JP2018077110A

JP2018077110A - 開閉装置の検査装置及びシステム及び方法

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Publication number: JP2018077110A
Application number: JP2016218603A
Authority: JP
Inventors: 淳額賀; Atsushi Nukaga; 廣瀬　誠; Makoto Hirose; 誠廣瀬
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 2016-11-09
Filing date: 2016-11-09
Publication date: 2018-05-17

Abstract

【課題】開閉装置の駆動部が動作していない状態（通常の通電時等）においても、開閉装置の異常判定を可能とすること。【解決手段】ガス絶縁装置の遮断器や断路器等の駆動部３に発振器２を密着し、前計測として駆動部３の共振周波数を周波数スペクトルから取得する。発振器２は、共振周波数を中心周波数としたパルス圧縮波、又はパルス波を入射波として駆動部３に入力し、駆動部３からの反射波を受信器４により計測する。波形データ記憶部５は、計測波形の周波数スペクトルを計測データとして記憶する。相関関係評価部９及び相関関係評価部１１は、周波数スペクトルを機器組立時に取得した初期データと、装置の動作時間が経過後のスペクトルとの相関関係の変化を評価した判定結果から異常の判定を実施する。【選択図】図１

Description

本発明は、開閉装置の検査装置及びシステム及び方法に関し、詳しくは、例えば、遮断器及び断路器等の駆動部をガス絶縁密封容器内に設置し、電力系統から受電する受電ユニット、さらに遮断器及び断路器をガス絶縁容器内に設置し、母線を介して電力を負荷側に給電する給電ユニットを有するガス絶縁開閉装置等の開閉装置の駆動部等を検査するための開閉装置の検査装置及びシステム及び方法に関する。

一般に、ガス絶縁開閉装置では、受電用断路器、遮断器、母線用断路器の主回路機器が、ＳＦ６などの絶縁性ガスを封入した密閉容器内に収容され、この密閉容器に電力ケーブル、母線が接続され、密閉容器前面側には主回路機器の操作機構が設置され、各機器間は主回路導体により接続される。
受電用のガス絶縁開閉装置においては、電力ケーブルにより電力系統から電力を引き込み、受電用断路器−遮断器−母線用断路器を経由して母線に給電する。
また、給電用のガス絶縁開閉装置の場合は、母線から受電し、母線用断路器−遮断器−給電用断路器を経由して負荷に接続した電力ケーブルに給電する。三相分を一回線とした１ベイを構成するガス絶縁開閉装置と、隣接する１ベイを構成するガス絶縁開閉装置の間は母線により電気的に接続される。このように構成されたガス絶縁開閉装置においては、主回路機器及び主回路導体を絶縁性ガスを封入した密閉容器内に設置することで小形化、かつ高信頼化できる利点がある。この内、遮断器、断路器、接地開閉器においては、油圧ばね、ばね、あるいは電動方式で機器の開閉を動作する駆動機構を有する。

特開昭６３−０４３５２４号公報

しかしながら、上述のようなガス絶縁開閉装置においては、駆動部分が時間経過によりギア、あるいはリンク機構の劣化が生じ、固渋などの動作不具合が発生する場合が想定される。発電機や回転機など常時回転動作する機器においては回転振動などにより動作の異常判定が可能である。これに対し、ガス絶縁開閉装置は、常時は通電状態で駆動部は静止しており、駆動部動作回数は少なく、準静止機器である。そのため、ガス絶縁開閉装置では、静止状態で駆動部の異常判定をしなければならないという課題がある。

本発明は、以上の点に鑑み、開閉装置の駆動部が動作していない状態（通常の通電時等）においても、開閉装置の異常判定を可能とすることを目的とする。

本発明の第１の解決手段によると、
開閉装置の検査装置であって、
発振器と、
受信器と、
処理部と、
を備え、
前記処理部は、
開閉装置の初期状態において、駆動部に前記発振器から第１の入射信号を入力し、駆動部から受信部により受信した周波数成分から複数の第１の共振周波数を取得し、
各第１の共振周波数を中心周波数とした各第２の入射信号を前記発振器により駆動部に入射して、駆動部から受信部により受信した各第２の反射信号の周波数成分から各第２の共振周波数を得て、
開閉装置の運用開始後において、各第２の共振周波数を中心周波数とした各第２の入射信号を前記発振器により駆動部に入射して、駆動部から受信部により受信した各第３の反射信号の周波数成分から各第３の共振周波数を得て、
各第２の共振周波数と各第３の共振周波数との相関関係から異常を判定する、
開閉装置の検査装置が提供される。

本発明の第２の解決手段によると、
開閉装置の検査システムであって、
開閉装置の駆動部に予め取り付けられ又は予め組み込まれて第１の入射信号を入射する前記発振器と、開閉装置の駆動部に予め取り付けられ又は予め組み込まれて駆動部からの第１の反射信号を受信する前記受信器と、を有する開閉装置と、
検査装置と、
を備え、
前記検査装置は、
開閉装置の初期状態において、駆動部に前記発振器から第１の入射信号を入力し、駆動部から受信部により受信した周波数成分から複数の第１の共振周波数を取得する、第１の処理機能部と、
各第１の共振周波数を中心周波数とした各第２の入射信号を前記発振器により駆動部に入射して、駆動部から受信部により受信した各第２の反射信号の周波数成分から各第２の共振周波数を得る、第２の処理機能部、
開閉装置の運用開始後において、各第２の共振周波数を中心周波数とした各第２の入射信号を前記発振器により駆動部に入射して、駆動部から受信部により受信した各第３の反射信号の周波数成分から各第３の共振周波数を得る、第３の処理機能部と、
各第２の共振周波数と各第３の共振周波数との相関関係から異常を判定する、第４の処理機能部と、
を備えた開閉装置の検査システムが提供される。

本発明の第３の解決手段によると、
開閉装置の検査方法であって、
開閉装置の初期状態において、駆動部に前記発振器から第１の入射信号を入力し、駆動部から受信部により受信した周波数成分から複数の第１の共振周波数を取得し、
各第１の共振周波数を中心周波数とした各第２の入射信号を前記発振器により駆動部に入射して、駆動部から受信部により受信した各第２の反射信号の周波数成分から各第２の共振周波数を得て、
開閉装置の運用開始後において、各第２の共振周波数を中心周波数とした各第２の入射信号を前記発振器により駆動部に入射して、駆動部から受信部により受信した各第３の反射信号の周波数成分から各第３の共振周波数を得て、
各第２の共振周波数と各第３の共振周波数との相関関係から異常を判定する、
開閉装置の検査方法が提供される。

本発明によると、開閉装置の駆動部が動作していない状態（通常の通電時等）においても、開閉装置の異常判定を可能とすることができる。

ガス絶縁開閉装置の駆動部検査システムの構成を示す概略的な説明図。駆動部の受信波の周波数成分データを示す説明図。初期周波数特性における共振周波数と装置運用開始後の共振周波数との相関関係を示す説明図。検査方法のフローチャートを示す説明図。パルス圧縮波を示す説明図。ガス絶縁開閉装置を遠隔監視するための駆動部検査システムの構成図。インパルス波形例を示す説明図。

Ａ．概要

本実施形態の開閉装置の検査装置及びシステム及び方法、特に、ガス絶縁開閉装置の駆動部検査装置及びシステム及び方法、及び、駆動検査装置を組み込んだガス絶縁開閉装置及び駆動部検査装置システムにおいては、絶縁ガスを封入したガス絶縁容器内に少なくとも断路器、接地開閉器、遮断器、及び接地開閉器付き断路器等の駆動部を有する主回路機器を収容している。本実施形態では、例えば、次のような処理が行われる。
・まず、ガス絶縁装置の遮断器、及び断路器の駆動部に発振器を密着し、前計測として駆動部の共振周波数を周波数スペクトルから取得する。
・つぎに、共振周波数を中心周波数としたパルス圧縮波又はパルス波を入射波として駆動部に入力し、駆動部からの反射波を受信器により計測する。
・つぎに、計測波形の周波数スペクトルを計測データとして記憶する。
・つぎに、周波数スペクトルを機器組立時に取得した初期データと、装置の動作時間が経過後のスペクトルとの相関関係の変化を評価した判定結果から異常の判定を実施する。

以下、図面を参照しつつ本実施形態を説明する。

Ｂ．第１の実施形態

図１は、ガス絶縁開閉装置の駆動部検査システムの構成を示す概略的な説明図である。
本システムは、ガス絶縁開閉装置１００−１、検査装置２００−１を備える。詳細には、本システムは、駆動部分に入射する信号波形を作成する信号発生器１、駆動部３と接触して、駆動部３に振動を入射する発振器２、ガス絶縁開閉装置の駆動部３、駆動部３からの反射波を受信する受信器４、受信信号を記憶する波形データ記憶部５、波形データから周波数成分を導出するフーリエ変換部６、ガス絶縁開閉装置組立て直後の周波数成分データを記録する初期周波数特性格納部７、装置運用開始後の時間経過時の駆動部３の運用周波数特性を記録する運用周波数特性格納部８、初期周波数特性と運用開始後の周波数特性との相関関係を演算する相関関係演算部９、相関関係の演算結果を記録する相関関係格納部１０、相関関係評価部１１、評価結果表示部／記憶部１２を備える。なお、処理部５１は、フーリエ変換部６、相関関係演算部９、相関関係評価部１１を有し、また、各記憶部・格納部のデータの書き込み及び読み出し等の各種処理、及び、信号発生器１、発振器２、受信器４、評価結果表示部／記憶部１２等の各種制御・処理を実行する。

信号発生器１は、例えば、正弦波の他、パルス圧縮波等の波形の入射信号を発生可能としており、これらの波形の周波数は任意に設定可能となっている。発振器２は、信号発生器１からの電気信号を機械振動に変更し、駆動部３に入射する。駆動部３への入射波は駆動部内部及び／又はガス絶縁開閉装置内部に到達し、反射される。反射波は受信器４により受信され、電気信号へと変換される。電気信号は波形データ記憶部５に記録される。この時点で波形データは時間領域波形であり、フーリエ変換部６により周波数領域波形に変換される。ガス絶縁開閉装置を組立て直後の駆動部３の反射波の初期の周波数領域波形は初期周波数特性格納部７に記録され、ガス絶縁開閉装置稼動後の時間が経過した状態の駆動部３の反射波の運用時の周波数領域波形は運用周波数特性格納部８に記録される。初期周波数特性と経過時間後の運用周波数特性は相関関係演算部９により相関関係を計算される。駆動部３への入射波の各共振周波数の周囲の相関関係を各共振周波数の相関関係格納部１０に記録される。相関関係格納部１０に記録された計算結果を相関関係評価部１１で判定し、判定結果を評価結果表示部／記憶部１２にて表示及び／又は記憶する。

図４は、検査方法のフローチャートを示す説明図である。
以下、判定方法の詳細を説明する。

（Ｓ１１；前計測）
まず、ガス絶縁開閉装置の組立て後（初期状態）に、処理部５１は、駆動部３に発振器２からパルス波等の入射信号を入力する。なお、ここで組立て後（初期状態）については、例えば、ガス絶縁開閉装置を閉極状態として稼働した後であって、組立て直後の予め定めた時間後、安定状態・定常状態となった後等、適宜のタイミングを初期状態として定めることができる。発振器２は、例えば、遮断器や断路器の駆動部３において、外部からアクセス可能な駆動軸等に接触し、振動を駆動部３に伝達させる。入射波形は、例えば、インパルス波、もしくは圧縮パルス波など、適宜のものを用いることができる。処理部５１は、駆動部３からの反射波（反射信号）を受信部４のセンサにより計測し、波形データ記憶部５に記憶する。なお、各記憶部・格納部へのデータの記録の際は、時刻、周波数、波形情報、各種識別情報等を適宜含めることができる。処理部５１は、波形データ記憶部５から波形データを読み出し、この反射信号において時間領域信号をフーリエ変換部６で周波数成分データとし、駆動部の予め定めた複数の共振周波数を取得する。上述を前計測とする。

図２は、駆動部の受信波の周波数成分データを示す説明図である。ここで、共振周波数Ｆ_１、Ｆ_２、・・・としては、例えば、強度の比較的強い周波数から予め定めた数を選択することができる。なお、低周波数は比較的ノイズが含まれる場合が想定され、また、高周波数は減衰して計測しにくい場合等が想定されるが、予め定めた周波数以下及び／又は以上の周波数を除くようにしてもよい。

（Ｓ１２；初期特性取得）
さらに、処理部５１は、発振器２により、前計測でのパルス波による反射波で得た複数の共振周波数Ｆ１、Ｆ２、・・・を中心周波数とした各パルス圧縮波等の入射信号を駆動部３に入射して上述のように、受信部４、波形データ記憶部５、フーリエ変換部６等を用いてより細密な周波数特性を得る。処理部５１は、この際得られた共振周波数ｆ１、ｆ２、ｆ３、・・・を初期周波数特性とし、初期周波数特性格納部７に記録する。ここで、周波数ｆ１、ｆ２は、それぞれ周波数Ｆ１、Ｆ２を入射して、得られた反射信号により計測された細密な共振周波数である。

（Ｓ１３；装置動作後）
ガス絶縁開閉装置の運用開始後、処理部５１は、初期周波数特性格納部７を参照し、共振周波数ｆ１、ｆ２、ｆ３、・・・を得て、上述と同様に各共振周波数ｆ１、ｆ２、ｆ３、・・・を中心としたパルス圧縮波の入射に対する反射波により共振周波数ｆ１’、ｆ２’、ｆ３’、・・・を求め、運用周波数特性を運用周波数特性格納部８に記録する。

（Ｓ１４；異常判定）
図３は、初期周波数特性における共振周波数と装置運用開始後の共振周波数との相関関係を示す説明図である。
処理部５１は、初期周波数特性における共振周波数ｆ１、ｆ２、ｆ３、・・・と装置運用開始後の共振周波数ｆ１’、ｆ２’、ｆ３’、・・・との相関関係を相関関係演算部９で計算する。処理部５１は、例えば、相関関係として横軸に初期特性、縦軸に経過時間後の特性とし、相関の閾値を設定し、この閾値を超えた場合に異常と判定する。より具体的には初期の共振周波数ｆ１に対してはｆ１’、ｆ２に対してはｆ２’と言うように対応する共振周波数の組を設定する。駆動部３のリンク、もしくはギア部に固渋などの異常が発生すると駆動部３の固有振動数が変化するため、共有振動数にずれが生じる。例えば、このずれが閾値を超過した場合に異常と判定することができる。閾値の設定は、例えば、別途要素試験において正常時の共振振動数に対して模式的に固渋状態とした場合の共振周波数のずれを基に設定することができる。うち、ずれ量は、例えば、対応した共振周波数の組における相関関係上のユークリッド距離等の各種計算方法にて計算することができる。処理部５１は、前述の判定を各中心周波数ごとに実施し、中心周波数ごとの判定結果を各共振周波数の相関関係格納部１０に記録する。処理部５１は、相関関係評価部１１にて、例えば、各相関関係格納部１０の結果を用いて異常と判定された周波数の数、及び異常の度合いを判定して、異常の状態を評価する。なお、異常の度合いは、例えば、ずれの量を予め定めた閾値と比較すること等により行うことができる。また、異常の状態の評価は、例えば、異常と判定された数、異常の度合いを予め定めた重み等で加算又は積算することで指標を求め、この指標を予め定めた閾値と比較すること等により行うことができる。処理部５１は、上述の評価結果を評価結果表示部／記憶部１２にて表示及び／又は記憶する。（図４）なお、表示方法としては、例えば、異常の有無、時間、駆動部識別情報等や、図３に示す相関図等を適宜表示することができる。

［入射波形］
本システムにおいて、上述のように、駆動部３に発振器２からパルス波を入力する。発振器２は遮断器や断路器等の駆動部３において、外部からアクセス可能な駆動軸に接触し、振動を駆動部に伝達させる。

図７は、インパルス波形例を示す説明図である。
図４に示した前計測（Ｓ１１）においては、入力波形は、例えば、図７に示すようなインパルス波形とすることができる。図７（ａ）に信号強度の時間特性を示し、図７（ｂ）にその周波数特性を示す。このような波形は、複数の共振周波数を得るための幅広い周波数特性を含む。

図５は、パルス圧縮波を示す説明図である。
各共振周波数での入射波形は、例えば、図５に示すようにパルス圧縮波とすることができる。図５（ａ）は、信号強度の時間特性を示し、図５（ｂ）はその中心周波数を有する周波数特性を示す。本システムでは、この圧縮波の中心周波数を初期状態の共振振動数ｆ１、ｆ２、ｆ３、・・・として少なくとも２種類以上入射し、それぞれの反射波における周波数特性を運用周波数特性格納部８に記録する。ガス絶縁開閉装置の運用開始後の計測においても、上述と同様の種類の中心周波数のパルス圧縮波を入射し、反射特性を計測する。これにより取得した時間経過後の周波数特性として共振周波数の近傍周波数でより精細に取得することが可能となる。

［相関関係の演算］
初期周波数特性格納部７に記録した初期周波数特性ｆ１、ｆ２、ｆ３、・・・と、運用周波数特性格納部８に格納した経過時間後の周波数特性ｆ１’、ｆ２’、ｆ３’、・・・との相関関係を相関関係演算部９で計算する方法として、例えば、初期周波数特性と経過時間後の周波数特性とのマハラノビス距離を用いて判定することができる。この際、データがｎ次元の連続ベクトルであるとして、得られたデータ列をｘ^ｍ＝ｘ_１，ｘ_２，ｘ_３，．．．ｘ_ｍとして、ｉ番目のデータを、

と記すとき、その平均値ベクトルμ、分散共分散行列Σは以下のように求められる。

ここで、θを閾値パラメータとして、新しいデータｘに対して、

を満たす場合、ｘは異常値であると判定する。
この他にも、相関を計算する方法として、例えば、母集団相関係数、標本相関係数、ピアソンの積分相関係数等、適宜の方法を用いることができる。

Ｃ．第２の実施形態

図６は、ガス絶縁開閉装置を遠隔監視するための駆動部検査システムの構成図である。
本システムは、ガス絶縁開閉装置１００−２、検査装置２００−２を備える。本システムにおいては、発振器２と受信器４をあらかじめ駆動部３の軸に組み込んだ状態（表面等に取り付けた状態）でガス絶縁開閉装置１００−２を構成する。信号発生器１と受信器４は、データ処理部１３−１に接続される。データ処理部１３−１はメモリ５２内の適宜ひとつ又は複数の構成（波形データ記憶部５等）や処理部５１の適宜のひとつ又は複数の構成（相関関係演算部９等）を有し、データ処理部１３−２は、それ以外のメモリ５２及び処理部５１のひとつ又は複数の構成を有する。データ処理部１３−１は、有線又は無線の適宜の通信回線やネットワークと通信装置１４を介してオンライン又はオフラインで集中管理室１５のデータ処理部１３−２に接続されており、集中管理室１５では、任意の時間にデータを取得、表示及び／又は、記憶することが可能となる。

Ｄ．第３の実施形態（モード計測）

上述の本実施形態において、発振器２と受信器４を２個以上設置するようにしてもよい。一例として、ひとつの発振器２と２個の受信器４を備え、ひとつの発振器２を駆動部３の主軸に設置し、受信器４の一つを主軸に設置し、他の受信器４を駆動部３の副軸に設置することができる。処理部５１は、発振器２から入力した信号に対する反射波をそれぞれの受信器４で受信し、上述のように周波数特性を取得する。なお、発振器２も複数設けるようにしてもよい。処理部５１は、発振器２と受信器４の設置場所、及びセンサの組合せをパラメータとして追加するようにしてもよい。これにより駆動部３の振動のモード計測（例えば、主軸によるモード、副軸によるモード等）が可能となり、駆動部３の異常の内容についての判定が可能となる。

Ｅ．実施形態の効果

本実施形態により、ガス絶縁開閉装置の駆動部が動作していない状態（通常の通電時等）においても、駆動部の異常判定が可能となるため、ガス絶縁開閉装置を停止して駆動部を解体して検査する必要がなく、さらに電力系統の切り替え、停止なしにガス絶縁開閉装置の検査が可能となるため、検査期間の大幅な短縮が図れる。加えて、機器の停止なしに検査ができるため、任意の時間間隔で検査データが取得でき、時系列データが取得可能となり、機器の信頼性が向上する。

Ｆ．付記

なお、本発明は上記した実施例に限定されるものではなく、様々な変形例が含まれている。例えば、上記した実施例は本発明を分かりやすく説明するために詳細に説明したものであり、必ずしも説明した全ての構成を備えるものに限定されるものではない。また、ある実施例の構成の一部を他の実施例の構成に置き換えることが可能であり、また、ある実施例の構成に他の実施例の構成を加えることも可能である。また、各実施例の構成の一部について、他の構成の追加・削除・置換をすることが可能である。
また、上記の各構成、機能、処理部、処理手段等は、それらの一部又は全部を、例えば集積回路で設計する等によりハードウェアで実現してもよい。また、上記の各構成、機能等は、プロセッサがそれぞれの機能を実現するプログラムを解釈し、実行することによりソフトウェアで実現してもよい。各機能を実現するプログラム、テーブル、ファイル等の情報は、メモリや、ハードディスク、ＳＳＤ（ＳｏｌｉｄＳｔａｔｅＤｒｉｖｅ）等の記録装置、又は、ＩＣカード、ＳＤカード、ＤＶＤ等の記録媒体に置くことができる。
また、制御線や情報線は説明上必要と考えられるものを示しており、製品上必ずしも全ての制御線や情報線を示しているとは限らない。実際には殆ど全ての構成が相互に接続されていると考えてもよい。

１；信号発生器、２；発振器、３；駆動部、４；受信器、５；波形データ記憶部、６；フーリエ変換部、７；初期周波数特性格納部；運用周波数特性格納部、９；相関関係演算部、１０；相関関係格納部、１１；相関関係評価部、１２；評価結果表示部／記憶部、１３；データ処理装置、１４；通信装置、１５；集中管理室、１６；通信線

Claims

開閉装置の検査装置であって、
発振器と、
受信器と、
処理部と、
を備え、
前記処理部は、
開閉装置の初期状態において、駆動部に前記発振器から第１の入射信号を入力し、駆動部から受信部により受信した周波数成分から複数の第１の共振周波数を取得し、
各第１の共振周波数を中心周波数とした各第２の入射信号を前記発振器により駆動部に入射して、駆動部から受信部により受信した各第２の反射信号の周波数成分から各第２の共振周波数を得て、
開閉装置の運用開始後において、各第２の共振周波数を中心周波数とした各第２の入射信号を前記発振器により駆動部に入射して、駆動部から受信部により受信した各第３の反射信号の周波数成分から各第３の共振周波数を得て、
各第２の共振周波数と各第３の共振周波数との相関関係から異常を判定する、
開閉装置の検査装置。
請求項１に記載の開閉装置の検査装置において、
前記処理部は、
フーリエ変換部と、
相関関係演算部と、
初期周波数特性格納部と
運用周波数特性格納部と、
相関関係格納部と、
を備え、
前記フーリエ変換部は、開閉装置の初期状態において、第１の反射信号の周波数成分から複数の第１の共振周波数を取得し、各第２の反射信号の周波数成分から各第２の共振周波数を得て、前記初期周波数特性格納部に記憶し、
前記フーリエ変換部は、開閉装置の運用開始後において、各第３の反射信号の周波数成分から各第３の共振周波数を得て、前記運用周波数特性格納部に記憶し、
前記相関関係演算部は、前記初期周波数特性格納部及び前記運用周波数特性格納部とを参照し、各第２の共振周波数と各第３の共振周波数との相関関係のずれから異常を第２の共振周波数ごとに実行し、前記相関関係格納部に判定結果を記憶する、
ことを特徴とする開閉装置の検査装置。
請求項２に記載の開閉装置の検査装置において、
前記処理部は、前記相関関係格納部を参照し、異常と判定された第２及び第３の共振周波数の数及び／又は異常の度合いから異常の状態を評価する相関関係評価部を、さらに備えたことを特徴とする開閉装置の検査装置。
請求項３に記載の開閉装置の検査装置において、
前記相関関係評価部は、評価結果を評価結果表示部に表示する及び／又は評価結果記憶部に記憶する及び／又は他の装置に出力することを特徴とする開閉装置の検査装置。
請求項１に記載の開閉装置の検査装置において、
前記発振器は、遮断器及び／又は断路器及び／又は開閉装置の他の駆動部において、外部からアクセス可能な駆動軸に接触して振動を駆動部に伝達させるように取り付けられたことを特徴とする開閉装置の検査装置。
請求項１に記載の開閉装置の検査装置において、
前記発振器は、入射信号として、初期状態ではインパルス波、運転開始後はパルス圧縮波を用いることを特徴とする開閉装置の検査装置。
請求項１に記載の開閉装置の検査装置において、
前記処理部は、第２の共振周波数と第３の共振周波数とのずれ量を、対応した共振周波数の組におけるユークリッド距離、マハラノビス距離、ピアソンの積分相関係数、又は、その他の相関係数のいずれかを用いて判定することを特徴とする開閉装置の検査装置。
請求項１に記載の開閉装置の検査装置において、
前記発振器及び前記受信器が、開閉装置の駆動部に予め取り付けられた又は予め組み込まれていることを特徴とする開閉装置の検査装置。
請求項１に記載の開閉装置の検査装置において、
前記発振器及び／又は前記受信器を複数設け、
前記処理部は、前記発振器と前記受信器の組み合わせにより駆動部の複数の振動モードによる第１乃至第３の反射信号を取得し、異常の判定を行うことを特徴とする開閉装置の検査装置。
請求項９に記載の開閉装置の検査装置において、
ひとつの前記発振器を駆動部の主軸又は第１の軸に設置し，前記受信器のひとつを主軸又は第１の軸に設置し，他の前記受信器を駆動部の副軸又は第２の軸に設置し、
前記発振器から入力した信号に対する第１乃至第３の反射信号を各前記受信器で受信し，第１乃至第３の共振周波数を取得する、
ことを特徴とする開閉装置の検査装置。
請求項１に記載の開閉装置の検査装置において、
前記処理部は、第１乃至第３の共振周波数、相関関係のうちひとつ又は複数をそれぞれ記憶部に書き込み及び記憶部から読み取ることを特徴とする開閉装置の検査装置。
請求項１に記載の開閉装置の検査装置において、
前記開閉装置は、ガス絶縁開閉装置であることを特徴とする開閉装置の検査装置。
開閉装置の検査システムであって、
開閉装置の駆動部に予め取り付けられ又は予め組み込まれて第１の入射信号を入射する前記発振器と、開閉装置の駆動部に予め取り付けられ又は予め組み込まれて駆動部からの第１の反射信号を受信する前記受信器と、を有する開閉装置と、
検査装置と、
を備え、
前記検査装置は、
開閉装置の初期状態において、駆動部に前記発振器から第１の入射信号を入力し、駆動部から受信部により受信した周波数成分から複数の第１の共振周波数を取得する、第１の処理機能部と、
各第１の共振周波数を中心周波数とした各第２の入射信号を前記発振器により駆動部に入射して、駆動部から受信部により受信した各第２の反射信号の周波数成分から各第２の共振周波数を得る、第２の処理機能部、
開閉装置の運用開始後において、各第２の共振周波数を中心周波数とした各第２の入射信号を前記発振器により駆動部に入射して、駆動部から受信部により受信した各第３の反射信号の周波数成分から各第３の共振周波数を得る、第３の処理機能部と、
各第２の共振周波数と各第３の共振周波数との相関関係から異常を判定する、第４の処理機能部と、
を備えた開閉装置の検査システム。
請求項１３に記載の開閉装置の検査システムにおいて、
前記受信器、又は、前記検査装置の第１乃至第ｎ（ｎは、２〜４の整数）処理機能部を有する第１のデータ処理部と、
前記第１のデータ処理部とネットワーク又はラインを介して接続され、前記検査装置の第ｎ乃至第４の処理機能部を有する第２のデータ処理部を備え、任意の時間に、前記第１のデータ処理部から、第１乃至第ｎの処理機能部のいずれかひとつ又は複数の出力データを取得する集中管理室と、
をさらに備えたことを特徴とする開閉装置の検査システム。
開閉装置の検査方法であって、
開閉装置の初期状態において、駆動部に前記発振器から第１の入射信号を入力し、駆動部から受信部により受信した周波数成分から複数の第１の共振周波数を取得し、
各第１の共振周波数を中心周波数とした各第２の入射信号を前記発振器により駆動部に入射して、駆動部から受信部により受信した各第２の反射信号の周波数成分から各第２の共振周波数を得て、
開閉装置の運用開始後において、各第２の共振周波数を中心周波数とした各第２の入射信号を前記発振器により駆動部に入射して、駆動部から受信部により受信した各第３の反射信号の周波数成分から各第３の共振周波数を得て、
各第２の共振周波数と各第３の共振周波数との相関関係から異常を判定する、
開閉装置の検査方法。