JP2015183648A

JP2015183648A - ポンプ装置及び液圧アクチュエータ

Info

Publication number: JP2015183648A
Application number: JP2014062717A
Authority: JP
Inventors: 隼人筒井; Hayato Tsutsui; 武植木; Takeshi Ueki; 伸哉堀江; Shinya Horie; 和彦定方; Kazuhiko Sadakata
Original assignee: Showa Corp
Current assignee: Astemo Ltd
Priority date: 2014-03-25
Filing date: 2014-03-25
Publication date: 2015-10-22
Also published as: US9726202B2; CN104948454A; CA2868898A1; US20150275930A1

Abstract

【課題】性能測定の工数を低減することができるポンプ装置及び液圧アクチュエータを提供する。
【解決手段】ポンプ装置２０が、ピストン１２によって内部が第１室Ｙ１と第２室Ｙ２とに区画されたシリンダ装置１０の第１室Ｙ１又は第２室Ｙ２にオイルの流れを切り替える切替弁５１と、第１室Ｙ１に接続される第１室側流路７１の圧力を逃がすアップブローバルブ５３（第１室側リリーフ弁）と、第２室Ｙ２に接続される第２室側流路７２の圧力を逃がすダウンブローバルブ５４（第２室側リリーフ弁）とを一体的に備える。
【選択図】図５

Description

本発明は、ポンプ装置及び液圧アクチュエータに関する。

液圧アクチュエータは、作動液の液圧によって伸縮する液圧シリンダ（シリンダ装置）、作動液を供給するポンプ装置、シリンダ装置に接続される作動液の液圧を制御する油圧回路及び作動液を貯めるタンクなどを備えている。油圧回路には様々な弁が設けられているが、これらの弁の多くは制御ブロックに設けられている。
ここで、油圧回路の弁のうちリリーフ弁をポンプに一体化したものがある（例えば、特許文献１参照）。

特開平１１−０８２４１１号公報

液圧アクチュエータの生産工程においては、ポンプ装置の単体で性能が測定され、その後、多数の弁が組み込まれた制御ブロックにポンプ装置が組み付けられて油圧回路が繋がると、ポンプ装置を含めた油圧回路全体の性能が測定される。
このように、液圧アクチュエータは、ポンプ装置単体での性能測定と油圧回路での性能測定とを別工程で行う必要があり、工数がかかるという問題がある。また、油圧回路で測定された性能が求められる性能を満たさないときは、組み立て体を分解して弁を交換等し、再度組み立てるという作業も加わる。
本発明は上記事情に鑑みなされたものであり、性能測定の工数を低減することができるポンプ装置及び液圧アクチュエータを提供することを目的とする。

本発明は、ピストンによって内部が第１室と第２室とに区画されたシリンダ装置の前記第１室又は前記第２室への作動液の流れを切り替える切替弁と、前記第１室に接続される第１室側流路の圧力を逃がす第１室側リリーフ弁と、前記第２室に接続される第２室側流路の圧力を逃がす第２室側リリーフ弁と、を一体的に備えたポンプ装置である。
この発明のポンプ装置は、前記第１室側リリーフ弁及び前記第２室側リリーフ弁は、作動圧力を調整する圧力調整機構を備えてもよい。
また、この発明のポンプ装置は、前記第１室側リリーフ弁は、前記切替弁と前記第１室との間の流路に設けられていてもよい。
この発明のポンプ装置は、前記第１室側リリーフ弁及び前記第２室側リリーフ弁は、前記切替弁とポンプ本体との間の流路に設けられ、前記第１室と前記切替弁との間の流路に、作動圧力を調整する圧力調整機構を有する第３のリリーフ弁を備えてもよい。
本発明は、ピストンによって内部が第１室と第２室とに区画されたシリンダ装置と、前記第１室又は前記第２室への作動液の流れを切り替える切替弁、前記第１室に接続される第１室側流路の圧力を逃がす第１室側リリーフ弁及び前記第２室に接続される第２室側流路の圧力を逃がす第２室側リリーフ弁を一体的に有するポンプ装置と、を備えた液圧アクチュエータである。

本発明に係るポンプ装置によれば、性能測定の工数を低減することができる。
本発明に係る液圧アクチュエータによれば、性能測定の工数を低減することができる。

本発明の一実施の形態に係るポンプ装置を含むトリム・チルト装置の外観を示す斜視図である。トリム・チルト装置の要部断面図である。トリム・チルト装置のハウジング及びシリンダを示す斜視図である。トリム・チルト装置が用いられる、船体と船舶推進機との配置を示す側方視の模式図である。トリム・チルト装置の油圧回路を示す図である。ポンプ装置の外観を示す図である。ポンプ装置を構成部品に分解した分解斜視図である。図６におけるVIII−VIII線に沿った、アップブローバルブ及びダウンブローバルブを含む面による断面図である。図６におけるIX−IX線に沿った、切替弁の第１開放弁、第２開放弁及び第３リリーフ弁を含む面による断面図である。実施形態２のトリム・チルト装置の油圧回路を示す図である。実施形態３のトリム・チルト装置の油圧回路を示す図である。

<<実施形態１>>
以下、添付図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。
図１は本発明の一実施の形態に係るポンプ装置２０を含むトリム・チルト装置１００（液圧アクチュエータの一例）の外観を示す斜視図、図２はトリム・チルト装置１００の要部断面図、図３はトリム・チルト装置１００のハウジング８１及びシリンダ１１を示す斜視図である。

＜トリム・チルト装置１００の概略構成＞
トリム・チルト装置１００は、図１，２に示すように、作動液の一例であるオイルの供給、排出によって伸縮するシリンダ装置１０と、オイルを送出するポンプ装置２０と、ポンプ装置２０を駆動するモータ４０と、オイルを貯めるタンク８０とを備えている。

（シリンダ装置１０）
シリンダ装置１０は、図２に示すように、軸Ｃ方向に延びたシリンダ１１と、シリンダ１１の内部に配置され、シリンダ１１の軸Ｃ方向に沿って摺動するピストン１２と、ピストン１２を一端に固定してピストン１２と一体的に変位し、シリンダ１１に対して軸Ｃ方向に進退するピストンロッド１３とを備えている。
シリンダ装置１０は、ピストン１２によって内部が第１室Ｙ１と第２室Ｙ２とに区画されていて、第１室Ｙ１にオイルが供給されるとシリンダ装置１０は伸び、第２室Ｙ２にオイルが供給されるとシリンダ装置１０は縮む。ここで、シリンダ装置１０が伸びるときは第２室Ｙ２からオイルが排出され、シリンダ装置１０が縮むときは第１室Ｙ１からオイルが排出される。
シリンダ１１の図示下端には、後述する船舶推進機３００（後述する図４参照）のスターンブラケット３４０に接続するためのピン（図示省略）が挿入されるピン孔１１ａが形成されている。一方、ピストンロッド１３の図示上端には、船舶推進機３００（図４参照）のスイベルケース３３０に接続するためのピン（図示省略）が挿入されるピン孔１３ａが形成されている。

（タンク８０）
タンク８０は、ハウジング８１と、ハウジング８１によって囲まれた空間であるタンク室８２によって構成されている。ハウジング８１はシリンダ１１と一体的に形成されている。そして、図３に示すように、ハウジング８１及びシリンダ１１には、ポンプ装置２０とシリンダ装置１０の第１室Ｙ１及び第２室Ｙ２とを結ぶオイルの流路として、シリンダ側第１室側流路７１Ａの一部とシリンダ側第２室側流路７２Ａの一部との２つだけが形成されている。

ここで、シリンダ側第１室側流路７１Ａの一部は、ハウジング第１孔８１ａと、ハウジング第２孔８１ｂと、ハウジング第３孔８１ｃと、シリンダ第１孔８１ｄと、シリンダ第２孔８１ｅとが接続されて形成されている。
ハウジング第１孔８１ａは、ハウジング８１の底面から下方に、ハウジング８１の底部を貫通しないように延びて形成されている。ハウジング第２孔８１ｂは、ハウジング８１の底部の側面からハウジング第１孔８１ａに交差するようにシリンダ１１に向けて水平に延びて形成されている。ハウジング第３孔８１ｃは、ハウジング８１とシリンダ１１との境界部分の側面からハウジング第２孔８１ｂに直交するように水平に延びて形成されている。シリンダ第１孔８１ｄは、シリンダ１１の側面からハウジング第３孔８１ｃに交差するように斜め上方に延びて形成されている。シリンダ第２孔８１ｅは、シリンダ１１の側面からシリンダ第１孔８１ｄに交差し、第１室Ｙ１に開口するように水平に延びて形成されている。
なお、ハウジング第２孔８１ｂ、ハウジング第３孔８１ｃ、シリンダ第１孔８１ｄ及びシリンダ第２孔８１ｅは、それぞれハウジング８１の外部に臨んだ部分及びシリンダ１１の外部に臨んだ部分が図示を略した栓などによって塞がれている。

シリンダ側第２室側流路７２Ａの一部は、ハウジング第４孔８１ｆと、ハウジング第５孔８１ｇと、ハウジング第６孔８１ｈと、シリンダ第３孔８１ｉと、シリンダ第４孔８１ｊとが接続されて形成されている。
ハウジング第４孔８１ｆは、ハウジング８１の底面から下方に、ハウジング８１の底部を貫通しないように延びて形成されている。ハウジング第５孔８１ｇは、ハウジング８１の底部の側面からハウジング第４孔８１ｆに交差するように水平に延びて形成されている。ハウジング第６孔８１ｈは、ハウジング８１の底部の側面からシリンダ１１に向けて、ハウジング第５孔８１ｇに直交するように水平に延びて形成されている。シリンダ第３孔８１ｉは、シリンダ１１の上面からハウジング第６孔８１ｈに直交するように下方に延びて形成されている。シリンダ第４孔８１ｊは、第２室Ｙ２からシリンダ第３孔８１ｉに交差するように斜め下方に延びて形成されている。
なお、ハウジング第５孔８１ｇ、ハウジング第６孔８１ｈ及びシリンダ第３孔８１ｉは、それぞれハウジング８１の外部に臨んだ部分及びシリンダ１１の外部に臨んだ部分が図示を略した栓などによって塞がれている。
タンク室８２の底部にはポンプ装置２０が配置されている。タンク室８２にはオイルが貯められているため、ポンプ装置２０はオイルに浸漬されている。

（モータ４０）
モータ４０は、タンク室８２の上部開口を液密に塞ぐようにハウジング８１に載せられて、ハウジング８１に固定されている。この状態で、モータ４０の駆動軸４１（図２参照）が、タンク室８２に配置されたポンプ装置２０のギヤポンプ２１（ポンプ本体：後述する図７参照）に連結されて、モータ４０によりギヤポンプ２１を駆動することができる。
ポンプ装置２０については後述する。

図４はトリム・チルト装置１００が用いられる、船体２００と船舶推進機３００との配置を示す側方視の模式図である。
図４に示すように、船舶推進機３００は推進力を発生する船舶推進機本体３１０を備え、船舶推進機本体３１０は、垂直方向（上下方向）に設けられたスイベルシャフト（図示省略）と、水面に対して水平方向に設けられた水平軸３２０と、スイベルシャフトが回動自在に収容されるスイベルケース３３０と、スイベルケース３３０を船体２００に接続するスターンブラケット３４０と、を有している。
そして、スイベルケース３３０とトリム・チルト装置１００のシリンダ１１のピン孔１１ａとがピンにより連結され、スターンブラケット３４０とピストンロッド１３のピン孔１３ａとがピンにより連結される。シリンダ装置１０が伸縮することで、スターンブラケット３４０とスイベルケース３３０との間の距離が変化して、船体２００に対する船舶推進機３００の傾斜角度θを変化させる。

＜トリム・チルト装置１００の油圧回路＞
図５は、トリム・チルト装置１００の油圧回路である。まず、トリム・チルト装置１００の油圧回路について、図５を参照して説明する。
シリンダ装置１０は、ピストン１２によって、内部が第１室Ｙ１と第２室Ｙ２とに区画されていて、第１室Ｙ１にオイルが供給されるとシリンダ装置１０は伸び、第２室Ｙ２にオイルが供給されるとシリンダ装置１０は縮む。ここで、シリンダ装置１０が伸びるときは第２室Ｙ２からオイルが排出され、シリンダ装置１０が縮むときは第１室Ｙ１からオイルが排出される。
この油圧回路は、第１室Ｙ１及び第２室Ｙ２へのオイルの供給、排出を制御する回路である。
ポンプ装置２０に備えられた一対のギヤからなるギヤポンプ２１とシリンダ装置１０との間には、第１室Ｙ１に通じた第１室側流路７１と第２室Ｙ２に通じた第２室側流路７２とが形成されている。第１室側流路７１及び第２室側流路７２には、これら第１室側流路７１と第２室側流路７２とに跨がるように、切替弁５１が配置されている。

（切替弁５１）
切替弁５１は、第１室Ｙ１又は第２室Ｙ２へのオイルの流れの向きを切り替える。切替弁５１は、第１室側流路７１上に設けられた第１開放弁５１ａと第２室側流路７２上に設けられた第２開放弁５２ａとを備えている。
第１開放弁５１ａは、第１作動弁５１ｂと第１逆止弁５１ｅとを備えている。第１作動弁５１ｂは、第１弁室５１ｆ内を摺動するスプール５１ｃと、スプール５１ｃに内蔵された作動弁ボール５１ｄとを備えている。第１弁室５１ｆはスプール５１ｃによって、第１逆止弁５１ｅに通じる側のメイン油室５１ｇと反対側のサブ油室５１ｈとに仕切られている。第１室側流路７１のうちギヤポンプ２１から第１開放弁５１ａに通じるポンプ側第１室側流路７１Ｂは、第１開放弁５１ａのメイン油室５１ｇに接続されている。

スプール５１ｃには、第１逆止弁５１ｅに向かって突出し、第１逆止弁５１ｅの側に変位したとき第１逆止弁５１ｅを押す突起５１ｉが備えられている。また、スプール５１ｃには、後述する図９に示すように、メイン油室５１ｇとサブ油室５１ｈとを通じさせる第１孔５１ｊ及びサブ油室５１ｈと後述する連通路５１Ｒとを通じさせる第２孔５１ｋが形成されている。
作動弁ボール５１ｄは、メイン油室５１ｇの圧力がサブ油室５１ｈの圧力より高いときは第１孔５１ｊを開き、メイン油室５１ｇの圧力がサブ油室５１ｈの圧力より低いときは第１孔５１ｊを閉じる。

第２開放弁５２ａについても第１開放弁５１ａと同様の構成である。すなわち、第２開放弁５２ａは、第２作動弁５２ｂと第２逆止弁５２ｅとを備えている。第２作動弁５２ｂは、第２弁室５２ｆ内を摺動し、第１逆止弁５１ｅを押す突起５１ｉが備えられているとともに第１孔５２ｊ及び第２孔５２ｋが形成されたスプール５２ｃと、スプール５２ｃに内蔵されメイン油室５２ｇとサブ油室５２ｈとの圧力の高低関係に応じて第１孔５２ｊを開閉する作動弁ボール５２ｄとを備えている。第２弁室５２ｆはスプール５２ｃによって、第２逆止弁５２ｅに通じる側のメイン油室５２ｇと反対側のサブ油室５２ｈとに仕切られ、第２室側流路７２のうちギヤポンプ２１から第２開放弁５２ａに通じるポンプ側第２室側流路７２Ｂは、第２開放弁５２ａのメイン油室５２ｇに接続されている。

第１開放弁５１ａのサブ油室５１ｈと第２開放弁５２ａのサブ油室５２ｈとは連通路５１Ｒによって通じている。
ここで、例えば、ギヤポンプ２１を正回転することでギヤポンプ２１からポンプ側第１室側流路７１Ｂに送出されたオイルは、第１開放弁５１ａのメイン油室５１ｇへ流入する。メイン油室５１ｇの圧力が高くなることで第１逆止弁５１ｅが開き、オイルは、第１室側流路７１のうち第１開放弁５１ａからシリンダ装置１０の第１室Ｙ１に通じるシリンダ側第１室側流路７１Ａに流れ、シリンダ装置１０の第１室Ｙ１に流入し、ピストン１２を第２室Ｙ２に向けて押す。

また、第１開放弁５１ａのメイン油室５１ｇに流入したオイルは、第１作動弁５１ｂのスプール５１ｃ内の作動弁ボール５１ｄを開いてサブ油室５１ｈに流入する。そして、サブ油室５１ｈに流入したオイルは、連通路５１Ｒを通じて第２開放弁５２ａのサブ油室５２ｈに到達する。第２作動弁５２ｂの作動弁ボール５２ｄは閉じているため、サブ油室５２ｈのオイルは、スプール５２ｃをメイン油室５２ｇ側に押圧する。
第２作動弁５２ｂがメイン油室５２ｇ側に移動することで、第２逆止弁５２ｅが押されて開き、第２室側流路７２のうち第２開放弁５２ａからシリンダ装置１０の第２室Ｙ２に通じるシリンダ側第２室側流路７２Ａとポンプ側第２室側流路７２Ｂとが通じる。これにより、ピストン１２によって押された側の第２室Ｙ２のオイルは、第２室側流路７２に排出され、第２室側流路７２を通ってギヤポンプ２１に戻る。

一方、ギヤポンプ２１を逆回転することでギヤポンプ２１からポンプ側第２室側流路７２Ｂに送出されたオイルの流れも、ギヤポンプ２１の正回転の場合と同様である。すなわち、オイルは、第２開放弁５２ａのメイン油室５２ｇへ流入し、第２逆止弁５２ｅを開弁させてシリンダ側第２室側流路７２Ａに流れ、シリンダ装置１０の第２室Ｙ２に流入し、ピストン１２を第１室Ｙ１に向けて押す。

また、第２開放弁５２ａのメイン油室５２ｇに流入したオイルは、第２作動弁５２ｂのスプール５２ｃ内の作動弁ボール５２ｄを開いてサブ油室５２ｈに流入し、連通路５１Ｒを通じて第１開放弁５１ａのサブ油室５１ｈに到達し、第１作動弁５１ｂのスプール５１ｃをメイン油室５１ｇ側に押圧する。押圧されたスプール５１ｃは第１逆止弁５１ｅを押して開き、シリンダ側第１室側流路７１Ａとポンプ側第１室側流路７１Ｂとが通じ、ピストン１２によって押された側の第１室Ｙ１のオイルが第１室側流路７１に排出され、第１室側流路７１を通ってギヤポンプ２１に戻る。

このように、第１作動弁５１ｂ及び第２作動弁５２ｂは、ギヤポンプ２１からのオイルの圧力を受けて変位し、この変位により、変位方向の第２逆止弁５２ｅ又は第１逆止弁５１ｅを開かせる機能を有する。
第１逆止弁５１ｅ及び第２逆止弁５２ｅは、第２作動弁５２ｂ又は第１作動弁５１ｂの変位により開かれてシリンダ装置１０からオイルを戻す機能と、第１弁室５１ｆ又は第２弁室５２ｆに作用する圧力により開かれてシリンダ装置１０にオイルを供給する機能とを有する。

（アップブローバルブ５３）
ここで、ポンプ側第１室側流路７１Ｂには、アップブローバルブ５３（第１室側リリーフ弁）が接続されている。アップブローバルブ５３は、通常閉じていて、ポンプ側第１室側流路７１Ｂの圧力が予め設定された圧力以上になったときに開き、ポンプ側第１室側流路７１Ｂのオイルを、タンク８０に通じる第１開放流路７３に逃がす。
ポンプ側第１室側流路７１Ｂの圧力が予め設定された圧力以上になる場合としては、例えば、以下のような場合がある。すなわち、シリンダ装置１０の第１室Ｙ１にオイルが供給されてシリンダ装置１０が伸縮範囲の最大限まで伸びた後も、ギヤポンプ２１の回転が止まらずに、第１室側流路７１にオイルが供給され続ける場合である。この場合、アップブローバルブ５３が開いて、ポンプ側第１室側流路７１Ｂに供給されるオイルを、第１開放流路７３を通じてタンク８０に戻す。

（ダウンブローバルブ５４）
また、ポンプ側第２室側流路７２Ｂには、ダウンブローバルブ５４（第２室側リリーフ弁）が接続されている。ダウンブローバルブ５４は、通常閉じていて、ポンプ側第２室側流路７２Ｂの圧力が予め設定された圧力以上になったときに開き、ポンプ側第２室側流路７２Ｂのオイルを、タンク８０に通じる第２開放流路７４に逃がす。
ポンプ側第２室側流路７２Ｂの圧力が予め設定された圧力以上になる場合としては、例えば、以下のような場合がある。すなわち、シリンダ装置１０が縮むときに第２室Ｙ２に進入してくるピストンロッド１３の体積の増加分による第２室側流路７２の圧力の増大や、シリンダ装置１０の第２室Ｙ２にオイルが供給されてシリンダ装置１０が伸縮範囲の最小限まで縮んだ後もギヤポンプ２１の回転が止まらずに、第２室側流路７２にオイルが供給され続ける場合などである。この場合、ダウンブローバルブ５４が開いて、ポンプ側第２室側流路７２Ｂに供給されるオイルを、第２開放流路７４を通じてタンク８０に戻す。

なお、シリンダ装置１０の伸縮の際、第１室Ｙ１のオイルと第２室Ｙ２のオイルとは、切替弁５１及びギヤポンプ２１を介して、大部分が循環しているだけである。しかし、前述したように、第２室Ｙ２へのピストンロッド１３の進入量に応じて第１室Ｙ１のオイルと第２室Ｙ２のオイルとの総量が変化するため、第１室Ｙ１又は第２室Ｙ２へ送出するオイルの量が不足する場合は、それぞれチェック弁５７，５８が設けられた第１供給流路７７又は第２供給流路７８を通じて、不足分に対応した量のオイルが、タンク８０からギヤポンプ２１に供給される。タンク８０からギヤポンプ２１にオイルが供給される流路が第１供給流路７７となるか又は第２供給流路７８となるかは、ギヤポンプ２１の回転方向に応じて決まる。

（第３リリーフ弁５５）
また、シリンダ側第１室側流路７１Ａには、第３リリーフ弁５５（第３のリリーフ弁）が接続されている。第３リリーフ弁５５は、通常閉じていて、シリンダ側第１室側流路７１Ａの圧力が予め設定された圧力（アップブローバルブ５３が開放される圧力よりも高い圧力）以上になったときに開き、シリンダ側第１室側流路７１Ａのオイルを、タンク８０に通じる第３開放流路７５に逃がす。
シリンダ側第１室側流路７１Ａの圧力が予め設定された圧力以上になる場合としては、例えば、以下のような場合がある。すなわち、シリンダ装置１０が伸びている状態で、シリンダ装置１０を縮ませる方向への衝撃等荷重が掛った場合や、オイルの温度が上昇することによりシリンダ側第１室側流路７１Ａの圧力が上昇した場合などである。この場合、第３リリーフ弁５５が開いて、シリンダ側第１室側流路７１Ａに供給されるオイルを、第３開放流路７５を介してタンク８０に戻す。
なお、タンク８０に通じる流路にはフィルタ８３が設けられていて、タンク８０内のオイルに混じった異物等が、上述した各流路に流入するのを防止している。

＜ポンプ装置２０＞
図６はポンプ装置２０の外観を示す図、図７はポンプ装置２０を構成部品に分解した分解斜視図、図８はアップブローバルブ５３及びダウンブローバルブ５４を含む面による断面図、図９は切替弁５１の第１開放弁５１ａ、第２開放弁５２ａ及び第３リリーフ弁５５を含む面による断面図である。

ポンプ装置２０は、図７に示すように、ポンプケース２５と、ギヤポンプ２１と、切替弁５１、アップブローバルブ５３、ダウンブローバルブ５４、第３リリーフ弁５５及び２つのチェック弁５７，５８と備えている。ポンプケース２５は、図示の下から第１ケース２２、第２ケース２３及び覆い板２４（覆い部材）がこの順序で重ねられ、５本の締結部材２８ａ，２８ｂ，２８ｃ，２８ｄ，２８ｅで一体化された、いわゆる三体構造となっている。なお、５本の締結部材２８ａ，２８ｂ，２８ｃ，２８ｄ，２８ｅのうち一部の締結部材は、ポンプ装置２０をハウジング８１（図１参照）に固定する機能も果たしている。
そして、ポンプ装置２０は、ポンプケース２５の内部に、ギヤポンプ２１、切替弁５１、アップブローバルブ５３、ダウンブローバルブ５４、第３リリーフ弁５５及び２つのチェック弁５７，５８が収容されて、図６に示すように一体的に構成されている。

第１ケース２２は、底面に溝２２ｂが形成されている。また、第１ケース２２には、ギヤポンプ２１が収容されるポンプ室２２ａ、チェック弁５７，５８が収容されるチェック弁室２２ｇ，２２ｈ並びに第１逆止弁５１ｅ及び第２逆止弁５２ｅが収容される第１逆止弁室２２ｍ（図９参照）及び第２逆止弁室２２ｎが形成されている。
第１逆止弁室２２ｍ及び第２逆止弁室２２ｎはそれぞれ、第１ケース２２と第２ケース２３とが重ねられた方向に貫通して形成されている。
第２ケース２３には、第１弁室５１ｆ及び第２弁室５２ｆが形成されている。第１弁室５１ｆ及び第２弁室５２ｆもそれぞれ、第２ケース２３を厚さ方向に貫通して形成されている。また、第２ケース２３には、アップブローバルブ５３が収容されるアップブローバルブ室２３ａと、ダウンブローバルブ５４が収容されるダウンブローバルブ室２３ｂと、第３リリーフ弁５５が収容される第３リリーフ弁室２３ｃとが形成されている。
覆い板２４は例えば鉄板であり、第２ケース２３に形成された第１弁室５１ｆ及び第２弁室５２ｆの開口２３ｘ（後述する図１０参照）を塞いでいる。

図８に示すように、ギヤポンプ２１はポンプ室２２ａに配置されている。
また、アップブローバルブ５３はアップブローバルブ室２３ａに、ダウンブローバルブ５４はダウンブローバルブ室２３ｂにそれぞれ配置されている。アップブローバルブ５３は、チェック弁室２２ｇに連なるポンプ側第１室側流路７１Ｂとタンク室８２に連なる第１開放流路７３との間を開閉する弁ボール５３ｄと、弁ボール５３ｄに上方から接触するプッシュピン５３ｃと、プッシュピン５３ｃと同軸で、アップブローバルブ室２３ａにねじ結合し、工具用の溝５３ｅが形成された上部が第２ケース２３の上方に突出した調整ねじ５３ａと、プッシュピン５３ｃと調整ねじ５３ａとの間に配置されて、プッシュピン５３ｃに対して、プッシュピン５３ｃと調整ねじ５３ａとの間の距離に応じた軸方向の弾性力を作用させるコイルばね５３ｂとを備えている。

このように構成されたアップブローバルブ５３は、第２ケース２３の外部に突出した調整ねじ５３ａの溝５３ｅに、例えばマイナスドライバー等入手容易な工具を挿入して、工具を軸回りに回転させることで、第２ケース２３に対する調整ねじ５３ａのねじ込み深さを変化させることができる。
そして、調整ねじ５３ａのねじ込み深さが深くなるにしたがって、プッシュピン５３ｃと調整ねじ５３ａとの間の距離が短くなり、コイルばね５３ｂの初期圧縮量が増加してコイルばね５３ｂがプッシュピン５３ｃを下方に押圧する弾性力が強くなり、プッシュピン５３ｃに接触している弁ボール５３ｄが、ポンプ側第１室側流路７１Ｂを塞いでいる荷重が強くなる。このことは、閉じているアップブローバルブ５３が開く動作に移行するときの、ポンプ側第１室側流路７１Ｂの圧力が、より高く設定されたことになる。

一方、調整ねじ５３ａのねじ込み深さが浅くなるにしたがって、プッシュピン５３ｃと調整ねじ５３ａとの間の距離が長くなり、コイルばね５３ｂの初期圧縮量が減少してコイルばね５３ｂがプッシュピン５３ｃを下方に押圧する弾性力が弱くなり、プッシュピン５３ｃに接触している弁ボール５３ｄが、ポンプ側第１室側流路７１Ｂを塞いでいる荷重が弱くなる。このことは、閉じているアップブローバルブ５３が開く動作に移行するときの、ポンプ側第１室側流路７１Ｂの圧力が、より低く設定されたことになる。
このように、アップブローバルブ５３の調整ねじ５３ａは、アップブローバルブ５３が作動する（閉状態から開状態へ移行する）際の圧力（作動圧力）を調整する圧力調整機構となっている。

ダウンブローバルブ５４もアップブローバルブ５３と同様に、チェック弁室２２ｈに連なるポンプ側第２室側流路７２Ｂとタンク室８２に連なる第２開放流路７４との間を開閉する弁ボール５４ｄと、弁ボール５４ｄに上方から接触するプッシュピン５４ｃと、プッシュピン５４ｃと同軸で、ダウンブローバルブ室２３ｂにねじ結合し、工具用の溝５４ｅが形成された上部が第２ケース２３の上方に突出した調整ねじ５４ａと、プッシュピン５４ｃと調整ねじ５４ａとの間に配置されて、プッシュピン５４ｃに対して、プッシュピン５４ｃと調整ねじ５４ａとの間の距離に応じた軸方向の弾性力を作用させるコイルばね５４ｂとを備えている。ダウンブローバルブ５４の調整ねじ５４ａも、アップブローバルブ５３の調整ねじ５３ａと同様に圧力調整機構となっている。
ダウンブローバルブ５４の作動圧力の調整作用はアップブローバルブ５３による調整作用と同じであるため、説明を省略する。

チェック弁５７，５８は第１ケース２２に形成されたチェック弁室２２ｇ，２２ｈにそれぞれ配置されている。これらチェック弁５７，５８は、第１ケース２２と第２ケース２３とが重ね合わされる以前の工程で、各チェック弁室２２ｇ，２２ｈに配置される。
チェック弁室２２ｇ，２２ｈは、下方に延びた孔２２ｃ，２２ｄに連通している。この孔２２ｃ，２２ｄは、チェック弁５７，５８によって塞がれる大きさで形成され、ポンプケース２５の下面に形成された溝２２ｂに連なる。ポンプ装置２０は、タンク室８２においてオイルに浸漬されているため、溝２２ｂはオイルで満たされ、孔２２ｃ及び２２ｄが油圧回路における第１供給流路７７及び第２供給流路７８に相当する。

図９に示すように、切替弁５１の第１開放弁５１ａ及び第２開放弁５２ａのうち第１作動弁５１ｂ及び第２作動弁５２ｂは、第２ケース２３に形成された第１弁室５１ｆ及び第２弁室５２ｆに配置されている。これら第１作動弁５１ｂ及び第２作動弁５２ｂは、第２ケース２３と覆い板２４とが重ね合わされる以前の工程で、それぞれ第１弁室５１ｆ及び第２弁室５２ｆに配置される。
第１弁室５１ｆに第１作動弁５１ｂが配置され、第２弁室５２ｆに第２作動弁５２ｂが配置された状態で、第２ケース２３に覆い板２４が重ね合わされて固定されることで、第１弁室５１ｆ及び第２弁室５２ｆの上面が塞がれる。このとき、第１弁室５１ｆと覆い板２４との間及び第２弁室５２ｆと覆い板２４との間にはそれぞれＯリング２４ａ，２４ｂが装着され、第１弁室５１ｆ及び第２弁室５２ｆの液密が確保されている。

第１弁室５１ｆ及び第２弁室５２ｆはそれぞれ、第２ケース２３を厚さ方向に貫通して形成されているため、収容された第１作動弁５１ｂ及び第２作動弁５２ｂはいずれも、第１ケース２２と第２ケース２３とが重ねられた方向に沿って摺動する。
なお、第２ケース２３には、油圧回路において説明した連通路５１Ｒが形成されていて、第１弁室５１ｆのサブ油室５１ｈと第２弁室５２ｆのサブ油室５１ｈとを接続している。

第１ケース２２に形成された第１逆止弁室２２ｍは、第１ケース２２と第２ケース２３とを重ね合わせた状態で、第１弁室５１ｆに対向する部分に形成されている。また、第１ケース２２に形成された第２逆止弁室２２ｎは、第１ケース２２と第２ケース２３とを重ね合わせた状態で、第２弁室５２ｆに対向する部分に形成されている。
第１逆止弁５１ｅは、Ｏリング５１ｍと、弁ケース５１ｎと、弁ボール５１ｐと、プッシュピン５１ｑと、コイルばね５１ｒと、ばね押え５１ｏと、Ｏリング５１ｔとを備えた構成である。

弁ケース５１ｎはＯリング５１ｍを介して第１逆止弁室２２ｍに嵌めこまれている。弁ケース５１ｎには、上部に、対向する第１作動弁５１ｂの突起５１ｉを通過させる小孔５１ｕが形成されている。弁ボール５１ｐ、プッシュピン５１ｑ及びコイルばね５１ｒは、弁ケース５１ｎの内側に形成されたケース内室５１ｓに配置されている。
弁ボール５１ｐは、弁ケース５１ｎに形成された小孔５１ｕを塞ぐ大きさに形成されている。プッシュピン５１ｑは、上面に弁ボール５１ｐが接するように弁ボール５１ｐの下に配置されている。ばね押え５１ｏは、第１逆止弁室２２ｍの下部に嵌めこまれ、弁ケース５１ｎを下から支持している。Ｏリング５１ｔは、ばね押え５１ｏの周囲に配置されている。コイルばね５１ｒは、プッシュピン５１ｑとばね押え５１ｏとの間に配置され、プッシュピン５１ｑに対して軸方向の弾性力を作用させる。
図２に示すようにポンプ装置２０がハウジング８１に固定された状態では、ばね押え５１ｏの中央部に形成された開口２２ｅが、ケース内室５１ｓとハウジング８１に形成されたハウジング第１孔８１ａとを通じさせる。このとき、Ｏリング５１ｔによって、ケース内室５１ｓ及びハウジング第１孔８１ａと、タンク室８２との間の液密が確保される。

このように構成された第１逆止弁５１ｅは、コイルばね５１ｒの弾性力により上方に持ち上げられたプッシュピン５１ｑが弁ボール５１ｐを上方に押し上げ、弁ボール５１ｐが弁ケース５１ｎの小孔５１ｕを閉じる。これにより、第１作動弁５１ｂのメイン油室５１ｇと、第１逆止弁５１ｅのケース内室５１ｓとの間は閉じられる。
ここで、第１作動弁５１ｂのメイン油室５１ｇにオイルが供給されてメイン油室５１ｇの圧力が上昇すると、メイン油室５１ｇの圧力が小孔５１ｕを通じて弁ボール５１ｐに作用し、弁ボール５１ｐがコイルばね５１ｒの弾性力に抗して下方に押し下げられ、メイン油室５１ｇとケース内室５１ｓとが通じ、メイン油室５１ｇのオイルが、ケース内室５１ｓを通じてハウジング第１孔８１ａに供給される。

また、第２作動弁５２ｂのメイン油室５２ｇにオイルが供給されてメイン油室５２ｇの圧力が上昇すると、メイン油室５２ｇのオイルがスプール５２ｃの第２孔５２ｋを通じてサブ油室５２ｈ、第１孔５２ｊ、連通路５１Ｒの順で流れ、さらに、第１作動弁５１ｂの第１孔５１ｊを通じて第１作動弁５１ｂのサブ油室５１ｈに流入する。
第１作動弁５１ｂのサブ油室５１ｈは、圧力の上昇により作動弁ボール５１ｄがサブ油室５１ｈとメイン油室５１ｇとの連通を遮断し、これにより、第１作動弁５１ｂのスプール５１ｃがメイン油室５１ｇの側に移動する。スプール５１ｃの移動により、スプール５１ｃに備えられた突起５１ｉが弁ボール５１ｐに作用し、コイルばね５１ｒの弾性力に抗して下方に押し下げられ、メイン油室５１ｇとケース内室５１ｓとが通じ、ハウジング第１孔８１ａからケース内室５１ｓに戻ったオイルがメイン油室５１ｇに戻される。

第２逆止弁室２２ｎに収容された第２逆止弁５２ｅは、第１逆止弁５１ｅと同様の構成であり、Ｏリング５２ｍと、弁ケース５２ｎと、弁ボール５２ｐと、プッシュピン５２ｑと、コイルばね５２ｒと、ばね押え５２ｏと、Ｏリング５２ｔとを備えている。第２逆止弁５２ｅの作用は第１逆止弁５１ｅと同じであるため、説明を省略する。
なお、ポンプ装置２０がハウジング８１に固定された状態（図２参照）では、ばね押え５２ｏの中央部に形成された開口２２ｆが、ケース内室５２ｓとハウジング８１に形成されたハウジング第４孔８１ｆとを通じさせる。このとき、Ｏリング５２ｔによって、ケース内室５２ｓ及びハウジング第４孔８１ｆと、タンク室８２との間の液密が確保される。

第３リリーフ弁５５は、第１ケース２２と第２ケース２３とに跨って配置されている。第３リリーフ弁５５もアップブローバルブ５３、ダウンブローバルブ５４と同様に、第１逆止弁５１ｅのケース内室５１ｓに通じるシリンダ側第１室側流路７１Ａと第３開放流路７５との間を開閉する弁ボール５５ｄと、弁ボール５５ｄに上方から接触するプッシュピン５５ｃと、プッシュピン５５ｃと同軸で、第２ケース２３にねじ結合し、ねじ溝５５ｅが形成された上部が第２ケース２３の上方に突出した調整ねじ５５ａと、プッシュピン５５ｃと調整ねじ５５ａとの間に配置されて、プッシュピン５５ｃに対して、プッシュピン５５ｃと調整ねじ５５ａとの間の距離に応じた軸方向の弾性力を作用させるコイルばね５５ｂとを備えている。第３リリーフ弁５５の調整ねじ５５ａも、アップブローバルブ５３の調整ねじ５３ａと同様に圧力調整機構となっている。
第３リリーフ弁５５の作動圧力の調整作用はアップブローバルブ５３やダウンブローバルブ５４による調整作用と同じであるため、説明を省略する。

＜ポンプ装置２０の作用、効果＞
以上のように構成された本実施の形態のポンプ装置２０によると、シリンダ装置１０に接続される油圧回路に含まれる切替弁５１、アップブローバルブ５３、ダウンブローバルブ５４、第３リリーフ弁５５及びチェック弁５７，５８がポンプ装置２０に一体的に備えられているため、ポンプ装置２０をシリンダ装置１０と組み付ける以前の単体の状態で、ギヤポンプ２１のオイル圧送能力等性能を測定する工程において、切替弁５１、アップブローバルブ５３、ダウンブローバルブ５４、第３リリーフ弁５５及びチェック弁５７，５８が組み込まれた油圧回路全体での性能も測定することができる。

これにより、本実施の形態のポンプ装置２０は、ハウジング８１に組み付けられる以前のポンプ装置２０単体での工程において、ギヤポンプ２１の性能測定と油圧回路全体の性能測定とを併せて行うことができる。
したがって、従来行われていたような、ポンプ装置の単体でギヤポンプのみの性能を測定し、その後、油圧回路を構成する多数のバルブや弁が組み込まれたハウジングにポンプ装置を組み付け、その組み付け後に油圧回路全体での性能を測定する、という２つの別々の工程での性能測定の作業を、トリム・チルト装置１００では、１つの工程での作業にまとめることができる。
これにより、本実施の形態のポンプ装置２０を備えたトリム・チルト装置１００によれば、ポンプ装置２０及び油圧回路の性能測定による工数を低減することができる。

しかも、ポンプ装置２０はポンプケース２５が、３つの部材（第１ケース２２、第２ケース２３及び覆い板２４）に分割できる三体構造を採用しているため、ポンプケース２５の内部に上述したバルブ及び弁（切替弁５１、アップブローバルブ５３、ダウンブローバルブ５４、第３リリーフ弁５５及びチェック弁５７，５８）を、３つの部材に分解した状態で配置することができる。したがって、ポンプケース２５に、バルブ及び弁（切替弁５１、アップブローバルブ５３、ダウンブローバルブ５４、第３リリーフ弁５５及びチェック弁５７，５８）を配置するためのレイアウトを単純化することができる。

特に、切替弁５１、アップブローバルブ５３、ダウンブローバルブ５４、第３リリーフ弁５５及びチェック弁５７，５８の作動方向が、第１ケース２２、第２ケース２３及び覆い板２４の重ね合わせ方向に沿ったものとなるため、これらバルブ及び弁の間を繋ぐ、油圧回路における流路（例えば、第１開放流路７３、第２開放流路７４及び第３開放流路７５等）を、重ね合わせ方向に交差する方向（例えば、図８，９に示すように重ね合わせ方向に直交する方向）に延びるように形成することができる。
したがって、これらの流路も複雑に交差する形状とすることなく単純な直線形状に形成することができる。

また、シリンダ装置１０に接続される油圧回路における切替弁５１、アップブローバルブ５３、ダウンブローバルブ５４、第３リリーフ弁５５及びチェック弁５７，５８が、ポンプ装置２０に一体的に備えられていることで、ハウジング８１には油圧回路のバルブや弁が配置されない。つまり、ハウジング８１には、図３に示した、ポンプ装置２０とシリンダ装置１０の第１室Ｙ１及び第２室Ｙ２とを結ぶ流路（シリンダ側第１室側流路７１Ａの一部とシリンダ側第２室側流路７２Ａの一部）だけが形成される。
具体的には、図３に示したように、シリンダ側第１室側流路７１Ａの一部を構成するハウジング第１孔８１ａ、ハウジング第２孔８１ｂ及びハウジング第３孔８１ｃのみが形成される。
したがって、本実施の形態におけるハウジング８１は、バルブや弁が配置されている従来における液圧アクチュエータのハウジングと比較して、形成される流路（シリンダ側第１室側流路７１Ａとシリンダ側第２室側流路７２Ａ）を単純化することができる。この結果、ハウジング８１に形成される流路（シリンダ側第１室側流路７１Ａとシリンダ側第２室側流路７２Ａ）においては、流路となる孔同士の交差によって繋がれる部分を低減することができる。
孔同士が交差する部分では、孔を穿孔して加工した際に生じるバリが残留し易い傾向があり、孔同士が交差する部分が低減されることで、流路にバリが残りにくくすることもできる。

また、本実施の形態のポンプ装置２０は、アップブローバルブ５３、ダウンブローバルブ５４及び第３リリーフ弁５５がそれぞれ、ポンプケース２５の外部に突出した調整ねじ５３ａ，５４ａ，５５ａを備えているため、ポンプ装置２０として組み立てられた状態で、油圧回路全体の性能を測定する際に、調整ねじ５３ａ，５４ａ，５５ａを回して、アップブローバルブ５３、ダウンブローバルブ５４及び第３リリーフ弁５５の各作動圧力を調整することができる。
ポンプ装置２０を構成するギヤポンプ２１、油圧回路における各流路、並びにアップブローバルブ５３、ダウンブローバルブ５４及び第３リリーフ弁５５には、それぞれ製造上の個体差が存在する。これらの構成部品の個体差は、構成部品ごとには小さくても、構成部品が複数組み合わされたときは大きな個体差となることがある。

本実施の形態のトリム・チルト装置１００においても、上述した構成部品ごとの個体差の集積によって、油圧回路全体の中で、アップブローバルブ５３、ダウンブローバルブ５４及び第３リリーフ弁５５の各作動圧力が、許容範囲の上限側に偏ったり、下限側に偏ったりすることが生じ得る。
ここで、本実施の形態のトリム・チルト装置１００は、ポンプ装置２０が、油圧回路を構成するギヤポンプ２１、バルブ及び弁並びに流路の略全部が一体的に組み込まれていて、油圧回路全体として個体差が集積した状態となっている。そして、個体差が集積した状態のポンプ装置２０において、アップブローバルブ５３、ダウンブローバルブ５４及び第３リリーフ弁５５の各作動圧力を、それぞれ調整ねじ５３ａ，５４ａ，５５ａによって調整することで、油圧回路全体におけるアップブローバルブ５３、ダウンブローバルブ５４及び第３リリーフ弁５５の各作動圧力を精度よく調整することができ、ばらつきを抑制することができる。
このように、本実施の形態のポンプ装置２０及びトリム・チルト装置１００は、ポンプ装置２０の単体の状態で、油圧回路全体におけるアップブローバルブ５３、ダウンブローバルブ５４及び第３リリーフ弁５５の各作動圧力が調整されるため、これらアップブローバルブ５３、ダウンブローバルブ５４及び第３リリーフ弁５５を交換等する必要がなく、製造工程における直行率を向上させることができる。

なお、液圧制御回路の弁のうちリリーフ弁をポンプに一体化してなる従来のものでは、ポンプ装置を、液圧アクチュエータにおける実際のバルブ又は弁及び流路とは異なる性能測定用の調圧油路に繋ぐことで、油圧回路の全体を仮に構築し、この仮の状態で、油圧回路全体の性能の測定が行われる。この場合、性能測定用の調圧油路は、液圧アクチュエータにおける実際のバルブ又は弁及び流路とは異なるため、流路抵抗等に差異があり、精度のよい性能測定はできない。
これに対して、本実施の形態のポンプ装置２０及びトリム・チルト装置１００は、トリム・チルト装置１００における実際の油圧回路そのものでの性能測定を行うことができるため、精度のよい性能測定を行うことができる。

また、本実施の形態のポンプ装置２０及びトリム・チルト装置１００は、各リリーフ弁（アップブローバルブ５３、ダウンブローバルブ５４及び第３リリーフ弁５５）に圧力調整機構（アップブローバルブ５３における調整ねじ５３ａ、ダウンブローバルブ５４における調整ねじ５４ａ、第３リリーフ弁５５における調整ねじ５５ａ）が備えられているものに限定されない。これらの各リリーフ弁が圧力調整機構を備えない構成であっても、ポンプ装置２０に切替弁５１、アップブローバルブ５３、ダウンブローバルブ５４、第３リリーフ弁５５及びチェック弁５７，５８が一体的に備えられた構成による本発明の効果を発揮することができる。

<<実施形態２>>
上述した実施形態のポンプ装置２０、トリム・チルト装置１００は、図５に示すように、シリンダ装置１０の第１室Ｙ１に通じる第１室側流路７１に、アップブローバルブ５３と第３リリーフ弁５５という２つのリリーフ弁が設けられたものであるが、本発明に係るポンプ装置及び液圧アクチュエータは、この形態に限定されるものではない。

図１０は、本発明の第２施形態（実施形態２）のポンプ装置２０の油圧回路を示す図である。
図１０に示したポンプ装置２０の油圧回路は、実施形態１における油圧回路（図５参照）に対して、ポンプ側第１室側流路７１Ｂにアップブローバルブ５３及び第１開放流路７３を備えない。一方、シリンダ側第１室側流路７１Ａに、アップブローバルブ５３の機能を備えた第１室側流路リリーフ弁５６（第１室側リリーフ弁）と、第１室側流路リリーフ弁５６が開放されたときにシリンダ側第１室側流路７１Ａの圧力を逃がす第３開放流路７５を備える。
ここで、第１室側流路リリーフ弁５６は、実施形態１における第３リリーフ弁５５と同じシリンダ側第１室側流路７１Ａに接続されている。したがって、第１室側流路リリーフ弁５６は、実施形態１におけるアップブローバルブ５３と第３リリーフ弁５５とを兼ねたものとなる。

すなわち、第１室側流路リリーフ弁５６は、アップブローバルブ５３の機能として、通常閉じていて、ポンプ側第１室側流路７１Ｂの圧力すなわち第１室側流路７１が予め設定された圧力以上になったときに開き、第１室側流路７１のオイルを、タンク８０に通じる第３開放流路７５に逃がす。つまり、シリンダ装置１０の第１室Ｙ１にオイルが供給されてシリンダ装置１０が伸縮範囲の最大限まで伸びた後も、ギヤポンプ２１の回転が止まらずに、第１室側流路７１にオイルが供給され続ける場合に、第１室Ｙ１を保護する。

また、第１室側流路リリーフ弁５６は、第３リリーフ弁５５と同様に、通常閉じていて、シリンダ側第１室側流路７１Ａの圧力が予め設定された圧力以上になったときに開き、シリンダ側第１室側流路７１Ａのオイルを、タンク８０に通じる第３開放流路７５に逃がす。つまり、シリンダ装置１０が伸びている状態で、シリンダ装置１０を縮ませる方向への衝撃等荷重が掛った場合や、オイルの温度が上昇したときに、第１室Ｙ１を保護する。
なお、第１室側流路リリーフ弁５６は、実施形態１におけるアップブローバルブ５３及び第３リリーフ弁５５と同様に、圧力調整機構（アップブローバルブ５３における調整ねじ５３ａ、第３リリーフ弁５５における調整ねじ５５ａに相当）を備えていて、この圧力調整機構により、油圧回路が繋がった状態での性能測定等の際に、アップブローバルブ５３の設定圧力に設定される。

ここで、実施形態１におけるアップブローバルブ５３と第３リリーフ弁５５とは、作動するときの状況が異なっている。つまり、アップブローバルブ５３はギヤポンプ２１側からの圧力上昇に対応するものであり、第３リリーフ弁５５は、主として、シリンダ装置１０側からの圧力上昇に対応するものである。したがって、アップブローバルブ５３と第３リリーフ弁５５とは、それぞれの状況に適応した圧力範囲で作動するように圧力が設定され、そのため別個独立して設けられていた。
なお、第３リリーフ弁５５は、実施形態１で説明したように、アップブローバルブ５３が作動する圧力範囲よりも高い圧力範囲で作動するように設定されているが、これは、第１室側流路７１において第３リリーフ弁５５が切替弁５１よりも下流に配置されているためであり、切替弁５１を介さなければアップブローバルブ５３が作動する圧力範囲と同一の圧力範囲で作動するものとしてもよい。

そこで、実施形態２のポンプ装置２０及びトリム・チルト装置１００は、２つのリリーフ弁（アップブローバルブ５３、第３リリーフ弁５５）をシリンダ側第１室側流路７１Ａにおいて統合することで、実施形態１のポンプ装置２０及びトリム・チルト装置１００に比べて、構成部品の数及び加工工数を減らし、製造コストを低減した。
なお、実施形態２のポンプ装置２０及びトリム・チルト装置１００は、実施形態１のポンプ装置２０及びトリム・チルト装置１００が奏する効果を当然に奏する。

実施形態２のポンプ装置２０及びトリム・チルト装置１００も、両リリーフ弁（第１室側流路リリーフ弁５６及びダウンブローバルブ５４）に圧力調整機構が備えられているものに限定されない。
ただし、少なくとも、アップブローバルブ５３と第３リリーフ弁５５との機能を兼ねる第１室側流路リリーフ弁５６については、作動する圧力の精度を高めるために、圧力調整機構を備えていることが好ましい。

<<実施形態３>>
上述した実施形態１のポンプ装置２０、トリム・チルト装置１００は、図５に示すように、シリンダ装置１０の第１室Ｙ１に通じる第１室側流路７１に、第３リリーフ弁５５が設けられたものであるが、本発明に係るポンプ装置及び液圧アクチュエータは、この形態に限定されるものではない。

図１１は、本発明の第３の実施形態（実施形態３）のポンプ装置２０の油圧回路を示す図である。
図１１に示したポンプ装置２０の油圧回路は、実施形態１における油圧回路（図５参照）に対して、シリンダ側第１室側流路７１Ａに接続されていた第３リリーフ弁５５及び第３開放流路７５を備えない以外、実施形態１と同じ構成である。

したがって、実施形態３のポンプ装置２０及びトリム・チルト装置１００によれば、第３リリーフ弁５５が奏する作用、効果を除いて、実施形態１のポンプ装置２０及びトリム・チルト装置１００と同じ効果を得ることができる。
また、実施形態３のポンプ装置２０及びトリム・チルト装置１００も、各リリーフ弁（アップブローバルブ５３及びダウンブローバルブ５４）に圧力調整機構が備えられているものに限定されない。これらの各リリーフ弁が圧力調整機構を備えない構成であっても、ポンプ装置２０に切替弁５１、アップブローバルブ５３、ダウンブローバルブ５４及びチェック弁５７，５８が一体的に備えられた構成による本発明の効果を発揮することができる。

上述した各実施形態は、液圧アクチュエータの一例として、トリム・チルト装置を適用したものであるが、本発明の液圧アクチュエータはこれらトリム・チルト装置に限定されるものではない。

１０…シリンダ装置、１２…ピストン、２０…ポンプ装置、５１…切替弁、５３…アップブローバルブ（第１室側リリーフ弁）、５４…ダウンブローバルブ（第２室側リリーフ弁）、７１…第１室側流路、７２…第２室側流路、１００…トリム・チルト装置（液圧アクチュエータ）、Ｙ１…第１室、Ｙ２…第２室

Claims

ピストンによって内部が第１室と第２室とに区画されたシリンダ装置の前記第１室又は前記第２室への作動液の流れを切り替える切替弁と、
前記第１室に接続される第１室側流路の圧力を逃がす第１室側リリーフ弁と、
前記第２室に接続される第２室側流路の圧力を逃がす第２室側リリーフ弁と、を一体的に備えたポンプ装置。
前記第１室側リリーフ弁及び前記第２室側リリーフ弁は、作動圧力を調整する圧力調整機構を備えた請求項１に記載のポンプ装置。
前記第１室側リリーフ弁は、前記切替弁と前記第１室との間の流路に設けられている請求項１又は２に記載のポンプ装置。
前記第１室側リリーフ弁及び前記第２室側リリーフ弁は、前記切替弁とポンプ本体との間の流路に設けられ、
前記第１室と前記切替弁との間の流路に、作動圧力を調整する圧力調整機構を有する第３のリリーフ弁を備えた請求項１又は２に記載のポンプ装置。
ピストンによって内部が第１室と第２室とに区画されたシリンダ装置と、
前記第１室又は前記第２室への作動液の流れを切り替える切替弁、前記第１室に接続される第１室側流路の圧力を逃がす第１室側リリーフ弁及び前記第２室に接続される第２室側流路の圧力を逃がす第２室側リリーフ弁を一体的に有するポンプ装置と、を備えた液圧アクチュエータ。