JPH02196923A - 位置測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、測定目盛保持本体とこの測定目盛を走査す
る走査装置とを備えた、特に封入構造の位置測定装置に
関する。

〔従来の技術〕

この種の位置測定装置は、種々の物理原理に従って動作
する測長装置又は測角装置として構成されている（特開
昭５８−１９１９１４号公報及び特開昭６３−２９２０
９号公報）。

位置測定装置は、二つ又はそれ以上の機械部品の相対位
置を測定するために機械に導入されている。

位置測定装置を湿った環境、例えば所謂加工センター中
に設置するとき、封入された位置測定装置の場合でも、
微細な穴を通して湿気が内部に侵入する危険が大きい、
温度変動がある場合、この蒸気は凝縮し、無制限に結露
するので、温度変動は位置測定装置の機能に影響を及ぼ
す。

〔発明の課題〕

この発明の課題は、外乱に対して高い信顛性があり、測
定精度の高い位置測定装置を提供することにある。

〔課題の解決〕

上記の課題は、この発明により、一方の測定目盛支持本
体（３：Ｔ１　；Ｔ２）及び／又は走査装置（４；Ａｌ
　；Ａ２）と他方前記構造部分の直接周囲との間の温度
勾配を発生させる手段（３ａ。

３ｂ、３ｃ：９：　１４：Ｅｌ　；Ｅ２）を装備するこ
とによって解決されている。

可能で有利な構成は、従属請求項に記載されている。

〔発明の効果〕

この発明による位置測定装置の利点は、何よりも、目盛
支持本体と一方の走査装置の間及び他方のケースとの間
の温度勾配によって凝縮物が何時も冷えたケースに結露
するので、敏感な測定目盛と走査装置が結露を受けない
点にある。

従属請求項に示した種々の可能性を専門家がどのように
実現するかは利用状況に依存する。

〔実施例と作用〕

実施例に基づき、この発明を以下に図面の助けによって
より詳しく説明する。

第１図に示す測長装置ｌは、実質上、測定目盛支持本体
３を公知の方法で固定した軽金属のケース２から構成さ
れている。このケース２は部分的に切断して示しである
ので、走査装置４を目視できる。この走査装置４は、同
じ様に公知の方法で測定目盛支持本体３上に装着しであ
る測定目盛３ａを充電的に走査する。両側に剣状の断面
を有する連行体５は、走査装置４を組立脚部６に連結す
る。連行体５は屋根状に配設した気密舌部７と８によっ
て塞がれているケース２の長手スリット２ａを貫通して
突き出ている。

機械の固定台と移動台の間の移動量を測定する図示して
いない機械は、機械の固定台のところで組立脚部６と連
行体５の上に走査装置４を保持し、移動台のところで測
定目盛支持本体３を有するケース２を保持している。

巻頭に述べたように、微細な穴を通過して湿気がほぼ全
面を閉ざしているケース２の内部空間に侵入する。測定
装置ｌの周囲の温度変動によって、この湿気の蒸気は凝
縮し、測定目盛の支持本体３、又は走査装置４のところ
に自由に結露する。凝縮液は位置測定装置ｌの機能にと
って重要な部品の汚れであるので、不調をもたらす。

主としてペルチェ素子で形成されている温度素子９の助
けによって、ケース２に冷却ポールができ、このポール
の近くに凝縮液ができる。従って、湿気はケース２に集
中して結露するので、測定目盛支持本体３と走査装置４
には邪魔な露が形成しない。

ペルチェ素子９は、接続導線９ａと９ｂを経由して外部
から必要なエネルギを供給される。

第２図には、別な方法で位置測定装置１の部品間に温度
勾配が発生する位置測定装置１の拡大部分が示しである
。

この実施例と以下の実施例では、引用記号の数を少なく
し、個々の実施例の対比を容易にするため、同じ部品又
は同じ機能の部品にそれぞれ同じ引用記号が付けである
。

第１図の実施例とは逆に、ここではケース２は冷却され
なくて、測定目盛支持本体３と走査装置４のような結露
以前に保護すべき部品は僅かに加熱しである。

この加熱は、支持本体３の上の測定口ｇｔ３ａに対して
更に発熱する加熱導線３ｂ、３ｃを介して行われる。こ
の場合、測定目盛支持本体３はガラス又はセラミックス
製である。測定目盛支持本体３が金属のような導電性材
料製の場合、測定目盛支持本体と加熱導線３ｂ、３ｃの
間に、電気絶縁性であるが、加熱導線３ｂ、３ｃから測
定目盛支持本体３に出来る限り熱伝導を妨害しない中間
層を装備する必要がある。

加熱導１ｓ３ｂ、３ｃには、電流が流れ、これ等の導線
は測定目盛支持本体３に埋め込んであってもよい、この
変形種の図示は省略されている。加熱導線３ｂ、３ｃへ
の給電は、種々の方法で行われている。第２図には走査
装置４のところに慴動接触子４ｂ、４ｃ、４ｄが示しで
ある。これ等の接触子を介して主に制御されている加熱
電流がこれ等の加熱導線３ｂ、３ｃに導入される。慴動
接触子４ｂ、４ｃ、４ｄの代わりに、電流を伝えるため
にボールベアリングも利用できる。このベアリングは、
同時に走査装置４を測定目盛支持本体３のところで案内
する。加熱電流の誘導伝送もできる。

第３図には、目盛板３ａ自体が電流を通して、温度勾配
の発生に対する解決策が示しである。目盛板３ａは、例
えばクロムで作製されていて、その支持本体３に蒸着し
である。給電は特殊な導線３ｄ、３ｅを介して行われる
。これ等の導線は、自動車の加熱できる後部窓の場合に
知られているのと同じ方法で測定目盛支持本体３に固定
できる。

加熱導線を制御する場合、測定目盛支持本体３に温度依
存する検知抵抗を蒸着しておくと効果的である。この工
程は、加熱導線を付着させるのと丁度同じように、測定
目盛を作製するときも行える０作図は省略する。

測定目盛支持本体３を加熱すると、当然その寸法が変わ
る。この効果を様々な方法で考慮できる。

一つの可能性は、測定目盛支持本体３を標準寸法以下に
作製し、加熱状態で目標寸法にするものがある。更に、
加熱制御に応じて測定目盛支持本体３の伸びを、位置測
定装置１が組み込んである機械の温度による伸びに合わ
せることもできる。この方法では、測定目盛支持本体３
を部分的に種々加熱して誤差の非線型補正が行えるよう
に構成される。

加熱によって制約される温度変化を測定技術で抑制する
他の可能性は、測定目盛支持本体３を固定部材！０と１
１の助けで機械に固定挟持し、加熱によって決まる変化
が作用しないように、機械に依存する寸法変化を測定目
盛支持本体３に押し付ける点にある。この種の測定目盛
支持本体３の固定は、第５図に非常に模式化して示しで
ある。

この固定方式の場合、加熱導線３ｂ、３ｃを固定部材１
０と１１を通じて給電することが非常に有利な方法で行
われる。これ等の部材は導線１２と１３を介して図示し
てない電源に連結している。

第４図には、ケース２又はこのケース２に連結する凝縮
液の中空空間１４を、測定目盛支持本体３又は走査装置
（図示せず）より低い温度に維持する代わりの方法が、
もう−度取り上げである。

凝縮液の中空空間１４はケース２の内部に連結している
。二つの中空空間は同じ蒸気圧であるので、ａ線源の中
空空間１４には湿気が凝縮する。この温気は冷えた凝縮
液の中空空間１４の飽和度を上昇させる。従って、ケー
ス２の内部では低い相対湿度となる。

凝縮液の中空空間１４には、湿度交換器が装備しである
。この交換器は交換面の助けで、結露した湿気を乾燥し
た外気に放出できる。この様な湿気交換器は、湿気を通
すが空気を全く通さない芯１５であってもよい、凝縮し
た湿気を芯を用いて外気に放出することを象徴するため
、第４図には点線の円内に液滴が示しである。しかし、
この図は湿気が滴り落ちるのではなく、むしろ薄まるこ
とを意味していない。

凝縮液の中空空間１４の冷却は、種々の処置によって行
える０図示した例では、矢印で示した冷却液体は機械の
冷却剤循環路から凝縮液の中空空間１４を経由して流れ
る。

しかし、第１図と同じように、冷却をペルチェ素子で行
うこともできる。

冷却には、基本的に全ての冷却剤を使用できる（ドライ
アイス等）。

第１図に一個の位置測定装置ｌで示しであるように、凝
縮液の中空空間１４が多数の位置測定装置に連結してい
る場合、構造上の経費を大幅に低減できる。

湿気交換器による外に、凝縮液を交換可能な部材で化学
的又は物理的に束縛できる（シリカゲルのカプセル）。

第６図に示す測長装置ｌは、測定目盛支持本体３に公知
の方法で固定しである内部ケース２から成る。この内部
ケース２は切断して措いであるので、走査装置４を眺め
ることができる。この走査装置４は同じ様に公知の方法
で測定目盛支持本体３に取り付けである測定目盛（図示
せず）を光電的に走査す条０両面に剣状断面を有する連
行体５は、走査装置４を組立脚部６に連結する。この連
行体５は７字状に配設しである気密舌部７と８によって
封止しである内部ケース２の長手スリット２ａを突き抜
けている。

外部ケース９は、この外部ケース９の内部空間にある保
持部材２ｂ、２ｃ、２ｄ、２ｅを介して固定されている
内部ケース２を取り囲んでいる。

他の気密舌部ｌＯと１１は外部ケース９の長手スリン１
−９ａを遮断している。これ等の気密舌部ｌＯと１１は
同じ様にＶ字形に配設してあり、同じ様に連行体５によ
って貫通されている。

気密舌部７．８及び１０．１１の配置をＮ根状としばし
ば説明しているが、この用語と考え方は当然位置測定装
置１の取付位置に依存する。

この発明によれば、両方のケース２と９は熱伝導度が互
いに強く異なる異種材料製である。即ち、ケース２はで
きる限り低い熱伝導度であり、ケース９はできる限り高
い熱伝導度を有する。このため、内部ケース２は繊維補
強した合成樹脂製で、外部ケース９はアルミニューク製
である。

機械の固定台と移動台の間のずれを測定する図示してい
ない機械には、機械の固定台のところで組立脚部６と連
行体５の上に走査装置４があり、移動台のところに測定
目盛支持本体３を有するケース２と９がある。

巻頭に説明したように、微細な穴を通過して湿気はほぼ
全面閉ざした位置測定装置ｌの内部空間に侵入する。位
置測定装置ｌの周囲の温度変動によって、この湿気の蒸
気が凝縮し、測定目盛支持本体３又は走査装置４に結露
する。凝縮液は位置測定装置１の機能に重要な部品を汚
すことであり、それ故に不調の原因になる。

この発明による二重ケースを使用すると、測定目盛支持
本体３と走査装置４の結露の恐れは非常に低下する０例
えば、装置内部の空気がほぼ飽和状態の時、位置測定装
置１の周囲の外部温度が低下すると、外部ケース９の内
面は高熱伝導度のため非常に早く低い外部温度になる。

次いで、外部ケース９と内部ケース２の間の空気が冷え
、過飽和状態の空気の湿気が外部ケース９の内面に結露
し、外え流れ出る。流れ出しを保証するため、外部ケー
ス９の適当なところに開口１２がある。内部ケース２の
内部空間と、ケース２と９の間の空間との間で蒸気圧の
差が生じる。しかし、この差は内部ケース２の小さな開
口１３を経由して再び相殺される。内部ケース２の熱伝
導度が低いので、ケース２の蒸気量はその温度より急速
に低下するので、内部ケース２の内部には、測定目盛支
持本体３及び／又は走査装置４の結露の原因になる過飽
和空気が生じない。

一重気密舌部７，８と１０．１１によって周囲の影響に
対して良好な機械的保護を保証する。この保護は降り注
ぐ水に対しても保護する。

保持部材２ｂ、２ｃ、２ｄ、２１は、内部ケース２と外
部ケース９に挿入させるが、そこで位置が簡単に変化し
ないように構成する。これ等の保持部材と、それ等の収
納通路は凝縮液の排出を妨害しないためケースに沿って
中断している。

第７図には、第６図の位置測定装置１の変形種が示しで
ある。第６図と異なる点がある場合に限ってのみ、引用
記号を付けである。この位置測定装置２１では、内部ケ
ース２２に長手スリット２２ａがある。スリットの長さ
は外部ケース２９の長手スリット２９ａに対して約９０
″回転している。長手スリット２２ａと２９ａは気密舌
部２７゜２８と２１０，２１１を用いて遮断されている
。

走査装置２４を組立部材２６に連結する連行体２５は、
長手スリット２２ａと２９ａを掴むことができるよう何
個所も芯違いにしである。内部ケース２２は突起２２ｂ
と２２ｃを介して外部ケース２９の内面で支持されてい
て、成る限界で調節ネジ２２ｄと２２ｅによって１１節
できる。蒸気圧を平衡させるため、開口２１３が配設し
である。

蒸気圧を平衡させる開口１３と２１３の代わりに、別な
ケース開口を設けることもできる。図示していないが、
内部ケース２又は２２の一方又は両方の端末片を省略で
きる。

外部ケース２９には、凝縮液を排出させる開口がない。

その理由は、この例に対して凝縮液が気密舌部２１０，
２１１を経由して滴り落ちることを前提にしているから
である。しかし、この実施例の場合でも個別開口を設け
てもよい。

両方の長手スリ７）２２ａと２９ａの配置を揃えていな
いことによって、外部の影響に対する保護が特に強力で
ある。従って、湿気の侵入は更に困難である。

揃っている配置では、長手スリットは組立部材から走査
装置の方向に直線に並んでいることがここでは理解され
る。このことは第６図の図面に示しある。

第８図には、封入位置測定装置の断面が示しである。こ
の装置では、測定目盛板Ｍｌを有する支持本体ＴＩが全
面を遮断したケースＧｌの内部で中空形状にしてウェブ
Ｓｌに接着層Ｋｌによって固定しである。測定目盛板Ｍ
１は走査ユニットＡｌによって公知の方法で例えば光電
的に走査される。ケースＧ１に二つの屋根状に傾いた可
撓性気密舌部の対Ｄｌａ、Ｄｌｂによって遮断された長
手スリッ）Ｌｌがある。気密舌部を通過して連行体Ｎｌ
が両側側の形にして突き出ている。この連行体は走査ユ
ニットＡ１を組立脚部Ｆｌに連結する。

ケースＧｌは全面で長手スリットＬ１の範囲まで熱絶縁
ユニットＥ１によって外部絶縁層の形にして被覆されて
いて、図示していない工作機械の移動台ＸＩで、例えば
両端を固定角−西独特許第２５０５５８５号公報に説明
しであるように一固定しである。＆Ｉｌ立脚部Ｆｌは、
任意の方法で工作機械の固定台Ｂ１に連結している。こ
こで、移動台Ｘ１と固定台Ｂ１は、相対位置を測定する
両方の対象物である。

巻頭に述べたように、両方の気密舌部の対ＤＩａ、Ｄｌ
ｂの間にある小さな漏れ個所が、特に連行体Ｎｌの両切
断角の辺りで、完全には防止できない、この切断角を経
由して湿った周囲で湿度蒸気がケースＧ１の内部に侵入
する。温度変動がある場合、この湿度蒸気は凝縮し、目
盛板Ｍｌ及び／又は走査ユニットＡＩに結露する。従っ
て、この凝縮液は測定機能にとって重要な位置測定装置
の部品を汚し、測定精度が高精度位置測定装置の場合も
はや耐えがたい程度の影響を受ける。

熱絶縁ユニットＥｌを装備することによって、位置測定
装置の直接周囲の温度変動はケースＧｌの内部に侵入し
ない、従って、ケースＧ１の内部の測定目盛板Ｍｌ及び
走査ユニットＡＩとケースＣｔの外の直接周囲との間で
温度勾配が生じる。

ケースＧｌの内部の温度は、周囲に温度変動がある場合
大部分保存されているので、ケースＧ１の内部で湿気蒸
気による邪魔な凝縮液が形成されない。

この熱絶縁効果を高めるために、連行体Ｎｌは非常に熱
伝導度の低い材料、特に繊維強化合成樹脂製である。そ
の他の点では、外部気密舌部対Ｄｌａに対して、更に内
部気密舌部の対Ｄｌｂが備えである。この対は更に湿気
蒸気がケースＧ１の内部への侵入を低減する。

図示していない方法で、熱絶縁ユニットＥｌは、ケース
Ｇ１の内部と周囲の間の熱相互作用を遮断するため、熱
絶縁層としてもケースＧｌの内面に形成されている。更
に、、ケースＧｌ自体も熱絶縁繊維強化合成樹脂から熱
絶縁ユニットＥｌを形成する。

第９図には、第８図の測長装置と同じ部品と従って同じ
引用記号を付けた封入測長装置の断面が示しである。こ
の場合、数字１を数字２に入れ換えである。

ケースＧ２は柵状の調節ユニットＥ２に熱接触させて挿
入しである。このユニットは任意の方法で工作機械の移
動台ｘ２に固定されている。この調節ユニットＥ２はＵ
字状の連行体部分ＭＴから構成されている。そして、こ
の底と壁は長手方向に延びる穴Ｃが装備してあり、前記
部分は平板状の端末部分ＥＴａ、ＥＴｂの両端で仕切ら
れている。

これ等の端末部分には、それぞれ連行体ＭＴの穴Ｃ用の
集中穴ＳＢａ、ＳＢｂがある。一方の端末部分ＥＴａで
は、集中穴ＳＢａに温度制御された液体が封入されてい
る。この液体は中間部分ＭＴの穴Ｃを通過した後、他の
端末部分ＥＴｂの集中穴ＳＢｂから再び排出される（第
１Ｏ図）。

との調節ユニットＥ２を装備することによって、位置測
定装置の直接近傍の温度変動もケースＧ２の内部に侵入
しないので、ケースＧ２の内部の目盛板Ｍ２及び走査ユ
ニットＡ２とケースＧ２の外部の直接近傍との間に温度
勾配が生じる。ケースＧ２の温度は、周囲に温度変動が
ある場合一定に維持されるので、ケースＧ２の内部では
湿気蒸気の邪魔な凝縮液の形成をもたらさない。

第１Ｏ図によれば、連行体ＭＴは、特に網目長さの異な
る多数の個別片ＭＴａ、ＭＴｈ、ＭＴｃ。

・・・で構成することもできる。これ等の個別片は簡単
な方法で異なった長さの位置測定装置に合せることがで
きる。

図示してない方法では、調節ユニットが同時に目盛板と
走査ユニットのケースを形成し得る。

連行体ＭＴ又は個別片ＭＴａ、ＭＴｂ、ＭＴｃの穴Ｃは
交互に逆向きに流すこともできる。その場合、端末部分
ＥＴａ、ＥＴｂにはそれぞれ液体の導入と排出用の二つ
の集中穴ＳＢａ、ＳＢｂがある。

熱絶縁ユニットＥｌも、特に綱目の長さの異なる個別片
で形成できる。更に、熱絶縁ユニットＥｌは内部絶縁層
と外部絶縁層から構成することもできる。

この発明は、異なった物理的な測定原理で動作する所謂
開放位置測定装置にも、また封入位置測定装置にも利用
できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、温度素子を装備した測長装置の斜視図である
。 第２図は、測定目盛支持本体に加熱導線を装備した測長
装置の斜視図である。 第３図は、加熱素子である測定目盛板を装備した測長装
置の斜視図である。 第４図は、′ａ縮線源中空空間を備えた測長装置の斜視
図である。 第５図は、固定挟持した測定目盛支持本体の断面図であ
る。 第６図は、二重ケースを装備した測長装置の断面図であ
る。 第７図は、第４図の測定装置の変形種の断面図である。 第８図は、絶縁ユニットを装備した封入測長装置の断面
図である。 第９図は、調整ユニットを装備した封入測長装置の断面
図である。 第１０図は、調整ユニットの側面図である。 図中引用記号： ｌ・・・位置測定装置、 ２・・・ケース、 ３・・・測定目盛支持本体、 ３ａ・・・測定目盛板、 ３ｂ、３ｃ・・・加熱導線、 ４・・・走査装置、 ４ｂ、４ｃ、４ｄ・・・慴動接触子、 ５・・・連行体、 ６・・・組立脚部、 ７．８，１０．１１・・・気密舌部、 ９・・・外部ケース、 １４・・・凝縮液の中空空間。 図面の浄書（内容に変更なし） Ｉｌｌ　　図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、測定目盛支持本体と、測定目盛板を走査する走査装
   置を備えた、特に封入構造の位置測定装置において、一
   方の測定目盛支持本体（３；Ｔ１；Ｔ２）及び／又は走
   査装置（４；Ａ１；Ａ２）と他方の前記構造部材の直接
   周囲との間に温度勾配を発生させる手段（３ａ、３ｂ、
   ３ｃ；９；１４；Ｅ１；Ｅ２）が装備してあることを特
   徴とする位置測定装置。 ２、温度勾配は、測定目盛支持本体（３）及び／又は走
   査装置（４）に対する加熱部材（３ａ、３ｂ、３ｃ）に
   よって生じることを特徴とする請求項１記載の位置測定
   装置。 ３、測定目盛支持本体（３）の上又は中に加熱導線（３
   ｂ、３ｃ）が配設してあることを特徴とする請求項２記
   載の位置測定装置。 ４、目盛板（３ａ）は、加熱導線として形成してあるこ
   とを特徴とする請求項２記載の位置測定装置。 ５、測定目盛支持本体（３）の加熱部材（３ａ、３ｂ、
   ３ｃ）によって、前記支持本体の寸法を目的通りに変化
   させることができることを特徴とする請求項２記載の位
   置測定装置。 ６、加熱導線（３ｂ、３ｃ）には、走査装置（４）の慴
   動接触子（４ｂ、４ｃ、４ｄ）を経由して加熱電流が導
   入されることを特徴とする請求項３記載の位置測定装置
   。 ７、加熱された測定目盛支持本体（３）は、固定部材（
   １０、１１）の助けで端部を固定挟持されていることを
   特徴とする請求項２、３及び４のいずれか１項に記載の
   位置測定装置。 ８、加熱電流は、導線（１２、１３）によって固定部材
   （１０、１１）を経由して導入されることを特徴とする
   請求項７記載の位置測定装置。 ９、温度勾配は、ケース（２）を冷やして発生させるこ
   とを特徴とする請求項１記載の封入位置測定装置。 １０、少なくとも一個の加熱素子（９）、主にペルチエ
   素子を用いて、ケース（２）のところに少なくとも一個
   の冷却極を形成していることを特徴とする請求項９記載
   の封入位置測定装置。 １１、ケース（２）には、少なくとも一個の冷却した凝
   縮液の中空空間（１４）があることを特徴とする請求項
   ９記載の封入位置測定装置。 １２、凝縮液の中空空間（１４）は、位置測定装置（１
   ）を組み込んだ機械の例極循環回路によって冷却されて
   いることを特徴とする請求項１１記載の封入位置測定装
   置。 １３、凝縮液の中空空間（１４）は、少なくとも一個の
   ペルチエ素子によって冷却されていることを特徴とする
   請求項１１記載の封入位置測定装置。 １４、凝縮液の中空空間（１４）は、ドライアイスで冷
   却されることを特徴とする請求項１１記載の封入位置測
   定装置。 １５、ケース（２）及び／又は凝縮液の中空空間（１４
   ）には、湿気交換器（１５）が装備してあることを特徴
   とする請求項１、１２、１５のいずれか１項に記載の封
   入位置測定装置。 １６、湿気交換器は、芯（１５）で形成されていること
   を特徴とする請求項１記載の封入位置測定装置。 １７、温度勾配によって生じる凝縮液は、化学的及び／
   又は物理的に束縛されることを特徴とする請求項１記載
   の封入位置測定装置。 １８、凝縮液の束縛は、交換可能なシリカゲルカプセル
   によって行われることを特徴とする請求項１７記載の封
   入位置測定装置。 １９、多数の位置測定装置（１）に対して、ただ一個の
   凝縮液の中空空間（１４）が装備してあることを特徴と
   する請求項１１記載の封入位置測定装置。 ２０、封入は、低い熱伝導度の内部ケース（２、２２）
   と高い熱伝導度の外部ケース（９、２９）とから構成さ
   れることを特徴とする請求項１記載の封入位置測定装置
   。 ２１、内部ケース（２、２２）は合成樹脂で、また外部
   ケース（９、２９）はアルミニュームで作製されている
   ことを特徴とする請求項２０記載の封入位置測定装置。 ２２、内部ケース（２、２２）には、両方のケース（２
   、９；２２、２９）の間の圧力差を相殺する開口（１３
   、２１３）があることを特徴とする請求項２０記載の封
   入位置測定装置。 ２３、外部ケース（９）には、凝縮液を排出する開口（
   １３）が装備してあることを特徴とする請求項２０記載
   の封入位置測定装置。 ２４、両方のケース（２、９；２２、２９）には、Ｖ字
   形に配設した気密舌部（７、８、１０、１１；２７、２
   ８、２１０、２１１）によって遮断される長手スリット
   （２ａ、９ａ；２２ａ、２９ａ）があり、前記舌部を通
   して走査装置（４、２４）と組立部材（６、２６）を連
   結する連行体（５、２５）が突き出ていることを特徴と
   する請求項２０記載の封入位置測定装置。 ２５、長手スリット（２ａ、９ａ）は、連行体（５）と
   一直線に挿入されるように揃えてあることを特徴とする
   請求項２４記載の封入位置測定装置。 ２６、長手スリット（２２ａ、２９ａ）は、気密舌部（
   ２７、２８；２１０、２１１）を挿入させる連行体（２
   ５）が多重に芯違いにして互いに角度を付けて延びてい
   ることを特徴とする請求項２４記載の封入位置測定装置
   。 ２７、内部ケース（２、２２）は、固定部材（２ｂ、２
   ｃ、２ｄ、２ｅ；２２ｂ、２２ｃ、２２ｃ、２２ｄ、２
   ２ｅ）によって外部ケース（９、２９）の内部に保持さ
   れていることを特徴とする請求項２０記載の封入位置測
   定装置。 ２８、固定部材は、突起（２２ｂ、２２ｃ）と調節ネジ
   （２２ｄ、２２ｅ）として形成してあることを特徴とす
   る請求項２７記載の封入位置測定装置。 ２９、手段（Ｅ１）は、熱絶縁ユニットで構成されてい
   ることを特徴とする請求項１記載の位置測定装置。 ３０、手段（Ｅ２）は、調整ユニットで構成されている
   ことを特徴とする請求項１記載の位置測定装置。 ３１、温度絶縁ユニット（Ｅ１）は、目盛板（Ｍ１）を
   有する支持本体（Ｔ１）と走査ユニット（Ａ１）とに対
   するケース（Ｇ１）を取り囲む外部絶縁層から成ること
   を特徴とする請求項２９記載の位置測定装置。 ３２、温度絶縁ユニットは、測定目盛板を有する支持本
   体と走査ユニットとに対するケースの内面の内部絶縁層
   によって構成されていることを特徴とする請求項２９記
   載の位置測定装置。 ３３、温度絶縁ユニットは、測定目盛板を有する支持本
   体と熱伝導度の低い走査ユニットとに対するケースによ
   って構成されていることを特徴とする請求項２９記載の
   位置測定装置。 ３４、調整ユニット（Ｅ２）は、長手方向に延びる穴（
   Ｃ）を有するＵ字形中心部分（ＭＴ）から成り、前記中
   心部分は板状端末部分（ＥＴａ、ＥＴｂ）の両端部でそ
   れぞれ少なくとも一つの集中穴（ＳＢａ、ＳＢｂ）によ
   って仕切られていて、調整ユニット（Ｅ２）は目盛板（
   Ｍ２）を有する支持本体（Ｔ２）と走査ユニット（Ａ２
   ）とに対するケース（Ｇ２）を取り巻いていることを特
   徴とする請求項３０記載の位置測定装置。 ３５、調整ユニットは、目盛板を有する支持本体と走査
   ユニットとのケースを形成することを特徴とする請求項
   ３０記載の位置測定装置。 ３６、調整ユニット（Ｅ２）は、多数の個別部品（ＭＴ
   ａ、ＭＴｂ、ＭＴｃ）から構成されていることを特徴と
   する請求項２９又は３４記載の位置測定装置。 ３７、ケース（Ｇ１、Ｇ２）には、二組の気密舌部の対
   （Ｄ１ａ、Ｄ１ｂ、Ｄ２ａ、Ｄ２ｂ）によって遮断され
   た長手スリット（Ｌ１、Ｌ２）があり、前記気密舌部を
   通過して走査ユニット（Ａ１、Ａ２）用の熱伝導度の低
   い材料製の連行体（Ｎ１、Ｎ２）が突き出ていることを
   特徴とする請求項３１〜３５のいずれか１項に記載の位
   置測定装置。 ３８、熱絶縁ユニット（Ｅ１）は、多数の個別部品から
   構成されていることを特徴とする請求項２９記載の位置
   測定装置。 ３９、個別部品（ＭＴａ、ＭＴｂ、ＭＴｃ）は、異なる
   網目長さを有することを特徴とする請求項３６又は３８
   記載の位置測定装置。 ４０、中心部分（ＭＴ）の穴（Ｃ）は、交互に逆向きに
   流れることを特徴とする請求項３４記載の位置測定装置
   。