JP2009018367A - 凸曲面研削装置及び凸曲面研削方法 - Google Patents

Abstract

【課題】機上計測が完全自動化され、機上計測時間を短縮でき生産効率の向上に寄与する凸曲面研削装置及び凸曲面研削方法を提供すること。
【解決手段】研削の終了後に、ワークセンサ４９とワークＷ２とを接触させ、ワークセンサ４９の検出信号に基づいてワークＷ２の研削後寸法を計測するように構成し、ワークセンサ４９を、回動テーブル３３上の、ワーク研削時にワークＷ２と干渉せず、かつワーク計測時にワークＷ２がツールＴ２と干渉しない所要位置に備える。研削終了時にワーク支持手段３９とツール支持手段４８とを相対的に移動し、ワークセンサ４９とワークＷ２の両方、又は何れか一方と自動移動することにより、ワークセンサ４９とワークＷ２とを接触させ、ワークセンサ４９の検出信号に基づいてワークＷ２の研削後寸法を計測する
【選択図】図１

Description

本発明は、金型、レンズ等のワークの端面の点対偶凸曲面を研削し、研削後にワークの研削後寸法を計測する計測機能を備えている凸曲面研削装置及び凸曲面研削方法に関する。

光学素子は成形により形成され量産されている。レンズ成形金型は、超精密切削法及び研削加工法を用いて所望する形状精度と表面粗さに加工される。非球面レンズ生産におけるプレス成形金型は、成形システムの高安定・低コスト化の要望から、レンズに相対する金型面数の低減から、分離金型（筒型とＲ２凸型）を一体にした形状の金型にシフトしている。特に、非球面部を中心部に有する点対偶凸曲面を成形できる光学素子用の成形金型が望まれている。

レンズ成形金型の研削加工方法としては、例えば、特許文献１の研削加工方法が提案されている。

他方、従来において、Ｒ２凸型の研削には、図５〜図７に示す凸曲面研削装置が用いられる。図５を参照して構成を説明する。凸曲面研削装置１０は、定盤（図示しない）上に設けられたＺ軸スライドテーブル１１に、Ｚ軸方向に沿った回転軸心のＣ軸１２の回りに例えば矢印１３の方向に回転自在であるワーク回転軸１４にワーク支持手段１５を備え、該ワーク支持手段１５によりワークＷ１を支持し、また定盤（図示しない）上に設けられたＸ軸スライドテーブル１６に回動テーブル１７を備え、該回動テーブル１７上に、回転軸心１８がワーク回転軸１４のＣ軸１２を通るＸ−Ｚ平面と同一平面内を旋回するツール回転軸１９を設け、該ツール回転軸１９にツール支持手段２０を備え、ツール支持手段２０によりツールＴ１を支持して該ツールＴ１の先端面周縁の研磨刃先を回動テーブル１７の回転軸心のＢ軸２１に一致させてなる。

さらに、この凸曲面研削装置１０は、ワークＷ１の研削途中及び研削終了時の寸法を測定するために、手動操作式のプローブ２２ａを有するワーク測定手段２２をＸ軸スライドテーブル１６の側面に備えている。

この凸曲面研削装置１０によれば、ワーク回転軸１４とツール回転軸１９とをそれぞれ回転させ、ワークＴ１の先端面をＢ軸２１に一致するツールＴ１の先端面周縁の研磨刃先に当接し、Ｚ軸スライドテーブル１１のＺ軸スライドとＸ軸スライドテーブル１６のＸ軸スライドと回動テーブル１７の回動とを相対的に動作させることにより、ツールＴ１のワークＷ１に対する相対的な運行行程を図６（ａ）→（ｂ）→（ｃ）→（ｄ）→（ｅ）に示すように、ツールＴ１を連続して移動・揺動して研削する。図６（ａ）は、研磨直前のツールＴ１とワークＷ１の位置関係を示す。図６（ｂ）は、研磨開始時の状態を示す。図６（ｃ），（ｄ）は、研磨途中の状態を示す。図６（ｄ）は、研磨終了時の状態を示す。図６（ｂ）は、研磨開始時に状態を示す。
このように、ツールＴ１をワークＷ１の端面に精密仕上げ切削加工された点対偶凸曲面に対して精密に倣わせて、非球面レンズ形状に研削し、点対偶凸曲面に対して研削する。

研磨終了後は、図７に示すように、Ｚ軸スライドテーブル１１とＸ軸スライドテーブル１６と相対的に二次元移動して計測を行う。この場合、ワークＷ１を、ツールＴ１から例えば寸法ａだけ離れさせ、次いで、寸法ｂだけ移動し、ワーク測定手段２２のプローブ２２ａと対向させ、ワーク測定手段２２を２２’の点線位置から手動で接近する方向に移動してプローブ２２ａをワークＷ１に接触可能な位置とし、その後に、図８に示すように、Ｚ軸スライドテーブル１１とＸ軸スライドテーブル１６と相対的に二次元移動し、ワークＷ１のプローブ２２ａに対する相対的な運行行程を図８（ａ）→（ｂ）→（ｃ）→（ｄ）→（ｅ）に示すように、連続して移動し計測を行う。このとき、プローブ２２ａの接触圧力を検出して、該接触圧力が一定となるように、ツールＴ１をワークＷ１の研削加工された点対偶凸曲面に対して精密に倣わせる。
特開２００２−３４６８９３号公報

しかしながら、図５に示す凸曲面研削装置によれば、ワークの計測に際して、ワーク測定手段２２の移動が手動であり、装置の全自動化が達成されていないこと、ワークＷ１をプローブ２２ａに対向させるために移動する距離が長いことが問題になっている。

すなわち、昨今のデジタルカメラの高画質化に伴い、Ｒ２凸型の非球面形状精度が厳しくなると共に非球面形状計測にかかる時間も増大し、総じて非球面形状を有するレンズ・金型の生産性向上が必要となってきた。生産工程の中で、全行程に占める形状計測の割合は、各社精密加工装置により、１／２〜１／３程度となる。形状加工時間の削減とともに、機上計測時間の削減は、生産効率の向上に寄与することとなる。

そこで、この発明は、機上計測が完全自動化され、機上計測時間を短縮でき生産効率の向上に寄与す凸曲面研削装置及び凸曲面研削方法を提供することを課題とする。

かかる課題を達成するために、本発明は、第１のテーブルと、第２のテーブルとを有し、該第１のテーブルと該第２のテーブルの両方の移動又はいずれか一方の移動が二次元方向の移動となるように構成され、さらに、前記第１のテーブル上に備えたワーク支持手段と、前記第２のテーブル上に備えた回動テーブルと、該回動テーブル上に備えたツール支持手段とを有し、該ワーク支持手段のワークを支持して回転する回転中心線と、該ツール支持手段のツールを支持して回転する回転中心線とがそれぞれ前記回動テーブルの回転面に平行な同一平面となるように位置され、前記ワークと前記ツールとをそれぞれ回転し、前記第１のテーブルと前記第２のテーブルの両方又はいずれか一方を二次元方向に移動して、前記回動テーブルの回転中心線上にて前記ツールと前記ワークとを点接触して該ツールで該ワークの端面に形成された凸曲面に倣って研削するように構成され、さらに、ワークセンサを備え、前記研削終了後に、前記第１のテーブルと前記第２のテーブルの両方又はいずれか一方を二次元方向に移動して、前記ワークセンサを前記ワークに接触させつつ該ワーク形状に倣って移動させ、前記ワークセンサの検出信号に基づいて前記ワークの研削後寸法を計測するように構成された凸曲面研削装置において、前記ワークセンサは、前記回動テーブル上の、前記ワーク研削時に前記ワークと干渉せず、かつワーク計測時に前記ワークが前記ツールと干渉しない所要位置に備えられ、

前記研削終了後に、前記第１のテーブルと前記第２のテーブルの両方又はいずれか一方を二次元方向に移動して、前記ワークセンサを前記ワークの被測定個所に倣って摺動させ、前記ワークセンサの検出信号に基づいて前記ワークの研削後寸法を計測するように制御する制御手段を備えた凸曲面研削装置としたことを特徴とする。

本発明によれば、ワークセンサを、回動テーブル上の、ワーク研削時にワークと干渉せず、かつワーク計測時にワークがツールと干渉しない所要位置に備えたので、ワーク計測時のワークの移動距離が従来の約半分の距離になり、これにより移動時間も半分になり、そして、制御部が、研削終了後のワーク寸法計測に際して従来の手動を廃し、完全自動により計測する制御を行うから、機上計測が完全自動化され、機上計測時間を短縮でき生産効率の向上に寄与する。

以下、実施の形態について図面を参照して説明する。
〔実施の形態１〕

図１は、実施の形態１にかかる凸曲面研削装置３０の研削開始時の平面図であり、図２は、計測開始時の平面図を示す。

まず、研削機能部分の構成について図１を参照して説明する。

凸曲面研削装置３０は、防振手段を備えた定盤（図示しない）上にＺ軸スライドテーブル（第１のテーブル）３１とＸ軸スライドテーブル（第２のテーブル）３２とが設けられ、Ｘ軸スライドテーブル３２には回動テーブル３３が設けられ回動テーブル３３の回転中心がＢ軸３４となっている。

Ｚ軸スライドテーブル３１上に第１の固定台３５が設けられ、この第１の固定台３５に軸受３６を介してワーク回転軸３７が設けられ、このワーク回転軸３７が第１のモータ３８により回転される構成であり、このワーク回転軸３７の先端にワーク支持手段３９が設けられた構成である。なお、Ｚ軸スライドテーブル３１とＸ軸スライドテーブル３２と回動テーブル３３の各駆動源は図示していない。

この構成により、ワーク回転軸３７は、Ｚ軸方向に沿ったＣ軸４０の回りに例えば矢印４１の方向に回転自在であり、かつ、Ｚ軸スライドテーブル３１によりＺ軸方向にスライド自在であり、軸先端には、詳細を図示していないが、ワークＷ２を支持するチャック機能を有している。

また、回動テーブル３３上に第２の固定台４２が設けられ、この第２の固定台４２に軸受４３を介してツール回転軸４４が設けられ、このツール回転軸４４が第２の固定台４２に設けられた第２のモータ４５により回転される構成である。ツール回転軸４４の軸心４６は、ワーク回転軸３７のＣ軸４０と同一の高さに設けられ、回動テーブル３３が回動すると、ワーク回転軸３７のＣ軸４０を通るＸ−Ｚ平面内に旋回される。

この構成により、ツール回転軸４４は、第２のモータ４５により例えば矢印４７の方向に回転自在、Ｘ軸スライドテーブル３２によりＸ軸方向にスライド自在、回動テーブル３３によりワーク回転軸３７の軸心を通るＸ−Ｚ平面内に旋回自在であり、軸先端には、ツール（砥石）Ｔ２を支持している。

第２の固定台４２は、回動テーブル３３上に二次元方向に位置調整可能・精密位置決め可能に設けられている（図示しない）。そして、ツールＴ２の先端面の中心を通るＸ−Ｚ平面と交差する端縁が回動テーブル３３の回転中心のＢ軸３４に一致するように、第２の固定台４２が回動テーブル３３上に位置決めされ、これにより、ツールＴ２の先端面の中心を通るＸ−Ｚ平面と交差する端縁が、回動テーブル３３の旋回とＸ軸スライドテーブル３２の移動を行っても、回動テーブル３３の回転中心のＢ軸に常に一致し、このＢ軸３４上にツールＴ２とワークＷ２を接触させて研削する。

制御手段５０は、Ｚ軸スライドテーブル３１をＺ軸方向に移動するモータ（図示しない）と、第１のモータ３８と、Ｘ軸スライドテーブル３２をＸ軸方向に移動するモータ（図示しない）と、回動テーブル３３を回動するモータ（図示しない）と、第２のモータ４５とを、研削プログラムに従って駆動制御してワークＷ２を研削するように構成されている。

次に、研削機能について説明する。

この凸曲面研削装置３０によれば、ワーク回転軸３７の先端に備えたワーク支持手段３９でワークＷ２を着脱自在に支持すると共に、ツール回転軸４４の先端に備えたツール支持手段４８でツールＴ２を着脱自在に支持する。

上記構成の凸曲面研削装置３０によれば、ワーク回転軸３７とツール回転軸４４とをそれぞれ回転させ、ワークＷ２の先端面を、Ｂ軸３４と一致するツールＴ２の先端面に当接し、Ｚ軸スライドテーブル３１のＺ軸スライドとＸ軸スライドテーブル３２のＸ軸スライドと回動テーブル３３の回動とを相対的に動作させる。

そして、この凸曲面研削装置３０によれば、図５に示す従来の凸曲面研削装置１０と全く同一に、図６（ａ）→（ｂ）→（ｃ）→（ｄ）→（ｅ）のツール運行行程（逆の行程でも良い）に示すように、ツールＴ２を、ワークＷ２の端面に精密仕上げ切削加工された点対偶凸曲面に対して、平面→凹Ｒ面→非球面と精密に倣うように連続運行し、その際、ツール回転軸４４のＸ軸に対する傾き角を一定の規則で可変する。

すなわち、ツールＴ２の刃の先端角を２分割する分割線の延長線がワークＷ２の被研磨点における曲率中心を通るように（研削接点における両側の隙間角が等しくなるように）保つこととする。

こうして、凸曲面研削装置３０は、ツールＴ２を、ワークＷ２の端面に精密切削加工により形成された中央部に凸状非球面を有する凸曲面に倣うように、ワークＷ２に対して相対的に運行し、該ツールＴ２でワークＷ２の点対偶凸曲面を研削する。

続いて、実施の形態の要部である計測機能部分の構成について図１〜図３を参照して説明する。

この凸曲面研削装置３０は、ワーク研削後のワーク計測を行うために使用するワークセンサ４９について、従来のＸ軸スライドテーブルの側面位置への取り付けから回動テーブル上への取り付けに変更していることに特徴がある。

この実施の形態では、ワークセンサ４９は、回動テーブル３３上の、ワーク研削時にワークＷ２と干渉せず、かつワーク計測時にワークＷ２がツールＴ２と干渉しない所要位置に備えられている。

これは、ワーク研削時におけるワークＷ２のツールＴ２に対する相対的変動エリアを避けて、ワークセンサ４９を回動テーブル３３上へ取り付けるのでは不十分であり、ワーク計測時におけるワークＷ２のワークセンサ４９に対する相対的変動エリアがツールＴ２との干渉を避けるように、ワークセンサ４９を回動テーブル３３上へ取り付ける必要があるからである。

この実施の形態では、ワーク研削時にワークＷ２と干渉せず、かつワーク計測時にワークＷ２がツールＴ２と干渉しない構成としたことに加えて、さらに、研削終了後に回動テーブル３３を回動させる必要がない最良の配置として、図１に示す配置としている。

説明すると、この実施の形態では、ツールＴ２の刃先角が９０°なので、研削終了時のツール回転軸４４の軸心４６とＸ軸方向との交差角が４５°になるから（図１参照）、ワークセンサ４９のプローブ４９ａの先端を回動テーブル３３のＢ軸３４を通るＸ軸方向の線に合わせて、Ｂ軸３４からＺ軸方向に寸法ｃだけ離間して、該ワークセンサ４９が該回動テーブル３３上に備えられている。

ワークセンサ４９のＢ軸３４からＺ軸方向に離間した寸法ｃは、図７に示す従来の場合に比べ、約半分の距離となる（ｃ≒1/2・ｂ）。これにより、研削終了後にワークＷ２の研削後寸法の計測を開始するまでの時間を短縮できる。

すなわち、制御手段５０は、研削終了後に、Ｚ軸スライドテーブル３１とＸ軸スライドテーブル３２の移動を制御して、ワークセンサ４９のプローブ４９ａの先端をワークＷ２に接触させつつ該ワーク形状に倣って移動させる。このとき、プローブ４９ａの接触圧力を検出して、該接触圧力が一定となるように、ツールＴ２をワークＷ２の研削加工された点対偶凸曲面に対して精密に倣わせる。

制御手段５０は、Ｚ軸スライドテーブル３１をＺ軸方向に移動するモータ（図示しない）と、Ｘ軸スライドテーブル３２をＸ軸方向に移動するモータ（図示しない）とを、計測プログラムに従って駆動制御してワークセンサ４９の検出信号に基づいてワーク計測を行うように構成されている。

図３（ａ）〜（ｄ）は、ワークセンサ４９のプローブ４９ａの先端をワークＷ２に接触して該ワーク形状に倣って移動する運行させる運行行程を示す。

図３（ａ）では、ワークＷ２が、ツールＴ２の刃先に点接触した状態で研磨終了した状態（鎖線で示す位置）より、寸法ｄだけ移動して、測定を開始する一端をブローブ４９ａの正面に寸法ｅだけ離間して停止した状態を示す。

図３（ｂ）では、ワークＷ２が、プローブ４９ａに対して寸法ｅだけ接近移動して接触した状態を示す。この状態よりワークＷ２の測定を開始する。

図３（ｃ）では、ワークＷ２の中央の凸頂点にプローブ４９ａが到達した状態を示す。

図３（ｄ）では、ワークＷ２が、プローブ４９ａの計測終端に到達した状態を示す。

なお、図８（ａ）〜（ｅ）に示すように、反対方向の運行でも良い。

図３（ａ）〜（ｄ）に示すように、ワークＷ２とプローブ４９ａとツールＴ２の３者間の位置関係から、図１に示すように、ワーク研削時にワークＷ２と干渉せず、かつワーク計測時にワークＷ２がツールＴ２と干渉せず、さらに、ツールＴ２の刃先角の角度二等分線がワーク支持手段３９のＣ軸４０と一致した状態の時に、プローブ４９ａの先端を回動テーブル３３のＢ軸を通り、ワーク支持手段３９のＣ軸４０に対して直角方向（Ｘ軸方向）に延びる線に一致させると、研削終了後に回動テーブル３３を回動させることなく、ワークＷ２をＸ軸方向に移動して計測開始することができ、移動距離が短いことと、従来とは異なり完全自動計測としたことから、計測時間を大幅に短縮することができる。

制御手段５０は、ワークセンサ４９の検出信号に基づいて該ワークＷ２の研削後寸法・形状を計測する。この計測では、ワークの研削後の目標値と計測寸法との偏差を算出する。そして、ワークＷ２の削り過ぎは、補正が効かないので、計測寸法の方が大きい方に偏差を生じるようにして研削し、偏差が許容値を超えていて、計測寸法の方が大きいときは再度補正研削を行う。また、偏差を算出することにより、Ｚ軸スライドテーブル３１とＸ軸スライドテーブル３２の移動量に補正を加え、偏差を可能な限り縮小する。

この実施の形態によれば、ワークセンサを、回動テーブル上の、ワーク研削時にワークと干渉せず、かつワーク計測時にワークがツールと干渉しない所要位置に備えたので、ワーク計測時のワークの移動距離が従来の約半分の距離になり、これにより移動時間も半分になり、そして、制御部が、研削終了後のワーク寸法計測に際して従来の手動を廃し、完全自動により計測する制御を行うから、機上計測時間を約半分に短縮できて、生産効率の向上に寄与する。
〔実施の形態２〕

図４は、実施の形態２にかかる凸曲面研削装置３０Ａの研削開始時の平面図である。
この実施の形態２では、ツールＴ３の刃先角が６０°であることが、実施の形態１では、ツールＴ２の刃先角が９０°であることと相違している。従って、実施の形態２において、ツールＴ３以外の構成は、実施の形態１の場合と同一であるので、図１と同一の符号を付して、構成・動作・効果の説明を省略する。

この実施の形態２では、ツールＴ３の刃先角が６０°なので、研削終了時のツール回転軸４４の軸心４６とＸ軸方向との交差角が６０°になるから（図３参照）、ワークセンサ４９の回動テーブル３３上への配置を、図１と同一としてある。

すなわち、この実施の形態２においても、ワークセンサ４９を、ワーク研削時にワークＷ３と干渉せず、かつワーク計測時にワークＷ３がツールＴ３と干渉せず、さらに、ツールＴ３の刃先角の角度二等分線がワーク支持手段３９のＣ軸４０と一致した状態の時に、プローブ４９ａの先端を回動テーブル３３のＢ軸を通り、ワーク支持手段３９のＣ軸４０に対して直角方向（Ｘ軸方向）に延びる線に一致させている。これによって、研削終了後に回動テーブル３３を回動させることなく、ワークＷ３をＸ軸方向に移動して計測開始することができ、移動距離が短いことと、従来とは異なり完全自動計測としたことから、計測時間を大幅に短縮することができる。

本発明は、上記一実施の形態に限られるものではなく、その趣旨と技術思想の範囲を逸脱しない範囲でさらに種々の変形が可能である。
（１）上記の実施の形態では、レンズ成形金型をワークとして非球面が平面に連続する点対偶凸曲面の研削・計測について説明したが、本発明は、レンズ等の他のワークの端面の点対偶凸曲面を研削する点対偶凸曲面の研削にも適用される。
（２）また、ワーク回転軸によるワークの支持構造やツール回転軸によるツールの支持構造について、上記の実施の形態に示す構造に限定されるものではない。
（３）特に、実施の形態１では、第１のテーブル３１をＺ軸スライドテーブルとし、第２のテーブル３２をＸ軸スライドテーブルとして、ワークＷ２とツールＴ２とが相対的に二次元移動自在とした構成を示したが、第１のテーブル３１と第２のテーブル３２の何れか一方を固定テーブルとし、他方をＸ−Ｚ軸スライドテーブルとして、ワークＷ２とツールＴ２とが相対的に二次元移動自在である構成としても良い。
（４）上記の実施の形態では、ワークセンサ４９を、研磨終了時に、回動テーブル３３の回転中心のＢ軸を通り、かつワーク支持手段３９の回転中心線４０に対して直角方向に延びる線にプローブ４９ａの先端を一致させかつセンサ中心線をワーク支持手段３９の回転中心線４０に平行となるように備えた構成としたが、研磨終了時ではなく、計測開始時としてもよい。すなわち、研磨終了時とする場合は、実施の形態で説明したように、研磨終了後に回動テーブル３３を回転することなく計測開始できる。これに対して、研磨終了時ではなく、計測開始時とした場合とは、研磨終了後に回動テーブル３３を僅かな所定角度回転することにより、センサ中心線をワーク支持手段３９の回転中心線４０に平行となるようにする構成であり、このときの回動テーブル３３の回転は、ワークの計測位置への移動時間中に行わせることができる。また、位置関係は、制御手段に数値入力できるので、ワーク支持手段３９の回転中心線４０に対して直角方向に延びる線にプローブ４９ａの先端を一致させることは必要ではない。

本発明の実施の形態１に係る凸曲面研削装置の研削開始時の平面図 図１の凸曲面研削装置の計測開始時の平面図 図１の凸曲面研削装置の計測行程を示す要部の拡大平面図 本発明の実施の形態２に係る凸曲面研削装置の研削開始時の平面図 従来例に係る凸曲面研削装置の研削開始時の平面図 図５の凸曲面研削装置の研削行程を示す要部の拡大平面図 図５の凸曲面研削装置の計測開始時の平面図 図５の凸曲面研削装置の計測行程を示す要部の拡大平面図

符号の説明

３０…凸曲面研削装置
３１…Ｚ軸スライドテーブル（第１のテーブル）
３２…Ｘ軸スライドテーブル（第２のテーブル）
３３…回動テーブル
３７…ワーク回転軸
４０…Ｃ軸
３９…ワーク支持手段
Ｗ２，Ｗ３…ワーク
Ｔ２，Ｔ３…ツール
４４…ツール回転軸
４６…軸心
４８…ツール支持手段
４９…ワークセンサ
５０…制御手段

Claims (3)

1. 第１のテーブルと、第２のテーブルとを有し、該第１のテーブルと該第２のテーブルの両方の移動又はいずれか一方の移動が二次元方向の移動となるように構成され、
   さらに、前記第１のテーブル上に備えたワーク支持手段と、前記第２のテーブル上に備えた回動テーブルと、該回動テーブル上に備えたツール支持手段とを有し、該ワーク支持手段のワークを支持して回転する回転中心線と、該ツール支持手段のツールを支持して回転する回転中心線とがそれぞれ前記回動テーブルの回転面に平行な同一平面となるように位置され、
   前記ワークと前記ツールとをそれぞれ回転し、前記第１のテーブルと前記第２のテーブルの両方又はいずれか一方を二次元方向に移動して、前記回動テーブルの回転中心線上にて前記ツールと前記ワークとを点接触して該ツールで該ワークの端面に形成された凸曲面に倣って研削するように構成され、
   さらに、ワークセンサを備え、前記研削終了後に、前記第１のテーブルと前記第２のテーブルの両方又はいずれか一方を二次元方向に移動して、前記ワークセンサを前記ワークに接触させつつ該ワーク形状に倣って移動させ、前記ワークセンサの検出信号に基づいて前記ワークの研削後寸法を計測するように構成された凸曲面研削装置において、
   前記ワークセンサは、前記回動テーブル上の、前記ワーク研削時に前記ワークと干渉せず、かつワーク計測時に前記ワークが前記ツールと干渉しない所要位置に備えられ、
   前記研削終了後に、前記第１のテーブルと前記第２のテーブルの両方又はいずれか一方を二次元方向に移動して、前記ワークセンサを前記ワークの被測定個所に倣って摺動させ、前記ワークセンサの検出信号に基づいて前記ワークの研削後寸法を計測するように制御する制御手段を備えたことを特徴とする凸曲面研削装置。
2. 前記ワークセンサを、前記計測開始時に、前記回動テーブルの回転中心を通り、かつプローブの先端をセンサ中心線を前記ワーク支持手段の回転中心線に平行となるように備えたことを特徴とする請求項１に記載の凸曲面研削装置。
3. ワーク支持手段とツール支持手段とを、ワークを支持して回転する回転中心線とツールを支持して回転する回転中心線とがそれぞれ回動テーブルの回転面に平行な同一平面となるようにして、前記回動テーブルの回転中心線上に点接触するように位置させ、前記ワークと前記ツールとをそれぞれ回転し、前記ワーク支持手段を備える第１のテーブルと前記回動テーブルを備える第２のテーブルの両方の移動又はいずれか一方の移動を二次元方向の移動とし、前記ツールで前記ワークの端面に形成された凸曲面に倣って研削し、前記研削終了後は、ワークセンサと前記ワークとを一軸線上に離間対向させた状態から接触させ、前記ワークセンサの検出信号に基づいて前記ワークの研削後寸法を計測する凸曲面研削方法において、
   前記ワークセンサを前記回動テーブル上の、前記ワーク研削時に前記ワークと干渉せず、かつワーク計測時に前記ワークが前記ツールと干渉しない所要位置に配し、
   前記研削終了時に、前記第１のテーブルと前記第２のテーブルの両方又はいずれか一方を二次元方向に移動して、前記ワークセンサを前記ワークの被測定個所に倣って摺動させ、前記ワークセンサの検出信号に基づいて前記ワークの研削後寸法を計測することを特徴とする凸曲面研削方法。

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