JP2017195531A - スイッチトキャパシタ回路、δσa/dコンバータ、a/dコンバータ集積回路 - Google Patents

スイッチトキャパシタ回路、δσa/dコンバータ、a/dコンバータ集積回路 Download PDF

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Abstract

【課題】誤差を小さくしたスイッチトキャパシタ回路を提供する。【解決手段】メインスイッチSW11は、CMOSスイッチである。サブスイッチSW21は、CMOSスイッチであり、メインスイッチSW11と並列に接続される。制御回路20は、メインスイッチSW11およびサブスイッチSW21を制御する。制御回路20は、サブスイッチSW21をメインスイッチSW11より遅れてターンオフする。【選択図】図3

Description

本発明は、スイッチトキャパシタ(Switched Capacitor)回路に関する。
サンプルホールド回路、積分器、スイッチトキャパシタフィルタなどに、スイッチトキャパシタ回路が用いられる。スイッチトキャパシタ回路は、キャパシタとアナログスイッチの組み合わせで構成される。
図1(a)、(b)は、スイッチトキャパシタ回路の基本構成を示す回路図である。このスイッチトキャパシタ回路10rはサンプルホールド回路であり、ホールド用のキャパシタCOUTと、アナログスイッチSW1を備える。アナログスイッチSW1の一端には、入力電圧VINが印加され、その他端はキャパシタCOUTと接続される。アナログスイッチSW1がオンすると、キャパシタCOUTが入力電圧VINで充電され(サンプル)、アナログスイッチSW1をオフした後も、入力電圧VINが保持される(ホールド)。
図1(b)に示すように、アナログスイッチSW1は、CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)スイッチで構成される。CMOSスイッチはトランスファゲートとも称され、並列に接続されたNMOS(N-channel MOS)トランジスタとPMOS(P-channel MOS)トランジスタを含む。
制御回路20rが、クロックCKをハイレベル、相補クロックCKBをローレベルとすると、アナログスイッチSW1が導通状態となる。
図1(b)に示すように、NMOSトランジスタは、ゲートソース間、ゲートドレイン間、ゲート−基板(バックゲート)間に、寄生容量CNS,CND,CNBを有している。同様にPMOSトランジスタは、ゲートソース間、ゲートドレイン間、ゲート−基板間に、寄生容量CPS,CPD,CPBを有している。
特開2011−150561号公報 特開2014−171035号公報
図2は、図1のスイッチトキャパシタ回路10rの動作波形図である。時刻t0にクロックCKがハイレベルに、相補クロックCKBがローレベルに遷移すると、アナログスイッチSW1がターンオンする。これによりキャパシタCOUTが入力電圧VINで充電され、出力電圧VOUTが入力電圧VINと等しくなる。続いて時刻t1にクロックCKがローレベルに、相補クロックCKBがハイレベルに遷移すると、アナログスイッチSW1がターンオフする。このとき、寄生容量に起因するクロックフィードスルーおよびチャージインジェクションによって、出力電圧VOUTと入力電圧VINの間に誤差ΔVOUTが発生する。
クロックフィードスルーとは、MOSトランジスタのターンオフのタイミングにおいて、MOSトランジスタのゲート信号(クロック信号)のエッジに含まれる高周波成分が、ゲートドレイン間容量CPD,CNDを介して出力ノードに伝搬する現象である。具体的には、PMOSトランジスタはターンオフするときに、出力電圧VOUTをΔV、上昇させる。
ΔV=CPD/(COUT+CPD)×VDD …(1)
またNMOSトランジスタはターンオフするときに、出力電圧VOUTをΔV、低下させる。
ΔV=CND/(COUT+CND)×VDD …(2)
またチャージインジェクションとは、MOSトランジスタのオン状態において、MOSトランジスタのゲート−基板(バックゲート)間の容量CPBに蓄積された電荷が、ターンオフに際して、出力電圧VOUTに影響を及ぼす現象である。
PMOSトランジスタはオン状態において、ゲート−基板間に、電荷Q≒CPB×(VDD−VTP)が蓄えられる。VTPはしきい値電圧である。PMOSトランジスタをオフすると、その電荷Qの一部(係数をαとする)α×QがキャパシタCOUTに移動し、その結果、出力電圧VOUTがΔV、上昇する。
ΔV=α×Q/COUT=α×CPB×(VDD−VTP)/COUT …(3)
NMOSトランジスタでは逆の現象が発生し、これにより出力電圧VOUTがΔV、低下する。
ΔV=α×Q/COUT=α×CNB×(VDD−VTN)/COUT …(4)
図2に示される出力電圧VOUTと入力電圧VINの誤差ΔVOUTは、ΔV〜ΔVの合計となる。式(1)、(2)から明らかなように、ゲートドレイン間容量CPD,CNDを小さくすれば、クロックフィードスルーの影響を小さくでき、したがってゲート幅Wを小さくすればよい。
またチャージインジェクションの影響を小さくするには、式(3)、(4)から、ゲート基板間容量CPB,CNBを小さくすればよく、したがってゲート幅W,ゲート長Lを短くすればよいことが分かる。
しかしながら、クロックフィードスルーやチャージインジェクションを低減するためにゲート幅Wを小さくすると、アナログスイッチSW1のオン抵抗が大きくなるため、キャパシタCOUTを充電する際の時定数が大きくなってしまい、高速化の障害となる。
同様の問題は、サンプルホールド回路のみでなく、積分器やフィルタにおいても生じうる。
本発明者はかかる課題に鑑みてなされたものであり、そのある態様の例示的な目的のひとつは、誤差を小さくしたスイッチトキャパシタ回路の提供にある。
本発明のある態様はスイッチトキャパシタ回路に関する。スイッチトキャパシタ回路は、CMOSスイッチであるメインスイッチと、CMOSスイッチであり、メインスイッチと並列に接続されるサブスイッチと、メインスイッチおよびサブスイッチを制御し、サブスイッチをメインスイッチより遅れてターンオフする制御回路と、を備える。
メインスイッチのターンオフのタイミングにおいて、サブスイッチはオンしている。したがってメインスイッチのターンオフに起因して、出力電圧VOUTが変動したとしても、オン状態のサブスイッチが、出力電圧VOUTの誤差をゼロに近づける。サブスイッチをターンオフさせるときに、チャージインジェクションやクロックフィードスルーにより、出力電圧VOUTに誤差が発生するが、サブスイッチのサイズを小さく構成することで、この誤差は十分に小さくできる。したがって全体としての誤差を、従来より小さくできる。
サブスイッチのゲート幅Wは、メインスイッチのゲート幅より小さくてもよい。サブスイッチのゲート長Lは、メインスイッチのゲート長より短くてもよい。
制御回路は、サブスイッチをメインスイッチより遅れてターンオンしてもよい。これにより、サブスイッチのターンオン、ターンオフを両方とも、メインスイッチに対して遅れさせればよいため、制御が簡単になる。
制御回路は、メインスイッチを制御する第1クロックを遅延させて、サブスイッチを制御する第2クロックを生成する遅延回路を含んでもよい。
スイッチトキャパシタ回路は、メインスイッチと直列に設けられ、その両端間がショートされたCMOSスイッチであるメインダミースイッチをさらに備えてもよい。制御回路は、メインダミースイッチをメインスイッチと逆相で駆動してもよい。これによりメインスイッチで生ずる誤差をメインダミースイッチにより相殺できる。その結果、サブスイッチで相殺すべき誤差が小さくなるため、サブスイッチのサイズをさらに小さくでき、サブスイッチによる誤差をさらに小さくできる。
スイッチトキャパシタ回路は、サブスイッチと直列に設けられ、その両端間がショートされたCMOSスイッチであるサブダミースイッチをさらに備えてもよい。制御回路は、サブダミースイッチをサブスイッチと逆相で駆動してもよい。これにより、サブスイッチをターンオフする際の誤差をキャンセルできる。
スイッチトキャパシタ回路は、ひとつの半導体基板に一体集積化されてもよい。「一体集積化」とは、回路の構成要素のすべてが半導体基板上に形成される場合や、回路の主要構成要素が一体集積化される場合が含まれ、回路定数の調節用に一部の抵抗やキャパシタなどが半導体基板の外部に設けられていてもよい。回路を1つのチップ上に集積化することにより、回路面積を削減することができるとともに、回路素子の特性を均一に保つことができる。
本発明の別の態様は、ΔΣA/Dコンバータに関する。ΔΣA/Dコンバータは、上述のいずれかのスイッチトキャパシタ回路を備える。これによりΔΣA/Dコンバータの精度を高めることができる。
本発明の別の態様は、A/Dコンバータ集積回路に関する。A/Dコンバータ集積回路は、それぞれにアナログ入力信号が入力可能な複数の入力端子と、複数の入力端子のうち、ひとつを選択するマルチプレクサと、マルチプレクサの出力信号を増幅するアンプと、アンプの出力信号をフィルタリングするフィルタと、フィルタの出力信号をデジタル信号に変換する上述のΔΣA/Dコンバータと、を備える。
なお、以上の構成要素の任意の組合せ、本発明の表現を、方法、装置などの間で変換したものもまた、本発明の態様として有効である。
本発明に係るスイッチトキャパシタ回路によれば、誤差を小さくできる。
図1(a)、(b)は、スイッチトキャパシタ回路の基本構成を示す回路図である。 図1のスイッチトキャパシタ回路の動作波形図である。 実施の形態に係るスイッチトキャパシタ回路の回路図である。 図3のスイッチトキャパシタ回路の動作波形図である。 スイッチトキャパシタ回路の第1構成例の回路図である。 スイッチトキャパシタ回路の第2構成例の回路図である。 図6のスイッチトキャパシタ回路の具体的な回路図である。 図7のスイッチトキャパシタ回路のスイッチのレイアウト図である。 一次のΔΣA/Dコンバータの回路図である。 図9のΔΣA/Dコンバータの一部の回路図である。 ΔΣA/Dコンバータを備えるA/DコンバータICのブロック図である。
以下、本発明を好適な実施の形態をもとに図面を参照しながら説明する。各図面に示される同一または同等の構成要素、部材、処理には、同一の符号を付するものとし、適宜重複した説明は省略する。また、実施の形態は、発明を限定するものではなく例示であって、実施の形態に記述されるすべての特徴やその組み合わせは、必ずしも発明の本質的なものであるとは限らない。
本明細書において、「部材Aが、部材Bと接続された状態」とは、部材Aと部材Bが物理的に直接的に接続される場合のほか、部材Aと部材Bが、それらの電気的な接続状態に実質的な影響を及ぼさない、あるいはそれらの結合により奏される機能や効果を損なわせない、その他の部材を介して間接的に接続される場合も含む。
同様に、「部材Cが、部材Aと部材Bの間に設けられた状態」とは、部材Aと部材C、あるいは部材Bと部材Cが直接的に接続される場合のほか、それらの電気的な接続状態に実質的な影響を及ぼさない、あるいはそれらの結合により奏される機能や効果を損なわせない、その他の部材を介して間接的に接続される場合も含む。
図3は、実施の形態に係るスイッチトキャパシタ回路10の回路図である。スイッチトキャパシタ回路10は、キャパシタCOUT、メインスイッチSW11、サブスイッチSW21および制御回路20を備える。ここでも理解の容易化、説明の簡素化のために、サンプルホールド回路を例とするが、スイッチトキャパシタ回路10の用途はそれに限定されない。すなわち図3では、キャパシタCOUTの一端E1は接地されているが、この一端E1は、別のノードや回路素子と接続されてもよい。スイッチトキャパシタ回路10は、ひとつの半導体基板に集積化することができる。
メインスイッチSW11はCMOSスイッチであり、その一端はキャパシタCOUTと接続され、その他端には、入力電圧VINを受ける。サブスイッチSW21もCMOSスイッチであり、メインスイッチSW11と並列に接続される。制御回路20は、第1クロックCK1およびその相補クロックCKB1(これらを第1クロックCK1と総称する)および第2クロックCK2およびその相補クロックCKB2(これらを第2クロックCK2と総称する)を生成し、メインスイッチSW11およびサブスイッチSW21を制御する。制御回路20は、サブスイッチSW21をメインスイッチSW11より遅れてターンオフする。つまりサブスイッチSW21のターンオフのタイミングは、メインスイッチSW11のターンオフのタイミングよりも、所定時間τ、遅延している。
制御回路20は、第1クロックCK1全体(すなわちポジエッジとネガエッジの両方)を遅延させることにより、第2クロックCK2を生成してもよい。
メインスイッチSW11のサイズ、すなわちゲート幅W、ゲート長Lは、スイッチトキャパシタ回路10に要求される性能を考慮して設計すればよく、クロックフィードスルーやチャージインジェクションの効果については、神経質にならなくてよい。
一方、サブスイッチSW21のサイズは、そのターンオフにともなうチャージインジェクションおよびクロックフィードスルーの影響が十分に小さくなるように設計される。つまりサブスイッチSW21のゲート幅Wは、メインスイッチSW11のゲート幅Wより小さい。それに加えてサブスイッチSW21のゲート長Lを、メインスイッチSW11のゲート長Lより短くしてもよい。
以上がスイッチトキャパシタ回路10の構成である。続いてその動作を説明する。図4は、図3のスイッチトキャパシタ回路10の動作波形図である。時刻t0に、第1クロックCK1がハイレベルとなるとメインスイッチSW11がターンオンし、出力電圧VOUTは入力電圧VINに近づいていく。それから遅延時間τ経過後の時刻t1に、第2クロックCK2がハイレベルとなり、サブスイッチSW21がターンオンする。
時刻t2に第1クロックCK1がローレベルに遷移すると、アナログスイッチSW1がターンオフする。このとき、クロックフィードスルーやチャージインジェクションの影響で、出力電圧VOUTはΔVOUT1変動する。このとき第2クロックCK2はハイレベルを維持しており、サブスイッチSW21はオン状態である。したがってサブスイッチSW21を介して、キャパシタCOUTが入力電圧VINで充電(あるいは放電)され、出力電圧VOUTは入力電圧VINに戻される。
そして遅延時間τ経過後の時刻t3に第2クロックCK2がローレベルに遷移し、サブスイッチSW21がターンオフする。このとき、サブスイッチSW21において、クロックフィードスルーやチャージインジェクションが発生し、出力電圧VOUTに変動ΔVOUT2が発生する。つまり、ΔVOUT2が最終的な誤差となる。
サブスイッチSW21のサイズは、メインスイッチSW11に比べて小さいため、ΔVOUT1>ΔVOUT2である。したがってスイッチトキャパシタ回路10によれば、従来に比べて、出力電圧VOUTの誤差を小さくできる。
本発明は、図3のブロック図や回路図として把握され、あるいは上述の説明から導かれるさまざまな装置、回路に及ぶものであり、特定の構成に限定されるものではない。以下、本発明の範囲を狭めるためではなく、発明の本質や回路動作の理解を助け、またそれらを明確化するために、より具体的な構成例や実施例を説明する。
図5は、スイッチトキャパシタ回路10の第1構成例10aの回路図である。メインスイッチSW11は、NMOSトランジスタMN11とPMOSトランジスタMP11を備える。一例として、NMOSトランジスタMN11のゲート幅/ゲート長WN11/LN11=20μm/1μmであり、PMOSトランジスタMP11のWP11/LP11=20μm/1μmであってもよい。
サブスイッチSW21は、NMOSトランジスタMN21とPMOSトランジスタMP21を備える。一例として、NMOSトランジスタMN21とPMOSトランジスタMP21のゲート幅W/ゲート長Lは等しく、WN21/LN21=WP21/LP21=2μm/0.6μmである。
制御回路20は、遅延回路22、第1バッファ24、第1インバータ26、第2バッファ28、第2インバータ30を含む。第1バッファ24は、所定の周波数のクロックCKを受け、メインスイッチSW11のNMOSトランジスタMN11を駆動し、第1インバータ26はクロックCKを反転し、メインスイッチSW11のPMOSトランジスタMP11を駆動する。
遅延回路22は、クロックCKを遅延時間τ遅延させ、遅延クロックCKdを生成する。この遅延時間τは、レジスタ32の設定値に応じて可変とすることが好ましい。
第2バッファ28は遅延クロックCKdを受け、サブスイッチSW21のNMOSトランジスタMN21を駆動し、第2インバータ30は遅延クロックCKdを反転し、サブスイッチSW21のPMOSトランジスタMP21を駆動する。
図6は、スイッチトキャパシタ回路10の第2構成例10bの回路図である。スイッチトキャパシタ回路10bは、図3のスイッチトキャパシタ回路10に加えて、メインダミースイッチSW12、サブダミースイッチSW22を備える。
メインダミースイッチSW12は、メインスイッチSW11と直列に設けられ、その両端間がショートされたCMOSスイッチである。制御回路20bは、メインダミースイッチSW12をメインスイッチSW11と逆相で駆動する。
メインダミースイッチSW12は、メインスイッチSW11と逆相で動作するため、メインスイッチSW11の誤差ΔVOUT1を打ち消すように、メインダミースイッチSW12の誤差が発生する。これにより、メインスイッチSW11とメインダミースイッチSW12で生ずる誤差が小さくなる。これにより、サブスイッチSW21が相殺すべき誤差が小さくなるため、サブスイッチSW21のサイズを小さくでき、サブスイッチSW21のターンオフで生ずる誤差ΔVOUT2を小さくできる。
サブダミースイッチSW22は、サブスイッチSW21と直列に設けられ、その両端間がショートされたCMOSスイッチである。制御回路20bは、サブダミースイッチSW22をサブスイッチSW21と逆相で駆動する。これによりサブスイッチSW21がターンオフするときの誤差ΔVOUT2を、サブスイッチSW21によって相殺できるため、スイッチトキャパシタ回路10b全体としての誤差をさらに小さくできる。
図7は、図6のスイッチトキャパシタ回路10bの具体的な回路図である。メインダミースイッチSW12のNMOSトランジスタMN12とPMOSトランジスタMP12はそれぞれ、ドレインソース間が結線(ショート)されている。同様にサブダミースイッチSW22のNMOSトランジスタMN22とPMOSトランジスタMP22はそれぞれ、ドレインソース間が結線(ショート)されている。当業者によれば、図7と図6が電気的に等価であることが理解されよう。
たとえばトランジスタMP11のサイズ(WP11/LP11)は、トランジスタMP12のサイズ(WP12/LP12)のN倍としてもよい。たとえばN=1.5〜4であり、一例としてN=2としてもよい。トランジスタMP12を比WP1/LP2を有する素子で構成するとき、トランジスタMP11は、同じ素子を2個並列接続して構成してもよい。
同様に、トランジスタMN11のサイズ(WN11/LN11)は、トランジスタMN12のサイズ(WN12/LN12)のN倍としてもよく、トランジスタMN11は、トランジスタMN12と同じ素子を2個並列接続して構成してもよい。
また、トランジスタMP21のサイズ(WP21/LP21)を、トランジスタMP22のサイズ(WP22/LP22)のM倍としてもよい。M=1.5〜4であり、一例としてM=2としてもよい。トランジスタMN21とMN22についても同様である。
図8は、図7のスイッチトキャパシタ回路10bのスイッチのレイアウト図である。メインスイッチSW11およびメインダミースイッチSW12は、同じサイズのCMOS回路40の組み合わせで構成される。複数のCMOS回路40は、半導体基板上で、第1方向(X方向)に並んでいる。同様に、サブスイッチSW21およびサブダミースイッチSW22は、同じサイズのCMOS回路42の組み合わせで構成される。複数のCMOS回路42は、半導体基板上で、第1方向(X方向)に並んでいる。複数のCMOS回路40と、複数のCMOS回路42は、第1方向と垂直な第2方向(Y方向)に隣接している。
メインスイッチSW11は、複数(図8では2個)のCMOS回路40の並列接続である。同様にサブスイッチSW21は、複数(図8では2個)のCMOS回路42の並列接続である。
続いてスイッチトキャパシタ回路10の用途を説明する。スイッチトキャパシタ回路10は、ΔΣA/Dコンバータに好適に用いることができる。図9は、一次のΔΣA/Dコンバータの回路図である。ΔΣA/Dコンバータ100は、アナログ入力信号VINをデジタル出力信号DOUTに変換する。ΔΣA/Dコンバータ100は、減算器102、積分器104、量子化器106、D/Aコンバータ108を備える。D/Aコンバータ108は、デジタル出力信号DOUTを1サンプル遅延させ、アナログのフィードバック信号VFBに変換する。フィードバック信号VFBは、DOUT=1のときハイレベル電圧VREF(+)をとり、DOUT=0のときローレベルVREF(−)をとる。
減算器102は、アナログ入力信号VINとフィードバック信号VFBの差分を生成する。積分器104は減算器102の出力である差分を積分する。量子化器106は、積分器104の出力VOUTを量子化し、デジタル出力信号DOUTを生成する。なおΔΣA/Dコンバータ100の次数は特に限定されるものではない。
図10は、図9のΔΣA/Dコンバータ100の一部の回路図である。具体的には図10には、ΔΣA/Dコンバータ100の減算器102、積分器104、D/Aコンバータ108が示される。このΔΣA/Dコンバータ100は、差動形式である。ΔΣA/Dコンバータ100のトポロジーは公知のものであり、複数のスイッチSW101〜SW109、全差動型オペアンプ110、キャパシタC1P,C1N,C2P,C2Nを備える。
φ1は、サンプルクロックを、φ2はホールドクロックを表しており、バーが付されたクロックは、相補クロックを表す。
上述のスイッチトキャパシタ回路10のアーキテクチャは、図10のスイッチSW101〜SW109の少なくともひとつに適用することができ、好ましくはすべてに適用することができる。すなわちアナログスイッチSW101〜SW109はそれぞれ、図3のメインスイッチSW11およびサブスイッチSW21の並列接続で構成される。そして各アナログスイッチSWのメインスイッチSW11は、図10に示されるクロックを第1クロックCK1として駆動され、各アナログスイッチSWのサブスイッチSW21は、図10に図示しない遅延クロックを第2クロックCK2として駆動される。
ここで、いくつかのスイッチSW107、108、SW109については、両端にキャパシタが接続されている。したがって、もし図6を参照して説明したダミースイッチSW12(SW22)を用いる場合、メインスイッチ(あるいはサブスイッチ)の両端に、ダミースイッチを挿入すればよい。
図11は、ΔΣA/Dコンバータ200を備えるA/DコンバータIC(集積回路)300のブロック図である。複数の入力端子IN1〜INM(Mは整数)はそれぞれ、外部からアナログ入力信号が入力可能となっている。たとえば入力端子INには、サーミスタや熱電対などの温度センサからの温度検出信号、電流検出用のセンス抵抗の電圧降下に応じた電流検出信号、バッテリの電圧を示す信号などが入力される。
マルチプレクサ302は、複数の入力端子のうち、ひとつを選択する。アンプ304は、マルチプレクサ302の出力信号を増幅するプログラマブルゲインアンプ(PGA)である。フィルタ306は、アンプ304の出力信号をフィルタリングする。ΔΣA/Dコンバータ308は、フィルタ306の出力信号VINをデジタル信号DOUTに変換する。ΔΣA/Dコンバータ308は、上述のΔΣA/Dコンバータ100のアーキテクチャを用いて構成される。ロジック回路310は、ΔΣA/Dコンバータ308からのデジタル信号DOUTに所定の信号処理を施す。インタフェース回路312は、SPI(Serial Peripheral Interface)やIC(Inter IC)インタフェースであり、外部のプロセッサやマイクロコントローラと接続される。ΔΣA/Dコンバータ308の出力信号DOUTや、それを処理した結果得られる信号は、インタフェース回路312を介して外部回路から読み出し可能である。
実施の形態にもとづき、本発明を説明したが、実施の形態は、本発明の原理、応用を示しているにすぎず、実施の形態には、請求の範囲に規定された本発明の思想を離脱しない範囲において、多くの変形例や配置の変更が可能である。
制御回路20は、第1クロックCK1のネガエッジのみを遅延させて第2クロックCK2を生成してもよい。あるいは、ポジエッジとネガエッジの両方に遅延を与える際に、それぞれの遅延量が異なっていてもよい。
10…スイッチトキャパシタ回路、C1…キャパシタ、20…制御回路、SW1…アナログスイッチ、SW11…メインスイッチ、SW21…サブスイッチ、SW12…メインダミースイッチ、SW22…サブダミースイッチ、20…制御回路、22…遅延回路、24…第1バッファ、26…第1インバータ、28…第2バッファ、30…第2インバータ、CK1…第1クロック、CK2…第2クロック、100…ΔΣA/Dコンバータ、102…減算器、104…積分器、106…量子化器、108…D/Aコンバータ、300…A/DコンバータIC、302…マルチプレクサ、304…アンプ、306…フィルタ、308…ΔΣA/Dコンバータ、310…ロジック回路、312…インタフェース回路。

Claims (10)

  1. CMOSスイッチであるメインスイッチと、
    CMOSスイッチであり、前記メインスイッチと並列に接続されるサブスイッチと、
    前記メインスイッチおよび前記サブスイッチを制御し、前記サブスイッチを前記メインスイッチより遅れてターンオフする制御回路と、
    を備えることを特徴とするスイッチトキャパシタ回路。
  2. 前記サブスイッチのゲート幅Wは、前記メインスイッチのゲート幅より小さいことを特徴とする請求項1に記載のスイッチトキャパシタ回路。
  3. 前記サブスイッチのゲート長Lは、前記メインスイッチのゲート長より短いことを特徴とする請求項1または2に記載のスイッチトキャパシタ回路。
  4. 前記制御回路は、前記サブスイッチを前記メインスイッチより遅れてターンオンすることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載のスイッチトキャパシタ回路。
  5. 前記制御回路は、前記メインスイッチを制御する第1クロックを遅延させて、前記サブスイッチを制御する第2クロックを生成する遅延回路を含むことを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載のスイッチトキャパシタ回路。
  6. 前記メインスイッチと直列に設けられ、その両端間がショートされたCMOSスイッチであるメインダミースイッチをさらに備え、
    前記制御回路は、前記メインダミースイッチを前記メインスイッチと逆相で駆動することを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載のスイッチトキャパシタ回路。
  7. 前記サブスイッチと直列に設けられ、その両端間がショートされたCMOSスイッチであるサブダミースイッチをさらに備え、
    前記制御回路は、前記サブダミースイッチを前記サブスイッチと逆相で駆動することを特徴とする請求項1から6のいずれかに記載のスイッチトキャパシタ回路。
  8. ひとつの半導体基板に一体集積化されることを特徴とする請求項1から7のいずれかに記載のスイッチトキャパシタ回路。
  9. 請求項1から8のいずれかに記載のスイッチトキャパシタ回路を備えることを特徴とするΔΣA/Dコンバータ。
  10. それぞれにアナログ入力信号が入力可能な複数の入力端子と、
    前記複数の入力端子のうち、ひとつを選択するマルチプレクサと、
    前記マルチプレクサの出力信号を増幅するアンプと、
    前記アンプの出力信号をフィルタリングするフィルタと、
    前記フィルタの出力信号をデジタル信号に変換する請求項9記載のΔΣA/Dコンバータと、
    を備えることを特徴とするA/Dコンバータ集積回路。
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