JP2018019231A - 電力増幅モジュール - Google Patents

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真悟 柳原
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Abstract

【課題】コストを低減しつつ、高い精度でインピーダンス整合が実施される電力増幅モジュールを提供する。【解決手段】電力増幅モジュールは、入力信号を増幅して第1増幅信号を出力する第1増幅器と、第1増幅信号を増幅して第2増幅信号を出力する第2増幅器と、第1増幅器の出力端子と第2増幅器の入力端子との間に設けられる整合回路と、を備え、第1増幅器は第1チップに形成され、第2増幅器は第2チップに形成され、整合回路は、制御信号に応じてインピーダンスの変換特性を調整可能である。【選択図】図1

Description

本発明は、電力増幅モジュールに関する。
携帯電話の通信網を用いる携帯端末においては、基地局へ送信する無線周波数(RF:Radio Frequency)信号の電力を増幅するため、多段の増幅器から成る電力増幅モジュールが用いられる。例えば、特許文献1には、ドライブ段には比較的安価であるLDMOSFETが用いられ、パワー段には比較的高効率であるヘテロ接合バイポーラトランジスタ(HBT)が用いられる電力増幅モジュールが開示されている。
特開2006−180151号公報
電力増幅モジュールにおいては、一般的に、ドライブ段の出力端子とパワー段の入力端子との間に、ドライブ段の出力インピーダンスとパワー段の入力インピーダンスを整合させる整合回路が設けられる。ここで、異なる半導体チップ間のインピーダンス整合においては、各半導体チップにおける接地状態の変化や配置位置等により所望のインピーダンスとならず、高い精度でインピーダンス整合が実施されないという問題が発生する。従って、特許文献1に開示されるモジュールにおいては、増幅器の段間において高い精度でインピーダンス整合が実施されず、RF信号の伝送損失が大きくなるという問題がある。
本発明は、かかる事情に鑑みてなされたものであり、コストを低減しつつ、高い精度でインピーダンス整合が実施される電力増幅モジュールを提供することを目的とする。
かかる目的を達成するため、本発明の一側面に係る電力増幅モジュールは、入力信号を増幅して第1増幅信号を出力する第1増幅器と、第1増幅信号を増幅して第2増幅信号を出力する第2増幅器と、第1増幅器の出力端子と第2増幅器の入力端子との間に設けられる整合回路と、を備え、第1増幅器は第1チップに形成され、第2増幅器は第2チップに形成され、整合回路は、制御信号に応じてインピーダンスの変換特性を調整可能である。
本発明によれば、コストを低減しつつ、高い精度でインピーダンス整合が実施される電力増幅モジュールを提供することができる。
本発明の一実施形態に係る電力増幅モジュールの構成を示す図である。 本発明の一実施形態に係る電力増幅モジュールの構成例(電力増幅モジュール100A)を示す図である。 可変キャパシタの構成例を示す図である。 本発明の一実施形態に係る電力増幅モジュールにおけるチップ配置の一例の概略を示す図である。
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
図1は、本発明の一実施形態に係る電力増幅モジュール100の構成を示す図である。電力増幅モジュール100は、例えば、携帯電話等の移動体通信機において、入力信号である無線周波数(RF:Radio Frequency)信号を増幅し、増幅信号を出力する。入力信号の周波数は、例えば数GHz程度である。
図1に示されるように、電力増幅モジュール100は、例えば、電力増幅回路102、スイッチ回路104、及び制御回路106を備える。また、電力増幅回路102は、増幅器110,111、整合回路120,121,122、及び電源ライン130,131を備える。なお、電力増幅モジュール100は、図1に示される構成に限られず、他の構成を備えていてもよい。
増幅器110,111は、2段の増幅器を構成する。増幅器110(第1増幅器)は、入力信号RFinを増幅して増幅信号RFamp1(第1増幅信号)を出力する。当該増幅信号RFamp1は、整合回路121を通じて増幅器111に供給される。増幅器111(第2増幅器)は、増幅信号RFamp1を増幅して増幅信号RFamp2(第2増幅信号)を出力する。増幅器110,111には、それぞれ、電源ライン130,131を通じて、所定の電源電圧Vccが供給される。また、増幅器110,111には、それぞれ、バイアス回路(不図示)からバイアス電流又はバイアス電圧が供給される。なお、増幅器の段数は2段に限られず、3段以上であってもよい。
整合回路(MN:Matching Network)120,121,122は、それぞれ、増幅器110,111の前後に設けられ、回路間のインピーダンスを整合させる。
電源ライン130,131は、それぞれ、電源回路(不図示)と増幅器110,111との間に設けられ、RF信号が電源回路へ漏れることを抑制する。
スイッチ回路104には、増幅器111から出力される増幅信号RFamp2が整合回路122を通じて供給される。スイッチ回路104は、RF信号の周波数帯域に応じて、複数の出力端子のいずれか1つから出力信号RFoutを出力する。スイッチ回路104から出力された出力信号RFoutは、アンテナ(不図示)を通じて基地局に送信される。
制御回路106は、入力信号RFinの周波数帯域に応じた制御信号cont1,cont2を、整合回路121,122に供給する。制御信号cont1,cont2は、整合回路121,122のインピーダンスの変換特性を制御する信号である。整合回路121,122におけるインピーダンスの変換特性の調整については後述する。
図2は、本発明の一実施形態に係る電力増幅モジュール100の構成例(電力増幅モジュール100A)を示す図である。電力増幅モジュール100Aは、CMOSチップ200及びHBTチップ300を備える。なお、図2に示される電力増幅モジュール100Aにおいては、図1に示される制御回路106は省略されている。
CMOSチップ200(第1チップ)は、電界効果トランジスタ(MOSFET:Metal−oxide−semiconductor Field Effect Transistor)を含む素子が集積化されたチップである。CMOSチップ200に形成されたMOSFETは、ドライブ段の増幅器110を構成する。CMOSチップは、HBTチップに比べて安価であり、かつノイズ性能がよい。
HBTチップ300(第2チップ)は、HBTを含む素子が集積化されたチップである。HBTチップ300に形成されたHBTは、パワー段の増幅器111を構成する。HBTチップは、CMOSチップに比べて耐電圧が高いため、ドライブ段に比べ出力電力が大きいパワー段についてはHBTチップを用いることが好ましい。このように、2段の増幅器110,111が、それぞれ異なるプロセスにより構成された半導体チップに形成されることにより、製造コストを低減しつつ、ノイズ性能及び耐電圧に優れた電力増幅モジュールを提供することができる。
なお、CMOSチップ200及びHBTチップ300はともにバンプ構造とすることが好ましい。バンプ構造とすることにより、基板のパターンによるインダクタを用いてバンプとバンプを接続することができるため、ワイヤボンディング構造に比べ、ワイヤ間のカップリングの発生がなくなり、特性を確保しやすくなる。また、チップをモールド(封止)する際のワイヤ流れの発生がなくなるため、ばらつきが低減し品質が向上する。
整合回路120は、キャパシタC1及びインダクタL1を備える。キャパシタC1は、一端に入力信号RFinが供給され、他端が増幅器110の入力端子に接続される。インダクタL1は、一端がキャパシタC1の一端に接続され、他端が接地される。整合回路120は、例えばCMOSチップ200において増幅器110の前段に設けられ、入力信号RFinの直流成分を除去する。
整合回路121は、キャパシタC2,C3,C4及びインダクタL2を備える。キャパシタC2は、一端に電源電圧Vccが供給され、他端が増幅器110の出力端子に接続される。キャパシタC3は、一端が増幅器110の出力端子に接続され、他端がインダクタL2の一端に接続される。キャパシタC4は、一端がキャパシタC3の他端に接続され、他端が接地される。インダクタL2は、一端がキャパシタC3の他端に接続され、他端が増幅器111の入力端子に接続される。整合回路121は、増幅器110(ドライブ段)と増幅器111(パワー段)との間に設けられ、増幅器110の出力インピーダンスと増幅器111の入力インピーダンスとを整合させる。整合回路121は、構成要素が全てCMOSチップ200に形成されていてもよく、又は一部の構成要素(例えば、キャパシタC2,C3,C4)がCMOSチップ200に形成され、他の構成要素(例えば、インダクタL2)がCMOSチップ200の外部に形成されていてもよい。この場合、CMOSチップ200に形成されない素子は基板に直接形成されていてもよい。また、インダクタL2は、例えば、基板のパターン又は表面実装部品(SMD)により構成されていてもよい。
整合回路122(出力整合回路)は、キャパシタC5,C6,C7,C8及びインダクタL3,L4を備える。キャパシタC5は、一端が増幅器111の出力端子に接続され、他端が接地される。キャパシタC6は、一端がインダクタL3の他端に接続され、他端が接地される。キャパシタC7は、一端がインダクタL4の他端に接続され、他端が接地される。キャパシタC8は、一端がインダクタL4の他端に接続され、他端がスイッチ回路104の入力端子に接続される。インダクタL3は、一端がキャパシタC5の一端に接続され、他端がキャパシタC6の一端に接続される。インダクタL4は、一端がキャパシタC6の一端に接続され、他端がキャパシタC7の一端に接続される。整合回路122は、増幅器111の出力端子とスイッチ回路104(すなわち、増幅器111の後段の回路)の入力端子との間に設けられ、増幅器111の出力インピーダンスとスイッチ回路104の入力インピーダンスとを整合させる。整合回路122は、構成要素が全てCMOSチップ200に形成されていてもよく、又は一部の構成要素(例えば、キャパシタC7,C8)がCMOSチップ200に形成され、他の構成要素(例えば、キャパシタC5,C6及びインダクタL3,L4)がCMOSチップ200の外部に形成されていてもよい。
電源ライン130はインダクタL5及びキャパシタC9を備え、電源ライン131はインダクタL6及びキャパシタC10を備える。インダクタL5,L6は、それぞれ、一端に電源電圧Vccが印加され、他端から増幅器110,111に電源を供給する。キャパシタC9,C10は、それぞれ、一端がインダクタL5,L6の一端に接続され、他端が接地される。本実施形態においては、電源ライン130及びスイッチ回路104はCMOSチップ200に形成され、電源ライン131はCMOSチップ200の外部に形成されている。
次に、整合回路121,122におけるインピーダンス変換特性の調整機能について説明する。多段の増幅器から成る電力増幅回路は、一般的に、増幅器110の出力インピーダンス(例えば、20〜30Ω程度)と増幅器111の入力インピーダンス(例えば、3Ω程度)が異なるため、増幅器間のインピーダンスを整合する必要がある。ここで、ドライブ段の増幅器とパワー段の増幅器とが異なるチップにより構成された場合は、両増幅器が同一チップに形成される構成に比べて、両増幅器間のインピーダンスを整合させることが困難となる。これは、増幅器を異なるチップで構成した場合、同一チップで構成した場合に比べて、それぞれのチップにおける構成要素(例えば、キャパシタ又はインダクタ等)のばらつきが一定にならないためである。また、複数のチップで構成した場合は、モジュールを組み立てる際に実装ばらつきが発生し得るからである。
本実施形態においては、制御回路106から出力される制御信号cont1,cont2に応じて、整合回路121,122のインピーダンスの変換特性が調整可能である。具体的には、例えば、整合回路121におけるキャパシタC2,C3,C4について、キャパシタンスを調整可能なキャパシタ(第1可変キャパシタ。以下、可変キャパシタとも呼ぶ。)とする。これにより、制御信号cont1に応じてキャパシタC2,C3,C4のキャパシタンスが制御され、整合回路121のインピーダンス変換特性が調整される。従って、CMOSチップ200に形成された増幅器110の出力インピーダンスと、HBTチップ300に形成された増幅器111の入力インピーダンスとの整合が高精度で実施される。また、整合回路122においても同様に、例えばキャパシタC7を可変キャパシタ(第2可変キャパシタ)とする。これにより、制御信号cont2に応じてキャパシタC7のキャパシタンスが制御され、整合回路122のインピーダンス変換特性が調整される。従って、HBTチップ300に形成された増幅器111の出力インピーダンスと、増幅器111の後段であってCMOSチップ200に形成された回路(例えば、スイッチ回路104)の入力インピーダンスとの整合が高精度で実施される。
図3は、可変キャパシタの構成例を示す図である。図3に示される可変キャパシタ400は、例えば、図2に示されるキャパシタC4,C7のように、信号経路にシャント接続されたキャパシタに適応される構成例である。可変キャパシタ400は、例えば、キャパシタ410,411,412,413,414及びMOSFET421,422,423,424を備える。
キャパシタ410(第1キャパシタ),411(第2キャパシタ),412,413,414は、一端が互いに接続される。また、キャパシタ410は他端が接地される。キャパシタ411〜414は、それぞれ、MOSFET421〜424と直列接続される。MOSFET421〜424は、それぞれ、ドレインがキャパシタ411〜414の他端に接続され、ゲートに制御回路106から制御電圧v1〜v4(制御信号)が供給され、ソースが接地される。
キャパシタ410〜414は、例えば、互いにキャパシタンスが異なるキャパシタとすることができる。また、MOSFET421〜424は、制御回路106から供給される制御電圧v1〜v4に応じてオン及びオフが切り替わるスイッチとしての機能を有する。具体的には、例えば、制御電圧v1が比較的高い電圧の場合はMOSFET421(スイッチ)がオンとなり、キャパシタ411に電荷が蓄積され、制御電圧v1が比較的低い電圧の場合はMOSFET421(スイッチ)がオフとなり、キャパシタ411に電荷が蓄積されない。このように、制御電圧v1〜v4を用いてMOSFET421〜424のオン又はオフの組み合わせを制御することにより、キャパシタ410〜414の合成キャパシタンスを調整することができる。
なお、本実施形態においては、制御回路106により制御されるキャパシタが4つであり、16階調で調整される例が示されているが、制御されるキャパシタの数はこれに限られず、1〜3つであってもよく、また5つ以上であってもよい。また、図3においては、スイッチがNチャネルMOSFETにより構成される例が示されているが、スイッチの構成はこれに限られず、PチャネルMOSFETを用いてもよく、又は他のスイッチ機能を有する素子を用いてもよい。
上述の構成により、電力増幅モジュール100Aは、入力信号RFinの周波数帯域に応じて、整合回路121,122におけるインピーダンスの変換特性が動的に調整される。従って、コストを低減しつつ、異なる半導体チップ間においても高い精度でインピーダンス整合を実施することができる。
また、ノイズ特性はドライブ段の性能により決定されるところ、本実施形態においてはHBTに比べてノイズ性能が良いMOSFETによりドライブ段が構成される。従って、HBTによりドライブ段が構成される電力増幅回路に比べて、ノイズ性能が改善される。
なお、図2においては、整合回路121が備えるキャパシタC2,C3,C4の全てが可変キャパシタである例が示されているが、可変キャパシタとするキャパシタはこれに限られない。例えば、いずれか1つ又は2つのキャパシタ(例えば、キャパシタC3,C4)を可変キャパシタとし、残りのキャパシタ(例えば、キャパシタC2)はキャパシタンスを固定としてもよい。また、電源ライン130におけるインダクタL5を可変インダクタとしてもよい。設計の自由度を考慮し、これらのキャパシタC2,C3,C4及びインダクタL5の4つの素子のうち、3つ以上の素子が可変であることが好ましく、4つの素子が可変であればより好ましい。
また、図2においては、整合回路122が備える複数のキャパシタのうちスイッチ回路104側のキャパシタC7を可変キャパシタとする例を示しているが、可変キャパシタとするキャパシタはこれに限られず、他のいずれかのキャパシタ(例えば、キャパシタC5,C6等)を可変としてもよい。ただし、以下の2つの理由からスイッチ回路104側に近いキャパシタを可変とすることが好ましい。第一に、整合回路122においては、スイッチ回路104側に近いほど出力インピーダンスが高い(例えば、スイッチ回路104の出力インピーダンスは50Ω程度である。)。従って、スイッチ回路104側に近いキャパシタを可変とする方が、可変キャパシタに起因する抵抗値の影響を低減することができる。第二に、整合回路122の出力端子の先に他の回路等が接続される場合に、スイッチ回路104側に近いキャパシタを可変とする方が、調整が容易である。
また、整合回路121,122は図2に示される構成に限られない。整合回路121,122がインダクタを備える場合、当該インダクタについてインダクタンスを調整可能な可変インダクタ(第1可変インダクタ、第2可変インダクタ)により構成し、整合回路のインピーダンスの変換特性を調整してもよい。
図4は、本発明の一実施形態に係る電力増幅モジュール1000におけるチップ配置の一例の概略を示す図である。なお、説明の都合上、電力増幅モジュール1000が備える各要素について、図1又は図2に示される要素と対応する要素については、図1又は図2において用いた符号と同様の符号を用いる。また、説明の都合上、図4は電力増幅モジュール1000が備える要素のうち下記に説明する要素のみが示されており、他の要素は省略されている。
電力増幅モジュール1000は、通信規格(モード)や対応する周波数帯域(バンド)の異なる2つの入力信号RFin_a,RFin_bに対応し、それぞれ図1に示される電力増幅回路を備える。すなわち、入力信号RFin_aを増幅して出力信号RFout_aを出力する増幅経路と、入力信号RFin_bを増幅して出力信号RFout_bを出力する増幅経路と、を備える。これらの2つの増幅経路は互いに同様の構成であるため、以下の説明においては、入力信号RFin_a側の経路の構成を例に説明する。なお、電力増幅モジュール1000が備える増幅経路は必ずしも2つである必要はなく、1つであってもよく、また3つ以上であってもよい。
電力増幅モジュール1000は、略矩形状のCMOSチップ200(第1チップ)及びHBTチップ300a(第2チップ)を備える。CMOSチップ200の辺s1(第1の辺)に、入力信号RFin_aが供給される入力端子Taが配置される。増幅器110a(第1増幅器)は、CMOSチップ200における辺s1の近辺に配置さる。また、整合回路121aは、増幅器110aと隣接した領域に配置される。すなわち、整合回路121aが備える可変キャパシタ(例えば、図2に示されるキャパシタC2,C3,C4)は当該領域に形成される。
HBTチップ300a(第2チップ)は、CMOSチップ200の周辺領域であって、CMOSチップ200の辺s1と直交する辺s2(第2の辺)の近辺に配置される。
整合回路122aが備える各要素(具体的には、キャパシタC5a、インダクタL3a、キャパシタC6a、インダクタL4a)は、CMOSチップ200の周辺領域において、HBTチップ300aの近辺から順に配置される。
整合回路122aが備えるキャパシタC7aは、CMOSチップ200において、CMOSチップ200の辺s1と対向する辺s3(第3の辺)の側に配置される。スイッチ回路104aは、CMOSチップ200において、整合回路122aと隣接した領域であって辺s3の近辺に配置される。
制御回路106は、CMOSチップ200における略中央部に配置される。具体的には、制御回路106は、整合回路121aとキャパシタC7aとの間(すなわち、増幅器110aとスイッチ回路104aとの間)に配置される。
上述の配置により、電力増幅モジュール1000において、入力信号RFin_aは、辺s1を通ってCMOSチップ200に入力され、増幅器110a(第1増幅器)によって増幅される。増幅器110aからの増幅信号(第1増幅信号)は、辺s2を通ってCMOSチップ200からHBTチップ300aに入力され、HBT(第2増幅器)によって増幅される。HBTチップ300aからの増幅信号(第2増幅信号)は、辺s2を通って再びCMOSチップ200に供給され、スイッチ回路104aから辺s3を通って出力される。
本実施形態においては、整合回路122aが備える各要素(キャパシタC5a、インダクタL3a、キャパシタC6a、インダクタL4a)は、CMOSチップ200が備える制御回路106から所定程度(例えば、300μm程度)離れて配置される。これにより、増幅信号は、制御回路106を避けるような軌跡(例えば、略U字型となるような軌跡)を描いて伝送されることとなる(図4破線矢印参照)。従って、制御回路106から出力されるノイズのRF信号への影響を低減することができる。
また、増幅器110aは、CMOSチップ200において制御回路106を隔ててスイッチ回路104aの反対側(辺s1の側)に配置される。さらに、増幅器111aもまた、スイッチ回路104aから所定程度(例えば、300μm程度)離れて配置される。これにより、増幅器110a,111aと出力信号RFoutとのアイソレーションを確保し、RF信号の増幅におけるノイズの影響を低減することができる。
以上、本発明の例示的な実施形態について説明した。電力増幅モジュール100,100A,1000は、CMOSチップ200に形成された増幅器110と、HBTチップ300に形成された増幅器111と、当該増幅器110,111の間に、制御信号に応じてインピーダンスの変換特性を調整可能である整合回路121を備える。これにより、コストを低減しつつ、異なる半導体チップ間においてもインピーダンス整合が高い精度で実施される電力増幅モジュールを提供することができる。
また、電力増幅モジュール100,100A,1000は、ドライブ段の増幅器110がMOSFETにより構成され、パワー段の増幅器111がHBTにより構成される。これにより、製造コストを低減しつつノイズ性能及び耐電圧に優れた電力増幅モジュールを提供することができる。
また、電力増幅モジュール100,100A,1000は、整合回路121,122のインピーダンスの変換特性を調整するために、入力信号RFinの周波数帯域に応じて制御信号cont1,cont2を出力する制御回路106をさらに備える。これにより、整合回路121,122のインピーダンスの変換特性が、入力信号RFinの周波数帯域に応じて動的に調整される。
また、整合回路121,122の構成は、特に限定されるものではないが、例えば、可変キャパシタ又は可変インダクタを備えていてもよい。
また、図2に示されるように、整合回路121,122が備える可変キャパシタ又は可変インダクタは、CMOSチップ200に形成されていてもよい。なお、可変キャパシタ又は可変インダクタの構成はこれに限られない。
また、整合回路121,122が備える可変キャパシタは、並列接続されたキャパシタ410〜414と、キャパシタ411〜414の各々と直列接続されたMOSFET421〜424(スイッチ)を備え、MOSFET421〜424のオン及びオフの切り替えにより可変キャパシタのキャパシタンスを調整してもよい。なお、可変キャパシタの構成はこれに限られない。
また、電力増幅モジュール100,100A,1000は、増幅器111の出力端子と後段のスイッチ回路104の入力端子との間に、制御信号cont2に応じてインピーダンスの変換特性を調整可能である整合回路122を備える。これにより、増幅器111の出力インピーダンスと後段の回路の入力インピーダンスとの整合が高い精度で実施される。
また、電力増幅モジュール1000は、CMOSチップ200に形成されたスイッチ回路104aを備え、当該CMOSチップ200において、制御回路106は、増幅器110aとスイッチ回路104aとの間に配置される。これにより、増幅器110a,111aと出力信号RFoutとのアイソレーションが確保され、RF信号の増幅におけるノイズの影響が低減される。
また、電力増幅モジュール1000は、入力信号RFinの入力端子TaがCMOSチップ200の辺s1に配置され、HBTチップ300aがCMOSチップ200の辺s1と直交する辺s2の近辺に配置され、スイッチ回路104aは、CMOSチップ200の辺s1と対向する辺s3の近辺に配置される。これにより、増幅信号は、図4に示されるように制御回路106を避けるような軌跡を描いて伝送される。従って、制御回路106から出力されるノイズのRF信号への影響を低減することができる。
以上説明した各実施形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定して解釈するためのものではない。本発明は、その趣旨を逸脱することなく、変更又は改良され得るととともに、本発明にはその等価物も含まれる。即ち、各実施形態に当業者が適宜設計変更を加えたものも、本発明の特徴を備えている限り、本発明の範囲に包含される。例えば、各実施形態が備える各要素およびその配置、材料、条件、形状、サイズなどは、例示したものに限定されるわけではなく適宜変更することができる。また、各実施形態が備える各要素は、技術的に可能な限りにおいて組み合わせることができ、これらを組み合わせたものも本発明の特徴を含む限り本発明の範囲に包含される。
100,100A,1000 電力増幅モジュール
102 電力増幅回路
104 スイッチ回路
106 制御回路
110,111 増幅器
120,121,122 整合回路
130,131 電源ライン
200 CMOSチップ
300 HBTチップ
400 可変キャパシタ
410,411,412,413,414 キャパシタ
421,422,423,424 MOSFET
C1,C2,C3,C4,C5,C6,C7,C8,C9,C10 キャパシタ
L1,L2,L3,L4,L5,L6 インダクタ
s1,s2,s3 辺
Ta 入力端子

Claims (11)

  1. 入力信号を増幅して第1増幅信号を出力する第1増幅器と、
    前記第1増幅信号を増幅して第2増幅信号を出力する第2増幅器と、
    前記第1増幅器の出力端子と前記第2増幅器の入力端子との間に設けられる整合回路と、
    を備え、
    前記第1増幅器は第1チップに形成され、
    前記第2増幅器は第2チップに形成され、
    前記整合回路は、制御信号に応じてインピーダンスの変換特性を調整可能である、
    電力増幅モジュール。
  2. 前記第1チップはMOSFETが設けられたCMOSチップであり、
    前記第2チップはHBTが設けられたHBTチップである、請求項1記載の電力増幅モジュール。
  3. 前記電力増幅モジュールは、前記第1チップに形成された制御回路をさらに備え、
    前記制御回路は、前記整合回路のインピーダンスの変換特性を調整するために、前記入力信号の周波数帯域に応じて前記制御信号を出力する、請求項1又は2記載の電力増幅モジュール。
  4. 前記整合回路は、第1可変キャパシタ又は第1可変インダクタを備え、
    前記制御回路は、前記第1可変キャパシタのキャパシタンス又は前記第1可変インダクタのインダクタンスを調整するために、前記制御信号を出力する、請求項3記載の電力増幅モジュール。
  5. 前記第1可変キャパシタ又は前記第1可変インダクタは、前記第1チップに形成される、請求項4記載の電力増幅モジュール。
  6. 前記第1可変キャパシタは、
    並列接続された第1及び第2キャパシタと、
    前記第2キャパシタと直列接続されたスイッチと、
    を備え、
    前記制御回路は、前記スイッチのオン及びオフを切り替えることにより前記第1可変キャパシタのキャパシタンスを調整するために、前記制御信号を出力する、請求項4又は5記載の電力増幅モジュール。
  7. 前記電力増幅モジュールは、
    前記第2増幅器の出力端子と後段の回路の入力端子との間に設けられる出力整合回路をさらに備え、
    前記出力整合回路は、前記制御信号に応じてインピーダンスの変換特性を調整可能である、請求項3〜6のいずれか一項に記載の電力増幅モジュール。
  8. 前記出力整合回路は、第2可変キャパシタ又は第2可変インダクタを備え、
    前記制御回路は、前記第2可変キャパシタのキャパシタンス又は前記第2可変インダクタのインダクタンスを調整するために、前記制御信号を出力する、請求項7記載の電力増幅モジュール。
  9. 前記第2可変キャパシタ又は前記第2可変インダクタは、前記第1チップに形成される、請求項8記載の電力増幅モジュール。
  10. 前記電力増幅モジュールは、
    前記第2増幅信号が供給され、前記第2増幅信号を複数の出力端子のいずれか1つから出力するスイッチ回路をさらに備え、
    前記スイッチ回路は、前記第1チップに形成され、
    前記制御回路は、前記第1チップにおいて、前記第1増幅器と前記スイッチ回路との間に配置される、請求項3〜9のいずれか一項に記載の電力増幅モジュール。
  11. 前記入力信号の入力端子は、前記第1チップの第1の辺に配置され、
    前記第2チップは、前記第1チップの前記第1の辺と直交する第2の辺の近辺に配置され、
    前記スイッチ回路は、前記第1チップの前記第1の辺と対向する第3の辺の近辺に配置され、
    前記第1増幅器からの前記第1増幅信号は、前記第2の辺を通って前記第2増幅器に入力され、前記第2増幅器からの前記第2増幅信号は、前記第2の辺を通って前記スイッチ回路に入力され、前記スイッチ回路からの前記第2増幅信号は、前記第3の辺を通って出力される、請求項10記載の電力増幅モジュール。
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