JP2013181981A - 長さ測定装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】
コンパクトに構成され、かつ、再現可能な位置測定装置を提供すること。
【解決手段】
長手方向Xに延在するとともにシール要素41,42によって覆われたスリット33を備えた中空プロフィル部3と、該中空プロフィル部3に対して相対的に長手方向Xへ移動する走査ユニット2によって走査可能な測定目盛り11を備えつつ中空プロフィル部3の内部に配置されたスケール1と、中空プロフィル部3に結合され、かつ、中空プロフィル部3をその両端部のうちいずれかにおいて閉鎖する端部材5とを備え、端部材5が、中空プロフィル部3に挿入される挿入範囲51を有している長さ測定装置において、端部材5を挟着部材6によって中空プロフィル部3に結合させ、挟着部材を、スリット33が覆われるとともに、スリット33の両側において中空プロフィル部3が端部材5の挿入範囲51に固定されるよう構成した。
【選択図】図1

Description

本発明は、請求項1の前提部分に基づく長さ測定装置に関するものである。
このような長さ測定装置は、カプセル化された長さ測定装置と呼ばれ、互いに相対的に変位する2つの対象物の位置測定を行うものである。カプセル化された長さ測定装置は、特に工作機械において加工すべきワークピースに対する工具の相対変位を測定するのに用いられる。
このような長さ測定装置は、例えば特許文献1及び特許文献2に記載されている。これら長さ測定装置は、それぞれ互いに平行に延在する2つの脚部を有するU字状の中空プロフィル部と、底部と、この底部に対向しつつ長手方向に延在するスリット状の開口部とで構成されている。この開口部は、シール要素によって覆われている。中空プロフィル部の内部にはスケール及び走査ユニットが配置されており、この走査ユニットは、位置測定のために、スケールに対して相対的に長手方向へ変位可能となっている。この走査ユニットは、シールリップを通って外方へ案内された刀状の連行部材を備えている。中空プロフィル部の端面側の端部はそれぞれ端部材によって閉じられており、この端部材は、中空プロフィル部の測定すべき対象物のうちいずれかへの取付ができるようにも形成されている。また、この端部材は挿入範囲を備えており、この挿入範囲において端部材が中空プロフィル部における内のりの開口部へ挿入されるようになっている。上記従来技術に基づく長さ測定装置においては、中空プロフィル部と端部材の間の結合が、挿入範囲を備えたU字状の中空プロフィル部の側方の脚部の螺着又はピン結合によってなされている。
欧州特許出願公開第0418212号明細書 米国特許第4340814号明細書
本発明の目的とするところは、コンパクトに構成され、かつ、再現可能な位置測定装置を提供することにある。
上記目的は、本発明により、請求項1記載の特徴によって達成される。
本発明により形成された長さ測定装置は、長手方向に延在しシール要素によって覆われたスリットを備えた、長手方向に延在する中空プロフィル部を含んで構成されている。中空プロフィル部の内部には測定目盛りを有するスケールが配置されており、この測定目盛りは、位置測定のために、中空プロフィル部に対して相対的に長手方向へ移動可能な走査ユニットによって走査されることが可能となっている。また、中空プロフィル部は少なくとも1つの端部材に着脱自在に結合されており、この端部材は、中空プロフィル部を端部側で閉鎖するものとなっている。さらに、この端部材は、中空プロフィル部を測定すべき対象物に取り付けるためのものでもある。中空プロフィル部における端部材の向きの調整をするため、及び中空プロフィル部での端部材の固定のためにこの端部材は挿入範囲を備えており、この挿入範囲によって、端部材が中空プロフィル部の内部空間に挿入されるようになっている。端部材と中空プロフィル部の間の位置決めされた結合は挟着部材によってなされており、この挟着部材は、中空プロフィル部のスリットを覆うとともに、スリットの両側で中空プロフィル部を端部材の挿入範囲に固定するものである。
中空プロフィル部は、特にU字状に形成されているとともに、互いに平行に延在する2つの脚部と、これら脚部に結合された底部とを備えている。また、スリットは、底部に対向するよう配置されている。両脚部においては、スリットの方向へ向いた突出部が配置されており、特に一部材に形成されている。
挟着部材は端部材に螺着されており、これにより、中空プロフィル部の両突出部が、端部材の挿入範囲において押圧されるとともにこれに固定されている。したがって、端部材と中空プロフィル部の間の位置決めされた結合は、挟着部材と端部材の挿入範囲との間での突出部の挟入によってなされる。
本発明の他の好ましい実施形態は、従属請求項及び以下の説明において記載されている。
本発明によれば、コンパクトに構成され、かつ、再現可能な位置測定装置を提供することができる。
長さ測定装置の一部を示す図である。 図1に基づく長さ測定装置のII−II断面を示す図である。 第1の取付位置における長さ測定装置の斜視図である。 第2の取付位置における長さ測定装置の斜視図である。 取付が完了した端部材を備えた長さ測定装置の斜視図である。
以下に、本発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。
本発明は、光電的な長さ測定装置に基づき詳細に説明される。図1において部分的に示されたこの長さ測定装置は、長さ方向Xへ互いに相対的に変位可能なスケール1及び走査ユニット2である構成要素で構成されている。長手方向Xへ互いに相対的に摺動可能な2つの対象物の位置を測定するために、これら2つの対象物のうちいずれかにスケール1が固定され、これら2つの対象物のうち他方に走査ユニット2が固定されている。この走査ユニット2は、位置測定時にスケール1の測定目盛り11を走査するとともに、これに基づき位置測定値を形成するものである。測定目盛り11は、等間隔のマーカ群を有するインクリメントトラックとして、複数トラックのアブソリュートコードとして、又は単一トラックのアブソリュートコードとして、例えば疑似乱数コーディングである、長手方向Xに配置されたアブソリュートコーディングを備えて形成されることができる。本発明は、光電的な走査原理に限定されるものではなく、測定目盛りは、誘導式、磁石式又は容量式に走査可能に構成することが可能である。
スケール1は、長手方向Xに延在する中空プロフィル部3に保護されつつ収容されている。このスケール1は、例えば中空プロフィル部3の内側に特に接着剤によって固定されることによって、中空プロフィル部3に固定されている。中空プロフィル部3は、長手方向Xへ延在するようにスリット33を備えており、このスリットは、屋根状に配置されたリップ状のシール要素41,42によって覆われている。また、これらシール要素41,42を通って、走査ユニット2が固定された刀状の連行部材21が突出している。中空プロフィル部3の外部において、連行部材21には取付要素22が配置されており、この取付要素22は、測定すべき両対象物のうちいずれかに、例えば螺合することによって固定されるよう設定されている。
中空プロフィル部3は、U字状に形成されているとともに、平行に延在する2つの脚部34,35と、これら脚部34,35を結合する底部36とを備えている。また、スリット33は、底部36とは反対側に配置されており、中空プロフィル部3の脚部34,35に形成された2つの突出部31,32によって画成されている。
中空プロフィル部3の端面側の両端部はそれぞれ端部材5によって閉じられており、ここでは、これらのうち1つのみが図示されている。端部材5は挿入範囲51を備えており、この挿入範囲において端部材が中空プロフィル部3の内部空間へ挿入されている。なお、この挿入範囲51は、図3に示されている。この挿入範囲51の断面は、両脚部34,35の内面と底部36の内面が挿入範囲51の側面に接触するよう、中空プロフィル部3の断面に合わせられている。すなわち、挿入範囲51の外部輪郭は、中空プロフィル部3の内部輪郭に対応している。
端部材5は、測定すべき対象物のいずれかに取り付けられるように形成されている。このために、端部材5は、固定ボルト又はねじのための孔53を備えている。孔の代わりに、公知のように、中空プロフィル部を測定すべき対象物に固定することが可能なブラケット、ボルト又は球状物を端部材に配置することもできる。
図3には取付位置が示されており、この取付位置では、端部材がその挿入範囲51と共に中空プロフィル部3内へ挿入される。更なる取付ステップにおいては、端部材5が図4に示すように中空プロフィル部に固定される。端部材5の中空プロフィル部3への位置決めされた固定は、挟着部材6によってなされる。この挟着部材6は、スリット33を覆い、両突出部31,32を端部材5における挿入範囲51の面に押圧するとともにここで摩擦力によって固定するよう形成されている。このために、挟着部材6は、例えば図4に示す2つのボルト61,62によって端部材5に螺着されるようになっている。したがって、底部36とは反対側の両突出部31,32は、挟着部材6と挿入範囲51の間に挟入され、そこで位置決めされつつ固定される。
このような固定様式は、特にコンパクトに実現可能である。図2及び図5に示すように、挟着部材6は、取付が完了した状態において、両脚部34,35によってあらかじめ設定された中空プロフィル部3の幅Bの内側に配置されている。すなわち、中空プロフィル部3の外部寸法は、両脚部34,35のみによって制限されている。また、選択的に、脚部34又は脚部35の外側を、測定すべき対象物への取付時に、平面的にこの対象物へ接触させることが可能であり、これにより、特に振動に対して対抗する結合が保証される。
シール要素41,42は、スリット33を屋根状に覆うものである。図2及び図4から分かるように、このように屋根状に配置されたシール要素41,42に対して対向する端部材5の挿入範囲51が同様に屋根状に形成された範囲52を備えているため、シール要素41,42がこの範囲に接触する。さらに、挟着部材6は、これに対応した凹部63を備えている。端部材5の挿入範囲51への挟着部材6の載置及び螺着する際には、シール要素41,42が屋根状の範囲52と凹部63の間に挟入され、これにより、シール要素41,42の長手方向Xへの変位が防止される上、良好なシールが保証される。
長手方向Xに見て、シール要素41,42は挟着部材6の第1の部分長さL1の範囲内のみで挿入範囲51と挟着部材6の間に配置されており、これに続く挟着部材6の第2の部分長さL2は、シール要素41,42から解放されている。
挟着部材6がスリット33を長手方向Xに対して垂直に覆うことにより、この挟着部材を、更にスリット33の拡開を防止するために使用することができる。このために、挟着部材6には嵌合要素64,65が配置されており、これら嵌合要素は、それぞれ、その中空プロフィル部材3の範囲に、スリット33の拡開とは逆に作用する嵌合部を形成するものとなっている。嵌合要素64,65と相互に作用する中空プロフィル部材3のこの範囲は、それぞれスリット33と脚部34,35のいずれかの間に配置されている。嵌合要素64,65により、両脚部34,35がそのあらかじめ定められた位置において、特に互いに平行に安定して保持される。
1 スケール
2 走査ユニット
3 中空プロフィル部
5 端部材
6 挟着部材
11 測定目盛り
21 連行部材
22 取付要素
31,32 突出部
33 スリット
34,35 脚部
36 底部
41,42 シール要素
51 挿入範囲
52 範囲
53 孔
61,62 ボルト
63 凹部
64,65 嵌合要素

Claims (8)

  1. 長手方向(X)に延在するとともに複数のシール要素(41,42)によって覆われたスリット(33)を備えた、長手方向(X)に延在する中空プロフィル部(3)と、
    位置測定のために該中空プロフィル部(3)に対して相対的に長手方向(X)へ移動する走査ユニット(2)によって走査可能な測定目盛り(11)を備えつつ前記中空プロフィル部(3)の内部に配置されたスケール(1)と、
    前記中空プロフィル部(3)に結合され、かつ、前記中空プロフィル部(3)をその両端部のうちいずれかにおいて閉鎖するとともに測定すべき対象物に取り付けるための端部材(5)と
    を備え、前記端部材(5)が、前記中空プロフィル部(3)に挿入される挿入範囲(51)を有している長さ測定装置において、
    前記端部材(5)を挟着部材(6)によって前記中空プロフィル部(3)に結合させ、前記挟着部材を、前記スリット(33)が覆われるとともに、前記スリット(33)の両側において前記中空プロフィル部(3)が前記端部材(5)の前記挿入範囲(51)に固定されるよう構成したことを特徴とする長さ測定装置。
  2. 前記中空プロフィル部(3)を、U字状に形成するとともに、互いに平行に延在する2つの脚部(34,35)と、該脚部(34,35)に結合された底部(36)と、該底部とは反対側に位置しつつ前記脚部(34,35)に配置された2つの突出部(31,32)とを備える構成としたことを特徴とする請求項1記載の長さ測定装置。
  3. 前記挟着部材(6)を、前記端部材(5)に螺着するとともに、前記中空プロフィル部(3)の前記両突出部(31,32)を前記端部材(5)の前記挿入範囲(51)において押圧してそこで固定されるよう構成したことを特徴とする請求項2記載の長さ測定装置。
  4. 前記挟着部材(6)を、前記端部材(5)の前記挿入範囲(51)において前記シール要素(41,42)を押圧するよう構成したことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の長さ測定装置。
  5. 前記シール要素(41,42)を屋根状に配置し、前記シール要素(41,42)に対向する前記挿入範囲(51)を同様に屋根状に形成するとともに、前記挟着部材(6)を、これに対応して屋根状の凹部(63)を備えるよう構成したことを特徴とする請求項4記載の長さ測定装置。
  6. 長手方向(X)に見て、前記シール要素(41,42)を第1の部分長さ(L1)の内部においてのみ前記挿入範囲(51)と前記挟着部材(6)の間に配置するとともに、前記挟着部材(6)の第2の部分長さ(L2)を前記シール要素(41,42)から解放したことを特徴とする請求項4又は5記載の長さ測定装置。
  7. 前記挟着部材(6)を、前記スリット(33)の両側の前記中空プロフィル部(3)と共にそれぞれ前記スリット(33)の拡開に対して逆に作用する嵌合部を形成するよう構成したことを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の長さ測定装置。
  8. 前記挟着部材(6)を、前記脚部(34,35)によってあらかじめ設定される前記中空プロフィル部(3)の幅(B)以下の幅を有するよう構成したことを特徴とする請求項2〜7のいずれか1項に記載の長さ測定装置。
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Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102011007756A1 (de) * 2011-04-20 2012-10-25 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Positionsmesseinrichtung sowie Maßstab und Verfahren zur Herstellung eines Maßstabs
US8739424B2 (en) * 2011-06-24 2014-06-03 Mitutoyo Corporation Structure for protecting scale graduations
DE102012203193A1 (de) * 2012-03-01 2013-09-05 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Längenmesseinrichtung
JP6692025B2 (ja) * 2015-09-30 2020-05-13 株式会社ミツトヨ 直線変位測定装置
JP6712827B2 (ja) * 2016-01-07 2020-06-24 ハイデンハイン株式会社 リニアエンコーダ
DE102016108442A1 (de) * 2016-05-06 2017-11-09 Conductix-Wampfler Gmbh Datenübertragungsvorrichtung, Schleifleitung und Schleifleitungssystem
ES2702948T3 (es) * 2016-07-27 2019-03-06 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Equipo para medir longitudes
EP3279615B1 (de) * 2016-08-02 2018-10-17 Dr. Johannes Heidenhain GmbH Längenmesseinrichtung
ES2700616T3 (es) * 2016-09-12 2019-02-18 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Dispositivo de medición de longitud y procedimiento para su montaje
ES2956874T3 (es) * 2020-04-29 2023-12-29 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Dispositivo de medición de posición
EP4109047B1 (de) * 2021-06-21 2025-02-26 Dr. Johannes Heidenhain GmbH Mitnehmer für eine positionsmesseinrichtung

Citations (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS53140056A (en) * 1977-03-22 1978-12-06 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Length measuring apparatus installed in casing with londitudinally sliding scale
JPS5582901A (en) * 1978-12-13 1980-06-23 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Box type length measuring device
JPS59182308A (ja) * 1983-01-27 1984-10-17 ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミト・ベシユレンクテル・ハフツング 密閉形測長機のためのクランプ装置
JPH01267415A (ja) * 1988-04-18 1989-10-25 Mitsutoyo Corp 変位検出器のシール装置
JPH0212612U (ja) * 1988-07-08 1990-01-26
JPH02196923A (ja) * 1988-06-29 1990-08-03 Dr Johannes Heidenhain Gmbh 位置測定装置
JPH03246409A (ja) * 1990-02-23 1991-11-01 Sony Magnescale Inc スケール装置
JPH03282310A (ja) * 1990-03-30 1991-12-12 Sony Magnescale Inc スケール装置の固定手段
JPH043303U (ja) * 1990-04-20 1992-01-13
JPH10221002A (ja) * 1996-11-11 1998-08-21 Dr Johannes Heidenhain Gmbh 長さ測定装置
JP2003307434A (ja) * 2002-03-30 2003-10-31 Dr Johannes Heidenhain Gmbh 長手方向測定装置及び線形ガイドユニット
JP2004132735A (ja) * 2002-10-08 2004-04-30 Sony Precision Technology Inc スケール装置
JP2004245591A (ja) * 2003-02-10 2004-09-02 Sony Precision Technology Inc スケール装置
JP2010249602A (ja) * 2009-04-14 2010-11-04 Heidenhain Kk リニアエンコーダおよびエンコーダヘッドの交換方法
JP2011075557A (ja) * 2009-09-29 2011-04-14 Dr Johannes Heidenhain Gmbh 測長装置

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4340814A (en) 1980-10-14 1982-07-20 Dynamics Research Corporation Electro-optical position transducer
US5016359A (en) * 1988-05-31 1991-05-21 Sony Magnescale Inc. Linear scale arrangement
US5258931A (en) * 1988-07-08 1993-11-02 Parker-Hannifin Corporation Precision electronic absolute and relative position sensing device and method of using same
AT393905B (de) 1989-09-12 1992-01-10 Rieder Heinz Schutzgehaeuse zur aufnahme von massstab und laengsverstellbarer abtasteinheit
EP0668486A3 (de) * 1994-02-22 1997-07-30 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Längen- oder Winkelmesseinrichtung.
US5837981A (en) * 1997-07-24 1998-11-17 Wang; Chin-Yuan Signal outputting device of optical ruler
US6739067B2 (en) * 2002-04-25 2004-05-25 Acu-Rite, Inc. Cover for a sealed linear encoder and a sealed linear encoder
DE10347360B4 (de) * 2003-10-11 2021-07-01 Robert Bosch Gmbh Führung mit Messeinrichtung und Verfahren zur Herstellung einer solchen Führung
CN2861961Y (zh) * 2005-11-25 2007-01-24 长春禹衡光学有限公司 光栅尺标尺光栅固定装置
DE102012203193A1 (de) * 2012-03-01 2013-09-05 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Längenmesseinrichtung

Patent Citations (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS53140056A (en) * 1977-03-22 1978-12-06 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Length measuring apparatus installed in casing with londitudinally sliding scale
JPS5582901A (en) * 1978-12-13 1980-06-23 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Box type length measuring device
JPS59182308A (ja) * 1983-01-27 1984-10-17 ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミト・ベシユレンクテル・ハフツング 密閉形測長機のためのクランプ装置
JPH01267415A (ja) * 1988-04-18 1989-10-25 Mitsutoyo Corp 変位検出器のシール装置
JPH02196923A (ja) * 1988-06-29 1990-08-03 Dr Johannes Heidenhain Gmbh 位置測定装置
JPH0212612U (ja) * 1988-07-08 1990-01-26
JPH03246409A (ja) * 1990-02-23 1991-11-01 Sony Magnescale Inc スケール装置
JPH03282310A (ja) * 1990-03-30 1991-12-12 Sony Magnescale Inc スケール装置の固定手段
JPH043303U (ja) * 1990-04-20 1992-01-13
JPH10221002A (ja) * 1996-11-11 1998-08-21 Dr Johannes Heidenhain Gmbh 長さ測定装置
JP2003307434A (ja) * 2002-03-30 2003-10-31 Dr Johannes Heidenhain Gmbh 長手方向測定装置及び線形ガイドユニット
JP2004132735A (ja) * 2002-10-08 2004-04-30 Sony Precision Technology Inc スケール装置
JP2004245591A (ja) * 2003-02-10 2004-09-02 Sony Precision Technology Inc スケール装置
JP2010249602A (ja) * 2009-04-14 2010-11-04 Heidenhain Kk リニアエンコーダおよびエンコーダヘッドの交換方法
JP2011075557A (ja) * 2009-09-29 2011-04-14 Dr Johannes Heidenhain Gmbh 測長装置

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