JP2007229585A - 超音波振動子 - Google Patents
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Abstract
【課題】 従来の超音波洗浄装置では、別の周波数の発振信号で駆動するものではなく、構成も複雑であるという問題があった。
【解決手段】 超音波振動子１は中央に柱状の圧電体振動子として、円柱状の圧電体振動子１ａを設け、この円柱状の圧電体振動子１ａの周囲に板状の圧電体振動子として、円板状の圧電体振動子１ｂを一体に構成し、円柱状の圧電体振動子１ａと円板状の圧電体振動子１ｂの間に干渉防止部として、溝１ｃを形成し、円柱状の圧電体振動子１ａと円板状の圧電体振動子１ｂが違いに干渉しないように構成し、又、円柱状の圧電体振動子１ａの上面に電極１ｄを装着し、円板状の圧電体振動子１ｂの上面に電極１ｅを装着し、超音波振動子１の下面に電極１ｆを装着する。
【選択図】図１
Description
本発明は、柱状の圧電体振動子とその外周に一体に構成した板状圧電体振動子ををそれぞれ別に駆動するようにした超音波振動子に関するものである。
従来、圧電体振動子の上に円板状の電極とその周囲にリング状の電極を接着し、円板状の電極とリング状の電極の間に充填剤を埋設した後、圧電体振動子に縦及び横に切れ目を入れて複数個に分割し、円板状の電極及びリング状の電極に発振出力を印加して分割された圧電体振動子を駆動するようにした超音波探触子が提案されている。
しかしながら、このように構成した超音波探触子では、複数の分割された圧電体振動子を単に１つの周波数で駆動しているだけで、分割されたそれぞれの圧電体振動子振動子を別の周波数の発振信号で駆動するものではなく、構成も複雑であるという問題があった。
特許２９３５５５０号公報
解決しようとする問題点は、従来の超音波洗浄装置では、別の周波数の発振信号で駆動するものではなく、構成も複雑であるという問題があった。
本発明では、板状の圧電体振動子の中央に柱状の圧電体振動子を一体に構成し、柱状の圧電体振動子と板状の状圧電体振動子の間に干渉防止部を形成して、柱状し圧電体振動子と板状の圧電体振動子とをそれぞれ異なった周波数で共振するようにしたものである。
本発明の超音波振動子では、柱状の圧電体振動子と板状の圧電体振動子を一体に構成し、柱状の圧電体振動子と板状の圧電体振動子をそれぞれ独立して機能するように柱状の圧電体振動子と板状の圧電体振動子の間に溝又は複数の貫通孔からなる干渉防止部を形成することにより、柱状の圧電体振動子と板状の圧電体振動子が互いに干渉しないようにし、柱状の圧電体振動子と板状の圧電体振動子が一体に構成されているので、扱い易いという利点がある。
本発明では、柱状の圧電体振動子と板状の圧電体振動子とを一体に構成し、柱状の圧電体振動子と板状の圧電体振動子との間に干渉防止部を形成して、柱状の圧電体振動子と板状の圧電体振動子を互いに干渉しないように構成するようにした。
図１は本発明の実施例の超音波振動子の斜視図、図２は図１の超音波振動子の断面図で、超音波振動子１は中央に柱状の圧電体振動子として、円柱状の圧電体振動子１ａを設け、この円柱状の圧電体振動子１ａの周囲に板状の圧電体振動子として、円板状の圧電体振動子１ｂを一体に構成し、円柱状の圧電体振動子１ａと円板状の圧電体振動子１ｂの間に干渉防止部として、溝１ｃを形成し、円柱状の圧電体振動子１ａと円板状の圧電体振動子１ｂが互いに干渉しないように構成し、又、円柱状の圧電体振動子１ａの上面に電極１ｄを装着し、円板状の圧電体振動子１ｂの上面に電極１ｅを装着し、超音波振動子１の下面に電極１ｆを装着する。
このように構成された本実施例の超音波振動子では、円柱状の圧電体振動子１ａと円板状の圧電体振動子１ｂとの間に溝１ｃを形成して、円柱状の圧電体振動子１ａと円板状の圧電体振動子１ｂが互いに干渉しないように構成したので、図示しない周波数の異なった２つの発振器をそれぞれ電極１ｄと１ｆの間及び電極１ｅと１ｆの間に接続し、それぞれ周波数の異なった発振出力を印加すると、円柱状の圧電体振動子１ａ及び円板状の圧電体振動子から周波数の異なった超音波を発生することができる。
なお、図３に示すように、円柱状の圧電体振動子１ａと円板状の圧電体振動子１ｂの間に形成した溝１ｃの下から溝１ｇを形成し、溝１ｃと溝１ｇの間に薄い接続部分１ｈを形成することにより、円柱状の圧電体振動子１ａと円板状の圧電体振動子１ｂの間の干渉をさらに小さくすることができ、又、図４及び図５に示すように、円柱状の圧電体振動子１ａと円板状の圧電体振動子１ｂの間の周囲に干渉防止部として、複数個の貫通孔１Ｊを形成しても、同様に、円柱状の圧電体振動子１ａと円板状の圧電体振動子１ｂの間の干渉を小さくすることができる。
図６は本発明の他の実施例の超音波振動子の斜視図、図７は図６の超音波振動子の平面図で、超音波振動子２は中央に柱状の圧電体振動子として、四角柱状の圧電体振動子２ａを設け、この四角柱状の圧電体振動子２ａの周囲に板状の圧電体振動子として、四角板状の圧電体振動子２ｂを一体に構成し、四角柱状の圧電体振動子２ａと四角板状の圧電体振動子２ｂの間に干渉防止部として、溝２ｃを形成し、四角柱状の圧電体振動子２ａと四角板状の圧電体振動子２ｂが互いに干渉しないように構成し、又、四角柱状の圧電体振動子２ａの上面に電極２ｄを装着し、四角板状の圧電体振動子２ｂの上面に電極２ｅを装着し、超音波振動子２の下面に電極２ｆを装着する。
このように構成された本実施例の超音波振動子では、四角柱状の圧電体振動子２ａと四角板状の圧電体振動子２ｂとの間に溝２ｃを形成して、四角柱状の圧電体振動子２ａと四角板状の圧電体振動子２ｂが互いに干渉しないように構成したので、図示しない周波数の異なった２つの発振器をそれぞれ電極２ｄと２ｆの間及び電極２ｅと２ｆの間に接続し、それぞれ周波数の異なった発振出力を印加すると、四角柱状の圧電体振動子２ａ及び四角板状の圧電体振動子２ｂから周波数の異なった超音波を発生することができる。
なお、図８に示すように、四角柱状の圧電体振動子２ａと四角板状の圧電体振動子２ｂの間に形成した溝２ｃの下から溝２ｇを形成し、溝２ｃと溝２ｇの間に薄い接続部分２ｈを形成することにより、四角柱状の圧電体振動子２ａと四角板状の圧電体振動子２ｂの間の干渉をさらに小さくすることができ、又、図９に示すように、四角柱状の圧電体振動子２ａと四角板状の圧電体振動子１ｂの間の周囲に干渉防止部として、複数個の貫通孔２Ｊを形成しても、同様に、四角柱状の圧電体振動子２ａと四角板状の圧電体振動子２ｂの間の干渉を小さくすることができる。
なお、上記実施例では、四角柱状の圧電体振動子２ａと四角板状の圧電体振動子２ｂを一体に形成して、２つの圧電体振動子２ａと２ｂの間に溝２Ｃ又は貫通孔２Ｊを形成し、２つの圧電体振動子２ａと２ｂの間の干渉を小さくするようにしたが、四角柱状又は四角板状の圧電体振動子以外に、三角柱状の圧電体振動子と三角板状の圧電体振動子を一体に構成し、又、五角柱状又はそれ以上の多角柱状の圧電体振動子の周囲に五角板状又はそれ以上の多角板状の圧電体振動子を一体に形成し、五角柱状又はそれ以上の多角柱状の圧電体振動子と五角板状又はそれ以上の多角板状の圧電体振動子の間に溝又は貫通孔を形成して、それぞれの圧電体振動子の間の干渉を少なくして、別の周波数の出力で駆動するようにしても良い。又、円柱状の圧電体振動子の周囲に多角板状の圧電体振動子を一体に形成してもよいし、多角柱状の圧電体振動子の周囲に円板状の圧電体振動子を一体に形成してもよい。
１ 超音波振動子
１ａ 円柱状の圧電体振動子
１ｂ 円板状の圧電体振動子
１ｃ 溝
１ｄ、１ｅ、１ｆ 電極
１ｈ 薄い接続部分
１ｊ 貫通孔
２ 超音波振動子
２ａ 四角柱状の圧電体振動子
２ｂ 四角板状の圧電体振動子
２ｃ、２ｇ 溝
２ｄ、２ｅ、２ｆ 電極
２ｈ 薄い接続部分
２ｊ 貫通孔
１ａ 円柱状の圧電体振動子
１ｂ 円板状の圧電体振動子
１ｃ 溝
１ｄ、１ｅ、１ｆ 電極
１ｈ 薄い接続部分
１ｊ 貫通孔
２ 超音波振動子
２ａ 四角柱状の圧電体振動子
２ｂ 四角板状の圧電体振動子
２ｃ、２ｇ 溝
２ｄ、２ｅ、２ｆ 電極
２ｈ 薄い接続部分
２ｊ 貫通孔
Claims (7)
- 柱状の圧電体振動子と、該柱状の圧電体振動子の周囲に形成された板状の圧電体振動子とからなり、前記柱状の圧電体振動子と前記板状の圧電体振動子の間に干渉防止部を形成して、前記柱状の圧電体振動子と前記板状の圧電体振動子とをそれぞれ異なった周波数の共振することを特徴とする超音波振動子。
- 前記柱状の圧電体振動子は円柱状の圧電体振動子であり、板状の圧電体振動子は円板状の圧電体振動子であることを特徴とする請求項１記載の超音波振動子。
- 前記柱状の圧電体振動子は多角柱状の圧電体振動子であり、前記板状の圧電体振動子は多角形板の圧電体振動子であることを特徴とする請求項１記載の超音波振動子。
- 前記多角柱状の圧電体振動子は三角柱状の圧電体振動子であり、前記板状の圧電体振動子は三角板状の圧電体振動子であることを特徴とする請求項３記載の超音波振動子。
- 前記多角柱状の圧電体振動子は四角柱状の圧電体振動子であり、前記板状の圧電体振動子は四角板状の圧電体振動子であることを特徴とする請求項３記載の超音波振動子。
- 前記干渉防止部は溝であることを特徴とする請求項１乃至５項記載の超音波振動子。
- 前記干渉防止部は貫通孔であることを特徴とする請求項１乃至４項記載の超音波振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2006052974A JP2007229585A (ja) | 2006-02-28 | 2006-02-28 | 超音波振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| JP2006052974A JP2007229585A (ja) | 2006-02-28 | 2006-02-28 | 超音波振動子 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2007229585A true JP2007229585A (ja) | 2007-09-13 |
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ID=38550715
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| JP2006052974A Pending JP2007229585A (ja) | 2006-02-28 | 2006-02-28 | 超音波振動子 |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2007229585A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2020180118A1 (ko) * | 2019-03-05 | 2020-09-10 | 한국기계연구원 | 다주파 생성모듈 및 이를 이용한 초음파 세정장치 |
| KR20210009977A (ko) * | 2019-07-18 | 2021-01-27 | 한국세라믹기술원 | 다중주파수를 갖는 단일 압전소자를 적용한 초음파 센서 |
-
2006
- 2006-02-28 JP JP2006052974A patent/JP2007229585A/ja active Pending
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2020180118A1 (ko) * | 2019-03-05 | 2020-09-10 | 한국기계연구원 | 다주파 생성모듈 및 이를 이용한 초음파 세정장치 |
| KR20200106599A (ko) * | 2019-03-05 | 2020-09-15 | 한국기계연구원 | 다주파 생성모듈, 다주파 생성모듈을 이용한 초음파 세정장치 |
| KR102172789B1 (ko) * | 2019-03-05 | 2020-11-02 | 한국기계연구원 | 다주파 생성모듈, 다주파 생성모듈을 이용한 초음파 세정장치 |
| KR20210009977A (ko) * | 2019-07-18 | 2021-01-27 | 한국세라믹기술원 | 다중주파수를 갖는 단일 압전소자를 적용한 초음파 센서 |
| KR102232292B1 (ko) * | 2019-07-18 | 2021-03-24 | 한국세라믹기술원 | 다중주파수를 갖는 단일 압전소자를 적용한 초음파 센서 |
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