JPH11216430A - 洗浄装置 - Google Patents
洗浄装置Info
- Publication number
- JPH11216430A JPH11216430A JP10018770A JP1877098A JPH11216430A JP H11216430 A JPH11216430 A JP H11216430A JP 10018770 A JP10018770 A JP 10018770A JP 1877098 A JP1877098 A JP 1877098A JP H11216430 A JPH11216430 A JP H11216430A
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- Japan
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- crystal display
- display panel
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 従来の洗浄装置に対して構成を複雑なものと
することなく、洗浄の仕上がり状態を良好にすることが
できる洗浄装置を提供する。 【解決手段】 ブラシ１１は、液晶表示パネルの進行方
向に対して直交する方向に摺動する。ブラシ１１を摺動
させる方法としては、ブラシ１１を同時に回転させるユ
ニットをスライドレール１３上に配置し、モーターの回
転軸に直結した円盤１５に取り付けたシャフト１６をユ
ニットにつなぐことにより、モーターの回転によってユ
ニットが液晶表示パネルの進行方向に対して直交する方
向に動く。このようにして、ブラシ１１を液晶表示パネ
ルの進行方向に対して直交する方向に摺動させることが
できる。
することなく、洗浄の仕上がり状態を良好にすることが
できる洗浄装置を提供する。 【解決手段】 ブラシ１１は、液晶表示パネルの進行方
向に対して直交する方向に摺動する。ブラシ１１を摺動
させる方法としては、ブラシ１１を同時に回転させるユ
ニットをスライドレール１３上に配置し、モーターの回
転軸に直結した円盤１５に取り付けたシャフト１６をユ
ニットにつなぐことにより、モーターの回転によってユ
ニットが液晶表示パネルの進行方向に対して直交する方
向に動く。このようにして、ブラシ１１を液晶表示パネ
ルの進行方向に対して直交する方向に摺動させることが
できる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、板状物体を複数の
搬送ローラーで搬送しながらブラシで洗浄する洗浄装置
に関するもので、特に液晶表示パネル、液晶表示パネル
用電極基板および半導体基板等の洗浄に用いられる洗浄
装置に関するものである。
搬送ローラーで搬送しながらブラシで洗浄する洗浄装置
に関するもので、特に液晶表示パネル、液晶表示パネル
用電極基板および半導体基板等の洗浄に用いられる洗浄
装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】液晶表示装置の製造工程においては、各
工程の最後に液晶表示パネルまたは液晶表示パネル用電
極基板を洗浄し、次の工程へ進む。このときの洗浄方法
としては、ブラシ洗浄方式または超音波洗浄方式が用い
られる。近年、液晶表示パネルまたは液晶表示パネル用
電極基板に付着した異物を効率よく除去できるという理
由で、液晶表示パネルまたは液晶表示パネル用電極基板
を複数の搬送ローラーで搬送しながら、円筒状のブラシ
を回転させることで洗浄するブラシ洗浄装置が用いられ
ている。
工程の最後に液晶表示パネルまたは液晶表示パネル用電
極基板を洗浄し、次の工程へ進む。このときの洗浄方法
としては、ブラシ洗浄方式または超音波洗浄方式が用い
られる。近年、液晶表示パネルまたは液晶表示パネル用
電極基板に付着した異物を効率よく除去できるという理
由で、液晶表示パネルまたは液晶表示パネル用電極基板
を複数の搬送ローラーで搬送しながら、円筒状のブラシ
を回転させることで洗浄するブラシ洗浄装置が用いられ
ている。
【０００３】ブラシ洗浄装置は、図１３に示すように、
枚葉処理で搬送ローラー５１によって液晶表示パネル５
２を水平方向に搬送しながら、円筒状のブラシ５３を液
晶表示パネル５２の搬送方向に対して順方向または逆方
向に回転させ、液晶表示パネル５２を洗浄する装置であ
る。
枚葉処理で搬送ローラー５１によって液晶表示パネル５
２を水平方向に搬送しながら、円筒状のブラシ５３を液
晶表示パネル５２の搬送方向に対して順方向または逆方
向に回転させ、液晶表示パネル５２を洗浄する装置であ
る。
【０００４】搬送ローラー５１は、液晶表示パネル５２
の下面側を支えるように構成され、図示しないモーター
によって回転し、枚葉処理で液晶表示パネル５２を水平
方向に搬送する。また、液晶表示パネル５２を安定して
搬送できるように、液晶表示パネル５２の上面側にも搬
送ローラー５１を設ける場合もある。
の下面側を支えるように構成され、図示しないモーター
によって回転し、枚葉処理で液晶表示パネル５２を水平
方向に搬送する。また、液晶表示パネル５２を安定して
搬送できるように、液晶表示パネル５２の上面側にも搬
送ローラー５１を設ける場合もある。
【０００５】円筒状のブラシ５３は、所定の間隔をおい
て、搬送ローラー５１間に搬送ローラー５１と平行とな
るように設けられる。一般的には、円筒状のブラシ５３
は液晶表示パネル５２の上面側および下面側に設けら
れ、図示しないモーターによって液晶表示パネル５２の
搬送方向に対して順方向または逆方向に回転させ、液晶
表示パネル５２に付着した埃、ガラス粉および汚れ等を
除去する。
て、搬送ローラー５１間に搬送ローラー５１と平行とな
るように設けられる。一般的には、円筒状のブラシ５３
は液晶表示パネル５２の上面側および下面側に設けら
れ、図示しないモーターによって液晶表示パネル５２の
搬送方向に対して順方向または逆方向に回転させ、液晶
表示パネル５２に付着した埃、ガラス粉および汚れ等を
除去する。
【０００６】円筒状のブラシ５３によって液晶表示パネ
ル５２の洗浄を行う際には、液晶表示パネル５２の上面
側および下面側に設けられたスプレーノズル５４から、
洗浄液５５を液晶表示パネル５２にかけながら洗浄を行
う。洗浄液５５としては、市水または純水等が用いら
れ、中性洗剤等を混ぜることもある。
ル５２の洗浄を行う際には、液晶表示パネル５２の上面
側および下面側に設けられたスプレーノズル５４から、
洗浄液５５を液晶表示パネル５２にかけながら洗浄を行
う。洗浄液５５としては、市水または純水等が用いら
れ、中性洗剤等を混ぜることもある。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】今後、より小さい埃、
ガラス粉および汚れ等の異物の除去が要求されれば、液
晶表示パネルまたは液晶表示パネル用電極基板に対する
ブラシの接触回数を増やすことが必要となる。また、異
物除去の効果を高めるために洗剤を用いる場合も同じこ
とで、液晶表示パネルまたは液晶表示パネル用電極基板
に対するブラシの接触回数を増やすことで、洗剤を十分
に広げることができるようになる。
ガラス粉および汚れ等の異物の除去が要求されれば、液
晶表示パネルまたは液晶表示パネル用電極基板に対する
ブラシの接触回数を増やすことが必要となる。また、異
物除去の効果を高めるために洗剤を用いる場合も同じこ
とで、液晶表示パネルまたは液晶表示パネル用電極基板
に対するブラシの接触回数を増やすことで、洗剤を十分
に広げることができるようになる。
【０００８】液晶表示パネルまたは液晶表示パネル用電
極基板に対するブラシの接触回数を増やすには、ブラシ
の回転数を上げるかブラシの数を増やす必要がある。ブ
ラシの回転数を上げる場合には、モーターの回転数およ
び回転トルクによって制限されてしまうという問題点が
ある。また、ブラシの数を増やす場合には、洗浄装置が
大きくなってしまい、洗浄装置の設置スペースが大きく
なるという問題点がある。
極基板に対するブラシの接触回数を増やすには、ブラシ
の回転数を上げるかブラシの数を増やす必要がある。ブ
ラシの回転数を上げる場合には、モーターの回転数およ
び回転トルクによって制限されてしまうという問題点が
ある。また、ブラシの数を増やす場合には、洗浄装置が
大きくなってしまい、洗浄装置の設置スペースが大きく
なるという問題点がある。
【０００９】また、従来のブラシ洗浄装置の別の問題点
として、液晶表示パネルの搬送方向に対して平行な辺の
端子面には問題はないが、液晶表示パネルの搬送方向に
対して直交する辺の端子面の洗浄の仕上がり状態が悪く
なるという問題点がある。
として、液晶表示パネルの搬送方向に対して平行な辺の
端子面には問題はないが、液晶表示パネルの搬送方向に
対して直交する辺の端子面の洗浄の仕上がり状態が悪く
なるという問題点がある。
【００１０】本発明は、以上のような従来の問題点に鑑
みなされたものであって、従来の洗浄装置に対して構成
を複雑なものとすることなく、洗浄の仕上がり状態を良
好にすることができる洗浄装置を提供することを目的と
している。
みなされたものであって、従来の洗浄装置に対して構成
を複雑なものとすることなく、洗浄の仕上がり状態を良
好にすることができる洗浄装置を提供することを目的と
している。
【００１１】
【課題を解決するための手段】前述した目的を達成する
ために、本発明の請求項１記載の洗浄装置は、板状物体
を複数の搬送ローラーで搬送しながら、円筒状のブラシ
を回転させることで前記板状物体を洗浄する洗浄装置に
おいて、前記ブラシを回転させながら、前記板状物体の
搬送方向に対して直交する方向に前記ブラシを摺動させ
ることにより、前記板状物体の洗浄を行うことを特徴と
している。
ために、本発明の請求項１記載の洗浄装置は、板状物体
を複数の搬送ローラーで搬送しながら、円筒状のブラシ
を回転させることで前記板状物体を洗浄する洗浄装置に
おいて、前記ブラシを回転させながら、前記板状物体の
搬送方向に対して直交する方向に前記ブラシを摺動させ
ることにより、前記板状物体の洗浄を行うことを特徴と
している。
【００１２】請求項２記載の洗浄装置は、請求項１記載
の洗浄装置において、前記搬送ローラーが前記板状物体
の上下両面に設けられ、前記搬送ローラーの両端に圧力
測定手段が設けられ、前記圧力測定手段からの情報に基
づいて前記搬送ローラーと前記板状物体との接触圧を制
御することを特徴としている。
の洗浄装置において、前記搬送ローラーが前記板状物体
の上下両面に設けられ、前記搬送ローラーの両端に圧力
測定手段が設けられ、前記圧力測定手段からの情報に基
づいて前記搬送ローラーと前記板状物体との接触圧を制
御することを特徴としている。
【００１３】本発明の洗浄装置によれば、ブラシを回転
させながら板状物体の搬送方向に対して直交する方向に
ブラシを摺動させることで板状物体の洗浄を行うことに
より、洗浄装置を複雑な構成とすることなく、板状物体
に対するブラシの接触回数を増やすことができる。さら
に、板状物体に付着している異物に対して、ブラシを複
数方向から接触させることが可能となり、従来では除去
できなかった異物も除去することができる。さらに、液
晶表示パネルの搬送方向に対して直交する辺の端子面の
洗浄の仕上がり状態を良好なものとすることができる。
させながら板状物体の搬送方向に対して直交する方向に
ブラシを摺動させることで板状物体の洗浄を行うことに
より、洗浄装置を複雑な構成とすることなく、板状物体
に対するブラシの接触回数を増やすことができる。さら
に、板状物体に付着している異物に対して、ブラシを複
数方向から接触させることが可能となり、従来では除去
できなかった異物も除去することができる。さらに、液
晶表示パネルの搬送方向に対して直交する辺の端子面の
洗浄の仕上がり状態を良好なものとすることができる。
【００１４】また、搬送ローラーが板状物体の上下両面
に設けられ、搬送ローラーの両端に圧力測定手段が設け
られ、圧力測定手段からの情報に基づいて搬送ローラー
と板状物体との接触圧を制御することにより、板状物体
の搬送方向に対して直交する方向にブラシを摺動させる
ことで板状物体が蛇行することを防止することができ
る。
に設けられ、搬送ローラーの両端に圧力測定手段が設け
られ、圧力測定手段からの情報に基づいて搬送ローラー
と板状物体との接触圧を制御することにより、板状物体
の搬送方向に対して直交する方向にブラシを摺動させる
ことで板状物体が蛇行することを防止することができ
る。
【００１５】
【発明の実施の形態】図１乃至図１２を用いて、本発明
の実施の形態について説明する。図１は本発明に係わる
洗浄装置を示す平面図、図２は本発明に係わる洗浄装置
を示す側面図、図３は洗浄槽を示す側面図、図４はブラ
シの摺動方向を説明する平面図、図５はブラシの摺動方
向を説明する側面図、図６はブラシの摺動方法を説明す
る平面図、図７はブラシの摺動方法を説明する正面図、
図８は液晶表示パネルの蛇行を説明する平面図、図９は
搬送ローラーを説明する正面図、図１０は搬送ローラー
を説明する側面図、図１１は液晶表示パネルの蛇行を防
止する方法を説明する平面図、図１２は液晶表示パネル
の蛇行を防止する方法を説明する正面図である。
の実施の形態について説明する。図１は本発明に係わる
洗浄装置を示す平面図、図２は本発明に係わる洗浄装置
を示す側面図、図３は洗浄槽を示す側面図、図４はブラ
シの摺動方向を説明する平面図、図５はブラシの摺動方
向を説明する側面図、図６はブラシの摺動方法を説明す
る平面図、図７はブラシの摺動方法を説明する正面図、
図８は液晶表示パネルの蛇行を説明する平面図、図９は
搬送ローラーを説明する正面図、図１０は搬送ローラー
を説明する側面図、図１１は液晶表示パネルの蛇行を防
止する方法を説明する平面図、図１２は液晶表示パネル
の蛇行を防止する方法を説明する正面図である。
【００１６】図１および図２に示すように、液晶表示パ
ネル１が例えば２０枚収納できるカセット２をローダー
３にセットし、１枚ずつ液晶表示パネル１を搬送用のコ
ンベア４上にロボット５によって搬送する。そして、コ
ンベア４上の液晶表示パネル１をコンベア４によって洗
浄槽６に搬送する。
ネル１が例えば２０枚収納できるカセット２をローダー
３にセットし、１枚ずつ液晶表示パネル１を搬送用のコ
ンベア４上にロボット５によって搬送する。そして、コ
ンベア４上の液晶表示パネル１をコンベア４によって洗
浄槽６に搬送する。
【００１７】洗浄槽６の中は、図３に示すように、洗剤
槽７、濯ぎ槽８、リンス槽９に分かれており、液晶表示
パネル１を搬送する搬送ローラー１０および液晶表示パ
ネル１の表面を洗浄するためのナイロン繊維を円筒状に
植え付けたブラシ１１が、液晶表示パネル１を上下から
挟むように配置されている。ブラシ１１はアッパーカッ
ト方向（図３に矢印で示す）、搬送ローラー１０はダウ
ンカット方向（図３に矢印で示す）に回転する。また、
それぞれの槽の上下に複数配置されているシャワー１２
により、洗剤槽７では洗剤水、濯ぎ槽８では濯ぎ用の
水、リンス槽９ではリンス用の純水が、ブラシ１１の上
下から注がれる。
槽７、濯ぎ槽８、リンス槽９に分かれており、液晶表示
パネル１を搬送する搬送ローラー１０および液晶表示パ
ネル１の表面を洗浄するためのナイロン繊維を円筒状に
植え付けたブラシ１１が、液晶表示パネル１を上下から
挟むように配置されている。ブラシ１１はアッパーカッ
ト方向（図３に矢印で示す）、搬送ローラー１０はダウ
ンカット方向（図３に矢印で示す）に回転する。また、
それぞれの槽の上下に複数配置されているシャワー１２
により、洗剤槽７では洗剤水、濯ぎ槽８では濯ぎ用の
水、リンス槽９ではリンス用の純水が、ブラシ１１の上
下から注がれる。
【００１８】ブラシ１１は、図４および図５に示すよう
に、液晶表示パネル１の進行方向に対して直交する方向
に摺動する。
に、液晶表示パネル１の進行方向に対して直交する方向
に摺動する。
【００１９】ブラシ１１を摺動させる方法としては、図
６および図７に示すように、ブラシ１１を同時に回転さ
せるユニットをスライドレール１３上に配置し、モータ
ー１４の回転軸に直結した円盤１５に取り付けたシャフ
ト１６をユニットにつなぐことにより、モーター１４の
回転によってユニットが液晶表示パネル１の進行方向に
対して直交する方向に動く。このようにして、ブラシ１
１を液晶表示パネル１の進行方向に対して直交する方向
に摺動させることができる。このとき、ブラシ１１の摺
動速度は、モーター１４の回転数または円盤１５の直径
によって決定され、ブラシ１１の摺動幅は円盤１５の直
径によって決定されるので、最適なモーター１４の回転
数および円盤１５の直径を選択すればよい。
６および図７に示すように、ブラシ１１を同時に回転さ
せるユニットをスライドレール１３上に配置し、モータ
ー１４の回転軸に直結した円盤１５に取り付けたシャフ
ト１６をユニットにつなぐことにより、モーター１４の
回転によってユニットが液晶表示パネル１の進行方向に
対して直交する方向に動く。このようにして、ブラシ１
１を液晶表示パネル１の進行方向に対して直交する方向
に摺動させることができる。このとき、ブラシ１１の摺
動速度は、モーター１４の回転数または円盤１５の直径
によって決定され、ブラシ１１の摺動幅は円盤１５の直
径によって決定されるので、最適なモーター１４の回転
数および円盤１５の直径を選択すればよい。
【００２０】ブラシ１１を摺動させると、液晶表示パネ
ル１が洗浄槽６を搬送されている間に、図８に示すよう
に、液晶表示パネル１が蛇行することがある。
ル１が洗浄槽６を搬送されている間に、図８に示すよう
に、液晶表示パネル１が蛇行することがある。
【００２１】そこで、図９および図１０に示すように、
上下一対の搬送ローラー１０は、下側の搬送ローラー１
０ａの軸受けを固定し、上側の搬送ローラー１０ｂの軸
受けは上下に移動できるようにしておく。下側の搬送ロ
ーラー１０ａと上側の搬送ローラー１０ｂとは、それぞ
れの両端部において、適当なばね定数を有するばね１７
を介して接続し、さらに圧力センサー１８、圧力の加減
を行うモーター１９を設ける。
上下一対の搬送ローラー１０は、下側の搬送ローラー１
０ａの軸受けを固定し、上側の搬送ローラー１０ｂの軸
受けは上下に移動できるようにしておく。下側の搬送ロ
ーラー１０ａと上側の搬送ローラー１０ｂとは、それぞ
れの両端部において、適当なばね定数を有するばね１７
を介して接続し、さらに圧力センサー１８、圧力の加減
を行うモーター１９を設ける。
【００２２】さらに、図１１および図１２に示すよう
に、圧力センサー１８およびモーター１９にパソコン２
０を接続する。そして、液晶表示パネル１を搬送中の下
側搬送ローラー１０ａと上側搬送ローラー１０ｂとの間
にかかる圧力をパソコン２０でモニタリングし、液晶表
示パネル１の蛇行によって生じる圧力の変化をパソコン
２０にフィードバックして、モーター１９をパソコン２
０で制御することにより、搬送ローラー１０の両端部に
モーター１９が加える圧力を制御して、液晶表示パネル
１の蛇行を防止する。
に、圧力センサー１８およびモーター１９にパソコン２
０を接続する。そして、液晶表示パネル１を搬送中の下
側搬送ローラー１０ａと上側搬送ローラー１０ｂとの間
にかかる圧力をパソコン２０でモニタリングし、液晶表
示パネル１の蛇行によって生じる圧力の変化をパソコン
２０にフィードバックして、モーター１９をパソコン２
０で制御することにより、搬送ローラー１０の両端部に
モーター１９が加える圧力を制御して、液晶表示パネル
１の蛇行を防止する。
【００２３】例えば、液晶表示パネル１が進行方向に対
して右向きに蛇行を始めた場合、下側搬送ローラー１０
ａと上側搬送ローラー１０ｂとの間にかかる圧力が、図
１１および図１２における右端部で高くなる。この圧力
の変化を圧力センサー１８で検知し、パソコン２０によ
ってモーター１９を制御して、右端部では下方に圧力を
かけ、左端部では上方に圧力をかける。つまり、右端部
では下側搬送ローラー１０ａと上側搬送ローラー１０ｂ
との間にかかる圧力を高くし、左端部では下側搬送ロー
ラー１０ａと上側搬送ローラー１０ｂとの間にかかる圧
力を低くする。このようにして、液晶表示パネル１がこ
れ以上右側に寄っていかないようにし、液晶表示パネル
１の蛇行を防止する。
して右向きに蛇行を始めた場合、下側搬送ローラー１０
ａと上側搬送ローラー１０ｂとの間にかかる圧力が、図
１１および図１２における右端部で高くなる。この圧力
の変化を圧力センサー１８で検知し、パソコン２０によ
ってモーター１９を制御して、右端部では下方に圧力を
かけ、左端部では上方に圧力をかける。つまり、右端部
では下側搬送ローラー１０ａと上側搬送ローラー１０ｂ
との間にかかる圧力を高くし、左端部では下側搬送ロー
ラー１０ａと上側搬送ローラー１０ｂとの間にかかる圧
力を低くする。このようにして、液晶表示パネル１がこ
れ以上右側に寄っていかないようにし、液晶表示パネル
１の蛇行を防止する。
【００２４】液晶表示パネル１が進行方向に対して左向
きに蛇行を始めた場合、前述とは逆に、左端部では下側
搬送ローラー１０ａと上側搬送ローラー１０ｂとの間に
かかる圧力を高くし、右端部では下側搬送ローラー１０
ａと上側搬送ローラー１０ｂとの間にかかる圧力を低く
すればよい。
きに蛇行を始めた場合、前述とは逆に、左端部では下側
搬送ローラー１０ａと上側搬送ローラー１０ｂとの間に
かかる圧力を高くし、右端部では下側搬送ローラー１０
ａと上側搬送ローラー１０ｂとの間にかかる圧力を低く
すればよい。
【００２５】このようにして洗浄槽６から出てきた液晶
表示パネル１を、図１および図２に示すように、コンベ
ア２１によって搬送し、エアーブロー２２で水滴を飛ば
して乾燥する。そして、位置決め部２３で位置決めピン
２４によって液晶表示パネル１の位置決めを行い、ロボ
ット２５でアンローダー２６のカセット２７に収納す
る。
表示パネル１を、図１および図２に示すように、コンベ
ア２１によって搬送し、エアーブロー２２で水滴を飛ば
して乾燥する。そして、位置決め部２３で位置決めピン
２４によって液晶表示パネル１の位置決めを行い、ロボ
ット２５でアンローダー２６のカセット２７に収納す
る。
【００２６】
【発明の効果】以上の説明のように、本発明の洗浄装置
によれば、ブラシを回転させながら板状物体の搬送方向
に対して直交する方向にブラシを摺動させることで板状
物体の洗浄を行うことにより、板状物体に対するブラシ
の接触回数を増やすことができる。さらに、板状物体に
付着している異物に対して、ブラシを複数方向から接触
させることが可能となり、従来では除去できなかった異
物も除去することができる。さらに、液晶表示パネルの
搬送方向に対して直交する辺の端子面の洗浄の仕上がり
状態を良好なものとすることができる。
によれば、ブラシを回転させながら板状物体の搬送方向
に対して直交する方向にブラシを摺動させることで板状
物体の洗浄を行うことにより、板状物体に対するブラシ
の接触回数を増やすことができる。さらに、板状物体に
付着している異物に対して、ブラシを複数方向から接触
させることが可能となり、従来では除去できなかった異
物も除去することができる。さらに、液晶表示パネルの
搬送方向に対して直交する辺の端子面の洗浄の仕上がり
状態を良好なものとすることができる。
【００２７】また、搬送ローラーが板状物体の上下両面
に設けられ、搬送ローラーの両端に圧力測定手段が設け
られ、圧力測定手段からの情報に基づいて搬送ローラー
と板状物体との接触圧を制御することにより、板状物体
の搬送方向に対して直交する方向にブラシを摺動させる
ことで板状物体が蛇行することを防止することができ
る。
に設けられ、搬送ローラーの両端に圧力測定手段が設け
られ、圧力測定手段からの情報に基づいて搬送ローラー
と板状物体との接触圧を制御することにより、板状物体
の搬送方向に対して直交する方向にブラシを摺動させる
ことで板状物体が蛇行することを防止することができ
る。
【図１】本発明に係わる洗浄装置を示す平面図である。
【図２】本発明に係わる洗浄装置を示す側面図である。
【図３】洗浄槽を示す側面図である。
【図４】ブラシの摺動方向を説明する平面図である。
【図５】ブラシの摺動方向を説明する側面図である。
【図６】ブラシの摺動方法を説明する平面図である。
【図７】ブラシの摺動方法を説明する正面図である。
【図８】液晶表示パネルの蛇行を説明する平面図であ
る。
る。
【図９】搬送ローラーを説明する正面図である。
【図１０】搬送ローラーを説明する側面図である。
【図１１】液晶表示パネルの蛇行を防止する方法を説明
する平面図である。
する平面図である。
【図１２】液晶表示パネルの蛇行を防止する方法を説明
する正面図である。
する正面図である。
【図１３】従来のブラシ洗浄装置を説明する側面図であ
る。
る。
１ 液晶表示パネル ２ カセット ３ ローダー ４ コンベア ５ ロボット ６ 洗浄槽 ７ 洗剤槽 ８ 濯ぎ槽 ９ リンス槽 １０ 搬送ローラー １０ａ 下側の搬送ローラー １０ｂ 上側の搬送ローラー １１ ブラシ １２ シャワー １３ スライドレール １４ モーター １５ 円盤 １６ シャフト １７ ばね １８ 圧力センサー １９ モーター ２０ パソコン ２１ コンベア ２２ エアーブロー ２３ 位置決め部 ２４ 位置決めピン ２５ ロボット ２６ アンローダー ２７ カセット ５１ 搬送ローラー ５２ 液晶表示パネル ５３ 円筒状のブラシ ５４ スプレーノズル ５５ 洗浄液
Claims (2)
- 【請求項１】 板状物体を複数の搬送ローラーで搬送し
ながら、円筒状のブラシを回転させることで前記板状物
体を洗浄する洗浄装置において、 前記ブラシを回転させながら、前記板状物体の搬送方向
に対して直交する方向に前記ブラシを摺動させることに
より、前記板状物体の洗浄を行うことを特徴とする洗浄
装置。 - 【請求項２】 前記搬送ローラーが前記板状物体の上下
両面に設けられ、前記搬送ローラーの両端に圧力測定手
段が設けられ、前記圧力測定手段からの情報に基づいて
前記搬送ローラーと前記板状物体との接触圧を制御する
ことを特徴とする請求項１記載の洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10018770A JPH11216430A (ja) | 1998-01-30 | 1998-01-30 | 洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10018770A JPH11216430A (ja) | 1998-01-30 | 1998-01-30 | 洗浄装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11216430A true JPH11216430A (ja) | 1999-08-10 |
Family
ID=11980879
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10018770A Pending JPH11216430A (ja) | 1998-01-30 | 1998-01-30 | 洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11216430A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002239485A (ja) * | 2000-12-15 | 2002-08-27 | Shibaura Mechatronics Corp | 基板の洗浄装置及び洗浄方法 |
| KR100634832B1 (ko) * | 2000-02-24 | 2006-10-17 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 파인 젯 장치 |
| JP2017104868A (ja) * | 2017-03-14 | 2017-06-15 | バンドー化学株式会社 | クリーニング装置 |
| JP2017113663A (ja) * | 2015-12-21 | 2017-06-29 | 日本電気硝子株式会社 | 洗浄装置 |
| KR20200037479A (ko) * | 2018-10-01 | 2020-04-09 | 미르텍알앤디 주식회사 | 포토마스크 양면 세정장치용 브러시장치 |
-
1998
- 1998-01-30 JP JP10018770A patent/JPH11216430A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100634832B1 (ko) * | 2000-02-24 | 2006-10-17 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 파인 젯 장치 |
| JP2002239485A (ja) * | 2000-12-15 | 2002-08-27 | Shibaura Mechatronics Corp | 基板の洗浄装置及び洗浄方法 |
| JP2017113663A (ja) * | 2015-12-21 | 2017-06-29 | 日本電気硝子株式会社 | 洗浄装置 |
| JP2017104868A (ja) * | 2017-03-14 | 2017-06-15 | バンドー化学株式会社 | クリーニング装置 |
| KR20200037479A (ko) * | 2018-10-01 | 2020-04-09 | 미르텍알앤디 주식회사 | 포토마스크 양면 세정장치용 브러시장치 |
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