に設けられた図示しない駆動信号供給手段から各導電部２４ごとに所定の駆動信号が与えられるようになっている。

なお、図３および図４に示す第１の実施の形態では、各導電部２４ごと、すなわちＹ方向に並ぶ各行ごとにそれぞれＡ相電極、Ｂ相電極、Ｃ相電極、Ｄ相電極、Ｅ相電極、Ｆ相電極およびＧ相電極の７相からなる電極に駆動信号が与えられる７相駆動方式の静電吸引駆動装置１０Ａである。

一方、図１に示すように、前記可動子３０側の対向面（可動子電極面）３０ａ上にも複数の平板状の電極３３からなる可動子側電極群が形成されている。前記電極３３は、上記固定子２０の場合同様に、銅などの導電性金属をＺ方向に垂直にメッキ成長させることにより形成されており、幅広の電極面を移動（Ｙ）方向に平行とした状態で、前記移動方向および幅方向に沿って所定の間隔で規則正しく整列されている。なお、図１に示す本実施の形態では、電極３３が可動子３０の対向面３０ａ上に７行５列で形成されている。

そして、図２および図４に示すように、幅方向に隣り合う固定子２０側の電極２３と電極２３との間に前記可動子３０側の電極３３が挿入すると、前記固定子２０側の電極２３の電極面と前記可動子３０側の電極３３の電極面とが互いに幅（Ｘ）方向を向いて対向するように配置される。

図４に示す第１の実施の形態では、前記固定子２０側の電極２３の幅方向の電極間隔Ｗ１は前記可動子３０側の電極３３の幅方向の厚さ寸法ｔ１よりも広く形成され、同様に前記可動子３０側の電極３３の幅方向の電極間隔Ｗ２は前記固定子２０側の電極２３の幅方向の厚さ寸法ｔ２よりも広く形成されている。

また第１の実施の形態に示す前記固定子２０側では、前記電極２３の移動方向の長さ寸法と、前記電極２３と電極２３との間に形成される隙間３４の移動方向の長さ寸法とが共に等しい長さ寸法Ｌ１で形成されている。

一方、前記可動子３０側では第１組を形成する電極３３と隙間３４、および第２組を形成する電極３３と隙間３４とが設けられている。前記第１組の移動方向の長さ寸法は電極３３がａ１および隙間３４がｂ１に設定されており、前記第２組の移動方向の長さ寸法は電極３３がａ２および隙間３４がｂ２に設定されている。よって、電極３３に隙間３４を加えた前記第１組の移動方向の全長Ｔ１はＴ１＝ａ１＋ｂ１であり、同じく前記第２組の移動方向の全長Ｔ２はＴ２＝ａ２＋ｂ２である。

そして、前記第１組の移動方向の全長Ｔ１に前記第２組の移動方向の全長Ｔ２を加えた長さ寸法Ｔ（＝Ｔ１＋Ｔ２）が、この実施の形態における１ピッチ（１周期分のピッチ）とされており、この１ピッチ内に前記Ａ相電極ないしＧ相電極からなる７相の電極が配置されている。

また第１の実施の形態では、前記第１組の移動方向の全長Ｔ１と前記第２組の移動方向の全長Ｔ２とは同じ長さ寸法で形成されている（Ｔ１＝Ｔ２）。また前記第１組の電極３３の長さ寸法ａ１と第２組の電極３３の長さ寸法ａ２とは互いに等しい長さ寸法で形成されており（ａ１＝ａ２）、且つ前記第１組の隙間３４の長さ寸法ｂ１と第２組の隙間３４の長さ寸法ｂ２とは互いに等しい長さ寸法で形成されており（ｂ１＝ｂ２）。ただし、第１組と第２組のいずれにおいても、前記電極３３と隙間３４とは異なる長さ寸法で形成されている（ａ１（＝ａ２）≠ｂ１（＝ｂ２））。

なお、上記のように前記第１組の全長Ｔ１と前記第２組の全長Ｔ２とが同じ長さ寸法に形成されている場合、すなわち移動方向に隣り合う組どうしの全長が互いに等しい長さ寸法に形成されている場合を等ピッチ電極配置の駆動方式と称する。

よって、上記図４に第１の実施の形態として示される静電吸引駆動装置１０Ａは、等ピッチ７相駆動方式の静電吸引駆動装置である。

さらに、図２に示すように前記固定子２０側の電極２３および可動子３０側の電極３３のＺ方向の高さ寸法は、前記固定子２０と可動子３０とが組み付けられた状態において、前記電極２３および電極３３の先端が、前記対向面２０ａおよび対向面３０ａの表面に当接しない程度に設定されている。

図２および図４に示す状態では、固定子２０側の電極２３の電極面と可動子３０側の電極３３の電極面とが互いに平行な状態で対向配置されている。このため、前記電極２３と電極３３との間に電位差を与えると、前記電極２３の電極面と電極３３の電極面とが対向し合うそれぞれの部分にコンデンサが形成される。

そして、本実施の形態に示す静電吸引駆動装置では、固定子２０側の複数の電極２３と可動子３０側の複数の電極３３とを三次元的に対向配置させることにより、コンデンサを形成する電極（電極２３と電極３３）間の対向面積を従来以上に拡大することができる。よって、後述するように前記電極間に大きな静電吸引力を発生させることができ、可動子３０を大きな推進力で駆動することが可能となっている。

図５は、第１の実施の形態の静電吸引駆動装置に与えられる駆動信号の一例を示すタイミングチャート図、図６は第１の実施の形態の静電吸引駆動装置における可動子の動作を図５の各ステップごとに示す平面図、図７は静電吸引駆動装置の一般的な基本的動作の説明するものであり、Ａは可動子のステップごとの動作を示す平面図、Ｂはステップに対する可動子の中心速度の変化を示す図、Ｃは各ステップごとの駆動信号を示すタイミングチャートである。また図８は第１の実施の形態に示される静電吸引駆動装置１０Ａの基本的動作の説明するためのものであり、Ａは可動子のステップごとの動作を示す平面図、Ｂはステップに対する可動子の中心速度の変化を示す図である。なお、図６、図７Ａ，図８Ａでは可動子３０側を幅方向（Ｘ方向）の両側から挟むように対向配置される固定子２０の一方を省略して示している。また可動子側電極群を構成するすべての電極３３は電気的に接続されているが、説明の都合上図示Ｙ２側から可動子３０側の電極３３ａ，電極３３ｂとして説明する。また各ステップの順番は、ＳＴ１のようにＳＴの後に番号を付して説明する。なお、Ａ相電極ないしＧ相電極を形成する固定子２０側の電極２３を符号ＡないしＧで示している。

前記固定子２０側の電極２３で形成されるＡ相電極ないしＧ相電極の７相の電極には、図示しない駆動信号供給手段から図５に示すような所定の駆動信号が与えられる。すなわち、ＳＴ１ではＢ相電極、Ｅ相電極及びＦ相電極に電圧が印加され、ＳＴ２ではＢ相電極、Ｃ相電極及びＦ相電極に電圧が印加され、ＳＴ３ではＣ相電極、Ｆ相電極及びＧ相電極に電圧が印加され、ＳＴ４ではＣ相電極、Ｄ相電極及びＧ相電極に電圧が印加され、ＳＴ５ではＡ相電極、Ｄ相電極及びＧ相電極に電圧が印加され、ＳＴ６ではＡ相電極、Ｄ相電極及びＥ相電極に電圧が印加され、ＳＴ７ではＡ相電極、Ｂ相電極及びＥ相電極に電圧が印加される。そして、これらの各ステップＳＴは、ＳＴ１→ＳＴ２→ＳＴ３→ＳＴ４→ＳＴ５→ＳＴ６→ＳＴ７→ＳＴ１→ＳＴ２・・・の順番で繰り返される（Ｙ１方向に移動する場合）。

前記静電吸引駆動装置１０Ａが、例えば図４および図６のＰＯ１に示すような初期状態、すなわち可動子３０側の一方の電極３３ａの側面と、Ｇ相電極のＹ１側の右半面、Ａ相電極の全面およびＢ相電極のＹ２側の左半面とが対向し、且つ可動子３０側の他方の電極３３ｂの側面と、Ｄ相電極およびＦ相電極の全面とが対向する状態にあったとする。

この初期状態ＰＯ１において、上記ＳＴ１に示す駆動信号を前記Ａ相電極ないしＧ相電極に与えると、可動子３０側の電極３３ａとＢ相電極との間に静電吸引力（クーロン力）が作用し、且つ可動子３０側の他方の電極３３ｂとＥ相電極およびＦ相電極との間にも静電吸引力（クーロン力）が作用するため、前記静電吸引力により可動子３０が全体的にＹ１方向に移動距離Ｌ１だけ移動させられる。このとき可動子３０は最も安定する状態、すなわち前記可動子３０側の電極３３ａの側面と、固定子側２０のＡ相電極およびＢ相電極の全面とが対向し、且つ可動子３０側の他方の電極３３ｂの側面と、固定子２０側のＤ相電極のＹ１側の右半面、Ｅ相電極の全面およびＦ相電極のＹ２側の左半面とが対向するＰＯ２の状態に設定させられる。

同様に、前記ＰＯ２の状態の静電吸引駆動装置１０Ａに対し、図示しない駆動信号供給手段から上記ＳＴ２に示す駆動信号を与えると、さらに可動子３０の電極３３ａ，３３ｂはＹ１方向に移動距離Ｌ１だけ移動させられたＰＯ３に示す状態に設定され、さらにＳＴ３→ＳＴ４→ＳＴ５→ＳＴ６と駆動信号を続けて与えると、前記可動子３０は駆動信号一回当たりＹ１方向に移動距離Ｌ１（固定子側の電極２３の長さ寸法と同寸法）単位で移動させられ、それぞれＰＯ４→ＰＯ５→ＰＯ６→ＰＯ７で示す各状態に設定させられる。そして、前記ＰＯ７の状態の静電吸引駆動装置１０Ａに対し、上記ＳＴ７に示す駆動信号を与えると、可動子３０の電極３３ａ，３３ｂを前記初期状態ＰＯ１と同じ状態であるＰＯ１’の状態に設定することができる。

以上のように、図５に示すＳＴ１からＳＴ７に従う駆動信号を、固定子２０側の電極２３により構成されたＡ相電極ないしＧ相電極の７つの電極相に順次与えることにより、可動子３０を前記１ピッチに相当する長さ寸法Ｔ（＝Ｔ１＋Ｔ２）だけＹ１方向に移動させることができる。そして、前記ＳＴ１からＳＴ７までの一連の動作を順次繰り返すことにより、可動子３０を進行方向（Ｙ１方向）に順次移動させることが可能となる。

また同様の原理から、例えばＳＴ７→ＳＴ６→ＳＴ５→ＳＴ４→ＳＴ３→ＳＴ２→ＳＴ１→ＳＴ７→ＳＴ６・・・というように、前記一連の動作を前記とは逆の順番で行うことにより、前記可動子３０を進行方向（Ｙ１方向）とは逆方向（Ｙ２方向）に順次移動させることができる。

上記においては、図５に示すように、各ステップにおいて電圧を印加するごとに可動子３０側を除電すること、すなわち各ステップとステップとの間に可動子３０側を除電することが好ましい。すなわち、固定子２０側の電極２３にＨレベルの電圧を与えると、固定子２０側の電極２３に正電荷が発生するため、可動子３０側の電極３３に負電荷が誘導されることにより、前記固定子２０側の電極２３と可動子３０側の電極３３との間にコンデンサが形成されるが、固定子２０側の電極２３をＬレベルとしただけでは、可動子３０側の電極３３は前記負電荷が蓄積された帯電状態が維持されてしまう。このため、可動子３０側を除電しない場合には、可動子３０の動きが鈍くなり、移動速度や応答速度が低下しやすいという弊害が生じうる。

この問題を解決するには、可動子３０を各ステップごとにグランド電位に接地することにより、帯電する電荷をグランド側（接地電位）に放出されるようにすればよい。ただし、常に可動子３０を接地した状態にしておくと、可動子側電極３３に必要な負電荷が誘導され難くなり、前記静電吸引力の低下を招くおそれがある。

そこで、図５に示すような除電信号を用いて、各ステップにおいては駆動信号の電圧がＨレベルからＬレベルに切り換わったタイミングで可動子３０を除電することが好ましい。なお、前記除電の方法としては、トランジスタなどのスイッチング素子を用いて行うことができる。また可動子３０に帯電している電荷は所定の大きさの抵抗を介してグランド側（接地電位）に逃がしてやればよい。なお、前記抵抗値は、前記コンデンサの容量と抵抗値の積からなる時定数ＲＣと前記Ｌレベルの時間との関係から決定されるが、Ｌレベルの時間内に前記帯電している電荷が十分に放出させることが可能な値とすることが好ましい。

ここで図７を参照しつつ静電吸引駆動装置１０の一般的な基本動作を説明する。
例えばＰＯ１の状態として、図７Ａに示すように、一つの可動子３０側の電極３３に対し、２つの固定子２０側の電極２３としてＢ相電極とＣ相電極が対向しており、このＰＯ１の状態から図７Ｃに示すようにＳＴ−ａとしてＣ相電極とその下流側（Ｙ１側）に位置するＤ相電極に駆動信号を印加すると、前記可動子３０側の電極３３は、静電吸引力に引き付けられ、ＰＯ２の状態、すなわち前記駆動信号が印加された２つの固定子２０側のＣ相電極とＤ相電極と対向する位置まで移動させることができる。

同様に、ＰＯ２の状態において、ＳＴ−ｂとしてＤ相電極とＥ相電極に駆動信号を印加すると、前記可動子３０側の電極３３は、ＰＯ３の状態、すなわち前記駆動信号が印加された２つの固定子２０側のＤ相電極とＥ相電極と対向する位置まで移動させることができる。

このとき、図７Ｂに示すように可動子３０側の電極３３の中心速度をｖ_Gとすると、ＰＯ１の状態からＰＯ２の状態に至る間およびＰＯ２の状態からＰＯ３の状態に至る間では前記中心速度ｖ_Gは２次関数的な挙動を示す。このため、上記のように、単に駆動信号を与える電極２３を２づつ順番に変更するだけの一般的な駆動方式では可動子３０の速度変動の幅が大きくなり移動速度を一定に維持することが難しい。

すなわち、可動子３０側の電極３３が位置Ｐ１から位置Ｐ２に至る間、および位置Ｐ３から位置Ｐ４に至る間では中心速度ｖ_Gは増加する（加速度が正）が、位置Ｐ２から位置Ｐ３に至る間、および位置Ｐ４から位置Ｐ５に至る間では中心速度ｖ_Gは減少（加速度が負）する。しかも、位置Ｐ３，Ｐ５では中心速度ｖ_Gが共に０となるため、いわゆるデットポイントＰｄが発生し、移動中の前記可動子３０には急激な発進と停止を繰り返すノッキング現象が生じる。

しかし、図８Ａ，Ｂに示すように、上記第１の実施の形態に示す静電吸引駆動装置１０Ａの駆動方式では、まずＰＯ１の状態からＳＴ１においてＢ相電極、Ｅ相電極およびＦ相電極に駆動信号を与えると、Ｂ相電極のみに吸引される一方の電極３３ａにはＳＴ１の段の左欄に示すような中心速度ｖ１ａが発生し、Ｅ相電極およびＦ相電極に吸引される他方の電極３３ｂには右欄に示すような中心速度ｖ１ｂを発生する。前記中心速度ｖ１ａとｖ１ｂとは、それぞれ別個独立に駆動信号を与えた場合に、一方の電極３３ａと他方の電極３３ｂにそれぞれ発生する速度を示している。よって、ＳＴ１において可動子３０全体に発生する中心速度ｖ１は、一方の電極３３ａと他方の電極３３ｂに発生する中心速度ｖ１ａ，ｖ１ｂを重ね合わせたｖ１＝ｖ１ａ＋ｖ１ｂとすることができる。なお、中心速度ｖ１ｂは２つの電極の静電吸引力で引かれ、中心速度ｖ１ａは１つの電極の静電吸引力で引かれるため、中心速度の大きさ（振幅量）の関係はｖ１ａ＜ｖ１ｂである。

同様に、ＰＯ２の状態においてＳＴ２として、Ｂ相電極、Ｃ相電極およびＦ相電極に駆動信号を与えると、Ｂ相電極およびＣ相電極に吸引される一方の電極３３ａにはＳＴ２の段の左欄に示すような中心速度ｖ２ａが発生し、Ｆ相電極に吸引される他方の電極３３ｂには右欄に示すような中心速度ｖ２ｂが発生するため、ＳＴ２（換算後の位置Ｐ２と位置Ｐ４との間）において可動子３０全体に発生する中心速度ｖ２はｖ２＝ｖ２ａ＋ｖ２ｂとなる。

以下同様に、ＳＴ３〜ＳＴ７で発生する中心速度をそれぞれｖ３，ｖ４，ｖ５，ｖ６およびｖ７とし、これらを各ステップごとに換算して図示すると、可動子３０全体の移動速度は図８Ｂの最下段に示すΣＶ１となる。

なお、換算の方法は、例えば前記中心速度ｖ１ａは位置Ｐ１と位置Ｐ３との間で発生し、前記中心速度ｖ１ｂは位置Ｐ１’と位置Ｐ３’との間で発生するものであるが、これらは中心速度ｖ１（＝ｖ１ａ＋ｖ１ｂ）として可動子３０全体に発生するので、このときの中心速度ｖ１は前記位置Ｐ１と位置Ｐ３に発生するものとして換算する。以下同様に、中心速度ｖ２は位置Ｐ２と位置Ｐ４の間、中心速度ｖ３は位置Ｐ３と位置Ｐ５の間・・・のように換算する。

そして、前記図８Ｂの最下段のΣＶ１に示すように、各中心速度ｖ１〜ｖ７は部分的に重なように表され、可動子３０全体の平均速度は実線で示すｖ１(ave)となるため、平均速度ｖ１(ave)を平滑化することができる。しかも、デットポイントＰｄを無くすことができるため、移動中の可動子３０に対するノッキング現象を発生させることない。すなわち、先のステップで発生した中心速度が０となる前に、次のステップにおいて新たな中心速度を発生させることができ、つまり先のステップで発生した静電吸引力が最大となって可動子３０を停止させる力と化する前に、次のステップにおいて新たに発生した静電吸引力が可動子３０を移動方向に引っ張ることができるため、可動子３０をスムーズに移動させることができる。

また各中心速度ｖ１〜ｖ７は、一方の電極３３ａの発生した中心速度と、他方の電極３３ｂに発生した中心速度とを加算したものとなるため、その大きさ（振幅量）を大きくすることができる。すなわち、可動子３０を吸引する力は、一方の電極３３ａと固定子２０側の電極２３に発生する静電吸引力と、他方の電極３３ｂの固定子２０側の電極２３に発生する静電吸引力の合力となるため、より大きな静電吸引力で、可動子３０を移動方向に引っ張ることができる。

図９は本発明の第２の実施の形態に示す静電吸引駆動装置の固定子側の電極と可動子側の電極と関係を示す平面図、図１０は第２の実施の形態の静電吸引駆動装置に与えられる駆動信号の一例を示すタイミングチャート図、図１１は第２の実施の形態に示される静電吸引駆動装置１０Ｂの基本的動作の説明するためのものであり、Ａは可動子のステップごとの動作を示す平面図、Ｂはステップに対する可動子の中心速度の変化を示す図である。

第２の実施の形態に示す静電吸引駆動装置１０Ｂは、上記第１の実施の形態に示す静電吸引駆動装置１０Ａとほぼ同じ構成である。したがって、以下には主として静電吸引駆動装置１０Ｂが、静電吸引駆動装置１０Ａに比較して異なる点について説明する。

図９に示すように、第２の実施の形態に示す静電吸引駆動装置１０Ｂは、固定子２０側の電極２３が移動距離Ｌ１の長さ寸法と隙間寸法で形成されている点は上記第１の実施の形態同様であるが、固定子２０側がＡ相からＨ相までの８相の駆動電極で形成された８相駆動方式である点で相違している。

またこの静電吸引駆動装置１０Ｂでは、可動子３０側の電極３３のうち、第１組の電極３３ａの長さ寸法ａ１と第２組を形成する電極３３ｂの長さ寸法ａ２とは互いに等しい長さ寸法で形成されている（ａ１＝ａ２）が、前記第１組を形成する隙間３４ａの長さ寸法ｂ１と第２組を形成する隙間３４ｂの長さ寸法ｂ２とは異なっており（ｂ１≠ｂ２）、第２組を形成する隙間３４ｂの方が第１組を形成する隙間３４ａよりも長めに形成されている（ｂ１＜ｂ２）点での相違している。なお、第２の実施の形態では、前記第１組を形成する隙間３４ａの長さ寸法ｂ１との寸法差｜ｂ１−ｂ２｜は、｜ｂ１−ｂ２｜＝２・Ｌ１に設定されている。

このため、前記第１組の全長Ｔ１（＝ａ１＋ｂ１）と前記第２組の全長Ｔ２
（＝ａ２＋ｂ２）との関係もＴ１＜Ｔ２に設定されており、このように前記第１組の全長Ｔ１と前記第２組の全長Ｔ２とが異なる長さ寸法で形成されている場合、つまり移動方向に隣り合う組どうしの全長が互いに異なる長さ寸法に形成されている場合を不等ピッチ電極配置の駆動方式と称する。すなわち、上記図９に第２の実施の形態として示される静電吸引駆動装置１０Ｂは、不等ピッチ８相駆動方式の静電吸引駆動装置である。

この静電吸引駆動装置１０Ｂの前記固定子２０側の電極２３で形成されるＡ相電極ないしＨ相電極の８相の電極には、図１０に示すような所定の駆動信号が与えられる。すなわち、可動子３０がＹ１方向に移動する場合には、ＳＴ１ではＢ相電極、Ｅ相電極及びＦ相電極に電圧が印加され、ＳＴ２ではＢ相電極、Ｃ相電極及びＦ相電極に電圧が印加され、ＳＴ３ではＣ相電極、Ｆ相電極及びＧ相電極に電圧が印加され、ＳＴ４ではＣ相電極、Ｄ相電極及びＧ相電極に電圧が印加され、ＳＴ５ではＤ相電極、Ｇ相電極及びＨ相電極に電圧が印加され、ＳＴ６ではＤ相電極、Ｅ相電極及びＨ相電極に電圧が印加され、ＳＴ７ではＡ相電極、Ｅ相電極及びＨ相電極に電圧が印加され、ＳＴ８ではＡ相電極、Ｅ相電極及びＦ相電極に電圧が印加される。そして、これらの各ステップＳＴを、ＳＴ１→ＳＴ２→ＳＴ３→ＳＴ４→ＳＴ５→ＳＴ６→ＳＴ７→ＳＴ８→ＳＴ１→ＳＴ２・・・の順番で繰り返すと、図１１Ａに示すように可動子３０をＰＯ１→ＰＯ２→ＰＯ３→ＰＯ４→ＰＯ５→ＰＯ６→ＰＯ７→・・・のようにＹ１方向に順送り（移動）させることができる。

このとき、図１１Ｂに示すように、ＳＴ１ではＢ相電極により静電吸引力される一方の電極３３ａにはＳＴ１の段の左欄に示すような中心速度ｖ１ａが発生し、Ｅ相電極およびＦ相電極に吸引される他方の電極３３ｂには右欄に示すような中心速度ｖ１ｂが発生する。よって、ＳＴ１において可動子３０全体に発生する中心速度ｖ１は、ｖ１＝ｖ１ａ＋ｖ１ｂとなる。前記中心速度ｖ１を前記位置Ｐ１と位置Ｐ３との間に発生する中心速度ｖ１として換算して示すと、図１１Ｂ最下段のΣＶ２の欄に点線で示すようなｖ１となる。

同様に、ＰＯ２の状態においてＳＴ２として、Ｂ相電極、Ｃ相電極およびＦ相電極に駆動信号を与えると、Ｂ相電極およびＣ相電極に吸引される一方の電極３３ａには図１１ＢのＳＴ２の段に示すような中心速度ｖ２ａが発生し、Ｆ相電極に吸引される他方の電極３３ｂには中心速度ｖ２ｂが発生する。よって、ＳＴ２（換算後の位置Ｐ２と位置Ｐ４との間）において可動子３０全体に発生する中心速度ｖ２（＝ｖ２ａ＋ｖ２ｂ）は、図１１Ｂ最下段のΣＶ２の欄に中心速度ｖ１に続いて示されるようなｖ２となる。

以下同様に、ＳＴ３〜ＳＴ８で発生する中心速度をそれぞれｖ３，ｖ４，ｖ５，ｖ６，ｖ７およびｖ８とすると、可動子３０全体に発生する中心速度は各ステップごとに図１１Ｂの最下段のΣＶ２に示すものとして表わすことができる。そして、上記第１の実施の形態同様に、各中心速度ｖ１〜ｖ８は部分的に重なるため、可動子３０全体の平均速度ｖ２(ave)を前記ΣＶ２の実線で示すように平滑化することができる。しかも、この場合にもデットポイントＰｄが形成されず、よって移動中の可動子３０に対するノッキング現象の発生を防止することが可能である。

図１２は本発明の第３の実施の形態に示す静電吸引駆動装置の固定子側の電極と可動子側の電極と関係を示す平面図、図１３は第３の実施の形態の静電吸引駆動装置１０Ｃに与えられる駆動信号の一例を示すタイミングチャート図、図１４は第３の実施の形態に示される静電吸引駆動装置１０Ｃの基本的動作の説明するためのものであり、Ａは可動子のステップごとの動作を示す平面図、Ｂはステップに対する可動子の中心速度の変化を示す図である。

第３の実施の形態に示す静電吸引駆動装置１０Ｃは、上記第１及び第２の実施の形態に示す静電吸引駆動装置１０Ａ，１０Ｂとほぼ同じ構成である。したがって、以下には主として静電吸引駆動装置１０Ｃが、静電吸引駆動装置１０Ａ，１０Ｂに比較して異なる点について説明する。

まず、この静電吸引駆動装置１０Ｃの可動子３０側の電極３３の構成は、上記第２の実施の形態に示す静電吸引駆動装置１０Ｂと同様であり、いわゆる不等ピッチ電極配置の駆動方式である。

一方、固定子２０側の電極２３の構成は、図１２に示すように前記電極２３の長さ寸法と隙間寸法が前記移動距離Ｌ１で形成されている点は上記第１および第２の実施の形態同様であるが、固定子２０側がＡ相、Ｂ相、Ｃ相およびＤ相電極の４相で形成された４相駆動方式である点で相違している。

すなわち、上記図１２に第３の実施の形態として示される静電吸引駆動装置１０Ｃは、不等ピッチ４相駆動方式である。

第３の実施の形態に示す静電吸引駆動装置１０Ｃの固定子２０側の電極２３、すなわちＡ相電極ないしＤ相電極からなる４相の電極には、図１３に示すような所定の駆動信号が与えられる。

すなわち、可動子３０がＹ１方向に移動する場合には、ＳＴ１ではＡ相電極及びＢ相電極に電圧が印加され、ＳＴ２ではＢ相電極及びＣ相電極に電圧が印加され、ＳＴ３ではＣ相電極及びＤ相電極に電圧が印加され、ＳＴ４ではＤ相電極及びＡ相電極に電圧が印加される。そして、これらの各ステップＳＴを、ＳＴ１→ＳＴ２→ＳＴ３→ＳＴ４→ＳＴ１→ＳＴ２・・・の順番で繰り返すと、図１４Ａに示すように、可動子３０をＰＯ１→ＰＯ２→ＰＯ３→ＰＯ４→・・・のようにＹ１方向に順送り（移動）させることができる。

このとき、図１４Ｂに示すように、ＳＴ１では、位置Ｐ２に設けられたＢ相電極と位置Ｐ４に設けられたＣ相電極とによって一方の電極３３ａにＳＴ１の段の左欄に示すのような中心速度ｖ１ａが発生する。同時に、位置Ｐ２’に設けられたＡ相電極と位置Ｐ４’に設けられたＢ相電極とによって他方の電極３３ｂにはＳＴ１の段の右欄に示すような中心速度ｖ１ｂが発生する。よって、ＳＴ１において可動子３０全体に発生する中心速度ｖ１は、上記同様にｖ１＝ｖ１ａ＋ｖ１ｂとなる。そして、これを前記位置Ｐ１ないし位置４間に発生する中心速度ｖ１として換算して示すと、図１１Ｂの最下段のΣＶ３に点線で示すようなｖ１となる。

同様に、ＰＯ２の状態においてＳＴ２として、Ｂ相電極およびＣ相電極に駆動信号を与えると、図１１ＢのＳＴ２の段の左欄に示すようなに一方の電極３３ａには中心速度ｖ２ａが発生し、他方の電極３３ｂには中心速度ｖ２ｂが発生する。よって、ＳＴ２（換算後の位置Ｐ３と位置Ｐ５との間）において可動子３０全体に発生する中心速度ｖ２（＝ｖ２ａ＋ｖ２ｂ）は、図１１Ｂの最下段のΣＶ３に点線で示すようなｖ２となる。

以下同様に、ＳＴ３およびＳＴ４で発生する中心速度をそれぞれｖ３およびｖ４とすると、可動子３０全体に発生する中心速度は各ステップごとにΣＶ３に示すものとして表わすことができる。そして、上記第１、第２の実施の形態同様に、可動子３０全体の平均速度ｖ３(ave)は、ΣＶ３に実線で示すものとなる。

第３の実施の形態に示す静電吸引駆動装置１０Ｃの平均速度ｖ３(ave)は、前記図７に示す一般的な駆動方式に比較して前記可動子３０の速度変動の幅を小さく抑えることが可能であるが、上記第１及び第２の実施の形態に示す静電吸引駆動装置１０Ａ，１０Ｂの平均速度ｖ１(ave)やｖ２(ave)に比較した場合には速度変動の幅が大きいものとなる。

しかしながら、上記第１及び第２の実施の形態に示す静電吸引駆動装置１０Ａ，１０Ｂでは１ステップ（駆動信号１回当たり）当たりＬ１に相当する距離しか移動させることができなかったが、この第３の実施の形態に示す静電吸引駆動装置１０Ｃでは、１ステップ当たり（駆動信号１回当たり）２倍の移動距離に相当する距離２・Ｌ１（固定子側の電極２３の長さ寸法の整数倍）だけ移動させることが可能である。すなわち、第３の実施の形態に示す静電吸引駆動装置１０Ｃでは粗送り駆動に適しており、第１及び第２の実施の形態に示す静電吸引駆動装置１０Ａ，１０Ｂでは静電吸引駆動装置１０Ｂ，１０Ｃは微細な送り駆動に適している。

また第２の実施の形態に示す静電吸引駆動装置１０Ｂが必要とする電極の相数は８相であるのに対して、第３の実施の形態に示す静電吸引駆動装置１０Ｃではその半分の４相とすることができる。したがって、駆動信号供給手段の構成や上記固定子２０側に形成される配線、例えば各導電部２４と駆動信号供給手段の出力とを結ぶ配線パターンを容易化することができる。

しかも、上記第１および第２の実施の形態同様にデットポイントＰｄを有しないため、移動中の可動子３０に対するノッキング現象の発生を防止することができる。

したがって、上記第第２の実施の形態に示した８相駆動と、第３の実施の形態に示した駆動の技術を用いると、固定子２０側の各電極２３に与える駆動信号の組み合わせを変更するだけで、微細送りと粗送り駆動とを容易に選択的して駆動させることができる。

このため、例えば可動子３０上にレンズを搭載したレンズ送り機構を構成し、前記レンズを光軸方向に移動させることにより、オートフォーカス制御を行わせるカメラ装置として応用することが考えられる。この場合、レンズを待機位置から始動させる際には粗送り駆動とすることにより、移動速度を高めて移動に要する時間を短縮することができる。また目標位置（焦点位置）に接近したときには微細送り駆動に切り換えることにより、移動速度を落として前記目標位置に正確に停止させることにより、精度の高いフォーカシングを行うことが可能となる。

しかも、上記本発明の静電吸引駆動装置１０では、可動子の移動速度を可変調整することが可能となるため、フォーカシングに要する時間が短いカメラ装置を提供することができるようになる。

なお、上記各実施の形態では、固定子２０側に電極と隙間の長さ寸法が共に等して長さ寸法Ｌ１からなる固定子側電極群が設けられ、可動子３側に前記長さ寸法Ｌ１よりも長い可動子３３と隙間３４とを有する可動子電極群が形成された関係のもので説明したが、本発明はこれに限られるものではなく、前記の関係が逆であってもよい。

本発明の静電吸引駆動装置を示す分解斜視図、 固定子と可動子とが対向した状態を示しており、図１のＩＩ−ＩＩ線における断面図、 固定子の構造を部分的に示す平面図、 本発明の第１の実施の形態として静電吸引駆動装置の固定子側の電極と可動子側の電極との関係を示す平面図、 第１の実施の形態の静電吸引駆動装置に与えられる駆動信号の一例を示すタイミングチャート図、 第１の実施の形態の静電吸引駆動装置における可動子の動作を各ステップごとに示す平面図、 静電吸引駆動装置の基本的動作の説明するものであり、Ａは可動子のステップごとの動作を示す平面図、Ｂはステップに対する可動子の中心速度の変化を示す図、Ｃは各ステップごとの駆動信号を示すタイミングチャート、 第１の実施の形態に示される静電吸引駆動装置の基本的動作の説明するためのものであり、Ａは可動子のステップごとの動作を示す平面図、Ｂはステップに対する可動子の中心速度の変化を示す図、 本発明の第２の実施の形態に示す静電吸引駆動装置の固定子側の電極と可動子側の電極と関係を示す平面図、 第２の実施の形態の静電吸引駆動装置に与えられる駆動信号の一例を示すタイミングチャート図、 第２の実施の形態に示される静電吸引駆動装置の基本的動作の説明するためのものであり、Ａは可動子のステップごとの動作を示す平面図、Ｂはステップに対する可動子の中心速度の変化を示す図、 本発明の第３の実施の形態に示す静電吸引駆動装置の固定子側の電極と可動子側の電極と関係を示す平面図、 第３の実施の形態の静電吸引駆動装置１０Ｃに与えられる駆動信号の一例を示すタイミングチャート図、 第３の実施の形態に示される静電吸引駆動装置の基本的動作の説明するためのものであり、Ａは可動子のステップごとの動作を示す平面図、Ｂはステップに対する可動子の中心速度の変化を示す図、 特許文献１に図１として示されている静電吸引駆動装置の概略構成を示す図、 同じく図２として示されている電極に印加される駆動信号を示すタイミングチャート、

符号の説明

１０，１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ 静電吸引駆動装置
２０ 固定子
２０ａ 対向面
２１ 案内溝（ガイド手段）
２３ 固定子側の電極（Ａ〜Ｈ相電極）
２４ 導電部
３０ 可動子
３０ａ 対向面（可動子対向面）
３１ 案内凸部（ガイド手段）
３３ 可動子側の電極
３３ａ 可動子側の電極（第１組）
３３ｂ 可動子側の電極（第２組）
３４ 隙間
ａ１，ａ２ 可動子側の電極の長さ寸法
ｂ１，ｂ２ 可動子側の隙間の長さ寸法
Ｌ１ 固定子側の電極と隙間の長さ寸法（移動距離）
Ｐｄ デットポイント
Ｔ１ 第１組の長さ寸法
Ｔ２ 第２組の長さ寸法
Ｔ １ピッチ（１周期分のピッチ）の長さ寸法
ｖ_G，ｖ１，ｖ２，ｖ３，ｖ４，ｖ５，ｖ６，ｖ７ 中心速度
ｖ１(ave) ，ｖ２(ave)，ｖ３(ave) 可動子全体の平均速度

Claims (8)

1. 移動方向および幅方向に配列された複数の電極からなる固定子側電極群を有する固定子と、同じく移動方向および幅方向に配列されるとともに前記固定子側電極群を形成する個々の電極に対向する複数の電極からなる可動子側電極群を有するとともに移動自在に設けられた可動子と、前記可動子を前記移動方向に案内するガイド手段と、所定の相数からなる駆動信号を生成し且つ前記固定子側電極群と可動子側電極群との間に与える駆動信号供給手段と、を備えた静電吸引駆動装置であって、
   前記固定子側電極群と可動子側電極群のうち、一方の電極群は、電極と隙間とが前記移動方向に沿って互いに等しい長さ寸法で交互に配列され、
   他方の電極群は、第１組を形成する電極と隙間および第２組を形成する電極と隙間とを有するとともに、前記第１組と第２組とが移動方向に沿って交互に配列されており、
   前記第１組の移動方向の長さ寸法と前記第２組の移動方向の長さ寸法とが、互いに等しい長さ寸法で形成されていることを特徴とする静電吸引駆動装置。
2. 前記第１組と前記第２組との間では、電極同士の長さ寸法および隙間同士の長さ寸法が互いに等しく、且つ前記電極と隙間とは異なる長さ寸法で形成されている請求項１記載の静電吸引駆動装置。
3. 複数の電極からなる固定子側電極群を備えた固定子と、前記固定子側電極を形成する個々の電極に対し前記移動方向と直交する幅方向の両面で対向する可動子側電極群を備えるとともに前記移動方向に移動可能な可動子と、前記可動子を前記移動方向に案内するガイド手段と、所定の相極数からなる駆動信号を生成し且つ前記固定子側電極群と可動子側電極群との間に与える駆動信号供給手段と、を備えた静電吸引駆動装置であって、
   前記固定子側電極群と可動子側電極群のうち、一方の電極群は、電極と隙間とが前記移動方向に沿って互いに等しい長さ寸法で交互に配列され、
   他方の電極群は、第１組を形成する電極と隙間および第２組を形成する電極と隙間とを有するとともに、前記第１組と第２組とが移動方向に沿って交互に配列されており、
   前記第１組の移動方向の長さ寸法と前記第２組の移動方向の長さ寸法とが、互いに異なる長さ寸法で形成されていることを特徴とする静電吸引駆動装置。
4. 前記第１組の移動方向の長さ寸法に前記第２組の移動方向の長さ寸法を加えた区間を１ピッチとしたときに、前記他方の電極群では前記１ピッチが移動方向に繰り返されることにより、前記電極と隙間とが形成されている請求項３記載の静電吸引駆動装置。
5. 前記一方の電極群に形成された電極の長さ寸法と、前記他方の電極群に形成された電極の長さ寸法とが、異なる長さ寸法で形成されている請求項１ないし４のいずれか記載の静電吸引駆動装置。
6. 前記他方の電極群に設けられた前記第１組の移動方向の長さ寸法に前記第２組の移動方向の長さ寸法を加えた区間を１ピッチとしたときに、前記一方の電極群は前記１ピッチに相当する区間内にｎヶ（ただし、ｎは０以外の偶数）の電極を有しており、且つ前記駆動信号供給手段の相数がｎ又はｎ／２とされている請求項３ないし６のいずれか記載の静電吸引駆動装置。
7. 前記駆動信号一回当たりの前記可動子の移動量が、前記一方の電極群に形成された電極の長さ寸法の整数倍である請求項１または３記載の静電吸引駆動装置。
8. 前記一方の電極群が可動子側電極群であり、前記他方の電極群が固定子側電極群である請求項１ないし７のいずれか記載の静電吸引駆動装置。