JP2014126643A - 顕微鏡、顕微鏡の制御プログラム、方法および超音波電動ステージ - Google Patents

Abstract

【課題】手動で、超音波電動型ステージを任意の方向に大きな範囲で動かすことが可能な顕微鏡を提供する。
【解決手段】顕微鏡は、本体と、該本体に設置される超音波電動ステージを有し、前記超音波電動ステージは、前記本体に固定される基部と、前記基部に対して電動または手動で移動可能に取り付けられた移動部と、前記基部に取り付けられ、印加信号に応じて振動する振動子を有する超音波モータと、前記移動部の移動方向と平行な方向の振動を励起する第１の信号と、前記移動部の移動方向と直交する方向の振動を励起する第２の信号とを前記超音波モータに印加する駆動手段と、前記移動部を手動で移動可能とするとき、前記第１の信号を停止し、前記第２の信号のみを前記超音波モータに印加するように前記駆動手段を制御する制御手段とを有する。
【選択図】図２

Description

本発明は、顕微鏡、顕微鏡の制御プログラム、方法および超音波電動ステージに関する。

従来、半導体や生体試料など微細構造の観察には、顕微鏡がよく利用されている。顕微鏡でこれらの標本を観察する場合には、標本をステージ上に載置する。このとき、観察対象の標本を顕微鏡観察下に位置合わせするために、平面内で直交する２つの方向に移動可能なステージ（ＸＹステージ）が利用される。

ＸＹステージには、主に手動型と電動型があり、電動型ステージのアクチュエータとしては、一般的に電磁型モータが利用されている。また、近年は、電動型ステージのアクチュエータとして、高精度な位置決めが行える超音波モータを用いることも提案されている（例えば、特許文献１参照）。

特許文献１は、電動型ステージに採用される超音波モータの一例として、直方体形状のリニア駆動型超音波アクチュエータを開示している。特許文献１に記載のリニア駆動型超音波アクチュエータは、アクチュエータの長辺方向（ステージの移動方向）に平行に配列した一対の振動子を有する。当該一対の振動子は、バネ等によりステージの側面に設けられたセラミックス等からなる摺動部材に押し付けられている。また、リニア駆動型超音波アクチュエータは、例えば、内部に４つの屈曲振動用電極と１つの縦振動用電極を有する積層型圧電体で構成されており、屈曲振動用電極と縦振動用電極とで位相が９０°ずれた正弦波信号を印加することで駆動される。なお、屈曲振動用電極付近の圧電体は、縦振動用電極を中心に、アクチュエータの長辺方向の左右で分極方向が逆に設定されており、屈曲振動用電極に駆動信号が印加されると、左右の圧電体はそれぞれ逆方向に、長辺と直交する方向に伸縮する。これにより、一対の振動子の一方がステージから遠ざかる方向に動くと、他方はステージに押し付けられる方向に動く。縦振動用電極に駆動信号が印加されると、縦振動用電極付近の圧電体はアクチュエータの長辺方向に伸縮する。屈曲振動と縦振動が合成され、一対の振動子の各々は、上面から見た場合に楕円軌道を描いて、交互に摺動部材と接近・離反を繰り返すように動き、ステージを所定方向に移動させる。

電動型ステージの非駆動時（電圧非印加時）には、一対の振動子がステージの側面に押し付けられているため、一対の振動子とステージとの摩擦力により、ステージは静止しており、手動で動かすには強い力が必要である。ステージの移動指示が入力されると、駆動信号が印加され、屈曲振動用電極により励起される屈曲振動が、一対の振動子をそれぞれ逆方向に振動させてステージと振動子との摩擦力を減少させ、縦振動用電極により励起されるアクチュエータの長辺方向に伸縮する縦振動が、ステージにアクチュエータの長辺方向の力を与えて、該ステージをアクチュエータの長辺方向に移動させる。

特開２０１０−６０６９５号公報

上述の電動型ステージでは、ステージの停止時は、一対の振動子が双方ともステージの側面に押し付けられており、ステージを手動で任意の方向に大きく動かすことは、一対の振動子との間の摩擦力によって非常に困難である。また、ステージの移動指示により駆動信号を印加すると、移動指示のあった方向に所定速度で移動する制御が行われ、ユーザが手動で自在にステージを移動させることは困難である。したがって、ステージ上に戴置された標本を交換するときなど、大きな範囲でステージを移動させたい場合で、微細な位置決めが不必要な場合でも、電動モードで動かす必要があり、時間がかかってしまう。

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、超音波電動型ステージを手動により任意の方向へ大きな範囲で動かすことが可能な顕微鏡、顕微鏡の制御プログラム、方法および超音波電動ステージを提供することを目的とする。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明にかかる顕微鏡は、本体と、該本体に設置される超音波電動ステージを備えた顕微鏡であって、前記超音波電動ステージは、前記本体に固定される基部と、前記基部に対して電動または手動で移動可能に取り付けられた移動部と、前記基部に取り付けられ、印加信号に応じて振動する振動子を有する超音波モータと、前記移動部の移動方向と平行な方向の振動を励起する第１の信号と、前記移動部の移動方向と直交する方向の振動を励起する第２の信号とを前記超音波モータに印加する駆動手段と、前記移動部を手動で移動可能とするとき、前記第１の信号を停止し、前記第２の信号のみを前記超音波モータに印加するように前記駆動手段を制御する制御手段とを有することを特徴とする。

本発明に係る顕微鏡は、上記発明において、前記超音波電動ステージが、さらに、前記移動部の位置情報を検出する検出手段を備えることを特徴とする。

本発明に係る顕微鏡は、上記発明において、前記制御手段が、前記検出手段が検出した位置情報に基づき、前記駆動手段が前記超音波モータに印加する前記第２の信号の特性を制御することを特徴とする。

本発明に係る顕微鏡は、上記発明において、前記制御手段が、前記検出手段が検出した位置情報に基づき、前記移動部の移動速度を算出し、該算出した移動速度に基づき、前記駆動手段が前記超音波モータに印加する前記第２の信号の特性を制御することを特徴とする。

本発明に係る顕微鏡は、上記発明において、前記制御手段が、前記検出手段が検出した位置情報に基づき、前記移動部の移動速度を算出し、前記超音波電動ステージが、さらに、前記制御手段が算出した移動速度が所定速度を超過した場合に、警告情報を提示する警告情報提示手段を有することを特徴とする。

本発明に係る顕微鏡の制御プログラムは、基部と、前記基部に対して電動または手動で移動可能に取り付けられた移動部と、前記基部に取り付けられ、印加信号に応じて振動する振動子を有する超音波モータとを有する超音波電動ステージを備えた顕微鏡の制御プログラムであって、前記移動部を電動移動させる指示又は手動移動を可能とする指示の入力を受け付ける入力手順と、前記入力手順において、前記移動部を手動移動を可能とする指示が入力された場合に、前記移動部の移動方向と平行な方向の振動を励起する第１の信号を停止し、前記移動部の移動方向と直交する方向の振動を励起する第２の信号のみを前記超音波モータに印加する駆動手順とを前記顕微鏡に実行させることを特徴とする。

本発明に係る顕微鏡の制御方法は、基部と、前記基部に対して電動または手動で移動可能に取り付けられた移動部と、前記基部に取り付けられ、印加信号に応じて振動する振動子を有する超音波モータとを有する超音波電動ステージを備えた顕微鏡の制御方法であって、前記移動部を電動移動させる指示又は手動移動を可能とする指示の入力を受け付ける入力工程と、前記入力手順において、前記移動部を手動移動を可能とする指示が入力された場合に、前記移動部の移動方向と平行な方向の振動を励起する第１の信号を停止し、前記移動部の移動方向と直交する方向の振動を励起する第２の信号のみを前記超音波モータに印加する駆動工程とを有することを特徴とする。

本発明に係る超音波電動ステージは、基部と、前記基部に対して電動または手動で移動可能に取り付けられた移動部と、前記基部に取り付けられ、印加信号に応じて振動する振動子を有する超音波モータと、前記移動部の移動方向と平行な方向の振動を励起する第１の信号と、前記移動部の移動方向と直交する方向の振動を励起する第２の信号とを前記超音波モータに印加する駆動手段と、前記移動部を手動で移動可能とするとき、前記第１の信号を停止し、前記第２の信号のみを前記超音波モータに印加するように前記駆動手段を制御する制御手段とを有する。

本発明によれば、超音波電動型ステージを手動により任意の方向へ大きな範囲で動かすことが可能な顕微鏡、顕微鏡の制御プログラム、方法および超音波電動ステージを提供することができる。

図１は、本発明の実施の形態１に係る倒立顕微鏡の全体構成および内部構成を模式的に示す図である。 図２は、実施の形態１による電動ステージの全体構成を示す図である。 図３Ａは、実施の形態１による超音波アクチュエータの概略平面図である。 図３Ｂは、図３Ａの直線ＡＢ間の概略断面図である。 図４は、実施の形態１による超音波モータの構成を表す概念図である。 図５は、実施の形態１による電動移動モードにおいて、駆動部から超音波モータに印加される駆動信号の一例を表す図である。 図６は、実施の形態１による超音波モータの屈曲振動を説明するための概略平面図である。 図７は、実施の形態１による超音波モータの縦振動を説明するための概略平面図である。 図８は、実施の形態１による超音波モータの手動移動モードを説明するための概念図である。 図９は、実施の形態１による手動移動モードにおいて、駆動部から超音波モータに印加される駆動信号の一例を表す図である。 図１０は、図２に示す制御部による電動ステージの制御処理を表すフローチャートである。 図１１は、実施の形態２による電動ステージの全体構成を示す図である。 図１２は、図１１に示す制御部による電動ステージの制御処理を表すフローチャートである。 図１３は、実施の形態３による電動ステージの制御処理を表すフローチャートである。 図１４は、実施の形態３による駆動信号の一例を表す図である。 図１５は、実施の形態３による超音波モータの屈曲振動を説明するための概略平面図である。 図１６は、実施の形態４による電動ステージの制御処理を表すフローチャートである。 図１７は、本発明の実施の形態による電動ステージの他の例を示す図である。

以下の説明では、本発明を実施するための形態（以下、「実施の形態」という）として、リニア駆動型超音波アクチュエータ（超音波モータ）を用いた倒立型顕微鏡について説明する。また、この実施の形態により、この発明が限定されるものではない。さらに、図面の記載において、同一部分には同一の符号を付している。さらにまた、図面は、模式的なものであり、各部材の厚みと幅との関係、各部材の比率等は、現実と異なることに留意する必要がある。また、図面の相互間においても、互いの寸法や比率が異なる部分が含まれている。

（実施の形態１）
図１は、本発明の実施の形態１に係る倒立顕微鏡の全体構成および内部構成を模式的に示す図である。同図に示す倒立顕微鏡２０１は、標本Ｓｐを載置する電動ステージ１００と、電動ステージ１００を支持する本体部３３と、本体部３３の上方に位置し、電動ステージ１００に載置された標本Ｓｐに対して透過照明を当てる透過照明部３４と、電動ステージ１００を制御する制御装置１５０ａと、を備える。

本体部３３には、電動ステージ１００の下方に近接して対物レンズ３６が取り付けられる。また、本体部３３の内部には、対物レンズ３６を通過した光を反射する反射ミラー３７と、反射ミラー３７が反射した光を結像する結像光学系３８とが設けられている。結像光学系３８の光路上には、結像光学系３８が結像した光を集光する接眼レンズ３９が本体部３３の鏡筒３１に取り付けられる。

透過照明部３４は、透過照明支柱４１の上端から透過照明支柱４１が延びる方向と直交する方向に延びるアーム４２と、透過照明支柱４１の上端付近でアーム４２が延びる側と反対側に設けられる光源４３と、透過照明支柱４１の上端付近に取り付けられて光源４３を収容するランプハウス４４と、電動ステージ１００の上方に位置し、光源４３から出射された照明光を集光して標本Ｓｐに結像させるコンデンサレンズ４５と、透過照明支柱４１の略中央部に取り付けられてコンデンサレンズ４５を保持するコンデンサユニット４６と、を有する。また、アーム４２の内部には、光源４３から出射された光を集光するコレクタレンズ４７と、コレクタレンズ４７を通過した光の光量を調節可能な視野絞り４８と、視野絞り４８を通過した光を反射してコンデンサレンズ４５の光軸Ｎ１の方向（入射方向と直交する方向）へ折り曲げる反射ミラー４９とが設けられている。

図２は、本発明の実施の形態１による電動ステージ１００の全体構成を示す図である。図中、Ｘ方向（第１の方向）は電動ステージ１００の上面に平行な面内の任意の方向であり、Ｙ方向（第２の方向）は電動ステージ１００の上面に平行な面内でＸ方向（第１の方向）と直交する方向である。本発明の実施の形態１は、電動により電動ステージ１００をＸＹ方向の任意の位置に移動もしくは任意の位置で静止させるための電動移動モードと、手動により電動ステージ１００をＸＹ方向の任意の位置に移動するための手動移動モードとを備える。

電動ステージ１００は、例えば、第１部材（基部）１、第２部材（Ｘ方向移動部）３ｘ及び第３部材（Ｙ方向移動部）３ｙからなる移動部（ステージ）３、Ｘ方向移動部３ｘ及びＹ方向移動部３ｙの移動をそれぞれガイドするガイドレール２ｘ及び２ｙ、超音波アクチュエータ１０（１０ｘ及び１０ｙ）、エンコーダ（変位センサ）１８（１８ｘ及び１８ｙ）、及び制御装置１５０ａを含んで構成される。なお、基部１、Ｘ方向移動部３ｘおよびＹ方向移動部３ｙには、光軸Ｎ１（図１）に応じた開口３０が形成される。なお、本明細書において、移動部３と表記するときは第２部材（Ｘ方向移動部）３ｘ及び第３部材（Ｙ方向移動部）３ｙのいずれか一方もしくは双方を指し示す。

基部１は、図１に示す顕微鏡２０１に固定されており、その上面に、例えば、ボール循環式のガイドレール２ｘがＸ方向に沿って取り付けられている。また、基部１上には、Ｘ方向移動部３ｘを移動するための超音波アクチュエータ１０ｘ、及びＸ方向移動部３ｘの変位量（基部１とＸ方向移動部３ｘとの相対的位置関係）を検出するためのエンコーダ１８ｘが固定される。

Ｘ方向移動部３ｘは、ガイドレール２ｘに沿ってＸ方向（第１の方向）に往復移動可能に基部１上に取り付けられる。Ｘ方向移動部３ｘのＸ方向に平行な側面には、例えば、セラミックスなどの硬い材料からなる摺動部材５ｘが設けられる。また、Ｘ方向移動部３ｘのＸ方向に平行な側面には、スケール１７ｘが設けられる。なお、図２では、摺動部材５ｘとスケール１７ｘは同一側面上に設けられているが、一方を反対側の側面に設けてもよい。

基部１上のエンコーダ１８ｘは、スケール１７ｘに設けられた目盛り等のパターンを検出することにより、Ｘ方向移動部３ｘの変位量を検出して、Ｘ方向移動部３ｘの基部１に対する相対的位置を表す座標位置情報を制御装置１５０ａ内の検出部２１に供給する。また、超音波アクチュエータ１０ｘは、摺動部材５ｘに接触、押圧するようにして基部１に固定されており、制御装置１５０ａ内の駆動部１４から供給される駆動信号（屈曲振動信号、縦振動信号）により駆動され、Ｘ方向移動部３ｘを基部１に対して相対的に移動させる。

また、Ｘ方向移動部３ｘの上面には、例えば、ボール循環式のガイドレール２ｙがＹ方向に沿って取り付けられている。さらに、Ｘ方向移動部３ｘ上には、Ｙ方向移動部３ｙを移動させるための超音波アクチュエータ１０ｙ、及びＹ方向移動部３ｙの変位量（Ｘ方向移動部３ｘとＹ方向移動部３ｙとの相対的位置関係）を検出するためのエンコーダ１８ｙが固定される。

Ｙ方向移動部３ｙは、ガイドレール２ｙに沿ってＹ方向（第２の方向）に往復移動可能にＸ方向移動部３ｘ上に取り付けられる。Ｙ方向移動部３ｙのＹ方向に平行な側面には、例えば、セラミックスなどの硬い材料からなる摺動部材５ｙが設けられる。また、Ｙ方向移動部３ｙのＹ方向に平行な側面には、スケール１７ｙが設けられる。なお、図２では、摺動部材５ｙとスケール１７ｙは同一側面上に設けられているが、一方を反対側の側面に設けてもよい。

Ｘ方向移動部３ｘ上に設けられたエンコーダ１８ｙは、スケール１７ｙのパターンを検出することにより、Ｙ方向移動部３ｙの変位量を検出して、Ｙ方向移動部３ｙのＸ方向移動部３ｘに対する相対的位置を表す位置情報を制御装置１５０ａ内の検出部２１に供給する。また、超音波アクチュエータ１０ｙは、摺動部材５ｙに接触、押圧するようにしてＸ方向移動部３ｘに固定されており、制御装置１５０ａ内の駆動部１４から供給される駆動信号（屈曲振動信号、縦振動信号）により駆動され、Ｙ方向移動部３ｙをＸ方向移動部３ｘに対して相対的に移動させる。

以上のように、Ｘ方向移動部３ｘは基部１に対して第１の方向（Ｘ方向）に、Ｙ方向移動部３ｙはＸ方向移動部３ｘに対して第２の方向（Ｙ方向）に往復移動可能に取り付けられている。したがって、Ｙ方向移動部３ｙは、基部１に対して、ＸＹ平面で任意の位置に移動することができる。

制御装置１５０ａは、例えば、制御部１３、駆動部１４、手動移動指示部１５、電動移動指示部１６、検出部２１を含んで構成され、電動ステージ１００の駆動制御を行う。電動移動指示部１６は、電動ステージ１００の移動開始及び停止、移動方向を入力する入力手段であり、ユーザは電動移動指示部１６を操作して、電動ステージ１００を任意の位置に電動移動させる。なお、移動方向に加えて移動速度等を指示できるようにしてもよい。電動移動指示部１６は、例えば、方向指示スイッチ、ジョイスティック等で構成される。電動移動指示部１６は、少なくとも、移動部３の移動方向を指示できるものであれば、その形態はどのようなものであってもよい。例えば、タッチパネルや表示画面上に表示されるソフトウェアスイッチ等であってもよい。また、複数の移動指示をシーケンスデータとして予め記録しておき、当該記録したシーケンスデータを再生することにより、自動で移動指示を行うようにしてもよい。また、本実施の形態では、移動の終了は、移動指示の入力中断により判断されるが、移動の終了を指示するスイッチ等を別に設けてもよい。

制御部１３は、電動によりＸＹ方向に移動可能な電動移動モードにおいて、電動移動指示部１６から移動指示が入力されると、駆動部１４に対して、当該移動指示に対応する駆動信号を出力するように制御する。例えば、電動ステージ１００を所定方向に移動させる場合には、超音波アクチュエータ１０（１０ｘ及び１０ｙ）に対して、駆動信号（屈曲振動信号、縦振動信号）を供給するように駆動部１４を制御する。電動ステージ１００を静止させる場合には、駆動信号（屈曲振動信号、縦振動信号）の供給を停止するように駆動部１４を制御する。なお、本実施の形態において、電動移動モードへの切り替えは、電動移動指示部１６の操作を検出することにより自動的に行われるが、電動移動モードへの切り替えスイッチを別途設けるようにしてもよい。

手動移動指示部１５は、電動ステージ１００を手動で移動させることが可能な手動移動モードに遷移させるために操作する入力手段である。手動移動指示部１５により、手動移動モードへの切り替えが指示されると、制御部１３は、超音波アクチュエータ１０（１０ｘ及び１０ｙ）に屈曲振動信号のみを供給するように、駆動部１４を制御する。手動移動指示部１５は、例えば、切り替えスイッチ、ボタン等で構成される。手動移動指示部１５は、少なくとも、手動モードへの遷移及び手動モードからの復帰を指示することができるものであれば、その形態はどのようなものであってもよい。例えば、タッチパネルや表示画面上に表示されるソフトウェアスイッチ等であってもよい。

検出部２１は、エンコーダ１８（１８ｘ及び１８ｙ）からの位置情報を読み取り、基部１とＸ方向移動部３ｘとの相対位置関係、Ｘ方向移動部３ｘとＹ方向移動部３ｙとの相対位置関係をそれぞれ検出し、Ｘ方向移動部３ｘとＹ方向移動部３ｙのそれぞれの位置座標を検出する。検出した位置座標の情報は、制御部１３に送られる。なお、検出部２１は、Ｘ方向移動部３ｘ及びＹ方向移動部３ｙの移動速度、加速度等を検出することもできる。また、Ｘ方向移動部３ｘ及びＹ方向移動部３ｙに加えられる圧力を検出する圧力センサを備えていてもよい。

図３Ａは、超音波アクチュエータ１０の概略平面図であり、図３Ｂは、図３ＡのＡ−Ｂ線の概略部分断面図である。なお、移動部３ｘと移動部３ｙ、摺動部材５ｘと摺動部材５ｙ、超音波アクチュエータ１０ｘと超音波アクチュエータ１０ｙはそれぞれ同様の構成なので、ここでは移動部３、摺動部材５、超音波アクチュエータ１０として説明する。

超音波アクチュエータ１０は、図２の基部１（又は移動部３ｘ）に取り付けられ、超音波モータ１０１と保持機構１０２を含んで構成される。超音波モータ１０１には、移動部３に対向する側面上に振動子１０１ａ及び１０１ｂが設けられる。振動子１０１ａ及び１０１ｂは、移動部３の側面に設けられる摺動部材５に接触、押圧されている。振動子１０１ａ及び１０１ｂは、例えば強化繊維を含む摩擦係数の比較的小さな樹脂を母材とした材料で形成される。

保持機構１０２は、固定用ビス穴１９ａ、１９ｂを通してビスにより、基部１（又はＸ方向移動部３ｘ）に固定され、超音波モータ１０１を基部１（又はＸ方向移動部３ｘ）に対して保持する部材である。保持機構１０２は、例えば、アルミニウム等の金属で形成され、切り欠き穴部２２、薄板ばね部１０４、コイルばね１０３を有する。薄板ばね部１０４の中央には、厚肉部１０４ａが形成され、厚肉部１０４ａは、超音波モータ１０１に接着される。

また、保持機構１０２の中央にはネジ穴が形成され、図３Ｂに示すように、ネジ穴の中にコイルばね１０３が挿入される。コイルばね１０３を挿入した状態で、ネジ２０をネジ穴にねじ込むことによって、コイルばね１０３が、ねじ込み量に応じた押圧力で、厚肉部１０４ａを超音波モータ１０１に押圧する。また、コイルばね１０３の内側にはダンピング材２４が挿入される。ダンピング材２４は、例えば、ゴムで形成され、振動子１０１ａ及び１０１ｂを振動させる際に、バネ１０３の共振により発生する音を抑える役割をする。

図４は、本発明の実施の形態１による超音波モータ１０１の構成を表す概念図である。本発明の実施の形態１による超音波モータ１０１は、直方体形状の積層型圧電体で構成され、内部に４つの屈曲振動用電極１０５ａ〜１０５ｄと１つの縦振動用電極１０５ｅを有する。超音波モータ１０１の摺動部材５に対向する側面には、振動子１０１ａ及び１０１ｂが設けられており、振動子１０１ａ及び１０１ｂは、摺動部材５に接触している。

図４に示すように、４つの屈曲振動用電極１０５ａ〜１０５ｄは、縦振動用電極１０５ｅを挟んで、超音波モータ１０１の長辺方向（移動部３の移動方向）に沿って２つずつ２列に配置される。屈曲振動用電極１０５ａ〜１０５ｄには、駆動部１４から屈曲振動信号が印加される。縦振動用電極１０５ｅには、駆動部１４から縦振動信号が印加される。

図４で縦振動用電極１０５ｅの左側に配置される屈曲振動用電極１０５ａ（摺動部材５から遠い電極）及び１０５ｃ（摺動部材５に近い電極）の電極付近の圧電体と、縦振動用電極１０５ｅの右側に配置される屈曲振動用電極１０５ｂ（摺動部材５から遠い電極）及び１０５ｄ（摺動部材５に近い電極）の電極付近の圧電体とでは分極方向が逆に設定される。縦振動用電極１０５ｅの左側に配置される屈曲振動用電極１０５ａ及び１０５ｃにそれぞれプラス電圧及びマイナス電圧が印加されるとき、縦振動用電極１０５ｅの右側に配置される屈曲振動用電極１０５ｂ及び１０５ｄには、それぞれマイナス電圧及びプラス電圧が印加されるように構成される。

図５は、本発明の実施の形態１による電動移動モードにおいて、駆動部１４から超音波モータ１０１に印加される駆動信号の一例を表す図である。縦振動信号（第１の信号）及び屈曲振動信号（第２の信号）は、例えば、図５に示すように、高周波の正弦波信号であり、縦振動信号と屈曲振動信号は、位相が９０°異なる。電動移動モードでは、これら縦振動信号と屈曲振動信号の双方が超音波モータ１０１に印加される。

図６は、本発明の実施の形態１による超音波モータ１０１の屈曲振動を説明するための概略平面図である。図７は、本発明の実施の形態１による超音波モータ１０１の縦振動を説明するための概略平面図である。

屈曲振動用電極１０５ａ〜１０５ｄ及び縦振動用電極１０５ｅにプラス電圧が印加される間、「＋」符号の電極部分（電極１０５ａ、１０５ｄ、１０５ｅ）の圧電体は膨張するように変形し、「−」符号の電極部分（電極１０５ｂ、１０５ｃ）の圧電体は縮む様に変形する。一方、屈曲振動用電極１０５ａ〜１０５ｄ及び縦振動用電極１０５ｅにマイナス電圧が印加される間、「＋」符号の電極部分（電極１０５ａ、１０５ｄ、１０５ｅ）の圧電体は縮む様に変形し、「−」符号の電極部分（電極１０５ｂ、１０５ｃ）の圧電体は膨張する様に変形する。本実施の形態による振動信号はいずれも高周波の正弦波信号であるので、これらの動作が繰り返される。

このため、屈曲電極１０５ａ〜１０５ｄに、図５に示す屈曲振動信号を印加すると、図６に模式的に示すように、屈曲変形振動が励起される。具体的には、振動子１０１ａが移動部３（摺動部材５）から遠ざかる方向に動くと、振動子１０１ｂは移動部３（摺動部材５）に押し付けられる方向に動き、その後、振動子１０１ｂが移動部３（摺動部材５）から遠ざかる方向に動くと、振動子１０１ａが移動部３（摺動部材５）に押し付けられる方向に動くという動きを繰り返す。縦振動用電極１０５ｅに、図５に示す縦振動信号を印加すると、図７に示すように、超音波モータ１０１が長辺方向に伸縮する縦振動が励起される。

このように、２種類の振動の位相を９０°ずらして同時に励起させると、図６に示す屈曲振動と図７に示す縦振動が合成され、超音波モータ１０１の振動子１０１ａ及び１０１ｂは図４に破線の楕円で示す軌跡を描くように振動する。すなわち、振動子１０１ａ及び１０１ｂが、同じ楕円軌道を描くとともに、同時刻での変位が半周ずれて、摺動部材５に対して交互に接近・離反を繰り返すように変位する。なお、図４において、楕円の矢印の位置は、振動子１０１ａ及び１０１ｂの同時刻における変位が同じ楕円軌道上で半周ずれていることを模式的に表している。

また、振動子１０１ａ及び１０１ｂが、図６に示す屈曲振動をすることで、摺動部材５と接触する際に生じる摩擦力を減らすことができる。また、縦振動用電極１０５ｅに図５に示す縦振動信号を印加することで、図７に示すように、超音波モータ１０１が長手方向に沿って伸縮運動を引き起こす。この伸縮運動と屈曲運動が合成されて移動部（ステージ）３を動かす。

なお、目標位置への位置決めが完了した後に、移動部３を停止（静止）状態にするには、超音波モータ１０１への電圧（駆動信号）印加を停止する。電圧印加を停止することにより、超音波モータ１０１の振動子１０１ａ及び１０１ｂが一定の圧力で摺動部材５を押し付け、移動部３を停止（静止）させる。

図８は、本発明の実施の形態１による超音波モータ１０１の手動移動モードを説明するための概念図である。図９は、本発明の実施の形態１による手動移動モードにおいて、駆動部１４から超音波モータ１０１に印加される駆動信号の一例を表す図である。

手動移動モードにおいては、図８に示すように、縦振動用電極１０５ｅへの縦振動信号の印加は停止され、屈曲電極１０５ａ〜１０５ｄへの屈曲振動信号の印加のみが実行される。このようにすることで、超音波モータ１０１は、図６に示す屈曲振動が励起される。したがって、図７に示す縦振動が合成されないので、超音波モータ１０１の振動子１０１ａ及び１０１ｂは図９に破線の矢印で示すように、摺動部材５に対して、交互に接近・離反を繰り返すように変位する。

この場合、縦振動用電極１０５ｅに電圧を印加しないため、図７に示す縦方向の振動が起きず、図６に示す屈曲振動のみが励起される。屈曲振動は、振動子１０１ａ及び１０１ｂが摺動部材５と反発（離間）する方向に力を誘発するため、摺動抵抗が軽くなる。このため、手動移動モードでは、摺動抵抗が減少し、ユーザは移動部３を手で押して動かすことが可能となる。

図１０は、図２に示す制御部１３による電動ステージ１００の制御処理を表すフローチャートである。この制御処理は、例えば、顕微鏡２０１の電源が投入されると開始され、電源が切断されると終了する。なお、初期状態は電動移動モードにあり、超音波モータ１０１には電圧が印加されておらず、電動ステージ１００の移動部３（Ｘ方向移動部３ｘ及びＹ方向移動部３ｙ）は停止しているものとする。

ステップＳ１０１では、制御部１３（制御装置１５０ａ）は、電動ステージ１００の移動部３（Ｘ方向移動部３ｘ及びＹ方向移動部３ｙ）に対する電動移動指示の入力の有無を判断する。電動移動指示は、例えば、ユーザが図２の電動移動指示部１６を用いて入力する、移動部３の移動方向の指示である。制御部１３が、電動移動指示の入力が有ったと判断した場合（ステップＳ１０１：Ｙｅｓ）は、ステップＳ１０２に進み、電動移動指示の入力が無かったと判断した場合（ステップＳ１０１：Ｎｏ）にはステップＳ１０４に進む。

ステップＳ１０２では、ステップＳ１０１で入力された電動移動指示の内容（移動方向）にしたがい、制御部１３は、縦振動用電極１０５ｅへ縦振動信号を印加し、屈曲電極１０５ａ〜１０５ｄへ屈曲振動信号を印加するように駆動部１４を制御する。これにより、駆動部１４から屈曲電極１０５ａ〜１０５ｄ及び縦振動用電極１０５ｅに、図５に示すような屈曲振動信号及び縦振動信号が発振され、図６に示す屈曲振動及び図７に示す縦振動が励起されて、振動子１０１ａ及び１０１ｂに図４に示すような楕円運動を生じさせ、移動部３を任意の方向に移動させることができる。

ステップＳ１０３では、制御部１３は、移動部３の停止（静止）指示の入力の有無を判断する。停止指示は、例えば、ユーザの電動移動指示部１６による電動移動指示の入力を中断することにより行う。すなわち、本実施の形態では、移動部３はユーザが特定方向への移動指示をしている間、当該特定方向へ移動され、移動指示を中断すると停止する。なお、停止指示の入力方法はこれに限らず、移動の停止指示専用のスイッチ等を設けてもよい。制御部１３が、停止指示の入力が有ったと判断した場合（ステップＳ１０３：Ｙｅｓ）は、ステップＳ１０７に進み、停止指示の入力が無かったと判断した場合（ステップＳ１０３：Ｎｏ）にはステップＳ１０２に戻る。

ステップＳ１０７では、制御部１３は、縦振動用電極１０５ｅへの縦振動信号の印加、及び屈曲電極１０５ａ〜１０５ｄへの屈曲振動信号の印加の双方を停止するように駆動部１４を制御する。これにより、縦振動及び屈曲振動の双方が停止し、振動子１０１ａ及び１０１ｂが摺動部材５に押し付けられる状態となる。屈曲振動が停止すると、摺動力量が大きくなり、位置決めが完了する。

ステップＳ１０８では、制御部１３は、観察の終了指示（制御処理の終了指示）の入力の有無を判断する。観察の終了指示は、例えば、顕微鏡２０１の主電源の切断等により入力される。制御部１３が終了指示の入力が有ったと判断した場合（ステップＳ１０８：Ｙｅｓ）には、この制御処理を終了する。制御部１３が終了指示の入力が無かったと判断した場合（ステップＳ１０８：Ｎｏ）には、ステップＳ１０１に戻り、以降の処理を繰り返す。

ステップＳ１０４では、制御部１３は、電動ステージ１００の移動部３（Ｘ方向移動部３ｘ及びＹ方向移動部３ｙ）に対する手動移動指示（手動移動モードの開始指示）の入力の有無を判断する。手動移動指示は、例えば、ユーザが図２の手動移動指示部１５を操作することにより入力する。制御部１３が、手動移動指示の入力が有ったと判断した場合（ステップＳ１０４：Ｙｅｓ）は、ステップＳ１０５に進み、手動移動指示の入力が無かったと判断した場合（ステップＳ１０４：Ｎｏ）にはステップＳ１０７に進む。

ステップＳ１０５では、制御部１３は、縦振動用電極１０５ｅへの縦振動信号の印加を停止し、屈曲電極１０５ａ〜１０５ｄへ屈曲振動信号を印加するように駆動部１４を制御する。これにより、駆動部１４から図８に示すような屈曲振動信号が発振され、縦振動は励起されずに、図６に示す屈曲振動のみが励起される。屈曲振動は、振動子１０１ａ及び１０１ｂが摺動部材５と反発する方向に力を誘発するため、摺動抵抗が軽くなる。このため、超音波アクチュエータ１０の屈曲電極１０５ａ〜１０５ｄのみに電圧を印加すると、摺動抵抗が減少し、ユーザは移動部３を手で軽く押して動かすことが可能となる。

ステップＳ１０６では、制御部１３は、手動移動の終了（手動移動モードの終了）指示の入力の有無を判断する。終了指示は、例えば、ユーザが手動移動モードにおいて、図２の手動移動指示部１５を再度操作することにより入力する。制御部１３が、終了指示の入力が有ったと判断した場合（ステップＳ１０６：Ｙｅｓ）は、ステップＳ１０７に進み、手動移動指示の入力が無かったと判断した場合（ステップＳ１０６：Ｎｏ）にはステップＳ１０５に戻り、ステップＳ１０５の処理を繰り返す。

なお、上記ステップＳ１０１〜１０８の処理中、手動移動モードにあるときも含めて、検出部２１は所定時間ごとに制御部１３に位置座標の情報を与えている。そのため、移動部３の座標位置を見失わないので、手動移動モードと電動移動モードとの相互切り替えを円滑に行うことができる。

以上、本発明の実施の形態１によれば、手動移動モードにあるときには、縦振動用電極１０５ｅへの縦振動信号の印加を停止し、屈曲電極１０５ａ〜１０５ｄへ屈曲振動信号を印加するようにしたので、振動子１０１ａ及び１０１ｂと移動部３の摩擦力を減らし、標本交換時など大きな距離を移動させたい場合に、手で直接移動部３を押して移動させることが出来る。よって、標本交換に要する時間を短縮できる。

（実施の形態２）
図１１は、本発明の実施の形態２による電動ステージ１００の全体構成を示す図である。この実施の形態２による電動ステージの説明においては、実施の形態１による電動ステージと同一の構成要素については同一の符号を付して、その詳細な説明は省略する。

実施の形態２において、電動ステージ１００は、電動により電動ステージ１００をＸＹ方向に移動もしくは静止するための電動移動モードと、手動により電動ステージ１００をＸＹ方向に移動するための手動移動モードとを備える。電動ステージ１００が手動モードに設定されているときに、電動ステージ１００の移動速度が所定速度を超過した場合に、警告情報提示部２３は、ユーザに対して警告情報を提示する。これにより、検出が不可能となって位置座標の検出エラーが発生するのを未然に防止することができる。

実施の形態２では、実施の形態１の制御装置１５０ａの構成に加えて、警告情報提示部２３を設けて制御装置１５０ｂとしている。警告情報提示部２３は、警告音を発するためのサウンドシステム、警告表示を行うための表示装置等の少なくとも一つで構成される。警告表示を行うための表示装置を用いる場合には、当該表示装置を電動ステージ１００の移動部３上又は移動部３近傍に配置し、ユーザが手動で移動部３を移動させる際に、容易に警告を認識できるようにすることが好ましい。

実施の形態２では、制御部１３が、検出部２１からの位置座標情報を速度情報に変換し、変換した速度情報で示される移動部３の移動速度が閾値（所定速度）を超えた場合に、警告情報提示部２３に対して、警告情報を提示（警告音の発音、警告表示）するように制御する。なお、警告情報の提示は、移動部３の移動速度が所定速度を超えた場合に限らず、例えば、移動部３の移動に係る加速度が所定値を超えた場合に行ってもよい。また、移動部３の位置が所定範囲外になった場合や、移動距離が所定距離以上になった場合等に警告を発するようにしてもよい。さらには、移動部３に対する圧力を検出するようにして、検出した圧力が所定値以上の場合に、警告を発するようにしてもよい。

図１２は、図１１に示す制御部１３による電動ステージ１００の制御処理を表すフローチャートである。ステップＳ２０１〜ステップＳ２０５、及びステップＳ２０８〜ステップＳ２１０の処理は、それぞれ図１０のステップＳ１０１〜ステップＳ１０５、及びステップＳ１０６〜ステップＳ１０８の処理と同様であるので、その説明を省略し、図１０の実施の形態１による制御処理との違いのみを説明する。

ステップＳ２０６では、制御部１３は、移動部３の移動速度が所定速度を超過したか否かを判断する。移動部３の移動速度は、例えば、検出部２１から所定時間ごとに送出される移動部３の座標位置情報を制御部１３において速度情報に変換し、該変換した速度情報で表される移動部３の移動速度が、所定速度を超えたか否かを判断する。制御部１３が、所定速度を超えていると判断した場合（ステップＳ２０６：Ｙｅｓ）は、ステップＳ２０７に進み、所定速度以下であると判断した場合（ステップＳ２０６：Ｎｏ）は、ステップＳ２０８に進む。なお、ここで所定速度とは、例えば、図２のエンコード１８がカウントエラーを起こさない速度（読み取り可能速度）である。

ステップＳ２０７では、制御部１３は、警告情報を提示するように警告情報提示部２３を制御する。警告情報の提示は、例えば、警告情報提示部２３が警告音を発したり、警告表示を表示したりすることで行われる。その後、ステップＳ２０８に進む。

以上のように、本発明の実施の形態２によれば、実施の形態１の効果に加えて、移動部３の移動速度が、所定の速度を超えると、警告情報を提示するため、エンコーダのカウントエラー等に起因するエラーを未然に防ぐことが可能となる。

（実施の形態３）
実施の形態３による電動ステージ１００の全体構成は、図２又は図１１に示す構成と同様であるので、説明を省略する。実施の形態３では、電動ステージ１００は、電動により電動ステージ１００をＸＹ方向に移動もしくは静止するための電動移動モードと、手動により電動ステージ１００をＸＹ方向に移動するための手動移動モードとを備え、手動モードにあるときに、電動ステージ１００の移動速度が所定速度を超過した場合に、屈曲振動の特性（例えば、振幅）を制御することで摺動力量を変化させる。

図１３は、実施の形態３による電動ステージ１００の制御処理を表すフローチャートである。ステップＳ３０１〜ステップＳ３０５、及びステップＳ３０８〜ステップＳ３１０の処理は、それぞれ図１０のステップＳ１０１〜ステップＳ１０５、及びステップＳ１０６〜ステップＳ１０８の処理と同様であるので、その説明を省略し、図１０の実施の形態１による制御処理との違いのみを説明する。

ステップＳ３０６では、制御部１３は、移動部３の移動速度が所定速度を超過したか否かを判断する。移動部３の移動速度は、例えば、検出部２１から所定時間ごとに送出される移動部３の座標位置情報を制御部１３において速度情報に変換し、該変換した速度情報で表される移動部３の移動速度が、所定速度を超えたか否かを判断する。制御部１３が、所定速度を超えていると判断した場合（ステップＳ３０６：Ｙｅｓ）は、ステップＳ３０７に進み、所定速度以下であると判断した場合（ステップＳ３０６：Ｎｏ）は、ステップＳ３０８に進む。なお、ここで所定速度とは、例えば、図２のエンコード１８がカウントエラーを起こさない速度（読み取り可能速度）である。

ステップＳ３０７では、制御部１３は、屈曲電極１０５ａ〜１０５ｄへ印加する屈曲振動信号の特性を変更するように駆動部１４を制御する。例えば、図１４に示すように屈曲振動信号の振幅を大きなものから小さなものへと切り替える。これにより、図１５に示すように、振動子１０１ａ及び１０１ｂの屈曲振動の振幅を小さくすることができ、摺動力量を重く変化させることが出来る。その後、ステップＳ３０８に進む。

なお、屈曲振動の振幅は、大きなものから小さなものに切り替える代わりに、複数の段階に分けて徐々に小さくするようにしてもよいし、連続的に小さくしてもよい。また、振幅を小さくした後に、最終的に屈曲振動信号を停止して、移動部３の移動を制限するようにしてもよい。さらに、振動を小さくする動作を入れずに振幅を止めても良い。

以上のように、本発明の実施の形態３によれば、実施の形態１の効果に加えて、移動部３の移動速度が、所定速度を超えると、摺動力量を重く変化させ、移動部３の移動速度を抑制することができる。これにより、エンコーダのカウントエラー等に起因するエラーを未然に防ぐことが可能となる。

なお、屈曲振動信号の制御は、移動部３の移動速度が所定速度を超えたときに限らず、例えば、移動部３の移動に係る加速度が所定値を超えた場合や、移動部３の位置が所定範囲外になった場合、移動距離が所定距離以上になった場合に行ってもよい。さらには、移動部３に対する圧力を検出するようにして、検出した圧力が所定値以上の場合に、信号特性を制御するようにしてもよい。

（実施の形態４）
図１６は、実施の形態４による電動ステージ１００の制御処理を表すフローチャートである。ステップＳ４０６以外の処理（ステップＳ４０１〜ステップＳ４０５、及びステップＳ４０７〜ステップＳ４１０）は、それぞれ図１３のステップＳ３０１〜ステップＳ３０５、及びステップＳ３０７〜ステップＳ３１０の処理と同様であるので、その説明を省略し、図１３の実施の形態３による制御処理との違いのみを説明する。実施の形態４では、制御部１３は検出部２１から送られてくる座標位置情報に基づき、制御部１３が駆動部１４を制御する。

ステップＳ４０６において、制御部１３は、検出部２１から送られてくる座標位置情報で示される移動部３の座標位置が、所定の範囲外に位置するか否かを判断する。制御部１３が、移動部３の座標位置が所定の範囲外にあると判断した場合（ステップＳ４０６：Ｙｅｓ）には、ステップＳ４０７に進み、摺動力量を重くするように駆動部１４を制御する。制御部１３が、移動部３の座標位置が所定の範囲内にあると判断した場合（ステップＳ４０６：Ｎｏ）は、ステップＳ４０８に進む。

なお、実施の形態４においても、屈曲振動の振幅は、大きなものから小さなものに切り替える代わりに、複数の段階に分けて徐々に小さくするようにしてもよいし、連続的に小さくしてもよい。また、振幅を小さくした後に、最終的に屈曲振動信号を停止して、移動部３の移動を制限するようにしてもよい。さらに、振動を小さくする動作を入れずに振幅を止めても良い。

以上のように、本発明の実施の形態４によれば、実施の形態１の効果に加えて、移動部３の座標位置が、所定範囲から出ると、摺動力量を重く変化させ、移動部３の移動速度を抑制することができる。これにより、ストッパーに当たる手前で摺動力量を重くして、ストッパーと移動部３が衝突し急に止まることを回避できる。また、他ユニットへの衝突を防ぐことが出来る。

（実施の形態５）
図１７は、本発明の実施の形態５による電動ステージ２００の全体構成を示す図である。上述した実施の形態１〜４の電動ステージ１００は、互いに直交する二方向に移動可能であったが、この実施の形態５による、一方向にのみ移動可能な電動ステージ２００と置換可能である。上述の各実施の形態では、移動部３として、移動部３ｘ及び移動部３ｙの２つが含まれていたが、図１７に示す電動ステージ２０は、移動部３を１つのみとして、一方向のみに移動可能としたものである。

電動ステージ２００は、例えば、第１部材（基部）１、ガイドレール２、移動部（ステージ）３、超音波アクチュエータ１０、スケール１７、エンコーダ（変位センサ）１８、及び制御装置１５０（１５０ａ又は１５０ｂ）を含んで構成される。各構成は、上述の実施の形態１〜４のものと同様である。

なお、上述の実施の形態１〜５は、いずれも図１に示す倒立型顕微鏡２０１に適用可能である。また、倒立型の顕微鏡２０１を例としてあげたが、正立型の顕微鏡等、他の型式の顕微鏡を図１に示す顕微鏡２０１に代えて用いることができる。すなわち、移動可能なステージを取り付け可能な顕微鏡であれば、本発明の各実施の形態による電動ステージを取り付けて用いることが可能である。

また、上述の実施の形態２は、実施の形態３及び実施の形態４の一方又は双方と組み合わせることが可能である。また、当然に、実施の形態３及び実施の形態４を組み合わせることも可能である。

１ 基部
２ ガイドレール
３ 移動部（ステージ）
５ 摺動部材
１０ 超音波アクチュエータ
１３ 制御部
１４ 駆動部
１５ 手動移動指示部
１６ 電動移動指示部
１７ スケール
１８ エンコーダ
１９ 固定用ビス穴
２０ ネジ
２１ 検出部
２２ 切り欠き穴部
２３ 警告情報提示部
２４ ダンピング材
３０ 開口
３１ 鏡筒
３３ 本体部
３４ 透過照明部
３６ 対物レンズ
３７ 反射ミラー
３８ 結像光学系
３９ 接眼レンズ
４１ 透過照明支柱
４２ アーム
４３ 光源
４４ ランプハウス
４５ コンデンサレンズ
４６ コンデンサユニット
４７ コレクタレンズ
４８ 視野絞り
４９ 反射ミラー
１００、２００ 電動ステージ
１０１ 超音波モータ
１０１ａ、１０１ｂ 振動子
１０２ 保持機構
１０３ コイルばね
１０４ 薄板ばね
１０４ａ 厚肉部
１０５ 振動用電極

Claims (8)

1. 本体と、該本体に設置される超音波電動ステージを備えた顕微鏡であって、
   前記超音波電動ステージは、
   前記本体に固定される基部と、
   前記基部に対して電動または手動で移動可能に取り付けられた移動部と、
   前記基部に取り付けられ、印加信号に応じて振動する振動子を有する超音波モータと、
   前記移動部の移動方向と平行な方向の振動を励起する第１の信号と、前記移動部の移動方向と直交する方向の振動を励起する第２の信号とを前記超音波モータに印加する駆動手段と、
   前記移動部を手動で移動可能とするとき、前記第１の信号を停止し、前記第２の信号のみを前記超音波モータに印加するように前記駆動手段を制御する制御手段と
   を有することを特徴とする顕微鏡。
2. 前記超音波電動ステージは、さらに、前記移動部の位置情報を検出する検出手段を備えることを特徴とする請求項１記載の顕微鏡。
3. 前記制御手段は、前記検出手段が検出した位置情報に基づき、前記駆動手段が前記超音波モータに印加する前記第２の信号の特性を制御することを特徴とする請求項２記載の顕微鏡。
4. 前記制御手段は、前記検出手段が検出した位置情報に基づき、前記移動部の移動速度を算出し、該算出した移動速度に基づき、前記駆動手段が前記超音波モータに印加する前記第２の信号の特性を制御することを特徴とする請求項３記載の顕微鏡。
5. 前記制御手段は、前記検出手段が検出した位置情報に基づき、前記移動部の移動速度を算出し、
   前記超音波電動ステージは、さらに、前記制御手段が算出した移動速度が所定速度を超過した場合に、警告情報を提示する警告情報提示手段を有することを特徴とする請求項２〜４のいずれか１項に記載の顕微鏡。
6. 基部と、前記基部に対して電動または手動で移動可能に取り付けられた移動部と、前記基部に取り付けられ、印加信号に応じて振動する振動子を有する超音波モータとを有する超音波電動ステージを備えた顕微鏡の制御プログラムであって、
   前記移動部を電動移動させる指示又は手動移動を可能とする指示の入力を受け付ける入力手順と、
   前記入力手順において、前記移動部を手動移動を可能とする指示が入力された場合に、前記移動部の移動方向と平行な方向の振動を励起する第１の信号を停止し、前記移動部の移動方向と直交する方向の振動を励起する第２の信号のみを前記超音波モータに印加する駆動手順と
   を前記顕微鏡に実行させることを特徴とする顕微鏡の制御プログラム。
7. 基部と、前記基部に対して電動または手動で移動可能に取り付けられた移動部と、前記基部に取り付けられ、印加信号に応じて振動する振動子を有する超音波モータとを有する超音波電動ステージを備えた顕微鏡の制御方法であって、
   前記移動部を電動移動させる指示又は手動移動を可能とする指示の入力を受け付ける入力工程と、
   前記入力手順において、前記移動部を手動移動を可能とする指示が入力された場合に、前記移動部の移動方向と平行な方向の振動を励起する第１の信号を停止し、前記移動部の移動方向と直交する方向の振動を励起する第２の信号のみを前記超音波モータに印加する駆動工程と
   を有することを特徴とする顕微鏡の制御方法。
8. 基部と、
   前記基部に対して電動または手動で移動可能に取り付けられた移動部と、
   前記基部に取り付けられ、印加信号に応じて振動する振動子を有する超音波モータと、
   前記移動部の移動方向と平行な方向の振動を励起する第１の信号と、前記移動部の移動方向と直交する方向の振動を励起する第２の信号とを前記超音波モータに印加する駆動手段と、
   前記移動部を手動で移動可能とするとき、前記第１の信号を停止し、前記第２の信号のみを前記超音波モータに印加するように前記駆動手段を制御する制御手段と
   を有する超音波電動ステージ。

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