JP2014019938A - めっき装置 - Google Patents

Abstract

【課題】専有面積を大きくすることなく、めっき処理効率を高めることができるめっき装置を提供する。
【解決手段】帯状部材２１にめっき処理部１７でめっき処理を施すめっき装置１０であって、めっき処理の前に帯状部材２１に処理を施す脱脂処理部１３、第１水洗い処理部１４、化学研磨処理部１５、第２水洗い処理部１６と、めっき処理の後に帯状部材２１に処理を施す湯洗い処理部１８、乾燥処理部とを直列に配置し、めっき処理部１７に設けられ、かつ、帯状部材２１の表裏面が垂直方向に沿った方向となる姿勢で、帯状部材２１を高さ方向に螺旋状に搬送する第５駆動ローラ部５５及び第６駆動ローラ部５６と、めっき処理部１７に設けられ、かつ、帯状部材２１が螺旋状に搬送されるときの一部分で直線状に搬送される箇所で、帯状部材２１にめっき処理を施すめっき槽５７とを有する。
【選択図】図１

Description

本発明は、電子部品を形成するフープ材等の帯状部材をめっき処理するめっき装置に関する。

従来、トランジスタ、ＩＣ、スイッチ等の電子部品、コネクタ、表面処理が必要な鋼板材料等を大量生産するには、フープ材と呼ばれる帯状部材にめっき処理を施すようにしている。このような帯状部材にめっき処理を行うめっき装置の一例が、特許文献１に記載されている。この特許文献１に記載されためっき装置は、供給リール及び巻取りリールを有している。また、供給リールから巻取りリールに至る帯状部材の搬送経路が設けられており、搬送経路には脱脂処理部、水洗い処理部、化研処理部、めっき処理部、中和処理部、湯洗い処理部、乾燥部等の複数の処理部が、相互に平行に配置されている。また、複数の処理部同士の間には、垂直方向の軸線を中心として回転可能な駆動ローラがそれぞれ設けられている。

そして、特許文献１に記載されためっき装置においては、供給リールから繰り出された帯状部材が、駆動ローラに巻き掛けられて搬送方向が反転される。すなわち、帯状部材は、水平方向の平面内で蛇行しながら搬送される過程で、帯状部材が駆動ローラ同士の間で直線状に搬送されるときに、複数の処理部により順次処理が行われて、帯状部材に各処理が施される。この特許文献１に記載されためっき装置によれば、帯状部材が蛇行して搬送されるため、装置全体の専有面積（スペース)を狭くすることができるとされている。

一方、めっき対象物が線材の場合には、特許文献２に記載されるように、めっき槽内に配置された巻回ドラムと、めっき槽の上方に配置された給電ドラムとの間に螺旋状に線材を巻き掛けて、線材を給電ドラムと巻回ドラムとの間を上下方向に移動させながら、めっき処理を行うようにしためっき装置が使用されている。しかしながら、帯状部材をめっき処理する場合には、めっき槽内に配置された巻回ドラムに帯状部材を巻き掛けると、巻回ドラムに接触する帯状部材の内面にはめっき処理を施すことができない。

特許第３１０３７５３号公報 特開平５−１３２７９７号公報

上述のように、めっき対象物が帯状部材の場合には、帯状部材を搬送駆動するためのローラやドラムを、めっき槽内に配置することができないので、帯状部材を水平方向に配置させる必要がある。帯状部材を水平方向に搬送移動させながらめっき処理する場合には、めっき装置の専有面積を大きくしなければならない。特に、帯状部材に対するめっき処理効率を高めるために、帯状部材の搬送速度を速くするには、めっき槽等の処理槽の面積を大きくしなければならず、めっき装置の大型化が避けられない。

本発明の目的は、専有面積を大きくすることなく、帯状部材に対するめっき処理効率を高めることができるめっき装置を提供することにある。

本発明は、帯状部材を長手方向に搬送し、めっき処理部で前記帯状部材にめっき処理を施すめっき装置であって、前記帯状部材にめっき処理を施す前に、前記帯状部材に予め定められた処理を施す前処理部と、前記帯状部材にめっき処理を施した後に、前記帯状部材に予め定められた処理を施す後処理部と、前記めっき処理部に間隔をおいて設けられ、かつ、前記帯状部材の表裏面が垂直方向に沿った方向となる姿勢で、前記帯状部材を高さ方向に螺旋状に搬送する搬送機構と、前記めっき処理部に設けられ、かつ、前記帯状部材が螺旋状に搬送されるときの一部分で直線状に搬送される箇所で、かつ、異なる高さで前記帯状部材にめっき処理を複数回施すめっき槽とを有することを特徴とする。

本発明によれば、帯状部材の表裏面が垂直方向に沿った方向となる姿勢で、帯状部材を高さ方向に螺旋状に搬送するとともに、帯状部材が螺旋状に搬送されるときの一部分で直線状に搬送される。このため、帯状部材が直線状に搬送されるときに高さ方向の異なる箇所で、帯状部材に複数回めっき処理を施すことができる。したがって、めっき装置の専有面積が大きくなることなく、めっき処理効率を高めることができる。

本発明によれば、帯状部材は、高さが異なる複数の駆動ローラに交互に巻き掛けられるため、単位面積当たりにおける帯状部材のめっき処理長を、長くすることができる。

本発明によれば、めっき槽は、第１搬送機構と第２搬送機構との間に設けられているため、水平方向の平面内において、第１駆動機構と第２駆動機構との間の空間を利用することができ、装置全体の専有面積の拡大を一層抑制できる。

本発明におけるめっき装置の全体構成を示す平面図である。 本発明のめっき装置において、駆動ローラ部の一例を示す側面図である。 本発明のめっき装置において、駆動ローラ部に対する帯状部材の巻き掛け状態の一例を示す模式図である。 本発明のめっき装置に用いられる処理槽の一例を示す斜視図である。 本発明のめっき装置に用いられる処理槽の他の例を示す斜視図である。 本発明のめっき装置において、駆動ローラ部の他の例を示す側面図である。 本発明のめっき装置において、駆動ローラ部に対する帯状部材の巻き掛け状態の他の例を示す模式図である。 本発明のめっき装置において、駆動ローラ部に対する帯状部材の巻き掛け状態の更に他の例を示す模式図である。

以下、本発明の一実施の形態について、図面を用いて詳細に説明する。図１に示す本発明のめっき装置１０は、鋼材、鋼板等を組み合わせて形成された装置本体１１を有している。装置本体１１は平面形状が略長方形に構成されており、装置本体１１は、相互に平行な長辺１１ｂ，１１ｃ及び相互に平行な短辺１１ｄ，１１ｅを有している。装置本体１１の上には、供給部１２、脱脂処理部１３、第１水洗い処理部１４、化学研磨処理部１５、第２水洗い処理部１６、めっき処理部１７、湯洗い処理部１８、乾燥処理部１９、巻取り部２０が、帯状部材２１の搬送方向（移送方向）に沿って直列に配置されている。本実施形態において、帯状部材２１の搬送方向とは、主として水平方向の平面内における搬送方向、または水平方向に沿った搬送方向を意味する。

帯状部材２１は、金属材料、例えば、ニッケル合金、銅合金、鉄系合金、ステンレス、チタン等の薄板により構成されている。対象となる部品がトランジスタであるときは、帯状部材２１には、プレス加工やエッチング加工によって、トランジスタの端子に相当するリード部（図示せず)が予め形成される。また、帯状部材２１には、トランジスタ（図示せず)が搭載される。また、対象となる部品によっては、表面に何も加工が施されていないフラットな帯状部材２１が用いられる。さらに、対象となる部品には、トランジスタの他、ＩＣ、スイッチ等の電子部品、コネクタ、機能材料等も含まれる。なお、以下の説明では、便宜上、帯状部材２１の対象となる部品がトランジスタである場合を例として説明する。

めっき装置１０は、帯状部材２１の金属部分、そのうちの主としてリード部に、めっき処理部１７によってハンダ、例えば、錫合金、銅めっき、ニッケルめっき、銀めっき、金めっき等を処理する装置である。以下、各機構及び各処理部の構成を説明する。

供給部１２は、装置本体１１における一方の短辺１１ｄに沿って設けられている。供給部１２は、供給リール２２を有しており、供給リール２２は電動モータ２３により回転される構成となっている。供給リール２２の回転軸２３ａは、水平方向の軸線を中心として回転可能である。帯状部材２１は、めっき処理が施される前に供給リール２２に巻き付けられている。また、供給部１２は、一対のガイドローラ２４を有している。一対のガイドローラ２４は、水平方向の軸線を中心として回転可能であり、一対のガイドローラ２４は可動台２５により支持されている。可動台２５は、ガイドレール２６に沿って水平方向に移動可能に構成されている。また、供給部１２は、方向変換ローラ２７を有している。方向変換ローラ２７は、水平方向の平面内で帯状部材２１の搬送方向を変換する機構である。さらに、方向変換ローラ２７は、垂直方向の軸線を中心として回転可能に構成されている。一対のガイドローラ２４は、帯状部材２１の搬送方向において供給リール２２よりも下流に配置され、方向変換ローラ２７は、帯状部材２１の搬送方向において一対のガイドローラ２４よりも下流に配置されている。

脱脂処理部１３は、帯状部材２１の搬送方向で供給部１２よりも下流に設けられている。また、脱脂処理部１３は、装置本体１１上において、供給部１２よりも短辺１１ｄから離れた箇所に設けられている。脱脂処理部１３は、第１搬送機構としての第１駆動ローラ部２８、及び第２搬送機構としての第２駆動ローラ部２９を有している。第１駆動ローラ部２８と第２駆動ローラ部２９とは、短辺１１ｄに沿った方向で所定間隔をおいて配置されている。第１駆動ローラ部２８は、長辺１１ｂ側に設けられ、第２駆動ローラ部２９は長辺１１ｃ側に設けられている。第１駆動ローラ部２８は、図２に示すように、垂直な軸線Ａを中心として回転可能な回転軸３０と、回転軸３０に対して軸線Ａに沿った方向で異なる高さに取り付けられた３個の駆動ローラ３１，３２，３３と、回転軸３０を回転させる電動モータ３４とを有する。駆動ローラ３１，３２，３３は同軸に配置されており、かつ、一体回転する。駆動ローラ３２は駆動ローラ３１の下に配置され、駆動ローラ３３は、駆動ローラ３２の下に配置されている。

回転軸３０は、２つの軸受３５により回転可能に支持されており、２つの軸受３５はブラケット１１ａを介して装置本体１１に取り付けられている。第２駆動ローラ部２９は、垂直な軸線Ｂを中心として回転可能な回転軸３７と、回転軸３７に対して軸線Ｂに沿った方向で異なる高さに取り付けられた２個の駆動ローラ３８，３９と、回転軸３７を回転させる電動モータ４０とを有する。駆動ローラ３８，３９は同軸に配置されており、かつ、一体回転する。駆動ローラ３９は駆動ローラ３８の下に配置されている。回転軸３７は、２つの軸受４１により回転可能に支持されており、２つの軸受４１はブラケット１１ａを介して装置本体１１に取り付けられている。

このように、脱脂処理部１３に帯状部材２１を搬入する箇所、および脱脂処理部１３から帯状部材２１を搬出する箇所に配置される第１搬送機構としての第１駆動ローラ部２８は、上下方向に隣り合って配置される３個の駆動ローラ３１，３２，３３を有する。また、脱脂処理部１３の戻し側（反転側)に配置される第２搬送機構としての第２駆動ローラ部２９は、第１駆動ローラ部２８よりも１個少ない２個の駆動ローラ３８，３９を有する。そして、第１駆動ローラ部２８の最上段の駆動ローラ３１は搬入側となっており、戻し側の第２駆動ローラ部２９の下側の駆動ローラ３９の上下方向の高さ位置は、駆動ローラ３２と駆動ローラ３３との中間位置となっている。また、第２駆動ローラ部２９の上側の駆動ローラ３８の上下方向の高さ位置は、駆動ローラ３２と駆動ローラ３１との中間位置となっている。このように、２個の駆動ローラ３８，３９、及び３個の駆動ローラ３１，３２，３３は、全て異なる高さに配置されている。

そして、帯状部材２１は、第１駆動ローラ部２８及び第２駆動ローラ部２９に対して、図３に示す状態で駆動ローラ３１，３２，３３，３８，３９に巻き掛けられている。図３においては、便宜上、第１駆動ローラ部２８を構成する駆動ローラ３１，３２，３３同士の高さ方向の間隔を空け、第２駆動ローラ部２９を構成する駆動ローラ３８，３９同士の高さ方向の間隔を空けて示してある。そして、帯状部材２１は、第１駆動ローラ部２８の最下段の駆動ローラ３３に巻き掛けられて搬送方向が約９０度変換され、その帯状部材２１は駆動ローラ３９に巻き掛けられている。さらに、帯状部材２１は、駆動ローラ３９により搬送方向が約１８０度変換され、駆動ローラ３２に巻き掛けられている。また、帯状部材２１は、駆動ローラ３２に巻き掛けられて搬送方向が約１８０度変換され、駆動ローラ３８に巻き掛けられている。さらに、帯状部材２１は、駆動ローラ３８に巻き掛けられて搬送方向が約１８０度変換され、駆動ローラ３１に巻き掛けられている。さらにまた、帯状部材２１は、駆動ローラ３１により搬送方向が約９０度変換される。このように、帯状部材２１は、駆動ローラ３１，３２，３３，３８，３９に巻き掛けられて、第１駆動ローラ部２８と第２駆動ローラ部２９との間を２往復する。また、帯状部材２１は、駆動ローラ同士の間において、短辺１１ｄと平行な方向に沿って直線状に搬送される。

また、脱脂処理部１３は、２つの脱脂槽４２を有している。２つの脱脂槽４２は、短辺１１ｄに沿った方向で、第１駆動ローラ部２８と第２駆動ローラ部２９との間に配置されている。２つの脱脂槽４２は、短辺１１ｄと平行な方向に沿って長手形状に構成されており、２つの脱脂槽４２は、水平方向の平面内で、相互に平行に配置されている。２つの脱脂槽４２は、脱脂液が供給及び排出されるようになっている。脱脂液は、例えば苛性ソーダを主成分とするものが用いられる。

さらに、各脱脂槽４２の長手方向の両端には、図４のようにガイドシール部材４３，４４がそれぞれ取り付けられている。ガイドシール部材４３，４４は配置位置が異なり、ガイドシール部材４４はガイドシール部材４３よりも下に設けられている。また、ガイドシール部材４３には、帯状部材２１が通るスリット４３ａが設けられており、ガイドシール部材４４には、帯状部材２１が通るスリット４４ａが設けられている。ガイドシール部材４３，４４は、帯状部材２１が脱脂槽４２内へ出入りすることをガイドし、かつ、脱脂槽４２内の脱脂液が外部に漏れることを防止する要素である。

第１水洗い処理部１４は、帯状部材２１の搬送方向で脱脂処理部１３よりも下流に配置されている。また、第１水洗い処理部１４は、長辺１１ｂに沿った方向で短辺１１ｄに対して、脱脂処理部１３よりも離れた位置に設けられている。そして、第１水洗い処理部１４は２個の駆動ローラ部４５，４６を有している。２個の駆動ローラ部４５，４６は、短辺１１ｄに沿った方向に所定間隔をおいて配置されている。駆動ローラ部４５は長辺１１ｂ側に配置され、駆動ローラ部４６は長辺１１ｃ側に配置されている。

駆動ローラ部４５は、垂直な軸線を中心として回転可能な駆動ローラ４５ａと、駆動ローラ４５ａを回転させる電動モータ（図示せず)とを有している。また、駆動ローラ部４６は、垂直な軸線を中心として回転可能な駆動ローラ４６ａと、駆動ローラ４６ａを回転させる電動モータ（図示せず)とを有している。そして、駆動ローラ３１、駆動ローラ４５ａ、駆動ローラ４６ａは同じ高さに設けられている。そして、駆動ローラ３１により方向変換された帯状部材２１は、駆動ローラ４５ａに巻き掛けられて搬送方向が約９０度変換され、駆動ローラ４６ａに巻き掛けられている。

第１水洗い処理部１４は水洗い槽４７を有しており、水洗い槽４７は、短辺１１ｄに沿った方向で、駆動ローラ部４５と駆動ローラ部４６との間に設けられている。水洗い槽４７は、水平方向の平面内で短辺１１ｄに沿った長手形状を有している。また、水洗い槽４７には、純水が供給及び排出されるようになっている。さらに、図５のように、水洗い槽４７における長手方向の両端に、ガイドシール部材４３が１個づつ設けられている。帯状部材２１は、駆動ローラ４５ａから駆動ローラ４６ａに至る直線状の搬送経路で、ガイドシール部材４３のスリット４３ａを通り、水洗い槽４７内に出入りするように取り回されている。さらにまた、駆動ローラ４６ａで搬送方向が約９０度変換された帯状部材２１は、化学研磨処理部１５へ搬送されるように構成されている。

化学研磨処理部１５は、帯状部材２１の搬送方向で第１水洗い処理部１４よりも下流に配置されている。また、化学研磨処理部１５は、長辺１１ｂに沿った方向で、短辺１１ｄに対して第１水洗い処理部１４よりも離れた位置に設けられている。化学研磨処理部１５は、第３駆動ローラ部４８及び第４駆動ローラ部４９を有している。第３駆動ローラ部４８は、図６のように、脱脂処理部１３に設けた第１駆動ローラ部２８と同じ構成を有している。また、第４駆動ローラ部４９は、脱脂処理部１３に設けた第２駆動ローラ部２９と同じ構成を有している。

帯状部材２１は、第３駆動ローラ部４８の駆動ローラ、及び第４駆動ローラ部４９の駆動ローラに対して、図７のように巻き掛けられている。図７には、便宜上、駆動ローラ同士の間に高さ方向の隙間を空けて示してある。第１水洗い処理部１４の駆動ローラ４６ａにより搬送方向が変換された帯状部材２１は、第３駆動ローラ部４８のうち、最上段に配置された駆動ローラ３１に巻き掛けられて、搬送方向が約９０度変換されて、第４駆動ローラ部４９のうち、上側に位置する駆動ローラ３８に巻き掛けられている。以下、帯状部材２１は、駆動ローラ３２、駆動ローラ３９、駆動ローラ３３に交互に巻き掛けられて、第３駆動ローラ部４８と第４駆動ローラ部４９との間を２往復する。帯状部材２１は、第３駆動ローラ部４８の駆動ローラと、第４駆動ローラ部４９の駆動ローラとの間において、短辺１１ｄと平行に直線状に搬送される。

また、化学研磨処理部１５は、２つの化学研磨槽５０を有している。２つの化学研磨槽５０は、短辺１１ｄに沿った方向で第３駆動ローラ部４８と第４駆動ローラ部４９との間に配置されている。２つの化学研磨槽５０は、短辺１１ｄと平行な長手形状を有している。２つの化学研磨槽５０は、相互に平行に配置されている。さらに、２つの化学研磨槽５０には、例えば、硫酸及び酸化剤を主成分とする研磨液が収容されている。さらに、化学研磨槽５０は、図４のように長手方向の両端にガイドシール部材４３，４４がそれぞれ設けられている点は、脱脂槽４２と同じである。帯状部材２１は、第３駆動ローラ部４８の駆動ローラと第４駆動ローラ部４９の駆動ローラとの間を直線状に搬送されるときに、ガイドシール部材４３のスリット４３ａ及びガイドシール部材４４のスリット４４ａを通り、化学研磨槽５０内に出入りするように取り回されている。

第２水洗い処理部１６は、帯状部材２１の搬送方向で化学研磨処理部１５よりも下流に配置されている。第２水洗い処理部１６は、長辺１１ｂに沿った方向で、短辺１１ｄに対して化学研磨処理部１５よりも離れた位置に設けられている。第２水洗い処理部１６は駆動ローラ部５１，５２を有している。駆動ローラ部５１，５２は、短辺１１ｄに沿った方向に所定間隔をおいて配置されている。駆動ローラ部５１は長辺１１ｃ側に配置され、駆動ローラ部５２は長辺１１ｂ側に配置されている。駆動ローラ部５１は、垂直方向の軸線を中心として回転可能な駆動ローラ５１ａと、駆動ローラ５１ａを回転させる電動モータ（図示せず）とを有している。駆動ローラ部５２は、垂直方向の軸線を中心として回転可能な駆動ローラ５２ａと、駆動ローラ５２ａを回転させる電動モータ（図示せず）とを有している。そして、第３駆動ローラ部４８の駆動ローラ３３により方向変換された帯状部材２１は、駆動ローラ５１ａを経由して駆動ローラ５２ａに巻き掛けられている。第３駆動ローラ部４８の駆動ローラ３３、駆動ローラ５１ａ，５２ａは同じ高さに設けられている。

また、第２水洗い処理部１６は水洗い槽１６ａを有しており、水洗い槽１６ａは、短辺１１ｄに沿った方向で駆動ローラ部５１と駆動ローラ部５２との間に設けられている。水洗い槽１６ａは、図５のように水洗い槽４７と同様に構成されている。帯状部材２１は，駆動ローラ５１ａから駆動ローラ５２ａに巻き掛けられている。帯状部材２１は、駆動ローラ５１ａと駆動ローラ５２ａとの間で直線状に搬送される途中で、ガイドシール部材４３のスリット４３ａを通り水洗い槽１６ａに出入りするように取り回されている。

めっき処理部１７は、帯状部材２１の搬送方向で、第２水洗い処理部１６の下流に配置されている。めっき処理部１７は、長辺１１ｂに沿った方向で、短辺１１ｅに対して第２水洗い処理部１６よりも近い位置に配置されている。めっき処理部１７は第１処理部５３及び第２処理部５４を有する。第１処理部５３は、長辺１１ｂに沿った方向で、第２水洗い処理部１６と第２処理部５４との間に配置されている。第１処理部は、第５駆動ローラ部５５及び第６駆動ローラ部５６を有している。第５駆動ローラ部５５の構成は、図２のように第１駆動ローラ部２８の構成と同じである。また、第６駆動ローラ部５６の構成は、第２駆動ローラ部２９の構成と同じである。

帯状部材２１は、第５駆動ローラ部５５及び第６駆動ローラ部５６において、各駆動ローラに対して図３のように巻き掛けられている。駆動ローラ５２ａにより方向変換された帯状部材２１は、駆動ローラ３３により方向変換されて駆動ローラ３９に巻き掛けられ、さらに帯状部材２１は駆動ローラ３９により方向変換されて、駆動ローラ３２に巻き掛けられている。さらに、帯状部材２１は、駆動ローラ３２により方向変換されて駆動ローラ３８に巻き掛けられ、駆動ローラ３８で方向変換された帯状部材２１は、駆動ローラ３１に巻き掛けられている。そして、第５駆動ローラ部５５の最上段の駆動ローラ３１により方向変換された帯状部材２１は、第２処理部５４へ搬送される。なお、第５駆動ローラ部５５の駆動ローラ３１，３２，３３及び第６駆動ローラ部５６の駆動ローラ３８，３９は、電源（図示せず）のマイナス端子（陰極)に接続されている。

さらに、第１処理部５３は、２つのめっき槽５７を有している。２つのめっき槽５７は、短辺１１ｅに沿った方向で第５駆動ローラ部５５と第６駆動ローラ部５６との間に配置されている。２つのめっき槽５７は、短辺１１ｅと平行な長手形状を有している。２つのめっき槽５７は、相互に平行に配置されている。さらに、２つのめっき槽５７内にはめっき液が収容されており、かつ、アノードバスケット（図示せず）が設けられている。アノードバスケットは、電源のプラス端子（陽極）に接続されている。さらに、めっき槽５７は、図４のように長手方向の両端に、ガイドシール部材４３，４４がそれぞれ設けられている点は、脱脂槽４２と同じである。第５駆動ローラ部５５の駆動ローラと、第６駆動ローラ部５６の駆動ローラとの間を直線状に搬送される帯状部材２１は、ガイドシール部材４３のスリット４３ａ及びガイドシール部材４４のスリット４４ａを通り、２つのめっき槽５７に交互に出入りするようになっている。

一方、第２処理部５４は、第７駆動ローラ部５８及び第８駆動ローラ部５９を有している。第７駆動ローラ部５８は長辺１１ｂ側に配置され、第８駆動ローラ部５９は長辺１１ｃ側に配置されている。第７駆動ローラ部５８は、図２のように第１駆動ローラ部２８と同じ構成を有する。また、第８駆動ローラ部５９は、第２駆動ローラ部２９同じ構成を有する。第７駆動ローラ部５８の駆動ローラ及び第８駆動ローラ部５９の駆動ローラに対する帯状部材２１の巻き掛け状態は、図８のようになっている。図８には、便宜上、各駆動ローラ同士の間には高さ方向の隙間を空けて示してある。

第５駆動ローラ部５５の駆動ローラ３１から搬送された帯状部材２１は、第７駆動ローラ部５８における最上段の駆動ローラ３１により搬送方向が変換され、第８駆動ローラ部５９の駆動ローラ３８に巻き掛けられている。以下、帯状部材２１は、駆動ローラ３２、駆動ローラ３９、駆動ローラ３３に順次巻き掛けられて搬送方向が変換され、帯状部材２１は、湯洗い処理部１８へ搬送される。

また、第２処理部５４には２つのめっき槽６０が配置されている。２つのめっき槽６０は、短辺１１ｅに沿った方向で第７駆動ローラ部５８と第８駆動ローラ部５９との間に相互に平行に配置されている。２つのめっき槽６０は、図４のように２つのめっき槽５７と同じ構成を有している。２つのめっき槽６０は短辺１１ｅと平行な方向に沿って長尺形状に構成されている。そして、帯状部材２１は、第７駆動ローラ部５８の駆動ローラと、第８駆動ローラ部５９の駆動ローラとの間を直線状に搬送されるときに、ガイドシール部材４３のスリット４３ａ及びガイドシール部材４４のスリット４４ａを通り、２つのめっき槽６０に交互に出入りするように取り回されている。

湯洗い処理部１８は、長辺１１ｂに沿った方向で、短辺１１ｅとめっき処理部１７との間に配置されている。湯洗い処理部１８は、３個の駆動ローラ部６１，６２，６３を有している。駆動ローラ部６１，６３は、長辺１１ｂ側に並んで配置されている。駆動ローラ部６２は、長辺１１ｃ側に配置されている。

駆動ローラ部６１は、垂直な軸線を中心として回転可能な駆動ローラ６１ａと、駆動ローラ６１ａを回転させる電動モータ（図示せず）とを有している。駆動ローラ部６２は、垂直な軸線を中心として回転可能な駆動ローラ６２ａと、駆動ローラ６２ａを回転させる電動モータ（図示せず）とを有している。駆動ローラ部６３は、垂直な軸線を中心として回転可能な駆動ローラ６３ａと、駆動ローラ６３ａを回転させる電動モータ（図示せず）とを有している。駆動ローラ６１ａ，６２ａ，６３ａは、第７駆動ローラ部５８の駆動ローラ３３と同じ高さに設けられている。

そして、帯状部材２１は、第７駆動ローラ部５８の駆動ローラ３３を経由して、湯洗い処理部１８へ搬送される。すると、その帯状部材２１は、駆動ローラ６１ａにより搬送方向が約９０度変換されて、駆動ローラ６２ａに巻き掛けられている。帯状部材２１は、駆動ローラ６２ａにより搬送方向が約１８０度変換されて、駆動ローラ６３ａに巻き掛けられている。

湯洗い処理部１８は、２個の湯洗い槽６４を有している。各湯洗い槽６４は、駆動ローラから駆動ローラへ向けて帯状部材２１が搬送される経路に、長手方向に沿って直線状に設けられている。すなわち、２個の湯洗い槽６４は短辺１１ｅと平行に配置されている。２個の湯洗い槽６４における長手方向の両端には、図５のようにガイドシール部材４３がそれぞれ取り付けられている。そして、帯状部材２１は、駆動ローラ６１ａから駆動ローラ６２ａに向けて直線状に搬送される場合、駆動ローラ６２ａから駆動ローラ６３ａに向けて直線状に搬送される場合のいずれにおいても、スリット４３ａを通過して湯洗い槽６４に出入りするように取り回されている。なお、湯洗い処理部１８の駆動ローラ６３ａで方向変換された帯状部材２１は、乾燥処理部１９へ搬送される。

乾燥処理部１９は、長辺１１ｂに沿った方向で短辺１１ｅと湯洗い処理部１８との間に設けられている。乾燥処理部１９は、第９駆動ローラ部６５及び第１０駆動ローラ部６６を備えている。第９駆動ローラ部６５は、長辺１１ｂ側に配置され、第１０駆動ローラ部６６は長辺１１ｃ側に配置されている。つまり、第９駆動ローラ部６５及び第１０駆動ローラ部６６は、短辺１１ｅ方向に所定間隔をおいて配置されている。第９駆動ローラ部６５は、図２のように第１駆動ローラ部２８と同じ構成を有している。また、第１０駆動ローラ部６６は、第２駆動ローラ部２９と同じ構成を有している。

そして、駆動ローラ６３ａにより方向変換された帯状部材２１は、図３のように第９駆動ローラ部６５の駆動ローラ３３に巻き掛けられており、以下、第１０駆動ローラ部６６の駆動ローラと第９駆動ローラ部６５の駆動ローラとに交互に巻き掛けられている。すなわち、帯状部材２１は、駆動ローラ３３により方向変換されて駆動ローラ３９に巻き掛けられている。さらに、帯状部材２１は、駆動ローラ３９により方向変換されて、駆動ローラ３２に巻き掛けられている。さらに、帯状部材２１は、駆動ローラ３２により方向変換されて駆動ローラ３８に巻き掛けられている。駆動ローラ３８で方向変換された帯状部材２１は、駆動ローラ３１に巻き掛けられている。そして、帯状部材２１は、第９駆動ローラ部６５の最上段の駆動ローラ３１により方向変換されて、巻取り部２０へ搬送される。

また、乾燥処理部１９は２つの乾燥機６７を有している。２つの乾燥機６７は、短辺１１ｅに沿った方向で、第９駆動ローラ部６５と第１０駆動ローラ部６６との間に配置されている。２つの乾燥機６７は、共に短辺１１ｅと平行な長尺形状に構成されている。乾燥機６７には、送風機等によって空気に強制対流を生じさせるもの、または、ヒータの熱によって温められた温風を帯状部材２１に吹き付けるもの等が含まれる。

一方、巻取り部２０は短辺１１ｅに沿って設けられている。巻取り部２０は方向変換ローラ６９を有している。方向変換ローラ６９は、帯状部材２１の搬送方向を変換する機構である。さらに、方向変換ローラ６９は、垂直方向の軸線を中心として回転可能に構成されている。巻取り部２０は、一対のガイドローラ７０を有している。一対のガイドローラ７０は、水平方向の軸線を中心として回転可能であり、一対のガイドローラ７０は可動台７１により支持されている。可動台７１は、ガイドレール７２に沿って水平方向に移動可能に構成されている。

巻取り部２０は巻取りリール７３を有しており、巻取りリール７３は電動モータ７４により回転される構成となっている。巻取りリール７３の回転軸７５は、水平方向の軸線を中心として回転可能である。電動モータ７４のトルクを回転軸７５に伝達する経路には、減速機（図示せず）が設けられている。一対のガイドローラ７０は、帯状部材２１の搬送方向で方向変換ローラ６９よりも下流に配置され、巻取りリール７３は、帯状部材２１の搬送方向において一対のガイドローラ７０よりも下流に配置されている。つまり、一対のガイドローラ７０は、短辺１１ｅに沿った方向で方向変換ローラ６９と巻取りリール７３との間に設けられている。上記のように、めっき装置１０は、水平方向の平面内において、供給部１２、脱脂処理部１３、第１水洗い処理部１４、化学研磨処理部１５、第２水洗い処理部１６、めっき処理部１７、湯洗い処理部１８、乾燥処理部１９、巻取り部２０が相互に平行に配置されている。

図１に示すめっき装置１０により、帯状部材２１にめっき処理を施す工程を説明する。帯状部材２１は、搬送方向の先端が巻取りリール７３に巻かれた状態で各電動モータが所定方向に回転して長さ方向に搬送され、最終的に巻取りリール７３に巻かれている。すると、供給リール２２から繰り出された帯状部材２１は、一対のガイドローラ２４により、表裏面が略水平面に沿った状態のまま搬送される。一対のガイドローラ２４によってガイドされた帯状部材２１は、方向変換ローラ２７に巻き掛けられて案内される。一対のガイドローラ２４は、水平方向の軸線を中心として回転する一方、方向変換ローラ２７は、垂直方向の軸線を中心として回転する。このため、帯状部材２１は、一対のガイドローラ２４を離れてから、方向変換ローラ２７に接触するまでの間に、厚さ方向に約９０度捻られる。すなわち、帯状部材２１は、表裏面が略垂直方向に沿った状態で搬送される。これ以後、帯状部材２１は、巻取り部２０へ搬送されるまでの間、常時、表裏面が略垂直方向に沿った状態に保持されて搬送される。そして、帯状部材２１は方向変換ローラ２７により、搬送方向が約９０度変換されて、脱脂処理部１３へ搬送される。

脱脂処理部１３へ搬送された帯状部材２１は、図３のように第１駆動ローラ部２８のうち最下段の駆動ローラ３３に巻き掛けられている。帯状部材２１は、次いで駆動ローラ３９、駆動ローラ３２、駆動ローラ３８の順に巻き掛けられることで、帯状部材２１は搬送方向が変換される。すなわち、帯状部材２１は、第１駆動ローラ部２８と第２駆動ローラ部２９との間を２往復する。ここで、第１駆動ローラ部２８を構成する３個の駆動ローラ３１，３２，３３は、配置高さが異なる。また、第２駆動ローラ部２９を構成する２個の駆動ローラ３８，３９は、配置高さが異なる。このため、帯状部材２１は、第１駆動ローラ部２８と第２駆動ローラ部２９との間を、螺旋状に２往復する過程で部分的に接触することがない。そして、帯状部材２１は、第１駆動ローラ部２８と第２駆動ローラ部２９との間を直線状に搬送される途中で、脱脂槽４２を通過する。すなわち、帯状部材２１は、ガイドシール部材４３，４４のスリット４３ａ，４４ａを経由して２つの脱脂槽４２の内部に別々に出入りし、帯状部材２１に対する脱脂処理が行われる。帯状部材２１は脱脂処理が終了すると、第１駆動ローラ部２８の最上段の駆動ローラ３１により搬送方向が変換されて、第１水洗い処理部１４へ搬送される。

第１水洗い処理部１４へ搬送された帯状部材２１は、駆動ローラ４５ａに巻き掛けられて搬送方向が変換され、駆動ローラ４６ａに巻き掛けられている。帯状部材２１は、駆動ローラ４５ａを離れてから駆動ローラ４６ａに巻き掛かるまでの間、直線状に搬送される。このとき、帯状部材２１は、ガイドシール部材４３のスリット４３ａを経由して水洗い槽４７に入る。帯状部材２１は水洗いされた後、水洗い槽４７の外部に出る。帯状部材２１は、水洗い槽４７から出ると、駆動ローラ４６ａにより搬送方向が約９０度変換され、化学研磨処理部１５へ搬送される。

化学研磨処理部１５へ搬送された帯状部材２１は、図７のように第３駆動ローラ部４８の最上段の駆動ローラ３１に巻き掛けられて、搬送方向が約９０度変換される。帯状部材２１は、駆動ローラ３８、駆動ローラ３２、駆動ローラ３９、駆動ローラ３３に順次巻き掛けられることで、搬送方向及び高さが変換される。すなわち、帯状部材２１は第３駆動ローラ部４８と第４駆動ローラ部４９との間を２往復し、全体として螺旋状に搬送される。

そして、帯状部材２１は、第３駆動ローラ部４８と第４駆動ローラ部４９との間を直線状に搬送される途中で、２つの化学研磨槽５０を交互に２回づつ通過する。すなわち、帯状部材２１は、ガイドシール部材４３，４４のスリット４３ａ，４４ａを経由して化学研磨槽５０に出入りし、帯状部材２１の表裏面が研磨される。帯状部材２１は研磨処理が終了すると、第４駆動ローラ部４９の最下段の駆動ローラ３３により搬送方向が変換されて、第２水洗い処理部１６へ搬送される。

第２水洗い処理部１６へ搬送された帯状部材２１は、駆動ローラ５１ａから駆動ローラ５２ａへ直線状に搬送される途中で、水洗い槽１６ａ内を通ることで水洗いされる。帯状部材２１は、水洗い槽１６ａで水洗いされた後、駆動ローラ５２ａで搬送方向が変換されて、めっき処理部１７の第１処理部５３へ搬送される。

第１処理部５３へ搬送された帯状部材２１は、図３のように最下段の駆動ローラ３３に巻き掛けられて方向変換される。ついで、帯状部材２１は、駆動ローラ３９、駆動ローラ３２、駆動ローラ３８、駆動ローラ３１に交互に巻き掛けられることで、方向変換が繰り返される。つまり、帯状部材２１は、第５駆動ローラ部５５と第６駆動ローラ部５６との間を２往復する。また、帯状部材２１は、全体として螺旋状に搬送されながら徐々に上方へ移動する。そして、帯状部材２１は、駆動ローラ同士の間を直線状に搬送されるとき、２つのめっき槽５７を交互に通過する。

めっき槽５７内に設けられたアノードバスケットはプラス端子に接続され、各駆動ローラはマイナス端子に接続されているので、帯状部材２１がめっき槽５７を通過する際に、アノードバスケットの錫合金は、めっき液中にイオンとなって入り込む。めっき液中の金属イオンは、帯状部材２１の表面に金属原子として析出し、帯状部材２１の表裏面にめっき層が形成される。帯状部材２１に形成されるめっき層の厚さは、電源から供給される電力の電流値、帯状部材２１の搬送速度により決定される。帯状部材２１の搬送速度は、各電動モータの回転速度を制御することで調整できる。

第１処理部５３でめっき層が形成された帯状部材２１は、駆動ローラ３１を経由して第２処理部５４へ搬送され、図８のように第７駆動ローラ部５８の最上段の駆動ローラ３１へ巻掛けられる。そして、帯状部材２１は、第７駆動ローラ部５８と第８駆動ローラ部５９との間を２往復する。つまり、帯状部材２１は、駆動ローラ３１、駆動ローラ３８、駆動ローラ３２、駆動ローラ３９、駆動ローラ３３に交互に巻き掛けられることで、方向変換が繰り返される。

このようにして、帯状部材２１は、第５駆動ローラ部５５と第６駆動ローラ部５６との間を２往復する。また、帯状部材２１は、全体として螺旋状に搬送されながら徐々に下方へ移動する。第２処理部５４において、帯状部材２１が駆動ローラ同士の間を直線状に搬送される途中でめっき槽６０に出入りし、めっき槽５７と同様の原理で帯状部材２１の表裏面にめっき処理が施される。すなわち、帯状部材２１は、異なる高さを搬送される途中でめっき処理が複数回施される。

そして、めっき処理が行われた帯状部材２１は、第２処理部５４の最下段の駆動ローラ３３により方向変換され、湯洗い処理部１８へ搬送される。湯洗い処理部１８に搬送された帯状部材２１は、駆動ローラ６１ａから駆動ローラ６２ａへ直線状に搬送されるときに、湯洗い槽６４内で湯洗いされる。また、駆動ローラ６２ａにより搬送方向が変換された帯状部材２１は、駆動ローラ６２ａから駆動ローラ６３ａへ直線状に搬送されるときに、湯洗い槽６４内で再度湯洗いされる。

湯洗い処理部１８で湯洗いされた帯状部材２１は、駆動ローラ６３ａにより乾燥処理部１９へ搬送される。乾燥処理部１９に搬送された帯状部材２１は、第９駆動ローラ部６５の最下段の駆動ローラ３３に巻き掛けられる。帯状部材２１は、さらに駆動ローラ３９、駆動ローラ３２、駆動ローラ３８、駆動ローラ３１により順次折り返され、第９駆動ローラ部６５と、第１０駆動ローラ部６６との間を２往復する。このようにして、帯状部材２１は、乾燥処理部１９では全体として螺旋状に搬送される。また、帯状部材２１は、徐々に上方に向けて搬送される。そして、駆動ローラ同士の間で直線状に搬送される箇所で、乾燥機６７により乾燥される。その後、乾燥された帯状部材２１は、第９駆動ローラ部６５の最上段の駆動ローラ３１により方向変換されて、巻取り部２０へ搬送される。

巻取り部２０では、帯状部材２１が方向変換ローラ６９から一対のガイドローラ７０に至る経路で、帯状部材２１は厚さ方向に約９０度捻られて、表裏面が水平面に沿った状態に姿勢が戻される。一対のガイドローラ７０により搬送された帯状部材２１は、巻取りリール７３により巻き取られる。

このように、本実施形態のめっき装置１０においては、各機構及び各処理部が、水平方向の平面内で相互に平行に配置されている。このため、水平方向の平面内におけるめっき装置１０の専有面積が広くなることを抑制できる。また、めっき装置１０では、帯状部材２１が水平方向の平面内を全体として蛇行して搬送されるため、各処理部を長手方向に直線状に並べる場合に比べて、一方向における全長を短くすることができる。また、めっき装置１０は、脱脂処理部１３、化学研磨処理部１５、めっき処理部１７、乾燥処理部１９のそれぞれにおいて、複数の駆動ローラが異なる高さに設けられており、帯状部材２１は駆動ローラ同士の間を行き来することで、帯状部材２１が高さ方向に螺旋状に搬送される。したがって、水平方向の平面内において、単位面積当たりにおける帯状部材２１の搬送長さを長くすることができ、各種の処理効率を高くすること（向上すること)ができる。

例えば、比較例として、水平方向の平面内において、２個の駆動ローラ同士の間で帯状部材を反転させて搬送し、２個の駆動ローラ同士の間を１往復する間に処理槽を２回通過するめっき装置を想定する。処理槽の長さが１ｍであるとすれば、１往復する間に帯状部材に処理を施す工程が、見かけ上で２ｍ存在することになる。また、帯状部材に所定の処理を施すために、処理槽内を一定時間（例えば１０分）通過させる必要であるものとする。

これに対して、本実施形態では、水平方向の平面内における５個の駆動ローラの設置面積は、比較例と同じであるが、５個の駆動ローラ同士の間を２往復する。このため、各処理槽の単独の長さは比較例と同じ１ｍであるとしても、２往復する間に帯状部材に処理を施す工程が、見かけ上で４ｍ存在することになる。すなわち、本実施形態のめっき装置１０は、比較例のめっき装置に比べて処理長が２倍である。

また、本実施形態においては、各処理部における搬入側・搬出側の駆動ローラ部の駆動ローラ数を少なくとも３個とし、戻し側の駆動ローラ部の駆動ローラの数を少なくとも２個としている。つまり、めっき装置１０は、搬入側・搬出側の駆動ローラ部の駆動ローラの数を、戻し側の駆動ローラ部の駆動ローラの数よりも１つ多い数にしている。

ここで、各処理部における搬入側の駆動ローラ部は、前工程から当該処理部へ帯状部材２１を搬入する駆動ローラ部を意味する。また、各処理部における搬出側の駆動ローラ部は、当該処理部から、次工程へ向けて帯状部材２１を搬出する駆動ローラ部を意味する。本実施形態の脱脂処理部１３、化学研磨処理部１５、めっき処理部１７、乾燥処理部１９においては、搬入側の駆動ローラ部が、搬出側の駆動ローラ部を兼ねている。さらに、戻し側の駆動ローラ部は、搬入側の駆動ローラ部を経て当該処理部へ搬入された帯状部材２１を、搬出側の駆動ローラ部へ向けて折り返す役割を果たす。

したがって、搬入側の駆動ローラ部を経由させて各処理部へ搬入された帯状部材２１を処理してから次工程へ搬出するまでの間に、水平方向の平面内において各処理部内で帯状部材２１が複雑に取り回される（交差する）ことなく、順次連続的に帯状部材２１を円滑に搬送させながら処理することができる。すなわち、帯状部材２１は、各処理部内で往復されるときに、往路と復路とが相互に平行となり、往路と復路とが交差することがない。

また、各処理部にそれぞれ設けた処理槽の処理長は、比較例のめっき装置の処理長の２倍であるため、本実施形態における帯状部材の搬送速度を、比較例における帯状部材の搬送速度の２倍とすれば、同じ処理時間内において、本実施形態は比較例に比べて、２倍の処理長を確保することができる。したがって、めっき装置１０における帯状部材２１への処理効率を高くすることができる。また、帯状部材２１は、駆動ローラ同士の間で螺旋状に搬送されるときの一部分で直線状に搬送される箇所で、めっき処理が施される。このため、帯状部材２１の表裏面は搬送速度が同じとなる。特に、めっき処理部１７においては、帯状部材２１の表裏面が共に周辺の部材、駆動ローラ等に接触していない箇所で、めっき処理を施すことができる。したがって、帯状部材２１の表裏面に均一にめっき処理を施すことができ、製品品質が向上する。

さらに、めっき槽５７は、水平方向の平面内で、第５駆動ローラ部５５と第６駆動ローラ部５６との間の空間を利用して配置されている。また、めっき槽６０は、水平方向の平面内で、第７駆動ローラ部５８と第８駆動ローラ部５９との間の空間を利用して配置されている。したがって、水平方向の平面内において、めっき装置１０全体の専有面積の拡大を抑制できる。

ここで、本実施形態において説明した構成と、本発明の構成との対応関係を説明すると、脱脂処理部１３、第１水洗い処理部１４、化学研磨処理部１５、第２水洗い処理部１６が、本発明の「前処理部」に相当する。また、湯洗い処理部１８、乾燥処理部１９が、本発明の「後処理部」に相当する。さらに、第１駆動ローラ部２８、第２駆動ローラ部２９、第５駆動ローラ部５５、第６駆動ローラ部５６、第７駆動ローラ部５８、第８駆動ローラ部５９が、本発明の搬送機構に相当する。また、第１駆動ローラ部２８、第５駆動ローラ部５５、第７駆動ローラ部５８が、本発明の第１搬送機構に相当し、第２駆動ローラ部２９、第６駆動ローラ部５６、第８駆動ローラ部５９が、本発明の第２搬送機構に相当する。

本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることは言うまでもない。例えば、各処理部に設ける駆動ローラの数は５個に限定されず、帯状部材が２往復を超える往復回数となるように設定することもできる。各処理工程には、駆動ローラを７個設けることができる。すると、帯状部材は、各処理工程で３往復することができ、見かけ上の処理長は比較例の３倍となり、帯状部材の搬送速度を３倍にすることができる。また、供給リール及び巻取りリールの回転軸の軸線、一対のガイドローラの軸線を、垂直にすることも可能である。さらに、各処理部の搬入側の駆動ローラ部で、最上段の駆動ローラまたは最下段のローラのいずれに巻き掛けるかは任意に変更可能である。さらに、脱脂槽４２、化学研磨槽５０、めっき槽５７，６０においては、異なる高さにガイドシール部材４３，４４が設けられており、帯状部材２１が各処理槽を２回づつ通るように構成されているが、各処理槽を上下２段で別個に設けてもよい。

さらに、複数の処理プロセスを行うために、装置本体１１上に配置する処理部の配置順序、同じ処理部における処理の回数等は、図１の例には限定されることなく、適宜変更される。例えば、めっき処理を施す帯状部材２１の材料、めっきの種類や機能、用途等によって同じ処理部における処理の回数は変わる。また、本発明のめっき処理部は、単一種類のめっきを施すことに限らず、下地として銅めっきやニッケルめっきを施し、その上に銀めっきや金めっきを施す構成も含む。すなわち、同じ処理部において、複数種類の処理を施すことも含む。より具体的に説明すると、本発明には、ステンレス製の帯状部材の表面にニッケルめっき（下地)を施し、その上に銀めっきを施す場合に、各処理部を、例えば、脱脂処理部（電解脱脂)、水洗い処理部、酸活性、水洗い処理部、めっき処理部（ニッケルストライクめっき)、水洗い処理部、めっき処理部（ニッケルめっき）、水洗い処理部、めっき処理部（銀ストライクめっき）、めっき処理部（銀めっき）、水洗い処理部、変色防止、湯洗い処理部、乾燥処理部の順序で配置することも含まれる。

２１ 帯状部材
１０ めっき装置
１３ 脱脂処理部
１４ 第１水洗い処理部
１５ 化学研磨処理部
１６ 第２水洗い処理部
１７ めっき処理部
１８ 湯洗い処理部
１９ 乾燥処理部
５５ 第５駆動ローラ部
５６ 第６駆動ローラ部
５７ めっき槽

Claims (3)

1. 帯状部材を長手方向に搬送し、めっき処理部で前記帯状部材にめっき処理を施すめっき装置であって、
   前記帯状部材にめっき処理を施す前に、前記帯状部材に予め定められた処理を施す前処理部と、
   前記帯状部材にめっき処理を施した後に、前記帯状部材に予め定められた処理を施す後処理部と、
   前記めっき処理部に間隔をおいて設けられ、かつ、前記帯状部材の表裏面が垂直方向に沿った方向となる姿勢で、前記帯状部材を高さ方向に螺旋状に搬送する搬送機構と、
   前記めっき処理部に設けられ、かつ、前記帯状部材が螺旋状に搬送されるときの一部分で直線状に搬送される箇所で、かつ、異なる高さで前記帯状部材にめっき処理を複数回施すめっき槽とを有することを特徴とするめっき装置。
2. 請求項１記載のめっき装置において、
   前記搬送機構は、垂直方向の軸線を中心として回転し、かつ、高さが異なる複数の駆動ローラを同軸に配置した第１搬送機構と、垂直方向の軸線を中心として回転し、かつ、高さが異なる複数の駆動ローラを同軸に配置した第２搬送機構とを含み、
   前記帯状部材は、前記第１搬送機構の前記駆動ローラと前記第２搬送機構の前記駆動ローラとに交互に巻き掛けられることにより、螺旋状に搬送されることを特徴とするめっき装置。
3. 請求項２記載のめっき装置において、前記帯状部材は、前記第１搬送機構の前記駆動ローラと前記第２搬送機構の前記駆動ローラとの間に直線状に搬送される箇所が形成され、前記めっき槽は、前記第１搬送機構と前記第２搬送機構との間に設けられていることを特徴とするめっき装置。

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