JP2006276193A - 顕微鏡 - Google Patents

Abstract

【課題】 選択された観察方法に最適な照明条件を容易に実現できる顕微鏡を提供する。
【解決手段】 明視野キューブ１０Ａ、暗視野キューブ及び蛍光キューブの中から選択されたいずれかの照明用光学素子に応じた視野絞り１３、開口絞り１２及びディフューザ１５、紫外光カットフィルタ１６の設定状態になるよう、ターレット１０と回転軸２２と視野絞り１３、開口絞り１２及びディフューザ１５、紫外光カットフィルタ１６とを機械的に接続した。
【選択図】 図１

Description

この発明は観察方法に応じて照明装置を切り換えることができる顕微鏡に関する。

従来の顕微鏡として、明視野照明ユニットと暗視野照明ユニットとを切り換えて、金属やウエハ等を明視野観察、暗視野観察を行なうことができるものがある（特開２００１−１２５００２号公報参照）。

従来の他の顕微鏡として、観察対象物の種類に応じて使用するフィルタキューブを選択し、各観察対象物に応じた異なる励起光を用いて細胞等の生物を蛍光観察することができるものがある。

近年、高分子、バイオマテリアル又は半導体等の観察対象物について、明視野観察、暗視野観察だけでなく蛍光観察も行いたいという要求が高まっている。従来、この要求に応じるために、明視野／暗視野用の照明ユニットと蛍光用の照明ユニットとを付け替えたり、明視野／暗視野用の照明ユニットと蛍光用の照明ユニットとを重ね合せたり、蛍光用の照明ユニットの中に明視野用／暗視野用のフィルタキューブを取り付けたりする方法が行われている。

しかし、照明ユニットの付け替えには非常に手間がかかり、照明ユニットの重合せでは十分な光学性能を得られなかったり、接眼レンズの位置が高くなって観察し難くなったりする等の問題がある。

また、明視野／暗視野用の照明光学系と蛍光用の照明光学系とは基本的に異なるので、明視野／暗視野用のフィルタキューブを蛍光用の照明ユニットに取り付けたとしても、その照明ユニットは明視野／暗視野用として専用に設計された照明ユニットには性能的に及ばない。例えば明視野／暗視野用の照明ユニットにおいては、有害な紫外光をカットするためにＵＶカットフィルタを光軸上に入れたり、光源のムラを除去したりするためにディフューザを光軸上に入れる。これに対し、蛍光用の照明ユニットにおいては、励起光として使用する波長の紫外光をカットすることはほとんどなく、むしろ明るさが重要であるため、光量低下の原因ともなるディフューザも光軸上に入れることはない。
特開２００１−１２５００２号公報

前述のように１つの照明ユニットで明視野／暗視野／蛍光の全ての観察を行うことができるようにするには、明視野観察時や暗視野観察時に紫外光をカットするＵＶカットフィルタやディフューザを光軸上に入れる必要があるし、蛍光観察時にＵＶカットフィルタやディフューザを光軸上から外す必要がある。

また、暗視野観察時に開口絞り、視野絞りを全開にする必要があるが、明視野観察時には開口絞り、視野絞りの絞り径を選択された対物レンズや照明条件に応じて調整する必要がある。

上述のように、観察方法を切り換える操作は煩雑であり、しかも、操作を誤った場合、専用の照明ユニットを用いたときと同等の観察像を得ることができないばかりか、有害な紫外光や閃光がカットされないおそれがある。

この発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、その課題は選択された観察方法に最適な照明条件を容易に実現できる顕微鏡を提供することである。

上記課題を解決するため請求項１記載の発明は、明視野照明用光学素子、暗視野照明用光学素子及び蛍光照明用光学素子のうちのいずれかの照明用光学素子を対物レンズの光軸上に選択的に挿入可能な照明用光学素子切換手段と、前記光軸上に配置され、前記対物レンズの視野領域を制限する視野絞りと、前記光軸上に配置され、前記対物レンズの瞳領域を制限する開口絞りと、前記光軸上に配置され、照明光源の照明光の所定の紫外波長域を制限又は光量を調整するフィルタ部材と、前記照明用光学素子切換手段の切換動作に応じて回転する回転軸と、前記回転軸の回転に連動して前記視野絞り、前記開口絞り及び前記フィルタ部材を、選択された前記照明用光学素子に応じた設定状態にする連動手段とを備えていることを特徴とする。

請求項２記載の発明は、請求項１記載の顕微鏡において、前記連動手段は、前記暗視野照明用光学素子の前記光軸への挿入時、前記回転軸の回転力を伝える第１の歯車と、この第１の歯車に連動し、前記視野絞り及び前記開口絞りを最大開口にするリンク機構とを有することを特徴とする。

請求項３記載の発明は、請求項１又は２記載の顕微鏡において、前記連動手段は、前記蛍光照明用光学素子の前記光軸への挿入時、前記回転軸の回転力を伝える第２の歯車と、この第２の歯車に連動し、前記フィルタ部材を前記光軸から退避させるカム機構とを有することを特徴とする。

請求項４記載の発明は、請求項２又は３記載の顕微鏡において、前記第１の歯車と前記第２の歯車とは同一の歯車であることを特徴とする。

請求項５記載の発明は、請求項１〜４のいずれか１項記載の顕微鏡において、前記照明用光学素子切換手段はターレットであり、前記回転軸は、前記ターレットを回転させて前記照明用光学素子を切り換える度に１回転することを特徴とする。

請求項６記載の発明は、請求項１〜５のいずれか１項記載の顕微鏡において、前記回転軸に配置され、前記照明用光学素子の切換時に前記照明光を遮断するシャッタを備えていることを特徴とする。

請求項７記載の発明は、請求項５記載の顕微鏡において、前記ターレットを回転させる電動機を備えていることを特徴とする。

この発明によれば、選択された観察方法に最適な照明条件を容易に実現できる。

以下、この発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。

図１はこの発明の第１実施形態に係る顕微鏡の照明装置の断面を示す概念図、図２はカバーを外した状態における図１のＡ矢視図である。

この照明装置は落射（反射）照明を行うためのものであり、ハウジング１７Ａ内に収容されている。

この照明装置はハウジング１７Ａの下面に設けられた丸アリ１を介して顕微鏡本体（図示せず）に固定されている。ハウジング１７Ａの上面には丸アリ２を介して鏡筒（図示せず）が固定されている。なお、ハウジング１７Ａの上部はカバー１７Ｂによってカバーされている。

ハウジング１７Ａの後部にはランプハウス（図示せず）等の光源を取り付けるためのマウント３が設けられている。光源からの照明光の光軸Ｌ上には、リレーレンズ４ａ、シャッタ１４、リレーレンズ４ｂ、ディフューザ１５、紫外光カットフィルタ１６、開口絞り１２、視野絞り１３、リレーレンズ４ｃ、ハーフミラー５が配置されている。ハーフミラー５の下方には図示しない対物レンズ、試料が配置される。

なお、シャッタ１４はシャッタホルダ４２に、リレーレンズ４ｂはリレーレンズホルダ３８Ａ、ディフューザ１５及び紫外光カットフィルタ１６はフィルタホルダ３５に、開口絞り１２は開口絞り本体３７に、視野絞り１３は視野絞り本体２９に、リレーレンズ４ｃはリレーレンズホルダ３８Ｂにそれぞれ保持されている。

この照明装置は、ターレット（照明用光学素子切換手段）１０と視野絞り１３と開口絞り１２とディフューザ（フィルタ部材）１５と紫外光カットフィルタ（フィルタ部材）１６と回転軸２２と第１の歯車２４とリンク機構ＬＭと第２の歯車３３とカム機構ＣＭとを備えている。

第１の歯車２４及びリンク機構ＬＭ並びに第２の歯車３３及びカム機構ＣＭはそれぞれ連動手段を構成する。

視野絞り１３は光軸Ｌ上に配置され、試料への照明範囲を調整するため対物レンズの視野領域を制限する。

開口絞り１２は光軸Ｌ上に配置され、像のコントラストを調整するため対物レンズの瞳領域を制限する。

紫外光カットフィルタ１６は照明光の所定の紫外波長域を制限する。ディフューザ１５は照明ムラを除去するために、光源像をぼかす。なお、フィルタ部材として紫外光を透過しないディフューザを製作することによってディフューザ１５と紫外光カットフィルタ１６とを１つの光学素子としてもよい。

ターレット１０には、明視野キューブ（明視野照明用光学素子）１０Ａ、暗視野キューブ（暗視野照明用光学素子）１０Ｂ（図３参照）及び２つの蛍光キューブ（蛍光照明用光学素子）１０Ｃ（図４参照）が円周方向へ等間隔で配置されている。ターレット１０に対する明視野キューブ１０Ａ、暗視野キューブ１０Ｂ及び蛍光キューブ１０Ｃの取付位置はそれぞれ決まっている。図２において、ＢＦ、ＤＦ、ＦＬ１及びＦＬ２はそれぞれ明視野キューブ１０Ａ、暗視野キューブ１０Ｂ及び２つの蛍光キューブ１０Ｃを取り付ける位置を示している。取付位置を間違えないように明視野キューブ１０Ａ及び暗視野キューブ１０Ｂにはそれぞれ誤装着防止用の制限ピンを設けるのが好ましい。また、明視野キューブ１０Ａ及び暗視野キューブ１０Ｂに代えてそれぞれハーフミラー及び全反射ミラーをターレット１０に固定してもよい。

明視野観察を行う場合に使用される明視野キューブ１０Ａには光源からの光を対物レンズへ向けて反射させるためのハーフミラー５が光軸Ｌに対して４５°の角度で取り付けられている（図１参照）。

ターレット１０は軸１１を中心に回転可能である。

ターレット１０にはクリック溝１０ａが設けられている。クリック溝１０ａ、ベアリング１８、アーム１９、バネ２０等でクリック機構が構成される。このクリック機構によってキューブ１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃを選択的に観察光軸Ｌ１に位置決めすることができる。

ターレット１０の外周部にはローレットを兼ねた歯車１０ｂが形成されている。この歯車１０ｂは第３の歯車２１と噛み合っている。第３の歯車２１の軸２１ｂにはかさ歯車２１ａが設けられ、このかさ歯車２１ａにはこの照明装置の長手方向へ延びる回転軸２２の一端に設けられたかさ歯車２２ａが噛み合っている。

ターレット１０の外周部の歯車１０ｂの一部は、検鏡者がこの照明装置の外部からターレット１０を手で回転させることができるように、カバー１７Ｂに設けられた開口部１７ａから露出している。なお、軸２１ｂに図示しないモータ（電動機）を装着してターレット１０を電動で回転させてもよい。

回転軸２２の回転力を、連動手段を構成する第１の歯車２４及びリンク機構ＬＭや第２の歯車３３及びカム機構ＣＭを介して開口絞り１２、視野絞り１３、ディフューザ１５、紫外線カットフィルタ１６、シャッタ１４等へ伝え、これらを観察方法に応じて動かす。

図３は暗視野キューブの断面図である。

暗視野観察を行う場合に使用される暗視野キューブ１０Ｂには光源からの光を対物レンズへ反射させるために光軸Ｌに対して４５°の角度で全反射ミラー６が取り付けられている。全反射ミラー６の中央にはほぼ楕円形の孔６ａが開けられている（図３参照）。

図４は蛍光キューブの断面図である。

蛍光観察を行う場合に使用される蛍光キューブ１０Ｃはダイクロイックミラー７と励起フィルタ８とバリアフィルタ９とで構成されている（図４参照）。試料を種々の励起波長で観察できるように複数の蛍光キューブ１０Ｃが用意される。

次に、開口絞り１２及び視野絞り１３を開閉するリンク機構ＬＭを説明する。

図５は明視野観察状態及び蛍光観察状態にあるリンク機構を示す平面図、図６は図５のＢ矢視図、図７は暗視野観察状態にあるリンク機構の平面図、図８は図７のＣ矢視図である。なお、図５において蛍光観察状態は２点鎖線で示されている。

回転軸２２の中間部にはかさ歯車２２ｂが設けられている。このかさ歯車２２ｂにはかさ歯車２３ａが噛み合っている。かさ歯車２３ａは保持部２７に支持されている（図１参照）。かさ歯車２３ａと同軸上に設けられた平歯車２３ｂは第１の歯車２４の平歯車２４ａと噛み合っている。

第１の歯車２４には穴２４ｂが設けられている。この穴２４ｂには第１のリンク棒２５の一端に設けられた回転軸２５ａが回転可能に挿入されている。第１のリンク棒２５の他端に設けられた回転軸２５ｂは第２のリンク棒２６の一端に設けられた穴２６ａに回転可能に挿入されている。

第２のリンク棒２６は回転軸２６ｂを中心として回転可能である。回転軸２６ｂは保持部２７（図１参照）に支持されている。第２のリンク棒２６の他端には突起２６ｃが設けられている。突起２６ｃは第１のばね３６によって絞り開放部材２８の接触面２８ａに押し付けられている。

絞り開放部材２８は視野絞り本体２９と開口絞り本体３７とに挟まれるように支持されている（図１参照）。絞り開放部材２８は図１の紙面に垂直な方向、図２の上下方向、図５、図６、図７、図８の左右方向へ移動可能である。

視野絞り本体２９には絞りユニット３０が回転可能に支持されている。絞りユニット３０は第２のばね３１によって視野絞り１３を閉じる方向（図６では反時計方向）へ付勢されている。

絞りユニット３０はレバー３２Ａの一端部の端面３２ａに接触可能な突起３０ａと絞り開放部材２８の端面２８ｂに接触可能な突起３０ｂとを有する。レバー３２Ａは回転軸３２ｂを中心として回転可能である。レバー３２Ａの他端はハウジング１７Ａの外部へ突出している。

次に、ディフューザ１５、紫外光カットフィルタ１６を光軸Ｌに挿脱するカム機構ＣＭを説明する。

図９は明視野観察状態にあるカム機構の平面図、図１０は暗視野観察状態にあるカム機構の平面図、図１１はターレットのＦＬ１に置かれた蛍光キューブ１０Ｃが光軸上にあるときのカム機構の平面図、図１２はターレットのＦＬ２に置かれた蛍光キューブ１０Ｃが光軸上にあるときのカム機構の平面図である。

回転軸２２のかさ歯車２２ｂにはかさ歯車２３ａが噛み合っている。かさ歯車２３ａと同軸上に設けられた平歯車２３ｂは第２の歯車３３の平歯車部３３ａと噛み合っている。

第２の歯車３３にはカム溝３３ｂが設けられている。このカム溝３３ｂにカム用アーム３４のカムフォロワ３４ａが係合している。カム用アーム３４は回転軸３４ｂを中心にして回転可能である。回転軸３４ｂは保持部２７（図１参照）に支持されている。

前述したように、ディフューザ１５、紫外光カットフィルタ１６はフィルタホルダ３５に保持されている。フィルタホルダ３５は開口絞り本体３７とリレーレンズホルダ３８Ａとに挟まれている（図１参照）。フィルタホルダ３５はレール部３７ａに沿って移動可能である。フィルタホルダ３５は図１の紙面に垂直な方向、図２、図９〜図１２の上下方向に移動可能である。

フィルタホルダ３５の上部には突起３５ａが設けられ、突起３５ａはカム用アーム３４の溝部３４ｃに係合している。

次に、シャッタ１４につていて説明する。

落射（反射）照明において暗視野観察以外の観察方法から暗視野観察に切り換える際や暗視野観察から他の観察方法へ切り換える際、閃光が観察光学系に入射するおそれがある。

図１３、図１４は暗視野キューブの孔と光束との関係を説明する図である。図１３，図１４は図３をＥ方向から見た図である。

照明光軸Ｌに沿って全反射ミラー６に導かれた照明光は孔６ａの周辺部分だけで反射され、試料によって散乱された光だけが全反射ミラー６の孔６ａを通過し接眼レンズ（図示せず）を介して観察される。暗視野観察はこのように試料からの散乱光だけを検出して観察する方法のため観察像は暗い。そのため、できるだけ明るい像を取得するため開口絞り１２を全開にする等の方法によって強い照明光を試料に照射している。

例えば暗視野観察から他の観察方法へ切り換えるために暗視野キューブ１０Ｂが少しずれたとき（図１４参照）、観察像の形成に寄与する光束ＬＦの中に全反射ミラー６と孔６ａとが混在することになる。そのため、全反射ミラー６により直接光束ＬＦの中に強い光が照射されることになり、散乱光だけで観察していたときの視野に閃光が入射する。

この閃光を防ぐため、この実施形態ではシャッタ１４を以下の駆動機構によって駆動するようにした。

次に、シャッタ１４の駆動機構を説明する。

図１５はシャッタの駆動機構を説明する平面図、図１６は図１５のＤ矢視図である。

回転軸２２の他端には平歯車２２ｃが設けられている。平歯車２２ｃはアイドル歯車４０と噛み合い、アイドル歯車４０はアイドル歯車４１と噛み合い、アイドル歯車４１はシャッタホルダ４２の歯車４２ａと噛み合っている。シャッタホルダ４２には円盤状のシャッタ４３がビス４４で取り付けられている。シャッタ４３には円形の開口部４３ａが形成されている。図１６では各キューブ１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃが正しい位置に配置され、開口部４３ａと照明光軸Ｌとが一致している。

ここで、各観察方法の実施に要求される紫外光カットフィルタ１６、ディフューザ１５等の光学素子の配置を説明する。

明視野観察を行うための条件：
１）照明光の波長で観察するため、紫外光カットフィルタ１６を光軸Ｌ上に挿入して紫外光をカットする必要がある。

２）光源像のムラが目立つ観察方法であるため、ディフューザ１５を光軸Ｌ上に挿入して光源像をぼかす必要がある。

３）観察に使用する対物レンズの種類によって（コントラスト調整のために）開口絞り１２を調整しなければならないため、開口絞り１２を任意の絞り径に調整できる状態にしておく必要がある。

４）視野絞り１３を観察している視野とほぼ同じ径になるように調整する必要がある。

したがって、明視野観察を行うときには、紫外光カットフィルタ１６及びディフューザ１５が光軸Ｌに確実に挿入され、開口絞り１２、視野絞り１３を調整できる状態にしておく必要がある。

暗視野観察を行うための条件：
１）照明光の波長で観察するため、紫外光カットフィルタ１６を光軸Ｌ上に挿入して紫外光をカットする必要がある。

２）照明光を均一に試料に照射するため、ディフューザ１５を光軸Ｌ上に挿入する必要がある。

３）暗視野観察時の照明光は明視野観察時等に使用する光軸を含む円形の照明エリアに照明されず、円形の照明エリアの外側を照明する必要があるため、開口絞り１２と視野絞り１３とを全開にする必要がある。

したがって、暗視野観察を行うときには、紫外光カットフィルタ１６及びディフューザ１５が光軸Ｌに確実に挿入され、開口絞り１２、視野絞り１３を全開にする必要がある。

蛍光観察を行うときの条件：
１）紫外光を励起光として使用する場合もあるため、紫外光カットフィルタ１６を光軸Ｌから外しておく必要がある。

２）照明光の効率の観点からより強い照明光を確保する必要があるため、ディフューザ１５を光軸Ｌ上から外すのが好ましい。蛍光観察は励起光を当てた試料からの蛍光を観察する観察方法であるため、明視野観察ほど光源像による照明ムラは問題とならないからである。

３）照明光の強度を調整できるように開口絞り１２の絞り径を調整できる状態にしておく必要がある。

４）試料の余計な退色を防ぐために必要最低限の領域だけを照明（励起）できるように視野絞り１３の絞り径を調整できる状態にしておく必要がある。

したがって、蛍光観察を行うときには、紫外光カットフィルタ１６及びディフューザ１５が光軸Ｌから外れ、開口絞り１２、視野絞り１３を調整できる状態にしておく必要がある。

次に、開口絞り１２、視野絞り１３の動作を、図１、図２、図５、図６、図７及び図８を用いて説明する。

ターレット１０を回転させると、歯車１０ｂ、第３の歯車２１、カサ歯車２１ａ、カサ歯車２２ａを介して、回転軸２２が回転する。ターレット１０が１／４回転したとき、回転軸２２は１回転する。

回転軸２２が回転すると、かさ歯車２２ｂ、かさ歯車２３ａ、平歯車２３ｂ、平歯車２４ａを介して、第１の歯車２４が回転する。回転軸２２が１回転したとき、第１の歯車２４は１／４回転する。したがって、観察方法を切り換えるためにターレット１０を１／４回転したとき、第１の歯車２４も１／４回転する。

その後、検鏡者はレバー３２の他端を上下に動かすことによって絞りユニット３０を回転させて視野絞り１３の開閉を行なう。

図５、図６に示すように明視野観察状態及び蛍光観察状態のとき、絞り開放部材２８の端面２８ｂは絞りユニット３０に接触しないため、検鏡者はレバー３２Ａにより任意の径に視野絞り１３を調整することができる。

暗視野観察状態のとき、図７、図８に示すように絞り開放部材２８はリンク機構ＬＭによって紙面右側へ移動する。絞り開放部材２８の端面２８ｂによって絞りユニット３０の突起部３０ｂが押されて、絞りユニット３０が時計方向へ回転する。そのため、絞りユニット３０の位置を決めていたレバー３２Ａの端面３２ａと絞りユニット３０の端面３０ａとの接触が解かれる。図８に示す状態まで絞りユニット３０が回転したとき視野絞り１３の絞り径が最大になる。したがって、検鏡者が暗視野観察を選択したときにはレバー３２Ａの位置に拘らず視野絞り１３の絞り径は最大となる。

暗視野観察から他の観察方法に切り換えたときには、絞り開放部材２８と絞りユニット３０との接触は解かれ、レバー３２Ａの端面３２ａと絞りユニット３０の端面３０ａとが接触するため、絞りユニット３０の位置は再びレバー３２Ａによって決められる。

なお、開口絞り１２の動作は視野絞り１３の動作と同様であるためその説明を省略する。検鏡者が暗視野観察を選択したとき、絞り開放部材２８が図７の紙面右側に移動し、端面２８ｃによって図示しない開口絞りユニットの突起部（視野絞り部３０の突起部３０ｂに相当する）が押されて開口絞り１２が全開になる。このとき、レバー３２Ｂの位置に拘らず開口絞り１２の絞り径は最大である。

次に、ディフューザ１５及び紫外光カットフィルタ１６の動作を、図１、図２、図９、図１０、図１１、図１２を用いて説明する。

回転軸２２が回転すると、かさ歯車２２ｂ、かさ歯車２３ａ、平歯車２３ｂ、平歯車部３３ａを介して、第２の歯車３３が回転する。回転軸２２が１回転すると、第２の歯車３３は１／４回転する。したがって、観察方法を切り換えるためにターレットを１／４回転させたとき、第２の歯車も１／４回転することになる。

明視野観察状態及び暗視野観察状態のとき、カム用アーム３４は図９、図１０に示す状態になり、ディフューザ１５、紫外光カットフィルタ１６は光軸Ｌに入る。

また、蛍光観察状態のとき、カム用アーム３４は図１１、図１２に示す状態になり、ディフューザ１５、紫外光カットフィルタ１６は光軸Ｌから外れる。

次に、シャッタ１４の動作を説明する。

観察方法を切り替えるためにターレット１０を１／４回転させると、回転軸２２が１回転する。回転軸２２の回転はアイドル歯車４０，４１を介してシャッタホルダ４２の歯車４２ａへと伝わり、シャッタ４３が回転する。回転軸２２とシャッタ４３との回転比は同じであり（ターレット１０と回転軸２２との回転比は１：４）、ターレット１０を９０°回転させたとき、シャッタ４３が１回転する。なお、回転比はこれに限られるものではなく、ターレット１０を９０°回転させたとき、シャッタ４３が整数（０を除く）倍回転するようにしてもよい。

したがって、観察方法を切り換えている途中では照明光はシャッタ４３によって遮断され、閃光が観察系に入射しない。

なお、図示しないが、ターレット１０の２つの蛍光キューブ１０Ｃの間にクリック溝（図示せず）を設け、その位置をシャッタ１４が閉じるポジションとしてもよい。これにより、試料の退色を防ぐことができる。

この実施形態によれば、検鏡者は観察方法を切り換えるためにターレット１０を回転するという１つの動作を行うだけで、明視野観察、暗視野観察、蛍光観察にそれぞれ必要な紫外光カットフィルタ１６、ディフューザ１５等の光学素子を間違いなく光軸Ｌ上に配置させることができる。

また、暗視野観察に切り換えたり、暗視野観察から他の観察方法に切り換えたりする際に、閃光が検鏡者の目に照射されることがない。

なお、上記実施形態では観察方法の切換をターレット１０で行うようにしたが、ターレット１０に代えて例えばスライド方式のものを用い、その直線運動をカサ歯車等を用いて回転運動に変換して観察方法を切り換えるようにしてもよい。このようにしても上記実施形態と同様の効果を奏する。

また、１つのモータを用いてターレット１０を回転させることにより、全ての紫外光カットフィルタ１６、ディフューザ１５等の光学素子を、選択した観察方法に最適な設定状態にすることができるので、制御が容易となり、製造コストを低減できる。

図１はこの発明の第１実施形態に係る顕微鏡の照明装置の断面を示す概念図である。 図２はカバーを外した状態における図１のＡ矢視図である。 図３は暗視野キューブの断面図である。 図４は蛍光キューブの断面図である。 図５は明視野観察状態及び蛍光観察状態にあるリンク機構を示す平面図である。 図６は図５のＡ矢視図である。 図７は暗視野観察状態にあるリンク機構の平面図である。 図８は図７のＢ矢視図である。 図９は明視野観察状態にあるカム機構の平面図である。 図１０は暗視野観察状態にあるカム機構の平面図である。 図１１はターレットのＦＬ１に置かれた蛍光キューブ１０Ｃが光軸上にあるときのカム機構の平面図である。 図１２はターレットのＦＬ２に置かれた蛍光キューブ１０Ｃが光軸上にあるときのカム機構の平面図である。 図１３は暗視野キューブの孔と光束との関係を説明する図である。 図１４は暗視野キューブの孔と光束との関係を説明する図である。 図１５はシャッタの駆動機構を説明する平面図である。 図１６は図１５のＤ矢視図である。

符号の説明

１０：ターレット、１０Ａ：明視野キューブ（明視野照明用光学素子）、１０Ｂ：暗視野キューブ（暗視野照明用光学素子）、１０Ｃ：蛍光キューブ（蛍光照明用光学素子）、１２：開口絞り、１３：視野絞り、１４：シャッタ、１５：ディフューザ、１６：紫外光カットフィルタ、２２：回転軸、２４：第１の歯車、３３：第２の歯車、ＬＭ：リンク機構、ＣＭ：カム機構

Claims (7)

1. 明視野照明用光学素子、暗視野照明用光学素子及び蛍光照明用光学素子のうちのいずれかの照明用光学素子を対物レンズの光軸上に選択的に挿入可能な照明用光学素子切換手段と、
   前記光軸上に配置され、前記対物レンズの視野領域を制限する視野絞りと、
   前記光軸上に配置され、前記対物レンズの瞳領域を制限する開口絞りと、
   前記光軸上に配置され、照明光源の照明光の所定の紫外波長域を制限又は光量を調整するフィルタ部材と、
   前記照明用光学素子切換手段の切換動作に応じて回転する回転軸と、
   前記回転軸の回転に連動して前記視野絞り、前記開口絞り及び前記フィルタ部材を、選択された前記照明用光学素子に応じた設定状態にする連動手段と
   を備えていることを特徴とする顕微鏡。
2. 前記連動手段は、前記暗視野照明用光学素子の前記光軸への挿入時、前記回転軸の回転力を伝える第１の歯車と、この第１の歯車に連動し、前記視野絞り及び前記開口絞りを最大開口にするリンク機構とを有することを特徴とする請求項１記載の顕微鏡。
3. 前記連動手段は、前記蛍光照明用光学素子の前記光軸への挿入時、前記回転軸の回転力を伝える第２の歯車と、この第２の歯車に連動し、前記フィルタ部材を前記光軸から退避させるカム機構とを有することを特徴とする請求項１又は２記載の顕微鏡。
4. 前記第１の歯車と前記第２の歯車とは同一の歯車であることを特徴とする請求項２又は３記載の顕微鏡。
5. 前記照明用光学素子切換手段はターレットであり、前記回転軸は、前記ターレットを回転させて前記照明用光学素子を切り換える度に１回転することを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項記載の顕微鏡。
6. 前記回転軸に配置され、前記照明用光学素子の切換時に前記照明光を遮断するシャッタを備えていることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項記載の顕微鏡。
7. 前記ターレットを回転させる電動機を備えていることを特徴とする請求項５記載の顕微鏡。

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