JP2009262012A

JP2009262012A - 超音波噴霧装置

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Publication number: JP2009262012A
Application number: JP2008111757A
Authority: JP
Inventors: Jiro Takagi; 二郎高木
Original assignee: Nippon Soken Inc
Current assignee: Soken Inc
Priority date: 2008-04-22
Filing date: 2008-04-22
Publication date: 2009-11-12

Abstract

【課題】構造が簡素で、圧電振動子の振動方向に垂直な方向における体格の小型化に適した超音波噴霧装置を提供する。
【解決手段】超音波噴霧装置は、一端側の開口を塞ぐように開口端に多孔板が固定され、筒内部に液体の流路が設けられた筒状部材と、その振動方向に積層された一対の圧電振動子と、積層方向の上下から圧電振動子を挟み込む一対の金属部材とを有し、多孔板を超音波振動させるボルト締めランジュバン型振動子と、ボルト締めランジュバン型振動子からの超音波振動の伝達が抑制され、筒状部材の筒内部に、流路の少なくとも一部を構成しつつ多孔板に相対するように位置決め配置された静止部材とを備えており、筒状部材の筒内部には、流路の一端と連結され、多孔板の振動に応じて圧力が変化する圧力室が、相対する多孔板と静止部材との間に構成されている。
【選択図】図１

Description

本発明は、ボルト締めランジュバン型振動子を備えた超音波噴霧装置に関するものである。

従来、液体の噴霧装置として、例えば特許文献１に示されるように、ボルト締めランジュバン型振動子を備えた超音波噴霧装置が知られている。

特許文献１に示される液体噴射装置（超音波噴霧装置）では、ホーン先端に、ノズル（噴孔）を有するノズル板（多孔板）の中央部が固定されている。また、ホーンの後端に、並列接続された一対の圧電振動子が電極板を挟んでボルトとナットにて装着されており、これによりボルト締めランジュバン型振動子が構成されている。また、ノズル板の外周部が、ホーンの周囲に加圧室を有するボディに対して固定されている。そして、ホーンの振動により、ノズル板が中央部と外周部の中間部を腹として振動し、加圧室内に充填された液体を加減圧して、ノズルから液滴が噴射されるようになっている。
特開平３−７３３４３号公報

しかしながら、特許文献１に示される液体噴射装置では、ボディにより、圧電振動子の振動方向に垂直な方向において、ホーンの周囲に加圧室が設けられている。したがって、圧電振動子の振動方向に垂直な方向において、装置の体格を小型化することが困難である。

また、上記したように、ボディに加圧室が設けられ、ノズル板が、ホーンの先端とボディに固定されるなど、その装置構成が複雑となっている。

本発明は上記問題点に鑑み、構造が簡素で、圧電振動子の振動方向に垂直な方向における体格の小型化に適した超音波噴霧装置を提供することを目的とする。

上記目的を達成する為に、請求項１に記載の超音波噴霧装置は、一端側の開口を塞ぐように開口端に多孔板が固定され、筒内部に液体の流路が設けられた筒状部材と、その振動方向に積層された一対の圧電振動子と、積層方向の上下から圧電振動子を挟み込む一対の金属部材とを有し、多孔板を超音波振動させるボルト締めランジュバン型振動子と、ボルト締めランジュバン型振動子からの超音波振動の伝達が抑制され、筒状部材の筒内部に、流路の少なくとも一部を構成しつつ多孔板に相対するように位置決め配置された静止部材と、を備えており、筒状部材の筒内部には、流路の一端と連結され、多孔板の振動に応じて圧力が変化する圧力室が、相対する多孔板と静止部材との間に構成されていることを特徴とする。

このように本発明は、ボルト締めランジュバン型振動子により多孔板が超音波振動され、多孔板の超音波振動に応じて加圧室内の液体が多孔板の墳孔を介して外部に噴霧される超音波噴霧装置であって、筒状部材の筒内部には、相対する多孔板と静止部材との間に加圧室が設けられている。したがって、圧電振動子の振動方向に垂直な方向において、超音波噴霧装置の体格を、従来よりも小型化することができる。

また、筒状部材の一方の開口端に多孔板が固定され、この多孔板を含めて、上記したように、筒状部材の筒内部に加圧室が設けられている。したがって、従来よりも装置構成を簡素化することができる。

請求項１に記載の発明においては、例えば請求項２に記載のように、静止部材が、筒状部材の内周形状に応じた外周形状を有する筒状とされ、ボルト締めランジュバン型振動子からの超音波振動の伝達を抑制する緩衝部材を介して、筒状部材の筒内部に位置決め配置された構成とすると良い。

これによれば、静止部材の筒内に流路が構成されるので、加圧室へ液体を安定して供給することができる。また、超音波振動によって殆ど振動せず、多孔板に相対して加圧室の基準面となるように、静止部材を筒内部の所定位置に位置決め固定することができる。なお、静止部材は、緩衝部材を介して、筒状部材に固定されても良いし、ボルト締めランジュバン型振動子を構成する金属部材に固定されても良い。

請求項１又は請求項２に記載の発明においては、請求項３に記載のように、筒状部材が、ボルト締めランジュバン型振動子を構成する一対の金属部材の一方を兼ねた構成とすることが好ましい。これによれば、装置構成をより簡素化することができる。そして、これにより、装置の組み付け工数も削減することができる。

請求項１〜３いずれかに記載の発明においては、請求項４に記載のように、筒状部材として、超音波振動の振幅を増幅させるホーンを採用すると良い。これによれば、面積比に応じて、多孔板の超音波振動の振幅を大きくすることができる。

以下、本発明の実施の形態を図に基づいて説明する。
（第１実施形態）
図１は、本発明の第１実施形態に係る超音波噴霧装置の概略構成を示す断面図である。本実施形態に示す超音波噴霧装置は、水、燃料、薬液等の液体を霧化して噴霧する噴霧装置として適用されるものであり、より具体的な一例としては、車両の尿素ＳＣＲシステムにおいて、窒素酸化物を浄化するための尿素水の噴霧に適用される。

図１に示すように、超音波噴霧装置１００は、要部として、筒状部材１０と、筒状部材１０の一端側（噴霧先端側）に固定された多孔板２０と、多孔板２０を超音波振動させるボルト締めランジュバン型振動子３０と、筒状部材１０の内部に配置された静止部材４０と、を有している。

筒状部材１０は、その少なくとも一部が、ボルト締めランジュバン型振動子３０で生じた超音波振動を、多孔板２０に伝達する機能を果たす筒状の部材であり、その噴霧側端面（以下、先端面１１と示す）には、複数の墳孔２１が筒内部１２の開口領域に臨むように、多孔板２０が直接的に固定されている。また、筒内部１２には、多孔板２０に供給される液体５０の流路５１と、流路５１の端部に連結された液体５０の圧力室５２が設けられている。

本実施形態では、筒状部材１０が金属材料を用いて断面略円環状に形成されており、筒内部１２の開口領域は、その断面積を一定としつつ振動方向に沿って直線的に延びている。また、筒状部材１０は、後述する圧電振動子３１，３２の振動方向（換言すれば、図１に白抜き矢印で示す多孔板２０の振動方向であり、以下単に振動方向と示す）において、先端面１１から所定範囲が、先端面１１に近いほど断面積の小さいホーン形状となっており、残りの部分の外周形状は、その外周直径が後述する圧電振動子３１，３２の外周直径と略等しい一定の形状となっている。より詳しくは、図１の紙面右側に示す振動モードのように、多孔板２０の配置位置が超音波振動の腹の位置となっており、該腹の位置から１／４周期ずれた節の位置までの範囲が、ホーン形状となっている。このように、ホーン形状の筒状部材１０を採用すると、その面積比に応じて、図１に示すように超音波振動（振幅）を増幅することができる。

そして、上記した筒状部材１０の先端面１１には、直径数十μｍ程度の墳孔２１を厚さ０．１〜１ｍｍ程度の金属板に複数形成してなる多孔板２０が、ロウ付、溶接等により固定されている。なお、多孔板２０の外周形状は、筒状部材１０の外周形状と同じ略円形となっており、多孔板２０の外周端は、筒状部材１０の先端面１１における外周端と略一致されている。

また、筒状部材１０における先端面１１の裏面１３（以下、後端面１３と示す）には、圧電振動子３１、電源側（正側）電極板３３、圧電振動子３２、ＧＮＤ側（接地側）電極板３４、金属ブロック３５の順で積層配置されている。そして、これら３１〜３５が、ボルト締めにより筒状部材１０に一体結合されて、ボルト締めランジュバン型振動子３０が構成されている。なお、図１に示す振動モードのように、一対の圧電振動子３１，３２の間に配置された電源側電極板３３が振動の節位置となり、この節から各１／４周期ずれた腹間の１／２周期の部分が、ボルト締めランジュバン型振動子３０となっている。すなわち、本実施形態では、筒状部材１０の一部（振動方向において後端面１３から上記した一方の腹までの範囲）が、金属ブロック３５とともに、一対の圧電振動子３１，３２をその振動方向上下から挟み込む金属部材の一方（換言すればボルト締めランジュバン型振動子３０の一部）となっている。

より詳しくは、金属ブロック３５も、筒状部材１０同様に振動方向に沿って延びた筒状とされ、筒内部３５ａに流路５１が設けられている。この筒内部３５ａは、ボルト締めランジュバン型振動子３０が構成された状態（以下単に締結状態と示す）で、筒状部材１０における筒内部１２と一体的に連結されるように、振動方向に対して略垂直な開口領域の形状及び断面積が、筒内部１２の開口領域と一致されている。また、金属ブロック３５は、振動方向に対して略垂直な断面形状が略円環状となっており、締結状態でその外周端が筒状部材１０の後端面１３における外周端と略一致される（その外周直径が、圧電振動子３１，３２の外周直径と略等しい）挟持部３５ｂと、該挟持部３５ｂの一部から突出し、その先端から一部の範囲にボルトが構成された凸部３５ｃを有している。

一方、筒状部材１０の後端面１３における中央領域には、筒内部１２の開口領域を取り囲むように所定深さの凹部１４が設けられ、この凹部１４の側壁に、上記したボルトと対をなすナットが構成されている。また、一対の圧電振動子３１，３２は、振動方向に対して略垂直な断面が、筒状部材１０の後端面１３において中央領域を取り囲む周辺領域と略一致する断面略円環状となっており、電源側電極板３３及びＧＮＤ側電極板３４も、断面略円環状となっている。そして、ＧＮＤ側電極板３４、圧電振動子３２、電源側電極板３３、及び圧電振動子３１に対して金属ブロック３５の凸部３５ｃが挿通され、凸部３５ｃの先端に構成されたボルトが、筒状部材１０の後端面１３に設けられた凹部１４のナットと締結されて、ボルト締めランジュバン型振動子３０が構成されている。

なお、電源側電極板３３及びＧＮＤ側電極板３４は、その一部が、振動方向に対して略垂直な方向に引き出され、これにより駆動電圧が印加可能となっている。また、圧電振動子３１，３２は、金属ブロック３５とは接しておらず、圧電振動子３１は、振動方向における上下面が電源側電極板３３及び金属ブロック３５を介してＧＮＤ側電極板３４と電気的に接続された筒状部材１０における後端面１３の周辺領域と接しており、圧電振動子３２は、振動方向における上下面が電源側電極板３３及びＧＮＤ側電極板３４と接している。

また、筒状部材１０の筒内部１２には、ボルト締めランジュバン型振動子３０からの超音波振動の伝達が抑制され、且つ、液体５０の流路５１の少なくとも一部を構成しつつ多孔板２０に相対するように、静止部材４０が位置決め配置されている。そして、この静止部材４０、多孔板２０、及び筒内部１２の壁面（筒状部材１０の内周面）により、多孔板２０の振動に応じて圧力が変化する圧力室５２が構成されている。

本実施形態では、静止部材４０が、金属材料を用いて振動方向に沿って延びる筒状となっており、筒状部材１０の筒内部１２及び金属ブロック３５の筒内部３５ａに配置されている。また、静止部材４０における振動方向に垂直な断面の外周は、筒状部材１０における筒内部１２の壁面及び金属ブロック３５における筒内部３５ａの壁面に対応した円環状となっており、静止部材４０は、ゴムなどの弾性部材６０を介して、金属ブロック３５における筒内部３５ａの壁面に固定されている。この弾性部材６０が、特許請求の範囲に記載の緩衝部材に相当するものであり、この弾性部材６０によって、ボルト締めランジュバン型振動子３０から静止部材４０への超音波振動の伝達が抑制されるようになっている。また、弾性部材６０により、静止部材４０が金属ブロック３５、ひいては金属ブロック３５と一体化された筒状部材１０に対して位置決め固定されている。

また、筒状の静止部材４０は、金属ブロック３５の筒内部３５ａを貫通して一方の開口端が外部まで引き出されており、他方の開口端４２（多孔板２０側の開口端４２）が、多孔板２０における筒内部１２の開口領域に臨む部位に対して所定距離離れた位置とされて、多孔板２０と静止部材４０とが相対する位置関係となっている。そして、静止部材４０の内周面４１により、超音波噴霧装置１００における流路５１が構成されており、静止部材４０における開口端４２、筒内部１２の壁面における静止部材４０と相対していない部位、及び多孔板２０の内面２２（静止部材４０との対向面）により、圧力室５２が構成されている。このように、圧力室５２は流路５１の一端と液体５０を流通可能に連通されており、流路５１よりも、振動方向に略垂直な方向における開口領域の断面積が大きくなっている。
また、静止部材４０の開口端４２が圧力室５２の底面となっている。このような底面としての開口端４２の位置は、多孔板２０の超音波振動による圧力室５２内の圧力上昇が容易で、且つ、圧力室５２内への液体５０の流入が容易な、圧力室５２の厚みが０．５〜１ｍｍ程度となる位置とすると良い。

なお、図１に示す符号６１は、圧力室５２側から、筒状部材１０における筒内部１２の壁面と静止部材４０の外周面との間の隙間を介して、圧電振動子３１，３２や電極板３３，３４へ、液体５０がリークするのを防ぐＯリング６１である。また、符号１５は、筒状部材１０におけるホーン形状部位の後端（振動の節の位置）に設けられたフランジであり、このフランジ１５を介して、超音波噴霧装置１００が他部材に固定されるようになっている。

次に、上記した超音波噴霧装置１００における噴霧原理について説明する。ボルト締めランジュバン型振動子３０を構成する電極板３３，３４に所定の駆動電圧を印加すると、圧電振動子３１，３２がその積層方向に振動する。このボルト締めランジュバン型振動子３０の超音波振動は、筒状部材１０を通じて伝達されるとともにホーン形状部位にて振動の振幅が拡大され、筒状部材１０の先端面１１に固定された多孔板２０に伝達される。本実施形態では、多孔板２０が振動の腹に位置するため、多孔板２０（における筒内部１２の開口領域に臨む部位）が、大きな振幅をもって図１に示す振動方向に超音波振動することとなる。

一方、静止部材４０は、上記したように、弾性部材６０を介して金属ブロック３５における筒内部３５ａの壁面に固定されているため、ボルト締めランジュバン型振動子３０の超音波振動が殆ど伝わらず、常に静止状態となっている。この静止部材４０の開口端４２は、筒内部１２の壁面における静止部材４０と相対していない部位及び多孔板２０の内面２２とともに圧力室５２を構成しており、超音波振動する多孔板２０と静止された静止部材４０とは、相対する位置関係となっている。したがって、流路５１を通って圧力室５２に流入した液体５０には、ボルト締めランジュバン型振動子３０（多孔板２０）の超音波振動に伴って、超音波振動周期の圧力変化が生じる。

この圧力変化は、振動方向において、多孔板２０が静止部材４０側に変位すると圧力が高くなり、逆に静止部材４０から離れる方向に変位すると圧力が低くなって液体５０のキャビテーションが発生する。このような圧力変化が、圧力室５２から多孔板２０の噴孔２１を通って噴出する液体５０に作用すると、圧力室５２の圧力が高いときには噴出が加速され、逆に圧力が低くキャビテーションが発生するときには噴出が阻害されることとなる。このように、多孔板２０の噴孔２１を通って噴出する液体５０は、超音波振動周期で噴出する噴霧５３の形態となる。

次に、本実施形態に係る超音波噴霧装置１００の特徴的な効果について説明する。本実施形態に係る超音波噴霧装置１００は、ボルト締めランジュバン型振動子３０により多孔板２０が超音波振動される装置構成となっており、筒状部材１０の筒内部１２であって相対する多孔板２０と静止部材４０との間に、流路５１に連通されて圧力室５２が設けてられている。したがって、振動方向に垂直な方向において、超音波噴霧装置１００の体格を、従来よりも小型化することができる。また、筒状部材１０の先端面１１に多孔板２０が直接的に固定され、この多孔板２０を含めて、上記したように、筒状部材１０の筒内部１２に圧力室５２が設けられている。したがって、従来よりも装置１００の構成を簡素化することができる。以上から、本実施形態に係る超音波噴霧装置１００は、構造が簡素で、圧電振動子３１，３２の振動方向に垂直な方向における体格の小型化に適した超音波噴霧装置となっている。

また、本実施形態では、筒状部材１０の先端面１１に多孔板２０が直接固定されており、ボルト締めランジュバン型振動子３０の超音波振動が、筒状部材１０を通じて多孔板２０に伝達される。したがって、図示されないポンプにより圧送された液体５０の圧力が低圧で、多孔板２０の表面２３（内面２２の裏面側である外面２３）に厚さ数十μｍ程度の液膜が生じたとしても、多孔板２０自体の超音波振動によって、この液膜を霧化させて噴射させることができる。したがって、低圧での液体５０のぼた落ちを抑制することができる。

また、本実施形態では、静止部材４０が、筒状部材１０の内周形状に応じた外周形状を有する筒状とされ、ボルト締めランジュバン型振動子３０からの超音波振動の伝達を抑制する弾性部材６０を介して、筒状部材１０の筒内部１２に位置決め配置されている。そして、静止部材４０の内周面４１により、静止部材４０の筒内に流路５１が構成されている。したがって、弾性部材６０と液体５０とが接触しない構成となっており、静止部材４０の内周面４１はその形状が安定しているので、圧力室５２へ液体５０を安定供給することができる。

また、本実施形態では、筒状部材１０の一部が、ボルト締めランジュバン型振動子３０を構成する一対の金属部材の一方を兼ねている。したがって、装置１００の構成をより簡素化することができる。そして、これにより、装置１００の組み付け工数も削減することができる。

以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明は上述した実施形態になんら制限されることなく、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、種々変形して実施することが可能である。

本実施形態では、静止部材４０が、金属ブロック３５の筒内部３５ａを貫通する例を示した。しかしながら、静止部材４０の形態としては、上記例に限定されるものではなく、ボルト締めランジュバン型振動子３０からの超音波振動の伝達が抑制され、且つ、液体５０の流路５１の少なくとも一部を構成しつつ多孔板２０に相対するように位置決め配置されていれば良い。例えば図２に示す例では、静止部材４０の長さが図１に示した例よりも短く、静止部材４０は筒状部材１０におけるホーン形状部位の後端付近まで延設されており、筒状部材１０のホーン形状部位の後端付近（超音波振動の節位置付近）で、弾性部材６０を介して筒内部１２の壁面に位置決め固定された構成となっている。なお、流路５１は、静止部材４０の内周面４１だけでなく、筒状部材１０における筒内部１２の壁面によって構成されている。詳しくは、筒状部材１０の筒内部１２が、静止部材４０が配置された後端から先端面１１まで範囲の先端側部位１２ａと、静止部材４０が配置された後端よりも後端側の後端側部位１２ｂとを有し、先端側部位１２ａのほうが後端側部位１２ｂよりも開口領域の断面積が大きくなっている。また、後端側部位１２ｂと静止部材４０の内周面４１とで開口領域の断面積及び形状が一致されており、流路５１が、静止部材４０の内周面４１及び筒内部１２における後端側部位１２ｂの壁面によって構成されている。また、筒状部材１０は、後端面１３の一部から突出し、一部にボルトが構成された凸部１６を有しており、金属ブロック３５には、多孔板２０側の面の中央領域に、筒内部３５ａの開口領域を取り囲むように所定深さの凹部３５ｄが設けられ、この凹部３５ｄの側壁に、上記したボルトと対をなすナットが構成されている。そして、圧電振動子３１、電源側電極板３３、圧電振動子３２、ＧＮＤ側電極板３４、及び金属ブロック３５に対して、筒状部材１０の凸部１６が挿通され、凸部１６に構成されたボルトが、金属ブロック３５に設けられた凹部３５ｄのナットと締結されて、ボルト締めランジュバン型振動子３０が構成されている。図２は、変形例の概略構成を示す断面図である。

また、本実施形態では、静止部材４０が筒状とされる例を示した。しかしながら、筒状でなく、静止部材４０の外面が流路５１とされるような形状を採用することもできる。

本実施形態では、筒状部材１０の内部と金属ブロック３５の内部に、流路５１が設けられる例を示した。しかしながら、例えば図３に示すように、筒状部材１０の内部のみに流路５１が設けられた構成としても良い。図３に示す例では、筒状部材１０の内部のみに、筒状部材１０の筒内部１２（後端側部位１２ｂ）の壁面及び静止部材４０の内周面４１によって断面略Ｌ字状の流路５１が構成されている。そして、筒状部材１０の外周面における振動の節に近い部位で、流路５１の一端が外部に露出されている。なお、図３に示す例では、静止部材４０の構成が図２に示した構成と同じとなっており、金属ブロック３５には振動方向に沿って延びる開口領域が設けられていない。図３は、変形例の概略構成を示す断面図である。

本実施形態では、筒状部材１０の一部が、ボルト締めランジュバン型振動子３０の一部（一対の金属部材の一方）を兼ねる例を示した。しかしながら、例えば図４に示すように、筒状部材１０とボルト締めランジュバン型振動子３０とが独立した構成としてもよい。図４では、一対の金属部材として、金属ブロック３５とともに、上記した圧電振動子３１，３２、各電極板３３，３４を挟み込む金属部材３６を有している。なお、図４に示す例では、圧電振動子３１，３２、各電極板３３，３４、金属ブロック３５の構成は、第１実施形態に示した構成（図１参照）と同じ構成となっている。金属部材３６は振動方向に沿って延びる筒状となっており、振動方向に対し略垂直な断面が、略円環状となっている。また、締結状態でその外周端が筒状部材１０の後端面１３における外周端と略一致（その外周直径が、圧電振動子３１，３２の外周直径と略等しく）されており、その後端面における中央領域には、筒内部３６ａの開口領域を取り囲むように所定深さの凹部３６ｂが設けられている。そして、この凹部３６ｂの側壁に、金属ブロック３５の凸部３５ｃに構成されたボルトと対をなすナットが構成されている。また、図４に示すように、金属ブロック３５と筒状部材１０とが締結によって互いに一体化されている。図４は、変形例の概略構成を示す断面図である。

本実施形態では、筒状部材１０がホーン形状の部位を有する例を示した。しかしながら、ホーン形状部位を有さない構成としてもよい。

本実施形態では、圧力室５２が、静止部材４０の開口端４２、筒状部材１０の筒内部１２における壁面、多孔板２０の内面２２によって構成される例を示した。しかしながら、圧力室５２は、筒状部材１０の筒内部１２であって、相対する多孔板２０と静止部材４０を圧力室５２の壁面とするものであれば良い。換言すれば、筒状部材１０の筒内部１２であって、相対する多孔板２０と静止部材４０との間に構成されたものであれば良い。したがって、圧力室５２の側面は、筒状部材１０の筒内部１２における壁面に限定されるものではない。例えば、静止部材４０の開口端４２における周縁領域から突出され、筒内部１２の壁面に隣接する環状の凸部の内周面を、圧力室５２の側面としても良い。

第１実施形態に係る超音波噴霧装置の概略構成を示す断面図である。変形例の概略構成を示す断面図である。変形例の概略構成を示す断面図である。変形例の概略構成を示す断面図である。

符号の説明

１０・・・筒状部材
１１・・・先端面
１２・・・筒内部
２０・・・多孔板
３０・・・ボルト締めランジュバン型振動子
３１，３２・・・圧電振動子
３５・・・金属ブロック（金属部材）
４０・・・静止部材
４２・・・開口端
５０・・・液体
５１・・・流路
５２・・・圧力室
１００・・・超音波噴霧装置

Claims

一端側の開口を塞ぐように開口端に多孔板が固定され、筒内部に液体の流路が設けられた筒状部材と、
その振動方向に積層された一対の圧電振動子と、積層方向の上下から前記圧電振動子を挟み込む一対の金属部材とを有し、前記多孔板を超音波振動させるボルト締めランジュバン型振動子と、
前記ボルト締めランジュバン型振動子からの超音波振動の伝達が抑制され、前記筒状部材の筒内部に、前記流路の少なくとも一部を構成しつつ前記多孔板に相対するように位置決め配置された静止部材と、を備え、
前記筒状部材の筒内部には、前記流路の一端と連結され、前記多孔板の振動に応じて圧力が変化する圧力室が、相対する前記多孔板と前記静止部材との間に構成されていることを特徴とする超音波噴霧装置。
前記静止部材は、前記筒状部材の内周形状に応じた外周形状を有する筒状とされ、前記ボルト締めランジュバン型振動子からの超音波振動の伝達を抑制する緩衝部材を介して、前記筒状部材の筒内部に位置決め配置されていることを特徴とする請求項１に記載の超音波噴霧装置。
前記筒状部材は、前記ボルト締めランジュバン型振動子を構成する一対の前記金属部材の一方を兼ねていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の超音波噴霧装置。
前記筒状部材は、超音波振動の振幅を増幅させるホーンであることを特徴とする請求項１〜３いずれか１項に記載の超音波噴霧装置。