JP2017104868A - クリーニング装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ミリサイズの比較的大きな異物と共に微細な異物を除去できるクリーニング装置を提供する。【解決手段】本発明のクリーニング装置は、搬送される対象物の搬送方向と略垂直かつ対象物表面と略平行な回転軸を中心として配設され、表面を帯電させた状態で対象物表面に接触させるクリーニングローラと、このクリーニングローラと略平行に配設され、帯電させた状態で回転駆動させつつ対象物表面に接触させるクリーニングブラシと、上記クリーニングブラシよりも対象物の搬送方向上流側に、対象物の搬送方向と略垂直かつ対象物表面と略平行な回転軸を中心として配設され、上記対象物の進行する向きを規制する一対のガイドローラとを備え、上記クリーニングブラシにおける対象物表面との接点部分での回転方向が対象物の搬送方向に対して逆方向である。【選択図】図１

Description

本発明は、クリーニング装置に関する。

近年、フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）のガラス基板、電子部品を搭載するプリント基板、樹脂薄板、フィルム材料等の対象物表面に付着する塵埃などの異物を取り除くためのクリーニング装置が開発されている。

このようなクリーニング装置として、帯電されたローラ状のクリーニングブラシで対象物表面の異物を除去し、この除去した異物を電界の力で搬送及び回収するクリーニング装置が提案されている（特開２０１１−９２８４６号公報参照）。

しかし、上記公報で提案のクリーニング装置では、比較的大きなミリサイズの異物は除去できるものの、クリーニングブラシが対象物表面に接触しない部分が発生するため、その部分に存在する微細な異物を除去できない。また、上記公報では、クリーニングブラシの回転方向は対象物の搬送方向に対して順方向及び逆方向のいずれでもよいとされているが、発明者らが確認したところ、クリーニングブラシを上記順方向に回転した場合には、比較的大きなミリサイズの異物を十分には除去できなかった。

特開２０１１−９２８４６号公報

本発明は、以上のような事情に基づいてなされたものであり、ミリサイズの比較的大きな異物と共に微細な異物を除去できるクリーニング装置を提供することを目的とする。

上記課題を解決するためになされた発明は、搬送される対象物表面のクリーニング装置であって、上記対象物の搬送方向と略垂直かつ対象物表面と略平行な回転軸を中心として配設され、表面を帯電させた状態で上記対象物表面に接触させるクリーニングローラと、このクリーニングローラと略平行に配設され、帯電させた状態で回転駆動させつつ上記対象物表面に接触させるクリーニングブラシと、上記クリーニングブラシよりも上記対象物の搬送方向上流側に、上記対象物の搬送方向と略垂直かつ対象物表面と略平行な回転軸を中心として配設され、上記対象物の進行する向きを規制する一対のガイドローラとを備え、上記クリーニングブラシにおける対象物表面との接点部分での回転方向が上記対象物の搬送方向に対して逆方向であることを特徴とする。

当該クリーニング装置は、一対のガイドローラにより当該クリーニング装置内への対象物の進行する向きが規制される。このため、クリーニングローラ及びクリーニングブラシの帯電や、クリーニングブラシの逆回転により対象物が曲げられることを抑止できる。従って、当該クリーニング装置は、対象物表面に付着する異物を効果的に除去できる。なお、「略平行」とは、なす角度が±１０°以内であることを意味する。「略垂直」とは、なす角度が９０°±１０°以内であることを意味する。

上記クリーニングブラシも、帯電させた状態で上記対象物表面に接触させるとよい。このように、クリーニングブラシも帯電させた状態で対象物表面に接触させることにより、電界の力によって異物がよりクリーニングブラシに吸着され易くなるので、より効果的に対象物表面の異物を除去できる。

上記クリーニングブラシがクリーニングローラ表面に接触しているとよい。このように、クリーニングブラシをクリーニングローラ表面に接触させることにより、クリーニングローラ表面に吸着された異物をクリーニングブラシに移動できる。これにより、クリーニングローラの吸着効果の低下を抑制できる。

上記クリーニングブラシと略平行に配設され、表面を帯電させた状態で上記クリーニングブラシの外周側に接触させる集塵ローラをさらに備えるとよい。このように、表面を帯電させた状態でクリーニングブラシの外周側に接触させる集塵ローラをクリーニングブラシと略平行に配設することにより、例えば集塵ローラ表面をクリーニングブラシよりも高い電圧で帯電させることで、クリーニングブラシに移動させた異物をさらに集塵ローラに移動できるので、クリーニングブラシに付着した異物の除去作業を省略又は軽減できる。

上記クリーニングローラと略平行に配設され、帯電かつ回転駆動させつつ上記クリーニングローラ表面に接触させるブラシローラをさらに備えるとよい。このように、帯電かつ回転駆動させつつクリーニングローラ表面に接触させるブラシローラをクリーニングローラと略平行に配設することにより、クリーニングローラ表面に吸着させた異物をブラシローラに移動できるので、クリーニングローラの吸着効果の低下を抑制できる。

上記クリーニングブラシ及びブラシローラと略平行に配設され、表面を帯電させた状態で上記クリーニングブラシ及びブラシローラの外周側に接触させる１又は２の集塵ローラをさらに備えるとよい。このように、表面を帯電させた状態でクリーニングブラシ及びブラシローラの両方の外周側に接触させる１の集塵ローラをクリーニングブラシ及びブラシローラと略平行に配設することにより、例えばこの集塵ローラ表面をクリーニングブラシ及びブラシローラよりも高い電圧で帯電させることで、クリーニングブラシ及びブラシローラに移動させた異物をさらに集塵ローラに移動できるので、クリーニングブラシ及びブラシローラに付着した異物の除去作業を省略又は軽減できる。また、表面を帯電させた状態でクリーニングブラシに接触させる１の集塵ローラをクリーニングブラシと略平行に配設すると共に、表面を帯電させた状態でブラシローラに接触させる別の集塵ローラをブラシローラと略平行に配設することでも、クリーニングブラシ及びブラシローラに移動させた異物をさらにこれらの集塵ローラに移動できるので、クリーニングブラシ及びブラシローラに付着した異物の除去作業を省略又は軽減できる。

上記クリーニングローラ及びクリーニングブラシが単一のユニットに組み込まれているとよい。このように、クリーニングローラ及びクリーニングブラシを単一のユニットに組み込むことにより、当該クリーニング装置を小型化できる。

上記クリーニングローラが組み込まれたユニットと、上記クリーニングブラシが組み込まれたユニットとを別に備えるとよい。このようにクリーニングローラが組み込まれたユニットとクリーニングブラシが組み込まれたユニットとを別のユニットとすることにより、ユニット毎の交換が可能となり、クリーニングローラ及びクリーニングブラシのそれぞれの寿命で個別に交換できる。

以上説明したように、本発明のクリーニング装置は、ミリサイズの比較的大きな異物と共に微細な異物を除去できる。

本発明の第一実施形態に係るクリーニング装置の模式図である。 本発明の第二実施形態に係るクリーニング装置の模式図である。 図１及び図２の実施形態とは異なる実施形態に係るクリーニング装置の模式図である。 図１、図２及び図３の実施形態とは異なる実施形態に係るクリーニング装置のクリーニングローラユニットの模式図である。 図１、図２及び図３の実施形態とは異なる実施形態に係るクリーニング装置のクリーニングブラシユニットの模式図である。 図１、図２、図３及び図４Ａの実施形態とは異なる実施形態に係るクリーニング装置の模式図である。

以下、適宜図面を参照しつつ、本発明の実施形態を詳説する。

〔第一実施形態〕
図１に示す当該クリーニング装置１は、搬送されるフィルム状又は板状対象物Ｓ表面のクリーニング装置である。当該クリーニング装置１は、対象物Ｓの搬送方向Ｃと略垂直かつ対象物Ｓ表面と略平行な回転軸を中心として回転自在に配設され、表面を帯電させた状態で対象物Ｓ表面に接触させるクリーニングローラ２と、クリーニングローラ２と略平行に配設され、回転駆動させつつ対象物Ｓ表面に接触させるローラ状のクリーニングブラシ３とを主に備える。また、当該クリーニング装置１は、クリーニングローラ２と略平行に配設され、帯電かつ回転駆動させつつクリーニングローラ２表面に接触させるブラシローラ４と、クリーニングブラシ３及びブラシローラ４と略平行に配設され、表面を帯電させた状態でクリーニングブラシ３及びブラシローラ４の外周側に接触させる１の集塵ローラ５とをさらに備える。なお、図１中の矢印は、対象物Ｓの搬送方向Ｃ及び各ローラの回転方向を示している。クリーニングローラ２における対象物Ｓ表面との接点部分での回転方向は、対象物Ｓの搬送方向Ｃに対して順方向であり、クリーニングブラシ３における対象物Ｓ表面との接点部分での回転方向は、対象物Ｓの搬送方向Ｃに対して逆方向である。

また、当該クリーニング装置１は、集塵ローラ５表面に付着した異物を掻き取るスクレーパー６と、クリーニングローラ２、クリーニングブラシ３、ブラシローラ４、集塵ローラ５及びスクレーパー６を内部に収容するフレーム７とを備える。このように、当該クリーニング装置１は、クリーニングローラ２及びクリーニングブラシ３が単一のユニットに組み込まれている。

また、当該クリーニング装置１は、クリーニングブラシ３と略平行に対向するよう配設される第１対向電極ローラ９と、クリーニングローラ２と略平行に対向するよう配設される第２対向電極ローラ１０と、対象物Ｓの搬送方向Ｃと略垂直かつ対象物Ｓ表面と略平行な回転軸を中心として回転自在に配設され、対象物Ｓが搬送される向きを規制する一対のガイドローラ１１とを備える。

（対象物）
当該クリーニング装置１で異物除去する対象物Ｓは、フィルム状又は板状のものであれば、どのようなものでもよい。例えば対象物Ｓとして、ＦＰＤのガラス基板、電子部品を搭載するプリント基板、樹脂薄板、フィルム材料等を用いることができる。

対象物Ｓの平均厚さは、特に限定されるものではないが、対象物Ｓの平均厚さの下限としては、例えば３０μｍが好ましく、５０μｍがより好ましい。対象物Ｓの平均厚さが上記下限に満たないと、対象物Ｓを搬送し難くなるおそれがある。

対象物Ｓの搬送速度の下限は特に限定されるものではないが、例えば５ｍ／ｍｉｎが好ましく、１０ｍ／ｍｉｎがより好ましい。一方、対象物Ｓの搬送速度の上限としては、３０ｍ／ｍｉｎが好ましく、２０ｍ／ｍｉｎがより好ましい。対象物Ｓの搬送速度が上記下限に満たないと、異物除去に要する時間が長くなり、異物の除去効率が低下するおそれがある。逆に、対象物Ｓの搬送速度が上記上限を超えると、クリーニングローラ２により対象物Ｓ表面の異物を十分に吸着できなくなるおそれがある。

＜クリーニングローラ＞
クリーニングローラ２は、対象物Ｓの搬送方向Ｃと略垂直かつ対象物Ｓ表面と略平行な回転軸を中心として回転自在に配設される。このクリーニングローラ２は、表面を帯電させた状態で対象物Ｓ表面に接触し、対象物Ｓの搬送に伴って連れ回りしつつ電界の力により対象物Ｓ表面に付着の異物を吸着する。つまり、対象物Ｓ表面に付着の異物が、静電気力によってクリーニングローラ２表面に吸着される。

クリーニングローラ２は、円柱状の芯金２ａと、この芯金２ａの周面を覆う円筒状の内層部２ｂと、この内層部２ｂの外周面を覆う薄膜円筒状の外層部２ｃとを有する。

上記内層部２ｂの材質として、導電性を有する弾性部材が用いられる。このような弾性部材として、例えばカーボンを含むポリエステル系ウレタン等が挙げられる。

上記外層部２ｃの材質としては、対象物Ｓ表面に付着の異物を電界の力により吸着する電荷を帯電し得るものであればよく、例えばアクリル混合ポリウレタンやフッ素混合ポリウレタンなどのポリウレタンが挙げられる。上記外層部２ｃをポリウレタンで形成することで、シリコーン樹脂やブチルゴムなどで形成する場合に比べて耐摩耗性が優れ、可塑剤や低分子量物による汚染を低減することができる。

上記アクリル混合ポリウレタンとは、ポリエステルポリウレタン又はポリエーテルポリウレタンを主成分とし、さらに（１）熱可塑性ポリウレタン及びシリコン・アクリル共重合樹脂、（２）アクリル樹脂（例えばメタクリル酸−メタクリル酸メチル共重合体からなる主鎖にアミノエチル基がグラフトされてなるグラフト化合物）及び熱可塑性ポリウレタン、又は（３）アクリル樹脂、ポリウレタン及びフッ素系表面コーティング剤を含む混合物を意味する。外層部２ｃの材質としてアクリル混合ポリウレタンを用いることにより、マイナスに帯電し易い異物が対象物Ｓ表面から除去され易くなる。なお、「主成分」とは、最も含有量の多い成分であり、例えば５０質量％以上含有される成分である。

また、上記フッ素混合ポリウレタンとは、ポリウレタンを主成分とするもので、熱可塑性ポリウレタン及びウレタン・フッ素共重合体を含む混合物を意味する。外層部２ｃの材質としてフッ素混合ポリウレタンを用いることにより、プラスに帯電し易い異物が対象物Ｓから除去され易くなる。

外層部２ｃの平均厚さの下限としては、２μｍが好ましく、５μｍがより好ましい。一方、外層部２ｃの平均厚さの上限としては、５００μｍが好ましく、５０μｍがより好ましい。外層部２ｃの平均厚さが上記下限に満たないと、クリーニングローラ２表面を十分に帯電させることができず、異物の吸着効果が十分に得られないおそれがある。逆に、外層部２ｃの平均厚さが上記上限を超えると、異物を吸着するための良好な帯電特性が得られないおそれがある。

クリーニングローラ２は、表面が搬送される対象物Ｓと接触することにより連れ回りする。従って、クリーニングローラ２は、対象物Ｓ表面との接点部分において対象物Ｓの搬送方向Ｃと順方向となるよう回転する。クリーニングローラ２は帯電しているので、搬送される対象物Ｓ表面がクリーニングローラ２表面と近接する際、電界の力により対象物Ｓ表面の異物がクリーニングローラ２に吸着される。

＜クリーニングブラシ＞
ローラ状のクリーニングブラシ３は、クリーニングローラ２よりも対象物Ｓの搬送方向Ｃ上流側に、クリーニングローラ２と略平行に配設される。このクリーニングブラシ３は、外周側がクリーニングローラ２表面と接触しないよう、クリーニングローラ２と離間して配設される。このクリーニングブラシ３は、対象物Ｓ表面に接触しながら、対象物Ｓ表面との接点部分での回転方向が対象物Ｓの搬送方向Ｃに対して逆方向となるよう回転駆動される。

クリーニングブラシ３は、円柱状の芯金３ａと、この芯金３ａの周面への複数の毛の植設により形成されるブラシ部３ｂとを有する。

ブラシ部３ｂを形成する毛として、物理的に異物が付着し易いものが好ましく、例えば合成樹脂製の繊維が挙げられる。また、ブラシ部３ｂを形成する毛として、対象物Ｓ表面に付着の異物を電界の力により吸着する電荷を帯電し得るものが好ましく、例えばカーボンブラック、炭素繊維、金属粉、金属ウィスカ等の導電性材料を含有する合成樹脂製の繊維が好適に使用できる。

ブラシ部３ｂの毛の断面形状は特に限定されるものではなく、ブラシ部３ｂとして、例えば毛の断面形状が円形状、楕円形状、星型形状等のものを用いることができる。また、ブラシ部３ｂの外形も特に限定されるものではなく、ブラシ部３ｂとして、例えば外形が直線状、波曲線形状、曲線と直線とが組み合わされて構成された形状等のものを用いることができる。なお、ブラシ部３ｂの表面積が大きいほど異物を吸着し易くなるので、ブラシ部３ｂを形成する毛として、例えば断面形状が星型形状のものが好適に使用できる。

クリーニングブラシ３は、対象物Ｓ表面との接点部分において対象物Ｓの搬送方向Ｃと逆方向となるよう回転駆動されることにより、対象物Ｓ表面に付着の異物を掻き起こし、この掻き起こした異物がブラシ部３ｂに付着する。なお、クリーニングブラシ３も、クリーニングローラ２と同様に帯電される。これにより、電界の力による吸着力も作用するので、より効果的に対象物Ｓ表面の異物をブラシ部３ｂに吸着及び移動させることができる。なお、電界の力が作用しなくても上記異物はブラシ部３ｂに付着するので、クリーニングブラシ３は必ずしも帯電させなくてもよい。

クリーニングブラシ３の対象物Ｓへの平均圧接量の下限としては、０．０３ｍｍが好ましく、０．０５ｍｍがより好ましい。一方、上記平均圧接量の上限としては、１．５ｍｍが好ましく、１ｍｍがより好ましい。上記平均圧接量が上記下限未満であると、対象物Ｓ表面の異物を十分に掻き起こせないおそれがある。逆に、上記平均圧接量が上記上限を超えると、ブラシ部３ｂ及び対象物Ｓ表面間の摩擦力が大きくなるため、対象物Ｓの搬送速度が低下するおそれがある。なお、「圧接量」とは、クリーニングブラシ３と対象物Ｓとの接点部分における芯金３ａ表面及び対象物Ｓ間の距離とブラシ部３ｂの毛の長さとの差を意味する。

クリーニングブラシ３の周速度の下限としては、１ｍ／ｍｉｎが好ましく、３ｍ／ｍｉｎがより好ましい。一方、クリーニングブラシ３の周速度の上限としては、３０ｍ／ｍｉｎが好ましく、１５ｍ／ｍｉｎがより好ましい。クリーニングブラシ３の周速度が上記下限に満たないと、対象物Ｓ表面の異物を十分に掻き起こせないおそれがある。逆に、クリーニングブラシ３の周速度が上記上限を超えると、ブラシ部３ｂ及び対象物Ｓ表面間の摩擦力が大きくなるため、対象物Ｓの搬送速度が低下するおそれがある。

＜ブラシローラ＞
ブラシローラ４は、帯電かつ回転駆動されながら、外周側がクリーニングローラ２表面に接触するようクリーニングローラ２と略平行に配設される。

ブラシローラ４は、円柱状の芯金４ａと、この芯金４ａの周面への複数の毛の植設により形成されるブラシ部４ｂとを有する。

芯金４ａ及びブラシ部４ｂとして、例えば上述したクリーニングブラシ３の芯金３ａ及びブラシ部３ｂと同様の材質のものを用いることができる。

ブラシローラ４には、クリーニングローラ２への印加電圧よりも高い電圧を印加する。これにより、ブラシローラ４の外周側がクリーニングローラ２表面よりも電位が高くなるので、クリーニングローラ２表面に付着した異物がブラシローラ４に吸着され、クリーニングローラ２表面の異物がブラシローラ４に移動する。

なお、回転駆動されるブラシローラ４の回転方向は、いずれの方向でもよいが、クリーニングローラ２とブラシローラ４との接点部分において互いの周面における移動方向が逆向きとなる方が、クリーニングローラ２表面に付着の異物が掻き起こされ易くなるため、異物がブラシローラ４に移動し易くなる。従って、ブラシローラ４は、クリーニングローラ２と同じ回転方向に回転駆動することが好ましい。

＜集塵ローラ＞
集塵ローラ５は、帯電かつ回転駆動されながら、表面がクリーニングブラシ３の外周側及びブラシローラ４の外周側と接触するよう、クリーニングブラシ３及びブラシローラ４と略平行に配設される。

集塵ローラ５の材質として、導電性材料が用いられる。このような導電性材料としては、例えばステンレス、銅、アルミニウム等の金属材料が挙げられる。集塵ローラ５として銅やアルミニウム等の酸化し易い導電性材料を使用する場合には、集塵ローラ５の表面にニッケルめっきや金めっき等の耐食性のめっき処理を行なうことが好ましい。

集塵ローラ５には、クリーニングブラシ３及びブラシローラ４への印加電圧よりも高い電圧を印加する。これにより、集塵ローラ５表面がクリーニングブラシ３及びブラシローラ４の外周側よりも電位が高くなるので、クリーニングブラシ３及びブラシローラ４に付着した異物が集塵ローラ５表面に吸着され、クリーニングブラシ３及びブラシローラ４に付着の異物が集塵ローラ５に移動する。これにより、クリーニングブラシ３及びブラシローラ４に集積される異物の除去作業を省略又は軽減できる。

集塵ローラ５の回転方向は、いずれの方向であってもよい。集塵ローラ５は、後述するスクレーパー６により集塵ローラ５表面から掻き取られる異物が回収され易い回転方向で駆動するとよい。当該クリーニング装置１では、集塵ローラ５が上記クリーニングブラシ３の上方に配設され、集塵ローラ５の搬送方向Ｃ上流側に、スクレーパー６が搬送方向Ｃ下流側かつ下方に傾斜するよう配設される。そのため、集塵ローラ５がクリーニングブラシ３と同じ回転方向で駆動されることで、上記掻き取られる異物が回収し易くなる。

＜スクレーパー＞
スクレーパー６は、例えば矩形状の板であり、軸方向に亘って集塵ローラ５表面に接触可能な部分を有している。このスクレーパー６は、搬送方向Ｃ下流側かつ下方に傾斜し、上記矩形の長辺が集塵ローラ５表面に回転軸方向に亘って接触するよう集塵ローラ５の搬送方向Ｃ上流側に配設される。ここで、スクレーパー６の集塵ローラ５表面に接触する長辺を先端部と呼ぶこととする。

スクレーパー６は、熱硬化性ポリウレタン等の合成樹脂製の弾性体などで形成される。集塵ローラ５の回転に伴い、集塵ローラ５表面に接触するスクレーパー６の先端部によって集塵ローラ５表面に付着した異物が掻き取られる。これにより、集塵ローラ５表面が異物の除去された清浄な状態となる。なお、スクレーパー６の先端部下方にトレイ状の異物回収部８が配設されており、上記掻き取られた異物はこの異物回収部８内に落下及び回収される。

＜フレーム＞
フレーム７は、対象物Ｓの搬送方向Ｃに略直交し、搬送方向Ｃの前後に配設される前板及び後板と、搬送方向Ｃに略平行かつ対象物Ｓ表面に対して略垂直に配設される一対の側板と、対象物Ｓ表面に略平行に配設される天板とを有する。上記天板は、上記一対の側板、前板及び後板の各上端に接続している。クリーニングローラ２、クリーニングブラシ３、ブラシローラ４、集塵ローラ５及びスクレーパー６は、このような形状を有するフレーム７の内側に収容される。

また、上記後板の下部は、対象物Ｓ表面と略平行となるよう搬送方向Ｃの下流側に屈曲され、その屈曲された端部側は、クリーニングブラシ３と接触しないよう、さらに上方へ屈曲されている。この後板の下部の屈曲形状により、トレイ状の異物回収部８が形成されている。

フレーム７は、絶縁性を有する材料で形成される。このような絶縁性材料としては、例えばポリアセタ―ルなどの樹脂が挙げられる。

上記異物回収部８は、スクレーパー６の先端部が集塵ローラ５表面に接触する位置の下方に形成される。スクレーパー６の先端部との接触により集塵ローラ５表面から掻き取られた異物が、この異物回収部８内に落下及び回収される。

＜対向電極ローラ＞
第１対向電極ローラ９は、表面を帯電させた状態で、対象物Ｓのクリーニングブラシ３と接触する面とは反対側の面と接触するよう、クリーニングブラシ３と略平行にかつ対向する位置に回転自在に配設される。この第１対向電極ローラ９は、対象物Ｓの搬送に伴って連れ回りする。

第１対向電極ローラ９は、一部又は全部が導電性材料で形成される。このような導電性材料としては、例えばステンレス、銅、アルミニウム等の金属材料が挙げられる。第１対向電極ローラ９は、このような導電性材料のみで形成してもよく、このような導電性材料で形成された芯金の外周面を合成樹脂等の絶縁層が覆うような構成としてもよい。

第１対向電極ローラ９には、クリーニングブラシ３に印加される電圧よりも低い電圧又は正負が逆の電圧が印加される。又は、第１対向電極ローラ９は接地される。これにより、クリーニングブラシ３の電界の力による吸着効果が促進され、対象物Ｓのクリーニングブラシ３側の面に付着の異物がクリーニングブラシ３に吸着され易くなる。

第２対向電極ローラ１０は、表面を帯電させた状態で、対象物Ｓのクリーニングローラ２と接触する面とは反対側の面と接触するよう、クリーニングローラ２と略平行にかつ対向する位置に回転自在に配設される。この第２対向電極ローラ１０は、対象物Ｓの搬送に伴って連れ回りする。

第２対向電極ローラ１０は、導電性材料で形成され、例えば第１対向電極ローラ９と同様の材料で形成することができる。導電材料で形成された第２対向電極ローラ１０に電圧が印加されること、又は第２対向電極ローラ１０が接地されることにより、クリーニングローラ２の電界の力による吸着効果が促進される。

＜ガイドローラ＞
一対のガイドローラ１１は、クリーニングブラシ３及び第１対向電極ローラ９よりも対象物Ｓの搬送方向Ｃ上流側に、対象物Ｓの搬送方向Ｃと略垂直かつ対象物Ｓ表面と略平行な回転軸を中心として回転自在に配設される。一対のガイドローラ１１は、これらのガイドローラ１１間を搬送される対象物Ｓの両面が各ガイドローラ１１の周面に接触する程度の間隙を有するよう配設される。この一対のガイドローラ１１は、対象物Ｓの搬送に伴って連れ回りする。

当該クリーニング装置１に対象物Ｓを一対のガイドローラ１１間に挿入することで、当該クリーニング装置１内への対象物Ｓ先端の進行する向きが規制される。例えば対象物Ｓが薄いフィルム状などの場合、先端が曲がり易いが、このような場合でも一対のガイドローラ１１間への挿入により上記先端の曲がりが抑制され、クリーニングブラシ３及び第１対向電極ローラ９間に対象物Ｓ先端を進入させることができる。なお、対象物Ｓが、例えば先端の折れ曲がり難い板状のようなものであり、先端をクリーニングブラシ３及び第１対向電極ローラ９間に進入させ易い場合、一対のガイドローラ１１は省略してもよい。

ガイドローラ１１の材質は、対象物Ｓとの間の摩擦力が小さいものが好ましく、ガイドローラ１１を形成する材料として金属や樹脂などを用いることができる。

なお、一対のガイドローラ１１は、回転駆動される構成としてもよい。例えば対象物Ｓの搬送方向Ｃに対して順方向となるよう一対のガイドローラ１１を回転駆動することで、当該クリーニング装置１内における対象物Ｓの搬送速度を一定とすることができる。

［クリーニング方法］
図１のクリーニング装置１を用いて、フィルム状又は板状対象物表面に付着する異物を除去するクリーニング方法について説明する。このクリーニング方法は、フィルム状又は板状対象物Ｓを搬送する工程（搬送工程）と、対象物Ｓ表面と接触し、対象物Ｓ表面との接点部分での回転方向が対象物Ｓの搬送方向Ｃに対して逆方向となるよう回転駆動されるクリーニングブラシ３により、対象物Ｓ表面に付着の異物を吸着する第１異物吸着工程と、回転自在に配設され、表面を帯電させた状態で対象物Ｓ表面に接触させるクリーニングローラ２により、上記異物を吸着する第２異物吸着工程とを主に備える。また、このクリーニング方法は、帯電かつ回転駆動されつつクリーニングローラ２表面に接触するブラシローラ４に、クリーニングローラ２に吸着させた異物を移動する第１異物移動工程と、表面が帯電された状態でクリーニングブラシ３及びブラシローラ４の外周側に接触する集塵ローラ５に、クリーニングブラシ３及びブラシローラ４に付着させた異物を移動する第２異物移動工程と、集塵ローラ５の表面に付着させた異物のスクレーパー６での掻き取りにより上記異物を回収する工程（異物回収工程）とをさらに備える。

＜搬送工程＞
上記搬送工程では、フィルム状又は板状対象物Ｓの先端を一対のガイドローラ１１間に挿入する。例えば上記対象物Ｓを搬送するベルトコンベアなどの搬送機構の端部に上記一対のガイドローラ１１が配置されるようクリーニング装置１を配設することで、上記搬送機構による搬送速度でクリーニング装置１に対象物Ｓを挿入することができる。また、例えば人手によって対象物Ｓの先端を一対のガイドローラ１１間に挿入してもよい。ガイドローラ１１間に対象物Ｓの先端が挿入されると、クリーニングローラ２及び第２対向電極ローラ１０間を対象物Ｓの両面が接触しながら通過することでクリーニングローラ２及び第２対向電極ローラ１０が連れ回りし、この連れ回りによって生じるクリーニングローラ２及び第２対向電極ローラ１０の回転慣性で対象物Ｓがクリーニング装置１内を搬送される。

＜第１異物吸着工程＞
上記第１異物吸着工程では、対象物Ｓのクリーニングブラシ３側の面に付着の異物をクリーニングブラシ３に吸着させる。具体的には、クリーニングブラシ３が、対象物Ｓ表面との接点部分での回転方向が対象物Ｓの搬送方向Ｃに対して逆方向となるよう回転駆動されるので、クリーニングブラシ３が対象物Ｓ表面に接触する際、対象物Ｓ表面に付着の異物が掻き起こされる。また、クリーニングブラシ３を帯電させているので、電界の力により対象物Ｓ表面の異物がクリーニングブラシ３に吸着される。なお、上記掻き起こしにより比較的大きなミリサイズの異物が掻き起こされるので、第１異物吸着工程では、クリーニングブラシ３によって対象物Ｓ表面から比較的大きなミリサイズの異物が効果的に除去される。

＜第２異物吸着工程＞
上記第２異物吸着工程では、対象物Ｓのクリーニングローラ２側の面に付着の異物をクリーニングローラ２表面に吸着させる。具体的には、クリーニングローラ２が、帯電された状態で対象物Ｓ表面に接触しながら連れ回りするので、クリーニングローラ２が対象物Ｓ表面に接触する際、電界の力により対象物Ｓ表面の異物がクリーニングローラ２に吸着される。ここで、クリーニングローラ２は、軸方向に亘って対象物Ｓ表面に接触し易いので、ミクロンサイズの微細な異物も吸着できる。従って、上記第１異物吸着工程及び第２異物吸着工程を行うことにより、対象物Ｓ表面に付着の比較的大きな異物と共に微細な異物を除去できる。

＜第１異物移動工程＞
上記第１異物移動工程では、第２異物吸着工程でクリーニングローラ２に吸着させた異物をブラシローラ４に移動させる。具体的には、クリーニングローラ２に印加する電圧よりも高い電圧をブラシローラ４に印加し、このブラシローラ４をクリーニングローラ２表面に接触させつつ回転駆動することで、クリーニングローラ２に吸着させた異物がブラシローラ４に移動する。これにより、対象物Ｓ表面に接触する前のクリーニングローラ２の周面が異物のない清浄な状態となる。

＜第２異物移動工程＞
上記第２異物移動工程では、第１異物吸着工程でクリーニングブラシ３に付着させた異物及び第１異物移動工程でブラシローラ４に付着させた異物を集塵ローラ５に移動させる。具体的には、クリーニングブラシ３及びブラシローラ４に印加する電圧よりも高い電圧を集塵ローラ５に印加し、この集塵ローラ５をクリーニングブラシ３及びブラシローラ４の外周側に接触させつつ回転駆動することで、クリーニングブラシ３及びブラシローラ４に付着させた異物が集塵ローラ５に吸着される。

＜異物回収工程＞
上記異物回収工程では、第２異物移動工程で集塵ローラ５表面に吸着させた異物を回収する。具体的には、上記表面がスクレーパー６の先端部に接触する集塵ローラ５を回転駆動することで、集塵ローラ５表面に吸着させた異物がスクレーパー６によって掻き取られる。この掻き取られた異物は、異物回収部８内に落下及び回収される。

［利点］
当該クリーニング装置は、対象物の搬送方向Ｃと略垂直かつ対象物表面と略平行な回転軸を中心として回転自在に配設されるクリーニングローラの表面を帯電させた状態で対象物表面に接触させるので、電界の力によるクリーニングローラ表面への吸着により微細な異物を効果的に除去できる。また、当該クリーニング装置は、クリーニングローラと略平行に配設されるローラ状のクリーニングブラシを帯電させた状態で回転駆動させつつ対象物表面に接触させるので、対象物表面に付着の異物を掻き起こし、ミリサイズの比較的大きな異物を効果的に除去できる。

また、当該クリーニング装置は、クリーニングブラシ及びブラシローラと略平行に配設される集塵ローラが表面を帯電させた状態でクリーニングブラシ及びブラシローラの外周側に接触するので、クリーニングブラシ及びブラシローラに移動させた異物をさらに集塵ローラに移動できる。その結果、クリーニングブラシ及びブラシローラに付着した異物の除去作業を省略又は軽減できる。

また、当該クリーニング装置は、クリーニングローラ及びクリーニングブラシが単一のユニットに組み込まれているので、小型化し易い。

〔第二実施形態〕
図２に示す当該クリーニング装置２１は、対象物Ｓの搬送方向Ｃと略垂直かつ対象物Ｓ表面と略平行な回転軸を中心として回転自在に配設され、表面を帯電させた状態で対象物Ｓ表面に接触させるクリーニングローラ２２と、クリーニングローラ２２と略平行に配設され、回転駆動させつつ対象物Ｓ表面に接触させるローラ状のクリーニングブラシ２３とを主に備える。このクリーニングブラシ２３は、クリーニングローラ２２表面に接触している。また、当該クリーニング装置２１は、クリーニングブラシ２３と略平行に配設され、表面が帯電された状態でクリーニングブラシ２３の外周側に接触する集塵ローラ２５を備える。上記クリーニングローラ２２における対象物Ｓ表面との接点部分での回転方向は、対象物Ｓの搬送方向Ｃに対して順方向であり、クリーニングブラシ２３における対象物Ｓ表面との接点部分での回転方向は、対象物Ｓの搬送方向Ｃに対して逆方向である。

また、当該クリーニング装置２１は、集塵ローラ２５表面に付着した異物を掻き取るスクレーパー２６と、クリーニングブラシ２３と略平行で対向するよう配設される第１対向電極ローラ９と、クリーニングローラ２２と略平行で対向するよう配設される第２対向電極ローラ１０と、対象物Ｓの搬送方向Ｃと略垂直かつ対象物Ｓ表面と略平行な回転軸を中心として回転自在に配設され、対象物Ｓの先端が進行する向きを規制する一対のガイドローラ１１とを備える。なお、当該クリーニング装置２１は、クリーニングローラ２２、クリーニングブラシ２３、集塵ローラ２５及びスクレーパー２６がフレーム内に収容され、第一実施形態のクリーニング装置１と同様に単一のユニットに組み込まれるが、図２ではフレームの図示を省略している。

また、当該クリーニング装置２１は、ブラシローラを備えていないこと、及びクリーニングローラ２２とクリーニングブラシ２３との相対的な配置が異なること以外は、第１実施形態のクリーニング装置１と同様の構成であるため、クリーニングローラ２２、クリーニングブラシ２３、集塵ローラ２５及びスクレーパー２６以外については同一符号を付して説明を省略する。

＜クリーニングローラ＞
クリーニングローラ２２は、表面を帯電させた状態で対象物Ｓ表面に接触し、対象物Ｓの搬送に伴って連れ回りしつつ電界の力により対象物Ｓ表面に付着の異物を吸着する。このクリーニングローラ２２は、例えば第一実施形態のクリーニングローラ２と同様のものを用いることができる。

＜クリーニングブラシ＞
ローラ状のクリーニングブラシ２３は、クリーニングローラ２２と略平行に配設され、対象物Ｓ表面に接触しながら、対象物Ｓ表面との接点部分での回転方向が対象物Ｓの搬送方向Ｃに対して逆方向となるよう回転駆動される。クリーニングブラシ２３は、例えば第一実施形態のクリーニングブラシ３と同様のものを用いることができる。

クリーニングローラ２２及びクリーニングブラシ２３は、第一実施形態のクリーニングローラ２及びクリーニングブラシ３とは、相対的な位置関係が異なる。つまり、第一実施形態のクリーニングローラ２及びクリーニングブラシ３が離間して配設されるのに対し、クリーニングブラシ２３は、クリーニングローラ２２表面に接触するよう配設される。

クリーニングブラシ２３には、クリーニングローラ２２への印加電圧よりも高い電圧を印加する。これにより、クリーニングブラシ２３の外周側がクリーニングローラ２２表面よりも電位が高くなるので、クリーニングローラ２２表面に付着した異物がクリーニングブラシ２３に吸着され、クリーニングローラ２２表面の異物がクリーニングブラシ２３に移動する。

＜集塵ローラ＞
集塵ローラ２５は、クリーニングブラシ２３と略平行に配設され、表面を帯電させた状態でクリーニングブラシ２３の外周側と接触するよう回転駆動される。集塵ローラ２５は、例えば第一実施形態の集塵ローラ５と同様のものを用いることができる。

集塵ローラ２５には、クリーニングブラシ２３への印加電圧よりも高い電圧を印加する。これにより、集塵ローラ２５表面がクリーニングブラシ２３の外周側よりも電位が高くなるので、クリーニングブラシ２３に付着した異物が集塵ローラ２５表面に吸着され、クリーニングブラシ２３に付着の異物が集塵ローラ２５に移動する。これにより、クリーニングブラシ２３に集積される異物の除去作業を省略又は軽減できる。

集塵ローラ２５の回転方向は、いずれの方向であってもよいが、スクレーパー２６により集塵ローラ２５表面から掻き取られる異物が回収され易い回転方向で駆動するとよい。当該クリーニング装置２１では、集塵ローラ２５の搬送方向Ｃ上流側に、矩形状のスクレーパー２６が搬送方向Ｃ下流側かつ下方に傾斜するよう配設されるので、集塵ローラ２５はクリーニングブラシ２３と同じ回転方向で駆動される。

＜スクレーパー＞
スクレーパー２６は、搬送方向Ｃ下流側かつ下方に傾斜し、先端部が集塵ローラ２５表面に回転軸方向に亘って接触する状態となるよう配設される。スクレーパー２６は、例えば第一実施形態のスクレーパー６と同様のものを用いることができる。

集塵ローラ２５の回転に伴い、集塵ローラ２５表面に接触するスクレーパー２６の先端部によって集塵ローラ２５表面に付着した異物が掻き取られる。これにより、集塵ローラ２５表面が異物のない清浄な状態となる。スクレーパー２６により掻き取られた異物は、不図示の異物回収部内に落下及び回収される。

［利点］
当該クリーニング装置は、クリーニングローラ２２表面に吸着させた異物をクリーニングブラシ２３に移動させるので、クリーニングローラ２２表面の異物を移動させるブラシローラを配設する必要がない。これにより、設備コストを低減できると共に小型化し易くなる。

〔その他の実施形態〕
本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、上記態様の他、種々の変更、改良を施した態様で実施することができる。

上記実施形態では、クリーニングブラシがクリーニングローラよりも対象物の搬送方向上流側に配設される構成のクリーニング装置について説明したが、図３のクリーニング装置３１のように、クリーニングローラ３２をクリーニングブラシ３３よりも対象物Ｓの搬送方向Ｃ上流側に配設する構成としてもよい。図３のクリーニング装置３１は、第二実施形態のクリーニング装置２１とは、対象物Ｓの搬送方向Ｃに対するクリーニングローラ及びクリーニングブラシの配列が異なるものである。なお、図３では、クリーニングローラ３２及びクリーニングブラシ３３以外の各部の図示を省略している。このクリーニング装置３１では、まずクリーニングローラ３２により対象物Ｓ表面に付着の異物を吸着した後、クリーニングブラシ３３により対象物Ｓ表面に残存する異物を吸着除去する。ここで、クリーニングローラ３２は、主に微細な異物を吸着し、クリーニングブラシ３３は、対象物Ｓ表面の比較的大きな異物を掻き起こし、主にこの掻き起こした異物を吸着する。

図２のクリーニング装置２１のように、対象物Ｓの搬送方向Ｃ上流側にクリーニングブラシ２３を配設する場合、クリーニングブラシ２３により対象物Ｓ表面の異物が掻き起こされた後にクリーニングローラ２２が対象物Ｓ表面の異物を吸着するので、掻き起こしにより対象物Ｓ表面に堆積した微細な異物もクリーニングローラ２２により除去でき、対象物Ｓに付着の異物を効果的に除去できる。一方、図３のクリーニング装置３１のように、対象物Ｓの搬送方向Ｃ上流側にクリーニングローラ３２を配設する場合、クリーニングローラ３２により対象物Ｓ表面の微細な異物が除去された後に、クリーニングブラシ３３により対象物Ｓ表面の異物を掻き起こす。この掻き起こしでは比較的大きな異物も掻き起こされるので、クリーニングブラシ３３により微細な異物と共に比較的大きな異物も吸着除去できる。従って、この場合にも、比較的大きな異物と共に微細な異物を除去できる。

また、上記実施形態では、クリーニングローラ及びクリーニングブラシが単一のユニットに組み込まれる構成について説明したが、これらを別のユニットに組み込む構成としてもよい。具体的には、クリーニングローラ及びクリーニングブラシを組み込むユニットとして、例えば図４Ａに示すクリーニングローラ４２が組み込まれたクリーニングローラユニット４１、及び図４Ｂに示すクリーニングブラシ５３が組み込まれたクリーニングブラシユニット５１のように別のユニットとしてもよい。上記クリーニングローラユニット４１は、搬送される対象物表面にクリーニングローラ４２表面が接触し連れ回りするよう配設される。このように配設されるクリーニングローラユニット４１は、クリーニングローラ４２が対象物表面に付着の異物を吸着し、このクリーニングローラ４２に吸着させた異物がブラシローラ４４に移動し、このブラシローラ４４に移動した異物がさらに第１集塵ローラ４５に吸着され、この第１集塵ローラ４５表面に付着した異物がスクレーパー４６によって掻き取られて異物回収部４８で回収される。一方、上記クリーニングブラシユニット５１は、クリーニングブラシ５３の外周側が対象物表面に接触するよう配設される。このように配設されるクリーニングブラシユニット５１は、クリーニングブラシ５３が対象物表面に付着の異物を掻き起こすと共に吸着し、このクリーニングブラシ５３に付着させた異物が第２集塵ローラ５５に吸着され、この第２集塵ローラ５５表面に付着した異物がスクレーパー５６によって掻き取られて異物回収部５８で回収される。なお、このクリーニング装置は、上述のようにクリーニングブラシ５３の外周側に接触する集塵ローラとして、ブラシローラ４４の外周側に接触する第１集塵ローラ４５とは別の第２集塵ローラ５５を備えている。つまり、このクリーニング装置は、２の集塵ローラを備えている。

上記クリーニングローラユニット４１及びクリーニングブラシユニット５１は、例えば対象物の搬送方向Ｃに沿って順に配設し、それぞれのユニットが対象物表面の異物の吸着及び除去を行う。このようにクリーニングローラ４２が組み込まれたクリーニングローラユニット４１と、クリーニングブラシ５３が組み込まれたクリーニングブラシユニット５１とを別に備える構成とすることで、対象物の搬送方向Ｃに沿って配設する順を容易に入れ替えることができ、また対象物の搬送方向Ｃに沿って複数のクリーニングローラユニット４１や複数のクリーニングブラシユニット５１を配設することもできる。また、クリーニングローラ４２の交換が必要となったときにはクリーニングローラユニット４１のみを交換すればよく、クリーニングブラシ５３の交換が必要となったときにはクリーニングブラシユニット５１のみを交換すればよい。従って、クリーニングローラ４２及びクリーニングブラシ５３をそれぞれの使用可能な期間、使用し続けることができる。

また、上記実施形態では、搬送される対象物の片面に付着の異物を除去する構成について説明したが、上記実施形態のクリーニング装置を対象物の両面側に配設し、対象物の両面に付着の異物を除去する構成としてもよい。例えば図５のクリーニングシステム６１のように、図２のクリーニング装置２１を２つ備える構成とすることで、対象物の両面の異物を除去できる。このクリーニングシステム６１は、対象物Ｓの搬送方向Ｃ上流側に対象物Ｓの一方の面の異物を除去するクリーニング装置２１が配設され、その下流側に対象物Ｓの他方の面の異物を除去する別のクリーニング装置２１が配設される。つまり、上流側のクリーニング装置２１は、クリーニングローラ及びクリーニングブラシが対象物Ｓの一方の面に接触するよう配設され、下流側のクリーニング装置２１は、クリーニングローラ及びクリーニングブラシが対象物Ｓの他方の面に接触するよう配設される。なお、ここでは、第二実施形態のクリーニング装置２１を対象物の両面側に配設する構成について説明したが、図１のクリーニング装置１や図３のクリーニング装置３１を対象物の両面側に配設する構成としてもよいし、対象物Ｓの一方の面側と他方の面側とで構成の異なるクリーニング装置を配設する構成としてもよい。

また、上記第一実施形態では、クリーニングブラシ及びブラシローラの両方の外周側に接触し、クリーニングブラシ及びブラシローラに付着の異物を吸着する１の集塵ローラを備える構成のクリーニング装置について説明したが、クリーニングブラシ及びブラシローラに付着の異物を別々に吸着する２の集塵ローラを備える構成としてもよい。このように２の集塵ローラを備える構成とすることで、表面が常に清浄な状態で集塵ローラがクリーニングブラシ及びブラシローラに接触するので、より確実にクリーニングブラシ及びブラシローラに付着の異物を集塵ローラに移動させることができる。

以下、実施例によって本発明をさらに具体的に説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。

［実施例１］
対象物の搬送方向上流側に図４Ｂのクリーニングブラシユニット５１を配設し、下流側に図４Ａのクリーニングローラユニット４１を配設したクリーニング装置を用いて、試験用の対象物表面に散布した異物の除去効果を評価した。具体的には、試験用の対象物として、平均厚さ７５μｍ、平均幅１００ｍｍ、平均長さ１００ｍｍの帯状のポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）シートを用い、このＰＥＴシート表面に試験用異物として平均直径２ｍｍの円形状のＰＥＴを散布し、上記クリーニング装置にこのＰＥＴシートを搬送速度１２ｍ／ｍｉｎで挿入した。クリーニングブラシ５３としてポリエステル製のブラシ部を有するものを用い、このクリーニングブラシ５３は、ＰＥＴシートへの圧接量が０．５ｍｍとなるよう配設し、ＰＥＴシート表面との接点部分での回転方向がＰＥＴシートの搬送方向に対して逆方向となるよう周速度６ｍ／ｍｉｎで回転駆動させた。また、クリーニングブラシ５３への印加電圧を−８００Ｖとし、集塵ローラ５５への印加電圧を−１２００Ｖとした。なお、クリーニングローラ４２はＰＥＴシートの搬送に伴って連れ回りするため、クリーニングローラ４２の周速度は１２ｍ／ｍｉｎであった。また、クリーニングローラ４２への印加電圧を−４００Ｖとし、ブラシローラ４４への印加電圧を−８００Ｖとし、集塵ローラ４５への印加電圧を−１２００Ｖとした。

［実施例２］
ＰＥＴシートへの圧接量が０．１ｍｍとなるようクリーニングブラシ５３を配設した以外は、実施例１と同様の方法により、試験用異物を散布したＰＥＴシートを上記クリーニング装置に挿入した。

［比較例１］
ＰＥＴシートへの圧接量が０．１ｍｍとなるようクリーニングブラシ５３を配設し、クリーニングブラシ５３をＰＥＴシート表面との接点部分での回転方向がＰＥＴシートの搬送方向に対して順方向となるよう周速度３６ｍ／ｍｉｎで回転駆動させた以外は、実施例１と同様の方法により、試験用異物を散布したＰＥＴシートを上記クリーニング装置に挿入した。

［比較例２］
クリーニングブラシ５３をＰＥＴシート表面との接点部分での回転方向がＰＥＴシートの搬送方向に対して順方向となるよう周速度２４ｍ／ｍｉｎで回転駆動させた以外は、実施例１と同様の方法により、試験用異物を散布したＰＥＴシートを上記クリーニング装置に挿入した。

［比較例３］
クリーニングブラシ５３をＰＥＴシート表面との接点部分での回転方向がＰＥＴシートの搬送方向に対して順方向となるよう周速度１２ｍ／ｍｉｎで回転駆動させた以外は、実施例１と同様の方法により、試験用異物を散布したＰＥＴシートを上記クリーニング装置に挿入した。

［比較例４］
ＰＥＴシートへの圧接量が０．１ｍｍとなるようクリーニングブラシ５３を配設し、クリーニングブラシ５３をＰＥＴシート表面との接点部分での回転方向がＰＥＴシートの搬送方向に対して順方向となるよう周速度６ｍ／ｍｉｎで回転駆動させた以外は、実施例１と同様の方法により、試験用異物を散布したＰＥＴシートを上記クリーニング装置に挿入した。

［クリーニング性評価］
実施例１、実施例２、比較例１〜４で、クリーニング装置挿入前のＰＥＴシート表面へ１５個の試験用異物を散布し、クリーニング装置を通した後のＰＥＴシート表面に残存する異物の個数を目視でカウントした。試験用異物の散布数及びクリーニング装置を通した後の異物の個数から、下記式（１）により異物の除去率［％］を算出した。実施例１、実施例２、比較例１〜４の評価結果を表１に示す。なお、表１において「クリーニングブラシの回転方向」は、クリーニングブラシとＰＥＴシート表面との接点部分でのＰＥＴシートの搬送方向に対する移動方向を示している。
除去率［％］＝｛（クリーニング前の異物の散布数−クリーニング後の異物の残存数）
／（クリーニング前の異物の散布数）｝×１００ ・・・（１）

表１の結果より、実施例１及び実施例２では、異物を１００％除去できることを確認できた。これは、ＰＥＴシートの搬送方向に対してクリーニングブラシを逆方向に回転させたことにより、ＰＥＴシート表面に付着する異物が掻き起され、帯電させたクリーニングブラシに吸着され易くなったためと考えられる。

一方、比較例１〜４では、クリーニングブラシの周速度及び圧接量の違いによる異物除去効果への影響は特に認められず、ほとんど異物を除去できなかったことがわかる。これらのことより、ＰＥＴシートの搬送方向に対してクリーニングブラシを逆方向に回転させることで、異物の除去効果を顕著に向上できることを確認できた。

本発明のクリーニング装置は、ミリサイズの比較的大きな異物と共に微細な異物を除去できるので、フラットパネルディスプレイのガラス基板、電子部品を搭載するプリント基板、樹脂薄板、フィルム材料等の表面に付着する塵埃などの異物を取り除くために好適に用いることができる。

１，２１，３１ クリーニング装置
２，２２，３２，４２ クリーニングローラ
２ａ 芯金
２ｂ 内層部
２ｃ 外層部
３，２３，３３，５３ クリーニングブラシ
３ａ 芯金
３ｂ ブラシ部
４，４４ ブラシローラ
４ａ 芯金
４ｂ ブラシ部
５，２５，４５，５５ 集塵ローラ
６，２６，４６，５６ スクレーパー
７ フレーム
８，４８，５８ 異物回収部
９ 第１対向電極ローラ
１０ 第２対向電極ローラ
１１ ガイドローラ
４１ クリーニングローラユニット
５１ クリーニングブラシユニット
６１ クリーニングシステム
Ｃ 搬送方向
Ｓ 対象物

Claims (6)

1. 搬送される対象物表面のクリーニング装置であって、
   上記対象物の搬送方向と略垂直かつ対象物表面と略平行な回転軸を中心として配設され、表面を帯電させた状態で上記対象物表面に接触させるクリーニングローラと、
   このクリーニングローラと略平行に配設され、帯電させた状態で回転駆動させつつ上記対象物表面に接触させるクリーニングブラシと、
   上記クリーニングブラシよりも上記対象物の搬送方向上流側に、上記対象物の搬送方向と略垂直かつ対象物表面と略平行な回転軸を中心として配設され、上記対象物の進行する向きを規制する一対のガイドローラと
   を備え、
   上記クリーニングブラシにおける対象物表面との接点部分での回転方向が上記対象物の搬送方向に対して逆方向であることを特徴とするクリーニング装置。
2. 上記クリーニングブラシと略平行に配設され、表面を帯電させた状態で上記クリーニングブラシの外周側に接触させる集塵ローラをさらに備える請求項１に記載のクリーニング装置。
3. 上記クリーニングローラと略平行に配設され、帯電かつ回転駆動させつつ上記クリーニングローラ表面に接触させるブラシローラをさらに備える請求項１に記載のクリーニング装置。
4. 上記クリーニングブラシ及びブラシローラと略平行に配設され、表面を帯電させた状態で上記クリーニングブラシ及びブラシローラの外周側に接触させる１又は２の集塵ローラをさらに備える請求項３に記載のクリーニング装置。
5. 上記クリーニングローラ及びクリーニングブラシが単一のユニットに組み込まれている請求項１から請求項４のいずれか１項に記載のクリーニング装置。
6. 上記クリーニングローラが組み込まれたユニットと、上記クリーニングブラシが組み込まれたユニットとを別に備える請求項１から請求項４のいずれか１項に記載のクリーニング装置。

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