JP2008022013A - 導電性構造 - Google Patents

Abstract

【課題】被印刷物及びプリント基板材料の上に導電性構造を確実に作製するための方法と装置を提供する。
【解決手段】導電性材料を含むコーティング剤を構造化して塗布することにより、フレキシブルなまたは硬い基板上に導電性構造を作製するための方法において、印刷装置及び／あるいはニス引きモジュールなど少なくとも複数の作業ユニットを備える輪転印刷機において、第１工程において第１作業ユニット内で導電性構造が基板上に画線部状に作製され、このときこの画線部は、導電性材料を含むコーティング剤で構成されていること、及び、第２工程において第２作業ユニット内で、該構造を形成する層内の導電性を高めるための後処理が行われる。
【選択図】図２

Description

本発明は、請求項１及び１５に記載された、印刷された導線の作製方法及び製造装置に関する。

導線の作製方法で工業的にもっともよく用いられている方法はエッチング法である。エッチング法においては、銅層を付けた基板にフォトエッチング・レジスト層を塗布し、この層にマスクを介してまたはレーザーを照射し、その後該フォトエッチング・レジストの、光が当たらなかった部分が除去される。次に、該レジストにより保護されていなかったすべての部位にエッチングをほどこして、その部位が除去される。この方法の短所としては、非常に遅いこと、及びネガティブ型で行われることが挙げられる。大量の導電性物質が塗布されるが、この物質はその後の工程で除去する必要がある。

特許文献１及び特許文献２より、基材の全面に接着剤を塗布し、その上に金属粉末を散布し、スタンプ面が導線配置の形に形成されているスタンプを使って、導線として残すべき層の部分に圧力をかけ、前記金属粉末を該部分に低温で接着させることが知られている。この方法の短所は、スタンプのコストが高いことである。また、低温接着されなかった余分な材料が接着剤に付着するため、該余分な材料を除去するのが難しい。

さらに特許文献３より導電性構造の作製方法が知られており、該方法においては、接着剤が回路パターンの形に基板に塗布され、次に金属粉末が散布され、次に、該金属粉末のうち付着しなかった粒子が除去される。これらの粒子には軽い圧力をかけて圧縮し、化学的な還元反応において該金属紛層の上に沈着させて金属層を形成させる。この方法及びその他の追加的な方法の短所は、時間がかかる、高価である、自動化が非常に困難であることが挙げられる。

特許文献４には印刷された回路の作製方法が記載されており、該方法では、スクリーン印刷法により絶縁プレート上に印刷された接着剤上に回路パターンが形成され、次にさらなる工程において金属粉末が散布され、この金属粉末にハンダ層が付けられるが、その際まず接着剤の樹脂要素がまず回路パターンの形で印刷され、次に硬化剤が該樹脂要素とは別個に付けられる。形成された金属層はディップソルダリング法により強化される。

特許文献５に記載された導電性構造の作製方法では、基材が、電気的絶縁性材料でコーティングされ、その層は、接着領域と非接着領域とにより表現された画線部状のコーティングにより構造化されている。次に該層の上に金属小片が散布され、このときこの金属小片は接着可能な領域に接着し、余分な金属小片は除去される。次に、該金属小片に限局的なせん断力をかけることにより、金属小片同士が結合され、損傷のない回路トレースが形成される。

特許文献６に記載された方法では、オフセット印刷装置内で接着剤を画線部状に基材に印刷し、この基材にはその後の工程において、導電性材料の層が設けられたフィルムが付着される。該フィルム上に存在する導電性材料は、該基材上に画線部状に付けられた接着剤に付着して該担体フィルムからはがれる。このとき転写された材料により導線が形成される。一つの発展形に記載されたさらなる方法では、導電性材料が胴を介して基材に転写され、接着剤であらかじめ印刷された部分にのみ付着する。担体フィルムは、絶縁層の転写にも利用することができる。

特許文献７では特に枚葉紙印刷機における導電性アンテナ構造の印刷について記載されており、この方法では添加物を含む導電性の印刷インキが用いられる。該印刷インキは特に、導電可能性を確実にするための金属粒子を含むことができる。このような、添加物を含む印刷インキは、印刷直後にはわずかな導電性を示しており、この導電性は、印刷インキ内の導電性粒子が互いに接触することにより生じる。

印刷法を用いて導電性導線をさまざまな基板上に作製することは、多くの観点から見て有利である。印刷法はポジティブ法であり、導電性物質の付着または導線の作製は、これらが必要な場所においてのみ行われる。これに対して、広く用いられているエッチング法はネガティブ法であり、導電性層をもはや必要としない部位の金属層は、エッチング法により除去される。ますます進む微細化のために導線はますます細く及び密になっている。それでもエッチング法がいまだに非常に広く用いられているのは、エッチング法により作製された導線の品質及び均一性が非常に優れているからである。しかしながら、ポジティブな印刷法、特に工業的に導入されているオフセット、フレキソ、グラビア印刷が新たにプリント基板業界のための生産手段として改めて議論されているのは、これら工業的な印刷法により、プリント基板が伝統的な生産ラインの数倍の生産能力で生産できるからである。また、ＲＦＩＤ（電波方式認識）テクノロジー及び低コスト・エレクトロニクスの利用により、印刷法で作製される導電性構造の重要性が高まっている。印刷された導線の問題としてはその構造の非平坦性があげられる。このことは、一方では、たとえばＲＦＩＤソリューションのアンテナの機能に悪影響が及ぶ可能性がある。もう一方では、該非平坦性により導線断面積の変化が引き起こされたり、また、マルチレイヤー構造においては、トポグラフに望ましくない変化が引き起こされる。
独国特許出願公開第１０７５１７９号明細書 米国特許第２９６３７４８号明細書 独国特許発明第１１４７６４０号明細書 独国特許発明第１１０７７４３号明細書 欧州特許第０００３３６３号明細書 国際公開第２００５／１０１９３０号パンフレット 国際公開第２００５／０８６０８７号パンフレット

本発明の課題は、導電性構造を合理的及び確実に作製するための方法と装置を提供することである。

この課題は、請求項１に記載の特徴による方法及び請求項１５に記載の特徴による装置により解決される。

本発明の方法及びこれに対応する装置の核となるのは、導電性材料で画線部状のコーティングを行い、このコーティングをカレンダ加工及び／あるいは還元剤塗布により後処理することである。

したがって、本願では、オフセット、グラビア、フレキソまたはスクリーン印刷装置から構成される少なくとも一つの印刷装置によりカレンダ工程が実施され、このカレンダ工程において、導線を形成する、印刷された導電性層が平坦化されると記載されている。また、このカレンダ工程により印刷インキ内の顔料がならされ、よりすばやくまたより均一に互いに接触しあう。

たとえば本発明のこの工程は図１において枚葉紙オフセット印刷機を用いて図示されている。同業者であれば、この方法を輪転印刷機に転用することが可能であろう。その場合、印刷及びその後のカレンダ加工は、グリッパにより印刷機内を搬送される枚葉紙に対してではなく、ロール紙に対して行われる。図１に図示された印刷機には給紙装置が備わっており（図示されず）、枚葉紙はこの給紙装置から印刷機へと搬送され、そこで、グリッパを備えた胴により印刷機内を搬送される。圧胴（１）、ゴム胴（２）、プレート胴（３）を備える一つまたは複数の印刷装置内において、プレート胴（３）上に取り付けられた印刷版に、インキ装置を介して導電性金属粒子及び／あるいは導電性ポリマー及び／あるいは後の還元工程において金属に還元される金属酸化物を含む印刷インキが付けられ、その印刷画像は次に、ゴム胴（２）上に取り付けられたゴムブランケットを介して、枚葉紙を搬送する圧胴（１）上に載せられた枚葉紙に転写される。次にこの枚葉紙は、転写胴（４）により次の印刷装置またはカレンダ装置に渡される。カレンダ装置は、導電性印刷インキを印刷するために設けられた最後の印刷装置の次に接続されており、カレンダローラ（５）から構成されており、このカレンダローラによりカレンダ装置の枚葉紙搬送圧胴（１）に圧力をかける。

カレンダ工程には、ニス版胴を備える一つまたは複数のニス装置を後置することができる。このニス版胴を介して、機械的に保護すべき部位及び印刷インキ内の金属粒子の酸化から保護すべき部位に誘電体を塗布することができる。この誘電体は、さらなる導電性層を付ける場合、またはマルチレイヤプリント基板を作製するために該導電性層にその他の導電性層を重ね合わせる場合に、その機能にとっては望ましくないのに他の導電性層に接触する可能性がある場合に、該導電性層を絶縁するためにも使用できる。
一つの発展形においては、カレンダ胴（５）に洗浄装置が備わっており、カレンダ胴に要素が付着している場合にこれを洗浄することができる。このような洗浄装置は、たとえばブラシ洗浄装置などの機械的な洗浄装置、及び／あるいは超音波洗浄装置など非接触式の洗浄装置とすることができる。

一つの好適な構成においては、カレンダ胴により、プリント基板導線を備える基板に圧力をかけるだけでなく、はんだ付け剤など還元剤が塗布される。それにより、印刷インキの金属粒子上に存在する酸化膜を還元したり、または酸化膜全体に金属酸化物を含む印刷インキを作用させることができる。この還元剤は、カレンダ表面に噴霧したり、または、たとえばローラ装置により塗布することができる。その場合、面の上に塗布することも、または、還元剤を還元剤が必要な部位のみに塗布するために、たとえば彫刻された印刷版または凸版印刷版などの印刷版を介して塗布することもできる。この場合、カレンダ胴（５）の表面及び該カレンダ胴と協働する圧胴（１）の表面は、還元剤による表面の腐食を防ぐため、または少なくとも遅らせるために、保護膜を備えることが有意義である。この保護膜は、酸化クロム及び／あるいは酸化チタン表面などの不動態化した酸化金属層とすることができる。この表面はまた、たとえば、フルオロポリマー及び／あるいはシラン化合物を含むニスなど、適切なポリマーニスによる保護表面とすることもできる。

本発明の一つの発展形においては、カレンダ胴（５）及びこのカレンダ胴（５）と協働する圧胴（１）にはプレートまたはフィルムが巻きつけられており、これは簡単に交換できるため、表面が損傷しても、胴全体を修理したり、または最悪の場合、胴を交換することなく、プレートまたはフィルムを交換することができる。該プレートの取り付けは、印刷機の版胴及び圧胴において行われているように、取り付け装置を使った既知の方法で取り付けることができる。

さらなる発展形においては、印刷機内搬送中に、印刷された基板に還元剤が噴霧される。還元剤を噴霧された枚葉紙またはロール紙には、次に、本発明にしたがってカレンダ加工及び／あるいは新たな酸化を防ぐ保護ニス引きがほどこされる。

導電性金属、導電性ポリマーまたは酸化金属を含む印刷インキを用いる代わりに、接着インキを画線部状に基板上に予備印刷して、この接着インキに、後の工程で還元剤により還元される導電性金属粉末または酸化金属を散布することができる。このような方法の長所としては、たとえば、オフセット印刷の高い解像度を失わずにオフセットにおける層厚の制約が無いことがあげられる。散布するものとしては、金属粉末または、金属フレークとも呼ばれる金属小片が挙げられる。そのために適切な材料はすでに知られている。本発明においては、直後にまたは後処理（カレンダ加工及び／あるいは還元剤での処理）後に良好な導電性が得られるすべての金属粉末または金属フレークが適している。そのような金属粉末または金属フレークとして、純粋な金属または金属化合物を用いることができる。望ましくは、金属は良好な酸化抵抗性及び良好な導電性を備えている。

金属粉末または金属フレークの散布は、散布装置及び吸引装置を備える特殊なユニットを介して行うことができる。この場合、散布及び不必要な金属粉末を吸引するためのこのユニットは、圧胴に向けて配置される。以下の図で説明するように、この散布及び洗浄ユニットはさらに、不必要な粒子を基板から洗浄するのを支援する追加的な装置またはこのような装置の組み合わせを備えることができる。

図２には、散布及び吸引装置の簡単な実施例が示されており、この装置はゴム胴（２）及びプレート胴（３）を備える印刷装置の圧胴（１）に対して作用する。金属粉末は、供給管（１０）を通じて、圧胴（１）上に配置された被印刷物に吹き付けられ、そこで、あらかじめ接着剤層が印刷されていた部位に付着する。吸引管（１１）は被印刷物の搬送方向において供給管（１０）に後置されており、接着部位に付着しなかった余分な金属粉末はこの吸引管を通じて吸引され、廃棄されるか、または、循環路から再び供給管（１０）に供給されて再利用される。

図３では、吸引管（１１）に一つの回転ブラシ（１２）または複数の回転ブラシ（１２）を設けることにより枚葉紙の洗浄が強化されており、該回転ブラシの回転方向は望ましくは枚葉紙搬送方向の逆方向であり、余分な金属粉末は常に吸引管（１１）に供給される。

図４では、被印刷物にゆるく付着している金属粒子を除去するための超音波振動子（１３）が吸引管（１１）に配置されており、より簡単に及びより徹底的に洗浄することが可能となる。

図５では吸引管（１１）に送風管（１４）が設けられており、ブローエアにより被印刷物にゆるく付着している金属粒子を除去して、これらの粒子がよりよく吸引されるようにすることができる。この送風管の送風方向は、望ましくは被印刷物の搬送方向とは逆の方向が選択される。

本発明の供給管（１０）及び吸引管（１１）は、組み合わせて一つの装置にすることも、または、それぞれ別個に構成された装置とすることもできる。追加ユニットである回転ブラシ（１２）、超音波振動子（１３）、送風管（１４）もそれぞれ個々に、または、これらの追加ユニットを適切に組み合わせた形で、一つの装置の構成部分とすることも、またはそれぞれ別個の装置とすることもできる。本発明によるとすべての装置は、被印刷物の搬送方向において複数回続けて配置することができる。さらに本発明では、このような装置を輪転印刷機に用いることも対象としている。この場合、これらの装置は図２から図５に示したように、輪転印刷機の一つの胴に対してまたはロール紙に対して作用させることができる。

その場合、個々の装置、または複数の装置の順番も本発明の対象となり得る。

導電性構造の作製に際し、金属フレーク（金属小片）を散布するのが好適であるが、それは、金属フレークの表面が大きいいためにより早く互いに接触できるからである。しかしながら、これらのフレークも接触できるように互いにならす必要がある。これに対して金属粉末はよりいっそう粒子が細かく、均一に散布されて接触する。しかしながら、金属粉末の散布、または粒子がより大きい金属フレーク（金属小片）の散布においては、散布された金属層が、それ以前に印刷された接着剤層より高くなる。オフセット印刷においては最大３μｍ、フレキソ印刷ではおよそ９μｍ、スクリーン印刷では２０μｍ以下の厚さの層を付着させることができる。金属粉末の要素または平らに寝ていないフレークはしばしば接着剤層から飛び出している。図６にはそのような状況が図示されている。被印刷物（９）の上に、印刷された接着剤層（１５）の部分が載せられ、その上に金属粉末が散布されている。金属粉末粒子（１６）はこのとき接着剤層から飛び出ている。この金属粉末または金属フレーク層は、その後、印刷機の一つの印刷装置内において一つの胴または一つのカレンダローラにより行われるカレンダ加工工程、または、枚葉紙またはロール紙に対して作用するカレンダ装置内において行われるカレンダ加工工程、または別個のカレンダ機械内で行われるカレンダ加工工程において圧縮されて、良好な導電性を得ることができる。さらに、被印刷物（９）への付着性も向上する。カレンダ加工工程のさらなる長所としては、作用する圧力により、酸化膜が形成されていてもこれが破壊され、それにより導電性が向上することが挙げられる。

本発明によると、カレンダ加工工程の前、工程中、工程後に還元剤を供給することができる。いくつかの応用例においては、金属粉末または金属フレークを散布した後にカレンダ加工工程を行わなくても十分な導電性が得られるため、本発明は、金属粉末または金属フレークを散布した後にさらなるカレンダ加工工程を行わない応用例も対象としていることを明言しておく。

本発明によると、印刷された接着剤自身が、たとえば銀粒子を含むことにより導電性を備えることもできる。導電性を持つこの粒子は、散布後、散布された金属要素同士の間のジャンパリンクのように機能する。本発明のさらなる実施形態においては、印刷された接着剤に導電性のポリマーが含まれている。これも、散布された金属要素同士の間のジャンパリンクのように機能できる。しかし本発明は、印刷された接着剤に導電性がない場合または非常にわずかである場合も対象としている。

本発明のさらなる実施形態においては、散布された金属粒子の結合は、はんだにより改善されるが、その場合、接着剤層及びその上に載せられた金属粒子を備える被印刷物がまず、はんだ付け剤により処理され、次にはんだ工程に送り込まれる。はんだ装置としてはたとえばディップソルダリング槽またはウェーブソルダリング装置が挙げられる。

はんだにより、はがれず、強力で、導電性のある結合が形成される。結合材としては、溶融可能な金属合金、（金属の）ハンダが挙げられる。これらの助けにより、２つの金属部分の間の金属結合が形成される。ディップソルダリングの場合、該パーツを液状のハンダ内に全体または部分的に漬けて、はんだ付け部分を集中的に加熱する。次にプリント基板のはんだ側にはんだ付け剤が付けられる。これは噴霧（スプレーフラックス）または泡の吹きつけ（フォームフラックス）により行うことができる。その後プリント基板は電熱または赤外線照射により予備加熱される。これは一方では、はんだ工程において泡が形成されないようにはんだ付け剤の溶剤部分を蒸発させるためであり、一方では、その後のはんだ付けによる急激過ぎる温度上昇のために該コンポーネントが温度変形するのを避けるためである。ウェーブソルダリングにおいては、はんだ材料ははんだフローを介して付けられる。このはんだフローは液状のハンダをポンプを使って隙間から噴出させることにより発生させる。

印刷された接着剤上に散布された金属粒子をはんだ付けにより結合することは、本発明においては、たとえば抵抗、コンデンサ、ＩＣなどの電子的構成部品の取り付け前または後に行われる。本発明の方法によりフレキシブルなプリント基板、半硬質のプリント基板、硬質のプリント基板が作製できる。これらはさらなる作業工程において、プレプレッグを用いることにより結合して複数層のマルチレイヤ・プリント基板グを形成することができる。また、本発明の方法により、ＲＦＩＤ応用のためのアンテナを作製することができる。

枚葉紙オフセット印刷機を用いた本発明の工程の例を示す図である。 本発明の工程に使用される散布装置及び吸引装置の例を示す図である。 本発明の工程に使用される吸引装置の吸引管に回転ブラシを設けた例を示す図である。 本発明の工程に使用される吸引装置の吸引管に超音波振動子を設けた例を示す図である。 本発明の工程に使用される吸引装置の吸引管に送風管を設けた例を示す図である。 被印刷物の上にある印刷された接着剤層部分の上に散布された金属粉末が接着剤層から飛び出ている様子を示した図である。

符号の説明

１ 圧胴
２ ゴム胴／版胴
３ プレート胴
４ トランスファーター／転写胴
５ カレンダ加工胴／プレス胴
６ ニス装置の版胴
７ アニロックス・インキング装置
８ 排紙装置
９ 被印刷物／基板
１０ 供給管
１１ 吸引管
１２ ブラシ洗浄装置
１３ 超音波振動子
１４ 送風管
１５ 接着剤層
１６ 金属粉末粒子

Claims (23)

1. 導電性材料を含むコーティング剤を構造化して塗布することにより、フレキシブルなまたは硬い基板上に導電性構造を作製するための方法において、
   印刷装置及び／あるいはニス引きモジュールなど少なくとも複数の作業ユニットを備える輪転印刷機において、第１工程において第１作業ユニット内で導電性構造が基板上に画線部状に作製され、このときこの画線部は、導電性材料を含むコーティング剤で構成されていること、及び、第２工程において第２作業ユニット内で、該構造を形成する層内の導電性を高めるための後処理が行われることを特徴とする方法。
2. 導電性材料を含むコーティング剤を構造化して塗布することにより、フレキシブルなまたは硬い基板上に導電性構造を作製するための方法において、
   印刷装置及び／あるいはニス引きモジュールなど少なくとも複数の作業ユニットを備える輪転印刷機において、第１工程において第１の作業ユニット内で導電性構造が基板上に画線部状に作製され、このときこの画線部は、接着性のコーティング剤で構成されていること、及び、第２工程において第２作業ユニット内で導電性材料を含む媒体が接着層上に塗布されること、及び、第３工程において第３作業ユニット内で該構造を形成する接着剤と導電性材料からなる層内の導電性を高めるための後処理が行われることを特徴とする方法。
3. 導電性材料を含む前記媒体を塗布した後、印刷機内のさらなる作業ユニットにおいて、少なくとも前述のように作製された層の上に還元剤が塗布されることを特徴とする、請求項１または請求項２に記載の方法。
4. 導電性材料を含む前記媒体を塗布した後、印刷機の一つの作業ユニットにおいて、該印刷機のローラ装置内において基板にローラをかけることにより、カレンダ加工が行われることを特徴とする、請求項１または請求項２に記載の方法。
5. 導電性材料を含む媒体からなる前記構造を載せた基板を、印刷機の一つの作業ユニット内でカレンダ加工する間に、同一作業ユニット内において、前述のように作製された層の上に還元剤が塗布されることを特徴とする、請求項４に記載の方法。
6. 導電性材料を含む媒体からなる前記構造を載せた基板を、印刷機の一つの作業ユニット内でカレンダ加工した後に、さらなる作業ユニット内において、少なくとも前述のように作製された層の上に還元剤が塗布されることを特徴とする、請求項４に記載の方法。
7. 導電性材料を含む前記媒体が、金属性の混合材を含む印刷インキであることを特徴とする、請求項１及び請求項３から請求項６のいずれか一項に記載の方法。
8. 導電性材料を含む前記媒体が、金属粉末、金属酸化物粉末、金属フレークからなる媒体であり、接着剤を用いることにより、該媒体を基板上に散布して付けることを特徴とする、請求項２から請求項６のいずれか一項に記載の方法。
9. 導電性材料を含む前記媒体が、金属粉末、金属酸化物粉末、金属フレークからなる媒体であり、導電性接着剤を用いることにより、該媒体を基板上に散布して付けることを特徴とする、請求項２から請求項６のいずれか一項に記載の方法。
10. 還元剤の塗布を行う前記作業ユニットに、還元剤塗布に関係する要素を保護するための予防措置がとられていることを特徴とする、請求項３または請求項５または請求項６に記載の方法。
11. 導電性構造内に含まれる導電性材料の導電性が、はんだ工程により後から高められることを特徴とする、請求項１から請求項１０のいずれか一項に記載の方法。
12. はんだ工程の前に、スプレーフラックスまたはフォームフラックスにより前記導電性構造へのはんだ付け剤の塗布が行われることを特徴とする、請求項１１に記載の方法。
13. 前記はんだ工程がウェーブソルダリング法により行われることを特徴とする、請求項１１または請求項１２に記載の方法。
14. 前記はんだ工程が、電子的部品を基板に取り付ける工程の前または後に行われることを特徴とする、請求項１１から請求項１３のいずれか一項に記載の方法。
15. 請求項１または請求項２に記載の、導電性材料を含むコーティング剤を構造化して塗布することにより、フレキシブルなまたは硬い基板上に導電性構造を作製するための方法を実行するための装置であって、
    導電性材料を含む該媒体からなる構造は、印刷機を用いて付けられ、該印刷機は、枚葉紙を搬送する胴及びこれらの胴に割り当てられた作業胴を備える複数の作業ユニットを備えており、その中に少なくとも一つの印刷装置及び一つまたは複数の追加加工装置が備わっていることを特徴とする、装置。
16. 一つの追加加工ユニットに、コーティングされた基板に押し付けながらローラをかけるためのカレンダ胴が備わっていることを特徴とする、請求項１５に記載の装置。
17. 前記カレンダ胴に洗浄装置が割り当てられていることを特徴とする、請求項１５または請求項１６に記載の装置。
18. 前記カレンダ胴に、還元剤塗布装置が割り当てられていることを特徴とする、請求項１５または請求項１６に記載の装置。
19. 前記カレンダ胴に、保護装置として、還元剤がその表面に作用するのを防ぐための取り外し可能なカバーが備わっていることを特徴とする、請求項１７に記載の装置。
20. 前記印刷機が接着剤画像を付けるための作業ユニットを備えていること、及び、その直後の追加加工ユニットが、導電性材料を含む媒体を散布するための装置を備えていることを特徴とする、請求項１５に記載の装置。
21. 前記散布装置に、媒体供給装置、基板ガイド胴の表面に向けられた供給管、この供給管に平行に配置されたリターン吸引管が備わっていることを特徴とする、請求項２０に記載の装置。
22. 前記散布装置に、余分な媒体を除去するために、ブラシ、ブロー装置、または超音波振動子として構成され、リターン吸引管に接続された装置が備わっていることを特徴とする、請求項２１に記載の装置。
23. 前記散布装置に、カレンダ加工のための作業ユニット及び／あるいは還元剤を塗布するための作業ユニットまたはこれら２つのユニットの組み合わせが後置されていることを特徴とする、請求項１５から請求項２２のいずれか一項に記載の装置。

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