JP2012149338A5

JP2012149338A5 -

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Publication number: JP2012149338A5
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Filing date: 2011-09-21
Publication date: 2014-12-18
Anticipated expiration: 2031-09-21

Description

上記目的を達成するために、請求項１記載の発明は、ターゲットを支持するカソード電極の背面側に、強磁性板材からなるヨーク板と、該ヨーク板の板面上に配置された外周磁石と、前記ヨーク板の板面上の前記外周磁石の内部に配置され、前記外周磁石と極性が異なる内部磁石と、を備え、前記外周磁石および前記内部磁石によって前記ターゲット上に発生した磁力線の接線が前記ターゲット面と平行になるような領域の集合としての磁気トラックを形成する磁石ユニットであって、前記ヨーク板の板面から垂直方向に沿って直立して設けられ、前記ヨーク板の板面と対向する面に第１の磁極を有し、前記ヨーク板の板面と対向しない面に前記第１の磁極と反発する第２の磁極を有する第１の磁石と、前記ヨーク板の板面から垂直方向に沿って直立して設けられ、かつ、前記ヨーク板の板面と対向する面に前記第１の磁極と反発する第３の磁極を有し、前記ヨーク板の板面と対向しない面に前記第２の磁極と反発する第４の磁極を有する第２の磁石と、前記第１の磁石と前記第２の磁石に挟まれるように直立して配置され、前記第１の磁石の第２の磁極と対向する部分に第５の磁極を有し、前記第２の磁石の第３の磁極と対向する部分に第５の磁極と反発する第６の磁極を有し、前記第５の磁極と前記第６の磁極と結ぶ線の向きが前記ヨーク板の板面水平面から斜め方向に向くように着磁された第３の磁石と、を備えた第１の磁石エレメントと、前記ヨーク板の板面から垂直方向に沿って直立して設けられ、前記ヨーク板の板面と対向する面に第７の磁極を有し、前記ヨーク板の板面と対向しない面に前記第７の磁極と反発する第８の磁極を有する第４の磁石と、前記ヨーク板の板面から垂直方向に沿って直立して設けられ、かつ、前記ヨーク板の板面と対向する面に第７の磁極と反発する第９の磁極を有し、前記ヨーク板の板面と対向しない面に前記第８の磁極と反発する第１０の磁極を有する第５の磁石と、前記第４の磁石と前記第５の磁石に挟まれるように直立して配置され、前記第４の磁石の第７の磁極と対向する部分に第１１の磁極を有し、前記第５の磁石の第１０の磁極と対向する部分に前記第１１の磁極と反発する第１２の磁極を有し、前記第１０の磁極と前記第１１の磁極とを結ぶ線の向きが前記ヨークの板面水平面から斜め方向に向くように着磁された第６の磁石と、を備えた第２の磁石エレメントとから構成され、前記第１の磁石エレメントと前記第２の磁石エレメントとを、無終端状の形状に沿って交互に配置したことを特徴とする磁石ユニットとしたものである。
さらに、請求項２記載の発明は、請求項１記載の発明において、前記第３の磁石の第５の磁極と第６の磁極とを結ぶ線は、前記ヨーク板の板面水平面から斜め方向に１０度以上７０度以下傾いた線であり、前記斜め方向はヨーク板からターゲットに向かう方向であることを特徴とする磁石ユニットとしたものである。
さらに、請求項３記載の発明は、請求項１記載の発明において、前記第６の磁石の第１１の磁極と第１２の磁極とを結ぶ線は、前記ヨーク板の板面水平面から斜め方向に１０度以上７０度以下傾いた線であり、前記斜め方向はターゲットからヨーク板に向かう方向であることを特徴とする磁石ユニットとしたものである。
さらに、請求項４記載の発明は、請求項２記載の発明において、前記第３の磁石の第５の磁極と第６の磁極とを結ぶ線は、前記ヨーク板の板面平行面に沿って、前記第１の磁石の第２の磁極と前記第２の磁石の第４の磁極とを結ぶ線から時計回り方向に６０度以内の角度を有するものであることを特徴とする磁石ユニットとしたものである。
さらに、請求項５記載の発明は、請求項３記載の発明において、前記第６磁石の第１１の磁極と第１２の磁極とを結ぶ線は、前記ヨーク板の板面平行面に沿って、前記第４の磁石の第８の磁極と前記第５の磁石の第１０の磁極とを結ぶ線から反時計回り方向に６０度以内の角度を有するものであることを特徴とする磁石ユニットとしたものである。
さらに、請求項６記載の発明は、請求項１から５のいずれか１項に記載の発明において、前記第１の磁石エレメントと前記第２の磁石エレメントとは、所定の間隔を隔てて、交互に配置されていることを特徴とする磁石ユニットとしたものである。
さらに、請求項７記載の発明は、請求項１から６のいずれか１項に記載の発明において、前記第１の磁石エレメントと前記第２の磁石エレメントとは、環状線に沿って交互に配置されていることを特徴とする磁石ユニットとしたものである。
上記目的を達成するために、請求項８記載の発明は、矩形のターゲットを支持する矩形のカソード電極の背面側に、強磁性板材からなる矩形のヨーク板と、該ヨーク板上に配置された外周磁石と、前記ヨーク板上の前記外周磁石の内部に配置され、前記外周磁石と極性が異なる内部磁石と、を備え、前記外周磁石および前記内部磁石によって前記ターゲット上に発生した磁力線の接線が前記ターゲット面と平行になるような領域の集合としての磁気トラックを形成する磁石ユニットであって、前記矩形のヨーク板の周に沿って設けられた複数の第１の磁石群磁石からなる第１の磁石群と、前記矩形のヨーク板の中心部分に設けられた複数の第２の磁石群磁石からなる第２の磁石群と、前記第１の磁石群と前記第２の磁石群と間であって、前記第２の磁石群を取り囲むように設けられた複数の第３の磁石群磁石からなる第３の磁石群と、から構成され、第１の磁石群磁石は、前記ヨーク板の板面から垂直方向に沿って直立して設けられ、前記ヨーク板の板面と対向する面に第１３の磁極を有し、前記ヨーク板の板面と対向しない面に前記第１３の磁極と反発する第１４の磁極を有するものであり、前記第２の磁石群磁石は、前記ヨーク板の板面から垂直方向に沿って直立して設けられ、かつ、前記ヨーク板の板面と対向する面に前記第１３の磁極と反発する第１５の磁極を有し、前記ヨーク板の板面と対向しない面に前記第１４の磁極と反発する第１６の磁極を有するものであり、前記第３の磁石群磁石は、前記第１の磁石群磁石と前記第２の磁石群磁石に挟まれるように直立して配置され、前記第１の磁石群磁石の第１４の磁極と対向する部分に第１７の磁極を有し、前記第２の磁石群磁石の第１５の磁極と対向する部分に前記第１７の磁極と反発する第１８の磁極を有し、前記第１７の磁極と前記第１８の磁極とを結ぶ線の向きが前記ヨークの板面水平面から斜め方向に向くように着磁された第７の磁石と、前記第１の磁石群磁石と前記第２の磁石群磁石に挟まれるように直立して配置され、前記第１の磁石群磁石の第１３の磁極と対向する部分に第１９の磁極を有し、前記第２の磁石郡磁石の第１６の磁極と対向する部分に前記第１９の磁極と反発する第２０の磁極を有し、前記第１９の磁極と前記第２０の磁極とを結ぶ線の向きが前記ヨークの板面水平面から斜め方向に向くように着磁された第８の磁石と、を有するものであることを特徴とする磁石ユニットとしたものである。
さらに、請求項９記載の発明は、請求項８記載の発明において、前記第３の磁石群磁石は、前記１の磁石群磁石又は第２の磁石群磁石のいずれかに向かう磁力線を有するものであることを特徴とする磁石ユニットとしたものである。
さらに、請求項１０記載の発明は、請求項８又は請求項９記載の発明において、矩形のヨーク板の角部に位置する前記第７の磁石の第１７の磁極と第１８の磁極とを結ぶ線は、前記ヨーク板の板面平行面に沿って、前記第１の磁石群磁石の第１４の磁極と前記第２の磁石郡磁石の第１６の磁極とを結ぶ線から時計回り方向又は反時計周り方向に６０度以内の角度を有するものであり、矩形のヨーク板の角部に位置する前記第８の磁石の第１９の磁極と第２０の磁極とを結ぶ線は、前記ヨーク板の板面平行面に沿って、前記第１の磁石群磁石の第１４の磁極と前記第２の磁石郡磁石の第１６の磁極とを結ぶ線から時計回り方向又は反時計周り方向に６０度以内の角度を有するものであることを特徴とする磁石ユニットとしたものである。
上記目的を達成するために、請求項１１記載の発明は、処理室に、処理対象としての基板と、前記基板に対向するように配され、ターゲットを支持し放電用電力が供給されるカソード電極と、前記ターゲットの前方に前記基板を搬送させる搬送機構と、を備え、前記カソード電極の背面側に、請求項１から請求項１０のいずれか１項に記載の磁石ユニットが配されていることを特徴とするマグネトロンスパッタリング装置としたものである。
上記目的を達成するために、請求項１２記載の発明は、ターゲットを支持するカソード電極の背面側に配置された磁石ユニットであって、前記カソード電極の背面側に配置され、強磁性板材からなる第１のヨーク板と、前記第１のヨーク板の板面から垂直方向に沿って直立して設けられ、前記第１のヨーク板の板面と対向する面に第１の磁極を有し、前記第１のヨーク板の板面と対向しない面に前記第１の磁極と反発する第２の磁極を有する第１の磁石と、前記第１のヨーク板の板面から垂直方向に沿って直立して設けられ、かつ、前記第１のヨーク板の板面と対向する面に前記第１の磁極と反発する第３の磁極を有し、前記第１のヨーク板の板面と対向しない面に前記第２の磁極と反発する第４の磁極を有する第２の磁石と、前記第１の磁石と前記第２の磁石に挟まれるように直立して配置され、前記第１の磁石の第２の磁極と対向する部分に第５の磁極を有し、前記第２の磁石の第３の磁極と対向する部分に第５の磁極と反発する第６の磁極を有し、前記第５の磁極と前記第６の磁極と結ぶ線の向きが前記第１のヨーク板の板面と平行な面から斜め方向に向くように着磁された第３の磁石と、
を備えた第１の磁石エレメントと、前記カソード電極の背面側に配置され、強磁性板材からなる第２のヨーク板と、前記第２のヨーク板の板面から垂直方向に沿って直立して設けられ、前記第２のヨーク板の板面と対向する面に第７の磁極を有し、前記第２のヨーク板の板面と対向しない面に前記第７の磁極と反発する第８の磁極を有する第４の磁石と、前記第２のヨーク板の板面から垂直方向に沿って直立して設けられ、かつ、前記第２のヨーク板の板面と対向する面に第７の磁極と反発する第９の磁極を有し、前記ヨーク板の板面と対向しない面に前記第８の磁極と反発する第１０の磁極を有する第５の磁石と、前記第４の磁石と前記第５の磁石に挟まれるように直立して配置され、前記第４の磁石の第７の磁極と対向する部分に第１１の磁極を有し、前記第５の磁石の第１０の磁極と対向する部分に前記第１１の磁極と反発する第１２の磁極を有し、前記第１１の磁極と前記第１２の磁極とを結ぶ線の向きが前記第２のヨークの板面と平行な面から斜め方向に向くように着磁された第６の磁石と、を備えた第２の磁石エレメントとから構成され、前記第１の磁石エレメントと前記第２の磁石エレメントとは、第１の磁石と前記第４の磁石と、前記第２の磁石と前記第５の磁石と、前記第３の磁石と前記第６の磁石と、がそれぞれ隣になるように配置されており、前記第１のヨーク板と前記第２のヨーク板とは、前記第１のヨーク板および前記第２のヨーク板の一端が、前記ターゲットの端部に向かい、前記第１のヨーク板および前記第２のヨーク板の他端が、前記ターゲットの中央部に向かうように、放射状に交互に配置されることを特徴とする磁石ユニットとしたものである。
上記目的を達成するために、請求項１３記載の発明は、矩形のターゲットを支持する矩形のカソード電極の背面側に配置された磁石ユニットであって、前記カソード電極の背面側に配置され、強磁性板材からなる矩形のヨーク板と、前記矩形のヨーク板の周に沿って設けられた第１の磁石群と、前記矩形のヨーク板の中心部分に設けられた第２の磁石群と、前記第１の磁石群と前記第２の磁石群との間であって、前記第２の磁石群を取り囲むように設けられた第３の磁石群と、から構成され、前記第１の磁石群は、前記ヨーク板の板面の両端でかつ前記ヨーク板の板面から垂直方向に沿って直立して設けられ、前記ヨーク板の板面と対向する面に第１の磁極を有し、前記第１のヨーク板の板面と対向しない面に前記第１の磁極と反発する第２の磁極を有する第１の磁石で構成され、前記第２の磁石群は、前記ヨーク板の板面の中央でかつ前記ヨーク板の板面から垂直方向に沿って直立して設けられ、前記ヨーク板の板面と対向する面に前記第１の磁極と反発する第３の磁極を有し、前記ヨーク板の板面と対向しない面に前記第２の磁極と反発する第４の磁極を有する第２の磁石で構成され、前記第３の磁石群は、前記第１の磁石と前記第２の磁石に挟まれるように、前記ヨーク板の板面から垂直方向に沿って直立して設けられ、前記第１の磁石の第２の磁極と対向する部分に第５の磁極を有し、前記第２の磁石の第３の磁極と対向する部分に前記第５の磁極の極性と逆の極性を有する第６の磁極を有し、前記第５の磁極と前記第６の磁極とを結ぶ線の向きが前記ヨークの板面と平行な面から斜め方向に向くように着磁された第３の磁石と、前記第１の磁石と前記第２の磁石に挟まれるように前記ヨーク板の板面から垂直方向に沿って直立して設けられ、前記第１の磁石の第１の磁極と対向する部分に第７の磁極を有し、前記第２の磁石の第４の磁極と対向する部分に前記第７の磁極の極性と逆の極性を有する第８の磁極を有し、前記第７の磁極と前記第８の磁極とを結ぶ線の向きが前記ヨークの板面と水平な面から斜め方向に向くように着磁された第４の磁石と、で構成され、前記第３の磁石と前記第４の磁石とは、前記第２の磁石群を取り囲む線に沿って、交互に設けられていることを特徴とする磁石ユニットとしたものである。

Claims

ターゲットを支持するカソード電極の背面側に、強磁性板材からなるヨーク板と、該ヨーク板の板面上に配置された外周磁石と、前記ヨーク板の板面上の前記外周磁石の内部に配置され、前記外周磁石と極性が異なる内部磁石と、を備え、
前記外周磁石および前記内部磁石によって前記ターゲット上に発生した磁力線の接線が前記ターゲット面と平行になるような領域の集合としての磁気トラックを形成する磁石ユニットであって、
前記ヨーク板の板面から垂直方向に沿って直立して設けられ、前記ヨーク板の板面と対向する面に第１の磁極を有し、前記ヨーク板の板面と対向しない面に前記第１の磁極と反発する第２の磁極を有する第１の磁石と、
前記ヨーク板の板面から垂直方向に沿って直立して設けられ、かつ、前記ヨーク板の板面と対向する面に前記第１の磁極と反発する第３の磁極を有し、前記ヨーク板の板面と対向しない面に前記第２の磁極と反発する第４の磁極を有する第２の磁石と、
前記第１の磁石と前記第２の磁石に挟まれるように直立して配置され、前記第１の磁石の第２の磁極と対向する部分に第５の磁極を有し、前記第２の磁石の第３の磁極と対向する部分に第５の磁極と反発する第６の磁極を有し、前記第５の磁極と前記第６の磁極と結ぶ線の向きが前記ヨーク板の板面水平面から斜め方向に向くように着磁された第３の磁石と、
を備えた第１の磁石エレメントと、
前記ヨーク板の板面から垂直方向に沿って直立して設けられ、前記ヨーク板の板面と対向する面に第７の磁極を有し、前記ヨーク板の板面と対向しない面に前記第７の磁極と反発する第８の磁極を有する第４の磁石と、
前記ヨーク板の板面から垂直方向に沿って直立して設けられ、かつ、前記ヨーク板の板面と対向する面に第７の磁極と反発する第９の磁極を有し、前記ヨーク板の板面と対向しない面に前記第８の磁極と反発する第１０の磁極を有する第５の磁石と、
前記第４の磁石と前記第５の磁石に挟まれるように直立して配置され、前記第４の磁石の第７の磁極と対向する部分に第１１の磁極を有し、前記第５の磁石の第１０の磁極と対向する部分に前記第１１の磁極と反発する第１２の磁極を有し、前記第１１の磁極と前記第１２の磁極とを結ぶ線の向きが前記ヨークの板面水平面から斜め方向に向くように着磁された第６の磁石と、
を備えた第２の磁石エレメントとから構成され、前記第１の磁石エレメントと前記第２の磁石エレメントとを、無終端状の形状に沿って交互に配置したことを特徴とする磁石ユニット。
前記第３の磁石の第５の磁極と第６の磁極とを結ぶ線は、前記ヨーク板の板面水平面から斜め方向に１０度以上７０度以下傾いた線であり、前記斜め方向はヨーク板からターゲットに向かう方向であることを特徴とする請求項１記載の磁石ユニット。
前記第６の磁石の第１１の磁極と第１２の磁極とを結ぶ線は、前記ヨーク板の板面水平面から斜め方向に１０度以上７０度以下傾いた線であり、前記斜め方向はターゲットからヨーク板に向かう方向であることを特徴とする請求項１記載の磁石ユニット。
前記第３の磁石の第５の磁極と第６の磁極とを結ぶ線は、前記ヨーク板の板面平行面に沿って、前記第１の磁石の第２の磁極と前記第２の磁石の第４の磁極とを結ぶ線から時計回り方向に６０度以内の角度を有するものであることを特徴とする請求項２記載の磁石ユニット。
前記第６磁石の第１１の磁極と第１２の磁極とを結ぶ線は、前記ヨーク板の板面平行面に沿って、前記第４の磁石の第８の磁極と前記第５の磁石の第１０の磁極とを結ぶ線から反時計回り方向に６０度以内の角度を有するものであることを特徴とする請求項３記載の磁石ユニット。
前記第１の磁石エレメントと前記第２の磁石エレメントとは、所定の間隔を隔てて、交互に配置されていることを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の磁石ユニット。
前記第１の磁石エレメントと前記第２の磁石エレメントとは、環状線に沿って交互に配置されていることを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載の磁石ユニット。
矩形のターゲットを支持する矩形のカソード電極の背面側に、強磁性板材からなる矩形のヨーク板と、該ヨーク板上に配置された外周磁石と、前記ヨーク板上の前記外周磁石の内部に配置され、前記外周磁石と極性が異なる内部磁石と、を備え、
前記外周磁石および前記内部磁石によって前記ターゲット上に発生した磁力線の接線が前記ターゲット面と平行になるような領域の集合としての磁気トラックを形成する磁石ユニットであって、
前記矩形のヨーク板の周に沿って設けられた複数の第１の磁石群磁石からなる第１の磁石群と、前記矩形のヨーク板の中心部分に設けられた複数の第２の磁石群磁石からなる第２の磁石群と、前記第１の磁石群と前記第２の磁石群と間であって、前記第２の磁石群を取り囲むように設けられた複数の第３の磁石群磁石からなる第３の磁石群と、から構成され、
第１の磁石群磁石は、前記ヨーク板の板面から垂直方向に沿って直立して設けられ、前記ヨーク板の板面と対向する面に第１３の磁極を有し、前記ヨーク板の板面と対向しない面に前記第１３の磁極と反発する第１４の磁極を有するものであり、
前記第２の磁石群磁石は、前記ヨーク板の板面から垂直方向に沿って直立して設けられ、かつ、前記ヨーク板の板面と対向する面に前記第１３の磁極と反発する第１５の磁極を有し、前記ヨーク板の板面と対向しない面に前記第１４の磁極と反発する第１６の磁極を有するものであり、
前記第３の磁石群磁石は、
前記第１の磁石群磁石と前記第２の磁石群磁石に挟まれるように直立して配置され、前記第１の磁石群磁石の第１４の磁極と対向する部分に第１７の磁極を有し、前記第２の磁石群磁石の第１５の磁極と対向する部分に前記第１７の磁極と反発する第１８の磁極を有し、前記第１７の磁極と前記第１８の磁極とを結ぶ線の向きが前記ヨークの板面水平面から斜め方向に向くように着磁された第７の磁石と、
前記第１の磁石群磁石と前記第２の磁石群磁石に挟まれるように直立して配置され、前記第１の磁石群磁石の第１３の磁極と対向する部分に第１９の磁極を有し、前記第２の磁石郡磁石の第１６の磁極と対向する部分に前記第１９の磁極と反発する第２０の磁極を有し、前記第１９の磁極と前記第２０の磁極とを結ぶ線の向きが前記ヨークの板面水平面から斜め方向に向くように着磁された第８の磁石と、を有するものであることを特徴とする磁石ユニット。
前記第３の磁石群磁石は、前記１の磁石群磁石又は第２の磁石群磁石のいずれかに向かう磁力線を有するものであることを特徴とする請求項８記載の磁石ユニット。
矩形のヨーク板の角部に位置する前記第７の磁石の第１７の磁極と第１８の磁極とを結ぶ線は、前記ヨーク板の板面平行面に沿って、前記第１の磁石群磁石の第１４の磁極と前記第２の磁石郡磁石の第１６の磁極とを結ぶ線から時計回り方向又は反時計周り方向に６０度以内の角度を有するものであり、
矩形のヨーク板の角部に位置する前記第８の磁石の第１９の磁極と第２０の磁極とを結ぶ線は、前記ヨーク板の板面平行面に沿って、前記第１の磁石群磁石の第１４の磁極と前記第２の磁石郡磁石の第１６の磁極とを結ぶ線から時計回り方向又は反時計周り方向に６０度以内の角度を有するものであることを特徴とする請求項８又は請求項９記載の磁石ユニット。
処理室に、
処理対象としての基板と、
前記基板に対向するように配され、ターゲットを支持し放電用電力が供給されるカソード電極と、
前記ターゲットの前方に前記基板を搬送させる搬送機構と、
を備え、
前記カソード電極の背面側に、請求項１から請求項１０のいずれか１項に記載の磁石ユニットが配されていることを特徴とするマグネトロンスパッタリング装置。
ターゲットを支持するカソード電極の背面側に配置された磁石ユニットであって、
前記カソード電極の背面側に配置され、強磁性板材からなる第１のヨーク板と、
前記第１のヨーク板の板面から垂直方向に沿って直立して設けられ、前記第１のヨーク板の板面と対向する面に第１の磁極を有し、前記第１のヨーク板の板面と対向しない面に前記第１の磁極と反発する第２の磁極を有する第１の磁石と、
前記第１のヨーク板の板面から垂直方向に沿って直立して設けられ、かつ、前記第１のヨーク板の板面と対向する面に前記第１の磁極と反発する第３の磁極を有し、前記第１のヨーク板の板面と対向しない面に前記第２の磁極と反発する第４の磁極を有する第２の磁石と、
前記第１の磁石と前記第２の磁石に挟まれるように直立して配置され、前記第１の磁石の第２の磁極と対向する部分に第５の磁極を有し、前記第２の磁石の第３の磁極と対向する部分に第５の磁極と反発する第６の磁極を有し、前記第５の磁極と前記第６の磁極と結ぶ線の向きが前記第１のヨーク板の板面と平行な面から斜め方向に向くように着磁された第３の磁石と、
を備えた第１の磁石エレメントと、
前記カソード電極の背面側に配置され、強磁性板材からなる第２のヨーク板と、
前記第２のヨーク板の板面から垂直方向に沿って直立して設けられ、前記第２のヨーク板の板面と対向する面に第７の磁極を有し、前記第２のヨーク板の板面と対向しない面に前記第７の磁極と反発する第８の磁極を有する第４の磁石と、
前記第２のヨーク板の板面から垂直方向に沿って直立して設けられ、かつ、前記第２のヨーク板の板面と対向する面に第７の磁極と反発する第９の磁極を有し、前記ヨーク板の板面と対向しない面に前記第８の磁極と反発する第１０の磁極を有する第５の磁石と、
前記第４の磁石と前記第５の磁石に挟まれるように直立して配置され、前記第４の磁石の第７の磁極と対向する部分に第１１の磁極を有し、前記第５の磁石の第１０の磁極と対向する部分に前記第１１の磁極と反発する第１２の磁極を有し、前記第１１の磁極と前記第１２の磁極とを結ぶ線の向きが前記第２のヨークの板面と平行な面から斜め方向に向くように着磁された第６の磁石と、
を備えた第２の磁石エレメントとから構成され、
前記第１の磁石エレメントと前記第２の磁石エレメントとは、第１の磁石と前記第４の磁石と、前記第２の磁石と前記第５の磁石と、前記第３の磁石と前記第６の磁石と、がそれぞれ隣になるように配置されており、
前記第１のヨーク板と前記第２のヨーク板とは、前記第１のヨーク板および前記第２のヨーク板の一端が、前記ターゲットの端部に向かい、前記第１のヨーク板および前記第２のヨーク板の他端が、前記ターゲットの中央部に向かうように、放射状に交互に配置されることを特徴とする磁石ユニット。
矩形のターゲットを支持する矩形のカソード電極の背面側に配置された磁石ユニットであって、
前記カソード電極の背面側に配置され、強磁性板材からなる矩形のヨーク板と、
前記矩形のヨーク板の周に沿って設けられた第１の磁石群と、
前記矩形のヨーク板の中心部分に設けられた第２の磁石群と、
前記第１の磁石群と前記第２の磁石群との間であって、前記第２の磁石群を取り囲むように設けられた第３の磁石群と、から構成され、
前記第１の磁石群は、前記ヨーク板の板面の両端でかつ前記ヨーク板の板面から垂直方向に沿って直立して設けられ、前記ヨーク板の板面と対向する面に第１の磁極を有し、前記第１のヨーク板の板面と対向しない面に前記第１の磁極と反発する第２の磁極を有する第１の磁石で構成され、
前記第２の磁石群は、前記ヨーク板の板面の中央でかつ前記ヨーク板の板面から垂直方向に沿って直立して設けられ、前記ヨーク板の板面と対向する面に前記第１の磁極と反発する第３の磁極を有し、前記ヨーク板の板面と対向しない面に前記第２の磁極と反発する第４の磁極を有する第２の磁石で構成され、
前記第３の磁石群は、
前記第１の磁石と前記第２の磁石に挟まれるように、前記ヨーク板の板面から垂直方向に沿って直立して設けられ、前記第１の磁石の第２の磁極と対向する部分に第５の磁極を有し、前記第２の磁石の第３の磁極と対向する部分に前記第５の磁極の極性と逆の極性を有する第６の磁極を有し、前記第５の磁極と前記第６の磁極とを結ぶ線の向きが前記ヨークの板面と平行な面から斜め方向に向くように着磁された第３の磁石と、
前記第１の磁石と前記第２の磁石に挟まれるように前記ヨーク板の板面から垂直方向に沿って直立して設けられ、前記第１の磁石の第１の磁極と対向する部分に第７の磁極を有し、前記第２の磁石の第４の磁極と対向する部分に前記第７の磁極の極性と逆の極性を有する第８の磁極を有し、前記第７の磁極と前記第８の磁極とを結ぶ線の向きが前記ヨークの板面と水平な面から斜め方向に向くように着磁された第４の磁石と、で構成され、
前記第３の磁石と前記第４の磁石とは、前記第２の磁石群を取り囲む線に沿って、交互に設けられていることを特徴とする磁石ユニット。