JP2017202242A - モールドの作製方法、パターンシートの製造方法、電鋳金型の作製方法、電鋳金型を用いたモールドの作製方法、及び原版 - Google Patents

Abstract

【課題】モールドの作製方法、パターンシートの製造方法、電鋳金型の作製方法、電鋳金型を用いたモールドの作製方法、及び原版を提供する。
【解決手段】モールドの作製方法は、台１１の上の中央部に形成された突起状パターン１０Ａの外周部に囲い状に形成されて内側から外側に向けて厚みが徐々に増加する傾斜部１０Ｃを有する原版１０、及び熱可塑性樹脂シート２０を準備し、加熱された原版１０を、原版１０の平面１０Ｂと熱可塑性樹脂シート２０の表面２０Ｂとを離間した位置で、熱可塑性樹脂シート２０に押圧し、原版１０を押圧した状態で原版１０を冷却し、原版１０と熱可塑性樹脂シート２０と引き離して、熱可塑性樹脂シート２０に凹状パターン２０Ａを形成する。
【選択図】図２Ａ

Description

本発明は、モールドの作製方法、パターンシートの製造方法、電鋳金型の作製方法、電鋳金型を用いたモールドの作製方法、及び原版に関する。

近年、痛みを伴わずにインシュリン（Insulin）及びワクチン（Vaccines）及びｈGH（human Growth Hormone）などの薬剤を皮膚内に投与可能な新規剤型として、マイクロニードルアレイ（Micro-Needle Array）が知られている。マイクロニードルアレイは、薬剤を含み、生分解性のあるマイクロニードル（微細針、又は微小針ともいう）をアレイ状に配列したものである。このマイクロニードルアレイを皮膚に貼付することにより、各マイクロニードルが皮膚に突き刺さり、これらマイクロニードルが皮膚内で吸収され、各マイクロニードル中に含まれた薬剤を皮膚内に投与することができる。マイクロニードルアレイは経皮吸収シートとも呼ばれる。

上述のようなマイクロニードルアレイのような微細な突起状パターンを有する成形品を作製するため、微細な突起状パターンを有する原版から樹脂製の反転形状のモールドを形成し、このモールドから成形品を作製することが行われている。このような微細なパターンを有する成形品の生産性を向上させることが求められており、種々の提案がなされている。

特許文献１には、マイクロ針製造用モールドベースの作製方法が開示されている。特許文献１に記載の技術では、母型針のアレイを有する母型をマイクロ針製造用モールドプレートに押圧し、マイクロ針製造用モールドベースを作製し、このマイクロ針製造用モールドベースを用いて微細なパターンを有する成形品を作製する。

特許文献２には、型に形成されている転写パターンを熱可塑性樹脂の複数の箇所に転写することを開示する。特許文献２に記載の技術では、加熱した型を熱可塑性樹脂に押圧して冷却し、型を熱可塑性樹脂から引き離すことにより、型の転写パターンを熱可塑性樹脂に転写する。さらに、加熱した型を移動し、型を熱可塑性樹脂に押圧して冷却し、型を熱可塑性樹脂から離すことを繰り返し、型の転写パターンを熱可塑性樹脂に転写する。

特表２００７−５３５３４３号公報 特開２０１１−０８３９９３号公報

特許文献１に記載の技術では、母型針のアレイを複数（例えば８×８等）備える母型（原版）を利用している。つまり、大きな母型が必要なため、母型を作製するための作業が増加する懸念がある。

特許文献２に記載の技術では、型の平面を熱可塑性樹脂に押し当てながら、型の転写パターンを熱可塑性樹脂に転写している。そのため、型の端部で熱可塑性樹脂が盛り上がる場合があり、結果として、型と型との間において段差が付きやすいとう懸念がある。この段差は電鋳により複製型（電鋳型とも称す）を形成する際、あるいは成型品である例えば経皮吸収シートを製造する際に、複製型又は成型品の精度や生産性に悪影響を与える場合がある。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、モールド表面の凹状パターンの端部に段差が発生するのを抑制できるので、モールドから複製品や成形品を作製する際に剥離不良を防止でき、且つ原版自体の離型性も向上できる、モールドの作製方法、パターンシートの製造方法、電鋳金型の作製方法、電鋳金型を用いたモールドの作製方法、及び原版を提供することを目的とする。

本発明の一態様によると、台の上の中央部に形成された突起状パターンの外周部に囲い状に形成されて内側から外側に向けて厚みが徐々に増加する傾斜部を有する原版、及び熱可塑性樹脂シートを準備する準備工程と、加熱された原版を、原版の傾斜部と熱可塑性樹脂シートの表面とが密接する位置で、熱可塑性樹脂シートに押圧し、原版を押圧した状態で原版を冷却し、原版と熱可塑性樹脂シートと引き離して、熱可塑性樹脂シートに突起状パターンの反転形状の凹状パターンを形成する形成工程と、を備えた。

これにより、作製されたモールド表面の凹状パターンの端部に段差が発生するのを抑制できる。

本発明の好ましい態様では、原版と熱可塑性樹脂シートとを相対的に移動し、原版を熱可塑性樹脂シートに押圧する位置を決める位置決め工程と、形成工程とを繰り返し行うことが好ましい。これにより、凹状パターンの間の段差の発生を抑制できるだけでなく、１つの原版で複数の凹状パターンを有する大型のモールドを作製できる。

本発明の好ましい態様では、傾斜部は縦断面形状が直角三角形に形成され、内側から外側に向けて厚みが直線的に増加することが好ましい。これにより、段差の発生を抑制できる。

本発明の好ましい態様では、傾斜部は縦断面形状が弓形に形成され、内側から外側に向けて厚みが円弧状に増加した後、増加が徐々に小さくなることが好ましい。これにより、段差の発生を一層抑制できる。

本発明の好ましい態様では、原版は傾斜部の傾斜終端に連続して平坦部を有する。

好ましくは、原版を熱可塑性樹脂シートに押圧する際、熱可塑性樹脂シートの表面の位置を検出し、熱可塑性樹脂シートの表面の位置から一定量を押し込む。

好ましくは、原版を熱可塑性樹脂シートに押圧する際、原版にかかる圧力を測定し、設定されたある圧力値と比較し、原版の押し込み量を決定する。

本発明の別の態様によると、突起状パターンを有するパターンシートの製造方法は、上述の作製方法によりモールドを作製する工程と、モールドの凹状パターンにポリマー溶解液を供給する供給工程と、ポリマー溶解液を乾燥させてポリマーシートとする乾燥工程と、ポリマーシートをモールドから剥離するポリマーシート剥離工程と、を含む。

本発明の別の態様によると、突起状パターンを有する電鋳金型の作製方法は、上述の作製方法によりモールドを作製する工程と、モールドの凹状パターンに、電鋳法により金属体を形成する電鋳工程と、埋め込まれた金属体をモールドから剥離する剥離工程と、を含む。

本発明の別の態様によると、モールドの作製方法は、上述の作製方法により電鋳金型を作製する工程と、突起状パターンを有する電鋳金型を用いて、電鋳金型の突起状パターンの反転形状である凹状パターンを有する樹脂製のモールドを作製する工程と、を含む。

本発明の別の態様によると、突起状パターンを有するパターンシートの製造方法は、上述の電鋳金型を用いた作製方法によりモールドを作製する工程と、モールドの凹状パターンにポリマー溶解液を供給する供給工程と、ポリマー溶解液を乾燥させてポリマーシートとする乾燥工程と、ポリマーシートをモールドから剥離する剥離工程と、を含む。

本発明の原版の一態様によると、熱可塑性樹脂シートの表面に押圧して突起状パターンを熱可塑性樹脂シートに転写する原版であって、台の上の中央部に形成された突起状パターンの外周部に囲い状に形成されて内側から外側に向けて厚みが徐々に増加する傾斜部を有する。

これにより、原版からモールドを作製する際に、モールド表面の凹状パターンの端部に段差が発生するのを抑制でき、且つ原版自体の剥離性も良くなる。

また、原版の好ましい態様では、傾斜部の傾斜終端に連続して平坦部を有する。

本発明のモールドの作製方法、パターンシートの製造方法、電鋳金型の作製方法、電鋳金型を用いたモールドの作製方法、及び原版によれば、モールドの凹状パターンの端部に段差が発生するのを抑制できる。

これにより、モールドから複製品や成形品を作製する際に剥離不良を防止でき、且つ原版自体の離型性も向上できる。

本発明の実施の形態の原版の一態様を示す斜視図 直線型の傾斜部を有する原版の縦断面図 弓型の傾斜部を有する原版の縦断面図 直線型の傾斜部の傾斜終端に連続して平坦部を有する原版の縦断面図 弓型の傾斜部の傾斜終端に連続して平坦部を有する原版の縦断面図 原版の傾斜部の最大厚みＤを設定する方法を説明する説明図 原版の傾斜部の最大厚みＤを設定する方法を説明する別の説明図 モールドの作製方法で原版と熱可塑性樹脂シートを準備する縦断面図 モールドの作製方法で原版を熱可塑性樹脂シートの途中まで押圧した縦断面図 モールドの作製方法で原版を熱可塑性樹脂シートに密接するまで押圧した縦断面図 モールドの作製方法で形成されたモールドの縦断面図 傾斜部を有する原版で作製したモールドの端部を説明する断面図 図４Ａの丸印部分の拡大断面図 複製品をモールドから剥離している図 傾斜部の無い原版で作製したモールドの端部を説明する断面図 図５Ａの丸印部分の拡大断面図 複製品をモールドから剥離している図 直線型の傾斜部が熱可塑性樹脂シート表面に密接した場合と密接しない場合の部分断面図 弓型の傾斜部が熱可塑性樹脂シート表面に密接した場合と密接しない場合の部分断面図 直線型の傾斜部の傾斜終端に連続して平坦部が無い場合の部分断面図 直線型の傾斜部の傾斜終端に連続して平坦部が有る場合の部分断面図 押圧装置の全体構成を説明する構成図 本発明の別態様の原版であって図１と異なる突起部の形状を有する原版の斜視図 図１０の突起部を有し、且つ直線型の傾斜部を有する原版の断面図 図１０の突起部を有し、且つ弓型の傾斜部を有する原版の断面図 本発明の更に別態様の原版であって図１と異なる突起部の形状を有する原版の斜視図 図１３の突起部を有し、且つ直線型の傾斜部を有する原版の断面図 図１３の突起部を有し、且つ弓型の傾斜部を有する原版の断面図 モールドの作製方法で図１２Ｂの原版と熱可塑性樹脂シートを準備する断面図 モールドの作製方法で原版を可塑性樹脂シートの途中まで押圧した断面図 モールドの作製方法で原版を熱可塑性樹脂シートに密接するまで押圧した断面図 モールドの作製方法で形成されたモールドの断面図 大型のモールドの作製方法で原版を準備する断面図 大型のモールドの作製方法で熱可塑性樹脂シートを準備する断面図 大型のモールドの作製方法で原版を熱可塑性樹脂シートの領域に押圧した断面図 大型のモールドの作製方法で原版を熱可塑性樹脂シートの別の領域に押圧した断面図 大型のモールドの作製方法で作製されたモールドの断面図 一つの突起状パターンの原版と複数の凹状パターンを有する熱可塑性樹脂シートの斜視図 パターンシートの製造方法の工程手順でモールドを準備した図 パターンシートの製造方法の工程手順で凹状パターンにポリマー溶解液を供給する図 パターンシートの製造方法の工程手順でポリマー溶解液を乾燥している図 パターンシートの製造方法の工程手順でポリマーシートをモールドから剥離する前の図 パターンシートの製造方法の工程手順でポリマーシートをモールドから剥離した後の図 パターンシートの製造方法の工程手順でポリマーシートを個別のパターンシートに切断する前の図 パターンシートの製造方法の工程手順でポリマーシートを個別のパターンシートに切断した後の図 個別のパターンシートの斜視図 モールドを用いて電鋳金型の作製方法の工程手順でモールドを準備した図 モールドを用いて電鋳金型の作製方法の工程手順で電鋳している図。 モールドを用いて電鋳金型の作製方法の工程手順でモールドから金属体を剥離した図 電鋳金型を用いたモールドの作製方法の工程手順で電鋳金型を準備した図 電鋳金型を用いたモールドの作製方法の工程手順で紫外線硬化樹脂を電鋳金型に押圧した図 電鋳金型を用いたモールドの作製方法の工程手順で硬化した紫外線硬化樹脂から電鋳金型を剥離した図 電鋳金型を用いて作製されたモールドを用いたパターンシートの作製方法の工程手順でモールドを準備した図 電鋳金型を用いて作製されたモールドを用いたパターンシートの作製方法の工程手順で凹状パターンにポリマー溶解液を供給する図 電鋳金型を用いて作製されたモールドを用いたパターンシートの作製方法の工程手順でポリマー溶解液を乾燥している図 電鋳金型を用いて作製されたモールドを用いたパターンシートの作製方法の工程手順でポリマーシートをモールドから剥離する前の図 電鋳金型を用いて作製されたモールドを用いたパターンシートの作製方法の工程手順でポリマーシートをモールドから剥離した後の図 電鋳金型を用いて作製されたモールドを用いたパターンシートの作製方法の工程手順でポリマーシートを個別のパターンシートに切断する前の図 電鋳金型を用いて作製されたモールドを用いたパターンシートの作製方法の工程手順でポリマーシートを個別のパターンシートに切断した後の図

以下、添付図面にしたがって本発明の好ましい実施の形態について説明する。本発明は以下の好ましい実施の形態により説明される。

本発明の範囲を逸脱すること無く、多くの手法により変更を行うことができ、本実施の形態以外の他の実施の形態を利用することができる。したがって、本発明の範囲内における全ての変更が特許請求の範囲に含まれる。

ここで、図中、同一の記号で示される部分は、同様の機能を有する同様の要素である。また、本明細書中で、数値範囲を“ 〜 ”を用いて表す場合は、“ 〜 ”で示される上限、下限の数値も数値範囲に含むものとする。

［原版］
（原版の第１の実施の形態）
図１は本発明の原版の第１の実施の形態を示す斜視図である。

図１に示すように、原版１０の第１の実施の形態は、台１１の一方の平面１０Ｂの上の中央部に形成された突起状パターン１０Ａと、突起状パターン１０Ａの外周部に形成された傾斜部１０Ｃとを有している。

突起状パターン１０Ａ及び傾斜部１０Ｃを有する原版１０は、例えば、原版１０となる金属基板をダイヤモンドバイト等の切削工具等を用いて機械加工することにより作製される。金属基板としては、ステンレス、アルミニウム合金、Ｎｉ等を使用することができる。

原版１０の突起状パターン１０Ａは、作製したいパターンシート（いわゆる経皮吸収シート等の成形品）の突起状パターンと基本的に同一である。突起状パターン１０Ａとは、原版１０の平面１０Ｂから離間する方向に突出する突起部１２が、原版１０の平面１０Ｂの上に配置されている状態をいう。突起部１２の数は限定されない。平面１０Ｂは完全な平面であっても、一見して平面であっても良い。

図１に示すように突起部１２は、本実施形態では、平面１０Ｂから離間する方向に先細りとなる針部１２Ａで構成されている。突起部１２は、いわゆる錐体であり、錐体として角錐、円錐等が含まれる。

突起部１２は、例えば、原版１０の平面１０Ｂから１００〜２０００μｍの高さを有し、Φ５０μｍ以下の先端径を有することが好ましい。複数の突起部１２を有する場合、隣り合う突起部１２の間隔は３００〜２０００μｍであることが好ましい。突起部１２のアスペクト比（突起部の高さ／突起部の底面の幅）は、１〜５であることが好ましい。

また、傾斜部１０Ｃは、平面１０Ｂの上の中央部に形成された突起状パターン１０Ａの外周部に囲い状に形成され、内側（平面１０Ｂの中心側）から外側（平面１０Ｂの端部側）に向けて厚みが徐々に増加する。

傾斜部１０Ｃの厚みは傾斜部１０Ｃの高さと言い換えることができる。

図２Ａ及び図２Ｂは、傾斜部１０Ｃの厚みが徐々に増加する好ましい２つの態様を示したものである。

図２Ａの傾斜部１０Ｃは、縦断面形状が直角三角形に形成され、平面１０Ｂの内側（中心部側）から外側（周縁部側）に向けて厚みが直線的に増加する（以下、直線型の傾斜部という）。また、図２Ｂの傾斜部１０Ｃは、縦断面形状が弓形に形成され、平面１０Ｂの内側から外側に向けて厚みが円弧状に増加した後、増加が徐々に小さくなる、いわゆる弓型的に増加する（以下、弓型の傾斜部という）。縦断面形状が弓形とは、横長な楕円形を、中心を通る縦線と横線とで４等分に分割したときの１つの分割片の断面形状を言う。

（原版の第２の実施の形態）
図３Ａ及び図３Ｂは本発明の原版１０の第２の実施の形態を示す斜視図である。

原版１０の第２の実施の形態は、台１１の一方の平面１０Ｂの上の中央部に形成された突起状パターン１０Ａと、突起状パターン１０Ａの外周部に形成された傾斜部１０Ｃと、傾斜部１０Ｃの傾斜終端に連続して形成された平坦部１０Ｄとを有している。

ここで傾斜終端とは、傾斜部１０Ｃの厚みが徐々に増加して最大厚みＤになり傾斜が終了する終端を言う。したがって、平坦部１０Ｄは、傾斜部１０Ｃの最大厚みＤと同じ厚みに形成される。

図３Ａの原版１０は、上述の直線型の傾斜部１０Ｃの傾斜終端に連続して平坦部１０Ｄを形成した場合である。また、図３Ｂの原版１０は、上述の弓型の傾斜部１０Ｃの傾斜終端に連続して平坦部１０Ｄを形成した場合である。なお、原版１０の突起状パターン１０Ａは、第１の実施の形態の突起状パターン１０Ａと同様である。

（原版の傾斜部の最大厚みの設定方法）
原版１０の傾斜部１０Ｃの最大厚みＤは、次のように設定する。

なお、直線型の傾斜部１０Ｃの場合（図２Ａ）、弓型の傾斜部１０Ｃの場合(図２Ｂ)、直線型の傾斜部１０Ｃの傾斜終端に連続して平坦部１０Ｄを有する場合(図３Ａ)、弓型の傾斜部１０Ｃの傾斜終端に連続して平坦部１０Ｄを有する場合(図３Ｂ)の何れも傾斜部１０Ｃの最大厚みＤの設定方法は同じなので、ここでは直線型の傾斜部１０Ｃの一例で場合で説明する。

図４Ａは、原版１０を熱可塑性樹脂シート２０の表面２０Ｂの側に押圧して、直線型の傾斜部１０Ｃの最大厚みＤの部分と熱可塑性樹脂シート２０の表面２０Ｂとが密接するまで突起状パターン１０Ａの複数の突起部１２（１２Ａ）を熱可塑性樹脂シート２０に押し込んだ縦断面図である。

原版１０は、突起状パターン１０Ａが４行×４列の２次元配列で合計１６個の突起部１２（１２Ａ）が配列されている一例であり、突起状パターン１０Ａの外周部に囲い状に傾斜部１０Ｃが形成されている。なお、図４Ａは、突起状パターン１０Ａの縦断面図であり、図４Ａの表裏方向にも突起部１２は形成されている。また、原版１０を概念的に示した縦断面図であり、図４Ａと図１とで、突起状パターン１０Ａを構成する突起部１２の数が異なっている。

そして、傾斜部１０Ｃの最大厚みＤは、突起状パターン１０Ａを構成する１６個の突起部１２（１２Ａ）について、熱可塑性樹脂シート２０に押し込んだ部分（図４Ａの網状部分）の合計体積（Ｘ１+Ｘ２+Ｘ３+Ｘ４+……+Ｘ１６）と、原版の平面１０Ｂ、熱可塑性樹脂シート２０の表面２０Ｂ、及び傾斜部１０Ｃで囲まれた空間１３（図４Ａの白抜き部分）の合計体積（Ｙ１+Ｙ２+Ｙ３+Ｙ４+Ｙ５+……+Ｙ２５）とが等しくなるように設定する。なお、突起状パターン１０Ａが４行×４列の２次元配列で合計１６個の突起部１２（１２Ａ）が配列されている場合、空間１３は２５個形成される。

図４Ｂは、突起部１２の形状が針部１２Ａと錐台部１２Ｂとで構成された突起状パターン１０Ａを、直線型の傾斜部１０Ｃの最大厚みＤの部分と熱可塑性樹脂シート２０の表面２０Ｂとが密接するまで熱可塑性樹脂シート２０に押し込んだ縦断面図である。図４Ｂでは、針部１２Ａと錐台部１２Ｂの途中までを熱可塑性樹脂シート２０に押し込んだ場合である。

この場合も、傾斜部１０Ｃの最大厚みＤは、熱可塑性樹脂シート２０に押し込んだ部分（図４Ｂの網状部分）の合計体積（Ｘ１+Ｘ２+Ｘ３+Ｘ４+……+Ｘ１６）と、原版の平面１０Ｂ、熱可塑性樹脂シート２０の表面２０Ｂ、及び傾斜部１０Ｃで囲まれた空間１３（図４Ｂの白抜き部分）の合計体積（Ｙ１+Ｙ２+Ｙ３+Ｙ４+Ｙ５+……+Ｙ２５）とが等しくなるように設定する。

即ち、傾斜部１０Ｃの最大厚みＤは、傾斜部１０Ｃの型（直線型、弓型）、平坦部１０Ｄの有無、突起部１２の形状に係らず、突起状パターン１０Ａの押し込み合計体積（Ｘ１+Ｘ２+Ｘ３+Ｘ４+……+Ｘ１６）に相当する熱可塑性樹脂シート２０の表面２０Ｂの盛り上がりが全て空間１３の合計体積（Ｙ１+Ｙ２+Ｙ３+Ｙ４+Ｙ５+……+Ｙ２５）に収納可能なように設定する。

［モールドの作製方法の実施の形態］
上述の原版１０を用いた本発明のモールドの作製方法の実施形態について、図２Ａの直線型の傾斜部１０Ｃを有する原版１０の例で説明する。

図５Ａ〜図５Ｄはモールドの作製方法の手順を示す工程図である。

図５Ａは、原版１０と、モールドの材料となる熱可塑性樹脂シート２０とを準備する準備工程である。

熱可塑性樹脂シート２０は、例えばテーブル（不図示）に設置する。熱可塑性樹脂シート２０は、例えば０．５〜２．０ｍｍの厚さであり、表面２０Ｂを有している。この表面２０Ｂの側に後述する凹状パターンが形成される。熱可塑性樹脂シート２０の厚さは、少なくとも、原版１０の突起部１２の高さ以上であることが好ましい。

熱可塑性樹脂シート２０を構成する熱可塑性樹脂としては、特に限定されない。例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリメチルメタクリレート、ポリスチレン、ポリエチレン、液晶ポリマー、ポリ乳酸等を好適に用いることができる。

熱可塑性樹脂シート２０とは、膜厚が薄く、常温において自己支持性を有する状態にある熱可塑性樹脂を意味する。「自己支持性」とは、他の部材による支持がなくても、単体でその形態を保ち得ることをいう。

図５Ｂ〜図５Ｄは、原版１０を熱可塑性樹脂シート２０の表面２０Ｂの側に押圧した後、冷却して剥離することにより熱可塑性樹脂シート２０に凹状パターン２０Ａを形成する形成工程である。

図５Ｂに示すように、加熱された原版１０を熱可塑性樹脂シート２０の表面２０Ｂの側に押圧する。原版１０は、熱可塑性樹脂シート２０が軟化する程度の温度に加熱される。加熱は、ヒータ（不図示）により行われる。熱可塑性樹脂シート２０を構成する熱可塑性樹脂に応じて、原版１０は適正な温度に加熱される。

これにより、原版１０の突起状パターン１０Ａが熱可塑性樹脂シート２０に押し込まれる。図５Ｂは、原版１０の突起状パターン１０Ａを構成する突起部１２の途中までを熱可塑性樹脂シート２０に押し込んだ図である。この突起状パターン１０Ａの押し込みによって、熱可塑性樹脂シート２０は突起部１２（１２Ａ）の押し込み合計体積に相当する体積分だけ表面２０Ｂが盛り上がり、盛り上がり部Ｐが形成される。

なお、図５Ｂ〜図５Ｄでは、熱可塑性樹脂シート２０を斜線で示し、盛り上がり部Ｐを網状に示しているが、これは盛り上がり部Ｐを明確に示すためであり、見た目上の区別はない。

図５Ｃに示すように、更に加熱された原版１０を熱可塑性樹脂シート２０の表面２０Ｂの側に押圧して、原版１０の傾斜部１０Ｃと熱可塑性樹脂シート２０の表面２０Ｂとが密接するまで突起状パターン１０Ａを熱可塑性樹脂シート２０に押し込む。

また、加熱した原版１０を押圧しながら、熱可塑性樹脂シート２０の表面２０Ｂの側を一定時間加熱する。

この突起状パターン１０Ａの押し込みによって、熱可塑性樹脂シート２０の表面２０Ｂは更に盛り上がり、上述した空間１３の全体を埋める。この空間１３の合計体積は、熱可塑性樹脂シート２０の表面２０Ｂの盛り上がり部Ｐの大きさ、即ち突起状パターン１０Ａの押し込み合計体積と、傾斜部１０Ｃの最大厚みＤとによって調整される。

次に、原版１０を熱可塑性樹脂シート２０に押圧した状態で、原版１０を冷却することにより熱可塑性樹脂シート２０が軟化温度以下になるまで冷却される。

最後に、図５Ｄに示すように、原版１０と熱可塑性樹脂シート２０とを剥離して、熱可塑性樹脂シート２０の表面２０Ｂの側に、突起状パターン１０Ａの反転形状の凹状パターン２０Ａを形成する。これにより、モールド２２が作製される。

凹状パターン２０Ａとは、熱可塑性樹脂シート２０の表面２０Ｂから他方面に向けて延びる凹部が、熱可塑性樹脂シート２０の表面２０Ｂの側に配置されている状態をいう。凹部の数、凹部の配置、凹部の深さ等は限定されない。凹状パターン２０Ａは突起状パターン１０Ａの反転形状であるので、凹状パターン２０Ａの各凹部の大きさ、数、及び配置は、熱可塑性樹脂シート２０に押し込まれた突起部１２の部分と基本的に同じとなる。

上述のように、原版１０の突起状パターン１０Ａが熱可塑性樹脂シート２０を押圧することにより、熱可塑性樹脂シート２０の表面が盛り上がる。

しかしながら、作製された図６Ａのモールド２２及び図６Ｂの凹状パターン２０Ａの端部（図６Ａの丸印で囲んだ部分）の拡大図に示すように、原版１０の傾斜部１０Ｃに対応する熱可塑性樹脂シート２０端部の盛り上がり部Ｐは、内側から外側に向けて厚みが薄くなる。これにより、作製されたモールド２２の凹状パターン２０Ａの端部（周縁部）に段差が発生することを抑制できる。仮に、段差が形成されたとしても、図６Ｂに示すように、段差高さＷ１を極めて小さくすることができる。

したがって、本実施の形態のモールドの作製方法で作製されたモールド２２は、図６Ｃに示すように、複製型２３（又は成型品）を作製する過程でモールド２２から複製型２３（又は成型品）を剥離する際に段差が剥離抵抗になることがない。これにより、モールド２２から複製型２３（又は成型品）を容易に剥離することができ、剥離する際に段差の部分で複製型２３（又は成型品）が破断する等の剥離不良を防止できる。

しかも、原版１０に傾斜部１０Ｃを設けたことにより、原版１０からモールド２２を作製する際に、原版１０自体の離型性を向上できる。

これに対して、図７Ａ〜図７Ｃは、傾斜部１０Ｃの無い原版１０で作製したモールド２２を用いて複製型２３（成型品）を作製した場合である。

作製された図７Ａのモールド２２及び図７Ｂの凹状パターン２０Ａの端部（図７Ａの丸印で囲んんだ部分）の拡大図に示すように、熱可塑性樹脂シート２０端部の盛り上がり部Ｐは、内側から外側に向けて厚みが薄くならずに同じ厚みのままで盛り上がり部Ｐが終了する。これにより、盛り上がり部Ｐの終了位置、即ち凹状パターン２０Ａの端部（周縁部）に略直角な段差が形成される。図７Ｂに示すように、凹状パターン２０Ａの端部（周縁部）に形成される略直角な段差の段差高さＷ２は、図７Ｂで示した傾斜部１０Ｃを有する場合の段差高さＷ１に比べて顕著に大きくなる。

したがって、傾斜部１０Ｃの無い原版１０で作製されたモールド２２は、図７Ｃに示すように、複製型２３（又は成型品）を作製する過程でモールド２２から複製型２３（又は成型品）を剥離する際に段差が抵抗になって剥離し難かったり、段差の部分で破断したりする等の剥離不良を生じ易くなる。

図８Ａ及び図８Ｂは、図２Ａ及び図２Ｂで示した原版１０の直線型の傾斜部１０Ｃと弓型の傾斜部１０Ｃとにおいて、熱可塑性樹脂シート２０の表面の凹状パターン２０Ａの端部に形成される盛り上がり部Ｐがどのように相違するかを対比した図である。なお、図８Ａ及び図８Ｂでは、原版１０の傾斜部１０Ｃの部分及び傾斜部１０Ｃに対応する熱可塑性樹脂シート２０の部分のみを図示している。

図８Ａは直線型の傾斜部１０Ｃの場合で、図８Ａの左側の図は原版１０の傾斜部１０Ｃと熱可塑性樹脂シート２０の表面２０Ｂとが押圧により密接したときの図であり、右側の図は密接しなかったときの図である。また、図８Ｂは弓型の傾斜部１０Ｃの場合で、図８Ｂの左側の図は原版１０の傾斜部１０Ｃと熱可塑性樹脂シート２０の表面とが押圧により密接したときの図であり、右側の図は密接しなかったときの図である。

図８Ａの左側の図と図８Ｂの左側の図から分かるように、原版１０の傾斜部１０Ｃと熱可塑性樹脂シート２０の表面２０Ｂとが密接した場合には、直線型の傾斜部１０Ｃも弓型の傾斜部１０Ｃも段差は形成されない。これに対して、図８Ａの右側の図と図８Ｂの右側の図から分かるように、原版１０の傾斜部１０Ｃと熱可塑性樹脂シート２０の表面２０Ｂとが密接しなかった場合には、弓型の傾斜部１０Ｃにより形成される段差高さＷ３は、直線型の傾斜部１０Ｃにより形成される段差高さＷ４よりも小さくなる。

ただし、直線型の傾斜部１０Ｃにより形成される段差高さＷ４は、図７Ｂで示した傾斜部１０Ｃの無い場合の段差高さＷ２よりも小さくなる。

原版１０の傾斜部１０Ｃと熱可塑性樹脂シート２０の表面２０Ｂとが密接しない要因としては、熱可塑性樹脂シート２０に対する原版１０の押圧ストロークが安定しない場合がある。また、熱可塑性樹脂シート２０が軟化しにくく、熱可塑性樹脂シート２０の表面２０Ｂから盛り上がった樹脂が表面２０Ｂ上で拡がり難い場合等がある。したがって、このような場合には弓型の傾斜部１０Ｃを有する原版１０を使用することが一層好ましい。

図９Ａ及び図９Ｂは、直線型の傾斜部１０Ｃの傾斜終端に平坦部１０Ｄが無い場合（図９Ａ）と、有る場合（図９Ｂ）とにおいて、熱可塑性樹脂シート２０の表面の凹状パターン２０Ａの端部に形成される盛り上がり部Ｐがどのように相違するかを対比した図である。なお、図９Ａ及び図９Ｂでは、原版１０の傾斜部１０Ｃの部分及び傾斜部１０Ｃに対応する熱可塑性樹脂シート２０の部分のみを図示している。

図９Ａの左側の図と図９Ｂの左側の図から分かるように、熱可塑性樹脂シート２０の表面２０Ｂからの盛り上がり部Ｐが原版１０の傾斜部１０Ｃの傾斜終端に近い位置Ｈ１まで拡がった場合、平坦部１０Ｄが有る場合の段差高さＷ７は無い場合の段差高さＷ５よりも少し小さくなるだけで大きな差はない。

これに対して、図９Ａの右側の図と図９Ｂの右側の図から分かるように、熱可塑性樹脂シート２０の表面２０Ｂからの盛り上がり部Ｐが原版１０の傾斜部１０Ｃの傾斜終端から離れた位置Ｈ２までしか拡がらなかった場合には、平坦部１０Ｄが有る場合の段差高さＷ８は、無い場合の段差高さＷ６よりも顕著に小さくなる。

即ち、熱可塑性樹脂シート２０が軟化しにくく、熱可塑性樹脂シート２０の表面２０Ｂから盛り上がった樹脂が表面２０Ｂ上で拡がり難い場合には、傾斜部１０Ｃの傾斜終端に平坦部１０Ｄを設けることによって、段差高さを一層小さくすることができる。

次に、原版１０を熱可塑性樹脂シート２０に押圧する際の制御方法について説明する。

図１０は、位置決め機能を備えた押圧装置３０の一例を示す概略構成図である。図１０に示すように、押圧装置３０は、原版１０をＺ軸方向に駆動するＺ軸駆動機構３２と、Ｚ軸駆動機構３２に連結された連結部３４と、連結部３４に取り付けられた保持部３６と、熱可塑性樹脂シート２０を支持するテーブル３８と、テーブル３８をＸ軸方向に駆動するＸ軸駆動機構４０と、テーブル３８をＸ軸方向に駆動するＹ軸駆動機構４２と、架台４４と、制御システム４６と、レーザー変位計４８と、を有している。そして、原版１０は保持部３６により、例えば吸着等により保持されている。

第一の制御方法によれば、原版１０を熱可塑性樹脂シート２０の複数個所に押圧する場合のように、原版１０と、熱可塑性樹脂シート２０の押圧位置との位置決めが必要な場合には、先ずＸ軸駆動機構４０とＹ軸駆動機構４２と駆動し、原版１０と熱可塑性樹脂シート２０の位置決めを行う。そして、加熱された原版１０を熱可塑性樹脂シート２０に押圧する際、熱可塑性樹脂シート２０の表面２０Ｂの位置を測定する。即ち、原版１０を押圧方向に移動する前に、例えば、制御システム４６は、レーザー変位計４８を用いて、原版１０の突起状パターン１０Ａと熱可塑性樹脂シート２０の表面２０Ｂとの距離を測定する。距離を測定することにより熱可塑性樹脂シート２０の表面２０Ｂの位置を検出することができる。

測定された距離に基づいて制御システム４６は、熱可塑性樹脂シート２０の表面２０Ｂの位置からの突起状パターン１０Ａの押し込み量を決定する。制御システム４６はＺ軸駆動機構３２を駆動し、Ｚ軸駆動機構３２は原版１０を熱可塑性樹脂シート２０の表面２０Ｂの位置に移動し、さらに原版１０を熱可塑性樹脂シート２０の側に一定量（決定された押し込み量）押し込む。これにより、突起状パターン１０Ａの設定された押し込み位置まで突起状パターン１０Ａが熱可塑性樹脂シート２０に押し込まれるので、原版１０の傾斜部１０Ｃと熱可塑性樹脂シート２０の表面２０Ｂとが密接する。

第二の制御方法によれば、上記した位置決めが必要な場合には、先ずＸ軸駆動機構４０とＹ軸駆動機構４２とを駆動し、原版１０と熱可塑性樹脂シート２０の位置決めを行う。制御システム４６はＺ軸駆動機構３２を駆動し、Ｚ軸駆動機構３２は原版１０を熱可塑性樹脂シート２０の表面２０Ｂの位置に移動する。Ｚ軸駆動機構３２で原版１０を移動させながら、原版１０にかかる圧力を測定する。圧力測定の方式は特に限定はない。例えば、ロードセルを、原版１０と保持部３６との間に配置することにより、ロードセルにより原版１０にかかる圧力を測定することができる。ロードセルとは厚み方向に圧縮する力を測定できる測定器具である。

制御システム４６は、測定された圧力と、予め設定された圧力とを比較する。測定された圧力が予め設定された圧力に達すると、制御システム４６は突起状パターン１０Ａが熱可塑性樹脂シート２０の表面２０Ｂに到達したと判断する。

制御システム４６は、熱可塑性樹脂シート２０の表面２０Ｂの位置からの突起状パターン１０Ａの押し込み量を決定する。制御システム４６はＺ軸駆動機構３２を駆動し、原版１０を熱可塑性樹脂シート２０の側に一定量（決定された押し込み量）押し込む。これにより、突起状パターン１０Ａの設定された押し込み位置まで突起状パターン１０Ａが熱可塑性樹脂シート２０に押し込まれるので、原版１０の傾斜部１０Ｃと熱可塑性樹脂シート２０の表面２０Ｂとが密接する。

第三の制御方法によれば、上述の位置決めが必要な場合には、先ずＸ軸駆動機構４０とＹ軸駆動機構４２とを駆動し、原版１０と熱可塑性樹脂シート２０の位置決めを行う。制御システム４６はＺ軸駆動機構３２を駆動し、Ｚ軸駆動機構３２は原版１０を熱可塑性樹脂シート２０の表面２０Ｂの位置に移動する。Ｚ軸駆動機構３２で原版１０を移動させながら、原版１０にかかる圧力を測定する。

制御システム４６は、測定された圧力と、予め設定された圧力とを比較する。第三の制御方法では、原版１０にかかる圧力と、突起状パターン１０Ａの熱可塑性樹脂シート２０への押し込み量（深さ）との関係が予め求められている。

制御システム４６は、測定された圧力と、予め設定された圧力とを比較する。測定された圧力が設定された圧力に達すると、制御システム４６は、突起状パターン１０Ａが熱可塑性樹脂シート２０の表面２０Ｂから所望の押し込み量に到達したと判断する。この実施形態では、制御システム４６は、測定された圧力に基づいて、予め求められた関係から押し込み量を算出する。

圧力から算出された押し込み量が、熱可塑性樹脂シート２０に対する所望の押し込み量である場合、原版１０を熱可塑性樹脂シート２０に押し込まない。すなわち、原版１０にかかる圧力を測定し、設定されたある圧力値と比較し、原版１０の押し込み量を「０」と制御システム４６は決定する。

圧力から算出された押込み量が、熱可塑性樹脂シート２０に対する所望の押し込み量より少ない場合、制御システム４６は、原版１０の現在の位置を基準に、原版１０の突起状パターン１０Ａの熱可塑性樹脂シート２０への押し込み量を決定する。制御システム４６はＺ軸駆動機構３２を駆動し、原版１０を熱可塑性樹脂シート２０の側に一定量（決定された押し込み量）押し込む。これにより、突起状パターン１０Ａの設定された押し込み位置まで突起状パターン１０Ａが熱可塑性樹脂シート２０に押し込まれるので、原版１０の傾斜部１０Ｃと熱可塑性樹脂シート２０の表面２０Ｂとが密接する。

上述の制御方法により、原版１０を熱可塑性樹脂シート２０に正確な押圧ストロークで押し込むことが可能となる。なお、原版１０と熱可塑性樹脂シート２０との引き離しは、上述したＺ軸駆動機構３２により実行することができる。

次に、突起状パターン１０Ａと傾斜部１０Ｃとを有する原版１０において、図１に示す突起状パターン１０Ａを構成する突起部１２とは形状の違う原版１０について説明する。

図１１は、図１とは突起部１２の形状が異なる原版１０を示している。図１１に示す突起状パターン１０Ａを構成する突起部１２は、台１１の一方の平面１０Ｂから離間する方向に、錐台部１２Ｂと先細りとなる針部１２Ａとから構成されている。錐台部１２Ｂには角錐台、円錐台等が含まれる。なお、錐台部１２Ｂと針部１２Ａとの間に、さらに別の錐台部を含んでいても良い。そして、突起状パターン１０Ａの外周部に囲い状に形成されて内側から外側に向けて厚みが突起状パターン１０Ａの設定された押し込み位置まで徐々に増加する傾斜部１０Ｃが形成されている。

突起部１２は、例えば、原版１０の平面１０Ｂから１００〜２０００μｍの高さを有し、Φ５０μｍ以下の先端径を有することが好ましい。複数の突起部１２を有する場合、隣り合う突起部１２の間隔は３００〜２０００μｍであることが好ましい。突起部１２のアスペクト比（突起部の高さ／突起部の底面の幅）は、１〜５であることが好ましい。

針部１２Ａの高さと錐台部１２Ｂの高さとの比（針部１２Ａの高さ／錐台部１２Ｂの高さ）は１〜１０であることが好ましい。錐台部１２Ｂの側面と平面１０Ｂとの成す角度は１０〜６０°であることが好ましい。

図１２Ａ及び図１２Ｂは、図１１の突起部１２を有する原版１０の縦断面図であり、図１２Ａは直線型の傾斜部１０Ｃを有する場合、図１２Ｂは弓型の傾斜部１０Ｃを有する場合である。なお、図１２Ａ及び図１２Ｂは、原版１０を概念的に示した図であり、図１２Ａ及び図１２Ｂと図１１とで、突起状パターン１０Ａを構成する突起部１２の数が異なっている。

また、図示しなかったが、図１２Ａの直線型の傾斜部１０Ｃの傾斜終端に連続して図３Ａのように平坦部１０Ｄを設けることができ、図１２Ｂの線型の傾斜部１０Ｃの傾斜終端に連続して図３Ｂのように平坦部１０Ｄを設けることができる。

図１３に示す原版１０の突起状パターン１０Ａを構成する突起部１２は、平面１０Ｂから離間する方向に、錐台部１２Ｂと、柱状部１２Ｃと、先細りとなる針部１２Ａとから構成されている。ここで、柱状部１２Ｃとは、円柱や直方体で代表されるように、対向する２つの平行な底面を有し、２つの底面の面積が同一である形状を意味する。そして、突起状パターン１０Ａの外周部に囲い状に形成されて内側から外側に向けて厚みが突起状パターン１０Ａの設定された押し込み位置まで徐々に増加する傾斜部が形成されている。

突起部１２は、例えば、原版１０の平面１０Ｂから１００〜２０００μｍの高さを有し、Φ５０μｍ以下の先端径を有することが好ましい。複数の突起部１２を有する場合、隣り合う突起部１２の間隔は３００〜２０００μｍであることが好ましい。突起部１２のアスペクト比（突起部の高さ／突起部の底面の幅）は、１〜５であることが好ましい。

針部１２Ａと柱状部１２Ｃとの合計高さと、錐台部１２Ｂの高さとの比（針部１２Ａと柱状部１２Ｃの合計高さ／錐台部１２Ｂの高さ）は１〜１０であることが好ましい。また、針部１２Ａの高さと柱状部１２Ｃの高さとの比（針部１２Ａの高さ／柱状部１２Ｃの高さ）は０．２５〜１０であることが好ましい。針部１２Ａの側面と平面１０Ｂとの成す角度は４５〜８５°であることが好ましい。また、錐台部１２Ｂの側面と平面１０Ｂとの成す角度は１０〜６０°であることが好ましい。

図１４Ａ及び図１４Ｂは、図１３の突起部を有する原版１０の縦断面図であり、図１４Ａは直線型の傾斜部１０Ｃを有する場合、図１４Ｂは弓型の傾斜部１０Ｃを有する場合である。なお、図１１Ａ及び図１１Ｂは、原版１０を概念的に示した図であり、図１４Ａ及び図１４Ｂと図１３とで、突起状パターン１０Ａを構成する突起部１２の数が異なっている。

また、図示しなかったが、図１４Ａの直線型の傾斜部１０Ｃの傾斜終端に連続して図３Ａのように平坦部１０Ｄを設けることができ、図１４Ｂの線型の傾斜部１０Ｃの傾斜終端に連続して図３Ｂのように平坦部１０Ｄを設けることができる。

図１５Ａ〜図１５Ｄは、図１１の錐台部１２Ｂと針部１２Ａとで構成される突起部１２を有する突起状パターン１０Ａと、弓型の傾斜部１０Ｃとの組み合わせを有する原版１０でモールドを２２作製する工程を示したものである。

図１５Ａは原版１０と熱可塑性樹脂シート２０とを準備する準備工程である。

図１５Ｂ〜図１５Ｄは、原版１０を熱可塑性樹脂シート２０の表面２０Ｂの側に押圧した後、冷却して剥離することにより熱可塑性樹脂シート２０に凹状パターン２０Ａを形成する形成工程である。

図１５Ｂに示すように、加熱された原版１０を熱可塑性樹脂シート２０の表面２０Ｂの側に押圧する。これにより、原版１０の突起状パターン１０Ａが熱可塑性樹脂シート２０に押圧される。図１５Ｂは、原版の突起状パターン１０Ａを構成する突起部１２の途中までを熱可塑性樹脂シート２０に押し込んだ図である。この突起状パターン１０Ａの押し込みによって、熱可塑性樹脂シート２０は突起部１２の押し込み体積に相当する体積分だけ表面２０Ｂが盛り上がり、盛り上がり部Ｐが形成される。

次に、図１５Ｃに示すように、原版１０の傾斜部１０Ｃと熱可塑性樹脂シート２０の表面２０Ｂとが密接するまで突起状パターン１０Ａを更に押し込む。この突起状パターン１０Ａの押し込みによって、熱可塑性樹脂シート２０の表面２０Ｂは更に盛り上がり、上述した空間１３の全体を埋める。このとき、突起部１２の形状を針部１２Ａと錐台部１２Ｂとで構成することにより、熱可塑性樹脂シート２０の表面２０Ｂからの盛り上がり部Ｐは、錐台部１２Ｂによって横方向に拡がる力を受ける。

これにより、突起部１２の形状が針部１２Ａだけの場合に比べて、盛り上がり部Ｐは原版１０に設けられた傾斜部１０Ｃの傾斜終端方向に拡がり易くなるので、段差の発生を一層抑制することができる。

次いで、原版１０を熱可塑性樹脂シート２０に押圧した状態で、原版１０を冷却することにより熱可塑性樹脂シート２０が軟化温度以下になるまで冷却する。

最後に、図１５Ｄに示すように、原版１０と熱可塑性樹脂シート２０とを引き離して、熱可塑性樹脂シート２０の表面２０Ｂの側に、突起状パターン１０Ａの反転形状の凹状パターン２０Ａを形成する。これにより、モールド２２が作製される。

［大型のモールドの作製方法］
次に、一つの突起状パターン１０Ａを有する原版１０を、大型の熱可塑性樹脂シート２０の表面２０Ｂの複数個所に押圧して複数の凹状パターン２０Ａを有する大型のモールド２２を作製する工程を説明する。

図１６Ａは、原版１０を準備する工程であり、図２Ａで説明した原版１０を使用した例で説明する。即ち、原版１０は、一方の平面１０Ｂの上の中央部に形成された一つの突起状パターン１０Ａと、突起状パターン１０Ａの外周部に形成された直線型の傾斜部１０Ｃとを有している。

次に、図１６Ｂは、大型の熱可塑性樹脂シート２０を準備する準備工程を示している。モールド２２の材料となる熱可塑性樹脂シート２０を準備し、例えば、熱可塑性樹脂シート２０をテーブル（不図示）に設置する。

大型の熱可塑性樹脂シート２０は、例えば０．５〜２．０ｍｍの厚さ、１００×１００〜３００×３００の大きさであり、原版１０の突起状パターン１０Ａが押圧される表面２０Ｂを有している。この表面２０Ｂの側に後述する凹状パターン２０Ａが複数形成される。

図１６Ｃ、図１６Ｄは、位置決め工程、凹状パターン２０Ａを形成する形成工程、及び位置決め工程と形成工程とを繰り返し行うことを示している。

先ず、準備した原版１０と熱可塑性樹脂シート２０と相対的に移動して、原版１０を熱可塑性樹脂シート２０に押圧する位置（例えば、領域Ａ１）を決める。位置決めは、図１０で示した位置決め機能を備えた押圧装置３０を使用することができる。即ち、熱可塑性樹脂シート２０を支持するテーブル３８を、水平面内で互いに直交方向に移動するＸ軸駆動機構４０、Ｙ軸駆動機構４２によって移動させることにより、実行される。

位置決めを精度よく行うため、例えば、熱可塑性樹脂シート２０の表面２０Ｂに位置決め用のアライメント用のマークを設けることが好ましい。また、原版１０、熱可塑性樹脂シート２０、及びアライメントマークを検出するため、撮像装置等を設けることが好ましい。

次いで、加熱された原版１０を、押圧装置のＺ軸駆動機構３２により、熱可塑性樹脂シート２０の表面２０Ｂの側に押圧する。この押圧によって、原版１０の突起状パターン１０Ａが熱可塑性樹脂シート２０に押圧されて熱可塑性樹脂シート２０の表面２０Ｂが盛り上がる。

しかし、原版１０に傾斜部１０Ｃを形成したので、原版１０の傾斜部１０Ｃに対応する熱可塑性樹脂シート２０の表面２０Ｂの盛り上がり部は、内側から外側に向けて厚みが薄くなる。なお、図１６Ｃ〜図１６Ｅには、厳密には盛り上がり部Ｐがあるが、ここでは図示を省略している。

これにより、熱可塑性樹脂シート２０の表面２０Ｂの端部（図１６Ｃに丸印で示す部分）に段差が発生するのを抑制することができる。仮に段差が発生したとしても、段差を極めて小さくすることができる。

そして、加熱した原版１０を押圧しながら、熱可塑性樹脂シート２０の表面２０Ｂの側を一定時間加熱する。次いで、原版１０を熱可塑性樹脂シート２０に押圧した状態で、原版１０を冷却することにより熱可塑性樹脂シート２０が軟化温度以下になるまで冷却する。

次に、図１６Ｄに示すように、原版１０と熱可塑性樹脂シート２０とを引き離して、熱可塑性樹脂シート２０の表面２０Ｂの側に、突起状パターン１０Ａの反転形状の凹状パターン２０Ａを形成する。なお、原版１０と熱可塑性樹脂シート２０との引き離しは、上述したＺ軸駆動機構により実行することができる。

そして、図１６Ｄの領域Ａ１において凹状パターン２０Ａの形成を終えると、原版１０と熱可塑性樹脂シート２０との位置決め（ここでは領域Ａ２）を行う。領域Ａ２において、加熱された原版１０を熱可塑性樹脂シート２０の表面２０Ｂの側に押圧する。原版１０の突起状パターン１０Ａが熱可塑性樹脂シート２０の表面２０Ｂの側に押圧される。原版１０を熱可塑性樹脂シート２０の表面２０Ｂの側に押圧する際、原版１０の平面１０Ｂと熱可塑性樹脂シート２０の表面２０Ｂとを離間する。

領域Ａ２において、加熱した原版１０を押圧しながら、熱可塑性樹脂シート２０の表面２０Ｂの側を一定時間加熱する。次いで、原版１０を熱可塑性樹脂シート２０に押圧した状態で、原版１０を冷却することにより熱可塑性樹脂シート２０が軟化温度以下になるまで冷却する。原版１０と熱可塑性樹脂シート２０とを引き離して、熱可塑性樹脂シート２０の表面２０Ｂに、突起状パターン１０Ａの反転形状の凹状パターン２０Ａを形成する。

さらに、原版１０と熱可塑性樹脂シート２０とを位置決めし（ここでは領域Ａ３）、加熱した原版１０を熱可塑性樹脂シート２０の表面２０Ｂに押圧する。

図１６Ｃ及び図１６Ｄで説明した原版１０と熱可塑性樹脂シート２０との位置決めの工程と、及び原版１０の突起状パターン１０Ａの反転形状の凹状パターン２０Ａを熱可塑性樹脂シート２０に形成する形成工程と、を繰り返す。

そして、図１６Ｅに示すように、熱可塑性樹脂シート２０の表面２０Ｂの側に、予め決められた凹状パターン２０Ａを形成し終えると、熱可塑性樹脂シート２０から複数の凹状パターン２０Ａを有する大型のモールド２２が作製される。

図１７は、図１６Ａ〜図１６Ｅによって作製されたモールド２２と、それに使用した一つの突起状パターン１０Ａを有する原版１０との斜視図である。

図１７に示すように、一つの突起状パターン１０Ａを有する原版１０から、３×３の凹状パターン２０Ａを有する樹脂製のモールド２２が作製される。本実施形態では、３×３の凹状パターン２０Ａを有する樹脂製のモールド２２を作製する際に、３×３の突起状パターンを有する大型の原版を作製していない。したがって、本実施形態では、原版１０を作製する作業を低減することができる。３×３の凹状パターン２０Ａを有する樹脂製のモールド２２を例示したが、凹状パターン２０Ａの数は適宜決定される。

また、本実施形態においては、傾斜部１０Ｃを有する原版１０を用いてモールド２２を作製したので、隣接する凹状パターン２０Ａの間（例えばＳ１、及びＳ２）に段差が発生するのを抑制できる。仮に段差が発生したとしても、段差を極めて小さくすることができる。これにより、ポリマーシート２１０をモールド２２から剥離する際に段差が剥離抵抗にならないので、容易に剥離することができる。したがって、またポリマーシート２１０が断裂する等の剥離不良を発生することがない。

［パターンシートの製造方法］
次に、上記の如く作製した大型のモールド２２を用いて、微細なパターンを有する成形品である突起状パターンを有するパターンシートの製造方法について説明する。図１８Ａ〜図１８Ｇは、大型のモールド２２を用いたパターンシートの製造方法の手順を示す工程図である。

図１８Ａは、モールド２２を準備した状態を示している。モールド２２は、上述のモールドの作製方法により作製され、モールド２２の表面２０Ｂには複数の凹状パターン２０Ａが形成されている。

図１８Ｂは、モールド２２の複数の凹状パターン２０Ａにポリマー溶解液を供給する供給工程を示している。

まず、ポリマー溶解液２００を準備する。ポリマー溶解液２００に用いられる樹脂ポリマーの素材としては、生体適合性のある樹脂を用いることが好ましい。このような樹脂としては、グルコース、マルトース、プルラン、コンドロイチン硫酸ナトリウム、ヒアルロン酸ナトリウム、ヒドロキシエチルデンプン、ヒドロキシプロピルセルロースなどの糖類、ゼラチンなどのタンパク質、ポリ乳酸、乳酸グリコール酸共重合体などの生分解性ポリマーを使用することが好ましい。これらの中でもゼラチン系の素材は多くの基材と密着性をもち、ゲル化する材料としても強固なゲル強度を持つため、後述する剥離工程において、基材と密着させることができ、モールド２２から基材を用いてポリマーシートを剥離することができるので、好適に利用することができる。

なお、ポリマー溶解液２００に薬剤を含ませることができる。ポリマー溶解液２００に含有させる薬剤は、生理活性を有する物質であればよく、特に限定されない。薬剤として、ペプチド、タンパク質、核酸、多糖類、ワクチン、医薬化合物、又は化粧品成分から選択することが好ましい。また、医薬化合物は水溶性低分子化合物に属するものであることが好ましい。ここで、低分子化合物とは数百から数千の分子量の範囲の化合物である。

濃度は材料によっても異なるが、薬剤を含まないポリマー溶解液２００中に樹脂ポリマーが１０〜５０質量％含まれる濃度とすることが好ましい。また、溶解に用いる溶媒は、温水以外であっても揮発性を有するものであればよく、メチルエチルケトン、アルコールなどを用いることができる。そして、ポリマー樹脂の溶解液中には、用途に応じて体内に供給するための薬剤を共に溶解させることが可能である。薬剤を含むポリマー溶解液２００のポリマー濃度（薬剤自体がポリマーである場合は薬剤を除いたポリマーの濃度）としては、０〜４０質量％の範囲であることが好ましい。

ポリマー溶解液２００の調製方法としては、水溶性の高分子（ゼラチンなど）を用いる場合は、水溶性粉体を水に溶解し、溶解後に薬剤を添加しても良いし、薬剤が溶解した液体に水溶性高分子の粉体を入れて溶かしても良い。水に溶解しにくい場合、加温して溶解しても良い。温度は高分子材料の種類により、適宜選択可能であるが、約６０℃以下の温度で加温することが好ましい。ポリマー樹脂の溶解液の粘度は、薬剤を含む溶解液では１００Ｐａ・ｓ以下であることが好ましく、より好ましくは１０Ｐａ・ｓ以下とすることが好ましい。薬剤を含まない溶解液では２０００Ｐａ・ｓ以下であることが好ましく、より好ましくは１０００Ｐａ・ｓ以下とすることが好ましい。ポリマー樹脂の溶解液の粘度を適切に調整することにより、モールドの針状凹部に容易に溶解液を注入することが容易となる。例えば、ポリマー樹脂の溶解液の粘度は、細管式粘度計、落球式粘度計、回転式粘度計、又は振動式粘度計で測定することができる。

図１８Ｂに示すように、モールド２２にポリマー溶解液２００を供給し、ポリマー溶解液２００を複数の凹状パターン２０Ａに充填する。すなわち、ポリマー溶解液２００が凹状パターン２０Ａを構成する凹部に充填される。

ポリマー溶解液２００を複数の凹状パターン２０Ａに充填する方法として、スピンコータを用いて充填する方法、スキージを移動させて充填する方法、スリットノズルを移動させながら充填する方法、ディスペンサーで複数の凹状パターン２０Ａの凹部に充填する方法等を挙げることができる。

ＷＯ２０１４／０７７２４２に開示されているように、スリットノズルをモールド２２の表面に接触させた状態で、スリットノズルとモールド２２と相対的に移動させながら、複数の凹状パターン２０Ａにポリマー溶解液２００を供給することが好ましい。スリットノズルをモールド２２の表面に接触させた状態でスリットノズルとモールド２２と相対的に移動させる場合、モールド２２の表面が平坦性を有していることが好ましい。

空気の存在により、モールド２２の凹状パターン２０Ａの凹部にポリマー溶解液２００が奥まで入り込み難い場合が考えられる。したがって、供給工程を減圧環境下で行うことが望ましい。減圧環境下とは大気圧以下の状態を意味する。例えば、減圧装置（不図示）内でモールド２２をセットし、モールド２２にポリマー溶解液２００を供給することにより、減圧環境下で凹部内の空気を引き抜きながら、凹状パターン２０Ａの先端までポリマー溶解液２００を充填させることが可能になる。モールド２２が気体透過性の材質である場合に、特に有効である。

また、別の方法として、ポリマー溶解液２００が供給された、モールド２２を耐圧容器の中に入れる。加熱ジャケットにより耐圧容器の内部を４０℃まで加熱した後、コンプレッサーから耐圧容器内に圧縮空気を注入する。耐圧容器内を０．５ＭＰａの圧力で５分間保持し、圧力をかけることにより、凹部内の空気を除去し、モールド２２の凹状パターン２０Ａの先端までポリマー溶解液２００を充填することが可能になる。

図１８Ｃは、ポリマー溶解液２００を乾燥させてポリマーシート２１０とする乾燥工程を示している。例えば、モールド２２に供給されたポリマー溶解液２００に風を吹付けることにより乾燥させることができる。

乾燥は、例えば、４ゾーンに分けて、（１）１５℃でのセット乾燥（低湿、風速４ｍ／ｓｅｃ）、（２）３５℃での弱風乾燥（低湿、風速８ｍ／ｓｅｃ）、（３）５０℃で強風乾燥（風速１２ｍ／ｓｅｃ）、（４)３０℃で強風乾燥（風速２０ｍ／ｓｅｃ）のように条件に設定することで効率的に乾燥できる。

ポリマー溶解液２００をゲル化させることにより、形状を縮小させモールド２２からの剥離性を高めることができる。この場合、低湿度の冷風を流すことによりポリマー溶解液２００をゲル化させることができる。完全にゲル化させるために１０〜１５〔℃〕の冷風を上記の場合よりも長時間吹付け、この後、上記と同様に風を吹付ける。又、この場合において、この後の乾燥させるために高温の温風を流す際には、温風の温度が高すぎると、ポリマー溶解液２００におけるゲル化が戻ってしまったり、薬剤によっては加熱により分解等により効能が変化したりするため、吹付ける風の温度には注意を要する。このように、塗布されたポリマー溶解液２００を乾燥、あるいは、ポリマー溶解液２００をゲル化させた後乾燥させることにより固化し、ポリマーシート２１０とする。

ポリマーシート２１０とすることで、ポリマー溶解液２００を注入した際の状態よりも縮小し、特に、ゲル化を行う場合は顕著に縮小する。これにより、後述するモールド２２からポリマーシート２１０の剥離が容易となる。

ポリマーシート２１０とは、ポリマー溶解液２００に所望の乾燥処理を施した後の状態を意味する。ポリマーシート２１０の水分量等は適宜設定される。

図１８Ｄ、及び１８Ｅは、ポリマーシート２１０をモールド２２から剥離するポリマーシート剥離工程を示している。図１８Ｄに示すように、ポリマーシート２１０に対してモールド２２の反対側の面に、粘着層が形成されているシート状の基材３００を付着させる。基材３００の表面に、表面活性処理をして接着させてもよい。さらには、基材３００を密着させた後に、基材３００の上からポリマー溶解液を塗布して、基材３００を埋め込んでもよい。なお、シート状の基材３００の素材として、例えば、ＰＥＴ（polyethylene terephthalate：ポリエチレンテレフタレート）、ＰＰ（polypropylene：ポリプロピレン）、ＰＣ（polycarbonate：ポリカーボネート）、ＰＥ（Polyethylene：ポリエチレン）等を使用することができる。

図１８Ｅに示すように、基材３００をポリマーシート２１０に付着させた後、基材３００とポリマーシート２１０とを同時に剥離を行う。基材３００のポリマーシート２１０との接着面と反対面に吸盤（不図示）を設置し、エアーで基材３００を吸引しながら垂直に引き上げる。ポリマーシート２１０をモールド２２から剥離し、突起状パターン２２０Ａを有するパターンシート２２０を形成する。

この剥離工程において、モールド２２の表面は、隣接する凹状パターン２０Ａの間に段差が発生していないか、発生していても極めて小さい。これにより、ポリマーシート２１０をモールド２２から剥離する際の剥離性が良くなる。

なお、モールド２２を構成する材料を、剥離が非常にしやすい材料により構成することが一層好ましい。また、モールド２２を構成する材料を弾性が高く柔らかい材料とすることにより、剥離する際における、パターンシート２２０の突起状パターン２２０Ａに加えられる応力を緩和することができる。

パターンシート２２０の突起状パターン２２０Ａは、モールド２２の凹状パターン２０Ａの反転形状となる。ここで、パターンシート２２０は、モールド２２から剥離されたポリマーシート２１０と基本的には同じである。

図１８Ｆ、及び１８Ｇは、パターンシート２２０を切断して、個別のパターンシート２２０とする切断工程を示している。

図１８Ｆに示すように、モールド２２から剥離した、突起状パターン２２０Ａを有するパターンシート２２０と基材３００とを切断装置（不図示）にセットする。パターンシート２２０を切断する位置を決定する。基本的には、突起状パターン２２０Ａごとに切断位置を決定する。

図１８Ｇに示すように、パターンシート２２０を切断して、複数の個別のパターンシート２２０とする。なお、本実施形態では、パターンシート２２０と基材３００とを同時に切断する例を示したが、これに限定されない。

例えば、モールド２２から剥離したパターンシート２２０と基材３００とから、基材３００を剥離し、パターンシート２２０を切断することにより個別のパターンシート２２０とすることができる。

本実施形態では、ポリマー溶解液２００を凹状パターン２０Ａに充填し、乾燥することによりポリマーシート２１０を形成する場合を説明したが、これに限定されない。

例えば、薬剤を含むポリマー溶解液２００を凹状パターン２０Ａに充填して乾燥し、その後薬剤を含まないポリマー溶解液２００を凹状パターン２０Ａに充填して乾燥しポリマーシートすることができる。

パターンシート２２０を形成できるポリマー溶解液２００を供給する限り、ポリマー溶解液２００を供給する回数、ポリマー溶解液２００中の薬剤の有無を適宜変更することができる。

図１９は、個別のパターンシート２２０の斜視図である。個別のパターンシート２２０は、一方面に突起状パターン２２０Ａを有している。また、パターンシート２２０は突起状パターン２２０Ａの形成された面と反対面に基材３００とを有している。

［突起状パターンを有する電鋳金型の作製方法］
次に、モールド２２を用いて電鋳金型を作製する方法について説明する。図２０Ａ〜図２０Ｃはモールド２２を用いた電鋳金型の作製方法の手順を示す工程図である。

図２０Ａは、モールド２２を準備した状態を示している。モールド２２は、上述のモールド２２の作製方法により作製され、モールド２２の表面２０Ｂには凹状パターン２０Ａが形成されている。

図２０Ｂは、モールド２２の凹状パターン２０Ａに、電鋳法により金属を埋める電鋳工程を示す工程図である。電鋳工程においては、まず、モールド２２に対して導電化処理を行う。モールド２２に、金属（例えば、ニッケル）をスパッターし、モールド２２の表面、及び凹状パターン２０Ａに金属を付着する。

次いで、導電化処理を経たモールド２２を陰極に保持する。金属ペレットを金属製のケースに保持し陽極とする。モールド２２を保持する陰極と金属ペレットを保持する陽極とを電鋳液中に浸漬し、通電する。電鋳法により、モールド２２の凹状パターン２０Ａに金属を埋め込み、金属体４００が形成される。電鋳法とは、電気めっき法により型の表面に金属を析出させる方法をいう。

図２０Ｃは、モールド２２から金属体４００を剥離する剥離工程を示す工程図である。図２０Ｃに示すように、金属体４００がモールド２２から剥離されて、突起状パターン４１０Ａを有する電鋳金型４１０が作製される。剥離とは金属体４００とモールド２２とが分離されることを意味する。突起状パターン４１０Ａはモールド２２の凹状パターン２０Ａの反転形状となる。ここで、電鋳金型４１０は、モールド２２から剥離された金属体４００と基本的には同じである。

このモールド２２から金属体４００を剥離する剥離工程においても、モールド２２の表面は、隣接する凹状パターン２０Ａの間に段差が発生していないか、発生していても極めて小さい。これにより、金属体４００をモールド２２から剥離する際の剥離性が良くなる。

本実施形態では、図１に示す原版１０を用いてモールド２２を作製し、図２０Ａ〜図２０Ｃに示すようにモールド２２から電鋳金型４１０を作製している。したがって、原版１０と比較して大面積の電鋳金型４１０を得ることができる。電鋳金型４１０は、原版１０と同じ機能を有し、原版１０と比較して大きな面積を有する。つまり、大面積の原版を、研削等の機械加工ではなく電鋳法により得ることができるので、大面積の原版を作製するコストを低減することができる。

次に、電鋳金型４１０を用いてモールドを作製する方法について説明する。図２１Ａ〜図２１Ｃは電鋳金型４１０を用いたモールド２６の作製方法の手順を示す工程図である。

図２１Ａは、電鋳金型４１０を準備した状態を示している。電鋳金型４１０は、上述の電鋳金型４１０の作製方法により作製される。電鋳金型４１０は、一方面に突起状パターン４１０Ａを備えている。

図２１Ｂ、及び図２１Ｃは、突起状パターン４１０Ａを有する電鋳金型４１０を用いて、電鋳金型４１０の突起状パターン４１０Ａの反転形状である凹状パターン２６Ａを有する樹脂製のモールド２６を作製する工程を示す工程図である。凹状パターン２６Ａとは、モールド２６の一方面から他方面に向けて延びる凹部が、モールド２６の一方面に配置されている状態をいう。凹部の数、凹部の配置の位置等は限定されない。

電鋳金型４１０を用いてモールド２６を作製する方法について説明する。以下の第１から第３の方法により、凹状パターン２６Ａを有するモールド２６を作製することができる。

まず、第１の方法について説明する。紫外線を照射することにより硬化する紫外線硬化樹脂を準備する。電鋳金型４１０の突起状パターン４１０Ａを紫外線硬化樹脂に押圧する。紫外線硬化樹脂に電鋳金型４１０を押圧した状態で、紫外線硬化樹脂に紫外線を照射し、紫外線硬化樹脂を硬化させる。硬化させた紫外線硬化樹脂から電鋳金型４１０を剥離する。電鋳金型４１０の突起状パターン４１０Ａの反転形状である凹状パターン２６Ａを有する樹脂製のモールド２６を作製することができる。

第２の方法について説明する。モールド２６の材料となる熱可塑性樹脂シートを準備する。突起状パターン４１０Ａを有する電鋳金型４１０を加熱する。加熱された電鋳金型４１０の突起状パターン４１０Ａを熱可塑性樹脂シートの表面に押圧する。熱可塑性樹脂の表面は軟化されているので、突起状パターン４１０Ａが熱可塑性樹脂シートに転写される。

熱可塑性樹脂シートに電鋳金型４１０を押圧した状態で、熱可塑性樹脂シートと電鋳金型４１０とを冷却する。電鋳金型４１０を冷却することにより熱可塑性樹脂シートを硬化させる。その後、突起状パターン４１０Ａが転写された熱可塑性樹脂シートから電鋳金型４１０を剥離する。電鋳金型４１０の突起状パターン４１０Ａの反転形状である凹状パターン２６Ａを有する樹脂製のモールド２６を作製することができる。

次に、第３の方法について説明する。ＰＤＭＳ（polydimethylsiloxane：ポリジメチルシロキサン、例えば、ダウコーニング社製シルガード１８４）に硬化剤を添加したシリコーン樹脂を準備する。電鋳金型４１０の突起状パターン４１０Ａをシリコーン樹脂に押圧する。シリコーン樹脂に電鋳金型４１０を押圧した状態で、シリコーン樹脂を１００℃で加熱処理し硬化させる。硬化させたシリコーン樹脂から電鋳金型４１０を剥離する。電鋳金型４１０の突起状パターン４１０Ａの反転形状である凹状パターン２６Ａを有する樹脂製のモールド２６を作製することができる。

凹状パターン２６Ａは突起状パターン４１０Ａの反転形状であるので、凹状パターン２６Ａの各凹部の大きさは、突起状パターン４１０Ａの突起部の大きさと、ほぼ同じとなる。但し、モールド２６を作製する方法は、第１〜第３の方法に限定されない。

［電鋳金型で作製したモールドを用いたパターンシートの製造方法］
次に、電鋳金型４１０を用いて上記の如く作製したモールド２６を用いて突起状パターンを有するパターンシートの製造方法について説明する。図２２Ａ〜図２２Ｇは、モールド２６を用いたパターンシート２２０の製造方法の手順を示す工程図である。なお、図１８Ａ〜図１８Ｇのパターンシートの製造方法の手順を示す工程図と、図２２Ａ〜図２２Ｇは、パターンシートの製造方法の手順を示す工程図とでは、モールド２２とモールド２６との違いを除いて、基本的に同じである。したがって、図１８Ａ〜図１８Ｇに示した工程図と同様の構成には同一符号を付して説明を省略する場合がある。

図２２Ａは、モールド２６を準備した状態を示している。モールド２６は、上述の図２１Ａ〜図２１Ｃに示すように電鋳金型４１０を用いて作製される。モールド２６は一方面に凹状パターン２６Ａを有している。

図２２Ｂは、モールド２６の凹状パターン２６Ａにポリマー溶解液２００を供給する供給工程を示している。ポリマー溶解液２００は図１８Ａ〜図１８Ｇで説明したポリマー溶解液２００と基本的に同じである。図２２Ｂに示すように、モールド２６にポリマー溶解液２００を供給し、ポリマー溶解液２００を凹状パターン２６Ａに充填する。すなわち、ポリマー溶解液２００が凹状パターン２６Ａを構成する凹部に充填される。ポリマー溶解液２００が凹状パターン２６Ａの凹部に充填する方法として、図１８Ａ〜図１８Ｇで説明した充填方法を適用することができる。

図２２Ｃは、ポリマー溶解液２００を乾燥させてポリマーシート２１０とする乾燥工程を示している。例えば、モールド２６に供給されたポリマー溶解液２００に風を吹付けることにより乾燥させることができる。図１８Ａ〜図１８Ｇで説明した乾燥方法、条件等を適用することができる。

図２２Ｄ、及び図２２Ｅは、ポリマーシート２１０をモールド２６から剥離するポリマーシート剥離工程を示している。図２２Ｄに示すように、ポリマーシート２１０に対してモールド２６の反対側の面に、粘着層が形成されているシート状の基材３００を付着させる。

図２２Ｅに示すように、基材３００をポリマーシート２１０に付着させた後、基材３００とポリマーシート２１０と同時に剥離を行う。基材３００のポリマーシート２１０との接着面と反対面に吸盤（不図示）を設置し、エアーで基材３００を吸引しながら垂直に引き上げる。ポリマーシート２１０をモールド２６から剥離し、突起状パターン２２０Ａを有するパターンシート２２０を形成する。

なお、モールド２６の材料を、剥離が非常にしやすい材料により構成することが好ましい。また、モールド２６を構成する材料を弾性が高く柔らかい材料とすることにより、剥離する際における、パターンシート２２０の突起状パターン２２０Ａに加えられる応力を緩和することができる。

パターンシート２２０の突起状パターン２２０Ａは、モールド２６の凹状パターン２６Ａの反転形状となる。ここで、パターンシート２２０は、モールド２６から剥離されたポリマーシート２１０と基本的には同じである。

図２２Ｆ、及び図２２Ｇは、パターンシート２２０を切断して、個別のパターンシート２２０とする切断工程を示している。

図２２Ｆに示すように、モールド２６から剥離した突起状パターン２２０Ａを有するパターンシート２２０と基材３００とを切断装置（不図示）にセットする。パターンシート２２０を切断する位置を決定する。基本的には、突起状パターン２２０Ａごとに切断位置を決定する。

図２２Ｇに示すように、パターンシート２２０を切断して、複数の個別のパターンシート２２０とする。なお、本実施形態では、パターンシート２２０と基材３００とを同時に切断する例を示したが、これに限定されない。

例えば、モールド２６から剥離したパターンシート２２０と基材３００とから、基材３００を剥離し、パターンシート２２０を切断して、個別のパターンシート２２０とすることができる。

本実施形態では、ポリマー溶解液２００を凹状パターン２０Ａに充填し、乾燥することによりポリマーシート２１０を形成する場合を説明したが、これに限定されない。

例えば、薬剤を含むポリマー溶解液２００を凹状パターン２０Ａに充填して乾燥し、その後薬剤を含まないポリマー溶解液２００を凹状パターン２０Ａに充填して乾燥しポリマーシートすることができる。

パターンシート２２０を形成できるポリマー溶解液２００を供給する限り、ポリマー溶解液２００を供給する回数、ポリマー溶解液２００中の薬剤の有無を適宜変更することができる。

上述したように、本実施形態によれば、凹状パターンの間の段差の発生を抑制することができ、仮に段差が発生したとしても、段差を極力小さくすることができる。また、原版の作製作業を低減することができ、また、生産性を向上することができる。

１０…原版
１０Ａ…突起状パターン
１０Ｂ…平面
１０Ｃ…傾斜部
１０Ｄ…平坦部
１１…台
１２…突起部
１２Ａ…針部
１２Ｂ…錐台部
１２Ｃ…柱状部
２０…熱可塑性樹脂シート
２０Ａ…凹状パターン
２０Ｂ…表面
２２…モールド
２３…複製型（又は成形品）
２６…モールド
２６Ａ…凹状パターン
３０…押圧装置
３２…Ｚ軸駆動機構
３４…連結部
３６…保持部
３８…テーブル
４０…Ｘ軸駆動機構
４２…Ｙ軸駆動機構
４４…架台
４６…制御システム
４８…レーザー変位計
２００…ポリマー溶解液
２１０…ポリマーシート
２２０…パターンシート
２２０Ａ…突起状パターン
３００…基材
４００…金属体
４１０…電鋳金型
４１０Ａ…突起状パターン
Ｐ…盛り上がり部

Claims (13)

1. 台の上の中央部に形成された突起状パターンの外周部に囲い状に形成されて内側から外側に向けて厚みが徐々に増加する傾斜部を有する原版、及び熱可塑性樹脂シートを準備する準備工程と、
   加熱された前記原版を、前記原版の傾斜部と前記熱可塑性樹脂シートの表面とが密接する位置で、前記熱可塑性樹脂シートに押圧し、前記原版を押圧した状態で前記原版を冷却し、前記原版と前記熱可塑性樹脂シートと引き離して、前記熱可塑性樹脂シートに前記突起状パターンの反転形状の凹状パターンを形成する形成工程と、を備えたモールドの作製方法。
2. 前記原版と前記熱可塑性樹脂シートとを相対的に移動し、前記原版を前記熱可塑性樹脂シートに押圧する位置を決める位置決め工程と、前記形成工程とを繰り返し行う請求項１に記載のモールドの作製方法。
3. 前記傾斜部は縦断面形状が直角三角形に形成され、内側から外側に向けて厚みが直線的に増加する請求項１又は２に記載のモールドの作製方法。
4. 前記傾斜部は縦断面形状が弓形に形成され、内側から外側に向けて厚みが円弧状に増加した後、増加が徐々に小さくなる請求項１又は２に記載のモールドの作製方法。
5. 前記原版は前記傾斜部の傾斜終端に連続して平坦部を有する請求項１又は２に記載のモールドの作製方法。
6. 前記原版を前記熱可塑性樹脂シートに押圧する際、前記熱可塑性樹脂シートの表面の位置を検出し、前記熱可塑性樹脂シートの表面の位置から一定量を押し込む請求項１から５の何れか一項に記載のモールドの作製方法。
7. 前記原版を前記熱可塑性樹脂シートに押圧する際、前記原版にかかる圧力を測定し、設定されたある圧力値と比較し、前記原版の押し込み量を決定する請求項１から５の何れか一項に記載のモールドの作製方法。
8. 請求項１から７の何れか一項に記載の作製方法によりモールドを作製する工程と、
   前記モールドの凹状パターンにポリマー溶解液を供給する供給工程と、
   前記ポリマー溶解液を乾燥させてポリマーシートとする乾燥工程と、
   前記ポリマーシートを前記モールドから剥離するポリマーシート剥離工程と、
   を含む突起状パターンを有するパターンシートの製造方法。
9. 請求項１から７の何れか一項に記載の作製方法によりモールドを作製する工程と、
   前記モールドの凹状パターンに、電鋳法により金属体を形成する電鋳工程と、
   前記金属体を前記モールドから剥離する剥離工程と、
   を含む突起状パターンを有する電鋳金型の作製方法。
10. 請求項９に記載の作製方法により電鋳金型を作製する工程と、
    突起状パターンを有する前記電鋳金型を用いて、前記電鋳金型の突起状パターンの反転形状である凹状パターンを有する樹脂製のモールドを作製する工程と、
    を含む電鋳金型を用いたモールドの作製方法。
11. 請求項１０に記載の作製方法によりモールドを作製する工程と、
    前記モールドの凹状パターンにポリマー溶解液を供給する供給工程と、
    前記ポリマー溶解液を乾燥させてポリマーシートとする乾燥工程と、
    前記ポリマーシートを前記モールドから剥離する剥離工程と、
    を含む突起状パターンを有するパターンシートの製造方法。
12. 熱可塑性樹脂シートの表面に押圧して突起状パターンを前記熱可塑性樹脂シートに転写する原版であって、
    平面の上の中央部に形成された前記突起状パターンの外周部に囲い状に形成されて内側から外側に向けて厚みが徐々に増加する傾斜部を有する原版。
13. 前記傾斜部の傾斜終端に連続して平坦部を有する請求項１１の原版。

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