JP2012197943A - 液滴付着装置における流体の取扱い - Google Patents
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Abstract
【課題】ノズル開口部からのインクの漏れを減少させる。
【解決手段】概して、第１の態様において、液滴付着装置であって、液滴を排出できる１つ以上のモジュールを備えた噴射アセンブリ１１２、噴射アセンブリ１１２と流体連絡した複数の導管、および流体が導管を通って流れるのが実質的に妨げられる第１の状態と、流体が導管を通って流れるのが許可される第２の状態との間で調節可能な、導管に連結されたバルブ１０１を含む液滴付着装置を特徴とする。
【選択図】図１Ａ
【解決手段】概して、第１の態様において、液滴付着装置であって、液滴を排出できる１つ以上のモジュールを備えた噴射アセンブリ１１２、噴射アセンブリ１１２と流体連絡した複数の導管、および流体が導管を通って流れるのが実質的に妨げられる第１の状態と、流体が導管を通って流れるのが許可される第２の状態との間で調節可能な、導管に連結されたバルブ１０１を含む液滴付着装置を特徴とする。
【選択図】図１Ａ
Description
本発明は、流体取扱装置に関し、より詳しくは、液滴付着装置における流体取扱いに関する。
インクジェットプリンタは、基体に液滴を付着させるための装置の１つのタイプである。インクジェットプリンタは、１つ以上のプリントヘッドモジュールを有する噴射アセンブリを備えることができる。プリントヘッドモジュールは、インク供給源をノズル流路に連結するインク流路を備えている。ある装置において、インクは、離れたインク供給源から噴射アセンブリに供給される。このノズル流路はノズル開口部が終端となり、インク液滴がそこから排出される。インク液滴の排出は、一般に、インク流路内のインクをアクチュエータで加圧することにより制御される。このアクチュエータは、例えば、圧電式デフレクタ、サーマルバブルジェット（登録商標）発生器、または静電偏向素子であってよい。ノズル流路に供給を行うインク供給源中のインクは、負圧に保持することができる。この負圧により、ノズルが作動されていないときのノズル開口部からのインクの漏れを減少させることができる。
典型的なプリントヘッドは、対応するノズル開口部および関連するアクチュエータを持つインク流路のアレイを有する。各ノズル開口部からの液滴の排出は、独立して制御することができる。ドロップ・オン・デマンド式プリントヘッドモジュールにおいて、各アクチュエータは、噴射アセンブリと印刷基体が互いに対して動かされながら、画像の特定のピクセル位置で一滴を選択的に排出するように発射を行う。高性能プリントヘッドにおいて、ノズル開口部は、直径が、一般に、５０マイクロメートル以下、例えば、約２５マイクロメートル辺りであり、１００〜３００ノズル／インチ（２．５４ｃｍ）のピッチで隔てられ、解像度が１００から３０００ｄｐｉ以上であり、液滴の体積が約１から１２０ピコリットル（ｐｌ）以下である。液滴排出周波数は、一般に、約１０ｋＨｚ以上である。
圧電式アクチュエータは圧電材料の層を有し、この層は、印加された電圧に応答して、形状を変化させたり、曲がったりする。圧電層の曲がりによって、インク流路に沿って位置するポンプ室内のインクが加圧される。圧電式インクジェットプリントヘッドモジュールが、ここにその内容全てを引用する、フィッシュベック(Fishbeck)等の特許文献１、ハイン(Hine)の特許文献２、モイニハン(Moynihan)等の特許文献３、およびホイジントンの特許文献４にも記載されている。
米国特許第４８２５２２７号明細書
米国特許第４９３７５９８号明細書
米国特許第５６５９３４６号明細書
米国特許第５７５７３９１号明細書
本発明は概して、第１の態様において、液滴付着装置であって、液滴を排出できる１つ以上のモジュールを備えた噴射アセンブリ、噴射アセンブリと流体連絡した複数の導管、および流体が導管を通って流れるのが実質的に妨げられる第１の状態と、流体が導管を通って流れるのが許可される第２の状態との間で調節可能な、導管に連結されたバルブを含む液滴付着装置を特徴とする。
本発明は概して、さらに別の態様において、噴射アセンブリに連結された複数の管を通る流体流を制御するためのバルブであって、管に機械的に連結されたアクチュエータを備え、そのアクチュエータが、バルブが各管の一部を圧縮して流体が管を通って流れるのを実質的に妨げる第１の状態と、流体が管を通って流れるのが許可される第２の状態との間で調節可能であるバルブを特徴とする。
液滴付着装置および／またはバルブの実施の形態は、以下の特徴を１つ以上含むであろう。液滴付着装置はさらに、導管の少なくともいくつかと流体連絡したポンプを備えることもできる。液滴付着装置は、導管の少なくともいくつかと流体連絡した流体供給源を備えることもできる。前記ポンプは、液体供給源から噴射アセンブリに流体をポンプで送り込むように構成できる。ある実施の形態において、前記ポンプは、噴射アセンブリから気体をポンプで引き抜くように構成された真空ポンプである。前記導管は管を含み、その管は柔軟な管であって差し支えない。前記バルブは、第１の状態において柔軟な管の一部を圧縮するように構成できる。前記モジュールは、ドロップ・オン・デマンド式インクジェットプリントヘッドモジュール（例えば、圧電式アクチュエータを含むドロップ・オン・デマンド式インクジェットプリントヘッドモジュール）であって差し支えない。液滴付着装置は、噴射アセンブリを実質的に囲い込むプリント外囲器を備えることができる。バルブは、プリント外囲器の外部から動作可能であり得る。バルブは、各管の一部と接触した要素を含むことができ、ここで、第１の状態において、アクチュエータは、その要素を管に対して押し付けることによって、管を圧縮する。各管の一部と接触した要素の表面は湾曲していても差し支えない。ある実施の形態において、バルブは、それぞれ、１つ以上の管と接触した一対の要素を含むことができ、ここで、第１の状態において、アクチュエータは、それらの要素を管に対して押し付けることによって、管を圧縮する。前記要素は、アクチュエータの対向側に配置することができる。バルブは、管をそこに通して配置できる１つ以上の開口部を含むハウジングを備えることができる。アクチュエータは、それぞれ、第１の状態と第２の状態に対応する第１の位置と第２の位置の間で回転するように構成されたカムシャフトを備えることができる。第１と第２の位置は、シャフト軸の周りのカムシャフトの９０度の回転に対応するものであって差し支えない。前記流体は、液体（例えば、インク）または気体（例えば、空気）である。バルブは、アクチュエータが第１と第２の状態の間でそれによって機械的に切り換えられる、アクチュエータに連結されたレバーを備えることもできる。あるいは、またはそれに加え、バルブは、アクチュエータが、第１と第２の状態の間でそれによって電気機械的に切り換えられる、アクチュエータに連結されたスイッチを備えることもできる。
本発明の実施の形態は、以下の利点を１つ以上有するであろう。ある実施の形態において、液体付着装置は、流体の漏れと浪費が最小の状態で、容易に使用できる。例えば、噴射アセンブリ内の全てのプリントヘッドモジュールへの液体および真空ラインの供給を同時に遮断するバルブを使用することによって、例えば、噴射アセンブリの点検・修理中に、噴射アセンブリがオフラインにある間、モジュールからの液体の漏れを減少させる（例えば、防ぐ）ことができる。漏れは、１つ以上の流体ラインが、例えば、液体（例えば、インク）供給源または真空ポンプから取り外されたときに、減少させる（例えば、防ぐ）ことができる。
このバルブを用いた装置は、様々な機関の基準（例えば、労働安全衛生局（ＯＳＨＡ）基準）に容易に適合できる。例として、ある産業環境において、ＯＳＨＡ就業規則では、任意のアクセルパネルが装置の任意の部分で開かれる前に、完全に装置の動力源を絶つことが要求され得る。バルブアクチュエータが、プリント外囲器のパネルを開かずにアクセスできる場合、プリント外囲器内の噴射アセンブリへの全ての供給および／または空気ラインは、プリント外囲器を開かずに動力源を絶つことができる。したがって、そのようなバルブを用いた装置は、作動が比較的容易な状態にありながら、ＯＳＨＡ基準に適合できる。
多数の管を閉じるのに用いられるバルブは、管内の流体と接触バルブ部材を用いずに動作できる。例えば、バルブは、管の一部の圧縮を制御することによって動作できる。したがって、バルブの部材は、管の外面と接触し、管内で運搬される流体とは接触しない。このことにより、バルブでの流体の漏れが減少し、および／またはバルブ部材の錆びおよび／または流体の残留物がバルブ部材がくっつくことなどの、バルブ部材と管との間で生じるかもしれない相互作用の影響が減少するであろう。
ある実施の形態において、バルブは、管の寿命を実質的に減少させずに、数多くのサイクルに亘り、動作できる。例えば、バルブの機械部材は、管にそれほどの応力を与えずに、管の部分を圧縮し、開放することができる。したがって、バルブの開閉に関連する管の磨耗も減少させることができる。
さらに、バルブは、管を介してプリント装置の他の部材に著しい応力を与えずに動作できる。例えば、バルブが、圧縮力を管を印加するために、カムシャフトなどの回転要素を使用する場合、回転力は、バルブが管を開閉するときに、管が著しく変形しないように管から外すことができる。バルブ部材への応力を減少させると、バルブの動作寿命を延長することができる。
本発明の１つ以上の実施の形態の詳細が、添付の図面と以下の説明に述べられている。本発明の他の特徴および利点は、その説明と図面、および特許請求の範囲から明らかになる。特定の文献が参照によりここに含められる。争いがあった場合、本明細書が統制する。
様々な図面の同じ参照記号は、同じ要素を示す。
図１Ａと１Ｂを参照する。プリント装置１００は、インク液滴１１１を基体１２０上に付着させて、基体１２０上に画像を形成する噴射アセンブリ１１２を含むプリント外囲器１１０を備えている。ポンプ装置１３０（例えば、１つ以上の蠕動ポンプを含む）が、離れたインク供給源１４０内のインク容器１４１〜１４４からインクを、それぞれ、インク供給管１４５〜１４８に通して噴射アセンブリ１１２に供給する。さらに、空気管１５５〜１５８が真空ポンプ１５０を噴射アセンブリ１１２に連結している。動作中、真空ポンプ１５０は、噴射アセンブリ１１２内のインク貯蔵部１１５〜１１８から空気をポンプで引き込んで、噴射アセンブリ１１２内に存在するインクへの負圧を維持する。この負圧により、噴射アセンブリ１１２からのインクの漏れを減少させることができる。バルブ１０１も、プリント外囲器１１０内に収容されている。バルブ１０１が、インク供給管１４５〜１４８および空気管１５５〜１５８を通る流体流を制御する。
噴射アセンブリ１１２は４つのプリントヘッドモジュール１０５〜１０８を備えている。各プリントヘッドモジュールは、そこを通してインクを排出できる複数のノズル開口部（例えば、１２８または２５６個のノズル開口部）を備えている。噴射アセンブリ１１２は４つのインク貯蔵部１１５〜１１８も備えており、これは、インク供給源１４０からインクを受け取り、インクをそれぞれプリントヘッドモジュール１０５〜１０８に供給する。ある実施の形態において、各モジュールは、異なる色のインク（例えば、シアン、マゼンタ、イエローおよびブラック、または赤、緑、青、および黒）を排出して、プリント装置１００がフルカラー画像を基体１２０上にプリントすることができる。あるいは、ある実施の形態において、各モジュールが同じ色のインクを排出しても差し支えない。適切なインクの例としては、溶媒ベースのインク（例えば、水溶性または有機溶媒など）を含まれるであろう。
一般に、基体１２０の組成は、様々であって差し支えなく、典型的に、プリント装置１００が用いられる特定の用途に基づいて選択される。基体の例としては、紙（例えば、白色紙または新聞印刷用紙）、ボール紙、高分子フイルム、木製品および／または食品が挙げられる。さらに、基体のサイズは、用途に応じて様々であり得る。プリントは、基体に対して噴射アセンブリを一回または多数回通過させることで完了できる。ある実施の形態において、基体１２０は、噴射アセンブリ１１２に対して巻取紙搬送装置により搬送される連続巻取紙である。噴射アセンブリは、巻取紙搬送装置に対して固定されている。あるいは、またはそれに加えて、噴射アセンブリ１１２は、プリント中に基体に亘り噴射アセンブリを前後に走査する可動ステージに取り付けることもできる。
プリント外囲器１１０は、噴射アセンブリ１１２を実質的に取り囲み、基体１２０に面するアセンブリの部分のみを露出させている。したがって、噴射アセンブリ１１２への作業者のアクセスは限られている。一般に、作業者は、アセンブリ１１２にアクセスするためにプリント外囲器１１０の１つ以上のパネルを取り除かねばならない。プリント外囲器１１０は開口部１６５〜１７２を備え、そこを通して、管１４５〜１４８および１５５〜１５８が提供される。さらに、バルブ１０１のための停止レバー１０２がプリント外囲器１１０の側面にある別の開口部１０３を通して突出している。一般に、プリント外囲器１１０は、他のライン（例えば、電気ライン）をそこに通して提供できる追加の開口部を備えることができる。
先に論じたように、バルブ１０１は、インク供給管１４５〜１４８および空気管１５５〜１５８を通る流体流を制御する。バルブ１０１は、プリント外囲器１１０の開口部１１３を通って突出した停止レバー１０２を操作することにより、「開」および「閉」状態の間で切り換えることができる。バルブ１０１は、噴射アセンブリ１１２がまだプリント外囲器１１０により完全に取り囲まれている間に、開および閉状態の間で切り換えることができる。
バルブは、プリント装置１００の通常の動作中は開状態に配置され、このとき、インク供給管１４５〜１４８の全てでインクがインク供給源１４０から噴射アセンブリ１１２に流れることができる。さらに、開状態において、全ての空気ラインにより、真空ポンプ１５０が貯蔵部１１５〜１１８内のインクへの圧力を減少させることができる。閉状態において、インク管１４５〜１４８および空気管１５５〜１５８は遮断され、インク供給源１４０から貯蔵部１１５〜１１８へのインク流が実質的に妨げられ、真空ポンプ１５０が貯蔵部１１５〜１１８内のインクを真空に引くのが実質的に妨げられる。ある実施の形態において、閉状態において、インクは、プリントヘッドモジュールのノズル開口部から全く漏れない。一般に、バルブ１０１は、例えば、噴射アセンブリ１１２のメンテナンスまたは貯蔵中に、閉状態に配置される。
以下に論じるように、ある実施の形態において、バルブ１０１は、管１４５〜１４８および１５５〜１５８を圧縮することにより動作する。したがって、管１４５〜１４８および１５５〜１５８は、押し出しされたポリマー（例えば、有機またはシリコーンポリマー）などの柔軟な弾性材料から形成されるべきである。この材料は、管の動作寿命を実質的に短縮し得る著しい磨耗なく、管のチャンネルを塞ぐのに十分に圧縮できるように十分に柔軟であるべきである。さらに、その管は、管に印加された圧縮力が一旦解放されたら、管が圧縮前の形態を実質的に取り戻し、管のチャンルを再度開くように十分に柔軟であるべきである。
図２を参照する。プリントヘッドモジュールの一例は、ノズル開口部２３０を通して排出するためにポンプ室２１０内のインクを加圧する圧電素子２２０を有するモジュール２００である。インクは、貯蔵部（図２には示されていない）から供給流路２４０を介してポンプ室２１０に供給される。ある実施の形態において、プリントヘッドは、噴射を容易にするために媒体を所望の粘度に加熱するためのヒータを備えている。適切なプリントヘッドモジュールは、ニューハンプシャー州、ハノーバー所在のスペクトラ社(Spectra, Inc.)から得られるＮＯＶＡプリントヘッドである。適切な圧電式インクジェットプリントヘッドモジュールは、前出のフィッシュバックの特許文献１、ハインの特許文献２、モイニハンの特許文献３およびホイジントンの特許文献４、並びにここに引用する国際公開第０１／２５０１８号パンフレットにも論じられている。
図３Ａ〜３Ｃを参照する。バルブの一例は、インク供給管および空気管をそこに通して配置できる８つの開口部を持つバルブハウジング３１０を備えたバルブ３００である。開口部は、一列に配置されており、図３Ａの参照番号３２０で示された末端を有する。バルブ３００はさらに、開口部の例に対して平行に延在する軸３３３の周りに回転するように構成されたカムシャフト３３０を備えている。カムシャフト３３０は、例えば、ボールベアリングによりバルブハウジング３１０に連結することができる。停止レバー３４０はカムシャフト３３０に取り付けられ、作業者が軸３３３の周りにカムシャフト３３０を回転させることができる。ピンチプレート３５０が、カムシャフト３３０とバルブハウジング内の開口部に挿入された管、例えば、管３７０（図３Ｂおよび３Ｃにおいて）との間に位置している。一端で、ピンチプレート３５０はピン３６０に取り付けられ、このピンチプレートは、取付点で軸３５５上で旋回する。
図３Ｂに示された第１の位置と、図３Ｃに示された第２の位置との間でカムシャフト３３０を回転させることにより、バルブ３００が、例えば、管３７０を通る流れを制御できる。第１の位置において、カムシャフト３３０により、ピンチプレート３５０が、シャフト軸３３３に最も近いカムの表面に支えられ、管３７０が開いたままになり、流体が流れることができる。第２の位置において、停止レバーが第１の位置に対して９０°回転し、カムシャフト３３０がピンチプレート３５０を管３７０に対して押して、管の内径を閉じ、流体が管を通って流れるのを実質的に妨げる。バルブハウジング３１０は、停止レバー３４０の移動範囲を制限するための１つ以上の突出部（例えば、第１と第２の位置でレバーを停止させる突出部）を含んでもよい。
カムシャフト３３０は、湾曲した断面外形（例えば、Ｄ形の外形）を有し、第１と第２の位置の間で調節されたときに、ピンチプレート３５０に連続的に変動する力を印加することができる。カムシャフト３３０は、金属（例えば、アルミニウム）または合金（例えば、ステンレス鋼）、合成ポリマー（例えば、テフロン（登録商標）、ナイロン、ＰＥＥＫ（商標））、またはセラミックなどの比較的剛性の材料から形成できる。
さらに、ある実施の形態において、管３７０に接触するピンチプレート３５０の表面は湾曲し、カムシャフトが第１と第２の位置の間で調節されるときに、管に印加される応力を制限することができる。一般に、ピンチプレート３５０も、金属または合金、もしくは合成ポリマーなどの比較的剛性の材料から形成することができる。ピンチプレート３５０は、管を圧縮したときに実質的に変形しないように、管３７０よりも剛性であるべきである。
図４Ａ〜４Ｂを参照する。別の実例において、バルブ４００は、一列ではなく、二列に配列された開口部を持つハウジング４１０を備えている。開口部は、４つの管４６０（例えば、空気管）がカムシャフト４３０の一方の側に配列され、他の４つの管４７０（例えば、インク供給管）がカムシャフト４３０の他方の側に配列されるように配列されている。バルブ４００は、カムシャフト４３０の両側に位置する、二枚のピンチプレート４４１および４４２を備えている。図４Ａ〜４Ｃにおいて、バルブ４００は、管４６０および４７０が全て開いている第１の位置にあるのが示されている。カムシャフト４３０がこの位置から９０°回転されたときに、ピンチプレート４４１および４４２にそれぞれ管４６０および４７０を圧縮させ、それによって、管を閉じる。カムシャフトの片側のみに位置する管を持つバルブと比較して、バルブ４００におけるように、カムシャフトの両側に位置する管を持つバルブを開閉するのには、少ないトルクしか必要ないであろう。さらに、カムシャフトの両側に管を配置させると、カムシャフトの片側のみに位置する管を持つバルブと比較して、よりコンパクトなバルブが提供されるであろう。
図３Ａ〜３Ｃおよび４Ａ〜４Ｃに示したバルブは手動で作動されるが、バルブは電気機械的に作動できるものであって差し支えない。例えば、ある実施の形態において、バルブ３００および４００を開閉するのに用いられるカムシャフトは、スイッチが入れられたときに、カムシャフトを回転させる電気モータに連結することができる。
さらに、図３Ａ〜３Ｃおよび４Ａ〜４Ｃに示したバルブはカムシャフトにより作動されているが、他のタイプの作動を用いても差し支えない。例えば、ピンチプレートに係合し、それらを管に対して押し付けるように直線的に伸びるアクチュエータを用いてもよい。
ある実施の形態において、アクチュエータからの力を管に印加するのに追加の部材（例えば、ピンチプレート）を用いずに、管に直接係合するアクチュエータを使用してもよい。
プリント装置１００は、４つのプリントヘッドモジュールを有する噴射アセンブリを備えているが、一般に、噴射アセンブリ内のプリントヘッドモジュールの数は、所望なように様々であって差し支えない。例えば、噴射アセンブリは、プリントヘッドモジュールを４つより多く（例えば、８個のプリントヘッドモジュール、１２個のプリントヘッドモジュール）を備えていても差し支えない。
さらに、バルブにより開閉される、噴射アセンブリに連結された流体ラインの数も様々であってよい。一般に、噴射アセンブリに連結された流体ラインの数は、このアセンブリ内のプリントヘッドモジュールの数、並びにプリントヘッドモジュールへとそこから搬送する必要のある異なる流体に依存する。例えば、プリント装置に使用できるインクラインおよび空気ライン以外に、いくつかのプリントヘッドモジュールは圧力ライン（例えば、プリントヘッドモジュールをフラッシュするための加圧気体を運ぶため）を用いてもよい。さらに、バルブが、例えば、噴射アセンブリを洗浄するために、噴射アセンブリへの追加のラインを制御してもよい。
プリントシステム１００は、基体に画像をプリントするために用いてもよいが、一般に、そのような装置は、他の目的に液滴を排出するのに用いても差し支えない。例えば、そのような装置は、基体に材料を正確に付着するために製造環境において使用できる。その例は、ディスプレイ製造産業であり、そこでは、プリント装置は、例えば、有機発光ダイオード材料またはカラーフィルタ材料を付着させて、基体上にそのような材料のアレイを形成するために使用できる。異なる材料を精確に分配するためにプリント装置が用いられる研究所の環境におけるように、流体の精確な秤量が望ましい場合に、その装置を使用できる。
本発明の多数の実施の形態を記載してきた。それにもかかわらず、本発明の精神および範囲から逸脱せずに、様々な改変を行ってもよいことが理解されよう。したがって、他の実施の形態も添付の特許請求の範囲に含まれる。
１００ プリント装置
１１０ プリント外囲器
１１２ 噴射アセンブリ
１２０ 基体
１３０ ポンプ装置
１４０ インク供給源
１５０ 真空ポンプ
２００ プリントヘッドモジュール
２１０ ポンプ室
２２０ 圧電素子
２３０ ノズル開口部
３００，４００ バルブ
３１０，４１０ バルブハウジング
３３０，４３０ カムシャフト
３５０，４４１，４４２ ピンチプレート
１１０ プリント外囲器
１１２ 噴射アセンブリ
１２０ 基体
１３０ ポンプ装置
１４０ インク供給源
１５０ 真空ポンプ
２００ プリントヘッドモジュール
２１０ ポンプ室
２２０ 圧電素子
２３０ ノズル開口部
３００，４００ バルブ
３１０，４１０ バルブハウジング
３３０，４３０ カムシャフト
３５０，４４１，４４２ ピンチプレート
Claims (11)
- 噴射アセンブリに連結された複数の管を通る流体流を制御するためのバルブにおいて、
前記管に機械的に連結されたアクチュエータであって、前記バルブが各管の一部を圧縮して流体が該管を通って流れるのを実質的に防ぐ第１の状態と、流体が前記管を通って流れることのできる第２の状態との間で調節可能であるアクチュエータ、および
前記１つ以上の管とそれぞれが接触した一対の要素、
を備え、
前記第１の状態において、前記アクチュエータが、前記管に前記要素を押し付けることによって該管を圧縮し、前記要素が前記アクチュエータの両側に位置していることを特徴とするバルブ。 - 各管の一部と接触したさらなる要素を含み、前記第１の状態において、前記アクチュエータが、前記管に前記さらなる要素を押し付けることによって該管を圧縮することを特徴とする請求項１記載のバルブ。
- 前記各管の一部と接触した前記さらなる要素の表面が湾曲していることを特徴とする請求項２記載のバルブ。
- 前記管をそこに通して配置できる１つ以上の開口部を備えたハウジングをさらに含むことを特徴とする請求項１記載のバルブ。
- 前記アクチュエータが、それぞれ、前記第１の状態と前記第２の状態とのに対応する第１の位置と第２の位置との間で回転するように構成されたカムシャフトを備えることを特徴とする請求項１記載のバルブ。
- 前記第１と第２の位置が、シャフト軸の周りの前記カムシャフトの９０度の回転に対応することを特徴とする請求項５記載のバルブ。
- 前記流体が液体であることを特徴とする請求項１記載のバルブ。
- 前記液体がインクであることを特徴とする請求項７記載のバルブ。
- 前記流体が気体であることを特徴とする請求項１記載のバルブ。
- 前記アクチュエータが前記第１と第２の状態の間でそれによって機械的に切り換えられる、該アクチュエータに連結されたレバーをさらに含むことを特徴とする請求項１記載のバルブ。
- 前記アクチュエータが前記第１と第２の状態の間でそれによって電気機械的に切り換えられる、該アクチュエータに連結されたスイッチをさらに含むことを特徴とする請求項１記載のバルブ。
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