JP2009003096A - 光導波路モジュール、光導波路モジュールの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光導波路5を持つ基板2に光素子4の位置決め用の凹所3が形成され、前記凹所3に組み込んだ光素子4が、凹所3の内面によって、光導波路5のコア部51に前記光素子4の受/発光部41が対面配置するように位置決めされて、光素子4が光導波路5に対して光結合される光導波路モジュール、光導波路モジュールの製造方法を提供する。
【選択図】図4
Description
光導波路基板は、電子回路(導体回路)と光導波路とを持つ複合構造としたものが多用されており、この光導波路基板に実装した受光素子と発光素子とを光導波路を介して光接続して、受光素子側と発光素子側との信号伝送を行えるようにしたモジュール(以下、光導波路モジュールともいう)としたものが広く用いられている。
また、そもそも、ミラーの形成に、手間、コストを要するといった問題もある。
第1の発明は、光導波路を有する基板に形成された凹所に、受光素子又は発光素子である光素子が収納され、前記光素子は、前記基板の凹所内面に形成された位置決め用当接部に当接して、前記光導波路のコア部の前記凹所に露出する端面に受/発光部が対面するように位置決めされていることを特徴とする光導波路モジュールを提供する。
第2の発明は、前記基板の前記凹所の位置決め用当接部が、前記凹所において互いに対向する対をなし、前記基板の一方の面に開口する前記凹所の開口部から他方の面に向かって互いの離隔距離が次第に狭くなるように形成された内面であり、前記凹所は、前記光導波路の光軸の延長が、一対の位置決め用当接部の間に位置するように形成されていることを特徴とする第1の発明の光導波路モジュールを提供する。
第3の発明は、前記光素子が板状であり、表裏両面の内の一方に前記受/発光部が設けられている受/発光部設置領域を具備し、受/発光部設置領域を介して両側の側面に、前記凹所に前記開口部から挿入することで前記凹所の一対の位置決め用当接部に当接される当接面を具備していることを特徴とする第2の発明の光導波路モジュールを提供する。
第4の発明は、さらに、前記凹所内には、前記光素子が当接されることで、前記光素子を、前記受/発光部の受/発光の光軸が前記光導波路の前記凹所に露出するコア部端面における光軸に垂直の仮想垂直面に対して傾斜した向きに支持するための、傾斜支持用当接部が設けられていることを特徴とする第2又は第3の発明の光導波路モジュールを提供する。
第5の発明は、前記傾斜支持用当接部が、前記凹所の前記開口部が開口する前記基板の一方の面の側から他方の面の側に行くにしたがって、前記凹所に露出する前記光導波路のコア部の端面からの距離が次第に増大する傾斜面であることを特徴とする第4の発明の光導波路モジュールを提供する。
第6の発明は、前記凹所に露出する前記光導波路のコア部の端面が、該端面における光軸に垂直の仮想垂直面に対して傾斜する傾斜面、あるいは、前記端面における光軸に垂直の仮想垂直面に対して傾斜する仮想傾斜面上に膨出する湾曲面であることを特徴とする第1〜5のいずれかの発明の光導波路モジュールを提供する。
第7の発明は、前記光素子の両面に設けられている電極が、それぞれ、前記基板の前記凹所の開口部が開口されている側の面に設けられている電気回路と電気導通可能に接続されていることを特徴とする第1〜6のいずれかの発明の光導波路モジュールを提供する。
第8の発明は、前記光素子の電極と、前記基板の前記電気回路とが、半田ペーストによってボンディングされていることを特徴とする第7の発明の光導波路モジュールを提供する。
第9の発明は、光導波路を有する基板に形成された凹所に、受光素子又は発光素子である光素子を収納して、前記凹所内面に形成された位置決め用当接部に当接させることで、前記光導波路のコア部の前記凹所に露出する端面に受/発光部が対面するように位置決めして、実装することを特徴とする光導波路モジュールの製造方法を提供する。
第10の発明は、前記基板の前記凹所の位置決め用当接部が、前記凹所において互いに対向する対をなし、前記基板の一方の面に開口する前記凹所の開口部から他方の面に向かって互いの離隔距離が次第に狭くなるように形成された内面であり、前記凹所は、前記光導波路の光軸の延長が、一対の位置決め用当接部の間に位置するように形成されており、前記光素子を一対の位置決め用当接部の間に挿入して一対の位置決め用当接部に当接させることで、前記受/発光部を前記光導波路の光軸に対して位置決めすることを特徴とする第9の発明の光導波路モジュールの製造方法を提供する。
第11の発明は、前記光素子が板状であり、表裏両面の内の一方に前記受/発光部が設けられている受/発光部設置領域を具備し、前記凹所に前記開口部から前記凹所の互いに対向する位置に形成された一対の位置決め用当接部の間に挿入して、前記光素子において受/発光部設置領域を介して両側の側面に形成された当接面を、前記一対の位置決め用当接部に当接させることで、前記受/発光部を前記光導波路の光軸に対して位置決めすることを特徴とする第10の発明の光導波路モジュールの製造方法を提供する。
第12の発明は、さらに、前記凹所内には、前記光素子が当接されることで、前記光素子を、前記受/発光部の受/発光の光軸が前記光導波路の前記凹所に露出するコア部端面における光軸に垂直の仮想垂直面に対して傾斜する傾斜面に対して傾斜した向きに支持するための、傾斜支持用当接部が設けられていることを特徴とする第10又は第11の発明の光導波路モジュールの製造方法を提供する。
第13の発明は、前記傾斜支持用当接部が、前記凹所の前記開口部が開口する前記基板の一方の面の側から他方の面の側に行くにしたがって、前記凹所に露出する前記光導波路のコア部の端面からの距離が次第に増大する傾斜面であることを特徴とする第12の発明の光導波路モジュールの製造方法を提供する。
第14の発明は、前記凹所に露出する前記光導波路のコア部の端面が、該端面における光軸に垂直の仮想垂直面に対して傾斜する傾斜面、あるいは、前記端面における光軸に垂直の仮想垂直面に対して傾斜する仮想傾斜面上に膨出する湾曲面であることを特徴とする第9〜13のいずれかの発明の光導波路モジュールの製造方法を提供する。
第15の発明は、前記光素子を、前記基板の凹所に挿入して位置決めした後、前記光素子の両面に設けられている電極を、それぞれ、前記基板の前記凹所の開口部が開口されている側の面に設けられている電気回路と電気導通可能に接続することを特徴とする第9〜14のいずれかの発明の光導波路モジュールの製造方法を提供する。
第16の発明は、前記光素子の電極と、前記基板の前記電気回路との接続を、半田ペーストを用いたボンディングによって行うことを特徴とする第15の発明の光導波路モジュールの製造方法を提供する。
従来技術のように、光導波路と光素子との間の光結合をミラーを介して実現する構成に比べて、ミラーの形成の手間の省略、低コスト化を実現できる。
図1は光導波路モジュール1の構造を示す断面図、図2は光導波路モジュール1の基板2に形成された凹所3(レセプタ構造部)と光素子4との関係を示す図であって、(a)は基板2と光素子4とを分離して示した図、(b)は凹所3に光素子4を固定した状態を示す図、図3(a)、(b)は凹所3を貫通穴とした場合を示す図、図4は光導波路モジュールの基板2と光素子4とを分離して示した分解斜視図である。
前記光素子4は、例えばLD(半導体レーザー)、LED等の発光素子、あるいは、PD(フォトダイオード)等の受光素子である。発光素子としては、VCSEL(面発光半導体レーザー)が好適である。
前記光素子4は板状であり、表裏両面の内の一方が、受/発光部41が設けられている受/発光部設置面42(受/発光部設置領域)となっている。前記光素子4は、前記基板2の凹所3に挿入して、凹所3内面に形成された位置決め用当接部31(後述)に当接させることで、光導波路5に対して光結合可能に位置決めされる。つまり、光素子4は、光導波路5のコア部51(後述)の前記凹所3に露出する端面51aに前記受/発光部41が対面するように位置決めされて、前記光導波路5に対して光結合される。
図1等に例示した光導波路モジュール1の基板2は、プレート状の光導波路5の片面あるいは両面(図1では両面)に、銅あるいは銅合金等の導体金属によって形成された導体回路21が設けられた構成になっている。
前記光導波路5は、線状のコア部51の周囲がクラッド部52によって覆われた構成になっている。
また、前記基板2は、光導波路5の一方の面に導体回路21、他方の面にシート状あるいはプレート状の基材が設けられた構成であっても良い。前記基材は、例えば、後述の3層構造の光導波路形成体の個々の層を形成する樹脂材料を含むワニスの塗布によって順次形成する際に用いる基材であっても良い。
(a)コア部形成用の樹脂層であるコア層の両面に、クラッド層(クラッド部52の一部を形成するための樹脂層)が設けられた3層構造の光導波路形成体を作成し、この光導波路形成体に活性エネルギー線を照射してコア部51を形成する。図1(a)、(b)において、コア層に符号5a、クラッド層に符号5b、光導波路形成体に符号5cを付して示す。
活性エネルギー線の照射によって、コア層の一部がコア部51となり、コア層のコア部51以外の部分と、コア層の両側のクラッド層とが、クラッド部52を構成する。
コア層を形成する材料としては、例えば、アクリル系樹脂、エポキシ系樹脂、ポリイミド系樹脂、ベンゾシクロブテン系樹脂、ノルボルネン系樹脂等の環状オレフィン系樹脂、といった樹脂材料が挙げられる。ベンゾシクロブテン系樹脂、ノルボルネン系樹脂等の環状オレフィン系樹脂を主材料とする樹脂組成物が好適であり、ノルボルネン系樹脂の付加重合体を主材料とする樹脂組成物が特に好ましい。
コア部51の形成のための活性エネルギー線としては、可視光、紫外光、赤外光、レーザー光等の活性エネルギー光線や、電子線、X線等が挙げられる。電子線は、例えば50〜200KGy程度の照射量で照射することができる。
クラッド層を構成する材料としては、コア層を構成する材料よりも屈折率が低いものであれば特に限定されない。具体的には、アクリル系樹脂、エポキシ系樹脂、ポリイミド系樹脂、ベンゾシクロブテン系樹脂、ノルボルネン系樹脂等の環状オレフィン系樹脂、といった樹脂材料が挙げられる。これらの中でも、ノルボルネン系樹脂の付加重合体を主材料とする樹脂組成物が特に好ましい。
コア層、クラッド層の形成材料としてノルボルネン系樹脂の付加重合体を主材料とする樹脂組成物を採用した場合は、透明性、絶縁性、柔軟性及び耐熱性が充分に得られる。また、他の樹脂を用いた場合との比較で、吸湿性を低くできる。また、ノルボルネン系樹脂の付加重合体を主材料とする樹脂組成物の場合、ノルボルネン系樹脂の付加重合体の側鎖の種類等によって、屈折率を調整することができる利点がある。
この製造方法の場合は、断面四角形(長方形。但し正方形を含む)のコア部51が得られる。
(b)予め形成しておいたコア部の周囲をクラッド材(クラッド部)で覆う。
この製造方法の場合は、コア部51の断面形状は自由となる。
基板2に設けられた凹所3は、光素子4を収納することで、該凹所3の内面構造によって、光素子4を、前記受/発光部41が、光導波路5のコア部51の前記凹所3に露出する端面51aに対面するように位置決めする、光素子搭載用のレセプタ構造部として機能するものである。
図1、図2(a)、(b)においては、前記凹所3が、基板2の両面(厚みの両側の主面2a、2b)の一方(主面2a)のみに開口し、他方の面には開口していない、非貫通穴になっている。但し、凹所3としては非貫通穴に限定されず、例えば図3(a)、(b)に示すように、基板2を厚み方向に貫通して両主面2a、2bに開口する貫通穴であっても良い。
なお、図4、図5(a)、(b)は、凹所3が貫通穴である場合を例示している。
前記凹所3は、前記コア部51の端面51aにおける光導波路5の光軸に一致する仮想直線H(以下、光軸H、と称する場合がある)が、該凹所3内を貫通するように形成されている。
符号S1は、基板2(詳細には両主面2a、2b)に対して垂直、かつ、前記仮想直線Hに重なる仮想基準面(以下、仮想基準面)である。
前記凹所3は、前記仮想直線Hに沿った方向の両端の端面36a、36b(内壁面。以下、光軸方向端面とも言う)と、前記仮想基準面S1を介して両側の内面(内壁面)である一対の位置決め用当接部31(位置決め用当接面)とを具備して、第1主面2aから窪む穴状(貫通穴又は非貫通穴)に形成されている。前記コア部51の端面51aは、一対の光軸方向端面36a、36bの内、少なくとも一方(ここでは符号36aの光軸方向端面)に露出される。
図1(a)、(b)、図4に例示した凹所3の一対の光軸方向端面36a、36bは、前記仮想直線Hに垂直に形成されている。
この一対の位置決め用当接部31(位置決め用当接面)は、基板2の一方の主面(後述の第1主面2a)側から他方の主面(後述の第2主面2b)側に行くにしたがって互いの離隔距離が次第に狭くなるように形成されている。
但し、一対の位置決め用当接部31(位置決め用当接面)は、光素子4の形状に応じて、光素子4の位置決めを可能にするために、適宜、形状を変更できる。例えば、仮想基準面S1を介して両側の位置決め用当接部31の一方が、基板2の一方の主面(後述の第1主面2a)側から他方の主面(後述の第2主面2b)側に行くにしたがって仮想基準面S1に接近するように形成され(傾斜面)、他方の位置決め用当接部31が、仮想基準面S1に平行に延在する平坦面となっている構成であっても良い。
本明細書及び図面において、符号32aを付した開口部が、テーパ穴状の凹所3の軸方向両端の内、断面積が大きい側の端部の開口部である。
また、基板2の両面(主面2a,2b)の内、前記開口部32aが開口されている面(ここでは符号2aの主面)を、以下、第1主面、反対側の面(ここでは符号2bの主面)を、以下、第2主面と称して説明する場合がある。
なお、テーパ穴状の凹所3は、非貫通穴の場合は、軸方向(図2(a)、(b)、図3(a)、(b)の上下方向。換言すれば深さ方向。基板2の厚み方向と一致)両端の内、断面積が大きい側(第1主面2a側)のみが開口された構造となる。
また、図示例の凹所3は、光素子4の一部を収納する深さ(第1主面2aからの深さ)で形成しているが、光素子4の全体を収納可能な深さで形成しても良い。
光素子4は、受/発光部設置面42を介して両側に、該光素子4を凹所3に収納したときに仮想基準面S1の両側の位置決め用当接部31に当接される当接面43(側面)を具備する。凹所3に収納した光素子4は、両側の当接面43を、仮想基準面S1の両側の位置決め用当接部31に当接させることで、光導波路4に対して光結合可能な位置に位置決めされる。
本発明に係る凹所3(レセプタ構造部)としては、これに限定されず、例えば、図5(a)、(b)に例示した構成等、様々な構成を採用できる。
凹所3(レセプタ構造部)の構造(仮想基準面S1の両側の凹所内面の形状)としては、この凹所3に収納して位置決めする光素子4の形状に応じて、光素子4を位置決め可能なように、基板2の一方の主面(後述の第1主面2a)側から他方の主面(後述の第2主面2b)側に行くにしたがって、仮想基準面S1を介して両側の内面(位置決め用当接部31)の一方又は両方が仮想基準面S1に接近していき、両内面の互いの離隔距離が次第に狭くなっている構成であれば良く、適宜設計変更が可能である。
図5(a)の凹所3は、仮想基準面S1を介して両側に位置する一対の内面が、それぞれ、基板2の第1主面2a側から第2主面2b側に行くにしたがって仮想基準面S1に接近し、互いの離隔距離が次第に狭くなる湾曲面33になっている。この一対の湾曲面33が、それぞれ、位置決め用当接部31として機能する。
図5(b)の凹所3は、仮想基準面S1を介して両側に位置する一対の内面の一方が、基板2の第1主面2a側から第2主面2b側に行くにしたがって仮想基準面S1に接近する湾曲面34に形成されているが、対をなす内面の内の他方は基板2の第1主面2a側から第2主面2b側に行くにしたがって仮想基準面S1に接近する平坦面(傾斜面)になっている。湾曲面34と平坦面35とが、位置決め用当接部31として機能する。
凹所の位置決め用当接部31としては、上述の図5(a)、(b)に限定されず、例えば、仮想基準面S1を介して両側に位置する一対の内面の一方を、仮想基準面S1に平行な平坦面(基板2に対して垂直の面)とした構成も採用可能である。
光素子4は、先細り形状(楔状)になっている挿入位置決め部46を有しており、この挿入位置決め部46の先端(挿入先端部44)側から凹所3に挿入して組み込まれる。
光素子4の受/発光部設置面42を介して両側に位置する当接面43は、挿入位置決め部46の両側の側面であり、光素子4において、前記挿入先端部44から該挿入先端部44とは反対側の後端部45(光素子4の後端部)の側に行くにしたがって、互いの離隔距離が次第に増大するように形成されている。一対の当接面43は、受/発光部設置面41に対して垂直に形成されている。
光素子4は、前記挿入位置決め部46を前記挿入先端部44から凹所3に挿入(凹所3の第1主面2a側の開口部32aから挿入)して、挿入位置決め部46の両側の当接面43を、凹所3の仮想基準面S1を介して両側の位置決め用当接部31に当接させることで、光導波路5に対して光結合可能に位置決めされる。
光素子4が発光素子の場合は、受/発光部設置面42に対して垂直の光軸の光を出射するものを採用する。VICSEL等の発光面(発光部)を有する光素子4の場合は、受/発光部設置面42に平行の向きの前記発光面から、発光面に垂直の方向に出力光を出射するものを採用する。受光素子の場合は、受/発光部設置面42に平行の向きの受光面(受光部)を具備するものを採用し、これを、受光の光軸が受/発光部設置面42に対して垂直になっている光素子(受光素子)として扱うこととする。
換言すれば、受/発光部41の受/発光の光軸H1が受/発光部設置面42に対して垂直になっている光素子4は、受/発光部設置面42に平行の向きの受/発光面を有する光素子である。
また、図5(a)、(b)の凹所3については、仮想基準面S1を介して両側の位置決め用当接部31に面接触可能な形状に形成された当接面43を両側に有する光素子4を採用することが可能である。
光素子4は、受/発光部41が、凹所3において光素子4の背面48を当接させた光軸方向端面36bとは反対側の光軸方向端面36a(以下、コア部側端面とも言う)に露出されている光導波路5のコア部51の端面51aから微小な隙間を介して対面配置されるか、受/発光部41がコア部51の端面51aに対して接する(但し、圧接させず、軽い力で接触させるようにする)ように位置決めする。光軸方向端面36bは、光素子4を、光導波路5の光軸方向に位置決めするための位置決め部(光軸方向位置決め部)として機能する。
なお、光導波路5の光軸方向における光素子4の位置決めは、例えば、光軸方向端面36bと光素子4の間にスペーサを介挿して行うことも可能である。
コア部51は、コア部側内壁面36aから僅かに突出されても良く(図6(a)、(b)、(c)参照)、また、先端位置が、コア部側内壁面36aから僅かに陥没した位置にあっても良い。
コア部端面51aの形状は、該コア部端面51aにおける光導波路5の光軸Hに垂直の平坦面であっても良いが、光素子4の受/発光部41と光導波路5との間で発生する散乱光の光導波路5への入射を抑える点で、図6(a)〜(d)に例示した形状を採用することがより好ましい。
図6(a)は、コア部端面51aを、コア部51先端における光導波路5の光軸Hに垂直の仮想垂直面S2(図6(a)では、凹所3のコア部側内壁面36aが仮想垂直面S2と一致する)に対して傾斜する傾斜面51a1(コア部端面)とした構成を例示する。
なお、仮想垂直面S2に対する傾斜面51a1の傾斜角度θ1は、8度程度(7−9度)であることが好ましい。
なお、仮想垂直面S2に対する仮想傾斜面S3の傾斜角度θ2は、5〜11度、より好ましくは8度程度(7−9度)とする。
図6(b)のコア部端面51a(湾曲面51a2)は、断面四角形(正方形を含む長方形)のコア部51の互いに平行な一対の辺(但し、仮想傾斜面S3におけるコア部51断面の4辺の内、仮想垂直面S2に平行な一対の辺)の間を結ぶように仮想傾斜面S3上に膨出して円弧状に延在する一定幅の湾曲面となっている。断面四角形のコア部51の4側面の内、仮想傾斜面S3におけるコア部51断面の4辺の内の仮想垂直面S2に対して傾斜する一対の辺が位置する2側面は、湾曲面51a2に対して垂直になっている。図6(b)では、コア部51先端の仮想傾斜面S3上に位置する部分が、いわゆる蒲鉾形に近い外観になっている。
図6(c)では、コア部51先端が仮想傾斜面S3上に膨出する外観ドーム状に形成されている。コア部端面51a(湾曲面51a3)は、コア部51先端の仮想傾斜面S3上での突出が最大の頂点51bから、光導波路5の断面四角形(正方形を含む長方形)のコア部51の仮想傾斜面S3における断面の4辺を結ぶ湾曲面となっている。
このコア部端面51a3は、いわゆるAPC(Angled Physical Contact)研磨と同様の外観となっている。
但し、図7(a)、(b)では、凹所3のコア部側内壁面36aを、基板2の第1主面2a側から第2主面2b側へ行くに従って、光軸Hの方向においてコア部側内壁面36aと対向する光軸方向端面36bの側への張り出し量が増大(換言すれば、光軸Hに垂直かつ前記コア部側内壁面36aの第1主面2a側の端部を通る仮想垂直面S4から光軸方向端面36bの側への突出寸法が増大)するように形成された平坦面(傾斜面36a1)とし、コア部端面51aである傾斜面51a1を、凹所3のコア部側内壁面36aと面一に形成している。傾斜面51a1は、仮想垂直面S4に対して傾斜している。この構成であれば、例えば、光導波路5のレーザー加工、機械加工等によって凹所3を形成する際に、凹所3のコア部側内壁面36aの形成と同時に、コア部端面51aの加工(傾斜面51a1の形成)も完了するため、端面51aの加工を別途行う必要が無い等の利点がある。
この場合も、光素子4の受/発光部41と光導波路5との間で発生する散乱光の光導波路5への入射を抑える点では、仮想垂直面S4に対する傾斜面36a1の傾斜角度θ3が8度前後(7〜9度)であることが好ましい。
図2(a)、(b)、図3(a)、(b)に例示した板状の光素子4の両面には、図8等に示すように、前記光素子4を、基板2に設けられている導体回路21(電気回路)と電気導通可能に接続するための電極47a、47bが設けられている。光素子4の両側の電極47a、47bの内、一方はカソード、他方はアノードである。
一方の電極47aは、受/発光部設置面42にて、受/発光部41よりも後端部45側に設けられている。他方の電極47bは、光素子4において、受/発光部設置面42とは反対側の背面48側に設けられている。
電極47a、47bは光素子4の受/発光部設置面42あるいは背面48に沿って延在するように形成されている。光素子4を凹所3に挿入して位置決めしたとき、電極47a、47bは、基板2の第1主面2aの延長上に交差(電極47a、47bの一部のみが基板2上に露出)するか、あるいは、全体が、光素子4の凹所3内に収納されずに基板2上に突出した部分に存在して露出される。
光導波路モジュール1は、光素子4を凹所3に挿入した後、電極47a、47bを、基板2の第1主面2a側に設けられている導体回路21と電気的に接続して組み立てられる。
導体回路21の電極21aと、光素子4の電極47a、47bとの間を直接、半田ペースト6を用いてボンディングする以外に、例えば、極細線を用いたワイヤボンディング等も採用可能である。
次に、上述の光導波路モジュール1の組立方法(光導波路モジュールの製造方法)の一例を、図9(a)〜(d)を参照して説明する。
まず、基板2を用意し(図9(a)参照)、この基板2の凹所3内面に接着剤7を塗布する(図9(b))。次いで、図9(c)に示すように、凹所3に光素子4を挿入して、光素子4の両側の当接面43を凹所3内の位置決め用当接部31に当接させることで、光素子4を位置決めする。次に、光素子4の電極47a、47bを、基板2の導体回路21と電気導通可能に接続する(図9(d))。
ここで用いる光導波路5は、片面に導体回路21を具備するものであっても良い。
凹所3の形成は、例えば、レーザー加工、小型工具を用いた機械加工等により行うことができる。
レーザー加工の場合は、例えば、図10に示すように、レーザー照射装置8と光導波路5との間に配置したマスク81を移動しながら、凹所3形成位置にレーザー光82を照射する。マスク81の移動速度によって、光導波路5に対するレーザー照射時間を制御することで、一対の位置決め用当接部31を持つ凹所3を形成できる。光軸方向端面36a,36bも形成する。
前記レーザーとしては、例えば、炭酸ガスレーザー、エキシマレーザー、紫外線レーザー等が挙げられる。
導体回路21については、凹所3の形成が完了した光導波路5に、銅、銅合金などの金属板を貼り合わせ、これをエッチングして形成することも可能である。導体回路形成用の金属板(例えば、銅、あるいは、銅合金)を貼り合わせ済みの光導波路5に凹所3を形成した後に、金属板をエッチングして導体回路21を形成することも可能である。
図11(a)、(b)は、凹所3内に、光素子4を、前記受/発光部41の受/発光の光軸H1が前記光導波路5のコア部端面51aにおける光軸Hに垂直の仮想垂直面S4に対して傾斜した向きに支持するための、傾斜支持用当接部37を設けた例を示す。
なお、この傾斜支持用当接部37を持つ凹所3について、区別のため、説明の便宜上、以下、符号3Aを付して説明する場合がある。
凹所3Aの傾斜支持用当接部37(傾斜支持用当接面)は、光導波路5の前記光軸Hに垂直の仮想垂直面S4に対して傾斜している。傾斜支持用当接部37(傾斜支持用当接面)も、凹所3Aの内面の一部である。コア部端面51aである傾斜面51a1は、凹所3のコア部側内壁面36aと面一に形成されている。
光素子4は、凹所3Aに挿入して、受/発光部設置面42を前記傾斜支持用当接部37(コア部側内壁面36a)に当接(面接触)させることで、受/発光部設置面42が前記傾斜支持用当接部37に沿う向きとなる。
なお、この凹所3Aは、光素子4が、凹所3A内の仮想基準面S1を介して両側の位置決め用当接部31及び傾斜支持用当接部37(傾斜支持用当接面)に当接することで位置決め可能に構成することができる。このため、凹所3Aにおいてコア部側内壁面36aに対向する光軸方向端面36bについては、必ずしも、光軸方向位置決め部として機能するように形成する必要は無い。
前記仮想垂直面S4に対する受/発光部41の受/発光の光軸H1の傾斜角度θ4(換言すれば、仮想垂直面S4に対する仮想傾斜面S3の傾斜角度)は、光素子4の受/発光部41と光導波路5との間で発生する散乱光の光導波路5への入射を防ぐ点では、5〜11度、より好ましくは8度程度(7−9度)とすることが適切であるが、これに限定されるものではない。例えば、前記傾斜角度θ4が10〜60度程度であると、光素子4の凹所3A内に収納されずに基板2から突出状態となる後端部45側部分の基板2からの突出寸法の縮小等に有効に寄与する。
図12(a)、(b)〜図14(a)、(b)は、凹所3Aの傾斜支持用当接部37(傾斜支持用当接面)に当接される光素子4の受/発光部41が、コア部側内壁面36aから突出されたコア部51先端に圧接されることを回避するために、コア部51先端に対する光素子4の距離を適切に設定するための構成を例示する。
板状スペーサ38の具体的形状は、傾斜支持用当接部37の中央部に突出するコア部51先端及び光素子4の受/発光部41との接触を回避できるものであれば良く、図14(a)、(b)に例示したものに限定されない。また、2枚の板状スペーサをコア部51先端を介して両側に対向配置する構成等も採用可能である。
また、板状スペーサは、凹所3Aに光素子4を組み込む前に、接着剤等によって、予め、傾斜支持用当接部37あるいは光素子4の受/発光部設置面42に固定しておいても良い。
さらに、板状スペーサは、複数枚を重ね合わせて使用しても良い。
図15(a)、(b)は、受/発光部41を複数有する光素子4(以下、この光素子に符号4Aを付す)を用いた光導波路モジュール1(以下、この光導波路モジュール1に符号1Aを付す)の構成を例示する。
図15(a)、(b)に示す光素子4Aは、受/発光部設置面42の両側の当接面43の間に、複数の受/発光部41が一列に配列設置されたものである。
図示例の光素子4Aは、全体が、挿入位置決め部46として機能するものであり、挿入先端部44から、該挿入先端部44とは反対側の後端部45の側に行くにしたがって、光素子4の受/発光部設置面42を介して両側の当接面43の間の離隔距離が次第に増大する形状になっている。また、前記後端部45は、光素子4において、複数の受/発光部41が配列されている配列仮想直線Lを介して、挿入先端部44とは反対の側に位置する。
また、各受/発光部41から、光素子4Aにおいて後端部45側にずれた位置には、個々の受/発光部41に対応する、複数の電極47a、47bが設置されている。
前記光素子4Aを凹所3Bに組み込んで、光素子4Aの両側の当接面43を、基板2の凹所3内の一対の位置決め用当接部31に当接することで、凹所3Bのコア部側内壁面36aに横並びに露出されている複数本のコア部51(詳細にはコア部51先端)に対して、光素子4Aの複数の受/発光部41が対面配置されて光結合可能に位置決めされる。
この光導波路モジュール1Aも、既述の光導波路モジュールの製造方法(組立方法)と同様の手順で組み立てることができる。
また、光素子を光導波路に対して直接、光結合させる構成であるため、光導波路と光素子との間の光結合をミラーを介して実現する構成に比べて、低損失での光信号の伝送が可能になる。このため、高速、大量の信号伝送に有利である。
例えば、光素子の具体的形状等は、上述の実施形態に限定されず、適宜、変更可能である。
また、上述の実施形態では、凹所3に組み込んで基板2に実装した光素子4の後端部45側が、基板2上に突出する構成を例示したが、光素子全体が凹所内に収納されて、基板から突出する部分が存在しない構成も採用可能である。
また、本発明に係る光導波路モジュールは、基板に形成された凹所に嵌め込むようにして組み込んだ光素子4が、凹所内面形状によって、光導波路5に対して光結合可能に位置決めされる構成であれば良く、凹所の具体的形状には特には限定は無い。
Claims (16)
- 光導波路を有する基板に形成された凹所に、受光素子又は発光素子である光素子が収納され、
前記光素子は、前記基板の凹所内面に形成された位置決め用当接部に当接して、前記光導波路のコア部の前記凹所に露出する端面に受/発光部が対面するように位置決めされていることを特徴とする光導波路モジュール。 - 前記基板の前記凹所の位置決め用当接部が、前記凹所において互いに対向する対をなし、前記基板の一方の面に開口する前記凹所の開口部から他方の面に向かって互いの離隔距離が次第に狭くなるように形成された内面であり、
前記凹所は、前記光導波路の光軸の延長が、一対の位置決め用当接部の間に位置するように形成されていることを特徴とする請求項1記載の光導波路モジュール。 - 前記光素子が板状であり、表裏両面の内の一方に前記受/発光部が設けられている受/発光部設置領域を具備し、受/発光部設置領域を介して両側の側面に、前記凹所に前記開口部から挿入することで前記凹所の一対の位置決め用当接部に当接される当接面を具備していることを特徴とする請求項2記載の光導波路モジュール。
- さらに、前記凹所内には、前記光素子が当接されることで、前記光素子を、前記受/発光部の受/発光の光軸が前記光導波路の前記凹所に露出するコア部端面における光軸に垂直の仮想垂直面に対して傾斜した向きに支持するための、傾斜支持用当接部が設けられていることを特徴とする請求項2又は3記載の光導波路モジュール。
- 前記傾斜支持用当接部が、前記凹所の前記開口部が開口する前記基板の一方の面の側から他方の面の側に行くにしたがって、前記凹所に露出する前記光導波路のコア部の端面からの距離が次第に増大する傾斜面であることを特徴とする請求項4記載の光導波路モジュール。
- 前記凹所に露出する前記光導波路のコア部の端面が、該端面における光軸に垂直の仮想垂直面に対して傾斜する傾斜面、あるいは、前記端面における光軸に垂直の仮想垂直面に対して傾斜する仮想傾斜面上に膨出する湾曲面であることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の光導波路モジュール。
- 前記光素子の両面に設けられている電極が、それぞれ、前記基板の前記凹所の開口部が開口されている側の面に設けられている電気回路と電気導通可能に接続されていることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の光導波路モジュール。
- 前記光素子の電極と、前記基板の前記電気回路とが、半田ペーストによってボンディングされていることを特徴とする請求項7記載の光導波路モジュール。
- 光導波路を有する基板に形成された凹所に、受光素子又は発光素子である光素子を収納して、前記凹所内面に形成された位置決め用当接部に当接させることで、前記光導波路のコア部の前記凹所に露出する端面に受/発光部が対面するように位置決めして、実装することを特徴とする光導波路モジュールの製造方法。
- 前記基板の前記凹所の位置決め用当接部が、前記凹所において互いに対向する対をなし、前記基板の一方の面に開口する前記凹所の開口部から他方の面に向かって互いの離隔距離が次第に狭くなるように形成された内面であり、
前記凹所は、前記光導波路の光軸の延長が、一対の位置決め用当接部の間に位置するように形成されており、
前記光素子を一対の位置決め用当接部の間に挿入して一対の位置決め用当接部に当接させることで、前記受/発光部を前記光導波路の光軸に対して位置決めすることを特徴とする請求項9記載の光導波路モジュールの製造方法。 - 前記光素子が板状であり、表裏両面の内の一方に前記受/発光部が設けられている受/発光部設置領域を具備し、前記凹所に前記開口部から前記凹所の互いに対向する位置に形成された一対の位置決め用当接部の間に挿入して、前記光素子において受/発光部設置領域を介して両側の側面に形成された当接面を、前記一対の位置決め用当接部に当接させることで、前記受/発光部を前記光導波路の光軸に対して位置決めすることを特徴とする請求項10記載の光導波路モジュールの製造方法。
- さらに、前記凹所内には、前記光素子が当接されることで、前記光素子を、前記受/発光部の受/発光の光軸が前記光導波路の前記凹所に露出するコア部端面における光軸に垂直の仮想垂直面に対して傾斜する傾斜面に対して傾斜した向きに支持するための、傾斜支持用当接部が設けられていることを特徴とする請求項10又は11記載の光導波路モジュールの製造方法。
- 前記傾斜支持用当接部が、前記凹所の前記開口部が開口する前記基板の一方の面の側から他方の面の側に行くにしたがって、前記凹所に露出する前記光導波路のコア部の端面からの距離が次第に増大する傾斜面であることを特徴とする請求項12記載の光導波路モジュールの製造方法。
- 前記凹所に露出する前記光導波路のコア部の端面が、該端面における光軸に垂直の仮想垂直面に対して傾斜する傾斜面、あるいは、前記端面における光軸に垂直の仮想垂直面に対して傾斜する仮想傾斜面上に膨出する湾曲面であることを特徴とする請求項9〜13のいずれかに記載の光導波路モジュールの製造方法。
- 前記光素子を、前記基板の凹所に挿入して位置決めした後、前記光素子の両面に設けられている電極を、それぞれ、前記基板の前記凹所の開口部が開口されている側の面に設けられている電気回路と電気導通可能に接続することを特徴とする請求項9〜14のいずれかに記載の光導波路モジュールの製造方法。
- 前記光素子の電極と、前記基板の前記電気回路との接続を、半田ペーストを用いたボンディングによって行うことを特徴とする請求項15記載の光導波路モジュールの製造方法。
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