JP2017005176A - 運搬台搬送部材および熱処理炉 - Google Patents

Abstract

【課題】熱処理炉の炉心管内を複雑な構造とせずに親ボートが直進することができる運搬台搬送部材および熱処理炉を得ること。【解決手段】ウエハを乗せた運搬台を炉心管に搬出入する熱処理炉の運搬台搬送部材であって、運搬台を載置するとともに、車軸５ｘの両端に支持され、外側の直径より内側の直径が大きい１対の車輪５と、炉心管に運搬台を搬出入する搬出入口の一部に沿って配置され、車輪に対して突出した１対の左傾斜部２ａと右傾斜部２ｂを有するトレイ２と、を有する。左傾斜部２ａまたは右傾斜部２ｂは、車輪５の位置が定位置よりも外側であるときには、より車輪５の内側が接する。【選択図】図４

Description

本発明は、運搬台搬送部材および熱処理炉に係り、特に熱処理炉内への運搬台搬送部材の構造に関するものである。

熱処理炉は、例えばウエハの表面に酸化膜などを形成したり、不純物を拡散させたりする熱処理装置である。熱処理炉には縦型炉と横型炉とがある。横型炉の場合、炉心管はガス導入部を備えた円筒状である。この炉心管の中にウエハを積載したボートが、炉心管との摩擦を低減するために車輪を有する親ボートに乗せられ、ウエハを搭載した親ボートが炉心管にウエハ搬出入口を介して搬出入される。搬出入に際しては、親ボートに設けられたフック引っ掛け部にフック棒が引っ掛けられ、炉心管内の熱処理に最適な位置まで運ばれた後、ウエハが熱処理される。

熱処理炉の親ボート搬入・搬出時に、炉心管あるいは親ボートに、歪みあるいは傾きがある場合、あるいは炉心管と親ボート車輪の当たりが悪い場合には、親ボートが真っ直ぐ進まずに、円筒形の炉心管に沿って親ボートが回転することがある。また、親ボートを搬送するフック棒の位置あるいは、親ボートの位置は統一されておらず毎回同じではないために、力が加わる支点と親ボートの重心が炉心管に対して真っ直ぐでないことも親ボートが回転する要因である。あるいはまた、親ボートに載置するウエハを積載したボートの形状あるいはウエハの重量あるいは数によっても、親ボートの重心は変動し易いことも親ボートが回転する要因となる。この回転が大きい場合、搬出時のトレイとの乗り換え部分で、トレイのガイドに乗り上げ、石英部品あるいはウエハの破損を引き起こしたり、親ボートが転倒したりする場合がある。

そこで、たとえば、特許文献１では、炉心管内部に、車輪を挟むように２本のガイド管を設置することで親ボートの直進性を向上させる熱処理炉が提案されている。

特開平９−１８１００８号公報

ところで、熱処理炉は、常温から、８５０℃から１０００℃以上となるものもあり、特に不純物拡散に用いる熱処理炉では、温度のプロファイルが拡散長さ、ウエハ内での拡散濃度プロファイルに大きく作用するため、高温域から常温域まで、種々の温度域を経ることがある。このため、従来より、熱処理炉の炉心管は主に石英製である。

しかしながら、上記特許文献１の技術によればガイド管を設置するには構造が複雑となり、ガイド管を石英で製造するには、コストがかさむという問題点があった。また、ガイド管に親ボートが引っ掛かった場合には破損の恐れがあり、またガイド管を乗り越えてしまう可能性もある。それだけではなく、搬送台に載置している、大量のウエハが損傷を受け、熱拡散に至るまでの工程拡散だけでなく、開口マスクの形成、開口への不純物イオンの注入など、熱拡散工程までの工程が無駄となり、搬送台の転倒あるいは破損は深刻な問題である。

本発明は、上記に鑑みてなされたもので、熱処理炉の炉心管内を複雑な構造とすることなく、親ボート等の運搬台を炉心管内に導き、安全に直進させることができる運搬台搬送部材および熱処理炉を得ることを目的とする。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、ウエハを乗せた運搬台を炉心管に搬出入する運搬台搬送部材であって、運搬台を載置するとともに、車軸の両端に支持され、外側の直径より内側の直径が大きい１対の車輪と、炉心管に運搬台を搬出入する搬出入口で、搬出入口の内径の一部に沿って配置され、車輪に対して突出した１対のガイド部を有するトレイと、を有する。ガイド部は、一対の車輪に当接しており、車輪の位置が定位置よりも外側であるときには、車輪の内側が接する。

本発明によれば、熱処理炉の炉心管内を複雑な構造とすることなく、親ボート等の運搬台を炉心管内に導き、直進させることができる熱処理炉用運搬台搬送部材および熱処理炉を得ることができるという効果を奏する。

実施の形態１の熱処理炉の構成を模式的に示す側面図 実施の形態１の熱処理炉の構成を模式的に示す上面図 実施の形態１の熱処理炉用運搬台搬送部材の車輪とトレイの関係を示す正面図 実施の形態１の熱処理炉用運搬台搬送部材で親ボートが傾斜した場合の車輪とトレイの関係を示す正面図 実施の形態１の熱処理炉用運搬台搬送部材のトレイと車輪との位置関係のみを示す要部拡大説明図 実施の形態１の熱処理炉用運搬台搬送部材で親ボートが傾斜した場合のトレイと車輪との位置関係のみを示す要部拡大説明図 実施の形態２の熱処理炉用運搬台搬送部材のトレイと車輪との位置関係のみを示す要部拡大説明図 実施の形態２の熱処理炉用運搬台搬送部材で親ボートが傾斜した場合のトレイと車輪との位置関係のみを示す要部拡大説明図 実施の形態３の熱処理炉用運搬台搬送部材のトレイと車輪との位置関係のみを示す要部拡大説明図 実施の形態４の熱処理炉用運搬台搬送部材のトレイと車輪との位置関係のみを示す要部拡大説明図 実施の形態５の熱処理炉の構成を模式的に示す側面図 実施の形態５の熱処理炉の構成を模式的に示す上面図 実施の形態６の熱処理炉の構成を模式的に示す側面図 実施の形態６の熱処理炉の構成を模式的に示す上面図

以下に添付図面を参照して、この発明の実施の形態にかかる熱処理炉用運搬台搬送部材および熱処理炉を詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲において適宜変更可能である。また、以下に示す図面においては、理解の容易のため、各部材の縮尺が実際とは異なる場合がある。各図面間においても同様である。

実施の形態１．
実施の形態１では、運搬台を親ボートで構成する。図１および図２は、実施の形態１の熱処理炉の構成を模式的に示す側面図および上面図、図３は、実施の形態１の熱処理炉用運搬台搬送部材の車輪とトレイの関係を示す正面図、図４は、実施の形態１の熱処理炉用運搬台搬送部材で親ボートが傾斜した場合の車輪とトレイの関係を示す正面図である。以下に示す図で、親ボート３の搬送方向をＸ軸とし、高さ方向をＺ軸とし、これらＸ軸とＺ軸に垂直な方向をＹ軸とする。

図１は、熱処理炉の構成を模式的に示したものである。実施の形態１の熱処理炉Ｈ₁は、横型拡散炉であり、ウエハ４を加熱する円筒形状の石英製の炉心管１を有し、ウエハ４内に不純物拡散を行う装置である。実施の形態１の熱処理炉用運搬台搬送部材Ｔ₁は、炉心管１の入口に配されるガイド部を構成するトレイ２と、一定の間隔で、車軸５ｘで軸支され、トレイ２上を摺動する１対の左車輪５ａ、右車輪５ｂを備えた車輪５とで構成される。１対の左車輪５ａ、右車輪５ｂは外側の直径より内側の直径が大きい。トレイ２は、長手方向に沿って両側に左側輪５ａ、右車輪５ｂがそれぞれ当接する１対のガイド部を構成する傾斜部２ａ，２ｂを有する。親ボート３は、運搬台ベース３Ｂと運搬台ベース３Ｂに固定された１対の左車輪５ａ、右車輪５ｂを備えた車輪５とで構成される。なお、車輪５は親ボート３の前端部と後端部とに１対ずつ設けられる。以下、熱処理炉用運搬台搬送部材を単に運搬台搬送部材ということもある。トレイ２は、車輪５が摺動可能に形成されており、正常位置すなわち車軸５ｘが水平状態であるときを定位置として、車輪の中心が当接しており、車輪５の位置が定位置よりも外側であるときには、より車輪５の内側が接する。ここで定位置とは、車軸が水平となる場合をいうものとする。なお、定位置は、車輪の中心がトレイに接している位置に限定されるものではないが、車輪の中心が当接しているのが望ましい。ここでいう中心とは中心付近を含むことはいうまでもない。

車輪５の進行方向に沿って両側で左車輪５ａ、右車輪５ｂが当接する傾斜部２ａ，２ｂ上の当接点を設け、当接点における車輪の径の大きさの差により、親ボート３の傾きを是正する方向に進行し、親ボート３が、水平となるようにしている。

ウエハ４は、一定の枚数ごとに子ボート６に積載され、子ボート６はさらに車輪５が取り付けられた親ボート３に載せられる。親ボート３には、円筒形状の炉心管１の管軸Ｘ₀に沿ったＸ方向に移動可能なように車輪５が取り付けられている。

ウエハ４は、開口マスクの形成、開口への不純物イオンの注入など、熱拡散工程までの工程を経て、子ボート６に一定間隔で、多数枚配置され、炉心管１内で、管軸に垂直に配列される。

炉心管１のウエハ搬出入口７には炉心管１に蓋をするための図示しない石英製の扉が設けられている。また、炉心管１のウエハ搬出入口７側には、トレイ２が配され、搬送する親ボート３の進行のガイド部を構成している。

そして、炉心管１の中にウエハ４を積載した子ボート６が、親ボート３に乗せられ、ウエハ４を搭載した親ボート３が炉心管１にウエハ搬出入口７を介して搬出入される。搬出入に際しては、親ボート３に設けられたフック引っ掛け部８ａにフック棒８が引っ掛けられ、炉心管１内の熱処理に最適な位置まで運ばれた後、ウエハ４が熱処理される。また、炉内の進行は、搬送速度を管理しながら、図示しないサーボモータによって、ゆっくりと一定速度でなされる。

図３および図４に炉心管１のウエハ搬出入口７側からみた正面図、図５および図６は図３および図４の場合に相当するトレイ２と車輪５との位置関係のみを示す要部拡大説明図であり、トレイ２はステンレス板の折り曲げによって形成され、底面部２Ｂは炉心管１に沿った円弧である。そして底面部２Ｂに対して一定の角度を持つように折り曲げられた傾斜部２ａ，２ｂを有する。トレイ２の底面部２Ｂの上面は、炉心管１の内部の底面とほぼ同じ高さとなるように位置が調整されている。

トレイ２は、車輪５が通る部分が円弧状の底面部２Ｂになっており、車輪５を構成する左車輪５ａ、右車輪５ｂはいずれも内側の車輪径が大きく、外側の車輪径が小さい。図３および図４に示すように、車輪５の径は内側に行くにしたがって徐々に大きくなっている。通例の車輪は車輪軸で固定されており、車輪径は車輪の内側外側関係なく一定である。

つまり、図５に示すように正常位置の場合、トレイ２との左車輪５ａの当接点Ｐ_a0、右車輪５ｂの当接点Ｐ_b0と車軸５ｘとの距離すなわち、実質的な車輪径はｒ_a0，ｒ_b0となり、ｒ_a0＝ｒ_b0である。

図６のように右車輪５ｂが下側、左車輪５ａが上側となる、右下がりに車軸５ｘが傾斜した場合、外側にずれた左側輪５ａは内側がトレイ２に接し、内側にずれた右側輪５ｂは外側がトレイ２の傾斜部２ｂに接する。このとき、トレイ２との左車輪５ａの当接点Ｐ_a1、右車輪５ｂの当接点Ｐ_b1と車軸５ｘとの距離すなわち、実質的な車輪径はｒ_a1，ｒ_b1となり、ｒ_a1＞ｒ_b1である。左右の車輪５すなわち左車輪５ａ、右車輪５ｂは車輪軸５ｘで繋がっており、左右の車輪の回転数は等しいので、外側にずれた左車輪５ａの方が、実質的な車輪径ｒ_a1が右車輪５ｂの実質的な車輪径ｒ_b1よりも大きいため、内側にずれた車輪５ｂよりも多く進む。そのため、左寄りにずれた親ボート３はトレイ２の中央方向へ曲がる。

これによって、親ボート３が傾き、炉心管１の搬入出口近傍および炉心管１内でＸ軸回りに回転してしまった場合でも、回転を打ち消す方向に曲がって進むので、炉心管１の管軸Ｘ₀に沿う方向に進行方向が是正され、親ボート３の直進性が向上する。

車輪径は徐々に変化しており、車輪位置のずれ量が大きいほど、トレイ２との左車輪５ａの当接点Ｐ_a1、右車輪５ｂの当接点Ｐ_b1と車軸５ｘとの距離すなわち、実質的な車輪径の差ｒ_a1−ｒ_b1は大きくなり、元の方向への曲がりが強くなる。

図５に示すように正常位置の場合、トレイ２との左車輪５ａの当接点Ｐ_a0、右車輪５ｂの当接点Ｐ_b0の車軸５ｘ上での距離つまり作用点までの腕の実質的な長さはｌ_a0，ｌ_b0となり、ｌ_a0＝ｌ_b0である。

トレイ２と車輪５の形状は、親ボート３が傾斜した時に外側にずれた車輪５の内側がトレイ２に接し、内側にずれた車輪５の外側がトレイ２に接する構造ならば良く、図３から６に示した例は一例である。

以上説明してきたように、実施の形態１の熱処理炉用搬送部材Ｔ₁および熱処理炉Ｈ₁によれば、ウエハ４を炉心管１に挿入する際に、親ボート３が螺旋状に進んでも、トレイ２の中央方向に曲がる方向に力が働くため、直進性が向上するという効果を有する。また、炉心管１内部にガイド管を設置する場合のように炉心管１の構造が複雑にならず、ガイドと親ボート３が接触し、破損するリスクを冒すことなく、親ボート３の炉心管１内での直進性を向上させることができる。従って衝突による石英部品またはウエハ４の破損、ウエハ４を積載した親ボート３の転倒を防止することができるという効果を有する。

なお、車輪５は親ボート３の前端部と後端部とに１対ずつ設けられているため、傾きを補正することができ、安定して親ボート３を、ウエハ搬出入口７を介して炉心管１に搬入搬出することができる。リンあるいはボロンの拡散に用いる場合、炉内の温度は８５０℃から９００℃程度さらには１０００℃を超える高温となる場合があるが、トレイ２と車輪５の簡単な形状の変更のみで、炉心管１内に加工を施すことなく、実現することができる。また、炉内の進行は、搬送速度を管理しながら、図示しないサーボモータによって、一定速度でなされる。

なお、車輪５の構成としては、２対である必要性は無い。１対だけの方が回転方向の摩擦が少なく、元の方向に戻り易い。上に載置する子ボート、ウエハの枚数など、形状および重量に応じて適宜車輪の構成は変更可能であり、両端に大きい車輪１対ずつを設けるとともに、大きい車輪の間に小さい車輪を５対設けるなど、適宜変更可能である。

実施の形態２．
実施の形態１ではトレイ２の底面部２Ｂは円弧となるように構成したが、実施の形態２では、図７および図８にトレイ２と車輪５との位置関係のみを示す要部拡大説明図を示すように、トレイ２の底面部２ＢＳは平坦面を構成している。上面が平坦面で構成された底面部２ＢＳに対して両側に４５度の傾斜を持った斜面からなる左傾斜部２ａと右傾斜部２ｂとを有している。車輪５は、厚さの薄い円柱状の形状で、外側外周の角を板厚と同じ半径の円弧で丸取りした形状を有している。実施の形態２の運搬台搬送部材は、トレイ２と車輪５の形状以外は実施の形態１の運搬台搬送部材Ｔ₁と同様である。

車輪５を図７に示すように水平に設置すると、車輪５は車軸５ｘから４５度の角度でトレイ２に接する。一方、図８に示すように時計回りに１０度回転すると、右車輪５ｂは車軸から４５度より小さい角度でトレイ２の右傾斜部２ｂに接する。左車輪５ａは車軸５ｘから４５度より大きい角度でトレイ２の左傾斜部２ａに接する。従って、右車輪５ｂがトレイ２の右傾斜部２ｂに接する位置の周長よりも左車輪５ａがトレイ２の左傾斜部２ａに接する位置の周長の方が長くなるので、左車輪５ａの方が進行距離が長くなり、水平な方向に進む。

実施の形態３．
実施の形態３では、図９にトレイ１２と車輪１５との位置関係のみを示す要部拡大説明図を示すように、車輪１５の外側と内側が直線で結ばれた円錐台の形状を有する。トレイ１２側には、円錐台の斜面部分で接するように線状突起からなり、炉心管の長手方向に伸びる１対の突出部１３が設けられている。突出部１３の幅は、親ボート３が水平に設置されたときに両側の車輪が斜面の中央付近で突出部１３に接するような幅で構成される。実施の形態３の運搬台搬送部材１５は、トレイ１２と車輪１５の形状以外は実施の形態１の運搬台搬送部材と同様である。

車輪１５を図９に示すように水平に設置すると、車輪１５は車軸１５ｘから４５度の角度でトレイ１２に接する。一方、車軸１５ｘが時計回りに左にずれると、車輪内の接点が右車輪１５ｂではか左にずれて外側で右突出部１３ｂに接する。左車輪１５ａは左にずれて内側でトレイ１２の左突出部１３ａに接する。従って、右車輪１５ｂがトレイ１２の右突出部１３ｂに接する位置の周長よりも左車輪１５ａがトレイ１２の左突出部１３ａに接する位置の周長の方が長くなるので、左車輪１５ａの方が行進距離が長くなり、水平な方向に進む。

以上のように、親ボート３が傾き、炉心管１の搬入出口７近傍および炉心管１内でＸ軸回りに回転してしまった場合でも、回転を打ち消す方向に曲がって進むので、親ボート３の直進性が向上する。

実施の形態４．
実施の形態４では、図１０にトレイ２２と車輪２５との位置関係のみを示す要部拡大説明図を示すように、トレイ２２が底部２２Ｂに連続してなだらかな曲面状突起を構成する左曲面２３ａと右曲面２３ｂとを有する点が実施の形態３の運搬台搬送部材と異なる点である。曲面状突起は炉心管１の長手方向に沿って形成されている。車輪については実施の形態３の車輪１５と同様であり、車輪２５を構成する左車輪２５ａ、右車輪２５ｂともに外側と内側が直線で結ばれた円錐台の形状を有する。２５ｘは左車輪２５ａと右車輪２５ｂとをつなぐ車軸である。トレイ２２側には、円錐台の斜面部分で接するように上に凸の曲面からなる左曲面２３ａと右曲面２３ｂとが設けられている。平坦な面である底部２２Ｂの幅は、親ボート３が水平に設置されたときに両側の車輪２５すなわち左車輪２５ａと右車輪２５ｂが斜面の中央付近で接する幅で、左曲面２３ａと右曲面２３ｂとが構成される。実施の形態５の運搬台搬送部材は、トレイ２２と車輪２５の形状以外は実施の形態１の運搬台搬送部材と同様である。

本実施の形態においても、親ボート３が傾き、炉心管１の搬入出口近傍および炉心管１内でＸ軸回りに回転してしまった場合でも、回転を打ち消す方向に曲がって進むので、親ボート３の直進性が向上する。

前記実施の形態では、左曲面２３ａと右曲面２３ｂとは、上に凸つまり、接線の傾きが徐々に小さくなる曲面であるなだらかな曲面状突起を構成する。

実施の形態５．
実施の形態１から４では、車輪は親ボート３の前端部と後端部とに１対ずつ設けられているが、実施の形態５では、図１１および図１２に示すように、後端部では親ボート３に設けられた穴ｈにボール９が挿入され、前側の車輪５の進行に追随してボール９が穴ｈ内で回転しながら、進行する。他部については実施の形態１の熱処理炉Ｈ₁と同様であるためここでは説明を省略する。

実施の形態５の熱処理炉Ｈ₂用の運搬台搬送部材Ｔ₂によれば、前側の車輪５によって傾きを補正することができ、後側では前側の車輪５に追随するだけであるため、安定して親ボート３をウエハ搬出入口７を介して炉心管１に搬入搬出することができる。

実施の形態６．
実施の形態１から４では、車輪は親ボート３の前端部と後端部とに１対ずつ設けられているが、実施の形態６では、図１３および図１４に示すように、中間部にさらに１対の車輪が設けられている。他部については実施の形態１の熱処理炉Ｈ₁と同様であるためここでは説明を省略する。トレイ２についても車輪５の形状についても実施の形態１と同様である。

実施の形態６の熱処理炉Ｈ₃によれば、長尺の親ボート３の場合には、前端と後端だけでなく中間部に一対の車輪５が設けられている。従って実施の形態６の運搬台搬送部材Ｔ₃によれば、中間部の車輪５によっても搬送台である親ボート３の傾きを補正することができ、安定して親ボート３を炉心管１にウエハ搬出入口７を介して搬入搬出することができる。

なお、実施の形態１から６では、車輪が連続した外形を持つ例について説明したが、分割形状で、不連続斜面をもつものについても有効である。

また、前記実施の形態においては、運搬台は水平である時、車軸は水平であるとし、定位置とは、車軸が水平となる位置をいうものとする。

さらにまた、実施の形態１から６では、拡散炉について説明したが、拡散炉に限定されることなく、熱酸化膜の形成、特に高温での高品質膜の形成に際しては、拡散炉の温度プロファイルを高精度に行う必要があるが、簡単な構成で、運搬台すなわち親ボートの転倒を防ぐことができる。

以上のように、実施の形態１から６にかかる熱処理炉および熱処理炉用運搬台搬送部材は、ウエハ４に対して熱処理を行う横型の熱処理炉に特に有用である。

１ 炉心管、２，１２，２２ トレイ、２ａ 左傾斜部、２ｂ 右傾斜部、２Ｂ 底面部、３ 親ボート、４ ウエハ、５，１５，２５ 車輪、５ａ，１５ａ，２５ａ 左車輪、５ｂ，１５ｂ，２５ｂ 右車輪、５ｘ，１５ｘ，２５ｘ 車軸、６ 子ボート、７ ウエハ搬出入口、８ フック棒、８ａ フック引っ掛け部、ｈ 穴、９ ボール、１３ 突出部、１３ａ 左突出部、１３ｂ 右突出部、Ｈ₁，Ｈ₂，Ｈ₃ 熱処理炉、Ｔ₁，Ｔ₂，Ｔ₃ 運搬台搬送部材。

Claims (9)

1. ウエハを乗せた運搬台を炉心管に搬出入する熱処理炉用の運搬台搬送部材であって、
   前記運搬台を載置するとともに、車軸の両端に支持され、外側の直径より内側の直径が大きい１対の車輪と、
   前記炉心管に前記運搬台を搬出入する搬出入口で、前記搬出入口の内径の一部に沿って配置され、前記車輪に対して突出した１対のガイド部を有するトレイと、を有し、
   前記ガイド部は、前記一対の車輪に当接しており、前記車輪の位置が定位置よりも外側であるときには、車輪の内側が接することを特徴とする運搬台搬送部材。
2. 前記車輪は、外側の直径と内側の直径が円弧状に結ばれた形状を有し、
   前記トレイは、前記炉心管の長手方向に沿って両側に傾斜部を有し、前記車輪の接触面が傾斜した平面であることを特徴とする請求項１に記載の運搬台搬送部材。
3. 前記車輪が外側の直径と内側の直径が直線状に結ばれた円錐台形状を有し、
   前記ガイド部は、前記トレイに前記車輪の円錐台の斜面部分で接することを特徴とする請求項１に記載の運搬台搬送部材。
4. 前記ガイド部は、前記トレイの両側に、前記炉心管の長手方向に沿って設けられた１対の線状突起であることを特徴とする請求項１に記載の運搬台搬送部材。
5. 前記ガイド部は、前記トレイの両側に、前記炉心管の長手方向に沿って設けられた曲面状突起であることを特徴とする請求項１に記載の運搬台搬送部材。
6. 前記車輪は、前記運搬台の前端部と後端部に設けられたことを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の運搬台搬送部材。
7. 前記車輪は、前記運搬台の中間部にも設けられたことを特徴とする請求項６に記載の運搬台搬送部材。
8. 前記車輪は、前記運搬台の前端部に設けられ、
   前記運搬台の後端部には、穴と前記穴内で転がり運動可能な球体とを有することを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の運搬台搬送部材。
9. 請求項１から８のいずれか１項に記載の運搬台搬送部材と、
   炉心管と、
   前記炉心管を加熱する加熱部とを備え、
   ウエハを乗せた運搬台を炉心管に搬出入し、前記ウエハに熱処理を行うことを特徴とする熱処理炉。