JP2007162122A - 無電解方式を用いたフィルム金属メッキシステム - Google Patents

無電解方式を用いたフィルム金属メッキシステム Download PDF

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Abstract

【課題】物性を著しく改善する，無電解方式を用いたフィルム金属メッキシステムを提供する。
【解決手段】ポリイミドフィルムを供給しながら，特定工程が実施される工程実行装置と水洗を実施する水洗装置とから構成される脱脂，エッチング，中和，カップリング，触媒部が，下部メッキ，メッキなどの工程を順次実施して，フィルムの片面又は両面に伝導性金属をメッキし，伝導性金属のメッキされたフィルムを乾燥装置部によって乾燥させ，乾燥した伝導性金属メッキフィルムを巻取装置部によって巻取ロールに巻き取る。各工程を実施する時，フィルムを液状物質に浸漬させた状態で通過させ，洗浄水で洗浄させながら洗浄水に浸漬してから引き出す湿式方法によって実施する。
【選択図】図１

Description

本発明は，ロール状に巻き取られているフィルム（ポリイミドフィルム）の片面又は両面に伝導性金属を湿式方法でメッキする，無電解方式を用いたフィルム金属メッキシステムに関するものである。
伝導性金属メッキフィルム（ポリイミドフィルム）はフレキシブルプリント基板（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ Ｐｒｉｎｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ，以下‘ＦＰＣ’という）を製造するのに一番核心的な材料であって，その代表的なものとしては，フレキシブル銅張積層板（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ Ｃｏｐｐｅｒ Ｃｌａｄ Ｌａｍｉｎａｔｅ，以下‘ＦＣＣＬ’という）を挙げることができる。
通常，ＦＰＣにおいては，ポリエステル，ポリイミド，液晶ポリマー，フッ素樹脂フィルムなどを絶縁フィルム層として使用しているが，そのなかでも，耐熱性，寸法安全性及び半田付け性に優れたポリイミドフィルムが主に用いられている。
前記絶縁フィルム層（ポリイミドフィルム）の外面に積層される伝導性金属材料としては，電気抵抗が低いながらも伝導度に優れた金，銅などを挙げることができ，価格面で有利な銅が主に使用されている。
一方，ＦＣＣＬはポリイミド膜層とその外面に積層される伝導性金属層（銅簿膜層）とからなるが，ポリイミド膜層と伝導性金属層（銅簿膜層）の積層方法の観点で見ると，ポリイミド膜層・接着層・伝導性金属層（銅簿膜層）で構成された３層タイプＦＣＣＬと，ポリイミド膜層・伝導性金属層（銅簿膜層）で構成された２層タイプＦＣＣＬの２種に大別される。
しかし，前記３層タイプＦＣＣＬは，物性的な側面で見ると，回路完成後に微細パターンを形成するのに困難があり，屈曲性が低下する問題があり，さらに接着剤の低い耐熱性のため，半田付けのような高温工程を実施することができない問題があり，このような問題によって２層タイプＦＣＣＬが好まれている事情である。
ＦＣＣＬを製造する方法としては，積層製造法，キャスティング製造法，メッキなどが知られている。
前記積層製造法は，ポリイミドフィルム上に接着剤を塗布し，オーブンで焼いて接着剤を固定させ，接着剤の外側に銅簿膜を位置させた後，プレスで圧搾することで，積層されたＦＣＣＬを製造する方法である。
キャスティング製造法は，銅簿膜上に液状ポリイミドを塗布し，キャスティング加工することで，積層されたＦＣＣＬを製造する方法である。
メッキ製造法は，メッキ環境下でポリイミドフィルム上に銅層を形成することで，ＦＣＣＬを製造する方法である。
前記のようなＦＣＣＬの製造法において，積層製造法及びキャスティング製造法は，各方法に使用可能なポリイミドフィルムと接着剤の種類が制限される問題がある。
これに対し，メッキ製造法は，商用化した銅簿膜を必要としないだけでなく，メッキを実施する時，銅簿膜の厚さを調節しながら製造することができる利点がある。
しかし，現在まで知られたメッキ方法によって製造されるＦＣＣＬは，その剥離強度などの物性が他の方法で製造されるＦＣＣＬの剥離強度などの物性より落ちる問題があるから，剥離などの物性が改善されたＦＣＣＬ，すなわち伝導性メッキポリイミド基板が切実に要求されている実情である。
また，ＦＣＣＬの製造装置に取り付けられる一般的な回転ローラーは，中心に回転軸が挿入され，前記回転軸の外周面にゴムなどの材質の円筒状のローラー部が形成されている。
例えば，駆動ローラーの回転によって移送ローラーが回転するので，加工物などの被引込物は移送ローラーの回転によって次の設備に移送される。
例えば，移送ローラーが３１０ｒｐｍで回転され，回転時にはローラー部に加工物などが密着してローラー部の回転によって移送される。この時，回転されるローラー部は，装置が駆動する時に発生する熱又は摩擦熱によってローラー部の表面温度が上昇することになる。
したがって，前記ローラー部に密着される加工物などはローラー部の自体熱又はローラー部の加圧によって必要以上に前記ローラー部に接着されるので，移送ローラーが１回転した場合，加工物との接触部位が分離されなくそのままローラー部に接着された状態でさらに回転することになる。
したがって，前記移送ローラーの外周（面）に加工物などの被引込物が巻きこまれるか切れることになる問題点が発生し，液体中で移送される場合は，ローラーと加工物間の液体がまだ抜けなくて加工物がローラーから離脱するか滑る現象が発生する。
より詳しく説明すれば，液体中に装着されたローラーに巻き取られた状態でポリイミドフィルムが移動する時，ローラーは外周（面）にある水を押し出しながら回転することになる。
乾燥したローラーでは高い摩擦係数が作用するが，ローラーの外面（外周面）に液体が付いている時は，液体が潤滑作用をするため，この時の摩擦係数は非常に低くなる。
このような状況で速度を高めれば，ローラーとポリイミドフィルム間に水膜現象が発生して直接接触する部分がなくなるため，ポリイミドフィルムはローラー間で液体上に浮かぶことになり，水膜現象により，ポリイミドフィルムがローラーを通じて移動する時，ローラーで滑るスリップ現象が発生することになる。
したがって，ローラーが液体中で回転するか，あるいは外周（外周面）に液体がついている場合には，スリップ（ｓｌｉｐ）が発生してローラーが本来の機能を発揮することができなく，ローラーの外周と摩擦するフィルムにはきずが発生することになる問題がある。
本発明は，前記のような問題を解消して，物性を著しく改善する，無電解方式を用いたフィルム金属メッキシステムを提供しようとするものである。
本発明は，ロール状に巻き取られているフィルム（ポリイミドフィルム）を供給しながら，特定工程を実施する工程実行装置と水洗を実施する水洗装置とから構成される脱脂工程部，エッチング工程部，中和工程部，カップリング工程部，触媒付加工程部，下部メッキ工程部及びメッキ工程部を順次かつ連続的に実施することで，ポリイミドフィルムの片面又は両面に伝導性金属をメッキし，伝導性金属がメッキされたメッキフィルムを乾燥装置部によって乾燥させ，乾燥したメッキフィルムを巻取装置部によって巻取ロールに巻き取る，無電解方式を用いたフィルム金属メッキシステムを提供することにその目的がある。
本発明の他の目的は，供給されるフィルム（ポリイミドフィルム）を移動させながら，脱脂工程部，エッチング工程部，中和工程部，カップリング工程部，触媒付加工程部，下部メッキ工程部及びメッキ工程部に所定の液状物質を通過させた後，水洗をそれぞれ実施する時，洗浄水を噴射させながら洗浄し，液状物質の浸漬状態でフィルム（ポリイミドフィルム）を通過させ，さらに浸漬してから引き出す過程を繰り返し実施して水洗する湿式方法を実施することで，剥離などの物性が改善され２層タイプのＦＣＣＬを製造することになった，無電解方式を用いたフィルム金属メッキシステムを提供することにある。
本発明のさらに他の目的は，フィルム（ポリイミドフィルム）を移動させながら，脱脂工程部，エッチング工程部，中和工程部，カップリング工程部，触媒付加工程部，下部メッキ工程部，メッキ工程部で所定の液状物質に浸漬させて通過させる時，各工程の特性によって浸漬時間（通過時間）を短く又は長く実施して，各工程の特性を効率的に実施することができ，液状物質から引き出されて水洗過程に移動するフィルム（ポリイミドフィルム）の両面を圧搾ローラーでスクイージングすることにより，液状物質を均一な厚さで塗布させることになった，無電解方式を用いたフィルム金属メッキシステムを提供することにある。
本発明のさらに他の目的は，フィルム（ポリイミドフィルム）を供給する巻出工程と排出する巻取工程を実施する時，固定ローラー間に取り付けられる稼働ローラーを上下に移動させて張力を調節することにより，フィルム（ポリイミドフィルム）が捩れるか歪むことなく移送されるようにし，工程部の所定位置に一つ以上の補助駆動装置を離隔させて取り付けることにより，フィルム（ポリイミドフィルム）を円滑に移送させることになった，無電解方式を用いたフィルム金属メッキシステムを提供することにある。
本発明のさらに他の目的は，各工程部の工程装置と水洗装置において，液体（液状物）の内部に取り付けられてフィルム（ポリイミドフィルム）を移送させるローラー（移送ローラー，洗浄ローラー，脱水ローラー）の外周（面）に多様な形態の溝を一定に形成することにより，ローラーによってフィルム（ポリイミドフィルム）を移送させる時，フィルム（ポリイミドフィルム）とローラー間に位置する液体が溝に流入して水膜現象を発生しないようにすることで，フィルム（ポリイミドフィルム）がローラーで滑るか又は離脱してスリップする現象を防止することになった，無電解方式を用いたフィルム金属メッキシステムを提供することにある。
上述した本発明の目的は，フィルムを供給しながら外面に伝導性金属を被覆させるフィルム金属メッキシステムにおいて，基板ロールに巻き取られたフィルムを剥離紙から分離させながら張力を調節して移送させる巻出装置が備えられた巻出工程部と；前記巻出工程部から供給されるフィルムの表面を脱脂装置と水洗装置によって脱脂し水洗させて異物を除去する脱脂工程部と；異物が除去されて移送されるフィルムの表面を第１エッチング装置及び第２エッチング装置と水洗装置によって繰り返してエッチング及び水洗するエッチング工程部と；前記表面がエッチングされて移送されるフィルムを中和装置と水洗装置によって中和及び水洗する中和工程部と；前記中和されて移送されるフィルムの表面をカップリング装置と酸洗装置によってカップリング剤と酸でカップリングして洗浄するカップリング工程部と；前記表面がカップリングされて移送されるフィルムに活性化装置と水洗装置によって触媒を吸着させ，水洗する触媒付加工程部と；前記触媒が吸着されて移送されるフィルムの表面に，下部メッキ装置と水洗装置によって第１伝導性金属膜を形成し，水洗する下部メッキ工程部と；前記第１伝導性金属膜が表面に形成されて移送されるフィルムに，電流が印加されるメッキ装置と水洗装置によって第２伝導性金属膜を形成するメッキ工程部と；前記第２伝導性金属膜が形成されて移送されるフィルムを乾燥装置によって乾燥させる乾燥工程部と；所定工程部の中間に補助駆動装置を取り付けて，移送されるフィルムに移送力を加える補助駆動部と；前記第２伝導性金属膜が完全に乾燥して形成される伝導性金属メッキフィルムに巻取装置によって剥離紙を加え，張力を調節しながら巻取ロールに巻き取る巻取工程部と；を含むことを特徴とする，無電解方式を用いたフィルム金属メッキシステムによって達成される。
以上のように，本発明による無電解方式を用いたフィルム金属メッキシステムは，ロール状に巻き取られているフィルム（ポリイミドフィルム）を供給しながら，特定工程が実施される工程実行装置と水洗を実施する水洗装置とから構成される脱脂工程部，エッチング工程部，中和工程部，カップリング工程部，触媒付加工程部，下部メッキ工程部及びメッキ工程部を順次かつ連続的に実施して，フィルムの片面又は両面に伝導性金属をメッキし，伝導性金属のメッキされたフィルムを乾燥装置部によって乾燥させ，乾燥したメッキフィルムを巻取装置部によって巻取ロールに巻き取ることになったものである。したがって，フィルムを移動させながら各工程を実施する時，液状物質の浸漬状態でフィルムを通過させ，洗浄水に浸漬してから引き出す過程を繰り返す湿式方法を実施することで，剥離強度などの物性が改善した２層タイプのＦＣＣＬを製造することができる。また，各工程で所定の液状物質に浸漬されたフィルムを圧搾ローラーによってスクイージングすることにより，液状物質を均一な厚さで塗布させることができる。また，フィルムを供給する巻出工程と排出する巻取工程を実施する時，固定ローラー間に取り付けられる稼働ローラーを上下に移動させて張力を調節するので，フィルムが捩れるか歪むことなく移送されるようにすることができる。さらに，工程部の所定位置に一つ以上の補助駆動装置を離隔させて取り付けたので，フィルムを円滑に移送させることができる。
以下に添付図面を参照しながら，本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお，本明細書及び図面において，実質的に同一の機能構成を有する構成要素については，同一の符号を付することにより重複説明を省略する。
本発明は，ロール状に巻き取られているフィルム（ポリイミドフィルム）を供給しながら，特定工程を実施する工程実行装置と水洗を実施する水洗装置とから構成される脱脂工程，エッチング工程，中和工程，カップリング工程，触媒付加工程，下部メッキ工程，メッキ工程を順次かつ連続的に実施して，フィルム（ポリイミドフィルム）の片面又は両面に伝導性金属を湿式方法でメッキし，伝導性金属がメッキされたフィルム（ポリイミドフィルム）を乾燥装置で乾燥させ，乾燥したメッキフィルム（ポリイミドフィルム）を巻取装置によって巻取ロールに巻き取る，無電解方式を用いたフィルム金属メッキ製造システムに関するものである。
添付図面の図１〜図１３ｂは本発明による無電解方式フィルム金属メッキシステム１を示す例示図であって，図１は本発明を示す工程図，図２〜図７は本発明の要部をそれぞれ拡大して示す部分拡大図，図８ａ〜図１３ｂは本発明の各工程の実行装置と水洗装置に取り付けられるローラーの多様な実施例を示す斜視図及び正面図である。
本発明による無電解方式フィルム金属メッキシステム１は，基板ロール１１１に巻き取られたフィルム５を移送（供給）させる巻出工程部２と；移送されるフィルム５の表面を脱脂する脱脂工程部１０と；脱脂されたフィルム５の表面を繰り返してエッチングするエッチング工程部２０と；表面がエッチングされたフィルム５を中和させる中和工程部３０と；中和されたフィルム５をカップリングするカップリング工程部４０と；表面がカップリングされたフィルム５に触媒を吸着させる触媒付加工程部５０と；触媒の吸着されたフィルム５によって第１伝導性金属膜を表面に形成する下部メッキ工程部６０と；第１伝導性金属膜が形成されたフィルム５に第２伝導性金属膜を形成するメッキ工程部７０と；第２伝導性金属膜が形成されたフィルム５を乾燥させる乾燥工程部８０と；所定工程部の中間に取り付けられて，移送されるフィルム５に移送力を加える補助駆動部９０と；乾燥形成された伝導性金属メッキポリイミド基板７を巻取ロール４６０に巻き取る巻取工程部３と；を順次形成してなる。
（基板ロール１１１に巻き取られたフィルム５を供給する巻出工程部２）
前記巻出工程部２は，図２に示すように，巻出装置１００で形成したが，前記巻出装置１００は次のように形成した。
巻出装置フレーム１０１を直方体形状に形成し，底板底面の各角部には通常の支持脚１０２及びキャスター１０３をそれぞれ取り付けて，容易な運搬及び固定取り付けを可能にした。
巻出装置フレーム１０１の内部の入口側には基板ロール装着台１１０を取り付け，基板ロール装着台１１０の上側及び下側には，フィルム５から剥離される剥離紙６を巻いて回収する剥離紙回収ロール１１２と，フィルム５及び剥離紙６が連接して巻き取られた基板ロール１１１とを脱着可能に取り付けた。
巻出装置フレーム１０１の内部中間にはテーブル１３１を取り付け，テーブル１３１の上側には，供給誘導ロール１２０と，線供給される端部連結装置１７０及び方向転換ロール１３０とを順次取り付け，内部下側には起動モーター１１３を取り付けることで，具体的には図示されていないが，プーリーとベルト又はスプロケットとチェーンを用いて，基板ロール１１１が装着される回転軸を回転させることにより，基板ロール１１１に巻き取られたフィルム５を巻き出して後続工程部に供給するようにした。
前記供給誘導ロール１２０によっては，基板ロール１１１から供給されるフィルム５を誘導し，端部連結装置１７０によっては，先に供給されるフィルム５の後端と後に供給されるフィルム５の先端を一体型に融着させるようにし，方向転換ロール１３０によっては，供給されるフィルム５を上向きに方向転換させて供給するようにした。
巻出装置フレーム１０１の内部後半には，フィルム５の張力を調整する張力調整装置を取り付けたが，上側には複数の固定ローラー１４０を等間隔で離隔させて軸設し，固定ローラー１４０間には稼働ローラー１５０を上下に移動可能に取り付け，稼働ローラー１５０を移動部１５１に軸設し，移動部１５１の両側にガイドレール１６０を垂直に取り付け，移動部１５１をガイドレール１６０に結合させ，移動部１５１を上下に移動させて稼働ローラー１５０の高さを調整（移動）しながら固定させるようにした。
（フィルム５の表面を脱脂させる脱脂工程部１０）
脱脂工程部１０はフィルム５の表面に付着するか形成された不純物（汚染物，油脂分，人の指紋など）を除去する工程部であって，フィルム５の表面に付着した不純物を除去させなければ，ＦＣＣＬの剥離強度（Ｐｅｅｌ Ｓｔｒｅｎｇｔｈ）が低下するから，これを防止するためのものである。
図３に示すように，フィルム５の表面に付着した不純物（汚染物，油脂分，人の指紋など）を除去する脱脂装置１１と，脱脂されたフィルム５を洗浄水で水洗する水洗装置１２とから構成した。
脱脂装置１１の機能装置フレーム２００と水洗装置１２の水洗装置フレーム３００は分離して形成するか，あるいは図示のように一体型に形成することができる。
底板底面の各角部には，通常の支持脚２０１とキャスター２０２をそれぞれ取り付けて容易な運搬及び固定取り付けを可能にし，装置フレームの中間を分割壁２０３で左右にで分割して脱脂装置１１と水洗装置１２に分割し，分割壁２０３の上端と機能装置フレーム２００及び水洗装置フレーム３００の上側先／後端に，カバー２０７が被せられた転移ローラー２０５をそれぞれ取り付けて，フィルム５の引込み又は排出を誘導するようにした。
脱脂装置１１は，機能装置フレーム２００の内部上側に上方に開放される液状槽２１０を支持部２０４によって取り付け，液状槽２１０には液状物質２５０として脱脂液を充填させ，液状槽２１０の内部には移送ローラー２１１を等間隔で維持させるとともに上下に分割して取り付けるが，脱脂液に充分に漬かるように取り付けて，フィルム５が脱脂液の内部から上下にジグザグに誘導されながら移送されるようにした。
最後端に位置する移送ローラー２１１の上側で，脱脂液の上部には，一体のローラー２３１で構成されたスクイージング部２３０を取り付けて，フィルム５がローラー２３１間を通過するようにすることにより，フィルム５の外面に接着した脱脂液をスクイージングさせるようにした。
水洗装置１２は，水洗装置フレーム３００の内部上側に支持部３０２，３０１を上下に離隔させて取り付け，支持部３０２の上側には仕切り壁体３１４によって内部が複数の第１，第２，第３水洗室３１１，３１２，３１３に分割された水洗槽３１０を取り付け，支持部３０１の上側にはポンピングモーター３５０を取り付けて，水洗槽３１０に洗浄水を供給することで，洗浄水を一定に維持させるようにした。
前記第１，第２，第３水洗室３１１，３１２，３１３の内部には，充填された洗浄水３４０に充分に漬かるように，洗浄ローラー３２０をそれぞれ取り付け，仕切り壁体３１４の上側には脱水ローラー３３０をそれぞれ取り付け，フィルム５が洗浄ローラー３２０を通過する時に洗浄され，脱水ローラー３３０を通過する時に脱水される過程が繰り返して実施されるようにした。
特に，第１水洗室３１１と第３水洗室３１３には噴射洗浄装置３６０とスクイージング装置３７０をそれぞれ取り付けた。
前記第１水洗室３１１に取り付けられる噴射洗浄装置３６０は，洗浄ローラー３２０の前方で，洗浄水の上側には噴射ノズル３６１，３６２を対向するように装着させ，第１水洗室３１１に引き込まれるフィルム５を噴射ノズル３６１，３６２間に通過させることで，フィルム５の両面に付着した脱脂溶液を噴射ノズル３６１，３６２から噴射される洗浄水によって洗浄するようにした。
また，第３水洗室３１３に取り付けられるスクイージング装置３７０は，洗浄ローラー３２０の後方で，洗浄水の上側には一体のスクイージングローラー３７１，３７２を斜めに対向するように装着し，スクイージングローラー３７１，３７２はスポンジ又は発泡樹脂のような弾性力がある軟質材で形成し，洗浄ローラー３２０の上側に通過するフィルム５を軟質材のスクイージングローラー３７１，３７２間に通過させることで，フィルム５の外面に付着した洗浄水を吸収して全く除去するようにした。
前記液状槽２１０に充填される液状物質２５０の脱脂液はその成分が厳しく制限されないが，通常アルカリリンス又はシャンプーを挙げることができ，脱脂は２０〜２８℃の温度範囲で約５分間実施するのが望ましいが，２０℃以下で脱脂を実施すれば，脱脂液の非活性化によって脱脂効果を十分に得ることができない反面，２８℃以上で脱脂を実施すれば工程処理時間の調節に困難がある。
（脱脂されたフィルム５の表面をエッチングするエッチング工程部２０）
前記エッチング工程部２０はエッチング溶液でエッチングを実施してフィルム５の表面を改質処理する工程部であって，第１エッチング工程部２１と第２エッチング工程部２２から構成し，第１エッチング工程部２１と第２エッチング工程部２２は，第１エッチング装置２３と水洗装置２４，及び第２エッチング装置２５と水洗装置２６でそれぞれ構成した。
前記第１エッチング工程部２１の第１エッチング装置２３と第２エッチング工程部２２の第２エッチング装置２５及び各水洗装置２４，２６は，図３に示すように，脱脂工程部１０の脱脂装置１１及び水洗装置１２と同一構造に形成したので，これら構成（構造）についての具体的な説明は省略する。
前記第１エッチング装置２３と第２エッチング装置２５の各液状槽２１０に充填される液状物質２５０としてのエッチング溶液としては，クロム（無水クロム酸），硫酸，アルカリ（ＫＯＨ，エチレングリコール及びＫＯＨ混合溶液）などを挙げることができる。
特に，第１エッチング装置２３に充填される第１エッチング溶液がクロムの場合には，図４に示すように，液状槽２１０の内部に取り付けられる移送ローラー２１１を他の装置より遥かに多く取り付けることで，クロム溶液によってエッチングが充分になされるようにした。
エッチング工程は，４５〜５０℃の温度範囲で５〜７分間エッチング溶液に浸漬して実施するのが望ましいが，エッチング工程の温度が４５℃以下の場合には，エッチング溶液の活性が低くてエッチング効果を充分に果たすことができなく，さらに長期間の反応によってポリイミドフィルム５の膜上に部分的に損傷が発生することができ，５０℃以上の場合には，エッチングが急激に進行してフィルム５の表面全体に対する均一性が低下し，連続性の速度調節に困難がある。
本エッチング工程部２０によってエッチングを実施することにより，フィルム５の表面は，後にメッキ工程を実施する時，メッキ層とポリイミド層の密着を極大化して剥離強度を増大させることができ，ポリイミドリングが開裂とにかいアミド基（−ＣＯＮＨ）又はカルボキシル基（−ＣＯＯＨ）に転換されて反応性を増加向上させることができる。
（表面がエッチングされたフィルム５を中和させる中和工程部３０）
本中和装置部３０はエッチング工程部２０によって表面が改善したフィルム５の表面を中和処理する工程部であって，中和溶液が充填されて中和が実施される中和装置３１と，中和溶液を水洗する水洗装置３２とから構成した。
前記中和装置３１及び水洗装置３２は，図３に示すように，脱脂工程部１０の脱脂装置１１及び水洗装置１２と同一構造にそれぞれ形成したので，これら構成についての具体的な説明は省略する。
前記中和装置３１の液状槽２１０に充填される液状物質２５０としての中和溶液は，エッチング工程部２０で使用されたエッチング溶液がアルカリの場合には，酸性中和溶液を充填して中和させ，エッチング溶液が酸性の場合には，アルカリ中和溶液を充填して中和させ，特に１０〜３０℃温度範囲で温度を維持させながら実施することが望ましい。
中和装置３１の中和溶液によって中和を実施すれば，エッチング工程部２０の稼動によって存在するアミド基（−ＣＯＮＨ）又はカルボキシル基（−ＣＯＯＨ）に相互作用して存在し得るＫ＋イオン又はＣｒ３＋イオンを酸性溶液のＨ＋で置き換えて除去することになる。
フィルム５の表面にＫ＋イオン又はＣｒ３＋イオンが残留することになれば，後工程のカップリング工程（極性付与工程）を実施する時，残留するＫ＋イオン又はＣｒ３＋イオンが極性を付与するためのカップリングイオンと競争して，カップリングイオンがアミド基又はカルボキシル基と反応することを妨害することになる。
特に，中和を実施する時，中和溶液の温度を１０℃以下に維持すれば，反応液の活性が低下して，目的とする中和効果を効果的に達成することができないだけでなく，フィルム５が部分的に損傷する現象が著しく現われる反面，中和溶液の温度を３０℃以上に維持すれば，反応が急激に進行して，全体的な均一性及び連続性の調節が難しくなることになる。
（中和されたフィルム５をカップリングするカップリング工程部４０）
本工程部は中和工程部３０で改質されたフィルム５の表面にカップリング溶液で反応させて極性を付与する工程部であって，後のメッキ工程の進行を円滑にし，製品の剥離強度を向上させることになる。
カップリング工程部４０は，エッチング工程部２０によってフィルム５の表面に形成されたイミドリングが開裂された部位にカップリングイオンを結合させてフィルム５上に極性を付与するカップリング装置４１と，カップリングされたフィルム５を酸性溶液で洗浄する酸洗装置４２とから構成した。
前記カップリング装置４１及び酸洗装置４２は，図３に示すように，脱脂工程部１０の脱脂装置１１及び水洗装置１２と同一構造にそれぞれ形成したので，これら構成についての具体的な説明は省略する。
前記カップリング装置４１の液状槽２１０には，液状物質２５０のカップリング溶液としてシラン系カップリング剤又はアミン系カップリング剤を充填した。
アミン系カップリング剤としては，水酸化ナトリウム及びモノメタルアミンを混合させて製造されるアルカリ系カップリング剤と，エチル及び塩酸を混合させて製造される酸系カップリング剤とを挙げることができる。
本カップリング工程は，使用されるカップリング剤の特性によってその反応条件が変わることになり，シラン系カップリング剤を使用する場合には，およそ２５〜３０℃の温度で５〜７分間浸漬させて行うことが望ましい。
また，前記カップリング装置４１によってカップリング（極性付与）されたフィルム５を酸洗装置４２によって常温で維持される酸（酸性）溶液で洗浄（浸漬洗浄）して，表面の開裂部位に結合されないカップリングイオンを除去することになる。
酸洗装置４２によって酸洗を実施する時，工程が長くなるか又は酸性溶液があまり強い酸性溶液の場合には，結合されたカップリングイオンも除去することができるので，反応条件を調節して適切に維持させることが望ましい。
（フィルム５に触媒を吸着させる触媒付加工程部５０）
本工程部は前記カップリング工程部４０によってカップリング（極性付与）されたフィルム５を触媒溶液に浸漬させてフィルム５の表面に金属触媒を吸着させる工程である。
触媒付加工程部５０はフィルム５の表面に触媒溶液を吸着させる活性化装置５１と活性化物質を水洗する水洗装置５２とから構成した。前記活性化装置５１及び水洗装置５２は，図３に示すように，脱脂工程部１０の脱脂装置１１及び水洗装置１２と同一構造にそれぞれ形成したので，これら構成についての具体的な説明は省略する。
前記活性化装置５１の液状槽２１０には，液状物質２５０の触媒溶液として塩化パラジウム（ＰｄＣｌ２）と塩化第一スズ（ＳｎＣｌ２）を塩酸に１：１の体積割合で希釈して充填させる。
触媒付加工程を実施する時，液状槽２１０に取り付けられる移送ローラー２１１をあまり小さく取り付けて反応時間が短すぎることになれば，フィルム５の表面への触媒溶液の吸着率が低いため，目的とする触媒効果を得ることができなく，移送ローラー２１１をあまり多く取り付けて反応時間が長すぎることになれば，工程液中で塩酸によってフィルム５の表面が腐食する逆效果が発生することになり，よって移送ローラー２１１を適切に取り付けて反応時間を最も効率よく維持させることが望ましい。
（フィルム５の表面に第１伝導性金属膜を形成する下部メッキ工程部６０）
本工程部は触媒が付加されたフィルム５を下部メッキ溶液に浸漬させて第１伝導性金属膜をメッキする工程である。
本下部メッキ工程部６０は，浸漬法によってフィルム５の表面に下部メッキ溶液をメッキする下部メッキ装置６１と，メッキが実施された後に水洗する水洗装置６２とから構成した。前記下部メッキ装置６１及び水洗装置６２は，図３に示すように，脱脂工程部１０の脱脂装置１１及び水洗装置１２と同一構造にそれぞれ形成したので，これら構成についての具体的な説明は省略する。
前記下部メッキ装置６１の液状槽２１０には，液状物質２５０の下部メッキ溶液として，ＥＤＴＡ水溶液，苛性ソーダ水溶液，ホルマリン水溶液及び硫酸銅水溶液を混合させて製造した硫酸銅下部メッキ水溶液，次亜燐酸ナトリウム，枸椽酸ナトリウム，アンモニア及び硫酸ニッケル水溶液を混合させて製造した硫酸ニッケル下部メッキ水溶液を充填させる。
下部メッキ水溶液に光沢剤成分及び安定剤成分を添加させて金属物性を極大化させることができ，このように添加される光沢剤及び安定剤は下部メッキ溶液をリサイクルし長期間保存することができるようにする。
下部メッキ水溶液として硫酸銅下部メッキ水溶液を使用する場合には，電流を印加せずに３８〜４２℃の温度範囲で２５〜３０分間触媒の付加されたフィルム５を浸漬させて行う無電解メッキ方式で実施することができるが，下部メッキの厚さはメッキ時間を調節することにより，下部メッキ膜（第１伝導性金属膜）の厚さを適切に形成することができる。
前記のように下部メッキを実施する時，反応温度がおよそ３８℃以下の場合には，メッキ溶液の活性が低くて（活発でなくて）メッキ未形成部分が発生するか又はメッキが部分的に進行して下部メッキ層を形成することができなくなり，一方，４２℃以上の場合には，メッキが急激に進行するため，下部メッキ膜（第１伝導性金属膜）が均一でなくて密着性も落ちることになる。
また，下部メッキ水溶液として硫酸ニッケル下部メッキ水溶液を使用する場合には，触媒が付加されたフィルム５を３５〜４０℃の温度範囲でおよそ２分間浸漬させて実行することになる。
本工程は後続のメッキ工程を円滑に遂行するための下部メッキであって，およそ０．１μｍ〜０．２μｍの厚さで下部メッキ膜（第１伝導性金属膜）を形成することが望ましく，メッキ未形成部分が消えるほどに行ってもかまわない。
（第１伝導性金属膜が形成されたフィルム５に第２伝導性金属膜を形成するメッキ工程部７０）
本工程部は下部メッキ膜（第１伝導性金属膜）が形成されたフィルム５をメッキ溶液に浸漬させ，電流を印加させながらメッキを実施して第２伝導性金属膜を蒸着（形成）させる工程部であって，メッキが実行される電解メッキ装置７１と，メッキ溶液を水洗する水洗装置７２とから構成した。
前記電解メッキ装置７１と水洗装置７２は，図３に示すように，脱脂工程部１０の脱脂装置１１及び水洗装置１２と同一構造にそれぞれ形成したので，これら構成についての具体的な説明は省略する。
前記電解メッキ装置７１の液状槽２１０には，液状物質２５０のメッキ溶液として，市販のメッキ溶液（Ｅｎｔｈｏｎｅ ＯＭＩ，喜星金属，ＮＭＰなど）を充填させるか，又は硫酸銅水溶液（ＣｕＳＯ４−Ｈ２Ｏ）と硫酸（Ｈ２ＳＯ４）及び塩酸(ＨＣｌ)混合溶液を水（イオン交換水）で希釈させて製造したメッキ溶液を充填させることができ，このようなメッキ溶液に光沢剤及び添加剤を少量添加することができる。
前記電解メッキ装置７１によってフィルム５をメッキ溶液に浸漬させて第２伝導性メッキ膜をメッキする時，およそ４０〜４５℃の温度範囲で２Ａ／ｄｍ２の電流を加えながら約３０分間メッキを行うことにより，銅メッキ膜（第２伝導性メッキ膜）がメッキされたポリイミドフィルム５が形成される。
前記のようにメッキを実施する時，電解メッキ装置７１のメッキ溶液を活発に撹拌させてメッキ溶液の濃度を均一に維持させることが望ましく，メッキ条件は，収得しようとする銅メッキ膜（第２伝導性金属膜）の厚さによって適切に調節することができる。
（第２伝導性金属膜が形成されたフィルム５を乾燥させる乾燥工程部８０）
本工程部はメッキ工程部７０によって銅メッキ膜（第２伝導性金属膜）がメッキ（蒸着）されたフィルム５を乾燥装置４００によって乾燥させて，最終目的物である伝導性金属メッキフィルム７，つまり２層構造のＦＣＣＬを得る工程部である。
前記乾燥装置４００は図６に示すように形成した。
乾燥装置フレーム４０１を直方体形状に形成し，乾燥装置フレーム４０１の上部両端には引込み用転移ローラー４０４と排出用転移ローラー４０５をそれぞれ装着して伝導性金属メッキフィルム７を乾燥装置フレーム４０１の内部に引き込み，内部から外部（後続工程）に排出するようにし，乾燥装置フレーム４０１の底板底面の角部には通常の支持脚４０２とキャスター４０３をそれぞれ取り付けることで，乾燥装置フレーム４０１の容易な移動，運搬及び固定取り付けを可能にした。
乾燥装置フレーム４０１の内部中間とその上側には加熱室４１０と乾燥室４２０を形成し，加熱室４１０には，具体的に図示しなかったが，電熱器のような加熱装置を取り付け，乾燥室４２０の内部には移送ローラー４２１を等間隔で上下に繰り返して取り付けるが，他の装置の移送ローラー２１１より多く取り付けることで，引込み用転移ローラー４０４から引き込まれる伝導性金属メッキフィルム７を上下にジグザグに通過させてまったく乾燥させるようにし，完全に乾燥した伝導性金属メッキフィルム７は排出用転移ローラー４０５を通じて外部（後続工程）に排出するようにした。
（所定工程部の中間に取り付けられて，移送されるフィルム５に移送力を加える補助駆動部９０）
前記のように構成される脱脂工程部１０ないし乾燥工程部８０の所定の位置に取り付けて，移送されるフィルム５に補助駆動を加えてフィルム５を円滑に移送させるようにした。
前記補助駆動部９０は，図５に具体的に示すように，一つの起動ローラー６１０と複数の連動ローラー６２０を装置フレームの上側に軸設し，フィルム５をジグザグにかけるようにし，起動ローラー６１０の軸を補助駆動モーター６３０の回転軸に連結して起動ローラー６１０を回転させるようにし，起動ローラー６１０が回転しながら移送させるフィルム５によって連動ローラー６２０が回転することにより，フィルム５が歪まなくて平行状態を維持しながら移送されるようにした。
前記補助駆動装置９０は，図１及び図５に示すように，中和工程部３０の水洗装置３２とカップリング工程部４０のカップリング装置４１との間に取り付けるか，あるいはメッキ工程部７０の水洗装置７２と乾燥工程部７０の乾燥装置４００との間に取り付けることができ，また具体的に図示しなかったが，位置にかかわらず他の装置部にも取り付けることができる。
（乾燥形成された伝導性金属メッキフィルム７を巻取ロール４６０に巻き取る巻取工程部３）
前記工程部は乾燥装置４００を通過しながら完全に乾燥して最終目的物に形成された伝導性金属メッキフィルム７を巻取装置５００によって巻取ロール５７０に巻き取る工程部である。
前記巻取装置５００は図７に示すように形成した。
巻取装置フレーム５０１を直方体状に形成し，底板底面の各角部には通常の支持脚５０２とキャスター５０３をそれぞれ取り付けて，容易な移動及び固定取り付けを可能にした。
巻取装置フレーム５０１の内部の入口上側部には複数の移送ローラー５１０を上下に反復的に取り付けることにより，引き込まれる伝導性金属メッキフィルム７が捩れるか歪むことなく安定した状態を維持するようにした。
移送ローラー５１０の排出側（内側）には伝導性金属メッキフィルム７の張力を調整する張力調整装置を取り付け，上側には一体の固定ローラー５２０を離隔させて軸設し，固定ローラー５２０間には稼働ローラー５３０を上下に移動可能に取り付ける。この際，稼働ローラー５３０を移動部５３１に軸設し，移動部５３１の両側にガイドレール５４０を垂直に取り付けて移動部５３１をガイドレール５４０に結合させ，移動部５３１を上下に移動させて稼働ローラー５３０の高さを調整（移動）しながら固定させるようにした。
前記張力調節装置の排出側にテーブル５５２を取り付け，テーブル５５２の上面両側には方向転換ローラー５５０と排出ローラー５５１を取り付けた。
方向転換ローラー５５０と排出ローラー５５１が取り付けられたテーブル５５２の外側には巻取ロール装着台５６０を取り付け，巻取ロール装着台５６０の上側と下側には剥離紙８を供給する剥離紙供給ロール５８０と，前記剥離紙８と伝導性金属メッキフィルム７を連接させて一緒に巻き取る巻取ロール５７０とを脱着可能に取り付けた。
テーブル５５２の内部下側には起動モーター５５３を取り付けることにより，具体的に図示しなかったが，プーリーとベルト又はスプロケットとチェーンなどのような伝動手段を用いて前記巻取ロール５７０を回転させるようにした。
特に，本発明による無電解方式フィルム金属メッキシステム１は，脱脂工程部１０の脱脂装置１１と水洗装置１２，第１エッチング工程部２１及び第２エッチング工程部２２の第１エッチング装置２３と第２エッチング装置２５及び水洗装置２４，２６，中和工程部３０の中和装置３１と水洗装置３２，カップリング工程部４０のカップリング装置４１と酸洗装置４２，触媒付加工程部５０の活性化装置５１と水洗装置５２，下部メッキ工程部６０の下部メッキ装置６１と水洗装置６２，メッキ工程部７０のメッキ装置７１と水洗装置７２にそれぞれ取り付けられる移送ローラー２１１，洗浄ローラー３２０及び脱水ローラー３３０を，図８ａ〜図１３ｂに示すように，ローラーの外周面に多様な形態の溝を形成することにより，移送されるフィルム５がスリップしないようにした。
図８ａ及び図８ｂは，外周Ｃに溝Ｇが一定に形成された移送ローラー２１１，洗浄ローラー３２０及び脱水ローラー３３０の第１実施例を示す斜視図及び正面図である。
図８ａの斜視図に示すように，円柱状に形成された移送ローラー２１１，洗浄ローラー３２０及び脱水ローラー３３０の外周Ｃには，一側端から他側端まで所定幅の溝Ｇを時計方向のコイル状に形成し，コイル状に形成される溝Ｇと溝Ｇ間を一定間隔で維持し，一定間隔で維持される溝Ｇと溝Ｇ間には外周Ｃが突出部Ｐとして形成されるようにした。
したがって，移送ローラー２１１，洗浄ローラー３２０及び脱水ローラー３３０を正面から見れば，図８ｂに示すように‘Ｓ’字形を維持する複数の溝Ｇが一定間隔で維持されて配列される。
図９ａ及び図９ｂは外周Ｃに溝Ｇが一定に形成された移送ローラー２１１，洗浄ローラー３２０及び脱水ローラー３３０の第２実施例を示す斜視図及び正面図である。
円柱状に形成された移送ローラー２１１，洗浄ローラー３２０及び脱水ローラー３３０の外周Ｃには‘Ｖ’字形になった複数の溝Ｇを前後に一定間隔で形成する。この際，一側端の所定位置と他側端の所定位置との間に‘Ｖ’字形の溝Ｇを一定間隔で形成し，‘Ｖ’字形の溝Ｇと溝Ｇ間には外周Ｃが突出部Ｐとして形成されるようにした。
図１０ａ及び図１０ｂは外周Ｃに溝Ｇが一定に形成された移送ローラー２１１，洗浄ローラー３２０及び脱水ローラー３３０の第３実施例を示す斜視図及び正面図である。
円柱状に形成された移送ローラー２１１，洗浄ローラー３２０及び脱水ローラー３３０の外周Ｃには，一側端から他側端まで所定幅を維持する時計方向の第１溝Ｇ１と反時計方向の第２溝Ｇ２を互いに繰り返してコイル状に形成して，コイル状の第１溝Ｇ１と第２溝Ｇ２が互いに繰り返して交差する‘Ｘ’字形になるようにし，前記のように形成される溝Ｇ１，Ｇ２と溝Ｇ１，Ｇ２間には外周Ｃが突出部Ｐとして形成されるようにした。
前記のように第１溝Ｇ１と第２溝Ｇ２が繰り返して交差する‘Ｘ’字形に形成すれば，図１０ｂに示すように，正面から見ると，第１溝Ｇ１と第２溝Ｇ２はローラーの外周面の上側母線と下側母線で互いに合うサイン（ＳＩＮ）波形の曲線に形成され，サイン波形の曲線に形成される第１溝Ｇ１と第２溝Ｇ２は一定間隔を維持して複数形成される。
図１１ａ及び図１１ｂは外周Ｃに溝Ｇが一定に形成された移送ローラー２１１，洗浄ローラー３２０及び脱水ローラー３３０の第４実施例を示す斜視図及び正面図である。
円柱状に形成された移送ローラー２１１，洗浄ローラー３２０及び脱水ローラー３３０の外周Ｃには，一側端から他側端まで所定幅を維持する‘一’字形の溝Ｇを形成する。この際，外周Ｃの横（長手）方向に複数の一字型溝Ｇを一定間隔で平行に（並んで）形成し，一字型の溝Ｇと溝Ｇ間には，外周Ｃが突出部Ｐとして形成されるようにした。
特に，図８ａ，図８ｂ，図９ａ，図９ｂ，図１０ａ，図１０ｂ，図１１ａ及び図１１ｂに示すように，移送ローラー２１１，洗浄ローラー３２０及び脱水ローラー３３０の各外周Ｃに形成される溝Ｇは，その断面を‘Ｖ’形，‘Ｕ’形などに多様に形成することができる。
図１２ａ及び図１２ｂは外周Ｃに凹部Ｇが一定に形成された移送ローラー２１１，洗浄ローラー３２０及び脱水ローラー３３０の第５実施例を示す斜視図及び正面図である。
円柱状に形成された移送ローラー２１１，洗浄ローラー３２０及び脱水ローラー３３０の外周Ｃには所定深さ及び直径に形成される円形凹部Ｇを一定間隔で横方向に形成して直線状（横方向）の凹部線が形成されるようにする。この際，円形凹部Ｇによって形成される直線状（横方向）凹部線を一定間隔で上下に繰り返して形成して多数の直線状（横方向）凹部線が互いに平行に（並んで）形成されるようにし，等間隔で形成される円形凹部Ｇを除いた外周Ｃが突出部Ｐとして形成されるようにした。
図１３ａ及び図１３ｂは外周Ｃに溝Ｇが一定に形成された移送ローラー２１１，洗浄ローラー３２０及び脱水ローラー３３０の第６実施例を示す斜視図及び正面図である。
円柱状に形成された移送ローラー２１１，洗浄ローラー３２０及び脱水ローラー３３０の外周Ｃには，一側端から他側端まで断面が半円形になり，横方向に一字型になった突出部Ｐを繰り返して形成して，半円形突出部Ｐ間に溝Ｇが形成されるようにした。
すなわち，移送ローラー２１１，洗浄ローラー３２０及び脱水ローラー３３０の外周Ｃには，左右に（長手方向に）長い半円形突出部Ｐと溝Ｇを繰り返して形成して，図１３ｂに示すように，正面から見る時，半円形突出部Ｐは四角形の形態を表し，溝Ｇは直線の形態を表すようにした。
以下，前記のように構成された本発明による無電解方式フィルム金属メッキシステム１の作動原理を説明する。
本発明による無電解方式フィルム金属メッキシステム１は，図２に示すように，巻出工程部２の巻出装置１００において，基板ロール装着台１１０には，剥離紙６を回収して巻き取ることができる剥離紙回収ロール１１２と，剥離紙６とフィルム５が連接して巻き取られた基板ロール１１１とを装着させる。
基板ロール１１１を回転させてフィルム５を巻き出し，供給誘導ロール１２０と方向転換ロール１３０を経って固定ロール１４０と稼働ローラー１５０に順次かけ，剥離される剥離紙６は剥離紙回収ロール１１２に巻き取る。
前記のように巻出装置１００にかけられたフィルム５は，エッチング工程部２０と，中和工程部３０，カップリング工程部４０，触媒付加工程部５０，下部メッキ工程部６０，メッキ工程部７０，乾燥工程部８０の乾燥装置４００，及び巻取工程部３の巻取装置５００に順次かける。
特に，作動を開始する前（初期）に，巻取装置５００では，巻取ロール装着台５７０の上側に装着された剥離紙供給ロール５８０から剥離紙８を供給して，伝導性金属メッキポリイミド基板７と連接させて巻取ロール５７０に巻き取る。
前記のようにフィルム５を各工程部に沿って順次かけた状態で，巻出装置１００の移動部１５１と巻取装置５００の移動部５３１を上下に移動させて稼働ローラー１５０，５３０の位置を調整することで，フィルム５又は伝導性金属メッキフィルム７の張力を調節し，張力調節が完了すれば作動を開始する。
メインスイッチ（具体的に図示せず）をＯＮさせれば，巻出工程部２の起動モーター１１３が作動して基板ロール１１１を回転させてフィルム５を巻き出すとともに，剥離紙回収ロール１１２を回転させて，フィルム５から分離（剥離）される剥離紙６を巻き取り，各補助駆動部９０の補助駆動モーター６３０が作動して起動ローラー６１０を回転させることで，移送されるフィルム５に移送力を付加し，巻取工程部３の起動モーター５５３が作動して巻取ロール５７０を回転させて，連接する剥離紙８と伝導性金属メッキフィルム７を引き寄せながら巻取ロール５７０に巻き取ることになる。
巻出工程部２の巻出装置１００は，基板ロール１１１から巻き出されるフィルム５はテーブル１３１に取り付けられた供給誘導ロール１２０で水平に誘導されて端部連結装置１７０を通過し，方向転換ロール１３０で上向きに方向が転換された後，固定ローラー１４０と稼働ローラー１５０を上下にジグザグに通過して脱脂部１０の脱脂装置１１に供給され，同時に，基板ロール１１１から巻き出される剥離紙６は剥離紙回収ロール１１２に巻き取られて回収される。
図３に示すように，脱脂工程部１０の脱脂装置１１に引き込まれるフィルム５は，転移ローラー２０５を通過し，液状物質２５０として脱脂液（アルカリリンスまたはシャンプー）が充填された液状槽２１０の内部に流入され，液状槽２１０の内部に流入されるフィルム５は液状物質２５０の内部に浸漬されている移送ローラー２１１に沿って上下にジグザグに通過する過程で，フィルム５の外面に付着している不純物（汚染物，油脂分，指紋など）が除去される。
不純物の除去されたフィルム５が脱脂液の上側に上昇して，スクイージング部２３０を形成するローラー２３１間を通過することになり，フィルム５がローラー２３１間を通過する過程でスクイージングされて，外面についている脱脂液が除去され，不純物及び脱脂液が除去されたフィルム５は転移ローラー２０６を経って水洗装置１２に引き込まれる。
水洗装置１２に引き込まれる脱脂されたフィルム５は水洗槽３１０の各第１水洗室３１１，第２水洗室３１２及び第３水洗室３１３から，洗浄水３４０に漬かっている洗浄ローラー３２０と仕切り壁体３１４の上側に取り付けられた脱水ローラー３３０とに沿って繰り返して浸漬／引出しが行われることにより水洗される。
特に，水洗装置１２の第１水洗室３１１に引き込まれるフィルム５は噴射洗浄装置３６０の噴射ノズル３６１，３６２間を通過する時，噴射ノズル３６１，３６２から噴射される洗浄水によって，フィルム５の両面に付着した脱脂溶液が完全に洗浄される。
また，第３水洗室３１３から洗浄ローラー３２０を通過して上昇するフィルム５はスクイージング装置３７０のスクイージングローラー３７１，３７２間を通過しながら水分が除去される。この際，これらスクイージングローラー３７１，３７２がスポンジ又は発泡樹脂のような弾性力がある軟質材で形成されているので，スクイージングローラー３７１，３７２間を通過する時，フィルム５の外面に付着した洗浄水（水分）がスポンジ又は発泡樹脂材のスクイージングローラー３７１，３７２に吸収されて完全に除去される。
水洗されたフィルム５は転移ローラー３８０を通じて後続エッチング工程部２０に転移（移送）される。
前記エッチング工程部２０は第１エッチング工程部２１と第２エッチング工程部２２とからなっており，第１エッチング工程部２１と第２エッチング工程部２２には，図３に示すような第１及び第２エッチング装置２３，２５と水洗装置２４，２６がそれぞれ取り付けられている。本実施例においては，第１エッチング装置２３の液状槽２１０には液状物質２５０として１次エッチング液を充填し，第２エッチング装置２５の液状槽２１０には液状物質２５０として２次エッチング液を充填して，エッチングを二重に行うようにした。
脱脂工程部１０の水洗装置１２に引き込まれて脱脂，水洗されたフィルム５は第１エッチング工程部２１の第１エッチング装置２３と水洗装置２４に順次引き込まれる。
第１エッチング装置２３の液状槽２１０に引き込まれるフィルム５は，１次エッチング液に浸漬されている移送ローラー２１１に沿って上下に繰り返して移動しながら一次にエッチングされ，スクイージング部２３０のローラー２３１間を通過しながらスクイージングされて，１次エッチング液は均一な状態を維持することになる。
エッチング及びスクイージングされたフィルム５は水洗装置２４に引き込まれ，洗浄水３４０が充填されている水洗槽３１０の第１水洗室３１１，第２水洗室３１２及び第３水洗室３１３の洗浄ローラー３２０と仕切り壁体３１４の上側に取り付けられた脱水ローラー３３０とに沿って繰り返して浸漬及び引出しされながら水洗される。
特に，水洗装置２４の第１水洗室３１１に引き込まれる一次エッチングされたフィルム５は噴射洗浄装置３６０の噴射ノズル３６１，３６２間を通過する時，噴射ノズル３６１，３６２から噴射される洗浄水によって，フィルム５の両面に付着した脱脂溶液が完全に洗浄される。
また，第３水洗室３１３の洗浄ローラー３２０を通過して上昇する一次エッチングされたフィルム５はスクイージング装置３７０のスクイージングローラー３７１，３７２間を通過しながら水分が除去される。この際，これらスクイージングローラー３７１，３７２がスポンジ又は発泡樹脂のような弾性力がある軟質材で形成されているので，スクイージングローラー３７１，３７２間を通過する時，一次エッチングされたフィルム５の外面に付着した洗浄水（水分）がスポンジ又は発泡樹脂からなったスクイージングローラー３７１，３７２に吸収されて完全に除去される。
前記のように一次エッチングされたフィルム５は転移ローラー３８０を通じて二次エッチング工程部２２に移動（移送）する。
第２チァエッチング工程部２２に転移（移送）される一次エッチングされたフィルム５は，第２エッチング装置２５の液状槽２１０で２次エッチング液に浸漬されている移送ローラー２１１に沿って上下に繰り返して移動しながら二次にエッチングされ，スクイージング部２３０のローラー２３１間を通過しながらスクイージングされて，２次エッチング液は均一な状態を維持することになる。
二次エッチングされたフィルム５は水洗装置２６に引き込まれ，洗浄水３４０が充填されている水洗槽３１０の第１水洗室３１１，第２水洗室３１２及び第３水洗室３１３の洗浄ローラー３２０と，仕切り壁体３１４の上側に取り付けられた脱水ローラー３３０とに沿って繰り返して浸漬及び引出しされながら水洗されることで，エッチングを完了することになる。
特に，水洗装置２６の第１水洗室３１１に引き込まれる二次エッチングされたフィルム５は，噴射洗浄装置３６０の噴射ノズル３６１，３６２間を通過する時，噴射ノズル３６１，３６２から噴射される洗浄水によって，二次エッチングされたフィルム５の両面に付着した一次エッチング溶液が洗浄される。
また，第３水洗室３１３の洗浄ローラー３２０を通過して上昇する二次エッチングされたフィルム５はスクイージング装置３７０のスクイージングローラー３７１，３７２間を通過しながら水分が除去される。この際，これらスクイージングローラー３７１，３７２がスポンジ又は発泡樹脂のような弾性力がある軟質材で形成されているので，スクイージングローラー３７１，３７２間を通過する時，二次エッチングされたフィルム５の外面に付着した洗浄水（水分）がスポンジ又は発泡樹脂材のスクイージングローラー３７１，３７２に吸収されて完全に除去される。
二次エッチング工程部２２でエッチングが完了したフィルム５は，図３に示すような中和装置３１と水洗装置３２から構成された中和工程部３０に引き込まれる。
中和装置３１に引き込まれる二次エッチングされたフィルム５は，中和装置３１の液状槽２１０で液状物質２５０である酸性又はアルカリ性の中和溶液に浸漬されている移送ローラー２１１に沿って上下に繰り返して移動しながら中和され，スクイージング部２３０のローラー２３１間を通過しながらスクイージングされて，中和溶液は均一な分布状態を維持することになる。
中和されたフィルム５は水洗装置５２に引き込まれ，洗浄水３４０が充填されている水洗槽３１０の第１水洗室３１１，第２水洗室３１２及び第３水洗室３１３の洗浄ローラー３２０と，仕切り壁体３１４の上側に取り付けられた脱水ローラー３３０とに沿って繰り返して浸漬及び引出しされながら水洗されることで，中和を完了することになる。
特に，水洗装置３２の第１水洗室３１１に引き込まれる中和されたフィルム５は，噴射洗浄装置３６０の噴射ノズル３６１，３６２間を通過する時，噴射ノズル３６１，３６２から噴射される洗浄水によってフィルム５の両面に付着した中和溶液が洗浄される。
また，第３水洗室３１３の洗浄ローラー３２０を通過して上昇する中和されたフィルム５はスクイージング装置３７０のスクイージングローラー３７１，３７２間を通過しながら水分が除去される。この際，これらスクイージングローラー３７１，３７２がスポンジ又は発泡樹脂のような弾性力がある軟質材で形成されているので，スクイージングローラー３７１，３７２間を通過する時，フィルム５の外面に付着した洗浄水（水分）がスポンジ又は発泡樹脂からなったスクイージングローラー３７１，３７２に吸収されて完全に除去される。
中和されたフィルム５は補助駆動部９０によって動力を受け，図３に示すようなカップリング装置４１と酸洗装置４２とから構成されて極性が付与されるカップリング工程部４０に引き込まれる。
カップリング工程部４０に引き込まれる中和されたフィルム５は，カップリング装置４１の液状槽２１０で，液状物質２５０であるシラン系カップリング剤溶液又はアミン系カップリング剤溶液に浸漬されている移送ローラー２１１に沿って上下に繰り返して移動する過程で極性が付与され，スクイージング部２３０のローラー２３１間を通過しながらスクイージングされて，カップリング剤溶液は均一な状態を維持することになる。
極性の付与されたフィルム５は酸洗装置４２に引き込まれ，酸性溶液３４０が充填されている酸洗槽３１０の第１酸洗室３１１，第２酸洗室３１２及び第３酸洗室３１３の酸洗ローラー３２０と，仕切り壁体３１４の上側に取り付けられた脱税ローラー３３０とにっ沿って繰り返して浸漬及び引出しされながら酸洗されることで，カップリング工程を完了することになる。
特に，酸洗装置４２の第１水洗室３１１に引き込まれる極性の付与されたフィルム５は，噴射洗浄装置３６０の噴射ノズル３６１，３６２間を通過する時，噴射ノズル３６１，３６２から噴射される洗浄水によって，フィルム５の両面に付着した酸洗溶液が洗浄される。
また，第３水洗室３１３の洗浄ローラー３２０を通過して上昇する極性の付与されたフィルム５はスクイージング装置３７０のスクイージングローラー３７１，３７２間を通過しながら水分が除去される。この際，これらスクイージングローラー３７１，３７２がスポンジ又は発泡樹脂のような弾性力がある軟質材で形成されているので，スクイージングローラー３７１，３７２間を通過する時，フィルム５の外面に付着した洗浄水（水分）がスポンジ又は発泡樹脂からなったスクイージングローラー３７１，３７２に吸収されて完全に除去される。
極性付与されたフィルム５は，図３に示すような活性化装置５１と水洗装置５２から構成された触媒付加工程部５０に引き込まれる。
触媒付加工程部５０に引き込まれる極性の付与されたフィルム５は，活性化装置５１の液状槽２１０において，液状物質２５０である触媒溶液に浸漬されている移送ローラー２１１に沿って上下に繰り返して移動しながら金属触媒が吸着され，スクイージング部２３０のローラー２３１間を通過してスクイージングされて，触媒溶液は均一な状態を維持することになる。
触媒の吸着されたフィルム５は水洗装置５２に引き込まれ，洗浄水３４０が充填されている水洗槽３１０の第１水洗室３１１，第２水洗室３１２及び第３水洗室３１３の洗浄ローラー３２０と仕切り壁体３１４の上側に取り付けられた脱水ローラー３３０とに沿って繰り返して浸漬及び引出しされながら水洗されることで，触媒付加工程，すなわち活性化工程を完了することになる。
特に，水洗装置５２の第１水洗室３１１に引き込まれる触媒の吸着されたフィルム５は，噴射洗浄装置３６０の噴射ノズル３６１，３６２間を通過する時，噴射ノズル３６１，３６２から噴射される洗浄水によって，フィルム５の両面に付着した触媒溶液が洗浄される。
また，第３水洗室３１３の洗浄ローラー３２０を通過して上昇する活性化したフィルム５はスクイージング装置３７０のスクイージングローラー３７１，３７２間を通過しながら水分が除去される。この際，これらスクイージングローラー３７１，３７２がスポンジ又は発泡樹脂のような弾性力がある軟質材で形成されているので，スクイージングローラー３７１，３７２間を通過する時，フィルム５の外面に付着した洗浄水（水分）がスポンジ又は発泡樹脂からなったスクイージングローラー３７１，３７２に吸収されて完全に除去される。
活性化したフィルム５は，図３に示すような下部メッキ装置６１と水洗装置６２から構成された下部メッキ工程部６０に引き込まれて，下部メッキ膜（第１伝導性金属膜）が形成される。
下部メッキ工程部６０に引き込まれるフィルム５は，下部メッキ装置６１の液状槽２１０で液状物質２５０である下部メッキ溶液に浸漬されている移送ローラー２１１に沿って上下に繰り返して移動しながら下部メッキが実施され，スクイージング部２３０のローラー２３１間を通過してスクイージングされて，下部メッキ溶液は均一な状態を維持することになる。
下部メッキされたフィルム５は水洗装置６２に引き込まれ，洗浄水３４０が充填されている水洗槽３１０の第１水洗室３１１，第２水洗室３１２及び第３水洗室３１３の洗浄ローラー３２０と仕切り壁体３１４の上側に取り付けられた脱水ローラー３３０とに沿って繰り返して浸漬及び引出しされながら水洗されることで，下部メッキ工程を完了することになる。
特に，水洗装置６２の第１水洗室３１１に引き込まれる下部メッキされたフィルム５は噴射洗浄装置３６０の噴射ノズル３６１，３６２間を通過する時，噴射ノズル３６１，３６２から噴射される洗浄水によって，フィルム５の両面に付着したメッキ溶液が完全に洗浄される。
また，第３水洗室３１３で洗浄ローラー３２０を通過して上昇する下部メッキされたフィルム５は，スクイージング装置３７０のスクイージングローラー３７１，３７２間を通過しながら水分が除去される。この際，これらスクイージングローラー３７１，３７２がスポンジ又は発泡樹脂のような弾性力がある軟質材で形成されているので，スクイージングローラー３７１，３７２間を通過する時，フィルム５の外面に付着した洗浄水（水分）がスポンジ又は発泡樹脂からなったスクイージングローラー３７１，３７２に吸収されて完全に除去される。
下部メッキ膜（第１伝導性金属膜）が形成されたフィルム５は，図３に示すようなメッキ装置７１と水洗装置７２から構成されたメッキ工程部７０に引き込まれて，メッキ膜（第２伝導性金属膜）が形成される。
メッキ工程部７０に引き込まれるフィルム５は，メッキ装置７１の液状槽２１０で液状物質２５０であるメッキ溶液に浸漬されている移送ローラー２１１に沿って上下に繰り返して移動しながらメッキが実施され，スクイージング部２３０のローラー２３１間を通過してスクイージングされて，塗布されるメッキ溶液は均一な状態を維持することになる。
メッキされたフィルム５は水洗装置７２に引き込まれ，洗浄水３４０が充填されている水洗槽３１０の第１水洗室３１１，第２水洗室３１２及び第３水洗室３１３の洗浄ローラー３２０と仕切り壁体３１４の上側に取り付けられた脱水ローラー３３０とに沿って繰り返して浸漬及び引出しされながら水洗されることで，メッキ工程を完了することになる。
特に，水洗装置７２の第１水洗室３１１に引き込まれるメッキされたフィルム５は噴射洗浄装置３６０の噴射ノズル３６１，３６２間を通過する時，噴射ノズル３６１，３６２から噴射される洗浄水によって，フィルム５の両面に付着したメッキ溶液が洗浄除去される。
また，第３水洗室３１３で洗浄ローラー３２０を通過して上昇するメッキされたフィルム５は，スクイージング装置３７０のスクイージングローラー３７１，３７２間を通過しながら水分が除去される。この際，これらスクイージングローラー３７１，３７２がスポンジ又は発泡樹脂のような弾性力がある軟質材で形成されているので，スクイージングローラー３７１，３７２間を通過する時，メッキされたフィルム５の外面に付着した洗浄水（水分）がスポンジ又は発泡樹脂からなったスクイージングローラー３７１，３７２に吸収されて完全に除去される。
メッキの完了した伝導性金属メッキフィルム７は補助駆動部９０によって動力を受けて，図６に示すような乾燥工程部８０の乾燥装置４００に引き込まれる。
転移ローラー４０４を通じて乾燥工程部８０の乾燥装置４００に引き込まれる伝導性金属メッキフィルム７は乾燥室４２０に上下に離隔して取り付けられた移送ローラー４２１に沿って上下にジグザグに移送されながら乾燥される。この際，加熱室４１０に取り付けられた加熱装置（具体的に図示せず）から発生する熱気が乾燥室４２０に移動して，移送ローラー４２１に沿って移送される伝導性金属メッキフィルム７を乾燥させることになる。
乾燥装置４００を通過しながら完全に乾燥した伝導性金属メッキフィルム７は転移ローラー４０５を経って巻取工程部５の巻取装置５００に引き込まれる。
巻取工程部３の巻取装置５００に引き込まれる伝導性金属メッキフィルム７は入口に取り付けられた複数の移送ローラー５１０を上下にジグザグに通過しながら姿勢（歪み，または変形）が校正され，姿勢の校正された伝導性金属メッキフィルム７は固定ローラー５２０と稼働ローラー５３０を上下にジグザグに通過し，テーブル５５２に取り付けられた方向転換ローラー５５０と排出誘導ローラー５５１を経って，起動モーター５５３によって作動（回転）する巻取ロール５７０に巻き取られることになる。
排出誘導ローラー５５１を通過した伝導性金属メッキフィルム７が巻取ロール５７０に巻き取られる時，剥離紙供給ロール５８０に巻き取られている剥離紙８が伝導性金属メッキフィルム７に連接しながら巻取ロール５７０に共に巻き取られることになる。
本発明による伝導性金属メッキポリイミドフィルム製造システム１は，前記のように各工程部の装置が作動して，巻出装置１００から供給されるポリイミド基板５の外面に銅メッキ膜が形成された伝導性金属メッキフィルム７を製造することになる。
特に，ローラーの外周面に触れ合う場合にポリイミドフィルムが均一で安全に移送されるが，ほとんどの従来のローラーは，ローラーとポリイミドフィルム間の液体をまったく押し出さなかったままでポリイミドフィルムを移動させるから，ローラーとポリイミドフィルムとの間に液体が満たされるから，ローラーがポリイミドフィルムとの摩擦力を失い，ローラーの外周上でポリイミドフィルムが滑って行っている状態であるので，フィルムが瞬間的に中心を失って横に滑りながらローラーを外れるスリップ現象が発生することになる。
しかし，本発明による無電解方式フィルム金属メッキシステム１は，脱脂工程部１０の脱脂装置１１と水洗装置１２，第１エッチング工程部２１及び第２エッチング工程部２２の第１エッチング装置２３と第２エッチング装置２５及び水洗装置２４，２６，中和工程部３０の中和装置３１と水洗装置３２，カップリング工程部４０のカップリング装置４１と酸洗装置４２，触媒付加工程部５０の活性化装置５１と水洗装置５２，下部メッキ工程部６０の下部メッキ装置６１と水洗装置６２，及びメッキ工程部７０のメッキ装置７１と水洗装置７２にそれぞれ取り付けられる移送ローラー２１１，洗浄ローラー３２０及び脱水ローラー３３０を図８ａ〜図１３ｂに示すように形成することにより，突出部Ｐと溝Ｇ，Ｇ１，Ｇ２によって，特定液体中に取り付けられたローラーにポリイミドフィルムが移動される場合，ローラーの外周に形成された溝に液体が流入することにより，ローラーとフィルムは精密に接触された状態を維持することになり，これにより液体中のローラーに巻き取られたポリイミドフィルムとローラー間の液体によって発生するスリップ現象を防止することができることになる。
さらに，ローラーの溝の深さを調節して液体の排出量を調節することができる。
このように，本発明は，液体中に取り付けられたローラーの外周（面）に溝を形成させることで，ローラーを通過して移動するポリイミドフィルムがローラーを通過して移動する場合，ローラーとポリイミドフィルム間でスリップ現象が発生してポリイミフィルムがローラーから離脱するか滑ることを防止して，ローラーの回転及びポリイミドフィルムの移送を円滑にし，伝導性金属メッキポリイミドフィルムを製造する時，工程の信頼性を向上させることができることになる。
以上，添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが，本発明はかかる例に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば，特許請求の範囲に記載された範疇内において，各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり，それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
本発明は，ロール状に巻き取られているフィルム（ポリイミドフィルム）の片面又は両面に伝導性金属を湿式方法でメッキする，無電解方式を用いたフィルム金属メッキシステムに適用可能である。
本発明による無電解方式を用いたフィルム金属メッキシステムの工程図である。 本発明のフィルム金属メッキシステムにおいて，基板ロールに巻き取られたフィルムを供給する巻出工程部を示す拡大図である。 本発明のフィルム金属メッキシステムにおいて，フィルムの表面を脱脂させる脱脂工程部を示す拡大図である。 本発明のフィルム金属メッキシステムにおいて，脱脂されたフィルムの表面をエッチングするエッチング工程部を示す拡大図である。 本発明のフィルム金属メッキシステムにおいて，所定工程部の中間に取り付けられて，移送されるフィルムに移送力を加える補助駆動部を示す拡大図である。 本発明のフィルム金属メッキシステムにおいて，第２伝導性金属膜が形成されたフィルムを乾燥させる乾燥工程部を示す拡大図である。 本発明のフィルム金属メッキシステムにおいて，乾燥形成された伝導性金属メッキフィルムを巻取ロールに巻き取る巻取工程部を示す拡大図である。 外周に溝が一定に形成された移送ローラー，洗浄ローラー及び脱水ローラーの第１実施例を示す斜視図である。 図８ａの正面図である。 外周に溝が一定に形成された移送ローラー，洗浄ローラー及び脱水ローラーの第２実施例を示す斜視図である。 図９ａの正面図である。 外周に溝が一定に形成された移送ローラー，洗浄ローラー及び脱水ローラーの第３実施例を示す斜視図である。 図１０ａの正面図である。 外周に溝が一定に形成された移送ローラー，洗浄ローラー及び脱水ローラーの第４実施例を示す斜視図である。 図１１ａの正面図である。 外周に凹部が一定に形成された移送ローラー，洗浄ローラー及び脱水ローラーの第５実施例を示す斜視図である。 図１２ａの正面図である。 外周に溝が一定に形成された移送ローラー，洗浄ローラー及び脱水ローラーの第５実施例を示す斜視図である。 図１３ａの正面図である。
符号の説明
１ 無電解方式フィルム金属メッキシステム
２ 巻出工程部
３ 巻取工程部
５ フィルム
６，８ 剥離紙
７ 伝導性金属フィルム
１０ 脱脂工程部
２０ エッチング工程部
３０ 中和工程部
４０ カップリング工程部
５０ 触媒付加工程部
６０ 下部メッキ工程部
７０ メッキ工程部
８０ 乾燥工程部
９０ 補助駆動部
１００ 巻出装置ハウジング
２００ 機能実行装置
２１１ 移送ローラー
３００ 水洗装置
４００ 巻取装置
５００ 補助駆動装置
Ｃ 外周
Ｇ 溝

Claims (18)

  1. フィルムを供給しながら前記フィルムの外面に伝導性金属を被覆させるフィルム金属メッキシステムにおいて，
    基板ロールに巻き取られた前記フィルムを剥離紙から分離させながら張力を調節して移送させる巻出装置が備えられた巻出工程部と；
    前記巻出工程部から供給される前記フィルムの表面を脱脂装置と水洗装置によって脱脂し水洗させて異物を除去する脱脂工程部と；
    異物が除去されて移送される前記フィルムの表面を第１エッチング装置及び第２エッチング装置と水洗装置によって繰り返してエッチング及び水洗するエッチング工程部と；
    前記表面がエッチングされて移送される前記フィルムを中和装置と水洗装置によって中和及び水洗する中和工程部と；
    前記中和されて移送される前記フィルムの表面をカップリング装置と酸洗装置によってカップリング剤と酸でカップリングして洗浄するカップリング工程部と；
    前記表面がカップリングされて移送される前記フィルムに活性化装置と水洗装置によって触媒を吸着させ，水洗する触媒付加工程部と；
    前記触媒が吸着されて移送される前記フィルムの表面に，下部メッキ装置と水洗装置によって第１伝導性金属膜を形成し，水洗する下部メッキ工程部と；
    前記第１伝導性金属膜が表面に形成されて移送される前記フィルムに，電流が印加されるメッキ装置と水洗装置によって第２伝導性金属膜を形成するメッキ工程部と；
    前記第２伝導性金属膜が形成されて移送される前記フィルムを乾燥装置によって乾燥させる乾燥工程部と；
    所定工程部の中間に前記補助駆動装置を取り付けて，移送される前記フィルムに移送力を加える補助駆動部と；
    前記第２伝導性金属膜が完全に乾燥して形成される伝導性金属メッキフィルムに巻取装置によって剥離紙を加え，張力を調節しながら巻取ロールに巻き取る巻取工程部と；
    を含むことを特徴とする，無電解方式を用いたフィルム金属メッキシステム。
  2. 前記巻出工程部の巻出装置は，
    直方体形状に形成された巻出装置フレームの底板底面の角部に支持脚とキャスターをそれぞれ取り付け，
    前記巻出装置フレームの内部入口側に取り付けられた基板ロール装着台の上側と下側には，剥離紙回収ロールと基板ロールを脱着可能に取り付け，
    前記基板ロール装着台の底面に起動モーターを取り付けて，前記基板ロールを回転させ，
    前記巻出装置フレームの内部中間に取り付けられたテーブルの上側には供給誘導ロール，端部連結装置及び方向転換ロールを順に取り付け，
    前記巻出装置フレームの内部後半に，前記フィルムの張力を調整する張力調整装置を取り付けたことを特徴とする，請求項１に記載の無電解方式を用いたフィルム金属メッキシステム。
  3. 前記脱脂工程部，前記第１エッチング工程部，前記第２エッチング工程部，前記中和工程部，前記カップリング工程部，前記触媒付加工程部，前記下部メッキ工程部及び前記メッキ工程部の各脱脂装置，前記第１エッチング装置，前記第２エッチング装置，前記中和装置，前記カップリング装置，前記活性化装置，前記下部メッキ装置及び前記メッキ装置は，
    直方体形状に形成された機能装置フレームの底面各角に支持脚とキャスターをそれぞれ取り付け，
    前記機能装置フレームの内部上側に，上方に開放される液状槽を支持部によって支持し，
    前記液状槽には液状物質を充填し，
    前記液状槽の内部には移送ローラーを等間隔で上下に分割して取り付けるとともに前記液状物質に充分に漬かるように取り付け，
    後端最終移送ローラーの線上で脱脂液の上側部には，一体のローラーで構成されたスクイージング部を取り付け，
    前記機能装置フレームの上部両側には，カバーが被せられる転移ローラーをそれぞれ取り付けたことを特徴とする，請求項１に記載の無電解方式を用いたフィルム金属メッキシステム。
  4. 前記脱脂工程部，前記第１エッチング工程部，前記第２エッチング工程部，前記中和工程部，前記カップリング工程部，前記触媒付加工程部，前記下部メッキ工程部及び前記メッキ工程部の各水洗装置は，
    直方体形状に形成された水洗装置フレームの底面各角に支持脚とキャスターをそれぞれ取り付け，
    前記水洗装置フレームの内部上側部には，支持部によって支持される水洗槽を取り付け，前記水洗槽は仕切り壁体によって内部を第１水洗室，第２水洗室及び第３水洗室に分割して洗浄水を充填し，
    前記支持板の下側には，前記水洗槽に洗浄水を供給するポンピングモーターを支持部によって支持し，
    前記第１水洗室，第２水洗室及び第３水洗室の内部には，洗浄ローラーを前記洗浄水に充分に漬かるようにそれぞれ取り付け，仕切り壁体の上側には脱水ローラーをそれぞれ取り付け，前記フィルムが洗浄ローラーと脱水ローラーを繰り返しで通過するようにし，
    前記第１水洗室と第３水洗室には，噴射洗浄装置とスクイージング装置を引込み側と排出側にそれぞれ取り付け，
    前記水洗装置フレームの上部両側には，カバーが被せられる転移ローラーをそれぞれ取り付けたことを特徴とする，請求項１に記載の無電解方式を用いたフィルム金属メッキシステム。
  5. 前記乾燥工程部の乾燥装置は，
    直方体形状に形成された乾燥装置フレームの底面各角に支持脚とキャスターをそれぞれ取り付け，
    前記乾燥装置フレームの上部両端には，引込み用転移ローラーと排出用転移ローラーをそれぞれ取り付け，
    前記乾燥装置フレームの内部には加熱室と乾燥室を形成し，
    前記加熱室には加熱装置を取り付け，前記乾燥室の内部には移送ローラーを等間隔で上下に繰り返して取り付けたことを特徴とする，請求項１に記載の無電解方式を用いたフィルム金属メッキシステム。
  6. 前記巻取工程部の巻取装置は，
    直方体形状に形成された巻取装置フレームの底面各角に支持脚とキャスターをそれぞれ取り付け，
    前記巻取装置フレームの内部の入口上側部には，伝導性金属メッキポリイミド基板を安全に維持させる複数の移送ローラーを上下に繰り返し取り付け，
    前記移送ローラーの内側には，伝導性金属メッキポリイミド基板の張力を調整する張力調整装置を取り付け，
    前記張力調節装置の排出側にテーブルを取り付け，その上面両側に方向転換ローラーと排出ローラーを取り付け，
    前記テーブルの外側には巻取ロール装着台を取り付け，前記巻取ロール装着台の上側と下側には剥離紙供給ロールと巻取ロールを脱着可能に取り付け，
    前記テーブルの内部下側には起動モーターを取り付けて，巻取ロールを回転させるようにしたことを特徴とする，請求項１に記載の伝導性金属メッキポリイミド基板製造システム。
  7. 移送される前記フィルムに移送力を加える前記補助駆動部の補助駆動装置は，
    一つの起動ローラーと複数の連動ローラーを装置フレームの上側にジグザグに軸設し，これらに前記フィルムをかけ，
    前記起動ローラーを前記補助駆動モーターが回転させるようにしたことを特徴とする，請求項１に記載の無電解方式を用いたフィルム金属メッキシステム。
  8. 前記フィルム又は前記伝導性金属メッキフィルムの張力を調整する張力調整装置は，
    装置フレームの内部上側に複数の固定ローラーを等間隔で離隔して軸設し，
    前記固定ローラー間には，稼働ローラーが軸設された移動部を備え，
    前記稼働ローラーが軸設された移動部の両側にガイドレールを垂直に取り付け，前記移動部を前記ガイドレールに結合させ，
    前記移動部を上下に移動して稼働ローラーの高さを調整しながら固定したことを特徴とする，請求項２又は６に記載の無電解方式を用いたフィルム金属メッキシステム。
  9. 前記第１水洗室に取り付けられる噴射洗浄装置は，
    前記洗浄ローラーの前方で，前記洗浄水の上側には噴射ノズルを対向させて装着し，
    前記第１水洗室に引き込まれる前記フィルムを前記噴射ノズル間に通過させて，前記フィルムの両面に付着した脱脂溶液を前記噴射ノズルから噴射される前記洗浄水によって洗浄するようにしたことを特徴とする，請求項４に記載の無電解方式を用いたフィルム金属メッキシステム。
  10. 前記第３水洗室に取り付けられるスクイージング装置は，
    前記洗浄ローラーの後方で，前記洗浄水の上側には一体のスクイージングローラーを斜めに対向させて装着し，
    前記洗浄ローラーを通過して上昇する前記フィルムをスクイージングローラー間に通過させて，前記フィルムの外面に付着した前記洗浄水を除去するようにしたことを特徴とする，請求項４に記載の無電解方式を用いたフィルム金属メッキシステム。
  11. 前記第３水洗室の前記スクイージング装置に取り付けられる前記スクイージングローラーは，スポンジ又は発泡樹脂から形成したことを特徴とする，請求項１０に記載の無電解方式を用いたフィルム金属メッキシステム。
  12. 前記脱脂工程部，前記第１エッチング工程部，前記第２エッチング工程部，前記中和工程部，前記カップリング工程部，前記触媒付加工程部，前記下部メッキ工程部及び前記メッキ工程部の各脱脂装置，前記第１エッチング装置，前記第２エッチング装置，前記中和装置，前記カップリング装置，前記活性化装置，前記下部メッキ装置，前記メッキ装置及び水洗装置にそれぞれ取り付けられる前記移送ローラー，前記洗浄ローラー及び前記脱水ローラーは，
    円柱状に形成されたローラーの外周に所定幅の溝を一定間隔で形成して，前記各溝間に突出部が形成されるようにし，
    前記フィルムが前記ローラーによって移送される時，前記フィルムと外周間の特定液体が前記溝に流入されて，前記フィルムがローラーの外周に均一に密着するようにしたことを特徴とする，請求項３又は４に記載の無電解方式を用いたフィルム金属メッキシステム。
  13. 前記ローラーの外周に形成される前記所定幅の溝は，
    円柱状に形成されたローラーの外周には，一側端から他側端まで前記所定幅の溝を一定間隔で時計方向のコイル状に形成し，一定間隔で維持される前記各溝間の外周が突出部として形成されるようにしたことを特徴とする，請求項１２に記載の無電解方式を用いたフィルム金属メッキシステム。
  14. 前記ローラーの外周に形成される前記所定幅の溝は，
    円柱状に形成されたローラーの外周には，一側端の所定位置と他側端の所定位置との間にＶ字形の溝を一定間隔で繰り返し形成し，Ｖ字形の前記各溝間の外周が突出部として形成されるようにしたことを特徴とする，請求項１２に記載の無電解方式を用いたフィルム金属メッキシステム。
  15. 前記ローラーの外周に形成される前記所定幅の溝は，
    円柱状に形成されたローラーの外周には，一側端から他側端まで所定幅を維持する時計方向の第１溝と反時計方向の第２溝を互いに繰り返してコイル状に形成して，第１溝と第２溝が互いに繰り返して交差するＸ字形になるようにし，隣り合う前記第１溝，第２溝と前記第１溝，第２溝間の外周が突出部として形成されるようにしたことを特徴とする，請求項１２に記載の無電解方式を用いたフィルム金属メッキシステム。
  16. 前記ローラーの外周に形成される所定幅の溝は，
    円柱状に形成されたローラーの外周には，一側端から他側端まで所定幅で一字形の溝を一定間隔で横方向に並んで繰り返し形成し，一字型の各溝間の外周が突出部として形成されるようにしたことを特徴とする，請求項１２に記載の無電解方式を用いたフィルム金属メッキシステム。
  17. 前記ローラーの外周に形成される所定幅の溝は，
    円柱状に形成されたローラーの外周には，所定深さ及び直径で形成される円形の凹部を一定間隔で横方向に形成して横方向点線状になるようにし，円形凹部によって形成される横方向点線を一定間隔で上下に繰り返して形成し，等間隔で形成される円形凹部を除いた外周が突出部として形成されるようにしたことを特徴とする，請求項１２に記載の無電解方式を用いたフィルム金属メッキシステム。
  18. 前記ローラーの外周に形成される所定幅の溝は，
    円柱状に形成されたローラーの外周には，一側端から他側端まで断面が半円形である一字形の突出部を繰り返して形成して，半円形突出部間に前記溝が形成されるようにしたことを特徴とする，請求項１２に記載の無電解方式を用いたフィルム金属メッキシステム。


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