JP2006242591A5 - - Google Patents

Claims (5)

1. ナノファイバーの長さ方向に対して垂直に偏向された垂直偏光を、前記ナノファイバーに投射して得られる所定散乱角度の散乱光による測定散乱光強度と、
   前記散乱角度から算出した計算散乱光強度とから、
   前記ナノファイバーの外径及び屈折率の関数で表される偏差指標を算出し、この偏差指標を最小とする前記ナノファイバーの外径および屈折率の組み合わせを求めることで、前記ナノファイバーの外径および屈折率を求めることを特徴とするナノファイバーの外径及び屈折率の測定方法。
2. ナノファイバーの長さ方向に対して平行に偏向された平行偏光を、前記ナノファイバーに投射して得られる所定散乱角度の散乱光による測定散乱光強度と、
   前記散乱角度から算出した計算散乱光強度とから、
   前記ナノファイバーの外径及び屈折率の関数で表される偏差指標を算出し、この偏差指標を最小とする前記ナノファイバーの外径および屈折率の組み合わせを求めることで、前記ナノファイバーの外径および屈折率を求めることを特徴とするナノファイバーの外径及び屈折率の測定方法。
3. 外径および屈折率を測定する前記ナノファイバーの外径が２００ｎｍ以下であることを特徴とする請求項１又は請求項２記載のナノファイバーの外径および屈折率の測定方法。
4. レーザ光を発光する光源部と、
   レーザ光を被測定物長さ方向に対して垂直な垂直偏光、若しくは水平な水平偏光とする光偏向部と、
   レーザ光の光軸上に、固定状態で備わる被測定物を支持固定する支持台と、
   被測定物により散乱されたレーザ光の散乱光強度を検出して外部に出力する検出器を有し、
   前記検出器が所定散乱角度になるように回転し、その所定散乱角度と、この所定散乱角度により検出される散乱光強度から計算散乱光強度と偏差指標を算出して被測定物の外径及び屈折率を算出する演算部とで、
   構成されることを特徴とするナノファイバーの外径および屈折率の測定装置。
5. レーザ光を発光する光源部と、
   レーザ光を被測定物長さ方向に対して垂直な垂直偏光、若しくは水平な水平偏光とする光偏向部と、
   レーザ光の光軸上に、固定状態で備わる被測定物を支持固定する支持台と、
   被測定物により散乱されたレーザ光の散乱光強度を検出して外部に出力する検出器が前記支持台の周囲に円周上に、散乱角度となる所定角度で少なくとも２基以上備えられる検出部と、
   前記検出器より出力される散乱角度および散乱光強度から計算散乱光強度と偏差指標を算出して被測定物の外径及び屈折率を算出する演算部とで、
   構成されることを特徴とするナノファイバーの外径および屈折率の測定装置。