JP2016129934A

JP2016129934A - スクリーン印刷装置及びペースト練合せ方法

Info

Publication number: JP2016129934A
Application number: JP2015003849A
Authority: JP
Inventors: 聖弥黒田; Seiya Kuroda; 萬谷　正幸; Masayuki Mantani; 正幸萬谷
Original assignee: Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd
Current assignee: Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd
Priority date: 2015-01-13
Filing date: 2015-01-13
Publication date: 2016-07-21

Abstract

【課題】クランパのサイズを小型化でき、ひいては装置全体のサイズのコンパクト化を図ることができるスクリーン印刷装置及びペースト練合せ方法を提供することを目的とする。
【解決手段】一対のスキージ４２のうちの一方のみを練合せエリア内に当接させてその一方のスキージ４２によってペーストＰｓｔを練合せエリア内で掻き寄せたうえで一方のスキージ４２を上昇させ、次いで一対のスキージ４２のうちの他方のスキージ４２のみを練合せエリア内に当接させてその他方のスキージ４２によってペーストＰｓｔを練合せエリア内で掻き寄せたうえで他方のスキージ４２を上昇させるペースト練合せ動作を行う。他方のスキージ４２の練合せエリア内への当接地点Ｐ１は、一方のスキージ４２による練合せエリア内でのペーストＰｓｔの掻寄せが終了した時点における他方のスキージ４２の下端の直下の地点Ｐ２よりも一方のスキージ４２の側に寄った位置に設定される。
【選択図】図１１

Description

本発明は、基板を接触させたマスクプレート上でスキージを摺動させてペーストを掻き寄せることにより、ペーストをマスクプレートのパターン開口に充填させるスクリーン印刷装置及びこのスクリーン印刷装置によるペースト練合せ方法に関するものである。

従来、スクリーン印刷装置は、基板を接触させたマスクプレート上でスキージを摺動（当接させて水平移動）させることで、マスクプレートに開口して形成されたパターンを基板に転写させる構成となっている。スキージはマスクプレートの上方に水平方向（摺動方向）に２つ並んで設けられており、一方側のみを選択的にマスクプレートに当接させて摺動させる。

このようなスクリーン印刷装置において用いられるペーストは、マスクプレート上で掻き寄せられてローリングされている間は粘度が低く、マスクプレートのパターン開口内への充填性が高いが、ローリングが休止されると粘度が高くなってパターン開口内への充填性が低くなり、印刷精度が低下してしまう。このためスクリーン印刷装置の中には、スクリーン印刷動作を長時間（例えば３０分）休止した状態が継続した場合には、マスクプレート上の所定領域（通常、基板をクランプするクランパと接触したマスクプレート上の領域）内で一対のスキージを交代で摺動させてペーストをローリングさせるペースト練合せ動作を実行するようになっているものがある（例えば下記の特許文献１）。

特開平９−１９３３４３号公報

しかしながら、上記従来のスクリーン印刷装置では、ペーストの練合せ時には、２つのスキージが同時にマスクプレートに当接した状態で往復移動することから、２つのスキージがともに練合せエリアから逸脱しないようにするためには、練合せエリアの寸法（ペーストの掻寄せ方向の寸法）として、ペーストの練合せに最低限必要なローリング距離を大きく超えた距離（具体的には２つのスキージの下端同士の距離の２倍の距離）が必要であり、クランパのサイズが大型化するという問題点があった。

そこで本発明は、クランパのサイズを小型化でき、ひいては装置全体のサイズのコンパクト化を図ることができるスクリーン印刷装置及びペースト練合せ方法を提供することを目的とする。

本発明のスクリーン印刷装置は、基板を側方からクランプする一対のクランパと、前記一対のクランパによりクランプされた前記基板と接触するマスクプレートと、前記マスクプレートの上方に水平方向に並んで設けられた一対のスキージと、前記一対のスキージの一方側を選択的に前記マスクプレートに当接させて水平移動させることにより前記スキージを前記マスクプレート上で摺動させるスキージ制御部とを備えたスクリーン印刷装置であって、前記スキージ制御部は、前記基板と接触した前記マスクプレートが前記一対のクランパの一方と接触している領域を練合せエリアとしてその練合せエリアでペーストを練り合わせる場合に、前記一対のスキージのうちの一方のみを前記練合せエリア内に当接させてその一方のスキージによってペーストを前記練合せエリア内で掻き寄せたうえで前記一方のスキージを上昇させ、次いで前記一対のスキージのうちの他方のスキージのみを前記練合せエリア内に当接させてその他方のスキージによってペーストを前記練合せエリア内で掻き寄せたうえで前記他方のスキージを上昇させるペースト練合せ動作を行い、前記他方のスキージの前記練合せエリア内への当接地点は、前記一方のスキージによる前記練合せエリア内でのペーストの掻寄せが終了した時点における前記他方のスキージの下端の直下の地点よりも前記一方のスキージの側に寄った位置に設定される。

本発明のペースト練合せ方法は、基板を側方からクランプする一対のクランパと、前記一対のクランパによりクランプされた前記基板と接触するマスクプレートと、前記マスクプレートの上方に水平方向に並んで設けられた一対のスキージとを備え、前記一対のスキージの一方側を選択的に前記マスクプレートに当接させて水平移動させることにより前記スキージを前記マスクプレート上で摺動させるスクリーン印刷装置において、前記基板と接触した前記マスクプレートが前記一対のクランパの一方と接触している領域を練合せエリアとしてその練合せエリアでペーストを練り合わせるペースト練合せ方法であって、前記一対のスキージのうちの一方のみを前記練合せエリア内に当接させる第１工程と、前記第１工程の後、前記一方のスキージによってペーストを前記練合せエリア内で掻き寄せる第２工程と、前記第２の工程の後、前記一方のスキージを上昇させる第３工程と、前記第３工程の後、前記一対のスキージのうちの他方のスキージのみを前記練合せエリア内に当接させる第４工程と、前記第４工程の後、前記他方のスキージによってペーストを前記練合せエリア内で掻き寄せる第５工程と、前記第５工程の後、前記他方のスキージを上昇させる第６工程とを含み、前記他方のスキージの前記練合せエリア内への当接地点は、前記一方のスキージによる前記練合せエリア内でのペーストの掻寄せが終了した時点における前記他方のスキージの下端の直下の地点よりも前記一方のスキージの側に寄った位置に設定される。

本発明によれば、クランパのサイズを小型化でき、ひいては装置全体のサイズのコンパクト化を図ることができる。

本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置の斜視図本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置の側面図本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置の部分斜視図本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置の部分平面図本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置の制御系統を示すブロック図（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が行うスクリーン印刷動作の説明図（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が行うスクリーン印刷動作の説明図（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が行うスクリーン印刷動作の説明図（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が行うスクリーン印刷動作の説明図（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が行うペースト練合せ動作の説明図（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が行うペースト練合せ動作の説明図（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が行うペースト練合せ動作の説明図（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が行うペースト練合せ動作の説明図

以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置１を示している。スクリーン印刷装置１は上流工程側から投入された基板２を受け取ってその基板２の各電極２ｄにペーストＰｓｔをスクリーン印刷し、下流工程側の装置（例えば図示しない部品実装装置）に受け渡すスクリーン印刷動作を繰り返し実行する。本実施の形態では説明の便宜上、作業者ＯＰから見た左右方向をＸ軸方向とし、左方を上流工程側、右方を下流工程側とする。また、作業者ＯＰから見た前後方向をＹ軸方向とし、上下方向をＺ軸方向とする。

図１及び図２において、スクリーン印刷装置１は基台１１上に基板保持移動機構１２を備えており、基板保持移動機構１２の上方にはマスクプレート１３が設けられている。図３及び図４に示すように、基板保持移動機構１２の左方には、スクリーン印刷装置１の上流工程側から投入された基板２を受け取って基板保持移動機構１２に搬送する搬入コンベア１４が設けられている。また、基板保持移動機構１２の右方には、基板保持移動機構１２から基板２を受け取って下流工程側に搬送する搬出コンベア１５が設けられている。マスクプレート１３の下方領域にはカメラ１６が移動自在に設けられており、マスクプレート１３の上方領域には印刷ヘッド１７が移動自在に設けられている。

図２及び図３において、基板保持移動機構１２は、基板保持部２１と移動テーブル部２２から成る。基板保持部２１は位置決めコンベア３１（図４も参照）、下受け部３２及び前後一対のクランパ３３（図４も参照）を備えている。位置決めコンベア３１は搬入コンベア１４から受け取った基板２を所定のクランプ位置に位置決めする。下受け部３２は位置決めコンベア３１がクランプ位置に位置決めした基板２を下方から支持し、クランパ３３はその基板２を側方（Ｙ軸方向）からクランプして保持する。基板保持部２１が備える２つのクランパ３３のうち、作業者ＯＰの側に位置するものを前方クランパ３３Ｆと称し、作業者ＯＰとは反対の側に位置するものを後方クランパ３３Ｒと称する。移動テーブル部２２は複数のテーブル機構が多段積みされて成るＸＹθテーブル機構から成り、基板保持部２１を水平面内方向及び上下方向に移動させる。

図１及び図２において、マスクプレート１３はＸＹ平面に広がった矩形平板形状の金属部材から成る。図４において、マスクプレート１３の中央の矩形領域は下面が基板２と接触する基板接触領域Ｒとなっている。基板接触領域Ｒにはパターン開口１３ｈが基板２の電極２ｄの配置に対応して設けられている。マスクプレート１３の外周は枠部材１３Ｗによって支持されている。

図２において、カメラ１６は、撮像視野を上方に向けた上方撮像部１６ａと、撮像視野を下方に向けた下方撮像部１６ｂを備える。カメラ１６はボール螺子機構をアクチュエータとするカメラ移動機構１６Ｋ（図１も参照）に駆動されてＸＹ面内で移動する。

図１及び図２において、印刷ヘッド１７は、移動ベース４１と、２つのスキージ４２と、２つのスキージ昇降シリンダ４３から成る。移動ベース４１はＸ軸方向に延びた部材であり、ボール螺子機構をアクチュエータとする印刷ヘッド移動機構１７Ｋに駆動されてＹ軸方向に移動する。２つのスキージ４２は移動ベース４１に前後に並んで対向配設されており、移動ベース４１のＹ軸方向への移動によって２つ一体となってＹ軸方向に往復移動する。前後の２つのスキージ４２のうち、前方（図２の紙面右側）に位置するものを前方スキージ４２Ｆと称し、後方（図２の紙面左側）に位置するものを後方スキージ４２Ｒと称する。２つのスキージ４２はそれぞれＸ軸方向に延びた「へら」状の部材から成り、互いに下方に広がる姿勢で斜め下方に延びている。前方スキージ４２Ｆについては後側の面がペースト掻寄せ面であり、後方スキージ４２Ｒについては前側の面がペースト掻寄せ面である。

２つのスキージ昇降シリンダ４３は２つのスキージ４２に対応して移動ベース４１に前後方向に並んで設けられている。２つのスキージ昇降シリンダ４３は個別に作動して２つのスキージ４２を移動ベース４１に対して独立して昇降させる。各スキージ昇降シリンダ４３は対応するスキージ４２を、そのスキージ４２の下端がマスクプレート１３の上面から所定距離だけ離間した待機高さ位置（図２中に示す紙面右側のスキージ４２参照）と、下端がマスクプレート１３に当接する当接高さ位置との間で昇降させることができる。

搬入コンベア１４による基板２の搬送動作、基板保持移動機構１２による基板２の保持及び移動動作、搬出コンベア１５による基板２の搬送動作の各制御は、スクリーン印刷装置１が備える制御装置６０（図５）が行う。また、カメラ移動機構１６Ｋによるカメラ１６の移動動作とカメラ１６の撮像動作、印刷ヘッド移動機構１７Ｋによる印刷ヘッド１７の移動動作及びスキージ昇降シリンダ４３による各スキージ４２の昇降動作の各制御も制御装置６０が行う。カメラ１６の撮像によって得られた画像データは制御装置６０に送られ、制御装置６０の画像処理部６０ａ（図５）において画像認識がなされる。

次に、上記構成のスクリーン印刷装置１の動作を説明する。上流工程側から基板２が投入されると、その基板２を搬入コンベア１４が受け取り、基板保持部２１に受け渡す。基板保持部２１は、搬入コンベア１４から受け取った基板２を位置決めコンベア３１によって所定のクランプ位置に位置決めし、下受け部３２により下方から支持したうえで、クランパ３３によってクランプする（図６（ａ）。図中に示す矢印Ａ）。基板保持部２１が基板２を保持したら、移動テーブル部２２が基板保持部２１を移動させ、基板２をマスクプレート１３の基板接触領域Ｒの下方に位置させる（図６（ｂ）。図中に示す矢印Ｂ）。

基板２が基板接触領域Ｒの下方に位置したらカメラ１６が移動し、上方撮像部１６ａによって基板接触領域Ｒ内に設けられたマスク側マーク１３ｍ（図４）を下方から撮像し、下方撮像部１６ｂによって基板保持部２１に保持された基板２の基板側マーク２ｍ（図３）を上方から撮像する（図７（ａ））。カメラ１６による撮像が終了したら、基板保持移動機構１２は、マスク側マーク１３ｍと基板側マーク２ｍが平面視において一致するように基板２を移動させたうえで上昇させ、基板接触領域Ｒに基板２を接触させる（図７（ｂ）。図中に示す矢印Ｃ）。これにより各電極２ｄは対応するパターン開口１３ｈと合致してマスクプレート１３の上面側に露出する。

上記のように基板２が基板接触領域Ｒに接触すると、前方クランパ３３Ｆは基板接触領域Ｒの前方領域でマスクプレート１３の下面に接触し、後方クランパ３３Ｒは基板接触領域Ｒの後方領域でマスクプレート１３の下面に接触する。本実施の形態では、前方クランパ３３Ｆがマスクプレート１３と接触する部分の上面領域を前方待機領域ＴＦと称し、後方クランパ３３Ｒがマスクプレート１３と接触する部分の上面領域を後方待機領域ＴＲと称する（図４）。前方待機領域ＴＦと後方待機領域ＴＲはそれぞれ、印刷動作開始前にペーストＰｓｔを待機させる領域となる。本実施の形態では、ペーストＰｓｔは初め、前方待機領域ＴＦに供給される（図４）。

次に、スクリーン印刷装置１によるスクリーン印刷動作の手順を説明する。ここではスキージ昇降シリンダ４３、印刷ヘッド移動機構１７Ｋ及び制御装置６０をスキージ制御部７０と称する（図５）。

スキージ制御部７０は、前方スキージ４２Ｆでマスクプレート１３上のペーストＰｓｔを掻き寄せてマスクプレート１３のパターン開口１３ｈにペーストＰｓｔを充填させる場合には、先ず、待機高さ位置に位置した２つのスキージ４２のうち前方スキージ４２Ｆのみを当接高さ位置に下降させて、前方スキージ４２Ｆの下端を前方待機領域ＴＦに当接させる。このときスキージ制御部７０は、移動ベース４１をＹ軸方向に移動させて、前方スキージ４２Ｆのペースト掻寄せ面がペーストＰｓｔの前端に接触するようにする（図８（ａ））。そして、移動ベース４１を後方に移動させ、前方スキージ４２Ｆをマスクプレート１３上で摺動させることによって、ペーストＰｓｔを後方に掻き寄せる（図８（ｂ）中に示す矢印Ｄ１）。これによりペーストＰｓｔがパターン開口１３ｈを通過して後方待機領域ＴＲに移動したら（図８（ｂ））、前方スキージ４２Ｆを上昇させて、待機高さ位置に復帰させる。

一方、スキージ制御部７０は、後方スキージ４２Ｒでマスクプレート１３上のペーストＰｓｔを掻き寄せてマスクプレート１３のパターン開口１３ｈにペーストＰｓｔを充填させる場合には、先ず、待機高さ位置に位置した２つのスキージ４２のうち後方スキージ４２Ｒのみを当接高さ位置に下降させて、後方スキージ４２Ｒの下端を後方待機領域ＴＲに当接させる。このときスキージ制御部７０は、移動ベース４１をＹ軸方向に移動させて、後方スキージ４２Ｒのペースト掻寄せ面がペーストＰｓｔの後端に接触するようにする（図９（ａ））。そして、移動ベース４１を前方に移動させ、後方スキージ４２Ｒをマスクプレート１３上で摺動させることによって、ペーストＰｓｔを前方に掻き寄せる（図９（ｂ）中に示す矢印Ｄ２）。これによりペーストＰｓｔがパターン開口１３ｈを通過して前方待機領域ＴＦに移動したら（図９（ｂ））、後方スキージ４２Ｒを上昇させて、待機高さ位置に復帰させる。

スキージ４２のペースト掻寄せ面によって掻き寄せられたペーストＰｓｔはマスクプレート１３上でローリングし、パターン開口１３ｈを通過するときにそのパターン開口１３ｈ内に充填される。前方スキージ４２Ｆによるパターン開口１３ｈへのペーストＰｓｔの充填或いは後方スキージ４２Ｒによるパターン開口１３ｈへのペーストＰｓｔの充填が終了したら、基板保持移動機構１２は基板保持部２１を下降させて版離れを行う。これにより基板２の各電極２ｄ上にマスクプレート１３の厚さに対応した厚さのペーストＰｓｔの層が形成され、スクリーン印刷が終了する。

上記のようにして基板２上の各電極２ｄにペーストＰｓｔを印刷し、基板２の１枚当たりのスクリーン印刷が終了したら、基板保持移動機構１２はクランパ３３を開いて基板２の保持を解除する。そして、位置決めコンベア３１を作動させて搬出コンベア１５に受け渡し、搬出コンベア１５は受け取った基板２を下流工程側に搬出する。

スクリーン印刷装置１は上述のようにして基板２が投入されるごとにその基板２に対するペーストＰｓｔのスクリーン印刷動作を繰り返し実行するが、所定の条件下（後述）において、スキージ制御部７０は、ペーストＰｓｔが固化しないようにするためペーストＰｓｔを練り合わせるペースト練合せ動作を実行する。このペースト練合せ動作は、マスクプレート１３上の所定領域を練合せエリアとし、その練合せエリアで一対のスキージ４２によってペーストＰｓｔを交代で逆方向にローリングさせて練り合わせるものである。上記練合せエリアは、通常は基板２と接触したマスクプレート１３が前後一対のクランパ３３の一方と接触している領域である。本実施の形態では、練り合わせ領域が前方待機領域ＴＦに設定されているものとする。

スクリーン印刷装置１において、前方待機領域ＴＦを練合せエリアとしてペースト練合せ動作を行う場合には、スキージ制御部７０は先ず、前方スキージ４２Ｆ（一対のスキージ４２のうちの一方）のみを待機高さ位置から当接高さ位置に下降させて練合せエリア（前方待機領域ＴＦ）内に当接させる（図１０（ａ）中に示す矢印Ｅ１。第１工程）。そして、前方スキージ４２Ｆをマスクプレート１３上で摺動させることによって、練合せエリア内でペーストＰｓｔを掻き寄せる（図１０（ｂ）中に示す矢印Ｆ１。第２工程）。ペーストＰｓｔが予め定めた所定の距離（ペーストＰｓｔの練合せに最低限必要なローリング距離Ｓ。ここではマスクプレート１３に対するペーストＰｓｔの接触領域のＹ軸方向寸法とする）だけローリングしたら（図１０（ｂ））、前方スキージ４２Ｆを上昇させる（図１１（ａ）中に示す矢印Ｅ２。第３工程）。

第３工程で前方スキージ４２Ｆを上昇させるのは、前方スキージ４２ＦがペーストＰｓｔから離間する際に、ペーストＰｓｔが前方スキージ４２Ｆによる掻寄せ方向とは反対の方向（前方）に引き伸ばされることがないようにするためである。これにより、その後に行うスクリーン印刷動作或いは引き続き行うペースト練合せ動作において、ペーストＰｓｔ内に空気が混入しにくくなる。前方スキージ４２Ｆの引き上げ方向は直上でもよいが、前方スキージ４２Ｆのペースト掻寄せ面に対して平行に近い方向（後方斜めの上方）に上昇させるようにしてもよい。

上記第３工程の後は、後方スキージ４２Ｒ（一対のスキージ４２のうちの他方）のみを待機高さ位置から当接高さ位置に下降させて練合せエリア（前方待機領域ＴＦ）内に当接させる（図１１（ｂ）中に示す矢印Ｅ１。第４工程）。このとき、後方スキージ４２Ｒを練合せエリア内に当接させるときの当接地点Ｐ１（図１１（ｂ））は、前方スキージ４２Ｆによる練合せエリア内でのペーストＰｓｔの掻寄せが終了した時点における後方スキージ４２Ｒの下端の直下の地点Ｐ２（図１１（ｂ））よりも前方スキージ４２Ｆの側（前方）に寄った位置に設定されている。このためスキージ制御部７０は、後方スキージ４２Ｒを下降させるのに合わせて移動ベース４１を前方へ移動させる（図１１（ｂ）中に示す矢印Ｆ２）。或いは、移動ベース４１を前方へ移動させた後、後方スキージ４２Ｒを待機高さ位置から当接高さ位置に下降させるようにしてもよい。

上記第４工程において後方スキージ４２Ｒを練合せエリアに当接させたら、後方スキージ４２Ｒをマスクプレート１３上で摺動させることによって、練合せエリア内でペーストＰｓｔを掻き寄せる（図１２（ａ）中に示す矢印Ｆ２。第５工程）。そして、ペーストＰｓｔがローリング距離Ｓだけローリングしたら（図１２（ａ））、後方スキージ４２Ｒを上昇させる（図１２（ｂ）中に示す矢印Ｅ２。第６工程）。

第６工程で後方スキージ４２Ｒを上昇させるのは、後方スキージ４２ＲがペーストＰｓｔから離間する際に、ペーストＰｓｔが後方スキージ４２Ｒによる掻寄せ方向とは反対の方向（後方）に引き伸ばされることがないようにするためである。これにより、その後に行うスクリーン印刷動作或いは引き続き行うペースト練合せ動作において、ペーストＰｓｔ内に空気が混入しにくくなる。後方スキージ４２Ｒの引き上げ方向は直上でもよいが、後方スキージ４２Ｒのペースト掻寄せ面に対して平行に近い方向（前方斜めの上方）に上昇させるようにしてもよい。

上述したペースト練合せ動作によってペーストＰｓｔは練合せエリアで一往復のローリングがなされ、練り合わせられて粘度が低下する。このため、ペーストＰｓｔが固化した状態でスクリーン印刷が行われることによる印刷不良の発生を防止できる。

上述のペースト練合せ動作では、ペーストＰｓｔの掻寄せに関係しない側のスキージ４２をマスクプレート１３上で摺動させないようにするとともに、ペーストＰｓｔの掻寄せを行う側のスキージ４２のマスクプレート１３上での摺動距離が最小になるようにしている。これにより、ペーストＰｓｔの練合せエリアに必要な幅方向の寸法（ペーストＰｓｔの掻寄せ方向、すなわちＹ軸方向の寸法）を、ペーストＰｓｔの練合せに最低限必要なローリング距離Ｓに或る程度の余裕分（Ｐｍ。図１０〜図１２参照）を加算した距離の２倍程度とすることができる（図１１（ａ））。

また、上述のペースト練合せ動作では、練合せエリア内でのペーストＰｓｔの掻寄せが終わった側のスキージ４２を上昇させるようにしている。これにより、練合せエリア内でペーストＰｓｔを掻き寄せ終わったスキージ４２がその掻寄せ時とは反対の方向にペーストＰｓｔを引き伸ばすことがなく、その後に行うスクリーン印刷動作或いは引き続き行うペースト練合せ動作において、ペーストＰｓｔ内に空気が混入しにくくすることができる。

上記の手順の練合せ動作を複数回繰り返し実行するようにすれば（図１３（ａ）→図１３（ｂ））、練合せエリア内でのペーストＰｓｔのローリング距離の積算距離が増大するので、ペーストＰｓｔの粘度低下の面において好ましい。この場合、上記第６工程の後に第１工程を実行することになるが、このとき、前方スキージ４２Ｆ（一方のスキージ４２）の練合せエリア内への当接地点Ｐ３（図１３（ａ））は、後方スキージ４２Ｒ（他方のスキージ４２）による練合せエリア内でのペーストＰｓｔの掻寄せが終了した時点における前方スキージ４２Ｆの下端の直下の地点Ｐ４（図１３（ａ））よりも後方スキージ４２Ｒの側に寄った位置に設定される。このためスキージ制御部７０は、前方スキージ４２Ｆを下降させるのに合わせて（図１３（ａ）中に示す矢印Ｅ１）、移動ベース４１を後方へ移動させる（図１３（ａ）中に示す矢印Ｆ１）。或いは、移動ベース４１を後方へ移動させた後、前方スキージ４２Ｆを待機高さ位置から当接高さ位置に下降させるようにしてもよい。

本実施の形態におけるスクリーン印刷装置１では、制御装置６０に繋がる入力装置８０（図５）から必要な入力を行うことにより、前後一対のスキージ４２それぞれの練合せエリア内への当接地点（前述の当接地点Ｐ１及びＰ２）を任意に設定できるようになっていることが好ましい。このようにすれば、練合せの対象としているペーストＰｓｔの幅方向（Ｙ軸方向）の寸法に応じ、ペースト練合せ動作時のスキージ４２の摺動範囲を必要最小限のものとすることができる。

また、本実施の形態におけるスクリーン印刷装置１では、入力装置８０から必要な入力を行うことにより、ペースト練合せ動作を連続して複数回実行する場合に、ペースト練合せ動作の繰り返し回数或いはペースト練合せ動作の繰り返し時間を設定できるようになっていることが好ましい。このようにすれば、ペーストＰｓｔの練合せを必要かつ十分に行うことができる。

また、本実施の形態におけるスクリーン印刷装置１では、入力装置８０から必要な入力を行うことにより、ペースト練合せ動作におけるスキージ４２のマスクプレート１３上での摺動速度とスキージ４２のマスクプレート１３に対する印圧をそれぞれ任意に設定できるようになっていることが好ましい。このようにすれば、ペーストＰｓｔの材質等に応じた適切な練合せをすることができる。

また、本実施の形態におけるスクリーン印刷装置１では、入力装置８０から必要な入力を行うことにより、ペースト練合せ動作を実行するタイミングを設定できるようになっていることが好ましい。このタイミングとしては、例えば、以下の４つのモードから選択できるものとするとよい。（１）１枚の基板２についてのスクリーン印刷動作を実行する前に必ずペースト練合せ動作を自動実行する。（２）スクリーン印刷動作を行った後、次のスクリーン印刷動作を行う前に、予め設定した基準時間が経過した場合に、ペースト練合せ動作を自動実行する。（３）何らかの理由により作業が中断した（例えばスクリーン印刷装置１の前後に配置された他の装置において作業トラブルが発生した）場合に、残りの基板２に対するスクリーン印刷動作を再開するときの最初、或いはその日の作業の最初において、ペースト練合せ動作を自動実行する。（４）上記（１）と（２）の併用。

上記（１）のモードは、基板２が１枚搬入されるごとにペーストＰｓｔの練合せを行うものであり、基板２の１枚当たりに要する実質的なスクリーン印刷時間は長くなるが、ペーストＰｓｔは常に低粘度に保たれるという利点がある。（２）〜（４）のモードでは、スクリーン印刷動作と次のスクリーン印刷動作との間のインターバル時間が長くなるとペーストＰｓｔの練合せが行われるものであり、（１）のモードほどの時間を要することなく、ペーストの粘度が極端に低下することを防止できるという利点を有する。

以上説明したように、本実施の形態におけるスクリーン印刷装置１及びこのスクリーン印刷装置１によるペースト練合せ方法では、一対のスキージ４２を練合せエリア内を交代で摺動させてペーストＰｓｔを練り合わせるにおいて、一方側のスキージ４２によってペーストＰｓｔを掻き寄せる際には、他の一方側のスキージ４２はマスクプレート１３に当接させないようにしている。そして、そのうえで、一方側のスキージ４２によるペーストＰｓｔの掻寄せが終わった後、他の一方側のスキージ４２を練合せエリア内に当接させる地点（当接地点）は、一方側のスキージ４２によるペーストＰｓｔの掻寄せが終了した時点における他の一方側のスキージ４２の下端の直下の地点よりも一方側のスキージ４２の側に寄った位置に設定している。このため、ペーストＰｓｔの練合せエリアに必要な幅方向の寸法（ペーストＰｓｔの掻寄せ方向の寸法）は、ペーストＰｓｔの練合せに最低限必要なローリング距離Ｓに或る程度の余裕分Ｐｍを加算した距離の２倍程度でよく、クランパ３３のサイズを小型化でき、ひいてはスクリーン印刷装置１の全体のサイズのコンパクト化を図ることができる。

なお、前述の実施の形態では、練り合わせ領域が前方待機領域ＴＦに設定されているとしてペースト練合せ動作の手順を説明したが、練り合わせ領域を後方待機領域ＴＲに設定してペースト練合せ動作を行うこともできる。前述の説明では、練り合わせ領域を前方待機領域ＴＦとしたために「一方のスキージ４２」が前方スキージ４２Ｆとなり、「他方のスキージ４２」が後方スキージ４２Ｒとなったが、ペースト練合せ領域を後方待機領域ＴＲとすると、「一方のスキージ４２」は後方スキージ４２Ｒとなり、「他方のスキージ４２」は前方スキージ４２Ｆとなる。

クランパのサイズを小型化でき、ひいては装置全体のサイズのコンパクト化を図ることができるスクリーン印刷装置及びペースト練合せ方法を提供する。

１スクリーン印刷装置
２基板
１３マスクプレート
３３クランパ
４２スキージ
７０スキージ制御部
ＴＦ前方待機領域（練合せエリア）
Ｐ１，Ｐ３当接地点
Ｐ２，Ｐ４直下の地点
Ｐｓｔペースト

Claims

基板を側方からクランプする一対のクランパと、前記一対のクランパによりクランプされた前記基板と接触するマスクプレートと、前記マスクプレートの上方に水平方向に並んで設けられた一対のスキージと、前記一対のスキージの一方側を選択的に前記マスクプレートに当接させて水平移動させることにより前記スキージを前記マスクプレート上で摺動させるスキージ制御部とを備えたスクリーン印刷装置であって、
前記スキージ制御部は、前記基板と接触した前記マスクプレートが前記一対のクランパの一方と接触している領域を練合せエリアとしてその練合せエリアでペーストを練り合わせる場合に、前記一対のスキージのうちの一方のみを前記練合せエリア内に当接させてその一方のスキージによってペーストを前記練合せエリア内で掻き寄せたうえで前記一方のスキージを上昇させ、次いで前記一対のスキージのうちの他方のスキージのみを前記練合せエリア内に当接させてその他方のスキージによってペーストを前記練合せエリア内で掻き寄せたうえで前記他方のスキージを上昇させるペースト練合せ動作を行い、
前記他方のスキージの前記練合せエリア内への当接地点は、前記一方のスキージによる前記練合せエリア内でのペーストの掻寄せが終了した時点における前記他方のスキージの下端の直下の地点よりも前記一方のスキージの側に寄った位置に設定されることを特徴とするスクリーン印刷装置。
前記一対のスキージそれぞれの前記練合せエリア内への当接地点を任意に設定できることを特徴とする請求項１に記載のスクリーン印刷装置。
前記スキージ制御部は前記ペースト練合せ動作を連続して複数回実行するようになっており、前記一方のスキージの前記練合せエリア内への当接地点は、前記他方のスキージによる前記練合せエリア内でのペーストの掻寄せが終了した時点における前記一方のスキージの下端の直下の地点よりも前記他方のスキージの側に寄った位置に設定されることを特徴とする請求項１又は２に記載のスクリーン印刷装置。
前記ペースト練合せ動作の繰り返し回数を設定できることを特徴とする請求項３に記載のスクリーン印刷装置。
前記ペースト練合せ動作の繰り返し時間を設定できることを特徴とする請求項３に記載のスクリーン印刷装置。
前記ペースト練合せ動作における前記スキージの前記マスクプレート上での摺動速度を設定できることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のスクリーン印刷装置。
前記ペースト練合せ動作における前記スキージの前記マスクプレートに対する印圧を設定できることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載のスクリーン印刷装置。
前記ペースト練合せ動作を実行するタイミングを設定できることを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載のスクリーン印刷装置。
基板を側方からクランプする一対のクランパと、前記一対のクランパによりクランプされた前記基板と接触するマスクプレートと、前記マスクプレートの上方に水平方向に並んで設けられた一対のスキージとを備え、前記一対のスキージの一方側を選択的に前記マスクプレートに当接させて水平移動させることにより前記スキージを前記マスクプレート上で摺動させるスクリーン印刷装置において、前記基板と接触した前記マスクプレートが前記一対のクランパの一方と接触している領域を練合せエリアとしてその練合せエリアでペーストを練り合わせるペースト練合せ方法であって、
前記一対のスキージのうちの一方のみを前記練合せエリア内に当接させる第１工程と、
前記第１工程の後、前記一方のスキージによってペーストを前記練合せエリア内で掻き寄せる第２工程と、
前記第２の工程の後、前記一方のスキージを上昇させる第３工程と、
前記第３工程の後、前記一対のスキージのうちの他方のスキージのみを前記練合せエリア内に当接させる第４工程と、
前記第４工程の後、前記他方のスキージによってペーストを前記練合せエリア内で掻き寄せる第５工程と、
前記第５工程の後、前記他方のスキージを上昇させる第６工程とを含み、
前記他方のスキージの前記練合せエリア内への当接地点は、前記一方のスキージによる前記練合せエリア内でのペーストの掻寄せが終了した時点における前記他方のスキージの下端の直下の地点よりも前記一方のスキージの側に寄った位置に設定されることを特徴とするペースト練合せ方法。
前記一対のスキージそれぞれの前記練合せエリア内への当接地点を任意に設定できることを特徴とする請求項９に記載のペースト練合せ方法。
前記第１〜第６工程を含むペースト練合せ動作を連続して複数回実行するようになっており、前記一方のスキージの前記練合せエリア内への当接地点は、前記他方のスキージによる前記練合せエリア内でのペーストの掻寄せが終了した時点における前記一方のスキージの下端の直下の地点よりも前記他方のスキージの側に寄った位置に設定されることを特徴とする請求項９又は１０に記載のペースト練合せ方法。
前記ペースト練合せ動作の繰り返し回数を設定できることを特徴とする請求項１１に記載のペースト練合せ方法。
前記ペースト練合せ動作の繰り返し時間を設定できることを特徴とする請求項１１に記載のペースト練合せ方法。
前記ペースト練合せ動作における前記スキージの前記マスクプレート上での摺動速度を設定できることを特徴とする請求項９〜１３のいずれかに記載のペースト練合せ方法。
前記ペースト練合せ動作における前記スキージの前記マスクプレートに対する印圧を設定できることを特徴とする請求項９〜１４のいずれかに記載のペースト練合せ方法。
前記ペースト練合せ動作を実行するタイミングを設定できることを特徴とする請求項９〜１５のいずれかに記載のペースト練合せ方法。