JP2016078024A - ピアス加工方法及びレーザ加工機 - Google Patents
ピアス加工方法及びレーザ加工機 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2016078024A JP2016078024A JP2014208544A JP2014208544A JP2016078024A JP 2016078024 A JP2016078024 A JP 2016078024A JP 2014208544 A JP2014208544 A JP 2014208544A JP 2014208544 A JP2014208544 A JP 2014208544A JP 2016078024 A JP2016078024 A JP 2016078024A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- workpiece
- laser beam
- piercing
- metal material
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 32
- 239000007769 metal material Substances 0.000 claims abstract description 12
- 238000003672 processing method Methods 0.000 claims abstract description 5
- 239000000835 fiber Substances 0.000 claims description 16
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 7
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 claims 1
- 238000003698 laser cutting Methods 0.000 description 10
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 7
- 229910001209 Low-carbon steel Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 3
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 3
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 2
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 2
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003610 charcoal Substances 0.000 description 1
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001882 dioxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/36—Removing material
- B23K26/38—Removing material by boring or cutting
- B23K26/382—Removing material by boring or cutting by boring
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
- B23K26/064—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
- B23K26/0665—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by beam condensation on the workpiece, e.g. for focusing
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
- B23K26/064—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms
- B23K26/0648—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms comprising lenses
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
【課題】厚板のピアス加工を短時間で行うことのできるピアス加工方法及びレーザ加工機を提供する。
【解決手段】波長が1μm帯のレーザ光によって金属材料にピアス加工を行う加工方法であって、レーザ光の集光径をd、レーリー長をZrとするとき、8≦Zr/d≦12の範囲に保持してピアス加工を行う。この際、レーザ光の焦点位置を、ワークの表面又はワークの外部に設定してある。そして、レーザ光のビームプロファイルは、シングルモードのレーザ光を、ビーム品質可変装置によって山高帽子状に変換してある。
【選択図】図3
【解決手段】波長が1μm帯のレーザ光によって金属材料にピアス加工を行う加工方法であって、レーザ光の集光径をd、レーリー長をZrとするとき、8≦Zr/d≦12の範囲に保持してピアス加工を行う。この際、レーザ光の焦点位置を、ワークの表面又はワークの外部に設定してある。そして、レーザ光のビームプロファイルは、シングルモードのレーザ光を、ビーム品質可変装置によって山高帽子状に変換してある。
【選択図】図3
Description
本発明は、例えば固体レーザやファイバーレーザなどの波長が1μm帯のレーザ光によって板金材料のレーザ切断加工を行う際に、ピアス加工を行うピアス加工方法及びレーザ加工機に係り、さらに詳細には、軟鋼板の厚板のピアス加工を短時間で行うことのできるピアス加工方法及びレーザ加工機に関する。
軟鋼板などの板状のワークのレーザ切断加工を行う場合、上記ワークにピアス加工を行い、このピアス加工位置からワークのレーザ切断加工が開始されている。上記ピアス加工は、ワークが薄板の場合にはほぼ瞬間的(数100msec)に行われるので、ピアス加工が複数回繰り返されるレーザ切断加工であっても、さほど問題になるようなことはない。しかし、ワークが厚板になると、ピアス加工に時間を要することになる。例えば、板厚19mmの軟鋼板を、4kW炭配ガスレーザ発振器を用いてピアス加工を行うと、ピアス加工時間に約20秒程要するものである。したがって、ワークのレーザ切断加工を行う場合、前記ピアス加工時間を短縮することが望まれている。なお、本発明に関係すると思われる文献として、特許文献1がある。
前記特許文献1に記載のピアス加工方法は、ピアス加工の初期に、アシストガスとして窒素ガスを使用し、かつ高出力でもってピアス加工を行い、その後、アシストガスとして酸素ガスを使用し、かつ低出力でもってピアス加工を行うものである。したがって、ピアス加工初期には、ピアス加工穴に窒化層が形成されて酸化反応が抑制されることとなる。よって、レーザ出力を大きくした場合であっても過剰な燃焼を防止でき、ピアス加工をより短時間で行うことができることになる。
しかし、ファイバーレーザ発振器を搭載したレーザ加工機においては、前記特許文献1に記載のピアス加工方法を実施しても、ピアス加工時間を大幅に短縮することはできなかった。すなわち、ファイバーレーザ発振器を備えたレーザ加工機においては、ワークとしての軟鋼板のレーザ切断加工を適正に行うために、レーザ加工ヘッドの集光レンズにアキシコンレンズを使用する場合がある。このアキシコンレンズは、入射されたレーザ光を、リング状のビームに形成するので、ワークのピアス加工時には、レーザビームのエネルギがワークに効果的に作用できていない可能性がある。
ところで、レーザ加工ヘッドに、集光レンズを備えた構成において、厚板のレーザ切断加工を行うに当り、ピアス加工を行うには、集光レンズによるレーザ光の集光径dとレーリー長Zrとの比Zr/dを所定範囲に設定すると、厚板のピアス加工を能率よく行い得ることを見出した。
本発明は、前述のごとき問題に鑑みてなされたもので、波長が1μm帯のレーザ光によって金属材料にピアス加工を行う加工方法であって、レーザ光の集光径をd、レーリー長をZrとするとき、8≦Zr/d≦12の範囲に保持してピアス加工を行うことを特徴とするものである。
また、前記ピアス加工方法において、前記集光径dとレーリー長Zrとの比Zr/dは、9≦Zr/d≦11であることを特徴とするものである。
また、前記ピアス加工方法において、Zr/dは、Zr/d≒10であることを特徴とするものである。
また、前記ピアス加工方法において、レーザ光の焦点位置を、ワークの表面又はワークの外部に設定してあることを特徴とするものである。
また、前記ピアス加工方法において、レーザ光のビームプロファイルは山高帽子状であることを特徴とするものである。
また、前記ピアス加工方法において、レーザ光のビームプロファイルは、光強度の高い径がワーク上面からワーク下面にかけてほぼ一定であり、かつワーク下面付近においては山高帽状を呈するモードであることを特徴とするものである。
また、波長が1μm帯のレーザ光によって金属材料にピアス加工を行うレーザ加工機であって、波長が1μm帯のレーザ光を発振するファイバーレーザ発振器と、金属材料にピアス加工を行うレーザ加工ヘッドに接続したプロセスファイバーと、前記ファイバーレーザ発振器から発振されたレーザ光を前記プロセスファイバーへ伝送するビーム品質可変装置と、前記レーザ加工ヘッドから金属材料へ照射されるレーザ光の集光径dとレーリー長Zrとの関係が8≦Zr/d≦12の範囲に保持されるように前記ビーム品質可変装置を制御する制御装置と、を備えていることを特徴とするものである。
また、波長が1μm帯のレーザ光によって金属材料にピアス加工を行う加工方法であって、前記レーザ光のビームプロファイルは、光強度の高い径がワーク上面からワーク下面にかけてほぼ一定であり、かつワーク下面付近においては山高帽状を呈し、ピアス穴の内側で溶解した金属をアシストガス圧でもって排出するモードであることを特徴とするものである。
本発明によれば、レーザ光の集光径dとレーリー長Zrとの比を適正の範囲に設定してピアス加工を行うものであるから、厚板のピアス加工をも能率よく行うことができるものである。
図1に概念的、概略的に示すように、本発明の実施形態に係るレーザ加工機(レーザ加工システム)1は、レーザ発振器3と加工機本体5とを備えている。上記レーザ発振器3は、波長が1μm帯のレーザ光を発振するファイバーレーザ発振器等のごときレーザ発振器である。なお、前記レーザ発振器3は、波長が1μm未満の種光をもつ半導体レーザ光をダイレクトダイオードレーザとすることも可能である。前記加工機本体5は、例えばワークテーブル7上に載置された軟鋼板などのごとき厚板状のワークWに対してX,Y,Z軸方向へ相対的に移動位置決め自在なレーザ加工ヘッド9を備えている。このレーザ加工ヘッド9には、集光レンズ(図示省略)が備えられている。なお、前記レーザ発振器3及び加工機本体5は、既に知られている構成であってよいものであるから、レーザ発振器3及び加工機本体5の構成の詳細についての説明は省略する。
前記レーザ発振器3と前記レーザ加工ヘッド9は、プロセスファイバー11を介して光学的に接続してある。そして、このプロセスファイバー11にはビーム品質可変装置13が介設してある。このビーム品質可変装置13は、例えば、WO2013/086227A1、特開2012−24782号公報等に記載されているように、既に公知であるから、ビーム品質可変装置13の構成についての詳細な説明は省略する。この種のビーム品質可変装置13は、レーザ発振器3から発振されたレーザ光を、ガウシアン型のシングルモードから例えば山高帽状(トップハット型)のマルチモードに変換可能なものである。
前記レーザ加工機1は、例えばNC装置などのごとき制御装置15を備えている。この制御装置15はコンピュータから構成してあって、前記レーザ発振器3の出力及び前記加工機本体5に備えられた前記レーザ加工ヘッド9の動作を制御する機能を有する。さらに、前記制御装置15は、前記レーザ発振器3から発振されたレーザ光を、所望のマルチモードのビームモードに変換すべく、前記ビーム品質可変装置13を制御する機能を有するものである。
上記構成により、制御装置15の制御の下にレーザ発振器3の出力を制御すると共にレーザ加工ヘッド9の動作を制御することにより、ワークテーブル7上のワークWに対してレーザ加工を行うことができるものである。この際、制御装置15の制御の下にビーム品質可変装置13を制御することにより、前記レーザ発振器3から発振されたレーザ光のビームプロファイル(ビームモード)を、シングルモード(ガウシアン型)からマルチモード(トップハット型又はリング型)に変換してプロセスファイバー11に伝送することができるものである。したがって、レーザ加工ヘッド9に備えた集光レンズは、マルチモードのレーザ光を集光してワークWに照射することになる。
ところで、レーザ加工ヘッド9に集光レンズとしてアキシコンレンズを備えた別の構成においては、焦点位置を経たレーザビームはリングモードに変換されるものである。このリングモードは、板状のワーク(軟鋼板)のレーザ切断加工に適するものの、厚板のレーザ切断加工を開始するためのピアス加工時には時間を要し、ピアス加工を繰り返すレーザ切断加工においては、ピアス加工をより短時間で行うことが望まれていた。
レーザ加工においてのピアス加工は、従来は、レーザ光が集光された焦点位置をワークの上面(表面)又はその近傍に設定し、一気に加熱、溶融、除去することが行われている。集光レンズとしてアキシコンレンズを備えた前記レーザ加工ヘッド9を用いて厚板のピアス加工を行う場合、焦点位置の下方位置においてはレーザ光がリングモードに拡大するので、レーザ光がピアス加工に効果的に作用せず、ピアス加工時間が長くなるものであった。
そこで、前記ビーム品質可変装置13によってレーザ光のビームモードを種々変換すると共に、ワーク表面(上面)に対する焦点位置を種々変更して厚板のピアス加工を行った。ところで、ワークにピアス加工を行う場合、溶融金属をアシストガスによって除去しつつ穴加工を行うものである。ここで、集光径dが小さい場合、ピアス加工の穴内で発生した溶融金属が小さな上部穴から排出することが難しくなる。また、集光径dが大きい場合には、ワークWに照射されるエネルギ密度が低下し、溶融能力が低下すると共に、アシストガスによって除去する溶融金属の量が多くなる。さらに、集光したレーザビームのレーリー長Zrが短い場合には、ピアス加工が進行し穴が深くなると、レーザ光が拡がり、エネルギ密度が低下して、溶融能力が低下することになる。
そこで、前記ビーム品質可変装置13を使用してレーザ光のモード(プロファイル)を変換すると、集光径dとレーリー長Zrとを連続的に調節することが可能である。したがって、前記集光径dとレーリー長Zrとの関係と厚板(軟鋼板、t=19mm,22mm,25mm)のピアス加工時間との良好な関係を見出すために種々の試験を行ったところ、前記集光径dとレーリー長Zrとの比Zr/dが所定の範囲にあるときに、厚板のピアス加工時間が短くなることを見出した。
すなわち、図2に示すように、レーザ光の焦点位置をワークの表面又はワークの外部に設定し、レーザビームのビーム品質を変更して厚板のピアス加工を行った。そして、上記ビーム品質の変更に伴う集光径dとレーリー長Zrとを調べ、レーリー長Zr/集光径dを調べた。図2(A)のビームプロファイルにおいては集光径d=0.148mm、レーリー長Zr=1.98mmでZr/d≒13である。図2(B)の場合、d=0.185mm、Zr=2.34mmで、Zr/d≒12.6、図2(C)の場合、d=0.253mm、Zr=2.54mmで、Zr/d≒10、図2(D)の場合、d=0.307mm、Zr=2.49mmで、Zr/d≒8.1である。そして、図2(E)の場合、d=0.328mm、Zr=2.42mmで、Zr/d≒7.4である。
そして、図2(A)〜図2(E)に示したビームプロファイルでもって厚板のピアス加工を行ったピアス時間とZr/dとの関係は、図3に示すとおりであった。図3から明らかなように、Zr/dの範囲は、8≦Zr/d≦12の範囲が望ましいものである。ここで、Zr/d≒10は図2(C)に示されるビームプロファイルである。このビームプロファイルは、ピアス加工時間が最小となり、最も好ましいものである。そして、このビームプロファイルは、ワークWを貫通した位置付近においては、いわゆる山高帽子状(トップハット型)であった。つまり、ワーク上面から下面にかけて光強度の高い径がほぼ一定であり、かつワーク下面においてはガウシアン型でもリング型でもない山高帽状(トップハット型)を呈するものであるから、ピアス穴の内側で溶解した金属をアシストガス圧で以って排出しやすいビームプロファイルとなっている。
そして、図3から明らかなように、次に好ましい範囲としては、9≦Zr/d≦11の範囲である。すなわち、ピアス加工時間は、Zr/d≒10の場合に比較して多少長くなるものの、許容範囲内の時間である。
図2,図3から明らかなように、Zr/d<8になる領域は、図2(E)であって、ビーム径が次第に大きくなるものであるから、レーザ光の広がり角度が大きく、厚板を貫通する深い位置付近においてのエネルギ密度が小さくなる傾向にある。また、Zr/d>12は、図2(B),(A)であって、ビーム径が小さなものである。この場合、レーザビームの広がり角が小さく、厚板のピアス加工を行う深い位置でのビーム径が小さく、深い位置で溶融した金属の排除が難しくなるものである。よって、Zr/dは、8≦Zr/d≦12の範囲が望ましいものである。
1 レーザ加工機(レーザ加工システム)
3 レーザ発振器
5 加工機本体
7 ワークテーブル
9 レーザ加工ヘッド
11 プロセスファイバー
13 ビーム品質可変装置
3 レーザ発振器
5 加工機本体
7 ワークテーブル
9 レーザ加工ヘッド
11 プロセスファイバー
13 ビーム品質可変装置
Claims (8)
- 波長が1μm帯のレーザ光によって金属材料にピアス加工を行う加工方法であって、レーザ光の集光径をd、レーリー長をZrとするとき、8≦Zr/d≦12の範囲に保持してピアス加工を行うことを特徴とするピアス加工方法。
- 請求項1に記載のピアス加工方法において、前記集光径dとレーリー長Zrとの比Zr/dは、9≦Zr/d≦11であることを特徴とするピアス加工方法。
- 請求項2に記載のピアス加工方法において、Zr/dは、Zr/d≒10であることを特徴とするピアス加工方法。
- 請求項1,2又は3に記載のピアス加工方法において、レーザ光の焦点位置を、ワークの表面又はワークの外部に設定してあることを特徴とするピアス加工方法。
- 請求項1〜4のいずれかに記載のピアス加工方法において、前記レーザ光のビームプロファイルは、光強度の高い径がワーク上面からワーク下面にかけてほぼ一定であり、かつワーク下面付近においては山高帽状を呈するモードであることを特徴とするピアス加工方法。
- 請求項5に記載のピアス加工方法において、レーザ光のビームプロファイルは、シングルモードのレーザ光を、ビーム品質可変装置によって山高帽子状に変換してあることを特徴とするピアス加工方法。
- 波長が1μm帯のレーザ光によって金属材料にピアス加工を行うレーザ加工機であって、波長が1μm帯のレーザ光を発振するファイバーレーザ発振器と、金属材料にピアス加工を行うレーザ加工ヘッドに接続したプロセスファイバーと、前記ファイバーレーザ発振器から発振されたレーザ光を前記プロセスファイバーへ伝送するビーム品質可変装置と、前記レーザ加工ヘッドから金属材料へ照射されるレーザ光の集光径dとレーリー長Zrとの関係が8≦Zr/d≦12の範囲に保持されるように前記ビーム品質可変装置を制御する制御装置と、を備えていることを特徴とするレーザ加工機。
- 波長が1μm帯のレーザ光によって金属材料にピアス加工を行う加工方法であって、前記レーザ光のビームプロファイルは、光強度の高い径がワーク上面からワーク下面にかけてほぼ一定であり、かつワーク下面付近においては山高帽状を呈し、ピアス穴の内側で溶解した金属をアシストガス圧でもって排出するモードであることを特徴とするピアス加工方法。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2014208544A JP5953353B2 (ja) | 2014-10-10 | 2014-10-10 | ピアス加工方法及びレーザ加工機 |
| US15/514,074 US10328528B2 (en) | 2014-10-10 | 2015-09-09 | Piercing processing method and laser processing machine |
| EP15848766.0A EP3205439B1 (en) | 2014-10-10 | 2015-09-09 | Piercing method and laser processing apparatus |
| PCT/JP2015/075608 WO2016056342A1 (ja) | 2014-10-10 | 2015-09-09 | ピアス加工方法及びレーザ加工機 |
| CN201580052476.2A CN107000121B (zh) | 2014-10-10 | 2015-09-09 | 贯穿加工方法以及激光加工机 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2014208544A JP5953353B2 (ja) | 2014-10-10 | 2014-10-10 | ピアス加工方法及びレーザ加工機 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2016078024A true JP2016078024A (ja) | 2016-05-16 |
| JP5953353B2 JP5953353B2 (ja) | 2016-07-20 |
Family
ID=55652965
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2014208544A Active JP5953353B2 (ja) | 2014-10-10 | 2014-10-10 | ピアス加工方法及びレーザ加工機 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US10328528B2 (ja) |
| EP (1) | EP3205439B1 (ja) |
| JP (1) | JP5953353B2 (ja) |
| CN (1) | CN107000121B (ja) |
| WO (1) | WO2016056342A1 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20200306892A1 (en) * | 2017-10-06 | 2020-10-01 | Amada Holdings Co., Ltd. | Laser cutting method for plated steel sheet, laser processing head and laser processing device |
| JP2021511967A (ja) * | 2018-02-02 | 2021-05-13 | エスピーアイ レーザーズ ユーケー リミテッド | 材料をレーザ加工するための装置および方法 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113732405B (zh) * | 2021-09-30 | 2022-10-14 | 安徽省长凌智能装备有限公司 | 光纤穿孔机 |
Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000141070A (ja) * | 1998-11-05 | 2000-05-23 | Amada Eng Center Co Ltd | レーザ加工ヘッド |
| JP2003220487A (ja) * | 2002-01-23 | 2003-08-05 | Fine Device:Kk | レーザ加工方法及びレーザ加工装置 |
| JP2005021964A (ja) * | 2003-07-02 | 2005-01-27 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | レーザーアブレーション加工方法およびその装置 |
| JP2011031283A (ja) * | 2009-08-03 | 2011-02-17 | Amada Co Ltd | 小型熱レンズ補償加工ヘッド |
| JP2011056529A (ja) * | 2009-09-09 | 2011-03-24 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | レーザ加工方法 |
| JP2012024782A (ja) * | 2010-07-20 | 2012-02-09 | Amada Co Ltd | 固体レーザ加工装置 |
| JP2013075331A (ja) * | 2011-09-16 | 2013-04-25 | Amada Co Ltd | レーザ切断加工方法及び装置 |
| WO2013086227A1 (en) * | 2011-12-09 | 2013-06-13 | Jds Uniphase Corporation | Varying beam parameter product of a laser beam |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5267012A (en) * | 1989-04-27 | 1993-11-30 | Coherent, Inc. | Apparatus for measuring the mode quality of a laser beam |
| DE69737991T2 (de) | 1996-11-20 | 2008-04-30 | Ibiden Co., Ltd., Ogaki | Laserbearbeitungsvorrichtung, verfahren und vorrichtung zur herstellung einer mehrschichtigen, gedruckten leiterplatte |
| JP3512624B2 (ja) * | 1998-03-13 | 2004-03-31 | 三菱電機株式会社 | 配線基板加工用レーザ加工装置およびその方法 |
| JP4631044B2 (ja) * | 2004-05-26 | 2011-02-16 | 国立大学法人北海道大学 | レーザ加工方法および装置 |
| JP4182034B2 (ja) | 2004-08-05 | 2008-11-19 | ファナック株式会社 | 切断加工用レーザ装置 |
| JP4925616B2 (ja) | 2005-07-08 | 2012-05-09 | 株式会社アマダ | ピアス加工方法及びレーザ加工装置 |
| DE102007046074A1 (de) * | 2007-09-24 | 2009-04-09 | Trumpf Laser- Und Systemtechnik Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zur Laserbearbeitung |
| JP5361999B2 (ja) * | 2009-05-25 | 2013-12-04 | 三菱電機株式会社 | レーザ加工装置およびレーザ加工方法 |
| JP4611431B1 (ja) * | 2009-06-29 | 2011-01-12 | 西進商事株式会社 | レーザー照射装置及びレーザー加工方法 |
| CN103534056B (zh) * | 2011-05-19 | 2016-01-13 | 村田机械株式会社 | 激光加工机 |
| JP5832412B2 (ja) | 2012-11-12 | 2015-12-16 | 三菱重工業株式会社 | 光学系及びレーザ加工装置 |
-
2014
- 2014-10-10 JP JP2014208544A patent/JP5953353B2/ja active Active
-
2015
- 2015-09-09 EP EP15848766.0A patent/EP3205439B1/en active Active
- 2015-09-09 US US15/514,074 patent/US10328528B2/en active Active
- 2015-09-09 CN CN201580052476.2A patent/CN107000121B/zh active Active
- 2015-09-09 WO PCT/JP2015/075608 patent/WO2016056342A1/ja not_active Ceased
Patent Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000141070A (ja) * | 1998-11-05 | 2000-05-23 | Amada Eng Center Co Ltd | レーザ加工ヘッド |
| JP2003220487A (ja) * | 2002-01-23 | 2003-08-05 | Fine Device:Kk | レーザ加工方法及びレーザ加工装置 |
| JP2005021964A (ja) * | 2003-07-02 | 2005-01-27 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | レーザーアブレーション加工方法およびその装置 |
| JP2011031283A (ja) * | 2009-08-03 | 2011-02-17 | Amada Co Ltd | 小型熱レンズ補償加工ヘッド |
| JP2011056529A (ja) * | 2009-09-09 | 2011-03-24 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | レーザ加工方法 |
| JP2012024782A (ja) * | 2010-07-20 | 2012-02-09 | Amada Co Ltd | 固体レーザ加工装置 |
| JP2013075331A (ja) * | 2011-09-16 | 2013-04-25 | Amada Co Ltd | レーザ切断加工方法及び装置 |
| WO2013086227A1 (en) * | 2011-12-09 | 2013-06-13 | Jds Uniphase Corporation | Varying beam parameter product of a laser beam |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20200306892A1 (en) * | 2017-10-06 | 2020-10-01 | Amada Holdings Co., Ltd. | Laser cutting method for plated steel sheet, laser processing head and laser processing device |
| US11691225B2 (en) * | 2017-10-06 | 2023-07-04 | Amada Holdings Co., Ltd. | Laser cutting method for plated steel sheet, laser processing head and laser processing device |
| JP2021511967A (ja) * | 2018-02-02 | 2021-05-13 | エスピーアイ レーザーズ ユーケー リミテッド | 材料をレーザ加工するための装置および方法 |
| JP7334170B2 (ja) | 2018-02-02 | 2023-08-28 | トルンプ レーザー ユーケー リミティド | 材料をレーザ加工するための装置および方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP5953353B2 (ja) | 2016-07-20 |
| US20170297146A1 (en) | 2017-10-19 |
| CN107000121A (zh) | 2017-08-01 |
| EP3205439A4 (en) | 2018-07-18 |
| WO2016056342A1 (ja) | 2016-04-14 |
| US10328528B2 (en) | 2019-06-25 |
| EP3205439B1 (en) | 2020-03-25 |
| CN107000121B (zh) | 2019-06-11 |
| EP3205439A1 (en) | 2017-08-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5361999B2 (ja) | レーザ加工装置およびレーザ加工方法 | |
| US9919383B2 (en) | Laser machining method and laser machining apparatus | |
| CN106735943B (zh) | 一种激光辅助加热长脉冲激光打孔装置及其方法 | |
| JP5276699B2 (ja) | ピアシングを行うレーザ加工方法及びレーザ加工装置 | |
| US20090224432A1 (en) | Method of forming split originating point on object to be split, method of splitting object to be split, and method of processing object to be processed by pulse laser beam | |
| JP6190855B2 (ja) | レーザ加工方法およびレーザ加工装置 | |
| JP2005179154A (ja) | 脆性材料の割断方法およびその装置 | |
| WO2015132640A1 (ru) | Способ лазерной наплавки и устройство для его осуществления | |
| CN105339129A (zh) | 借助激光束刺入金属工件中的方法 | |
| JP2016198788A (ja) | レーザー加工装置 | |
| CN108994450A (zh) | 激光加工方法和激光加工装置 | |
| JP2004154813A (ja) | レーザ加工方法および装置 | |
| JP5953353B2 (ja) | ピアス加工方法及びレーザ加工機 | |
| JP2004358521A (ja) | レーザ熱加工装置、レーザ熱加工方法 | |
| JP5467345B2 (ja) | ディスプレイパネルへの塗布方法およびディスプレイパネルの製造方法 | |
| JP2015199114A (ja) | レーザ加工装置及びレーザ加工方法 | |
| JP2005021964A (ja) | レーザーアブレーション加工方法およびその装置 | |
| JP2008006652A (ja) | 硬脆材料板体の分割加工方法 | |
| JP2005178288A (ja) | 脆性材料の割断方法とその装置 | |
| JPS5976687A (ja) | レ−ザ切断方法 | |
| JP2012066265A (ja) | レーザ加工方法 | |
| WO2016059937A1 (ja) | ダイレクトダイオードレーザ光による板金の加工方法及びこれを実行するダイレクトダイオードレーザ加工装置 | |
| JP6431867B2 (ja) | レーザ加工機 | |
| KR102349328B1 (ko) | 레이저 보조 미세가공 시스템 및 이를 이용한 미세가공 방법 | |
| JP4925616B2 (ja) | ピアス加工方法及びレーザ加工装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160517 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160613 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5953353 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |