JP2006330010A

JP2006330010A - マイクロレンズ及びマイクロレンズアレイ

Info

Publication number: JP2006330010A
Application number: JP2003280382A
Authority: JP
Inventors: Junji Nishii; 準治西井; Satoshi Yoshihara; 聡吉原
Original assignee: Nippon Electric Glass Co Ltd; National Institute of Advanced Industrial Science and Technology AIST
Current assignee: Nippon Electric Glass Co Ltd; National Institute of Advanced Industrial Science and Technology AIST
Priority date: 2003-07-25
Filing date: 2003-07-25
Publication date: 2006-12-07
Also published as: WO2005010574A1

Abstract

【課題】安価なマイクロレンズ及びマイクロレンズアレイを提供する。
【解決手段】マイクロレンズアレイ１０は、レンズ部１と基質部２とを備えたマイクロレンズ３が二次元的に複数配列されて構成され、全体として平板状の外観を呈している。レンズ部１は、それぞれ、所定径の円柱状形態をなし、マイクロレンズアレイ１０の一方の表面側に位置する非晶質ガラスからなる非晶質部１ａと、他方の表面側に位置する結晶化ガラスからなる結晶質部１ｂとで構成される。非晶質部１ａの表面は、基質部２の表面の位置よりも湾曲状に隆起して、凸曲面状レンズ表面１ａ１を形成している。基質部２は、レンズ部１の結晶質部１ｂと同じ結晶化ガラスからなり、レンズ部１の周囲を包囲している。
【選択図】図１

Description

本発明は、マイクロレンズ及びマイクロレンズアレイ、特に光通信分野において使用されるマイクロレンズ及びマイクロレンズアレイに関するものである。

マイクロレンズは、一般に直径２ｍｍ以下の微小なレンズ部を有するレンズの総称であり、光記録において微小スポットを形成する機能や半導体レーザからの出力光線を光ファイバに結合させる機能を有し、光ピックアップ、液晶プロジェクタ、光通信デバイス（例えば、光スイッチ、合波分波器等）等に使用されている。特に、光通信分野において使用するマイクロレンズは、レンズ部の直径が、約１０μｍの光ファイバのコア径に合わせて、できるだけ小さくすることが必要とされ、ＤＷＤＭ及び並列光通信においては、このような微細なマイクロレンズを二次元的に複数配列したマイクロレンズアレイが使用される。

このようなマイクロレンズとして、露光された部分にのみ結晶を析出するガラス（いわゆる感光性結晶化ガラス）を用いたマイクロレンズが提案されている（例えば、特許文献１参照）。すなわち、このマイクロレンズは、レンズ部に相当する大きさのＣｒ膜を形成したシリカガラス板からなるマスキング材によって、原ガラス基材の表面のレンズ部に相当する領域をマスクし、紫外線で露光した後、熱処理することによって、露光した部分（レンズ部を包囲する部分）にのみ結晶を析出させた結果として、露光していない部分の上面及び下面を湾曲かつ隆起させて非晶質ガラスからなるレンズ部を形成したものである。

また、他のマイクロレンズとしては、高密度化石英ガラスの表面の微小領域に炭酸ガスレーザを照射することによって、照射部を熱構造緩和させ、隆起構造を微小領域に形成させたマイクロレンズ（アレイ）が提案されている（例えば、非特許文献１参照）。
特公平５−８４４８１号公報北村直之，外２名，「レーザー光照射によって形成されたガラス表面の隆起構造」，第５０回応用物理学関係連合講演会予稿集，２００３年３月，ｐ９８３，２８ｐ−Ｍ−１

しかしながら、特許文献１に記載のマイクロレンズは、レンズ部の直径やレンズ部の間隔が異なるマイクロレンズアレイを作製する場合には、その種類毎にマスキング材を用意する必要があるため、製造コストが高くなる。

また、非特許文献１に記載のマイクロレンズ（アレイ）は、高価な製造設備が必要で、連続生産が困難なＨＩＰ処理によって高密度化した石英ガラスを使用するため、製造コストが高くなる。

したがって、本発明の目的は、安価なマイクロレンズ及びマイクロレンズアレイを提供することにある。

上記目的を達成するため、本発明は、凸状のレンズ表面を有するレンズ部と、レンズ部の周囲を包囲する結晶化ガラスからなる基質部とを備え、レンズ部は、前記基質部を構成する結晶化ガラス基質がレーザの照射によって非晶質ガラス化した非晶質部を含んでいるマイクロレンズ、及び、このマイクロレンズが二次元的に複数配列されたマイクロレンズアレイを提供する。

結晶化ガラスからなる基材の所定領域にレーザを照射すると、レーザが照射された基材の所定領域は、該所定領域を構成する結晶化ガラス基質の一部又は全部がレーザの照射エネルギーによって溶融し、非晶質ガラス化して非晶質部となる。この非晶質ガラス化した非晶質部は、その周囲を包囲する結晶化ガラス基質の基質部に比べて密度が相対的に小さく、そのために非晶質部の体積は基質部に比べて相対的に増加する。その結果、非晶質部は周囲の基質部から圧迫力を受け、その表面が湾曲状に隆起して凸状のレンズ表面が形成される。したがって、レーザが照射された基材の所定領域は凸曲面状のレンズ表面を有するレンズ部となり、レーザが照射されなかった基材の他の領域はレンズ部の周囲を包囲する結晶化ガラスからなる基質部となる。

例えば、レーザを基板の片面側から所定領域に照射する場合において、レーザの照射エネルギーによって上記所定領域の表面に近い部分のみが溶融する場合は、該表面に近い部分のみが非晶質化して、基板の片面側にのみレンズ表面が形成される。レーザの照射エネルギーによって上記所定領域の全肉厚部分が溶融する場合は、上記所定領域の全肉厚部分が非晶質化して、基板の両面側にそれぞれレンズ表面が形成される。レーザを基板の両面側からそれぞれ所定領域に照射する場合は、レーザの照射エネルギーによって溶融する範囲の如何にかかわらず、基板の両面側にそれぞれレンズ表面が形成される。

また、レーザを基板の複数の所定領域に間隔をあけて照射すると、上記のようなマイクロレンズが二次元的に複数配列されたマイクロレンズアレイが形成される。

上記構成において、レンズ部の非晶質部が−４０〜８０℃の温度範囲において３０〜１３０×１０^-7／℃の熱膨張係数を有していると、温度に対する焦点距離変化率（ｄｆ／ｄＴ）が小さくなり（例えば、絶対値で２ｎｍ／℃以内）、環境温度が変動しても光損失が少ないため好ましい。

レンズ部の非晶質部の熱膨張係数は−４０〜８０℃の温度範囲において３０〜９５×１０^-7／℃であるのがより好ましく、特に、レンズ部の非晶質部の熱膨張係数が６０×１０^-7／℃よりも小さいと、基質部との熱膨張差が小さくなり、クラックが入りにくいためさらに好ましい。

また、一般にマイクロレンズ（アレイ）は、光ファイバーアレイ用基材に固定した光ファイバーから赤外光を出入射させて使用することがあるが、この光ファイバーアレイ用基材は、熱膨張係数が光ファイバーと近く、またＶ溝加工性に優れるという理由から−１０〜＋１０×１０^-7／℃の熱膨張係数を有するＬｉ₂Ｏ−Ａｌ₂Ｏ₃−ＳｉＯ₂系結晶化ガラスを基材材料として使用することが多い。従って、基質部が−４０〜８０℃の温度範囲において−３０〜＋２０×１０^-7／℃の熱膨張係数を有すると、マイクロレンズと光ファイバーアレイ用基材との熱膨張係数が近いため、マイクロレンズアレイとして使用した場合、温度変化に伴う軸ずれが小さくなり、環境温度が変動しても光損失が少なくなるため好ましい。尚、基質部の熱膨張係数の好ましい範囲は、−２５〜＋１５×１０^-7／℃である。また、レンズ部の非晶質部が−１〜＋８×１０^-6／℃（好ましくは５〜７×１０^-6／℃）の屈折率の温度依存性を有していると、温度に対する焦点距離変化率が小さくなるため好ましい。

また、レンズ部の非晶質部がＬｉ₂Ｏ−Ａｌ₂Ｏ₃−ＳｉＯ₂系非晶質ガラスからなると、−４０〜８０℃の温度範囲において、３０〜１３０×１０^-7／℃の熱膨張係数を有しやすく、基質部がＬｉ₂Ｏ−Ａｌ₂Ｏ₃−ＳｉＯ₂系結晶化ガラス、具体的にはβ−石英固溶体及び／又はβ−スポジュ−メン固溶体を主結晶相として析出してなるＬｉ₂Ｏ−Ａｌ₂Ｏ₃−ＳｉＯ₂系結晶化ガラスからなると、−４０〜８０℃の温度範囲において−３０〜＋２０×１０^-7／℃の熱膨張係数を有しやすくなるため好ましい。

また、レンズ部及び基質部が、質量％で、ＳｉＯ₂ ５５〜７５％、Ａｌ₂Ｏ₃ １４〜３５％、Ｌｉ₂Ｏ２〜８％、ＴｉＯ₂＋ＺｒＯ₂ ０．７〜８％を含有してなり、特に好ましくは、質量％で、ＳｉＯ₂ ５５〜７５％、Ａｌ₂Ｏ₃ １４〜３５％、Ｌｉ₂Ｏ２〜８％、ＴｉＯ₂＋ＺｒＯ₂ ０．７〜５％、ＭｇＯ０〜４％、ＺｎＯ０〜４％、
ＴｉＯ₂ ０〜４％、ＺｒＯ₂ ０〜４％、ＳｎＯ₂ ０〜４％、Ｐ₂Ｏ₅ ０〜４％、
Ｎａ₂Ｏ０〜７％、Ｋ₂Ｏ０〜７％、ＢａＯ０〜７％を含有してなると、−４０〜８０℃の温度範囲において、レンズ部の非晶質部が３０〜１３０×１０^-7／℃の熱膨張係数を有する非晶質ガラスになりやすく、基質部が−３０〜＋２０×１０^-7／℃の熱膨張係数を有する結晶化ガラスになりやすい。

結晶化ガラスからなる基材が、−４０〜８０℃の温度範囲において、−３０〜＋２０×１０^-7／℃の熱膨張係数を有し、β−石英固溶体及び／又はβ−スポジュメン固溶体を主結晶相として析出してなるＬｉ₂Ｏ−Ａｌ₂Ｏ₃−ＳｉＯ₂系結晶化ガラスからなると、レーザの照射によって形成されたレンズ部の非晶質部が−４０〜８０℃の温度範囲において３０〜１３０×１０^-7／℃の熱膨張係数を有する非晶質ガラスになりやすく、基質部が−３０〜＋２０×１０^-7／℃の熱膨張係数を有する結晶化ガラスになりやすい。

基材は、質量％で、ＳｉＯ₂ ５５〜７５％、Ａｌ₂Ｏ₃ １４〜３５％、Ｌｉ₂Ｏ２〜８％、ＴｉＯ₂＋ＺｒＯ₂ ０．７〜８％を含有し、より好ましくは、質量％で、ＳｉＯ₂ ５５〜７５％、Ａｌ₂Ｏ₃ １４〜３５％、Ｌｉ₂Ｏ２〜８％、ＴｉＯ₂＋ＺｒＯ₂ ０．７〜５％、ＭｇＯ０〜４％、ＺｎＯ０〜４％、ＴｉＯ₂ ０〜４％、ＺｒＯ₂ ０〜４％、ＳｎＯ₂ ０〜４％、Ｐ₂Ｏ₅ ０〜４％、Ｎａ₂Ｏ０〜７％、Ｋ₂Ｏ０〜７％、
ＢａＯ０〜７％を含有しているのが好ましい。

レーザは、波長が４００ｎｍ以下、好ましくは２６６〜３５５ｎｍの紫外線レーザ、具体的にはＹＡＧレーザであると、レーザ出力を高くでき、照射スポット径を小さく、またスポットの真円度を高くできるため、短時間で寸法精度が高い小径のレンズ部を形成できる。また、紫外線レーザの出力が０．５〜５Ｗであると、結晶化ガラスからなる基材の一部が短時間で溶融して、容易に非晶質部を形成できる。特に結晶化ガラスからなる基材が、４００ｎｍ以下の波長を有する光の吸収が大きいと、レーザによる基材の溶融が容易になるため好ましい。

本発明のマイクロレンズ及びマイクロレンズアレイは、高価な製造設備が必要で連続生産が困難なＨＩＰ処理によって基材を高密度化する必要がなく、またマスキング材を作製する必要がない。したがって、本発明によれば、安価なマイクロレンズ及びマイクロレンズアレイを提供することができる。

図１、図２は、本発明の実施の形態に係るマイクロレンズアレイ１０、２０をそれぞれ概念的に示している。

図１に示すマイクロレンズアレイ１０は、レンズ部１と基質部２とを備えたマイクロレンズ３が二次元的に複数配列されて構成され、全体として平板状の外観を呈している。レンズ部１は、それぞれ、所定径の円柱状形態をなし、マイクロレンズアレイ１０の一方の表面側に位置する非晶質ガラスからなる非晶質部１ａと、他方の表面側に位置する結晶化ガラスからなる結晶質部１ｂとで構成される。非晶質部１ａの表面は、基質部２の表面の位置よりも湾曲状に隆起して、凸曲面状、例えば１つの曲率半径を有する凸球面状のレンズ表面１ａ１を形成している。基質部２は、レンズ部１の結晶質部１ｂと同じ結晶化ガラスからなり、レンズ部１の周囲を包囲している。尚、図１では、基質部２とレンズ部１の結晶質部１ｂとを概念的に区分して示しているが、実際には、両者の間に組織構造上の違いは存在しない。

マイクロレンズアレイ１０は、例えば、結晶化ガラスからなる基材の複数の所定領域に一方の表面側からレーザを照射することによって製造することができる。すなわち、レーザが照射された基材の所定領域は、レーザの照射エネルギーによって、一方の表面に近い部分が溶融し、非晶質ガラス化して非晶質部１ａとなる。この非晶質ガラス化した非晶質部１ａは、その周囲を包囲する結晶化ガラス基質の基質部２に比べて密度が相対的に小さく、そのために非晶質部１ａの体積は基質部２に比べて相対的に増加する。その結果、非晶質部１ａは周囲の基質部２から圧迫力を受け、その表面が湾曲状に隆起して凸曲面状のレンズ表面１ａ１が形成される。したがって、レーザが照射された基材の所定領域は凸曲面状のレンズ表面１ａ１を有するレンズ部１となり、レーザが照射されなかった基材の他の領域はレンズ部１の周囲を包囲する結晶化ガラスからなる基質部２となる。レンズ部１の直径は、照射するレーザビームのスポット径と略等しくなり、レーザビームのスポット径を調整することによって、所望の直径を有するレンズ部１を精度良く形成することができる。

図２に示すマイクロレンズアレイ２０は、レンズ部１１と基質部１２とを備えたマイクロレンズ１３が二次元的に複数配列されて構成され、全体として平板状の外観を呈している。レンズ部１１は、それぞれ、所定径の円柱状形態をなし、非晶質ガラスからなる非晶質部１１ａで構成される。非晶質部１１ａの両表面は、それぞれ、基質部１２の表面の位置よりも湾曲状に隆起して、凸曲面状、例えば１つの曲率半径を有する凸球面状のレンズ表面１１ａ１を形成している。基質部１２は、結晶化ガラスからなり、レンズ部１１の周囲を包囲している。

このマイクロレンズアレイ２０も、図１に示すマイクロレンズアレイ１０と同様に、結晶化ガラスからなる基材の複数の所定領域に一方の表面側からレーザを照射することによって製造することができるが、レーザの照射によってレンズ部１１の全肉厚部分が溶融して非晶質化され、基板の両面側にそれぞれレンズ表面１１ａ１が形成される点が異なる。

表１は実施例１〜５を、表２は比較例１、２を示す。実施例１〜３、５のマイクロレンズアレイは図１に示す構成に対応し、実施例４のマイクロレンズアレイは図２に示す構成に対応する。

まず、表１に示す組成となるように調合した原料を白金坩堝中に入れ、１５５０℃で１０時間溶融したガラスをカーボン型枠内に流し出し、室温まで徐冷して原ガラス板を作製した。その後、表１に示す結晶化条件で結晶化させ、β−石英固溶体又はβ−スポジュメン固溶体を析出した結晶化ガラスからなる原板を得た。

次に、この原板を３×４×０．５ｔｍｍの大きさに切断加工して、両面を鏡面研磨することによって基材を作製し、０．２ｍｍ間隔で８箇所の基材表面近傍に、パルス幅１０ｎｓ、周波数１ｋＨｚで波長３５５ｎｍのＹＡＧレーザを出力０．５〜２．５Ｗで１箇所あたり２秒間照射することによって、図１に示すように、レンズ部１（紫外線レーザが照射された領域）と基質部２（紫外線レーザが照射されなかった領域）とを備えた８個のマイクロレンズ３が二次元的に配列されたマイクロレンズアレイ１０を作製した（実施例１〜３、５）。

また、原板を３×４×０．２ｔｍｍの大きさに切断加工して、両面を鏡面研磨することによって基材を作製し、０．２ｍｍ間隔で８箇所において、基材の全厚み方向にわたって、パルス幅１０ｎｓ、周波数１ｋＨｚで波長３５５ｎｍのＹＡＧレーザを出力０．５〜２．５Ｗで１箇所あたり２秒間照射することによって、図２に示すように、レンズ部１１（紫外線レーザが照射された領域）と基質部１２（紫外線レーザが照射されなかった領域）とを備えた８個のマイクロレンズ１３が二次元的に配列されたマイクロレンズアレイ２０を作製した（実施例４）。尚、レンズ部１、１１のうち、紫外線レーザが照射され基材が溶融した部分は、非晶質ガラスからなる非晶質部１ａ、１１ａとなっていた。また、実施例１〜３、５において、レンズ部１のうち、基材が溶融しなかった部分は基材のままの結晶が析出した結晶質部１ｂであった。また、この結晶質部１ｂは、β−石英固溶体を析出しているものの、析出結晶サイズが０．０５μｍ以下であるため、１０００〜１６５０ｎｍの波長域における赤外線の透過率が６０％以上であり、光通信用途に十分使用できるものであった。

比較例１では、原板として、１ＧＰａ、１２００℃でＨＩＰ処理して密度を４％上昇させた高密度化シリカガラスを用い、波長１０．６μｍの炭酸ガスレーザを出力０．５Ｗで1２０秒間照射した点以外は、実施例１と同様にしてマイクロレンズアレイを作製した。

比較例２では、表２の組成になるように調合した原料を白金坩堝中に入れ、１４５０℃で４時間溶融したガラスをカーボン型枠内に流し出し、室温まで徐冷して、原板を作製した。次に、この原板を３×４×０．５ｔｍｍの大きさに切断加工して、両面を鏡面研磨することによって基材を作製し、レンズ部に相当する大きさのＣｒ膜を形成したシリカガラス板によって、基材の表面のレンズ部に相当する領域をマスクし、１０００Ｗの水銀−キセノンランプを用いて紫外線を１００秒間照射した。その後、基材を５４０℃で１時間、５８０℃で１時間熱処理し、基材の紫外線を照射した部分にＬｉ₂Ｏ・ＳｉＯ₂結晶を析出させて、基材の両面側に凸曲面状のレンズ表面を有する８個のマイクロレンズを備えたマイクロレンズアレイを作製した。

尚、実施例１〜５及び比較例１、２において、レンズ部の直径はレンズ表面の曲率半径に略等しく、５０〜３００μｍであった。また、表１、表２の「レンズ形状」の欄において、「凸平」の表示は図１に示すような片面側にのみレンズ表面を有するレンズ形状であることを表し、「両凸」は図２に示すような両面側にレンズ表面を有するレンズ形状であることを表している。

析出結晶相は、Ｘ線回折装置を用いて同定した。

非晶質部の熱膨張係数は、実施例１〜５では原ガラス板の熱膨張係数で、比較例１、２では原板の熱膨張係数で評価した。また、基質部の熱膨張係数は、実施例１〜５と比較例１では原板の熱膨張係数で、比較例２では原板の熱処理後の熱膨張係数で評価した。これらの熱膨張係数は、ディラトメータ（マックサイエンス社製ＴＤ−５０００Ｓ）を用いて、−４０〜８０℃の温度範囲で測定した。

レンズ部の曲率半径は、レーザ顕微鏡を用いて測定した。

レンズ部の屈折率及び屈折率の温度依存性（ｄｎ／ｄＴ）は、−４０〜８０℃の温度範囲において、オプティプローブ法により屈折率を測定することによって求めた。

温度に対する焦点距離変化率（ｄｆ／ｄＴ）は以下のようにして算出した。

焦点距離ｆは数式１にて表され、数式１を温度Ｔで微分することより数式２に示す温度に対する焦点距離変化率（ｄｆ／ｄＴ）が導出される。
ｆ＝（ｒ₁・ｒ₂）／｛（ｒ₂−ｒ₁）・（ｎ−１）｝・・・数式１
ｄｆ／ｄＴ＝ｆ・〔α−｛１／（ｎ−１）・ｄｎ／ｄＴ｝〕・・・数式２

ここで、ｒ₁、ｒ₂はレンズ部のレンズ表面の曲率半径（μｍ）、αは熱膨張係数（×１０^-7／℃）、ｎは波長１５５０ｎｍにおける室温での屈折率、ｄｎ／ｄＴは温度に対する屈折率変化率（×１０^-6／℃）である。尚、レンズ形状が凸平の場合は、ｒ₂が∞となる。

温度変化に伴う焦点距離の変化及び軸ずれは、温度変化に対する挿入損失によって評価し、その挿入損失は、レーザダイオード（ＬＤ）より出射した１．５５μｍの赤外光をマイクロレンズを通してシングルモード光ファイバに入射し、パワーメータを用いて、−５℃、２５℃及び６５℃における光損失量（ｄＢ）を８個のマイクロレンズについて測定し、それら全ての光損失量の平均値とした。

実施例１〜５は、ＨＩＰ処理や、マスキング材を必要とすることなくマイクロレンズアレイを作製でき、さらに温度変化に対する挿入損失が小さかった。一方、比較例１は、原板を作製するためにＨＩＰ処理しなければならず、さらに温度に対する焦点距離変化率（ｄｆ／ｄＴ）が大きいため、温度変化に対する挿入損失が大きかった。また、比較例２は、マスキング材を用意しなければならず、さらに、温度に対する焦点距離変化率（ｄｆ／ｄＴ）が小さいものの、温度変化に対する挿入損失が大きかった。これは、基質部の熱膨張係数が大きいために、マイクロレンズアレイの温度に対する軸ずれが大きくなったことに起因しているものと推察される。

本発明のマイクロレンズ及びマイクロレンズアレイは、光スイッチ、合波分波器等等の光通信デバイスに好適であり、特に厳密な焦点距離の精度や高い化学的耐久性が要求されるＤＷＤＭ及び並列光通信に好適である。

実施の形態に係るマイクロレンズアレイを概念的に示す断面図である。他の実施の形態に係るマイクロレンズアレイを概念的に示す断面図である。

符号の説明

１１レンズ部
１ａ、１１ａ非晶質部
１ａ１、１１ａ１レンズ表面
１２基質部
１３マイクロレンズ
１０、２０マイクロレンズアレイ

Claims

凸状のレンズ表面を有するレンズ部と、該レンズ部の周囲を包囲する結晶化ガラスからなる基質部とを備え、前記レンズ部は、前記基質部を構成する結晶化ガラス基質がレーザの照射によって非晶質ガラス化した非晶質部を含んでいるマイクロレンズ。
前記レンズ部の非晶質部が、−４０〜８０℃の温度範囲において、３０〜１３０×１０^-7／℃の熱膨張係数を有する請求項１に記載のマイクロレンズ。
前記基質部が、−４０〜８０℃の温度範囲において、−３０〜＋２０×１０^-7／℃の熱膨張係数を有する請求項１に記載のマイクロレンズ。
前記レンズ部の非晶質部がＬｉ₂Ｏ−Ａｌ₂Ｏ₃−ＳｉＯ₂系非晶質ガラスからなり、前記基質部がＬｉ₂Ｏ−Ａｌ₂Ｏ₃−ＳｉＯ₂系結晶化ガラスからなる請求項１〜３のいずれかに記載のマイクロレンズ。
前記基質部がβ−石英固溶体及び／又はβ−スポジュメン固溶体を主結晶相として析出してなるＬｉ₂Ｏ−Ａｌ₂Ｏ₃−ＳｉＯ₂系結晶化ガラスからなる請求項１〜４のいずれかに記載のマイクロレンズ。
前記レンズ部及び前記基質部が質量％で、ＳｉＯ₂ ５５〜７５％、
Ａｌ₂Ｏ₃ １４〜３５％、Ｌｉ₂Ｏ２〜８％、ＴｉＯ₂＋ＺｒＯ₂ ０．７〜８％を含有する請求項１〜５のいずれかに記載のマイクロレンズ。
前記レンズ部及び前記基質部が質量％で、ＳｉＯ₂ ５５〜７５％、
Ａｌ₂Ｏ₃ １４〜３５％、Ｌｉ₂Ｏ２〜８％、ＴｉＯ₂＋ＺｒＯ₂ ０．７〜５％、
ＭｇＯ０〜４％、ＺｎＯ０〜４％、ＴｉＯ₂ ０〜４％、ＺｒＯ₂ ０〜４％、
ＳｎＯ₂ ０〜４％、Ｐ₂Ｏ₅ ０〜４％、Ｎａ₂Ｏ０〜７％、Ｋ₂Ｏ０〜７％、ＢａＯ０〜７％を含有する請求項１〜６のいずれかに記載のマイクロレンズ。
前記レーザの出力が０．５〜５Ｗである請求項１〜７のいずれかに記載のマイクロレンズ。
凸状のレンズ表面を有するレンズ部と、該レンズ部の周囲を包囲する結晶化ガラスからなる基質部とを備えたマイクロレンズを製造する方法であって、結晶化ガラスからなる基材の所定領域にレーザを照射し、該レーザの照射により前記基材の所定領域の結晶化ガラス基質を非晶質ガラス化して非晶質部を生成させて、該非晶質部を含む前記レンズ部を形成するマイクロレンズの製造方法。
前記基材が、−４０〜８０℃の温度範囲において、−３０〜＋２０×１０^-7／℃の熱膨張係数を有し、β−石英固溶体及び／又はβ−スポジュメン固溶体を主結晶相として析出してなるＬｉ₂Ｏ−Ａｌ₂Ｏ₃−ＳｉＯ₂系結晶化ガラスからなる請求項９に記載のマイクロレンズの製造方法。
前記基材が、質量％で、ＳｉＯ₂ ５５〜７５％、Ａｌ₂Ｏ₃ １４〜３５％、Ｌｉ₂Ｏ２〜８％、ＴｉＯ₂＋ＺｒＯ₂ ０．７〜８％を含有してなる請求項９又は１０に記載のマイクロレンズの製造方法。
前記基材が、質量％で、ＳｉＯ₂ ５５〜７５％、Ａｌ₂Ｏ₃ １４〜３５％、Ｌｉ₂Ｏ２〜８％、ＴｉＯ₂＋ＺｒＯ₂ ０．７〜５％、ＭｇＯ０〜４％、ＺｎＯ０〜４％、ＴｉＯ₂ ０〜４％、ＺｒＯ₂ ０〜４％、ＳｎＯ₂ ０〜４％、
Ｐ₂Ｏ₅ ０〜４％、Ｎａ₂Ｏ０〜７％、Ｋ₂Ｏ０〜７％、ＢａＯ０〜７％を含有してなる請求項９〜１１のいずれかに記載のマイクロレンズの製造方法。
前記レーザの出力が０．５〜５Ｗである請求項９〜１２のいずれかに記載のマイクロレンズの製造方法。
請求項１〜８のいずれかに記載のマイクロレンズが二次元的に複数配列されたマイクロレンズアレイ。
凸状のレンズ表面を有するレンズ部と、該レンズ部の周囲を包囲する結晶化ガラスからなる基質部とを備えたマイクロレンズが二次元的に複数配列されたマイクロレンズアレイを製造する方法であって、結晶化ガラスからなる基材の複数の所定領域にレーザを照射し、該レーザの照射により前記基材の各所定領域の結晶化ガラス基質を非晶質ガラス化して非晶質部を生成させて、該非晶質部を含む前記レンズ部を形成するマイクロレンズの製造方法。
前記基材が、−４０〜８０℃の温度範囲において、−３０〜＋２０×１０^-7／℃の熱膨張係数を有し、β−石英固溶体及び／又はβ−スポジュメン固溶体を主結晶相として析出してなるＬｉ₂Ｏ−Ａｌ₂Ｏ₃−ＳｉＯ₂系結晶化ガラスからなる請求項１５に記載のマイクロレンズアレイの製造方法。
前記基材が、質量％で、ＳｉＯ₂ ５５〜７５％、Ａｌ₂Ｏ₃ １４〜３５％、Ｌｉ₂Ｏ２〜８％、ＴｉＯ₂＋ＺｒＯ₂ ０．７〜８％を含有してなる請求項１５又は１６に記載のマイクロレンズアレイの製造方法。
前記基材が、質量％で、ＳｉＯ₂ ５５〜７５％、Ａｌ₂Ｏ₃ １４〜３５％、Ｌｉ₂Ｏ２〜８％、ＴｉＯ₂＋ＺｒＯ₂ ０．７〜５％、ＭｇＯ０〜４％、ＺｎＯ０〜４％、ＴｉＯ₂ ０〜４％、ＺｒＯ₂ ０〜４％、ＳｎＯ₂ ０〜４％、
Ｐ₂Ｏ₅ ０〜４％、Ｎａ₂Ｏ０〜７％、Ｋ₂Ｏ０〜７％、ＢａＯ０〜７％を含有してなる請求項１５〜１７のいずれかに記載のマイクロレンズアレイの製造方法。
前記レーザの出力が０．５〜５Ｗである請求項１５〜１８のいずれかに記載のマイクロレンズアレイの製造方法。