JPH06215423A - 光記録媒体用基板シートの製造方法及び製造装置、スタンパーの製造方法及びフォトマスクの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 プリフォーマットパターンの転写精度に優れ
低複屈折で且つ板厚精度に優れた光記録媒体用基板を低
コストで製造することのできる方法を提供することを目
的とする。 【構成】 熱可塑性樹脂シートをロールスタンパー及び
成形ロールで挟圧して光記録媒体用基板を製造する方法
に於てロールスタンパー１０２と成形ロール１０４とを
ギャップ規定手段１０８を介して接触させつつ該熱可塑
性樹脂シートの挟圧を行なうことを特徴とする。 【効果】 ギャップ変動を常に小さく維持することがで
きる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は光記録媒体用基板を連続
的に製造する方法及び製造装置に関する。

【０００２】又、本発明は微細なパターンを有するスタ
ンパー及びフォトマスクの製造方法に関する。

【０００３】

【従来の技術】光ディスクや光カード等の、表面に凹状
及び／又は凸状の情報構造（以下プリフォーマットと称
す）を備えた光記録媒体用基板の製造方法として図４に
示すような押出成形を用いる方法の研究が近年進められ
ている。

【０００４】即ちこの方法は押出機１０１から押し出さ
れた熔融樹脂シート４０１を該プリフォーマットに対応
するパターン（以下プリフォーマットパターン）を周面
に備えたロールスタンパー４０２と該ロールスタンパー
に対向配置されてなる形成ロール４０３とで挟圧するこ
とによって該パターンを連続的に転写する方法であっ
て、光記録媒体用基板の量産性を大幅に向上させること
ができる方法として注目されているものである。

【０００５】ところで光記録媒体用基板を製造する場
合、その成形方法によらず該プリフォーマットパターン
の転写精度の向上と基板の複屈折の低減という２つの技
術課題を解決することが要求されており基板へのプリフ
ォーマットパターンの転写精度のより一層の向上と基板
の複屈折のより一層の低減を達成する為には成形条件を
積極的に制御することが有効である。

【０００６】しかし、成形条件としてロールスタンパー
の間隔を制御することは基板シートの厚みを変動させ
る。そして光記録媒体用基板の厚みの変動は例え規格で
許容されている範囲（通常基準の厚さ±１０％以内）で
あっても、再生信号の品質（例えばＣ／Ｎ比）を不均一
化させる原因となるため近年その変動を極力小さくする
ことが要求されておりそれに伴ってかかる押出成形法を
用いた場合、ロールスタンパーのパターン形成面とそれ
に対向配置されてなる成形ロール周面との間隔“ｄ”の
変動（以下「ギャップ変動」）がより小さくなる様に、
具体的には例えば、ギャップ変動を３０μｍ以下、特に
２０μｍ以下、更には１０μｍ以下に制御することが必
要となってきている。

【０００７】しかしロールスタンパーや成形ロールは各
々が固有の偏心を有しているのが一般的であって偏心を
抑え上記した様な小さいギャップ変動を与えるロールス
タンパー及び成形ロールを作成するには多大なコストが
必要である。又偏心を有するロールスタンパー及び成形
ロールを用いて上記のギャップ精度を達成しようとした
場合、多数のロールスタンパーの中からギャップ変動の
小さくなる様な組合せを選択するという極めて効率の悪
い作業が必要であり、やはり基板の製造コストを高くす
る原因となっている。

【０００８】以上の理由から押出成形法で板厚精度に優
れた基板を低コストで製造する方法及び装置が要求され
ている。

【０００９】

【発明が解決しようとしている課題】本発明は上記問題
点に鑑みなされたものであって、ギャップ変動を常に小
さく維持でき、それによってプリフォーマットパターン
の転写精度に優れ、低複屈折で且つ板厚精度に優れた光
記録媒体用基板を低コストで製造することのできる方法
を提供することを目的とする。

【００１０】又本発明は、ギャップ変動が極めて小さい
状態を安定的に維持でき高品質な光記録媒体用基板を低
コストで製造することのできる方法を提供することを他
の目的とする。

【００１１】又本発明は高品質な光記録媒体用基板の成
形立上げ時間を短縮することのできる光記録媒体用基板
の製造方法及び装置を提供することを他の目的とする。

【００１２】又本発明はギャップ変動のより一層の低減
を図ることのできるスタンパーを与える、マスタースタ
ンパーとそれを用いたスタンパーの製造方法を提供する
ことを更に他の目的とする。

【００１３】

【課題を解決するための手段】即ち本発明の光記録媒体
用基板の製造方法は、周面にプリフォーマットパターン
を有するロールスタンパー及び該ロールスタンパーに対
向配置されたロールをそれぞれ所望の回転速度で回転さ
せつつ熱可塑性樹脂を押し出す手段から、所定の温度に
加熱された熱可塑性樹脂を該ロールスタンパーと該ロー
ルとの間に供給する工程と、該熱可塑性樹脂を該ロール
スタンパーと該ロールとで挟圧して該プリフォーマット
パターンを転写せしめる工程とを有する光記録媒体用基
板を連続的に製造する方法において、該ロールスタンパ
ーと該ロールとを、該ロールスタンパー及び該ロールの
熱可塑性樹脂が接する領域以外の領域で、ギャップ規定
手段を介して接触させつつ該熱可塑性樹脂の挟圧を行う
ことを特徴とする。

【００１４】又本発明の光記録媒体用基板の製造方法
は、プリフォーマットパターンを有するスタンパーがロ
ール基材周面に固定されているロールスタンパー及び該
ロールスタンパーに対向配置された成形ロールをそれぞ
れ所望の回転速度で回転させつつ、熱可塑性樹脂を押し
出す手段から所定の温度に加熱された熱可塑性樹脂を該
ロールスタンパーと該成形ロールとの間に供給し、該熱
可塑性樹脂を該ロールスタンパーと該成形ロールとで挟
圧して該プリフォーマットパターンを転写せしめて光記
録媒体用基板を連続的に製造する方法において、該ロー
ルスタンパーと該成形ロールとを、該ロールスタンパー
及び該成形ロールの熱可塑性樹脂が接する領域以外の領
域で、ギャップ規定手段を介して接触させつつ該熱可塑
性樹脂の成形を行うと共に、該スタンパーとしてその面
精度が１０ミクロン以下のスタンパーを用いることを特
徴とする。

【００１５】又本発明の光記録媒体用基板の製造方法
は、プリフォーマットパターンを有するスタンパーがロ
ール基材周面に固定されているロールスタンパー及び該
ロールスタンパーに対向配置された成形ロールをそれぞ
れ所望の回転速度で回転させつつ、熱可塑性樹脂を押し
出す手段から所定の温度に加熱された熱可塑性樹脂を該
ロールスタンパーと該成形ロールとの間に供給し、該熱
可塑性樹脂を該ロールスタンパーと該成形ロールとで挟
圧して該プリフォーマットパターンを転写せしめて光記
録媒体用基板を連続的に製造する方法において、該スタ
ンパーとしてその面精度が１０ミクロン以下のスタンパ
ーを用いることを特徴とする。

【００１６】又本発明の光記録媒体用基板の製造方法
は、プリフォーマットパターンを有するスタンパーがロ
ール基材周面に固定されているロールスタンパー及び該
ロールスタンパーに対向配置された成形ロールをそれぞ
れ所望の回転速度で回転させつつ、熱可塑性樹脂を押し
出す手段から所定の温度に加熱された熱可塑性樹脂を該
ロールスタンパーと該成形ロールとの間に供給し、該熱
可塑性樹脂を該ロールスタンパーと該成形ロールとで挟
圧して該プリフォーマットパターンを転写せしめて光記
録媒体用基板を連続的に製造する方法において、該ロー
ルスタンパーと該成形ロールとを、該ロールスタンパー
及び該成形ロールの熱可塑性樹脂が接する領域以外の領
域で、ギャップ規定手段を介して接触させつつ該熱可塑
性樹脂の成形を行うと共に、該スタンパーとして下記の
各ステップによって製造されたマスタースタンパーから
製造されたスタンパーを用いることを特徴とする、基板
表面にパターン形成層を形成するステップ；該パターン
形成層上にポジ型レジストの層を形成するステップ；該
ポジ型レジスト層に該パターンに対応して選択的に露光
を行うと共にパターン形成領域外のレジスト層にも露光
するステップ；該レジスト層を現像してレジストパター
ンを形成するステップ；及び該パターンをマスクとして
パターン形成層のエッチングを行うステップ。

【００１７】又本発明の光記録媒体用基板の製造装置
は、熱可塑性樹脂を押し出す手段周面にプリフォーマッ
トパターンを有するロールスタンパー、及び該ロールス
タンパーと共に押し出された樹脂を挟圧して表面に該プ
リフォーマットパターンを転写して光記録媒体用基板を
成形する為のロールとを備えた光記録媒体用基板を連続
的に製造する装置において該ロールスタンパーと該ロー
ルとが、該ロールスタンパー及び該ロールの熱可塑性樹
脂が接する領域以外の領域で、ギャップ規定手段を介し
て接するように構成されていることを特徴とする。

【００１８】又本発明の光記録媒体用基板の製造装置
は、熱可塑性樹脂を押し出す手段、プリフォーマットパ
ターンを有するスタンパーがロール基材周面に固定され
ているロールスタンパー、及び該ロールスタンパーと共
に押し出された樹脂を挟圧して表面に該プリフォーマッ
トパターンを転写して光記録媒体用基板を成形する為の
成形ロールとを備えた光記録媒体用基板を連続的に製造
する装置において、該ロールスタンパーと該ロールと
が、該ロールスタンパー及び該成形ロールの熱可塑性樹
脂が接する領域以外の領域で、ギャップ規定手段を介し
て接するように構成されていると共に、該スタンパーが
面精度が１０ミクロン以下のスタンパーであることを特
徴とする。

【００１９】又本発明の光記録媒体用基板の製造装置
は、熱可塑性樹脂を押し出す手段、プリフォーマットパ
ターンを有するスタンパーがロール基材周面に固定され
ているロールスタンパー、及び該ロールスタンパーと共
に押し出された樹脂を挟圧して表面に該プリフォーマッ
トパターンを転写して光記録媒体用基板を成形する為の
成形ロールとを備えた光記録媒体用基板を連続的に製造
する装置において、該スタンパーが面精度が１０ミクロ
ン以下のスタンパーであることを特徴とする。

【００２０】又本発明の光記録媒体用基板の製造装置
は、熱可塑性樹脂を押し出す手段、プリフォーマットパ
ターンを有するスタンパーがロール基材周面に固定され
ているロールスタンパー、及び該ロールスタンパーと共
に押し出された樹脂を挟圧して表面に該プリフォーマッ
トパターンを転写して光記録媒体用基板を成形する為の
成形ロールとを備えた光記録媒体用基板を連続的に製造
する装置において、該ロールスタンパーと該ロールと
が、該ロールスタンパー及び該成形ロールの熱可塑性樹
脂が接する領域以外の領域で、ギャップ規定手段を介し
て接するように構成されていると共に、該スタンパーが
下記の各ステップによって製造されたマスタースタンパ
ーから製造されたスタンパーであることを特徴とする。

【００２１】基板表面にパターン形成層を形成するステ
ップ；該パターン形成層上にポジ型レジストの層を形成
するステップ；該ポジ型レジスト層に該パターンに対応
して選択的に露光を行うと共にパターン形成領域外のレ
ジスト層にも露光するステップ；該レジスト層を現像し
てレジストパターンを形成するステップ；及び該レジス
トパターンをマスクとしてパターン形成層のエッチング
を行うステップ。

【００２２】又、本発明の光記録媒体用スタンパーは、
表面に光記録媒体用のプリフォーマットパターンを有す
るスタンパーであってその面精度が１０ミクロン以下で
あることを特徴とする。

【００２３】又本発明のスタンパーの製造方法は、基板
表面の所定の領域にパターン形成部材がパターン状に配
置されているスタンパーの製造方法であって、基板表面
にパターン形成層を形成するステップ；該パターン形成
層上にポジ型レジストの層を形成するステップ；該ポジ
型レジスト層に該パターンに対応して選択的に露光を行
うと共に該領域外のレジスト層にも露光するステップ；
該レジスト層を現像してレジストパターンを形成するス
テップ；及び該レジストパターンをマスクとしてパター
ン形成層のエッチングを行うステップを有することを特
徴とする。

【００２４】又本発明のフォトマスクの製造方法は、透
明基板表面の所定の領域に遮光性の部材がパターン状に
配置されているフォトマスクの製造方法であって、基板
表面に遮光層を形成するステップ；該遮光層上にポジ型
レジストの層を形成するステップ；該ポジ型レジスト層
に該パターンに対応して選択的に露光を行うと共に該領
域該のレジスト層にも露光するステップ；該レジスト層
を現像してレジストパターンを形成するステップ；及び
該レジストパターンをマスクとして該遮光層のエッチン
グを行うステップを有することを特徴とする。

【００２５】次に本発明を図面を用いて詳細に説明す
る。

【００２６】図１は本発明に係る光記録媒体用基板を連
続的に製造する装置の１実施態様の概略斜視図であり、
図２は図１の装置のロールスタンパーの中心軸に直交す
る方向の概略断面図そして図３は図１の装置の概略平面
図である。同図１〜図３において、１０１は熱可塑性樹
脂の熔融混練を行いつつ押し出すエクストルーダー１０
１−１及び熱可塑性樹脂を所定の幅の熔融樹脂シート１
０６に賦形するためのシート用ダイス１０１−２で構成
された熱可塑性樹脂シートを押し出す手段であり、１０
２はその周面に光記録媒体用プリフォーマットパターン
１０３を有するロールスタンパー、１０４及び１０５は
該ロールスタンパー１０２に対向配置されてなる成形ロ
ールである。

【００２７】そして、ロールスタンパー１０２は、ロー
ルスタンパー１０２と成形ロール１０４による樹脂挟圧
部の回転軸に沿う方向の断面図である図７に示すように
ロール基材１０９の周面にフレキシブルなスタンパー１
１５が固定されてなると共に該ロールスタンパー１０２
の熱可塑性樹脂シート１０６の接する領域以外の領域に
ギャップ規定手段１０８が形成されている。

【００２８】次にロールスタンパー１０２と成形ロール
１０４、１０５は図２及び図３に示す通り各々軸受２０
１〜２０３によって回転自在に支持され、これらの軸受
は基台２０４に該基台上を図２の左右方向に各々個別に
移動可能に取りつけられている。又各ロールはその内部
に加熱流体が循環可能に形成され、各ロールの表面温度
を所定の温度に制御可能に構成され、更に又各ロールは
不図示の駆動モータによって各々図２に示した方向に所
望の速度で回転可能に構成されている。

【００２９】又軸受２０２及び２０３には図２及び図３
に示すように各々テーパーブロック２０２−１、２０３
−１が取り付けられ、軸受２０２と２０３との間には昇
降装置２０５を介してクサビ状の間隙調整部材２０６が
基台２０４上に、図２の左右方向に移動可能に配置され
ている。この間隙調整部材２０６はテーパーブロック２
０２−１と２０３−１のテーパー面に当接可能な形状に
形成されている。そしてロールスタンパー１０２に対し
ては基台２０４に固定された加圧装置２０７によって軸
受２０３及び２０２を介して図２の左方向に、そして成
形ロール１０４に対しては加圧装置２０８によって図２
の右方向に加圧可能に構成され、これによって成形ロー
ル１０４とロールスタンパー１０２がギャップ規定手段
１０８を介して接するように構成することができる。

【００３０】そして本発明においては、ロールスタンパ
ー１０２と成形ロール１０４とがギャップ規定手段１０
８を介して接するように互いに押圧させつつ熱可塑性樹
脂シート１０６の挟圧を行うことが好ましい。即ちこの
ように熱可塑性樹脂の挟圧工程を成形ロール１０４とロ
ールスタンパー１０２とがギャップ制御手段１０８を介
して接するように互い押圧させつつ行うことによって、
熱可塑性樹脂シートが通過するロールスタンパー１０２
と成形ロール１０４とで形成されるギャップ“ｄ”の各
ロールの偏心度への依存を解消し、例えば偏心の大きい
ロールスタンパー及び／または成形ロールを用いた場合
でもギャップ変動を極めて小さく抑えることができ、プ
リフォーマットパターンの板厚精度に優れた、高品質な
光記録媒体用基板を安定的に、そして低コストで製造す
ることができるものである。又ギャップ規定手段がロー
ルスタンパー周面に接しているため成形立ち上げ時間を
大幅に短縮することができる。

【００３１】即ち通常の押出成形法を用いた光記録媒体
用基板シートの製造装置のギャップ寸法は、その概略断
面図である図５及び平面図である図６に示すようにロー
ルスタンパー４０２、成形ロール４０３、４０４を回転
自在に支持する軸受５０１〜５０３の間に配置されてな
るくさび状の間隙調整部材５０４、５０５によって規定
されている。即ち、各軸受５０１〜５０３には各々テー
パーブロック５０１−１、５０２−１及び５０３−１が
取り付けられてなり、各軸受５０１と５０２、５０２と
５０３との間にはくさび状の間隙調整部材５０４、５０
５が配置されている。そしてギャップ寸法が所定の寸法
となるように間隙調整部材を上下させて調整した後、加
圧装置５０６、５０７で各軸受に圧力を印加することで
ギャップが規定されるものである。

【００３２】しかしこのような装置の場合、軸受や間隙
調整部材には高い圧力が加わるため、それによって変形
することのない様にリジッドな素材が用いられると共
に、そのサイズも大きくなりその結果としてこれらの部
材の熱容量は非常に大きなものとなる。

【００３３】そのため成形を開始して後もこれらの部材
の熱膨張による寸法の変動が収束するのに長い時間を必
要とし、その間はギャップの寸法が安定しないため成形
された基板シートの品質は不安定で実用とはならず、安
定して高品質な光記録媒体用基板シートを得られるよう
になるまでの時間（成形立ち上げ時間）が非常に長くな
るが、本発明のギャップ規定手段は厚みが薄く、又ロー
ルスタンパー周面に密着していることからその熱膨張に
よるギャップ変動は極めて小さく又短時間で収束するた
め成形立ち上げ時間を大幅に短縮することができる。

【００３４】そして本発明においてロールスタンパー１
０２に対する成形ロール１０４の全押圧力としては、成
形ロール１０２を支持する軸受２０１に対して加圧装置
２０８を用いて印加する力を５０〜１２００ｋｇｆ、特
に７０〜８００ｋｇｆ、更には１００〜５００ｋｇｆに
調整した場合、ギャップ間に供給される熱可塑性樹脂の
量の多少の変動によってもロールスタンパー１０２と成
形ロール１０４とのギャップ規定手段を介した接触状態
は解除されることはなく、又ロールスタンパー１０２と
成形ロール１０４の円滑な回転を妨げないため好まし
い。

【００３５】次に本実施態様において周面にギャップ規
定手段１０８を有するロール基材１０２の形成方法とし
ては例えば帯状の部材をロール基材１０２の所定の位置
に固定することによって、或いは予め無終端（エンドレ
ス）の帯状部材を用意し、これをロールに焼ばめ等では
め込むことによって形成することができる。

【００３６】そして本発明においてこのギャップ規定手
段１０８に用い得る材料としては、その厚みが均一で、
成形時の熱や圧力で変形・変質しない材料であれば特に
限定されず、例えば炭素鋼、銅、ニッケル、アルミニウ
ム等の金属シートや真鋳、ステンレス等の合金シートＢ
Ｎ、ＳｉＮ、硝子、Ａｌ₂ Ｏ₃ 、窒化チタン等のセラミ
ックスシート、更にはポリイミド、ポリエーテルイミ
ド、芳香族ポリアミド等の耐熱性樹脂シートを用いるこ
とができるがこのギャップ規定手段１０８の厚み精度は
ギャップ変動につながるため振幅で１０μｍ以内、特に
５μｍ以内、更には２μｍ以内とすることが好ましく、
この厚み精度と熱及び圧力に対して優れた耐久性を考慮
した場合、ステンレスシートは本実施態様におけるギャ
ップ規定手段１０８に用いる材料として特に好ましいも
のである。

【００３７】そしてこのギャップ規定手段１０８の固定
方法としては、例えばギャップ規定手段として帯状の部
材を用いる場合、接着剤たとえばエポキシ系接着剤、シ
リコン系接着剤、シアノアクリレート系接着剤等の有機
系接着剤、あるいは水ガラスや低融点ガラス等の無機接
着剤または、低融点合金等を用いてロール基材周面に接
着するか、あるいは、図７に示すようにねじや金属ベル
ト等の治具を用いて機械的に取り付ける方法等が挙げら
れる。

【００３８】そして図１又は図３に示す様に無終端でな
い帯状の部材１８−１、１８−２、１８−３及び１８−
４をギャップ規定手段１０８とする場合、その長さは、
ロール基材１０９に巻き付けた時、図１又は図３に示す
ように端部間に間隙（１１０、１１１、１１２及び１１
３）が形成されるような長さとした場合、該帯状部材の
熱や圧力による膨張や延伸によっても端部同士が突きあ
たって、ギャップの変動を来すことがなく好ましいもの
である。そしてこの間隙の寸法としては帯状の部材の材
料によっても異なるが一般的には５〜５０ｍｍ、特には
１０〜４０ｍｍとすることが好ましい。

【００３９】更に又上記した様に、帯状の部材を用いる
共にロール基材に巻き付けた時に端部間に隙間が出来る
様な構成とした場合、図１、図３及び図７に示すよう
に、ロール基材１０９周面のスタンパー固定部の幅方向
両端に各々複数本の帯状部材（例えば図１においては１
０８−１と１０８−２及び１０８−３と１０８−４）を
固定すると共に、ロール基材の各々の端部に固定される
帯状部材の継ぎ目が該ロール基材１０９の周面の互いに
異なる位置に形成されるように構成することが好まし
い。具体的には図１に示すように帯状部材１０８−１の
継ぎ目１１０と、帯状部材１０８−２の継ぎ目１１１と
がロール基材周面の異なる位置に形成され、又帯状部材
１０８−３の継ぎ目１１２と帯状部材１０８−４の継ぎ
目１１３とがロール基材周面の異なる位置に形成される
ように構成することが好ましい。

【００４０】即ちこれによって１本の帯状部材の継ぎ目
が成形ロール１０４の周面と接した場合にも、他の帯状
部材によってギャップ寸法を精度良く維持できギャップ
変動の抑制に極めて有効である。

【００４１】更に本実施態様に係るギャップ規定手段１
０８をロール基材に形成する他の方法として図８に示す
ようにロール基材のスタンパー固定部を切削することに
よってロール基材自体をギャップ規定手段１０８とする
こともできる。

【００４２】そして又本実施態様において、図９に示す
ように成形ロール１０２のギャップ規定手段１０８と接
する面及びギャップ規定手段１０８の成形ロール１０４
と接する面をクリーニングする手段９０１を設けた場
合、成形材料の破片等が成形ロール１０４とギャップ規
定手段１０８の間に挟み込まれるのを防止し、ギャップ
変動のより一層の低減を図ることができる。そしてクリ
ーニング手段９０１としては、成形ロール周面及びギャ
ップ規定手段１０８の成形ロールと接する面に付着した
樹脂片等のゴミを除去でき且つクリーニング面に傷を生
じさせることのない手段とすることが好ましく、例えば
払拭部材のクリーニング面への接触や、エアーの吹付等
の手段を用いることができるが特に払拭部材の使用は熱
可塑性樹脂シートと成形ロールとロールスタンパーとの
熱収支に影響を与えることがないため好ましいものであ
る。

【００４３】そして払拭部材に用い得る材料としては、
ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリテトラフルオロエ
チレン等のポリオレフィン系樹脂、ポリエステル系樹
脂、ポリアミド系樹脂、エポキシ系樹脂、ポリウレタン
系樹脂、ポリアクリル系樹脂、ポリ塩化ビニル系樹脂、
ポリスチレン系樹脂、フェノール系樹脂等が挙げられ
る。

【００４４】なお、払拭部材にアセトン、アルコール、
トルエン等の溶剤を含浸させることによりクリーニング
をより効率的に行うことができる。

【００４５】更に払拭部材をクリーニング面に接触させ
るときの圧力としてはロール基材の材質及び払拭部材の
材質によっても異なるがロール基材の傷付きを防止且つ
樹脂を除去するために０．１ｋｇ〜２０ｋｇ／ｃｍ² 、
特に０．５ｋｇ／ｃｍ² 〜１０ｋｇ／ｃｍ² とすること
が好ましい。ところで本発明においてギャップ規定手段
の幅としては、図７に示す様に熱可塑樹脂シート１０６
の両端にギャップ規定手段１０８が設けられている場合
には、一方の端部における成形ロール１０４とギャップ
規定手段１０８との接触部の長さの合計“ｍ”（図１０
参照）が少なくとも１ｃｍ以上、特には１．５ｃｍ以上
５ｃｍ以下とすることが好ましい。即ちこれによってギ
ャップ寸法をより正確に維持でき、且つロール基材の大
型化を抑えることができる。

【００４６】又本発明においてギャップ規定手段１０８
の厚さ“ｔ”としては、例えば図７に示す様にロール基
材周面にスタンパー１１５が取り付けられてなる構成に
おいては、規定のギャップ寸法“ｄ”にスタンパー１１
５の厚さ“ｎ”を加えた厚さとすることが好ましく、又
ロール基材１０９の周面に直接プリフォーマットが形成
されている場合、或いは後述するようにロール基材１０
９に巻き付けるスタンパー１１５とギャップ規定手段１
０８とを一体化せしめた構造とする場合にはギャップ規
定手段１０８の厚み“ｔ”はギャップ寸法“ｄ”と実質
的に等しくなるように設定することが好ましい。

【００４７】なお上記した本発明の実施態様において
は、ギャップ規定手段１０８は全て基材側に設けたもの
として説明したが、本発明においては図１１に示した様
にギャップ規定手段を、成形ロール１０４周面に形成し
てもよく、更にはロール基材１０２及び成形ロール１０
４の両方の周面に設けた構成としてもよい。

【００４８】次に図１２は本発明に係る光記録媒体用基
板の製造方法の他の実施態様の説明図である。

【００４９】即ち図１２に示した構成は、ギャップ規定
手段１０８に無終端の帯状部材を用いると共にプーリー
１２１を用いて、その帯状部材をロールスタンパー１０
２の回転に同期させて、成形ロール１０４とロール基材
１０９の間隙に送り込みつつ、それによって成形ロール
とロール基材とを、互いに接触せしめた構成としたもの
である。

【００５０】そしてこの構成はギャップ規定手段１０８
をロール基材１０２、或いは成形ロール１０４、或いは
その両方に固定する必要が無い為厚みの異なる光記録媒
体を形成しようとした場合などでギャップ寸法を容易に
変更することができ好ましいものである。

【００５１】又この実施態様に関しても、無終端の部材
からなるギャップ規定手段１０８を、成形ロール１０４
の回転に同期させてもよく、更には図１３に示すように
エンドレスの帯状部材をロール基材１０２及び成形ロー
ル１０４の両方の回転に同期させて、ロール基材１０２
と成形ロール１０４とを２つのギャップ規定手段１０８
を介して接触させてもよい。

【００５２】更に又図１２に示す実施態様においても、
ギャップ規定手段１０８のクリーニング手段１３１を用
いてギャップ規定手段１０８のロール基材１０２と接す
る面１２２と、成形ロール１０４に接する面１２３をク
リーニングしてもよく、又成形ロール１０４のギャップ
規定手段と接する面１３２をクリーニング手段１３３で
クリーニングする様にしてもよい。

【００５３】又図１３に示す実施態様においては、ギャ
ップ規定手段１０８の両面及びギャップ規定手段１０
８′の両方を、クリーニング手段１３１を用いてクリー
ニングすることによってギャップ変動をより小さく抑え
ることができる。

【００５４】次に図１４及びその（Ｂ−Ｂ線）断面図で
ある図１５は、本発明の他の実施態様の説明図であっ
て、図１４に示した構成は、ギャップ規定手段１０８と
して所定の厚み“ｔ”を有する耐熱性円板１４１を用い
ると共に、該円板１４１の回転手段１４２によって該円
板１４１を該ロール基材１０９及び成形ロール１０４の
回転に応じて回転させつつ、ロール基材１０９と成形ロ
ール１０４との間に挟み込まれるように構成して、ロー
ル基材１０９と成形ロール１０４とを該円板１４１を介
して接触させつつ熱可塑性樹脂シート１０６の成形を行
えるようにしたものである。

【００５５】なお本実施態様においては、円板１４１の
回転中心１４３をロール基材１０９の回転軸と成形ロー
ル１０４の回転軸とを含む面上に設置した場合、円板１
４１の回転とロールスタンパー１０２及び成形ロール１
０４の回転とが干渉し難く好ましい。

【００５６】又この構成についても、図１６に示すよう
に円板１４１のロール基材１０９及び成形ロール１０４
と接する面をクリーニング手段１６１を用いてクリーニ
ングしつつ、熱可塑性樹脂１０６の成形を行うことはギ
ャップ変動をより小さく抑えるうえで好ましいものであ
る。

【００５７】ところで上記した本発明の実施態様におい
て、図２３（ａ）に示すようにロール基材周面に固定さ
れてなるスタンパー１１５の幅が熱可塑性樹脂シート１
０６の幅よりも狭く形成されている場合には、図２３に
樹脂シートのスタンパー１１５と接しないエッジ部１０
６′をロール基材１０９或いは成形ロール表面に圧着さ
せるべく、図２３（ｂ）に示すように圧着部材２３１を
設けることが好ましい。

【００５８】即ち圧着部材２３１によって樹脂シートの
エッジ部がロール基材１０９もしくは成形ロール１０４
周面に圧着されて冷却されるためエッジ部の樹脂が、成
形ロール１０４とギャップ規定手段１０８の接触面には
み出すことを防止でき、長時間の連続成形時にもギャッ
プ寸法を均一に維持することができる。

【００５９】そしてこの圧着部材２３１は樹脂シート１
０６のエッジ部を圧着可能であればロール基材１０９の
周面、又は成形ロール１０４の周面、或いは両方のロー
ル周面に配置しても良く、更には図２４に示す様に、ギ
ャップ規定部材１０８と同様に圧着部材にエンドレスの
ベルト状の部材２４１を用い、プーリー２４２を用いて
成形ロール１０４の回転に合わせて成形ロール１０４と
ロールスタンパー１０２のギャップ部に送られるように
構成して樹脂シート１０６のエッジ部が、ロール基材１
０９の表面に圧着されるようにしてもよい。

【００６０】次に図１７は本発明に係る光記録媒体用基
板の製造方法に用いられる装置の更に他の実施態様であ
って、図１７に示す構成はロール基材１０９の周面に固
定されたスタンパー１７０の熱可塑性樹脂シート１０６
の接しない領域にギャップ規定手段１０８を配置したも
のでる。

【００６１】図１８は図１７に用いたスタンパー１７０
の概略平面図（図１８（ａ））及び図１８（ａ）の（Ｃ
−Ｃ）線断面図（図１８（ｂ））である。そして本実施
態様におけるスタンパー１７０の製造方法としては、例
えば通常の方法によって形成した表面にプリフォーマッ
トパターン１０３を有するスタンパー１８０の熱可塑性
樹脂シートに接しない領域に、前記した様なギャップ規
定手段を接着剤やネジ等で固定することによって得るこ
とができる。

【００６２】又本実施態様においてスタンパー１８０に
ギャップ規定手段を固定するタイミングとしては、ロー
ル基材１０９に該スタンパー１８０を取付ける前であっ
てもよく、又ロール基材１０９に該スタンパー１８０を
取付けた後でもよい。

【００６３】又本実施態様に係るスタンパー１７０の他
の製法としては、例えば図３１に示すようなステップに
よって、スタンパーとギャップ規定手段１０８を一体と
して形成することもできる。

【００６４】即ちプリフォーマットパターンが形成され
た原盤３１１上に厚さがギャップ寸法“ｄ”と等しいス
ペーサ３１２を介して鏡面板３１３を、その鏡面がプリ
フォーマットパターン１０３と対向するように配置して
セル３１４を作製した後、該セル内に光硬化性樹脂を充
填・硬化させて鏡面板上にプリフォーマットパターンの
転写された樹脂層３１５を有するマザースタンパー３１
６を形成する。次に該マザースタンパー３１６の表面
（鏡面板３１３の露出部も含む）を導電化し、電鋳を行
って、その電鋳膜３１７を導電化膜と共にマザースタン
パー３１６から剥離することによってギャップ規定手段
１０８が一体となったスタンパー３１８を得ることがで
きる。

【００６５】ところで本実施態様に係るスタンパー１７
０を用いてロールスタンパー１０２を形成する場合、ス
タンパー端部間に別途ギャップ規定部材１９４を設ける
ことが好ましい。

【００６６】即ちロール基材１０９へのスタンパー１７
０への固定方法として、例えば本願出願人の出願に係る
特願平３−９７９０９号公報の記載に従って、図１９及
びその断面図である図２０に示すようにスタンパー１７
０の裏面に固定具１９０、１９０′を固着し、一方ロー
ル基材１０２には該固定具１９０が嵌挿可能であって該
ロール基材１０９の軸方向に平行に係止溝１９１を形成
し該固定具１９０及び１９０′を係止溝１９１に嵌挿せ
しめると共に該固定具１９０と係止溝１９１の壁部の間
にくさび１９２を挿入して、該スタンパー１７０に張力
を印加して該スタンパー１７０をロール基材１０９の周
面に密着するように固定する場合、固定具１９０と１９
０′の間を樹脂等１９３で充填すると共に該スタンパー
１８０の幅方向外側に該スタンパー１７０のギャップ規
定手段１０８にオーバーラップする様に該スタンパーの
端部間に該ロール基材周面に新たなギャップ規定手段１
９４を固定することが好ましい。即ちこれによってスタ
ンパー１７０をロール基材１０９に固定するための固定
具近傍におけるギャップ変動を極めて小さく抑えること
ができる。

【００６７】又、このギャップ規定手段１０８を有する
スタンパー１７０を複数枚用意し、その端部を溶接等の
手段を用いて接合して図２１に示すようなエンドレスス
タンパー２１１として、図２２に示す様に、プーリー２
２１を用いてロール基材１０９の回転に同期させて成形
ロール１０４とロール基材１０９の間隙に、核エンドレ
ススタンパー２１１が挟み込まれるように構成して、ロ
ール基材１０９と成形ロール１０４とを、該ギャップ規
定手段１０８を介して接触させつつ熱可塑性樹脂シート
１０６の成形を行なうようにすることも可能である。

【００６８】更に又かかるエンドレススタンパー２１１
の製造方法として、ギャップ規定手段１０８を有さない
スタンパーを接合してエンドレススタンパーを作成した
後ギャップ規定手段となる、ステンレス製ベルト（エン
ドレスベルトでも良い）を両端に固定することによって
も図２１に示すようなエンドレススタンパーを得ること
ができる。

【００６９】次に押出成形に用いられるロールスタンパ
ー４０２としては前記した様にロール基材の周面に直接
プリフォーマットパターンを形成したものや、又表面に
プリフォーマットパターンを有するスタンパーをロール
基材周面に固定したもの等が用いられるが、プリフォー
マットパターンが破損したときに容易に交換できるため
ロール基材周面にスタンパーを固定してなるロールスタ
ンパーが好適に用いられるが、この様なロールスタンパ
ーを用いて図１或いは図４に示す様な装置を構成した場
合、ギャップ変動はロール基材の周面に固定されるスタ
ンパーの面精度にも依存することになる。

【００７０】そして押出成形の技術を用いて、プリフォ
ーマットパターンの転写制度に優れ且つ低複屈折で、更
に再生信号の均質化を図るうえで好ましい厚み精度に優
れた、高品質な光記録媒体用基板を製造するためには、
ギャップ変動を３０μｍ以下、特に２０μｍ以下更には
１０μｍ以下となることが好ましいがギャップ変動３０
μｍ以下を達成するためには、スタンパー１１５の面精
度（平坦度）としては、例えば図２５（ａ）、（ｂ）に
示すように１枚の光カードまたは光ディスクのプリフォ
ーマットパターンを完全に含み且つ該プリフォーマット
パターンの面積の約１２倍の面積を有する円形の領域２
５１の面精度が１５μｍ以下、特に１０μｍ以下、更に
は５μｍ以下であって且つ上記の領域内の任意の位置に
中心を有する直径５０ｍｍの円形領域に２５２の面精度
が５μｍ以下特に３μｍ以下となることが好ましい。

【００７１】ところで光記録媒体成形用のスタンパーの
製造方法として従来より公知の基板上フォトレジスト層
を形成し、該レジスト層に選択的に露光、現像を行って
レジストパターンを形成し、次いでこのレジストパター
ン上に導電化膜を付けた後電鋳を行い、最後に電鋳膜と
導電化膜を一体としてレジストパターンから剥離して、
スタンパーとする方法の他に図２６に示すように基板２
６１上にパターン形成層２６２を形成し（ａ）、次いで
フォトリソ工程によって該パターン形成層２６２上にレ
ジストパターン２６３を形成し（ｂ）、次いでパターン
形成層２６２をエッチングしてマスタースタンパー２６
４を作成し（ｃ）、このマスタースタンパー２６４に、
直接電鋳を行うか或いはこのマスタースタンパーのレプ
リカを光硬化性樹脂等で作成しそのレプリカに電鋳を施
して、スタンパー２６５を得る（ｄ）方法がある。

【００７２】そして後者の方法はマスタースタンパーを
繰り返し使用できる為スタンパーの量産性に優れると共
に、パターン精度や凹凸プリフォーマットの凹部の深さ
の均一性に優れており、光記録媒体のスタンパー形成に
は最適である。

【００７３】しかしこの方法は歪の小さいマスタースタ
ンパーを作成することが難しくそのために面精度の良好
なスタンパーの作成が難しく、特にスタンパー表面に複
数個の光記録媒体のプリフォーマットパターンを形成し
てなるスタンパーの場合、前記した面精度の達成は特に
困難であるが、下記の方法、即ち基板表面にパターン形
成層を形成するステップ：該パターン形成層上にポジ型
レジストの層を形成するステップ：該ポジ型レジスト層
に光記録媒体のプリフォーマットパターンに対応して選
択的に露光を行うと共に該領域外のレジスト層にも露光
するステップ：該レジスト層を現像してレジストパター
ンを形成するステップ：及び該レジストパターンをマス
クとしてパターン形成層のエッチングを行うステップを
経て形成されたマスタースタンパーは極めて歪が小さ
く、これを用いてスタンパーを作成した場合、前記した
面精度を満足し得る非常に平坦なスタンパーを得ること
ができる。

【００７４】なおこの方法によって歪の少ないマスター
スタンパーを得られる理由は明らかでないが以下のよう
に考えられる。

【００７５】即ちマスタースタンパーの製造は前記した
様に、表面精度の高い基板上にパターン形成層として例
えばクロム薄膜を形成した後、該クロム薄膜上にフォト
レジストを塗工し光カードや光ディスクのプリフォーマ
ットに対応したパターンを有するフォトマスクを用い
て、一括露光するか電子線で１トラックづつ露光して、
複数枚の光記録媒体に対応するプリフォーマットパター
ンを、フォトレジスト層に焼きつけた後現像してレジス
トパターンを形成し、更にレジストで被覆されていない
クロム薄膜をエッチングすることによってなされたもの
である。

【００７６】ところで光記録媒体のマスタースタンパー
の製造に用いられるフォトレジストは通常解像力に優れ
たポジ型フォトレジストであるため上記のマスタースタ
ンパーの製造工程に於てフォトレジスト層に露光の行わ
れない領域、即ち例えば露光領域の説明図である図２７
（ａ）に示す光カードのパターン領域２７１の外側の領
域２７１ａ、又は図２７（ｂ）に示す光ディスクのパタ
ーン領域２７２の外側の領域２７２ａに形成されたクロ
ム薄膜は、図２８（ａ）に概略平面をを示した最終的に
得られるマスタースタンパーの（Ｄ−Ｄ）線断面図であ
る図２８（ｂ）に示すようにそのまま残ることになる。

【００７７】しかし通常クロム薄膜はガラスの一面に形
成した時にガラスが反ることのないように研磨ガラス上
にクロムを引っ張り応力や圧縮応力が発生しなし条件で
スパッタリングして製造しているため、プリフォーマッ
トパターン形成領域に於てはクロムがエッチングによっ
て部分的に除去される結果、パターン近傍のクロム薄膜
内では今まで釣合っていた応力が不均衡になり、応力バ
ランスがくずれてその為にマスタースタンパーに歪みが
発生するのに対して本発明に係るマスタースタンパーの
製法によれば、領域２７１ａや２７２ａのクロム薄膜を
除去し、この領域の基板面を露出させることによってク
ロム薄膜が基板に及ぼす応力の影響を大幅に軽減できる
ためマスタースタンパーに生じる歪を抑えることができ
るものと考えられる。

【００７８】以下、本発明に係るマスタースタンパーの
製造方法について図面を用いて詳細に説明する。

【００７９】即ち本発明のマスタースタンパの製造方法
としては、図２６（ａ）に示すようにまず表面研磨して
面精度を良くしたガラス基板上にパターン形成層として
例えばクロム等の金属膜を蒸着、スパッタリング等によ
り情報トラック溝や情報ピットの深さに相当する厚み
（一般には５００〜５０００Åが好ましい。）になるよ
うに積層する。次いで、前記パターン形成層上にポジ型
フォトレジスト層を積層した後、該フォトレジスト層に
トラッキング用溝、情報用ピットに対応するパターン露
光又は電子線照射を行なう。この場合、図２７に示す光
カードのパターン２７１、又は光ディスクのパターン２
７２の領域意外の領域２７１ａ、又は２７２ａにも露光
又は電子線照射を行なう。その後、現象として露光又は
照射領域のレジストの除去を行う。フォトレジスト薄膜
の形成方法は特に限定しないが、スピニング法による塗
布法が望ましい。フォトレジスト薄膜の厚さは５００〜
１５００Åとすることが望ましい。薄膜が５００以下の
厚みの場合にはスピニング法等で均一厚みの薄膜を形成
しにくく、この場合にはピンホール等の欠陥を生じ易く
なる。

【００８０】現像後、フォトレジストで被覆されていな
いクロム薄膜をエッチングする。エッチングの深さはク
ロム薄膜の厚みであり、ガラス基板面が完全に露出する
ように充分エッチングを行なう。

【００８１】続いて残存レジスト薄膜を除去し、図２９
に示されるような断面図を有する本発明のマスタースタ
ンパ２９１を得る。

【００８２】こうして得た本発明に係るマスタースタン
パーは次いで、光記録媒体用基板成形用のスタンパーの
製造に用いられる。

【００８３】そしてマスタースタンパーからのスタンパ
ーの製造としては前記した様にマスタースタンパーの表
面に導電化膜を形成した後、該導電化膜上に電鋳膜を形
成し、次いで該電鋳膜を該導電化膜と一体として該マス
タースタンパーから剥離してスタンパーを得る方法や、
該マスタースタンパーのレプリカを光硬化性樹脂を用い
て作成しそのレプリカ表面に導電化膜を形成した後、該
導電化膜上に電鋳膜を形成し、次いで該電鋳膜を該導電
化膜と一体として該レプリカから剥離してスタンパーを
得る方法等が挙げられる。

【００８４】そして又こうして得たスタンパーを前記し
たギャップ規定手段１０８を用いた押出成形による光記
録媒体用基板の成形装置のロールスタンパー１０２を構
成するスタンパー１１５に用いた場合、ギャップ変動を
３０μｍ以下、更には２０μｍ以下とすることができ極
めて高品質な光記録媒体用基板の量産が可能となる。

【００８５】又上記した方法によって製造されるマスタ
ースタンパーに於て基板を透光性基板（例えばガラス）
とし、パターン形成層を遮光性材料（例えばクロム）と
したものはフォトマスクとしても好適に用いることがで
きる。即ち例えば図３０に示すように前記マスタースタ
ンパーの製造工程に於て基板３０１上のパターン形成層
３０２を被覆するフォトレジスト層３０３に露光を行な
う際に予め本発明の方法で作成しておいたフォトマスク
として用い得るマスタースタンパー３０４を該フォトレ
ジスト層上に配置し、露光した場合フォトマスク自身に
歪みが少ない為レジスト層へのプリフォーマットパター
ンの焼付けを正確に行なうことができると共にフォトマ
スクの領域２７１ａ及び２７２ａには遮光層が形成され
ていないことから該レジスト層の領域２７１ａ及び２７
２ａへの露光がプリフォーマットパターンの焼付けと同
時に行なえるため面精度が良く又パターン精度もより向
上したマスタースタンパーを効率良く製造することがで
きる。

【００８６】次に本発明の光記録媒体用基板の製造工程
に於てロールスタンパー１０２及び成形ロール１０４、
１０５の表面温度としては、用いる樹脂によって異なる
が例えばポリカーボネートを用いる場合通常ロールスタ
ンパー１０２の温度はポリカーボネードの熱変形温度を
考慮して１１０℃〜１４５℃、成形ロール１０４は９０
℃〜１３５℃、成形ロール１０５は１２０℃〜１５０℃
に設定され、また、アモルファスポリオレフィンを用い
る場合ロールスタンパー１０２の温度は１２０℃〜１４
５℃、成形ロール１０４は１００℃〜１３５℃、又、成
形ロール１０５は１２０℃〜１５０℃に設定される。

【００８７】又これらのロールの温度は例えばロールに
鋳込まれたヒーターによって、或いはロールの中心部に
熱媒を循環させることによって制御される。

【００８８】又本発明に於て基板シート１０６の材料と
して用いる樹脂としては熱可塑性樹脂であり、記録・再
生用の光に対して透過率の高いものが好ましく、例え
ば、アクリル樹脂、ポリエステル樹脂、ポリカーボネー
ド樹脂、ビニル系樹脂、ポリスルホン樹脂、ポリオレフ
ィン樹脂、セルロース誘導体などが挙げられる。

【００８９】更に本発明に於て成形ロール１０４、１０
５及びロールスタンパー１０２の基材１０９としては硬
度が高く熱伝導率が良くまた周面の鏡面加工の容易なも
のが好ましく、例えば、鉄鋼、クロム綱、アルミニウ
ム、金型用綱（マルエージング綱）等を用いることがで
きる。

【００９０】こうして得た光記録媒体用基板シート１０
７は巻き取られて次の記録層及び／又は反射層形成工
程、保護層形成工程或いは光記録媒体用基板シート１０
７の記録及び／又は再生光の入射面へのハードコート層
の形成工程に送られる。又は光記録媒体用基板シート１
０７の成形後連続して上記各工程を行なってもよい。

【００９１】又、この光記録媒体用基板シートのプリフ
ォーマットの転写された側の面に形成される記録層とし
ては、例えばＴｅ、Ｓｂ、Ｍｏ、Ｇｅ、Ｖ、Ｓｎ等の酸
化物Ｓｎ、ＴｅＯｘ−Ｇｅなどの無機化合物、Ｔｅ−Ｃ
Ｈ₄、Ｔｅ−ＣＳ₂Ｔｅ−スチレン、Ｓｎ−ＳＯ₂、Ｇｅ
Ｓ−Ｓｎ、ＳｎＳ−Ｓなどの金属と有機化合物又は無機
硫化物との複合物ニトロセルロース、ポリスチレン、ポ
リエチレンなどの熱可塑性樹脂中に銀等の金属粒子を分
散させたものカルコゲン元素更にはＴｂ−Ｆｅ−Ｃｏ、
Ｇｄ−Ｆｅ−ＣｏＴｂ−Ｆｅ−Ｃｏ−ＣｒやＧｄ−Ｆｅ
−Ｃｏ−Ｃｒ等の磁性膜更には有機色素を用いることが
できる。

【００９２】なお本発明に於てプリフォーマットパター
ンとしては具体的には例えば幅１μｍ〜４μｍ、ピッチ
１μｍ〜２０μｍ、深さ或いは高さが２００Å〜５００
０Å程度のスパイラル状や同心円状或いはストライプ状
の光ディスク用や光カード用トラッキングトラックに対
応するパターンや幅０．６μｍ〜１０μｍ、長さ０．６
〜２０μｍ、深さ或いは高さが２００〜５０００Å程度
のアドレスピット等に対応するパターンが挙げられる。
又本発明に於てアドレスピットとは光記録媒体用基板表
面に対し凸形状及び凹形状のものを含む。

【００９３】

【実施例】以下に実施例を用いて本発明を更に詳細に説
明する。但し本発明は本実施例によって何ら限定される
ものではない。

【００９４】（実施例１）以下の方法で図２９に示すよ
うな構成のフォトマスクを作成した。即ち厚さ５ｍｍ、
縦３００ｍｍ、横３５０ｍｍの鏡面研磨した石英ガラス
基板の表面に、スパッタリング法により３０００Å厚の
クロム薄膜を形成した。この厚みはプリフォーマットパ
ターンの深さに相当する。更に、クロム薄膜上にポジ型
フォトレジスト（商品名；ＡＺ−１３７０、ヘキストジ
ャパン（株）製）をスピンコート法により厚さ１０００
Åとなるように塗布し、ベーキング処理した。

【００９５】次に該レジスト層上に図２７（ａ）に示す
様に４枚の光カード用プリフォーマットに対応するパタ
ーンを電子線を用いて焼き付けると共に領域２７１ａの
フォトレジスト層に対しても電子線を照射した。

【００９６】なおここで光カード用プリフォーマットと
は長さ８０ｍｍ、幅４０ｍｍの領域にその長手方向に平
行に幅３μｍ、ピッチ１２μｍのトラッキングトラック
がストライプ状に形成されているパターンのことであ
る。

【００９７】次に該レジスト層を現像液（商品名；ＡＺ
−３１２ＭＩＦ；ヘキストジャパン（株）製）で現像す
ることによってレジストパターンを形成した。

【００９８】次に光カードプリフォーマットパターン部
及び、パターン外側のクロム薄膜部を６規定塩酸で基板
のガラスが露出するまでエッチングを行なった後、十分
に洗浄して乾燥させた。次に残存フォトレジストを酸素
プラズマアッシャーにより灰化除去し、光カードプリフ
ォーマットパターンを形成したフォトマスクを得た。

【００９９】このフォトマスクについて干渉計（商品
名；ザイゴ干渉計マークＩＩＩ、ザイゴ（株）製）を用
いて干渉稿の本数からその面精度を測定したところ、各
々の光カードパターンを含むφ２００ｍｍの円のエリア
の面精度は４．７μｍ、φ２００ｍｍ円のエリア内の任
意の位置に中心を持つφ５０ｍｍの３つの円の面精度は
何れも２．５μｍであった。

【０１００】次にこのフォトマスクを用いて、マスター
スタンパーを作成した。即ち厚さ５ｍｍ、縦３００ｍ
ｍ、横３５０ｍｍの鏡面研磨した透明ガラス基板の表面
に、スパッタリング法により３０００Å厚のクロム薄膜
を形成した。この厚みはプリフォーマットパターンの深
さに相当する。更に、クロム薄膜上にポジ型フォトレジ
スト（商品名；ＡＺ−１３７０、ヘキストジャパン
（株）製）をスピンコート法により厚さ１０００Åとな
るように塗布し、ベーキング処理した。

【０１０１】次いで該レジスト層上に上記のフォトマス
クを密着させて露光、現像を行なってレジストパターン
を形成した。

【０１０２】なお図２７（ａ）に於ける領域２７１ａに
形成されてなるフォトレジストは完全に除去されクロム
薄膜が露出していた。

【０１０３】次にフォトレジスト層で被覆されていない
クロム薄膜を６規定塩酸で基板のガラスが露出するまで
エッチングを行なった後、十分に洗浄して乾燥させた。
次に残存フォトレジストを酸素プラズマアッシャーによ
り灰化除去し、光カードプリフォーマットパターンを形
成したマスタースタンパーを得た。

【０１０４】このマスタースタンパーについて上記の方
法と同様にして面精度を測定したところフォトマスクの
面精度と同程度であった。

【０１０５】次にマスタースタンパーのプリフォーマッ
トパターンを有する側の面上にてスペーサを介して厚さ
１０ｍｍ、幅３００ｍｍ、長さ３５０ｍｍのガラス板を
積層してセルを作成した。なおガラス板の該マスタース
タンパーと対向する側の面にはシランカップリング剤
（商品名；Ａ−１７４；日本ユニカー（株）製）を塗布
した。次いでセル中にアクリレート系紫外線硬化型樹脂
を充填・硬化せしめて、該マスタースタンパーのレプリ
カが付着したガラス基板を得た。この紫外線硬化した樹
脂からなるレプリカのサイズは厚さ１０ｍｍ、幅２８０
ｍｍ、長さ３３０ｍｍであった。

【０１０６】次にこのレプリカ上に導電化膜としてニッ
ケルを１０００Åの厚さになるようにスパッタリングし
て電極とし、次いでニッケルを２５０μｍの厚さとなる
ように電鋳した。ついで、ニッケル面を２００μｍ厚さ
まで鏡面研磨した後ニッケルをレプリカから剥離したス
タンパーを得た。

【０１０７】このスタンパーの面精度についてフォトマ
スクと同様にして測定したところマスタースタンパーの
面精度と同等であった。

【０１０８】次に該スタンパーの外形を幅２４０ｍｍ×
長さ３００ｍｍの大きさにレーザーで切断した。但し、
ストライプ状のプリフォーマットパターンと該スタンパ
ーの長手方向が平行となるようにした。

【０１０９】次いで該スタンパーの長手方向の両端部裏
面に、図２０の１９０に示す断面形状を有し、厚さ１０
ｍｍ、幅１５ｍｍ、長さ４００ｍｍのステンレス製の固
定具をスタンパーとの重ね幅を５ｍｍとしてエレクトロ
ンビーム溶着装置（商品名；ＥＢＷ６ＬＢ；三菱電機
（株）製）を用いて溶着した。この様にして固定具付の
スタンパーを３枚用意した。

【０１１０】一方ステンレス綱製のロール材の周面にク
ロムをメッキし、更に鏡面仕上げして表面粗さを０．１
μｍ以下に仕上げ直径３１０ｍｍ幅５００ｍｍのロール
基材１０９を形成した。

【０１１１】次いで該ロール基材１０９の周面に図２０
に１９１として示した様な係止溝を３ヶ所に形成した。
但し係止溝の深さは１０ｍｍ、ロール基材の回転軸に沿
う方向の長さは５００ｍｍとした。

【０１１２】又隣接する溝間の、周面に於ける距離は３
００ｍｍとした。

【０１１３】次にスタンパーの固定具を各々係止溝に嵌
挿すると共に図１９に１９２として示したくさびを用い
てスタンパーに張力を印加し、次いで該固定具をロール
基材にネジで固定し、ロール基材周面に３枚のスタンパ
ーを固定した。

【０１１４】なお各スタンパーはロール基材の幅方向の
中心に位置するように、ロール基材周面に固定した。

【０１１５】次に幅１５ｍｍ、長さ９４５ｍｍ、厚さ
０．６ｍｍのステンレス製の帯状部材を４本用意し、各
々を該ロールスタンパーの両端に２本づつ巻き付けてネ
ジで固定し、ギャップ規定手段１０８とし図１のロール
スタンパー１０２を得た。なお各々の端部に取り付けた
２本の帯状部材（図１に於ける１０８−１と１０８−
２、及び１０８−３と１０８−４）は、その継ぎ目がロ
ール基材周面に於いて互いに１０ｍｍ異なるように構成
した。

【０１１６】又ステンレス綱製のロール材の周面にクロ
ムをメッキし、更に鏡面仕上げして表面粗さを０．１μ
ｍ以下に仕上げ直径３１０ｍｍ幅５００ｍｍの成形ロー
ル１０４を形成した。

【０１１７】こうして得たロールスタンパー１０２及び
成形ロール１０４を図１に示す成形位置に取り付けると
共にロールスタンパー１０２に対する成形ロール１０４
の押圧力を１２０Ｋｇｆに調整してロール基材１０２が
成形ロール１０４にギャップ規定手段１０８を介して接
するように制御しつつロールスタンパーを１回転させた
時のギャップ変動を、レーザーギャップ測定器（商品
名；ＬＳ−３００１、キーエンス（株）製）を用いて測
定したところ７μｍ以下であった。

【０１１８】次にこの押圧力を維持しつつ、ダイ１０１
−２から幅２３０ｍｍのビスフィノールＡ系ポリカーボ
ネード（商品名；Ｓ−２０００Ｒ；三菱ガス化学（株）
製）の樹脂シートを押し出して厚さ０．４ｍｍの光カー
ド用基板シートを成形した。

【０１１９】成形条件としてはダイ１０１−２の温度３
１０℃、ロールスタンパー１０２の表面温度１５０℃、
樹脂シートの搬送速度３ｍ／分、ダイ１０１−２からの
樹脂押出量を１８Ｋｇ／時となるように調整し、５時間
の連続成形を行なった。

【０１２０】こうして成形された基板シートについて各
プリフォーマットパターン転写領域内の任意の９ヶ所の
複屈折の平均値と転写精度の平均値及び各プリフォーマ
ットパターン転写領域の板厚の規定の板厚（０．４ｍ
ｍ）に対する＋側及び−側へのふれ幅について検査し
た。その結果、成形開始３０分以降に成形された基板シ
ートについては基板シートの厚さは０．４ｍｍの基準に
対して±３μｍ以内と極めて均一であって又転写精度は
９５％以上であり、複屈折は１０ｎｍ以下であり、高品
質な光カード用基板を得ることができた。

【０１２１】なお本実施例に於て転写精度は基板シート
のプリフォーマットパターンの転写部の１５ヶ所のトラ
ック溝に対して垂直な方向の断面形状を電子線表面形態
解析装置（商品名；ＥＳＡ−３０００；エリオニクス
（株）社製）で観測し、基板シートのトラック溝転写部
のランドの幅をａ、スタンパーのトラック溝形成用の凹
部の下底の幅をＡとしたときのａ／Ａの値で評価した。

【０１２２】又複屈折の測定はポーラリメータ（商品
名；ＳＰ−２２４型；神港精機（株）社製）を用いて波
長８３０ｎｍ、スポット径１μｍの光で測定しシングル
パスの値で評価したものである。

【０１２３】（比較例１）実施例１に用いたロールスタ
ンパー１０２からギャップ規定手段１０８を取り外した
ロールスタンパーと、実施例１に用いた成形ロール１０
４とを図５に示す装置のロールスタンパー４０１と成形
ロール４０２に適用し、間隙調整部材５０４を用いてロ
ールスタンパー４０１のスタンパー面と成形ロール４０
２の周面とのギャップ寸法を０．４ｍｍに調整した。こ
の時ロールスタンパー４０１及び４０２を等しい角速度
で回転させた時のギャップ変動を実施例１と同様にして
測定したところ７０μｍであった。

【０１２４】次にこの装置を用いて実施例１と同様にし
て光カード用基板を５時間連続して成形した。

【０１２５】こうして成形した基板について実施例１と
同様にして検査した結果、板厚精度は光カード用基板の
厚み精度の規格である０．３６〜０．４４ｍｍの範囲内
で大きくバラつき複屈折は１０〜４０ｎｍの範囲でバラ
ついて安定せず、又転写精度についても０．７〜０．９
６の範囲でバラつき不安定であった。

【０１２６】（比較例２）図５に示す装置のロールスタ
ンパー４０１を構成するロール基材として成形ロール４
０２との組み合わせでそのギャップ変動が１０μｍとな
る様なロール基材を用意し、そのロール基材周面に実施
例１と同様にして作成したスタンパーを取り付けてロー
ルスタンパー４０１とした。

【０１２７】次いでこのロールスタンパー４０１のスタ
ンパー面と成形ロール４０２の周面とのなすギャップ変
動を再度測定したところ１５μｍであった。

【０１２８】次にこの成形装置を用いて実施例１と同様
にして光カード用基板を５時間連続成形した。

【０１２９】こうして得た基板について実施例１と同様
にして評価した結果、成形開始から２時間以降に成形さ
れた基板については、その厚み精度は０．４ｍｍの基準
に対して±１０μｍ以内と良好であって、又転写精度は
９５％以上であり、更に複屈折は２０ｎｍ以下であっ
た。

【０１３０】（実施例２）以下の方法でロール基材１０
９の周面に取り付けるスタンパーを製造した。

【０１３１】即ち、厚さ５ｍｍ、縦３００ｍｍ、横３５
０ｍｍの鏡面研磨したガラス基板の表面に、スパッタリ
ング法により３０００Å厚のクロム薄膜を形成した。こ
の厚みはプリフォーマットパターンの深さに相当する。
更に、クロム薄膜上にポジ型フォトレジスト（商品名；
ＡＺ−１３７０、ヘキストジャパン（株）製）をスピン
コート法により厚さ１０００Åとなる様に塗布し、ベー
キング処理した。

【０１３２】次に該レジスト層上に図２７（ａ）に示す
様に４枚の光カード用プリフォーマットに対応するパタ
ーンを電子線を用いて焼き付けた。

【０１３３】尚、ここで光カード用プリフォーマットと
は長さ８０ｍｍ、幅４０ｍｍの領域に、その長手方向に
平行に幅３μｍ、ピッチ１２μｍのトラッキングトラッ
クがストライプ状に形成されているパターンのことであ
る。

【０１３４】次に該レジスト層を現像液（商品名；ＡＺ
−３１２ＭＩＦ；ヘキストジャパン（株）製）で現像す
ることによってレジストパターンを形成した。

【０１３５】次にフォトレジスト層で被覆されていない
クロム薄膜を６規定塩酸で基板のガラスが露出するまで
エッチングを行った後、十分に洗浄して乾燥させた。次
に残存フォトレジストを酸素プラズマアッシャーにより
灰化除去し、光カードプリフォーマットパターンを形成
したマスタースタンパーを得た。このマスタースタンパ
ーについて上記の方法と同様にして面精度を測定したと
ころ光カードパターンを含むφ２００ｍｍの円のエリア
の面精度は１９．０μｍ、φ２００ｍｍの円のエリア内
の任意の位置に中心を持つφ５０ｍｍの３つの円の面精
度は９．８μｍであった。このマスタースタンパーを用
いて実施例１と同様にしてスタンパーを作成した。この
スタンパーの面精度はマスタースタンパーの面精度と同
等であった。

【０１３６】次に該スタンパーの外形を２４０ｍｍ×３
００ｍｍの大きさにレーザーで切断した。但し、ストラ
イプ状のプリフォーマットパターンと該スタンパーの長
手方向が平行となるようにした。

【０１３７】次いで、該スタンパーの長手方向の両端部
裏面に、図２０の１９０に示す断面形状を有し、厚さ１
０ｍｍ、幅１５ｍｍ、長さ４００ｍｍのステンレス製の
固定具をスタンパーとの重ね幅を５ｍｍとしてエレクト
ロンビーム溶着装置（商品名；ＥＢＷ ６ＬＢ；三菱電
機（株）製）を用いて溶着した。この様にして固定具付
のスタンパーを３枚用意した。

【０１３８】直径３００ｍｍφ、ロール面長４００ｍｍ
のハードクロムメッキを施した鋼製の鏡面ロール基材１
０９の周面に、先に作成したスタンパーを３枚取り付け
てロールスタンパー１０２を作成した。

【０１３９】一方、成形ロール１０４として直径３０７
ｍｍφ、ロール面長４００ｍｍの炭素鋼製のロールを用
意した。次に、上記の成形ロール１０４に用いる炭素鋼
製ロールの幅方向両端部を各々５０ｍｍづつ残して、そ
の中央部を深さ０．６ｍｍだけ切削し、切削面に厚さ
０．１ｍｍにハードクロムメッキを施して鏡面研磨して
図８に示すような、ギャップ規定手段１０８を有する成
形ロール１０４を作成した。このロールスタンパー１０
２及び成形ロール１０４を図１の装置に装着して両者を
接触させることなく、同じ角速度で回転させて樹脂挾圧
部のギャップ変動を測定したところ９０μｍであった。

【０１４０】次いでロールスタンパー１０２に対する成
形ロール１０４の押圧力を１５０Ｋｇｆとして、成形ロ
ール１０４とロールスタンパー１０２とをギャップ規定
手段１０８を介して接触させつつ樹脂挾圧部のギャップ
変動を測定したところ、２０μｍであった。次にこの押
圧力を維持しつつ光カード用基板を５時間連続して成形
した。

【０１４１】なお、成形条件、成形材料は、実施例１と
同様とした。こうして得た光カード用基板について、実
施例１と同様にして評価したところ、成形開始から３０
分以降に成形された基板シートについては、基板シート
の厚さは０．４ｍｍの基準に対して±１２μｍ以内と均
一であって、又転写精度は９４％以上であり複屈折も２
０ｎｍ以下であった。

【０１４２】（実施例３）直径３００ｍｍφ、ロール面
長４００ｍｍのハードクロムメッキを施した鋼製鏡面ロ
ールの中央部の幅３００ｍｍの周面にマスクして両端に
０．７２ｍｍの厚さでクロムメッキを施した後、両端の
凸部を研磨して中央部からの高さを０．７ｍｍにそろえ
ギャップ規定手段１０８を有する成形ロール１０４を得
た。

【０１４３】一方、直径２９８ｍｍφ、ロール面長４０
０ｍｍのハードクロムメッキを施した鋼製鏡面ロール周
面に、実施例２と同様にして作成したスタンパー３枚を
厚さ１００μｍのポリイミドシート（商品名；ユーピレ
ックス、宇部興産（株）製）を介して取り付けてロール
スタンパー１０２とした。

【０１４４】このロールスタンパー１０２及び成形ロー
ル１０４を図１の装置に装着して両者を接触させること
なく同じ角速度で回転させて樹脂挾圧部のギャップ変動
を測定したところ１００μｍであった。

【０１４５】次いでロールスタンパー１０２に対する成
形ロール１０４の押圧力を２００Ｋｇｆとして成形ロー
ル１０４とロールスタンパー１０２とをギャップ規定手
段１０８を介して接触させつつ樹脂挾圧部のギャップ変
動を測定したところ１９μｍであった。

【０１４６】次にこの押圧力を維持しつつダイ１０１−
２から押出した幅２３０ｍｍのビスフェノールＡ系ポリ
カーボネート（商品名；Ｓ−２０００Ｒ、三菱ガス化学
（株）製）のシートを挾圧して厚さ０．４ｍｍの光カー
ド用基板を成形する作業を５時間連続して行った。

【０１４７】成形条件としてはダイ１０２−２の温度３
００℃、ロールスタンパー１０２の表面温度１４０℃、
樹脂シートの搬送速度４ｍ／分、ダイ１０１−２からの
樹脂押出量２４Ｋｇ／時となるように調整した。

【０１４８】こうして得た光カード用基板について、実
施例１と同様にして評価したところ、成形開始から３０
分以降に成形された基板については、その厚み精度は
０．４ｍｍの基準に対して±９μｍ以内と均一であっ
て、又転写精度は９５％以上であり複屈折も１５ｎｍ以
下であった。

【０１４９】（実施例４）実施例３と同様にしてロール
スタンパー１０２を作成した。一方、成形ロール１０４
として直径３００ｍｍφ、ロール面長４００ｍｍのハー
ドクロムメッキを施した鋼製の鏡面ロールを用意した。
これらのロールを図１４に示す装置に取り付けた。そし
て、ギャップ規定手段１０８を用いることなく樹脂挾圧
部のギャップ変動をロールスタンパー１０２及び成形ロ
ール１０４を同一角速度で回転させつつ測定したところ
８０μｍであった。

【０１５０】次いで、ギャップ規定手段として直径１５
０ｍｍφ，厚さ７００μｍのステンレス（ＳＵＳ４３
０）製円盤の回転中心に軸と軸受けを取り付けて成形装
置に固定したものを用いて、又該ロールスタンパー及び
該成形ロールが該円盤を介して接し、且つ接触部の幅方
向の長さが片側で２ｃｍ、両側で４ｃｍとなるように構
成し、又該ロールスタンパー１０２に対する成形ロール
１０４の押圧力を１００Ｋｇｆとした。このときの樹脂
挾圧部のギャップ変動は２０μｍであった。

【０１５１】次にこの押圧力を維持しつつダイ１０１−
２から押出した幅２３０ｍｍのビスフェノールＡ系ポリ
カーボネート（商品名；Ｓ−２０００Ｒ、三菱ガス化学
（株）製）のシートを挾圧して厚さ０．４ｍｍの光カー
ド用基板を成形する作業を５時間連続して行った。

【０１５２】成形条件としてはダイ１０２−２の温度３
１０℃、ロールスタンパー１０２の表面温度１４０℃、
樹脂シートの搬送速度３ｍ／分、ダイ１０１−２からの
樹脂押出量１８Ｋｇ／時となるように調整した。

【０１５３】こうして得た光カード用基板について、実
施例１と同様にして評価したところ、成形開始から３０
分以降に成形された基板については、その厚み精度は
０．４ｍｍの基準に対して±１０μｍ以内と均一であっ
て、又転写精度は９６％以上であり複屈折も１８ｎｍ以
下であった。

【０１５４】（実施例５）実施例４に於てギャップ規定
手段として円盤１４１に変えて図１３に示すようにステ
ンレス製エンドレスベルトに代えた以外は実施例４と同
様にして光カード用基板の成形装置を作成した。尚、ス
テンレス製エンドレルベルト１０８の厚さは３１０μ
ｍ、幅は４０ｍｍ、ステンレス製エンドレスベルト１０
８の厚さは４１０μｍ、幅は３０ｍｍのものを用いた。
長さ（周長）はそれぞれ１７００ｍｍとした。

【０１５５】そして、ロールスタンパー１０２に対する
成形ロール１０４の押圧力を１７０Ｋｇｆとした時の樹
脂挾圧部のギャップ変動は２１μｍであった。

【０１５６】次にこの押圧力を維持しつつダイ１０１−
２から押出した幅２３０ｍｍのビスフェノールＡ系ポリ
カーボネート（商品名；Ｓ−２０００Ｒ、三菱ガス化学
（株）製）のシートを挾圧して厚さ０．４ｍｍの光カー
ド用基板を成形する作業を５時間連続して行った。

【０１５７】成形条件としてはダイ１０２−２の温度３
１０℃、ロールスタンパー１０２の表面温度１４０℃、
樹脂シートの搬送速度３ｍ／分、ダイ１０１−２からの
樹脂押出量１８Ｋｇ／時となるように調整した。

【０１５８】こうして得た光カード用基板について、実
施例１と同様にして評価したところ、成形開始から３０
分以降に成形された基板については、その厚み精度は
０．４ｍｍの基準に対して±１１μｍ以内と均一であっ
て、又転写精度は９５％以上であり複屈折も１５ｎｍ以
下であった。

【０１５９】（実施例６）実施例２と同様にして外形寸
法が長さ２００ｍｍ×幅３００ｍｍ、厚さ０．２ｍｍ
の、表面に４この光カード用プリフォーマットパターン
を有するニッケルスタンパーを８枚用意した。

【０１６０】但しこのスタンパーのプリフォーマットパ
ターンはスタンパーの短手方向に平行に形成されている
様にした。

【０１６１】このスタンパーの長辺同士をつきあわせＹ
ＡＧレーザーで溶接し、長さ１６００ｍｍ、幅３００ｍ
ｍ、厚さ２００μｍの長尺スタンパーとした。この長尺
スタンパーの幅方向両端上に幅２０ｍｍ、長さ１６００
ｍｍ、厚さ４００μｍのステンレス（ＳＵＳ３０４）ベ
ルトをＹＡＧレーザーで溶接したうえで円環状に巻き、
端部をつきあててＹＡＧレーザーで溶接し、図２１に示
すような幅３００ｍｍ、周長１６００ｍｍのエンドレス
スタンパー２１１を得た。

【０１６２】次いでこのエンドレススタンパー２１１を
図２２に示す装置に装着した。そしてロール基材１０９
には直径３００ｍｍφの、そして成形ロール１０４には
直径５１ｍｍφのハードクロムメッキを施した鋼製の鏡
面ロールとした。尚このロール同士のギャップ変動は１
００μｍであった。そして又ロール基材１０９に対する
成形ロール１０４の押圧力を１１０Ｋｇｆとして樹脂挾
圧部のギャップ変動をエンドレススタンパー２１１、１
周分について測定したところ１８μｍであった。

【０１６３】次にこの押圧力を維持しつつダイ１０１−
２から押出した幅２５０ｍｍのビスフェノールＡ系ポリ
カーボネート（商品名；Ｓ−２０００Ｒ、三菱ガス化学
（株）製）のシートを挾圧して厚さ０．４ｍｍの光カー
ド用基板を成形する作業を５時間連続して行った。

【０１６４】成形条件としてはダイ１０２−２の温度３
００℃、エンドレススタンパー２１１の表面温度１５０
℃、樹脂シートの搬送速度３ｍ／分、ダイ１０１−２か
らの樹脂押出量２２Ｋｇ／時となるように調整した。

【０１６５】こうして得た光カード用基板について、実
施例１と同様にして評価したところ、成形開始から３０
分以降に成形された基板については、その厚み精度は
０．４ｍｍの基準に対して±２０μｍ以内と均一であっ
て、又転写精度は９５％以上であり複屈折も２０ｎｍ以
下であった。

【０１６６】（実施例７）プリフォーマットパターンを
有するマスタースタンパー３１１（３５０ｍｍ×３５０
ｍｍ、厚さ５ｍｍ）上に厚さ４００μｍのスペーサー３
１２を図３１−（ａ）のように設け、更に３５０ｍｍ×
３５０ｍｍ、厚さ５ｍｍのガラス板２０４を重ねた成形
ユニットを組んだのち、紫外線硬化型樹脂（ＳＴＭ４０
１、大日本インキ社製）を注入し、紫外線硬化したの
ち、該プリフォーマットパターンを有するマスタースタ
ンパー３１１とスペーサー３１２をはずし、４５０μｍ
の段差のついたレプリカ（図３１−（ｃ））を得た。次
に上記レプリカのパターン面に約１０００ÅのＮｉ膜を
スパッタにより形成した（図３１−（ｄ））のち、Ｎｉ
を電鋳して６２０〜６３０μｍ厚のＮｉ膜を形成した。
Ｎｉ面を研磨して、スタンパー部での厚みが２００μ
ｍ、段差部での厚みが６００μｍ（実際の段差は４００
μｍ）の段差付きＮｉスタンパー３１８を得た。これを
６枚用意した。

【０１６７】スタンパー外周を所望のサイズ（３００ｍ
ｍ×３００ｍｍ）に切断したのち実施例６と同様にスタ
ンパーの端面をつき合わせてＹＡＧレーザーで円環状に
溶接して図２１のような幅２ｃｍのギャップ規定手段付
エンドレススタンパー２１１を得た。これを用いて実施
例６と同様に光記録媒体用基板の形成装置を作成した。
そしてロール基材１０９に対する成形ロール１０４への
押圧力を１１０Ｋｇｆとして樹脂挾圧部のギャップ変動
をエンドレススタンパー２１１の１周分について測定し
た所１９μｍであった。

【０１６８】次にこの押圧力を維持しつつダイ１０１−
２から押出した幅２５０ｍｍのビスフェノールＡ系ポリ
カーボネート（商品名；Ｓ−２０００Ｒ、三菱ガス化学
（株）製）のシートを挾圧して厚さ０．４ｍｍの光カー
ド用基板を成形する作業を５時間連続して行った。

【０１６９】成形条件としてはダイ１０２−２の温度３
００℃、ロールスタンパー１０２の表面温度１５０℃、
樹脂シートの搬送速度３ｍ／分、ダイ１０１−２からの
樹脂押出量２２Ｋｇ／時となるように調整した。

【０１７０】こうして得た光カード用基板について、実
施例１と同様にして評価したところ、成形開始から３０
分以降に成形された基板については、その厚み精度は
０．４ｍｍの基準に対して±２０μｍ以内と均一であっ
て、又転写精度は９６％以上であり複屈折も１７ｎｍ以
下であった。

【０１７１】（実施例８）実施例２と同様にして固定具
付のスタンパーを３枚作成した。具体的には、長さ２９
５ｍｍ、幅３００ｍｍ、厚さ０．２ｍｍのニッケルスタ
ンパーであってその表面には２７（ａ）に示すように４
個の光カードプリフォーマットパターンが形成され、又
該パターンは、該スタンパーの長さ方向に平行に形成さ
れている。そして、固定具はこのスタンパーの長さ方向
両端に溶着した。

【０１７２】次に該スタンパーのプリフォーマットパタ
ーン形成面の幅方向両端にギャップ規定手段１０８を固
定し、図１８に示すようなスタンパーを作成した。ギャ
ップ規定手段としては、スタンパーと長さが等しく（２
９５ｍｍ）、幅２５ｍｍ、厚さ４５０μｍのステンレス
（ＳＵＳ−４３０）の圧延シートを用い該スタンパーに
ＹＡＧレーザーで溶着した。ＹＡＧレーザー溶着装置と
しては、ＭＬ−２２２０Ａ（宮地レーザーシステム
（株）製）を用い、充電電圧：３５０Ｖ、パルス幅：
１．０ｍｓ、ディフォーカス：５ｍｍ、ＲＥＰ−ＲＡＴ
Ａ（ＰＰＳ）：２０、パワー：３５〜６５Ｗの条件で行
った。

【０１７３】次にこのスタンパーを実施例１と同様に作
成した係止溝付ロール基材１０９に嵌挿せしめて固定す
ると共に図１９に示した様に隣り合った固定具間の凹部
に充填材１９３としてシリコーン樹脂（商品名：ＫＥ−
１２０４；信越シリコーン（株）製）で充填すると共に
該スタンパーの外側にギャップ規定手段１９４として、
幅２５ｍｍ、厚さ４５０μｍのステンレス（ＳＵＳ−４
３０）の圧延シートをネジで固定し、ロールスタンパー
１０２とした。尚スタンパーのギャップ規定手段１０８
とのオーバーラップの長さは１０ｃｍとした。

【０１７４】一方成形ロール１０４として直径３１２ｍ
ｍφ、ロール面長５００ｍｍのハードクロムメッキを施
した鋼製の鏡面ロールを用意した。このロールスタンパ
ー１０２及び成形ロール１０４を図１の装置に取り付け
て、両者を接触させることなく同じ角速度で回転させて
樹脂挾圧部のギャップ変動を測定したところ１００μｍ
であった。

【０１７５】次にロールスタンパー１０２に対する成形
ロール１０４の押圧力を１４０Ｋｇｆとしてロールスタ
ンパーと成形ロールとをギャップ規定手段１０８を介し
て接触させつつ樹脂挾圧部のギャップ変動をロールスタ
ンパー１周分について測定したところ１８μｍであっ
た。

【０１７６】次にこの押圧力を維持しつつダイ１０１−
２から押出した幅２５０ｍｍのビスフェノールＡ系ポリ
カーボネート（商品名；パンライトＬ−１２５０、帝人
化成（株）製）のシートを挾圧して厚さ０．４ｍｍの光
カード用基板を成形する作業を５時間連続して行った。

【０１７７】成形条件としてはダイ１０２−２の温度３
００℃、ロールスタンパー１０２の表面温度１５０℃、
樹脂シートの搬送速度３ｍ／分、ダイ１０１−２からの
樹脂押出量２２Ｋｇ／時となるように調整した。

【０１７８】こうして得た光カード用基板について、実
施例１と同様にして評価したところ、成形開始から３０
分以降に成形された基板については、その厚み精度は
０．４ｍｍの基準に対して±１９μｍ以内と均一であっ
て、又転写精度は９５％以上であり複屈折も２０ｎｍ以
下であった。

【０１７９】

【発明の効果】以上説明した様に本発明によれば、ギャ
ップ規定手段を介してロールスタンパーと成形ロールを
接触せしめて成形することによって偏心の大きなロール
スタンパー及び成形ロールを用いた場合であってもギャ
ップ変動を抑えられる結果、成形安定性が向上し、板厚
精度に優れた高品質な光記録媒体用基板を低コストで製
造することができる。

【０１８０】又本発明に従来の間隙調整部材が不要とな
るため装置の立ち上げから成形が安定するまでの時間も
短縮でき、これまでムダになっていた樹脂の量を減らす
ことができる。

【０１８１】又本発明のマスタースタンパーの製造方法
によれば面精度に優れたマスタースタンパーを得ること
ができる。

【０１８２】そして又この方法によって製造されたマス
タースタンパーを用いることによって優れた面精度を有
するスタンパーを製造することができる。更にこの面精
度に優れたスタンパーをロール基材に固定したロールス
タンパーを用いると共に、ギャップ規定手段を用いるこ
とによってギャップ変動を常に極めて小さく、たとえば
３０μｍ以内、特に２０μｍ以内に抑えることができ、
極めて高品質の光記録媒体用基板を低コストで製造する
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る光記録媒体用基板の製造装置の１
実施態様を示す概略斜視図。

【図２】図１の装置の概略断面図。

【図３】図１の装置の概略平面図。

【図４】従来の光記録媒体用基板の製造装置の概略断面
図。

【図５】図４の装置の概略断面図。

【図６】図４の装置の概略平面図。

【図７】図１の装置の樹脂シート挾圧部の概略断面図。

【図８】図１の装置に用いられるロール基材の１実施態
様の概略断面図。

【図９】本発明に係る光記録媒体用基板の製造装置の他
の実施態様を示す概略斜視図。

【図１０】ギャップ規定手段の幅の規定の説明図。

【図１１】本発明に係る光記録媒体用基板の製造装置の
他の実施態様を示す概略斜視図。

【図１２】本発明に係る光記録媒体用基板の製造装置の
他の実施態様を示す概略断面図。

【図１３】本発明に係る光記録媒体用基板の製造装置の
他の実施態様を示す概略断面図。

【図１４】本発明に係る光記録媒体用基板の製造装置の
他の実施態様を示す概略平面図。

【図１５】図１４の装置のＢ−Ｂ線断面図。

【図１６】本発明に係る光記録媒体用基板の製造装置の
他の実施態様を示す概略平面図。

【図１７】本発明に係る光記録媒体用基板の製造装置の
他の実施態様を示す概略平面図。

【図１８】（ａ）図１７の装置に用いられるスタンパー
の平面図。（ｂ）図１８（ａ）のＣ−Ｃ線断面図。

【図１９】本発明に係る光記録媒体用基板の製造装置の
他の実施態様の１部を示す拡大平面図。

【図２０】図１９のロールスタンパーの回転軸に直行す
る方向の断面図。

【図２１】本発明に係る光記録媒体用基板の製造装置の
他の実施態様に用いうるエンドレススタンパーの概略斜
視図。

【図２２】図２１のエンドレススタンパーを用いた光記
録媒体用基板の製造装置の概略断面図。

【図２３】（ａ）従来の光記録媒体用基板の製造装置の
樹脂挾圧部の部分断面図。（ｂ）本発明に係る光記録媒
体用基板の製造装置の樹脂挾圧部の部分断面図。

【図２４】本発明に係る光記録媒体用基板の製造装置の
他の実施態様を示す概略断面図。

【図２５】本発明に係るスタンパー面精度の測定方法の
説明図。

【図２６】従来のスタンパーの製造方法の説明図。

【図２７】（ａ）光カード用スタンパーの露光領域の説
明図。（ｂ）光ディスク用スタンパーの露光領域の説明
図。

【図２８】（ａ）従来のスタンパーの平面図。（ｂ）図
２８（ａ）のＤ−Ｄ線断面図。

【図２９】本発明に係るスタンパーの断面図。

【図３０】本発明に係るスタンパーをフォトマスクとし
て用いた時の説明図。

【図３１】ギャップ規定手段を有するスタンパーの製造
方法の説明図。

【符号の説明】

１０１ 押出機 １０２ ロールスタンパー １０３ 光記録媒体用プリフォーマットパターン １０４、１０５ 成形ロール １０６ 熱可塑性樹脂シート １０７ 光記録媒体用基板シート １０８ ギャップ規定手段 １０９ ロール基材 １１０〜１１３ 間隙 １１５ フレキシブルスタンパー １２１、２２１、２４２ プーリー １３１、１６１、９０１ クリーニング手段 １４１ 円板 １７０ スタンパー １９０ 固定具 １９４ ギャップ規定手段 ２０１〜２０３ 軸受 ２０４ 基台 ２０５ 昇降装置 ２０６ 間隙調整部材 ２０７、２０８ 加圧装置 ２１１ エンドレススタンパー ２３１ 圧着部材 ２４１ エンドレスベルト ２６１ 基板 ２６２ パターン形成層 ２６３ レジストパターン ２６４ マスタースタンパー ２６５ スタンパー ２７１ 光カードのパターン領域 ２７２ 光ディスクのパターン領域 ３０１ 基板 ３０２ パターン形成層 ３０３ フォトレジスト層 ３０４ マスタースタンパー ３１１ 原盤 ３１２ スペーサ ３１３ 鏡面板 ３１４ セル ３１５ 樹脂層 ３１６ マザースタンパー

フロントページの続き (72)発明者 三東 剛 東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノ ン株式会社内 (72)発明者 湯浅 俊哉 東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノ ン株式会社内 (72)発明者 上高原 弘文 東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノ ン株式会社内 (72)発明者 芳野 斉 東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノ ン株式会社内

Claims (59)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 周面にプリフォーマットパターンを有す
   るロールスタンパー及び該ロールスタンパーに対向配置
   されたロールをそれぞれ所望の回転速度で回転させつつ
   熱可塑性樹脂を押し出す手段から、所定の温度に加熱さ
   れた熱可塑性樹脂を該ロールスタンパーと該ロールとの
   間に供給する工程と、該熱可塑性樹脂を該ロールスタン
   パーと該ロールとで挟圧して該プリフォーマットパター
   ンを転写せしめる工程とを有する光記録媒体用基板を連
   続的に製造する方法において、 該ロールスタンパーと該ロールとを、該ロールスタンパ
   ー及び該ロールの熱可塑性樹脂が接する領域以外の領域
   で、ギャップ規定手段を介して接触させつつ該熱可塑性
   樹脂の挟圧を行うことを特徴とする光記録媒体用基板の
   製造方法。
2. 【請求項２】 該ロールスタンパーに対する該ロールの
   押圧力が７０〜８００ｋｇｆである請求項１の光記録媒
   体用基板の製造方法。
3. 【請求項３】 該ロールスタンパーに対する該ロールの
   押圧力が１００〜５００ｋｇｆである請求項２の光記録
   媒体用基板の製造方法。
4. 【請求項４】 該ギャップ規定手段が、該ロールスタン
   パー周面に配置されている請求項１の光記録媒体用基板
   の製造方法。
5. 【請求項５】 該ギャップ規定手段が、該ロール周面に
   配置されている請求項１の光記録媒体用基板の製造方
   法。
6. 【請求項６】 該ギャップ規定手段が、該ロールの熱可
   塑性樹脂の接する領域以外の領域に所定の厚さを有する
   帯状部材を固定することによって形成されている請求項
   ５の光記録媒体用基板の製造方法。
7. 【請求項７】 該帯状部材が該ロール周面の熱可塑性樹
   脂の接する領域の両端に固定されている請求項６の光記
   録媒体用基板の製造方法。
8. 【請求項８】 該帯状部材が該ロール周面の両端に、各
   々複数本固定されている請求項７の光記録媒体用基板の
   製造方法。
9. 【請求項９】 該ロールの端部に固定されている複数本
   の該帯状部材は各々の帯状部材の継ぎ目が該ロール基材
   周面の互いに異なる位置に形成されるように固定されて
   いる請求項８の光記録媒体用基板の製造方法。
10. 【請求項１０】 該ギャップ規定手段の、該ロールスタ
    ンパーと接する面をクリーニングする工程を有する請求
    項５の光記録媒体用基板の製造方法。
11. 【請求項１１】 該ロールスタンパーが、ロール基材及
    びその周面に固定されているスタンパーを有する請求項
    １の光記録媒体用基板の製造方法。
12. 【請求項１２】 該ギャップ規定手段が該スタンパーの
    プリフォーマットパターンが形成されている領域以外の
    領域に配置されている請求項１１の光記録媒体用基板の
    製造方法。
13. 【請求項１３】 該ギャップ規定手段の、該ロールの表
    面と接する面をクリーニングする工程を有する請求項１
    ２の光記録媒用基板の製造方法。
14. 【請求項１４】 該ギャップ規定手段が該ロール基材の
    周面に配置されている請求項１１の光記録媒体用基板の
    製造方法。
15. 【請求項１５】 該ギャップ規定手段が、該ロール基材
    のスタンパー固定部の切削によって形成されている請求
    項１４の光記録媒体用基板の製造方法。
16. 【請求項１６】 該ギャップ規定手段が、該ロール基材
    周面のスタンパー固定部以外の領域に所定の厚さを有す
    る帯状部材を固定することによって形成されている請求
    項１４の光記録媒体用基板の製造方法。
17. 【請求項１７】 該帯状部材が金属シートである請求項
    １６の光記録媒体用基板の製造方法。
18. 【請求項１８】 該金属シートがステンレスシートであ
    る請求項１７の光記録媒体用基板の製造方法。
19. 【請求項１９】 該帯状部材が該ロール基材周面のスタ
    ンパー固定部の両端に固定されている請求項１６の光記
    録媒体用基板の製造方法。
20. 【請求項２０】 該帯状部材が該ロール基材周面の両端
    に各々複数本固定されている請求項１９の光記録媒体用
    基板の製造方法。
21. 【請求項２１】 該ロール基材の、端部に固定されてい
    る複数本の該帯状部材は、各々の帯状部材の継ぎ目が該
    ロール基材周面の互いに異なる位置に形成されるように
    固定されている請求項２０の光記録媒体用基板の製造方
    法。
22. 【請求項２２】 該ギャップ規定手段の、該ロールの表
    面と接する面をクリーニングする工程を有する請求項１
    ４の光記録媒体用基板の製造方法。
23. 【請求項２３】 該ギャップ規定手段が、該ロールスタ
    ンパー及び該ロールの、熱可塑性樹脂が接する領域以外
    の領域で該ロールスタンパーと該ロールとで挟圧される
    様に配置されてなるエンドレスベルトである請求項１の
    光記録媒体の製造方法。
24. 【請求項２４】 該ギャップ規定手段の該ロールスタン
    パーに接する面と該ロールの表面に接する面とをクリー
    ニングする工程を有する請求項２３の光記録媒体用基板
    の製造方法。
25. 【請求項２５】 熱可塑性樹脂を押し出す手段、 周面にプリフォーマットパターンを有するロールスタン
    パー、及び該ロールスタンパーと共に、押し出された樹
    脂を挟圧して表面に該プリフォーマットパターンを転写
    して光記録媒体用基板を成形する為のロールとを備えた
    光記録媒体用基板を連続的に製造する装置において、 該ロールスタンパーと該ロールとが、該ロールスタンパ
    ー及び該ロールの熱可塑性樹脂が接する領域以外の領域
    で、ギャップ規定手段を介して接するように構成されて
    いることを特徴とする光記録媒体用基板の製造装置。
26. 【請求項２６】 該ギャップ規定手段が、該ロールスタ
    ンパー周面に配置されている請求項２５の光記録媒体用
    基板の製造装置。
27. 【請求項２７】 該ギャップ規定手段の該ロールの表面
    と接する面をクリーニングする手段を有する請求項２６
    の光記録媒体用基板の製造装置。
28. 【請求項２８】 該ギャップ規定手段が、該ロール周面
    に配置されている請求項２５の光記録媒体用基板の製造
    装置。
29. 【請求項２９】 該ギャップ規定手段が、該ロールの熱
    可塑性樹脂の接する領域以外の領域に所定の厚さを有す
    る帯状部材を固定することによって形成されている請求
    項２５の光記録媒体用基板の製造装置。
30. 【請求項３０】 該帯状部材が該ロール周面の熱可塑性
    樹脂の接する領域の両端に固定されている請求項２９の
    光記録媒体用基板の製造装置。
31. 【請求項３１】 該帯状部材が該ロール周面の両端に、
    各々複数本固定されている請求項３０の光記録媒体用基
    板の製造装置。
32. 【請求項３２】 該ロール基材の端部に固定されている
    複数本の該帯状部材は、各々の帯状部材の継ぎ目が該ロ
    ール基材周面の互いに異なる位置に形成されるように固
    定されている請求項３１の光記録媒体用基板の製造装
    置。
33. 【請求項３３】 該ギャップ規定手段の、該ロールスタ
    ンパーと接する面をクリーニングする工程を有する請求
    項２８の光記録媒体用基板の製造装置。
34. 【請求項３４】 該ロールスタンパーが、ロール基材及
    びその周面に固定されているスタンパーを有する請求項
    ２５の光記録媒体用基板の製造装置。
35. 【請求項３５】 該ギャップ規定手段が該スタンパーの
    プリフォーマットパターンが形成されている領域以外の
    領域に配置されている請求項３４の光記録媒体用基板の
    製造装置。
36. 【請求項３６】 該ギャップ規定手段の、該ロールの表
    面と接する面をクリーニングする手段を有する請求項３
    ５の光記録媒体用基板の製造装置。
37. 【請求項３７】 該ギャップ規定手段が該ロール基材の
    周面に配置されている請求項３４の光記録媒体用基板の
    製造装置。
38. 【請求項３８】 該ギャップ規定手段が、該ロール基材
    のスタンパー固定部の切削によって形成されている請求
    項３７の光記録媒体用基板の製造装置。
39. 【請求項３９】 該ギャップ規定手段が、該ロール基材
    周面のスタンパー固定部以外の領域に所定の厚さを有す
    る帯状部材を固定することによって形成されている請求
    項３７の光記録媒体用基板の製造装置。
40. 【請求項４０】 該帯状部材が該ロール基材周面のスタ
    ンパー固定部の両端に固定されている請求項３９の光記
    録媒体用基板の製造装置。
41. 【請求項４１】 該帯状部材が該ロール基材周面の両端
    に各々複数本固定されている請求項４０の光記録媒体用
    基板の製造装置。
42. 【請求項４２】 該ロール基材の端部に固定されている
    複数本の該帯状部材は、各々の帯状部材の継ぎ目が該ロ
    ール基材周面の互いに異なる位置に形成されるように固
    定されている請求項４１の光記録媒体用基板の製造装
    置。
43. 【請求項４３】 該帯状部材が金属シートである請求項
    ３９の光記録媒体用基板の製造装置。
44. 【請求項４４】 該金属シートがステンレスシートであ
    る請求項４３の光記録媒体用基板の製造装置。
45. 【請求項４５】 該ギャップ規定手段の、該ロールの表
    面と接する面をクリーニングする手段を有する請求項３
    ７の光記録媒体用基板の製造装置。
46. 【請求項４６】 該ギャップ規定手段が、該ロールスタ
    ンパー及び該ロールの、熱可塑性樹脂が接する領域以外
    の領域で該ロールスタンパーと該ロールとで挟圧される
    様に配置されてなるエンドレスベルトである請求項２５
    の光記録媒体の製造装置。
47. 【請求項４７】 該ギャップ規定手段の該ロールスタン
    パーに接する面と該ロールの表面に接する面とをクリー
    ニングする手段を有する請求項４６の光記録媒体用基板
    の製造装置。
48. 【請求項４８】 基板表面の所定の領域にパターン形成
    部材がパターン状に配置されているスタンパーの製造方
    法であって、 基板表面にパターン形成層を形成するステップ；該パタ
    ーン形成層上にポジ型レジストの層を形成するステッ
    プ；該ポジ型レジスト層に該パターンに対応して選択的
    に露光を行うと共に該領域外のレジスト層にも露光する
    ステップ；該レジスト層を現像してレジストパターンを
    形成するステップ；及び該レジストパターンをマスクと
    してパターン形成層のエッチングを行うステップを有す
    ることを特徴とするスタンパーの製造方法。
49. 【請求項４９】 該パターンが光記録媒体のプリフォー
    マットに対応するパターンである請求項４８のスタンパ
    ーの製造方法。
50. 【請求項５０】 該パターン形成部材がクロムである請
    求項４８のスタンパーの製造方法。
51. 【請求項５１】 透明基板表面の所定の領域に遮光性の
    部材がパターン状に配置されているフォトマスクの製造
    方法であって、 基板表面に遮光層を形成するステップ；該遮光層上にポ
    ジ型レジスタの層を形成するステップ；該ポジ型レジス
    ト層に該パターンに対応して選択的に露光を行うと共に
    該領域外のレジスト層にも露光するステップ；該レジス
    ト層を現像してレジストパターンを形成するステップ；
    及び該レジストパターンをマスクとして該遮光層のエッ
    チングをを行うステップを有することを特徴とするフォ
    トマスクの製造方法。
52. 【請求項５２】 プリフォーマットパターンを有するス
    タンパーがロール基材周面に固定されているロールスタ
    ンパー及び該ロールスタンパーに対向配置された成形ロ
    ールをそれぞれ所望の回転速度で回転させつつ、熱可塑
    性樹脂を押し出す手段から所定の温度に加熱された熱可
    塑性樹脂を該ロールスタンパーと該成形ロールとの間に
    供給し、該熱可塑性樹脂を該ロールスタンパーと該成形
    ロールとで挟圧して該プリフォーマットパターンを転写
    せしめて光記録媒体用基板を連続的に製造する方法にお
    いて、 該ロールスタンパーと該成形ロールとを、該ロールスタ
    ンパー及び該成形ロールの熱可塑性樹脂が接する領域以
    外の領域で、ギャップ規定手段を介して接触させつつ該
    熱可塑性樹脂の成形を行うと共に、 該スタンパーとしてその面精度が１０ミクロン以下のス
    タンパーを用いることを特徴とする光記録媒体用基板の
    製造方法。
53. 【請求項５３】 プリフォーマットパターンを有するス
    タンパーがロール基材周面に固定されているロールスタ
    ンパー及び該ロールスタンパーに対向配置された成形ロ
    ールをそれぞれ所望の回転速度で回転させつつ、熱可塑
    性樹脂を押し出す手段から所定の温度に加熱された熱可
    塑性樹脂を該ロールスタンパーと該成形ロールとの間に
    供給し、該熱可塑性樹脂を該ロールスタンパーと該成形
    ロールとで挟圧して該プリフォーマットパターンを転写
    せしめて光記録媒体用基板を連続的に製造する方法にお
    いて、 該スタンパーとしてその面精度が１０ミクロン以下のス
    タンパーを用いることを特徴とする光記録媒体用基板の
    製造方法。
54. 【請求項５４】 プリフォーマットパターンを有するス
    タンパーがロール基材周面に固定されているロールスタ
    ンパー及び該ロールスタンパーに対向配置された成形ロ
    ールをそれぞれ所望の回転速度で回転させつつ、熱可塑
    性樹脂を押し出す手段から所定の温度に加熱された熱可
    塑性樹脂を該ロールスタンパーと該成形ロールとの間に
    供給し、該熱可塑性樹脂を該ロールスタンパーと該成形
    ロールとで挟圧して該プリフォーマットパターンを転写
    せしめて光記録媒体用基板を連続的に製造する方法にお
    いて、 該ロールスタンパーと該成形ロールとを、該ロールスタ
    ンパー及び該成形ロールの熱可塑性樹脂が接する領域以
    外の領域で、ギャップ規定手段を介して接触させつつ該
    熱可塑性樹脂の成形を行うと共に、 該スタンパーとして下記の各ステップによって製造され
    たマスタースタンパーから製造されたスタンパーを用い
    ることを特徴とする光記録媒体用基板の製造方法、 基板表面にパターン形成層を形成するステップ；該パタ
    ーン形成層上にポジ型レジストの層を形成するステッ
    プ；該ポジ型レジスト層に該パターンに対応して選択的
    に露光を行うと共にパターン形成領域外のレジスト層に
    も露光するステップ；該レジスト層を現像してレジスト
    パターンを形成するステップ；及び該レジストパターン
    をマスクとしてパターン形成層のエッチングを行うステ
    ップ。
55. 【請求項５５】 熱可塑性樹脂を押し出す手段、 プリフォーマットパターンを有するスタンパーがロール
    基材周面に固定されているロールスタンパー、及び 該ロールスタンパーと共に押し出された樹脂を挟圧して
    表面に該プリフォーマットパターンを転写して光記録媒
    体用基板を成形する為の成形ロールとを備えた光記録媒
    体用基板を連続的に製造する装置において、 該ロールスタンパーと該ロールとが、該ロールスタンパ
    ー及び該成形ロールの熱可塑性樹脂が接する領域以外の
    領域で、ギャップ規定手段を介して接するように構成さ
    れていると共に、 該スタンパーが面精度が１０ミクロン以下のスタンパー
    であることを特徴とする光記録媒体用基板の製造装置。
56. 【請求項５６】 熱可塑性樹脂を押し出す手段、 プリフォーマットパターンを有するスタンパーがロール
    基材周面に固定されているロールスタンパー、及び 該ロールスタンパーと共に押し出された樹脂を挟圧して
    表面に該プリフォーマットパターンを転写して光記録媒
    体用基板を成形する為の成形ロールとを備えた光記録媒
    体用基板を連続的に製造する装置において、 該スタンパーが面精度が１０ミクロン以下のスタンパー
    であることを特徴とする光記録媒体用基板の製造装置。
57. 【請求項５７】 熱可塑性樹脂を押し出す手段、 プリフォーマットパターンを有するスタンパーがロール
    基材周面に固定されているロールスタンパー、及び 該ロールスタンパーと共に押し出された樹脂を挟圧して
    表面に該プリフォーマットパターンを転写して光記録媒
    体用基板を成形する為の成形ロールとを備えた光記録媒
    体用基板を連続的に製造する装置において、 該ロールスタンパーと該ロールとが、該ロールスタンパ
    ー及び該成形ロールの熱可塑性樹脂が接する領域以外の
    領域で、ギャップ規定手段を介して接するように構成さ
    れていると共に、 該スタンパーが下記の各ステップによって製造されたマ
    スタースタンパーから製造されたスタンパーであること
    を特徴とする光記録媒体用基板の製造装置、 基板表面にパターン形成層を形成するステップ；該パタ
    ーン形成層上にポジ型レジストの層を形成するステッ
    プ；該ポジ型レジスト層に該パターンに対応して選択的
    に露光を行うと共にパターン形成領域外のレジスト層に
    も露光するステップ；該レジスト層を現像してレジスト
    パターンを形成するステップ；及び該レジストパターン
    をマスクとしてパターン形成層のエッチングを行うステ
    ップ。
58. 【請求項５８】 表面に光記録媒体用のプリフォーマッ
    トパターンを有するスタンパーであってその面精度が１
    ０ミクロン以下であることを特徴とする光記録媒体用ス
    タンパー。
59. 【請求項５９】 該スタンパーが複数個の光記録媒体用
    のプリフォーマットパターンを有する請求項５８の光記
    録媒体用スタンパー。