JP2008004792A - 基板処理装置 - Google Patents

Abstract

【課題】生産情報画面とトレースデータ画面との行き来を簡単にする。
【解決手段】生産情報画面とトレースデータ画面とを連係させるシステムは、生産情報ファイルを保存する生産情報ファイルフォルダと、トレースデータファイルを保存するトレースデータファイルフォルダとを備えており、生産情報ファイル名をウエハ番号と生産情報ファイルの作成日付および時刻とによって構成し、トレースデータファイル名をウエハ番号とトレースデータファイルの作成日付および時刻とによって構成する。生産情報ファイル名とトレースデータファイル名相互間の検索により、生産情報画面とトレースデータ画面との間の行き来を自由に可能とる。
【選択図】図５

Description

本発明は、基板処理装置に関し、特に、生産情報ファイルとトレースデータファイルとを連係して表示するシステムに係り、例えば、半導体集積回路装置（以下、ＩＣという。）の製造工場において、半導体素子を含む集積回路が作り込まれる半導体ウエハ（以下、ウエハという。）に金属膜や絶縁膜および半導体膜を形成する基板処理装置に利用して有効なものに関する。

ＩＣの製造工場において、ウエハに金属膜や絶縁膜および半導体膜を形成する基板処理装置としては、生産情報ファイルを保存する生産情報ファイルフォルダとは別に、トレースデータファイルを保存するトレースデータファイルフォルダを備えており、例えば、処理済みのウエハに異常が発見された時に、トレースデータファイルを開いて異常発生原因を追求することができるように構成されているものがある。例えば、特許文献１参照。
特開平１０−３１２２５９号公報

しかしながら、前述した基板処理装置においては、生産情報ファイルとトレースデータファイルとは生産情報ファイルフォルダとトレースデータファイルフォルダとによって個別に管理されているために、表示装置の操作画面に生産情報ファイルとトレースデータファイルとをそれぞれ開いて表示させ、それぞれの画面において開始時刻や終了時刻やレシピ名称等をオペレータが目視で照合することにより、例えば、異常発生原因の追求に必要なトレースデータを探索している。
したがって、生産情報とトレースデータとを容易に見比べることができないので、生産情報ファイルとトレースデータファイル相互間を行き来するのは手間がかかった。
例えば、生産情報ファイルからトレースデータファイルへ移行する際には、生産情報ファイル表示画面上の釦を押下して生産情報ファイル選択画面を開き、さらに、日付選択釦を押下して、一度、ファイル選択画面を開き、この画面上で、ウエハ識別子（ウエハＩＤ）と日付および時刻から所望のファイルを選択する。そして、トレースデータファイル選択画面上で、所望のファイルを選択して表示させる。
以上の手順は一枚のウエハ毎に必要になるので、きわめて面倒な作業となる。

本発明の目的は、従来の問題点である生産情報ファイルとトレースデータファイルとの行き来の面倒さを解決することができる基板処理装置を提供することにある。

本願において開示される発明のうち代表的なものは、次の通りである。
（１）キャリアと基板とを関連付けて前記基板の搬送情報を表示する搬送情報画面と、前記基板の処理条件等を格納する生産情報ファイルの内容を表示する処理画面と、前記基板を処理したときのトレースデータを格納するトレースデータファイルの内容を表示するトレース画面と、を表示する表示部を備えた基板処理装置において、
前記搬送情報画面は画面を切替える切替手段を有し、
前記切替手段が選択されると、前記画面上で選択された前記基板に関しての前記処理画面または前記トレース画面に切替えられることを特徴とする基板処理装置。
（２）生産情報ファイルを保存する生産情報ファイルフォルダと、トレースデータファイルを保存するトレースデータファイルフォルダとを備えている基板処理装置において、
生産情報ファイル名を基板識別子と前記生産情報ファイルの作成日付および時刻とによって構成し、
トレースデータファイル名を基板識別子と前記トレースデータファイルの作成日付および時刻とによって構成し、
前記生産情報ファイル名と前記トレースデータファイル名相互間の検索により、前記生産情報ファイルを表示した生産情報画面と前記トレースデータファイルを表示したトレースデータ画面相互間の移行を実施することを特徴とする基板処理装置。
（３）キャリアと前記基板識別子とを関連付けて基板移載情報を記録した移載履歴ファイルを保存する移載履歴ファイルフォルダを備えており、前記移載履歴ファイルを開いて表示した移載履歴画面上において前記基板識別子を選択すると、前記生産情報画面または前記トレースデータ画面を表示することを特徴とする前記（２）に記載の基板処理装置。
（４）前記生産情報画面と前記トレースデータ画面相互間の移行が、前記生産情報画面および前記トレースデータ画面に表示された画面切替手断の押下によって実行されることを特徴とする前記（２）（３）に記載の基板処理装置。
（５）前記切替手段は、ポップアップ画面として構成されることを特徴とする前記（１）〜（４）に記載の基板処理装置。

前記（２）によれば、生産情報画面からトレースデータ画面へ移行する際に、生産情報画面において所望の生産情報ファイル名を選択すると、その生産情報ファイル名に一致したトレースデータファイル名のトレースデータファイルが自動的に開かれて、操作画面にトレースデータ画面が表示される。
したがって、オペレータは所望のトレースデータを簡単に閲覧することができる。

以下、本発明の一実施の形態を図面に即して説明する。

本実施の形態において、本発明に係る基板処理装置は、図１および図２に示されているように、マルチチャンバ型連続処理装置（以下、連続処理装置という。）として構成されており、この連続処理装置はＩＣの製造方法にあってウエハに所望の薄膜を堆積させる成膜工程に使用されるように構成されている。
なお、本実施の形態に係る連続処理装置においてはウエハ搬送用のキャリアとしては、ＦＯＵＰ（front opening unified pod 。以下、ポッドという。）が使用されている。
以下の説明において、前後左右は図１を基準とする。すなわち、第二ウエハ移載室４０側が前側、その反対側すなわち第一ウエハ移載室１０側が後側、第一予備室２０側が左側、第二予備室３０側が右側とする。

図１および図２に示されているように、連続処理装置は搬送室としての第一ウエハ移載室１０を備えており、第一ウエハ移載室１０は大気圧未満の圧力（負圧）に耐えるロードロックチャンバ構造に構成されている。第一ウエハ移載室（以下、負圧移載室という。）１０の筐体（以下、負圧移載室筐体という。）１１は、平面視が六角形で上下両端が閉塞した箱形状に形成されている。

負圧移載室１０の中央部には、ウエハを保持して搬送する搬送装置としてのウエハ移載装置１２が設置されており、ウエハ移載装置１２は負圧下においてウエハＷを移載するように構成されている。ウエハ移載装置（以下、負圧移載装置という。）１２は、スカラ形ロボット（selective compliance assembly robot arm ＳＣＡＲＡ）によって構成されており、負圧移載室筐体１１の底壁に設置されたエレベータ１３によって気密シールを維持しつつ昇降するように構成されている。
負圧移載装置１２はウエハＷを保持する保持部としての一対のアーム１４、１５を備えている。上側に位置する第一アーム（以下、上側アームという。）１４の先端部には、二股のフォーク形状に形成された上側エンドエフェクタ１６が取り付けられており、下側に位置する第二アーム（以下、下側アームという。）１５の先端部には、下側エンドエフェクタ１７が取り付けられている。

負圧移載室筐体１１の６枚の側壁のうち正面側に位置する２枚の側壁には、負圧移載室１０に対してウエハＷを搬入搬出する予備室としての第一予備室２０と第二予備室３０とがそれぞれ隣接して連結されている。
第一予備室２０の筐体（以下、第一予備室筐体という。）２１および第二予備室３０の筐体（以下、第二予備室筐体という。）３１はいずれも、平面視が大略四角形で上下両端が閉塞した箱形状に形成されているとともに、負圧に耐え得るロードロックチャンバ構造に構成されている。

互いに隣接した第一予備室筐体２１の側壁および負圧移載室筐体１１の側壁には搬入搬出口２２、２３がそれぞれ開設されており、負圧移載室１０側の搬入搬出口２３には搬入搬出口２２、２３を開閉するゲートバルブ２４が設置されている。第一予備室２０には第一予備室用仮置き台２５が設置されている。
互いに隣接した第二予備室筐体３１の側壁および負圧移載室筐体１１の側壁には搬入搬出口３２、３３がそれぞれ開設されており、負圧移載室１０側の搬入搬出口３３には搬入搬出口３２、３３を開閉するゲートバルブ３４が設置されている。第二予備室３０には第二予備室用仮置き台３５が設置されている。

第一予備室２０および第二予備室３０の前側には、大気圧以上の圧力（正圧）を維持可能な構造に構成された第二ウエハ移載室（以下、正圧移載室という。）４０が隣接して連結されており、正圧移載室４０の筐体（以下、正圧移載室筐体という。）４１は、平面視が横長の長方形で上下両端が閉塞した箱形状に形成されている。
正圧移載室４０には正圧下でウエハＷを移載する第二ウエハ移載装置（以下、正圧移載装置という。）４２が設置されており、正圧移載装置４２はスカラ形ロボットによって２枚のウエハを同時に搬送し得るように構成されている。
正圧移載装置４２は正圧移載室４０に設置されたエレベータ４３によって昇降されるように構成されているとともに、リニアアクチュエータ４４によって左右方向に往復移動されるように構成されている。

互いに隣接した第一予備室筐体２１の側壁および正圧移載室筐体４１の側壁には搬入搬出口２６、２７がそれぞれ開設されており、正圧移載室４０側の搬入搬出口２７には搬入搬出口２６、２７を開閉するゲートバルブ２８が設置されている。
互いに隣接した第二予備室筐体３１の側壁および正圧移載室筐体４１の側壁には搬入搬出口３６、３７がそれぞれ開設されており、正圧移載室４０側の搬入搬出口３７には搬入搬出口３６、３７を開閉するゲートバルブ３８が設置されている。
図１に示されているように、正圧移載室４０の左側にはノッチ合わせ装置４５が設置されている。
また、図２に示されているように、正圧移載室４０の上部にはクリーンエアを供給するクリーンユニット４６が設置されている。

図１および図２に示されているように、正圧移載室筐体４１の正面壁には三つのウエハ搬入搬出口４７、４８、４９が左右方向に並べられて開設されており、これらのウエハ搬入搬出口４７、４８、４９はウエハＷを正圧移載室４０に対して搬入搬出し得るように設定されている。これらのウエハ搬入搬出口４７、４８、４９にはポッドオープナ５０がそれぞれ設置されている。

ポッドオープナ５０はポッドＰを載置する載置台５１と、載置台５１に載置されたポッドＰのキャップを着脱するキャップ着脱機構５２とを備えており、載置台５１に載置されたポッドＰのキャップをキャップ着脱機構５２によって着脱することにより、ポッドＰのウエハ出し入れ口を開閉するようになっている。
ポッドオープナ５０の載置台５１に対してはポッドＰが、図示しない工程内搬送装置（ＲＧＶ）によって供給および排出されるようになっている。したがって、載置台５１によってキャリアステージとしてのポッドステージが構成されていることになる。

図１に示されているように、負圧移載室筐体１１の６枚の側壁のうち背面側に位置する２枚の側壁には、第一処理モジュールとしての第一ＣＶＤモジュール６１と、第二処理モジュールとしての第二ＣＶＤモジュール６２とがそれぞれ隣接して連結されている。第一ＣＶＤモジュール６１および第二ＣＶＤモジュール６２はいずれも、枚葉式ＣＶＤ装置（枚葉式コールドウオール形ＣＶＤ装置）によってそれぞれ構成されている。
また、負圧移載室筐体１１における６枚の側壁のうちの残りの互いに対向する２枚の側壁には、第三処理モジュールとしての第一クーリングモジュール６３と、第四処理モジュールとしての第二クーリングモジュール６４とがそれぞれ連結されており、第一クーリングモジュール６３および第二クーリングモジュール６４はいずれも、処理済みのウエハＷを冷却するように構成されている。
なお、図１中、６５、６６、６７、６８はウエハ搬入搬出口である。

連続処理装置は図３に示された制御システム７０を備えている。
図３に示されているように、制御システム７０はパーソナルコンピュータ等から構築されたメインコントローラ７１を備えている。メインコントローラ７１にはＬＡＮシステム７２を介して、負圧移載装置１２を制御するサブコントローラ７３、正圧移載装置４２を制御するサブコントローラ７４、第一ＣＶＤモジュール（第一処理モジュール）６１を制御するサブコントローラ７５、第二ＣＶＤモジュール（第二処理モジュール）６２を制御するサブコントローラ７６、第一クーリングモジュール（第三処理モジュール）６３を制御するサブコントローラ７７、第二クーリングモジュール（第四処理モジュール）６４を制御するサブコントローラ７８等が接続されている。
メインコントローラ７１には、キーボードやマウス等の入力手段によって構成された入力装置８１、テレビモニタ等の表示部（操作画面）によって構成された表示装置８２、記憶媒体駆動装置等によって構成された記憶装置８３等が接続されている。
また、メインコントローラはホストコンピュータ８４に接続することができるようになっている。

メインコントローラ７１はＧＵＩ（グラフィカル・ユーザ・インタフエース）８５を備えている。ＧＵＩ８５は表示装置８２に表示された操作画面上のアイコン（機能を表す図形記号）をマウスポインタで指示してクリックしたり、カーソルで指示して決定したりして選択することにより、画面を切り替えたり、処理や命令、判断およびデータ（情報）を入力することができるようにするソフトウエア、である。

メインコントローラ７１には、生産情報ファイルとトレースデータファイルとを連係して表示するプログラム（以下、連係プログラムという。）８６が組み込まれている。
連係プログラム８６は、生産情報ファイルを保存する第一の格納手段としての生産情報ファイルフォルダ８７と、トレースデータファイルを保存する第二の格納手段としてのトレースデータファイルフォルダ８８と、ポッドＰとウエハＷとを関連付けてウエハＷの移載情報を保存する第三の格納手段としての移載履歴ファイルフォルダ８９と、連係部９０とを関連づける。
連係部９０は、生産情報ファイル名をウエハ識別子と生産情報ファイルの作成日付および時刻とによって構成し、また、トレースデータファイル名をウエハ識別子とトレースデータファイルの作成日付および時刻とによって構成し、生産情報ファイル名とトレースデータファイル名相互間の検索により、生産情報ファイルの表示とトレースデータファイルの表示相互間の移行を実施するように構成されている。
すなわち、連係プログラム８６は後述するプロセスフローを実行するように構成されている。

ここで、生産情報とは、ロギング条件テーブルに従って指定ステップの指定データを指定された方法で保存されるデータのことであり、あるレシピのステップ番号（ステップＩＤ）とデータ種別と方法とが関連づけられて、一つのデータとして収集される。
データ種別には、ステップ時間、温度、圧力、ガス流量等があり、方法としては、最大値、平均値、最小値、実測値、設定値、誤差等がある。
ロギング条件テーブルは、次の表１の通りになっている。

トレースデータとは、実際に生産した時の生データであり、例えば、第一ＣＶＤモジュール６１のサブコントローラ７５が測定データやシーケンスに基づいて作成する。
トレースデータはグラフ等によって表示されて、メインコントローラ７１等の表示装置８２の操作画面上で参照することができる。

本実施の形態においては、ウエハ識別子は各ウエハ毎に固有の通番（所謂シリアルナンバー）として、メインコントローラ７１によって仮想的に付与される。
本実施の形態に係るウエハ識別子（以下、ウエハ番号という。）は、ウエハ自体に表示されずに仮想的に付与されるので、連続処理装置において取り扱ったウエハＷはポッドＰにおける元のスロットに戻す必要がある。
そこで、本実施の形態においては、連続処理装置においてポッドＰからウエハＷを取り出した後に個々のウエハＷとポッドＰの各スロットの位置とを関連付けて置くために、個々のウエハＷの移載情報を各ウエハ番号によって管理して保存する移載履歴ファイルフォルダ８９が設けられている。

以下、前記構成に係る連続処理装置の運用方法を説明する。
まず、ＩＣの製造方法における成膜工程（プロセス）を実施する場合に即して、ウエハのフローに伴う連続処理装置の作動を説明する。
これから成膜すべきウエハＷは２５枚がポッドＰに収納された状態で、成膜工程を実施する連続処理装置へ工程内搬送装置によって搬送されて来る。
図１および図２に示されているように、搬送されて来たポッドＰは第一予備室２０におけるポッドオープナ５０の載置台５１の上に工程内搬送装置から受け渡されて載置される。ポッドＰのキャップがキャップ着脱機構５２によって取り外され、ポッドＰのウエハ出し入れ口が開放される。

ポッドＰがポッドオープナ５０によって開放されると、正圧移載室４０に設置された正圧移載装置４２はウエハ搬入搬出口４７を通してポッドＰからウエハＷを１枚ずつピックアップし、第一予備室２０に搬入搬出口２６、２７を通して搬入（ウエハローディング）し、ウエハＷを第一予備室用仮置き台２５に移載して行く。
この移載作業中には、負圧移載室１０側の搬入搬出口２２、２３はゲートバルブ２４によって閉じられており、負圧移載室１０の負圧は維持されている。

ポッドＰ内のウエハＷの第一予備室用仮置き台２５への移載が完了すると、正圧移載室４０側の搬入搬出口２６、２７がゲートバルブ２８によって閉じられ、第一予備室２０が排気装置（図示せず）によって負圧に排気される。
第一予備室２０が予め設定された圧力値に減圧されると、負圧移載室１０側の搬入搬出口２２、２３がゲートバルブ２４によって開かれる。

次に、負圧移載室１０の負圧移載装置１２は搬入搬出口２２、２３を通して第一予備室用仮置き台２５から処理前のウエハＷを１枚ずつピックアップして負圧移載室１０に搬入する。
例えば、負圧移載装置１２は処理前のウエハＷを第一ＣＶＤモジュール６１のウエハ搬入搬出口６５に搬送して、ウエハ搬入搬出口６５から第一ＣＶＤモジュール６１である枚葉式ＣＶＤ装置の処理室へ搬入（ウエハローディング）する。

第一ＣＶＤモジュール６１において所定の成膜処理が終了すると、成膜処理後（成膜済）のウエハＷは第一ＣＶＤモジュール６１から負圧移載装置１２によってピックアップされて、負圧に維持されている負圧移載室１０に第一ＣＶＤモジュール６１のウエハ搬入搬出口６５から搬出（ウエハアンローディング）される。

成膜処理後のウエハＷを第一ＣＶＤモジュール６１から負圧移載室１０に搬出すると、負圧移載装置１２は成膜処理後のウエハＷを第一クーリングモジュール６３の冷却室へウエハ搬入搬出口６７およびゲート６７Ａを通して搬入するとともに、冷却室のウエハ載置台に移載する。
ウエハＷは第一クーリングモジュール６３において冷却処理される。

第一クーリングモジュール６３において予め設定された冷却時間が経過すると、冷却処理後のウエハＷは負圧移載装置１２によって第一クーリングモジュール６３からピックアップされて、負圧移載室１０の搬入搬出口２３へ搬送され、第一予備室２０に搬入搬出口２３を通して搬出されて第一予備室用仮置き台２５に移載される。

第一予備室２０のロードロックが解除された後に、正圧移載室４０の第一予備室２０に対応したウエハ搬入搬出口４７がポッドオープナ５０によって開かれるとともに、載置台５１に載置された空のポッドＰのキャップがポッドオープナ５０によって開かれる。
続いて、正圧移載室４０の正圧移載装置４２は第一予備室用仮置き台２５からウエハＷを搬入搬出口２７を通してピックアップして正圧移載室４０に搬出し、正圧移載室４０のウエハ搬入搬出口４７を通してポッドＰに収納（チャージング）して行く。

処理済の２５枚のウエハＷのポッドＰへの収納が完了すると、ポッドＰのキャップがポッドオープナ５０のキャップ着脱機構５２によってウエハ出し入れ口に装着され、ポッドＰが閉じられる。
閉じられたポッドＰは載置台５１の上から次の工程へ工程内搬送装置によって搬送されて行く。
以上の作動が繰り返されることにより、ウエハが１枚ずつ順次に処理されて行く。

以下、連係プログラム８６について説明する。

前述した成膜工程のシーケンスの実施において、連係プログラム８６は連係部９０やメインコントローラ７１の他のフォルダと協働して、各ウエハＷ毎に固有の通番であるウエハ番号を仮想的にそれぞれ付与するとともに、ウエハ番号毎に移載履歴ファイルを作成して行き、各移載履歴ファイルを移載履歴ファイルフォルダ８９に順次保存して行く。
この際、連係プログラム８６は連係部９０に各ウエハ番号の移載履歴ファイルに各ウエハＷのポッドＰにおける収納スロットの番号を保存して行く。すなわち、ポッドＰから取り出したウエハＷをポッドＰの元のスロットに戻すことができるように、連係部９０にはウエハ番号とポッドのスロット番号とを関連づけて、移載履歴ファイルが作成される。

また、第一ＣＶＤモジュール６１や第二ＣＶＤモジュール６２や第一クーリングモジュール６３および第二クーリングモジュール６４の処理が終了する都度、連係プログラム８６は連係部９０やメインコントローラ７１の他のフォルダと協働して、各ウエハＷ毎に生産情報ファイルおよびトレースデータファイルをそれぞれ作成して行き、各生産情報ファイルおよびトレースデータファイルを生産情報ファイルフォルダ８７およびトレースデータファイルフォルダ８８に順次保存して行く。
この際、連係部９０は、生産情報ファイル名をウエハ番号と生産情報ファイルの作成日付および時刻とによって構成し、また、トレースデータファイル名をウエハ番号とトレースデータファイルの作成日付および時刻とによって構成する。
ここで、作成時刻としては、各モジュールにおける処理の終了時刻が使用される。すなわち、各モジュールからの終了イベントの送信データが使用される。

次に、生産情報ファイル名およびトレースデータファイル名の作成から保存までのプロセスフローを、図４に示された生産情報ファイル名の場合を代表例にして説明する。
図４に示されているように、連係部９０はメインコントローラ７１の表示装置（デバイスドライバ）８２からのイベント信号（データとして、ウエハ番号と処理終了日付および時刻を含む。）を受信すると（ステップＡ１）、処理終了日付および時刻を取得する（ステップＡ２）。
連係部９０は取得した処理終了日付および時刻の数値を文字列に置き換え（ステップＡ３）、ウエハ番号と処理終了日付および時刻により、生産情報ファイル名を作成する（ステップＡ４）。
次に、連係部９０は生産情報ファイルを開き（ステップＡ５）、生産情報ファイル名を生産情報ファイルに保存するためのデータを、イベントデータを元にして作成する（ステップＡ６）。
連係部９０は生産情報ファイル名を生産情報ファイルに書き込み（ステップＡ７）、生産情報ファイルを閉じる（ステップＡ８）。
なお、トレースデータファイル名も同様にして作成され、トレースデータファイルに保存される（書き込まれる）。

次に、以上のようにして保存された生産情報ファイル名とトレースデータファイル名とを利用して、生産情報ファイルとトレースデータファイルとの間を行き来する場合の連係プログラム８６の動作を、製品に不具合が有った時に原因を究明するために、生産技術部門のオペレータ（以下、オペレータと略称する。）が実行する場合を例にして、図５以降によって説明する。
なお、連係プログラム８６を実行する前提として、安全性を期すために、メインコントローラ７１の成膜工程のシーケンスフローを実行するプログラムがダウンされる。

この場合には、特定のポッド（例えば、ポッドＩＤが１番のポッド）における特定のスロット（例えば、スロット番号が１番のスロット）に収納されたウエハの生産情報およびトレースデータの履歴を確認するのが、通例である。
そこで、図示しないメニュー画面が表示されると、図５に示されたプロセスフローのように、オペレータはポッドＰとウエハＷとを関連付けて保存している移載履歴ファイルを開き、表示装置８２の操作画面上に移載履歴情報画面９１（図６参照）を表示させる（ステップＢ１）。

図６に示されているように、この移載履歴情報画面９１によれば、ポッドＩＤおよびスロットの番号から対象となるウエハ番号を検索することができる。
そこで、オペレータは移載履歴情報画面９１を観察することにより、ポッドＩＤとスロット番号とから対象となるウエハ番号を検索して選択する（ステップＢ２）。
対象となるウエハ番号を選択したら、オペレータは移載履歴情報画面９１の画面切替手段としての生産情報釦９１ａを押下する（ステップＢ３）。
ちなみに、この画面でトレースデータ釦９２ａを押下すると、後述するトレースデータ画面９３が表示される。

オペレータが生産情報釦９１ａを押下すると、連係部９０は生産情報ファイルフォルダ８７において究明の対象となるウエハ番号を含んだ生産情報ファイル名をプログラムに従って検索し（ステップＢ４）、究明の対象となるウエハ番号の生産情報ファイル名を抽出して、その生産情報ファイルを開く（ステップＢ５）。
連係部９０は生産情報ファイルを読み込み（ステップＢ６）、生産情報ファイルのデータを展開し（ステップＢ７）、表示装置８２の操作画面上に生産情報画面９２（図７参照）として表示する（ステップＢ８）。

図７に示された生産情報画面９２には、あるレシピのステップ番号（ステップＩＤ）に対応してロギング項目、サブ項目、ロギング条件およびスポット時間が、表示されている。
ロギング項目としてはステップ時間や圧力、圧力バルブ開度、ペニングおよびＭＦＣ等が列挙されており、項目を選択することができるようになっている。
図７に示されているように、この生産情報画面９２には画面切替手段としてのトレースデータ釦９２ａが表示されているので、オペレータはこのトレースデータ釦９２ａを押下することにより、トレースデータを表示する画面に移行することができる。
オペレータがトレースデータ釦９２ａを押下すると（ステップＢ９）、連係部９０はトレースデータファイルフォルダ８８において究明の対象となるウエハ番号を含んだ生産情報ファイル名と同じトレースデータファイル名をプログラムに従って検索し（ステップＢ１０）、究明の対象となるウエハ番号のトレースデータファイル名を抽出して、そのトレースデータファイルを開く（ステップＢ１１）。
連係部９０はトレースデータファイルを読み込み（ステップＢ１２）、トレースデータファイルのデータを展開し（ステップＢ１３）、表示装置８２の操作画面上にトレースデータ画面９３（図８参照）を表示させる（ステップＢ１４）。

図８に示されたトレースデータ画面には、ガス流量のグラフが表示されている。
図８に示されているように、このトレースデータ画面９３には画面切替手段としての生産情報釦９３ａが表示されているので、オペレータはこの生産情報釦９３ａを押下することにより、生産情報画面９２に再び戻ることができる。
以上のようにして、生産情報画面９２とトレースデータ画面９３との間を自由に行き来することができるので、オペレータは究明の対象となるウエハの不具合を充分かつ迅速に究明することができる。
なお、オペレータが生産情報画面９２およびトレースデータ画面９３のキャンセル釦（図示しない）を押下すると、図５に示されているように、連係部９０は終了し、移載履歴情報画面９１に戻る。
また、各情報画面（移載履歴情報画面９１、生産情報画面９２、トレースデータ画面９３）には図示しない終了釦が準備され、その終了釦が押下されると終了し、メニュー画面（図示しない）に戻る。

例えば、ウエハ番号がウエハ自体に光学的に読み取り可能に表記されており、そのウエハ番号の表記を光学式読み取り装置によって光学的に読み取った場合のように、究明の対象となるウエハのウエハ番号が判明している場合には、生産情報画面９２またはトレースデータ画面９３から、図５に示された連係プログラムのプロセスフローを開始することができる。

前記実施の形態によれば、次の効果が得られる。

1) 生産情報ファイル名をウエハ番号と生産情報ファイルの作成日付および時刻とによって構成し、トレースデータファイル名をウエハ番号とトレースデータファイルの作成日付および時刻とによって構成することにより、生産情報画面とトレースデータ画面相互間の自由な移行を容易に実行することができるので、オペレータは究明の対象となるウエハの不具合を充分かつ迅速に究明することができる。

2) 連係プログラムに移載履歴ファイルを連係させることにより、ポッドＩＤとスロット番号とから究明の対象となるウエハの生産情報ファイル名およびトレースデータファイル名を検索することができるので、連続処理装置において究明の対象となるウエハ番号が不明である場合であっても、ウエハの不具合の究明を実施することができる。

3) また、ポッドＩＤとスロット番号とから究明の対象となるウエハの生産情報ファイル名およびトレースデータファイル名を検索可能とすることにより、ウエハ自体にウエハ番号を表記しないで済むので、ＩＣの製造方法システム全体を変更しないで済む。

なお、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々に変更が可能であることはいうまでもない。

例えば、移載履歴情報画面や生産情報画面およびトレースデータ画面に画面切替手段としての生産情報釦およびトレースデータ釦を設けるに限らず、画面切替手段はポップアップ画面として構成してもよい。

前記実施の形態では、処理済みウエハに異常があった時の原因究明について説明したが、連係プログラムは処理条件の設計（所謂条件出し）や連続処理装置の性能の調査等々に適用することができる。

前記実施の形態ではＣＶＤ装置について説明したが、酸化装置や拡散装置、アニール装置および熱処理装置等の基板処理装置全般に適用することができる。

また、ウエハを処理する場合について説明したが、液晶パネルや磁気ディスク、光ディスク等の基板全般について適用することができる。

本発明の一実施の形態であるマルチチャンバ型連続処理装置を示す平面断面図である。 その側面断面図である。 その制御システムを示すブロック図である。 生産情報ファイル名の作成と保存を示すフローチャートである。 連係プログラムのフローチャートである。 移載履歴情報画面を示す模式図である。 生産情報画面を示す模式図である。 トレースデータ画面を示す模式図である。

符号の説明

Ｗ…ウエハ（基板）、Ｐ…ポッド（基板キャリア）、１０…負圧移載室（搬送室）、１１…負圧移載室筐体、１２…負圧移載装置（搬送装置）、１３…エレベータ、１４…上側アーム（保持部）、１５…下側アーム（保持部）、１６、１７…エンドエフェクタ、２０…第一予備室、２１…第一予備室筐体、２２、２３…搬入搬出口、２４…ゲートバルブ、２５…第一予備室用仮置き台、２６、２７…搬入搬出口、２８…ゲートバルブ、３０…第二予備室、３１…第二予備室筐体、３２、３３…搬入搬出口、３４…ゲートバルブ、３５…第二予備室用仮置き台、３６、３７…搬入搬出口、３８…ゲートバルブ、４０…正圧移載室（ウエハ移載室）、４１…正圧移載室筐体、４２…正圧移載装置（ウエハ移載装置）、４３…エレベータ、４４…リニアアクチュエータ、４５…ノッチ合わせ装置、４６…クリーンユニット、４７、４８、４９…ウエハ搬入搬出口、５０…ポッドオープナ、５１…載置台、５２…キャップ着脱機構、６１…第一ＣＶＤモジュール（第一処理モジュール）、６２…第二ＣＶＤモジュール（第二処理モジュール）、６３…第一クーリングモジュール（第三処理モジュール）、６４…第二クーリングモジュール（第四処理モジュール）、６５、６６、６７、６８…ウエハ搬入搬出口。
７０…制御システム（制御装置）、７１…メインコントローラ、７２…ＬＡＮシステム、７３〜７８…サブコントローラ、８１…入力装置、８２…表示装置、８３…記憶装置、８４…ホストコンピュータ、８５…ＧＵＩ、８６…連係プログラム（生産情報ファイルとトレースデータファイルとを連係して表示するプログラム）、８７…生産情報ファイルフォルダ、８８…トレースデータファイルフォルダ、８９…移載履歴ファイルフォルダ、９０…連係部。
９１…移載履歴情報画面、９１ａ…生産情報釦（画面切替手段）、９２…生産情報画面、９２ａ…トレースデータ釦（画面切替手段）、９３…トレースデータ画面、９３ａ…生産情報釦（画面切替手段）。

Claims (1)

1. キャリアと基板とを関連付けて前記基板の搬送情報を表示する搬送情報画面と、前記基板の処理条件等を格納する生産情報ファイルの内容を表示する処理画面と、前記基板を処理したときのトレースデータを格納するトレースデータファイルの内容を表示するトレース画面と、を表示する表示部を備えた基板処理装置において、
   前記搬送情報画面は画面を切替える切替手段を有し、
   前記切替手段が選択されると、前記画面上で選択された前記基板に関しての前記処理画面または前記トレース画面に切替えられることを特徴とする基板処理装置。

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