JP2019089222A - ヘッドチップ、液体噴射ヘッドおよび液体噴射記録装置 - Google Patents

Abstract

【課題】吐出安定性を向上させることが可能なヘッドチップ、液体噴射ヘッドおよび液体噴射記録装置を提供する。【解決手段】ヘッドチップ４１は、液体が充填される複数の吐出溝Ｃ１ｅ，Ｃ２ｅを有するアクチュエータプレート４１２と、複数の吐出溝Ｃ１ｅ，Ｃ２ｅに個別に連通する複数のノズル孔Ｈ１，Ｈ２を有するノズルプレート４１１と、吐出溝Ｃ１ｅ，Ｃ２ｅとの間で液体が流れる貫通孔Ｓin１，Ｓin２，Ｓout１，Ｓout２と吐出溝Ｃ１ｅ，Ｃ２ｅを覆う壁部とを有するカバープレート４１３とを備えている。貫通孔Ｓin１，Ｓin２，Ｓout１，Ｓout２と吐出溝Ｃ１ｅ，Ｃ２ｅとを連通する部分の液体の流路は、主流路部Ｆｍと、壁部に形成され、流路の断面積を広げる拡張流路部Ｆｅとを有している。【選択図】図４

Description

本開示は、ヘッドチップ、液体噴射ヘッドおよび液体噴射記録装置に関する。

液体噴射記録装置の１つとして、記録紙等の被記録媒体にインク（液体）を吐出（噴射）して画像や文字等の記録を行う、インクジェット方式の記録装置が提供されている（例えば特許文献１参照）。この方式の液体噴射記録装置では、インクタンクからインクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）へインクを供給し、このインクジェットヘッドのノズル孔から被記録媒体に対してインクを吐出することで、画像や文字等の記録が行われるようになっている。また、このようなインクジェットヘッドには、インクを吐出するヘッドチップが設けられている。

特開２０１２−５１２５３号公報

このようなヘッドチップ等では一般に、吐出安定性を向上させることが求められている。吐出安定性を向上させることが可能なヘッドチップ、液体噴射ヘッドおよび液体噴射記録装置を提供することが望ましい。

本開示の一実施の形態に係るヘッドチップは、液体が充填される複数の吐出溝を有するアクチュエータプレートと、複数の吐出溝に個別に連通する複数のノズル孔を有するノズルプレートと、吐出溝との間で液体が流れる貫通孔と吐出溝を覆う壁部とを有するカバープレートとを備えたものである。貫通孔と吐出溝とを連通する部分の液体の流路は、主流路部と、壁部に形成され、流路の断面積を広げる拡張流路部とを有している。

本開示の一実施の形態に係る液体噴射ヘッドは、上記本開示の一実施の形態に係るヘッドチップを備えたものである。

本開示の一実施の形態に係る液体噴射記録装置は、上記本開示の一実施の形態に係る液体噴射ヘッドと、液体を収容する収容部とを備えたものである。

本開示の一実施の形態に係るヘッドチップ、液体噴射ヘッドおよび液体噴射記録装置によれば、吐出安定性を向上させることが可能となる。

本開示の一実施の形態に係る液体噴射記録装置の概略構成例を表す模式斜視図である。 図１に示した液体噴射ヘッドの要部構成例を表す模式底面図である。 図２に示したヘッドチップにおけるＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿った断面構成例を表す模式図である。 図２に示したＩＶ−ＩＶ線に沿ったヘッドチップの断面構成例を表す模式図である。 図２に示したＶ−Ｖ線に沿ったヘッドチップの断面構成例を表す模式図である。 比較例に係るヘッドチップの断面構成例を表す模式図である。 変形例１に係るヘッドチップの断面構成例を表す模式図である。 変形例２に係るヘッドチップの断面構成例を表す模式図である。 変形例３に係るヘッドチップの断面構成例を表す模式図である。 変形例４に係るヘッドチップの断面構成例を表す模式図である。 変形例５に係るヘッドチップの断面構成例を表す模式図である。 変形例６に係るヘッドチップの断面構成例を表す模式図である。 変形例７に係るヘッドチップの断面構成例を表す模式図である。 変形例８に係るヘッドチップの断面構成例を表す模式図である。

以下、本開示の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、説明は以下の順序で行う。
１．実施の形態（流路拡張部が溝部である例１：液体の流入側，流出側に設けた例）
２．変形例
変形例１（流路拡張部が溝部である例２：溝部の側面が曲面状である場合の例）
変形例２（流路拡張部が溝部である例３：流入側にのみ設けた例）
変形例３（流路拡張部が溝部である例４：流出側にのみ設けた例）
変形例４（流路拡張部がバイパス流路である例１：流入側，流出側に設けた例）
変形例５（流路拡張部がバイパス流路である例２：流入側にのみ設けた例）
変形例６（流路拡張部がバイパス流路である例３：流出側にのみ設けた例）
変形例７（流路拡張部が溝部である例５：エッジシュートタイプでの例）
変形例８（流路拡張部がバイパス流路である例４：エッジシュートタイプでの例）
３．その他の変形例

＜１．実施の形態＞
［プリンタ１の全体構成］
図１は、本開示の一実施の形態に係る液体噴射記録装置としてのプリンタ１の概略構成例を、模式的に斜視図にて表したものである。このプリンタ１は、後述するインク９を利用して、被記録媒体としての記録紙Ｐに対して、画像や文字等の記録（印刷）を行うインクジェットプリンタである。

プリンタ１は、図１に示したように、一対の搬送機構２ａ，２ｂと、インクタンク３と、インクジェットヘッド４と、循環機構５と、走査機構６とを備えている。これらの各部材は、所定形状を有する筺体１０内に収容されている。なお、本明細書の説明に用いられる各図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。

ここで、プリンタ１は、本開示における「液体噴射記録装置」の一具体例に対応し、インクジェットヘッド４（後述するインクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂ）は、本開示における「液体噴射ヘッド」の一具体例に対応している。また、インク９は、本開示における「液体」の一具体例に対応している。

搬送機構２ａ，２ｂはそれぞれ、図１に示したように、記録紙Ｐを搬送方向ｄ（Ｘ軸方向）に沿って搬送する機構である。これらの搬送機構２ａ，２ｂはそれぞれ、グリッドローラ２１、ピンチローラ２２および駆動機構（不図示）を有している。グリッドローラ２１およびピンチローラ２２はそれぞれ、Ｙ軸方向（記録紙Ｐの幅方向）に沿って延設されている。駆動機構は、グリッドローラ２１を軸周りに回転させる（Ｚ−Ｘ面内で回転させる）機構であり、例えばモータ等によって構成されている。

（インクタンク３）
インクタンク３は、インク９を内部に収容するタンクである。このインクタンク３としては、この例では図１に示したように、イエロー（Ｙ），マゼンダ（Ｍ），シアン（Ｃ），ブラック（Ｂ）の４色のインク９を個別に収容する、４種類のタンクが設けられている。すなわち、イエローのインク９を収容するインクタンク３Ｙと、マゼンダのインク９を収容するインクタンク３Ｍと、シアンのインク９を収容するインクタンク３Ｃと、ブラックのインク９を収容するインクタンク３Ｂとが設けられている。これらのインクタンク３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｂは、筺体１０内において、Ｘ軸方向に沿って並んで配置されている。

なお、インクタンク３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｂはそれぞれ、収容するインク９の色以外については同一の構成であるため、以下ではインクタンク３と総称して説明する。また、このインクタンク３（３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｂ）は、本開示における「収容部」の一具体例に対応している。

（インクジェットヘッド４）
インクジェットヘッド４は、後述する複数のノズル（ノズル孔Ｈ１，Ｈ２）から記録紙Ｐに対して液滴状のインク９を噴射（吐出）して、画像や文字等の記録を行うヘッドである。このインクジェットヘッド４としても、この例では図１に示したように、上記したインクタンク３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｂにそれぞれ収容されている４色のインク９を個別に噴射する、４種類のヘッドが設けられている。すなわち、イエローのインク９を噴射するインクジェットヘッド４Ｙと、マゼンダのインク９を噴射するインクジェットヘッド４Ｍと、シアンのインク９を噴射するインクジェットヘッド４Ｃと、ブラックのインク９を噴射するインクジェットヘッド４Ｂとが設けられている。これらのインクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂは、筺体１０内において、Ｙ軸方向に沿って並んで配置されている。

なお、インクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂはそれぞれ、利用するインク９の色以外については同一の構成であるため、以下ではインクジェットヘッド４と総称して説明する。また、このインクジェットヘッド４の詳細構成については、後述する（図２〜図５）。

（循環機構５）
循環機構５は、インクタンク３内とインクジェットヘッド４内との間でインク９を循環させるための機構である。この循環機構５は、例えば、インク９を循環させるための流路である循環流路５０と、一対の送液ポンプ５２ａ，５２ｂとを含んで構成されている。

循環流路５０は、図１に示したように、インクタンク３から送液ポンプ５２ａを介してインクジェットヘッド４へと至る部分である流路５０ａと、インクジェットヘッド４から送液ポンプ５２ｂを介してインクタンク３へと至る部分である流路５０ｂとを有している。言い換えると、流路５０ａは、インクタンク３からインクジェットヘッド４へと向かって、インク９が流れる流路である。また、流路５０ｂは、インクジェットヘッド４からインクタンク３へと向かって、インク９が流れる流路である。なお、これらの流路５０ａ，５０ｂ（インク９の供給チューブ）はそれぞれ、可撓性を有するフレキシブルホースにより構成されている。

（走査機構６）
走査機構６は、記録紙Ｐの幅方向（Ｙ軸方向）に沿って、インクジェットヘッド４を走査させる機構である。この走査機構６は、図１に示したように、Ｙ軸方向に沿って延設された一対のガイドレール６１ａ，６１ｂと、これらのガイドレール６１ａ，６１ｂに移動可能に支持されたキャリッジ６２と、このキャリッジ６２をＹ軸方向に沿って移動させる駆動機構６３と、を有している。また、駆動機構６３は、ガイドレール６１ａ，６１ｂの間に配置された一対のプーリ６３１ａ，６３１ｂと、これらのプーリ６３１ａ，６３１ｂ間に巻回された無端ベルト６３２と、プーリ６３１ａを回転駆動させる駆動モータ６３３と、を有している。

プーリ６３１ａ，６３１ｂはそれぞれ、Ｙ軸方向に沿って、各ガイドレール６１ａ，６１ｂにおける両端付近に対応する領域に配置されている。無端ベルト６３２には、キャリッジ６２が連結されている。このキャリッジ６２上には、前述した４種類のインクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂが、Ｙ軸方向に沿って並んで配置されている。

なお、このような走査機構６と前述した搬送機構２ａ，２ｂとにより、インクジェットヘッド４と記録紙Ｐとを相対的に移動させる、移動機構が構成されるようになっている。

［インクジェットヘッド４の詳細構成］
次に、図１に加えて図２〜図５を参照して、インクジェットヘッド４（ヘッドチップ４１）の詳細構成例について説明する。

図２は、ノズルプレート４１１（後出）を取り外した状態におけるインクジェットヘッド４の要部構成例を、模式的に底面図（Ｘ−Ｙ底面図）で表したものである。図３は、図２に示したＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿ったインクジェットヘッド４の断面構成例（Ｚ−Ｘ断面構成例）を、模式的に表したものである。同様に、図４は、図２に示したＩＶ−ＩＶ線に沿ったインクジェットヘッド４の断面構成例を模式的に表したものであり、後述するヘッドチップ４１における吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ（吐出溝）付近の断面構成例に対応している。また、図５は、図２に示したＶ−Ｖ線に沿ったインクジェットヘッド４の断面構成例を模式的に表したものであり、後述するヘッドチップ４１におけるダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄ（非吐出溝）付近の断面構成例に対応している。

本実施の形態のインクジェットヘッド４は、後述するヘッドチップ４１における複数のチャネル（複数のチャネルＣ１および複数のチャネルＣ２）の延在方向（後述する斜め方向）の中央部からインク９を吐出する、いわゆるサイドシュートタイプのインクジェットヘッドである。また、このインクジェットヘッド４は、前述した循環機構５（循環流路５０）を用いることで、インクタンク３との間でインク９を循環させて利用する、循環式のインクジェットヘッドである。

図３に示したように、インクジェットヘッド４は、ヘッドチップ４１および流路プレート４０を備えている。また、このインクジェットヘッド４には、図示しない制御機構（ヘッドチップ４１の動作を制御する機構）として、回路基板およびフレキシブルプリント基板（Flexible Printed Circuits：ＦＰＣ）が設けられている。

回路基板は、ヘッドチップ４１を駆動するための駆動回路（電気回路）を搭載する基板である。フレキシブルプリント基板は、この回路基板上の駆動回路と、ヘッドチップ４１における後述する駆動電極Ｅｄとの間を、電気的に接続するための基板である。なお、このようなフレキシブルプリント基板には、後述する複数の引き出し電極がプリント配線されるようになっている。

ヘッドチップ４１は、図３に示したように、インク９をＺ軸方向に沿って噴射する部材であり、各種のプレートを用いて構成されている。具体的には図３に示したように、ヘッドチップ４１は、ノズルプレート（噴射孔プレート）４１１、アクチュエータプレート４１２およびカバープレート４１３を、主に備えている。これらのノズルプレート４１１、アクチュエータプレート４１２およびカバープレート４１３と、上記した流路プレート４０とはそれぞれ、例えば接着剤等を用いて互いに貼り合わされており、Ｚ軸方向に沿ってこの順に積層されている。なお、以下では、Ｚ軸方向に沿って流路プレート４０側（カバープレート４１３側）を上方と称すると共に、ノズルプレート４１１側を下方と称して説明する。

（ノズルプレート４１１）
ノズルプレート４１１は、例えば５０μｍ程度の厚みを有する、ポリイミド等のフィルム材からなり、図３に示したように、アクチュエータプレート４１２の下面に接着されている。ただし、ノズルプレート４１１の構成材料は、ポリイミド等の樹脂材料には限られず、例えば金属材料であってもよい。また、図２に示したように、このノズルプレート４１１には、Ｘ軸方向に沿ってそれぞれ延在する、２列のノズル列（ノズル列Ａｎ１，Ａｎ２）が設けられている。これらのノズル列Ａｎ１，Ａｎ２同士は、Ｙ軸方向に沿って所定の間隔をおいて配置されている。このように、本実施の形態のインクジェットヘッド４（ヘッドチップ４１）は、２列タイプのインクジェットヘッド（ヘッドチップ）となっている。

ノズル列Ａｎ１は、Ｘ軸方向に沿って所定の間隔をおいて一直線上に並んで形成された、複数のノズル孔Ｈ１を有している。これらのノズル孔Ｈ１はそれぞれ、ノズルプレート４１１をその厚み方向（Ｚ軸方向）に沿って貫通しており、例えば図３および図４に示したように、後述するアクチュエータプレート４１２における吐出チャネルＣ１ｅ内に個別に連通している。具体的には図２に示したように、各ノズル孔Ｈ１は、吐出チャネルＣ１ｅの延在方向（後述する斜め方向）に沿った中央部に位置するように形成されている。また、ノズル孔Ｈ１におけるＸ軸方向に沿った形成ピッチは、吐出チャネルＣ１ｅにおけるＸ軸方向に沿った形成ピッチと同一（同一ピッチ）となっている。このようなノズル列Ａｎ１内のノズル孔Ｈ１からは、詳細は後述するが、吐出チャネルＣ１ｅ内から供給されるインク９が吐出（噴射）されるようになっている。

ノズル列Ａｎ２も同様に、Ｘ軸方向に沿って所定の間隔をおいて一直線上に並んで形成された、複数のノズル孔Ｈ２を有している。これらのノズル孔Ｈ２もそれぞれ、ノズルプレート４１１をその厚み方向に沿って貫通しており、後述するアクチュエータプレート４１２における吐出チャネルＣ２ｅ内に個別に連通している。具体的には図２に示したように、各ノズル孔Ｈ２は、吐出チャネルＣ２ｅの延在方向（後述する斜め方向）に沿った中央部に位置するように形成されている。また、ノズル孔Ｈ２におけるＸ軸方向に沿った形成ピッチは、吐出チャネルＣ２ｅにおけるＸ軸方向に沿った形成ピッチと同一となっている。このようなノズル列Ａｎ２内のノズル孔Ｈ２からも、詳細は後述するが、吐出チャネルＣ２ｅ内から供給されるインク９が吐出されるようになっている。

また、図２に示したように、ノズル列Ａｎ１における各ノズル孔Ｈ１と、ノズル列Ａｎ２における各ノズル孔Ｈ２とは、Ｘ軸方向に沿って互い違いとなるように配置されている。したがって、本実施の形態のインクジェットヘッド４では、ノズル列Ａｎ１におけるノズル孔Ｈ１と、ノズル列Ａｎ２におけるノズル孔Ｈ２とが、千鳥状に配置されている。なお、このようなノズル孔Ｈ１，Ｈ２はそれぞれ、下方に向かうに従って漸次縮径するテーパ状の貫通孔となっている。

（アクチュエータプレート４１２）
アクチュエータプレート４１２は、例えばＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等の圧電材料により構成されたプレートである。このアクチュエータプレート４１２は、図３に示したように、分極方向が互いに異なる２つの圧電基板を、厚み方向（Ｚ軸方向）に沿って積層して構成されている（いわゆる、シェブロンタイプ）。ただし、アクチュエータプレート４１２の構成としては、このシェブロンタイプには限られない。すなわち、例えば、分極方向が厚み方向（Ｚ軸方向）に沿って一方向に設定されている１つ（単一）の圧電基板によって、アクチュエータプレート４１２を構成するようにしてもよい（いわゆる、カンチレバータイプ）。

また、図２に示したように、アクチュエータプレート４１２には、Ｘ軸方向に沿ってそれぞれ延在する、２列のチャネル列（チャネル列４２１，４２２）が設けられている。これらのチャネル列４２１，４２２同士は、Ｙ軸方向に沿って所定の間隔をおいて配置されている。

このようなアクチュエータプレート４１２では、図２に示したように、Ｘ軸方向に沿った中央部（チャネル列４２１，４２２の形成領域）に、インク９の吐出領域（噴射領域）が設けられている。一方、アクチュエータプレート４１２において、Ｘ軸方向に沿った両端部（チャネル列４２１，４２２の非形成領域）には、インク９の非吐出領域（非噴射領域）が設けられている。この非吐出領域は、上記した吐出領域に対して、Ｘ軸方向に沿った外側に位置している。なお、アクチュエータプレート４１２におけるＹ軸方向に沿った両端部はそれぞれ、図２に示したように、尾部４２０を構成している。

上記したチャネル列４２１は、図２および図３に示したように、複数のチャネルＣ１を有している。これらのチャネルＣ１は、図２に示したように、アクチュエータプレート４１２内においてＹ軸方向から所定の角度（鋭角）を成す、斜め方向に沿って延在している。また、これらのチャネルＣ１は、図２に示したように、Ｘ軸方向に沿って所定の間隔をおいて互いに平行となるよう、並んで配置されている。各チャネルＣ１は、圧電体（アクチュエータプレート４１２）からなる駆動壁Ｗｄによってそれぞれ画成されており、断面視にて凹状の溝部となっている（図３参照）。

チャネル列４２２も同様に、図２に示したように、上記した斜め方向に沿って延在する複数のチャネルＣ２を有している。これらのチャネルＣ２は、図２に示したように、Ｘ軸方向に沿って所定の間隔をおいて互いに平行となるよう、並んで配置されている。各チャネルＣ２もまた、上記した駆動壁Ｗｄによってそれぞれ画成されており、断面視にて凹状の溝部となっている。

ここで、図２〜図５に示したように、チャネルＣ１には、インク９を吐出させるための吐出チャネルＣ１ｅ（吐出溝）と、インク９を吐出させないダミーチャネルＣ１ｄ（非吐出溝）とが存在している。図２および図３に示したように、チャネル列４２１において、これらの吐出チャネルＣ１ｅとダミーチャネルＣ１ｄとは、Ｘ軸方向に沿って交互に配置されている。各吐出チャネルＣ１ｅは、ノズルプレート４１１におけるノズル孔Ｈ１と連通している一方、各ダミーチャネルＣ１ｄはノズル孔Ｈ１には連通しておらず、ノズルプレート４１１の上面によって下方から覆われている（図３〜図５参照）。

同様に、図２，図４，図５に示したように、チャネルＣ２には、インク９を吐出させるための吐出チャネルＣ２ｅ（吐出溝）と、インク９を吐出させないダミーチャネルＣ２ｄ（非吐出溝）とが存在している。図２に示したように、チャネル列４２２において、これらの吐出チャネルＣ２ｅとダミーチャネルＣ２ｄとは、Ｘ軸方向に沿って交互に配置されている。各吐出チャネルＣ２ｅは、ノズルプレート４１１におけるノズル孔Ｈ２と連通している一方、各ダミーチャネルＣ２ｄはノズル孔Ｈ２には連通しておらず、ノズルプレート４１１の上面によって下方から覆われている（図４，図５参照）。

なお、このような吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅはそれぞれ、本開示における「吐出溝」の一具体例に対応している。

また、図２中のＩＶ−ＩＶ線で示したように、チャネル列４２１における吐出チャネルＣ１ｅと、チャネル列４２２における吐出チャネルＣ２ｅとは、これら吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの延在方向（前述した斜め方向）に沿って、一直線上に配置されている（図４参照）。同様に、図２中のＶ−Ｖ線で示したように、チャネル列４２１におけるダミーチャネルＣ１ｄと、チャネル列４２２におけるダミーチャネルＣ２ｄとは、これらダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄの延在方向（上記斜め方向）に沿って、一直線上に配置されている（図５参照）。

ここで、図３に示したように、上記した駆動壁Ｗｄにおける対向する内側面にはそれぞれ、上記した斜め方向に沿って延在する、駆動電極Ｅｄが設けられている。この駆動電極Ｅｄには、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅに面する内側面に設けられた共通電極（コモン電極）Ｅｄｃと、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄに面する内側面に設けられた個別電極（アクティブ電極）Ｅｄａとが存在している。なお、このような駆動電極Ｅｄ（共通電極Ｅｄｃおよび個別電極Ｅｄａ）は、図３に示したように、駆動壁Ｗｄの内側面上において、深さ方向（Ｚ軸方向）の全体に亘って形成されている。

同一の吐出チャネルＣ１ｅ（または吐出チャネルＣ２ｅ）内で対向する一対の共通電極Ｅｄｃ同士は、図示しない共通端子（共通配線）において互いに電気的に接続されている。また、同一のダミーチャネルＣ１ｄ（またはダミーチャネルＣ２ｄ）内で対向する一対の個別電極Ｅｄａ同士は、互いに電気的に分離されている。一方、吐出チャネルＣ１ｅ（または吐出チャネルＣ２ｅ）を介して対向する一対の個別電極Ｅｄａ同士は、図示しない個別端子（個別配線）において互いに電気的に接続されている。

ここで、前述した尾部４２０においては、駆動電極Ｅｄと前述した回路基板との間を電気的に接続するための、前述したフレキシブルプリント基板が実装されている。このフレキシブルプリント基板に形成された配線パターン（不図示）は、上記した共通配線および個別配線に対して電気的に接続されている。これにより、フレキシブルプリント基板を介して、上記した回路基板上の駆動回路から各駆動電極Ｅｄに対して、駆動電圧が印加されるようになっている。

（カバープレート４１３）
カバープレート４１３は、図２〜図５に示したように、アクチュエータプレート４１２における各チャネルＣ１，Ｃ２（各チャネル列４２１，４２２）を閉塞するように配置されている。具体的には、このカバープレート４１３は、アクチュエータプレート４１２の上面に接着されており、板状構造となっている。

カバープレート４１３には、図５に示したように、一対の入口側共通インク室Ｒin１，Ｒin２と、一対の出口側共通インク室Ｒout１，Ｒout２とが、それぞれ形成されている。これらの入口側共通インク室Ｒin１，Ｒin２および出口側共通インク室Ｒout１，Ｒout２はそれぞれ、Ｘ軸方向に沿って延在していると共に、所定の間隔をおいて互いに平行となるよう、並んで配置されている。また、入口側共通インク室Ｒin１および出口側共通インク室Ｒout１はそれぞれ、アクチュエータプレート４１２におけるチャネル列４２１（複数のチャネルＣ１）に対応する領域に形成されている。一方、入口側共通インク室Ｒin２および出口側共通インク室Ｒout２はそれぞれ、アクチュエータプレート４１２におけるチャネル列４２２（複数のチャネルＣ２）に対応する領域に形成されている。

入口側共通インク室Ｒin１は、各チャネルＣ１におけるＹ軸方向に沿った内側の端部付近に形成されており、凹状の溝部となっている（図５参照）。この入口側共通インク室Ｒin１において、各吐出チャネルＣ１ｅに対応する領域には、カバープレート４１３をその厚み方向（Ｚ軸方向）に沿って貫通する、供給スリットＳin１が形成されている（図４参照）。同様に、入口側共通インク室Ｒin２は、各チャネルＣ２におけるＹ軸方向に沿った内側の端部付近に形成されており、凹状の溝部となっている（図５参照）。この入口側共通インク室Ｒin２において、各吐出チャネルＣ２ｅに対応する領域にも、カバープレート４１３をその厚み方向に沿って貫通する、供給スリットＳin２が形成されている（図４参照）。

なお、これらの供給スリットＳin１，Ｓin２はそれぞれ、本開示における「貫通孔」および「第１貫通孔」の一具体例に対応している。

出口側共通インク室Ｒout１は、各チャネルＣ１におけるＹ軸方向に沿った外側の端部付近に形成されており、凹状の溝部となっている（図５参照）。この出口側共通インク室Ｒout１において、各吐出チャネルＣ１ｅに対応する領域には、カバープレート４１３をその厚み方向に沿って貫通する、排出スリットＳout１が形成されている（図４参照）。同様に、出口側共通インク室Ｒout２は、各チャネルＣ２におけるＹ軸方向に沿った外側の端部付近に形成されており、凹状の溝部となっている（図５参照）。この出口側共通インク室Ｒout２において、各吐出チャネルＣ２ｅに対応する領域にも、カバープレート４１３をその厚み方向に沿って貫通する、排出スリットＳout２が形成されている（図４参照）。

なお、これらの排出スリットＳout１，Ｓout２はそれぞれ、本開示における「貫通孔」および「第２貫通孔」の一具体例に対応している。

このようにして、入口側共通インク室Ｒin１および出口側共通インク室Ｒout１はそれぞれ、供給スリットＳin１および排出スリットＳout１を介して各吐出チャネルＣ１ｅに連通する一方、各ダミーチャネルＣ１ｄには連通していない（図４，図５参照）。すなわち、各ダミーチャネルＣ１ｄは、これら入口側共通インク室Ｒin１および出口側共通インク室Ｒout１における底部によって、閉塞されるようになっている（図５参照）。

同様に、入口側共通インク室Ｒin２および出口側共通インク室Ｒout２はそれぞれ、供給スリットＳin２および排出スリットＳout２を介して各吐出チャネルＣ２ｅに連通する一方、各ダミーチャネルＣ２ｄには連通していない（図４，図５参照）。すなわち、各ダミーチャネルＣ２ｄは、これら入口側共通インク室Ｒin２および出口側共通インク室Ｒout２における底部によって、閉塞されるようになっている（図５参照）。

（流路プレート４０）
流路プレート４０は、図３に示したように、カバープレート４１３の上面に配置されており、インク９が流れる所定の流路（不図示）を有している。また、このような流路プレート４０内の流路には、前述した循環機構５における流路５０ａ，５０ｂが接続されており、この流路に対するインク９の流入と、この流路からのインク９の流出とが、それぞれなされるようになっている。

［吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ付近の流路構造］
次に、前述した図４（吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ付近の断面構成例）を参照して、前述した供給スリットＳin１，Ｓin２および排出スリットＳout１，Ｓout２と吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅとを連通する部分のインク９の流路構造について、詳細に説明する。

この図４に示したように、本実施の形態のヘッドチップ４１では、カバープレート４１３に、供給スリットＳin１，Ｓin２および排出スリットＳout１，Ｓout２と、壁部Ｗ１，Ｗ２とが設けられている。具体的には、供給スリットＳin１および排出スリットＳout１はそれぞれ、吐出チャネルＣ１ｅとの間でインク９が流れる貫通孔であり、供給スリットＳin２および排出スリットＳout２はそれぞれ、吐出チャネルＣ２ｅとの間でインク９が流れる貫通孔である。詳細には図４中の破線の矢印で示したように、供給スリットＳin１，Ｓin２はそれぞれ、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内にインク９を流入させるための貫通孔であり、排出スリットＳout１，Ｓout２はそれぞれ、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内からインク９を流出させるための貫通孔である。また、上記した壁部Ｗ１は、吐出チャネルＣ１ｅの上方を覆うように配置されており、上記した壁部Ｗ２は、吐出チャネルＣ２ｅの上方を覆うように配置されている。これらの吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅはそれぞれ、図４に示したように、カバープレート４１３側（上方）からノズルプレート４１１側（下方）へ向けて吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの断面積が徐々に小さくなる、円弧状の側面を有している。なお、このような吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅにおける円弧状の側面はそれぞれ、例えば、ダイサーによる切削加工によって形成されるようになっている。

ここで、本実施の形態のヘッドチップ４１では、このような供給スリットＳin１，Ｓin２および排出スリットＳout１，Ｓout２と吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅとを連通する部分（連通部分）のインク９の流路構造が、以下のようになっている。すなわち、図４に示したように、この連通部分のインク９の流路がそれぞれ、メインの流路部分である主流路部Ｆｍと、壁部Ｗ１，Ｗ２に形成されていると共にこの連通部分の流路の断面積を広げる部分である拡張流路部Ｆｅとを有している。具体的には、本実施の形態では図４に示したように、この拡張流路部Ｆｅが、供給スリットＳin１，Ｓin２および排出スリットＳout１，Ｓout２と吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅにおける各内側面のうちのノズル孔Ｈ１，Ｈ２側の縁部に形成された、溝部Ｄin，Ｄoutとなっている。より具体的には、供給スリットＳin１における内側面のうちのノズル孔Ｈ１側の縁部に、溝部Ｄinが形成され、供給スリットＳin２における内側面のうちのノズル孔Ｈ２側の縁部に、溝部Ｄinが形成されている。また、排出スリットＳout１における内側面のうちのノズル孔Ｈ１側の縁部に、溝部Ｄoutが形成され、排出スリットＳout２における内側面のうちのノズル孔Ｈ２側の縁部に、溝部Ｄoutが形成されている。

なお、これらの溝部Ｄin，Ｄoutはそれぞれ、上記した各内側面のうちのノズル孔Ｈ１，Ｈ２側の縁部（角部）が面取りされることで形成される（面取り形成される）ようになっている。また、図４に示したように、本実施の形態では、溝部Ｄin，Ｄoutの側面はそれぞれ、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅへ向かうに従って（下方に向かって）溝部Ｄin，Ｄoutの断面積が徐々に大きくなる、逆テーパ状となっている。

ここで、本実施の形態のヘッドチップ４１では、供給スリットＳin１，Ｓin２および排出スリットＳout１，Ｓout２のうち、少なくとも供給スリットＳin１，Ｓin２と吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅとを連通する部分の流路に、上記した拡張流路部Ｆｅが設けられている。具体的には、本実施の形態では図４に示したように、供給スリットＳin１，Ｓin２と吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅとを連通する部分の流路、および、排出スリットＳout１，Ｓout２と吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅとを連通する部分の流路の双方に、拡張流路部Ｆｅが設けられている。つまり、本実施の形態では、上記した溝部Ｄin，Ｄoutの双方が設けられるようになっている。

［動作および作用・効果］
（Ａ．プリンタ１の基本動作）
このプリンタ１では、以下のようにして、記録紙Ｐに対する画像や文字等の記録動作（印刷動作）が行われる。なお、初期状態として、図１に示した４種類のインクタンク３（３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｂ）にはそれぞれ、対応する色（４色）のインク９が十分に封入されているものとする。また、インクタンク３内のインク９は、循環機構５を介してインクジェットヘッド４内に充填された状態となっている。

このような初期状態において、プリンタ１を作動させると、搬送機構２ａ，２ｂにおけるグリッドローラ２１がそれぞれ回転することで、グリッドローラ２１とピンチローラ２２と間に、記録紙Ｐが搬送方向ｄ（Ｘ軸方向）に沿って搬送される。また、このような搬送動作と同時に、駆動機構６３における駆動モータ６３３が、プーリ６３１ａ，６３１ｂをそれぞれ回転させることで、無端ベルト６３２を動作させる。これにより、キャリッジ６２がガイドレール６１ａ，６１ｂにガイドされながら、記録紙Ｐの幅方向（Ｙ軸方向）に沿って往復移動する。そしてこの際に、各インクジェットヘッド４（４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂ）によって、４色のインク９を記録紙Ｐに適宜吐出させることで、この記録紙Ｐに対する画像や文字等の記録動作がなされる。

（Ｂ．インクジェットヘッド４における詳細動作）
次いで、図１〜図５を参照して、インクジェットヘッド４における詳細動作（インク９の噴射動作）について説明する。すなわち、本実施の形態のインクジェットヘッド４（サイドシュートタイプ）では、以下のようにして、せん断（シェア）モードを用いたインク９の噴射動作が行われる。

まず、上記したキャリッジ６２（図１参照）の往復移動が開始されると、前述した回路基板上の駆動回路は、前述したフレキシブルプリント基板を介して、インクジェットヘッド４内の駆動電極Ｅｄ（共通電極Ｅｄｃおよび個別電極Ｅｄａ）に対し、駆動電圧を印加する。具体的には、この駆動回路は、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅを画成する一対の駆動壁Ｗｄに配置された各駆動電極Ｅｄに対し、駆動電圧を印加する。これにより、これら一対の駆動壁Ｗｄがそれぞれ、その吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅに隣接するダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄ側へ、突出するように変形する（図３参照）。

ここで、前述したように、アクチュエータプレート４１２では、分極方向が厚み方向に沿って異なっている（前述した２つの圧電基板が積層されている）と共に、駆動電極Ｅｄが、駆動壁Ｗｄにおける内側面上の深さ方向の全体に亘って形成されている。このため、上記した駆動回路によって駆動電圧を印加することで、駆動壁Ｗｄにおける深さ方向の中間位置を中心として、駆動壁ＷｄがＶ字状に屈曲変形することになる。そして、このような駆動壁Ｗｄの屈曲変形により、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅがあたかも膨らむように変形する。ちなみに、アクチュエータプレート４１２の構成が、このようなシェブロンタイプではなく、前述したカンチレバータイプである場合には、以下のようにして、駆動壁ＷｄがＶ字状に屈曲変形する。すなわち、このカンチレバータイプの場合、駆動電極Ｅｄが深さ方向の上半分まで斜め蒸着によって取り付けられることになるため、この駆動電極Ｅｄが形成されている部分のみに駆動力が及ぶことによって、駆動壁Ｗｄが（駆動電極Ｅｄの深さ方向端部において）屈曲変形する。その結果、この場合においても、駆動壁ＷｄがＶ字状に屈曲変形するため、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅがあたかも膨らむように変形することになる。

このように、一対の駆動壁Ｗｄでの圧電厚み滑り効果による屈曲変形によって、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの容積が増大する。そして、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの容積が増大することにより、入口側共通インク室Ｒin１，Ｒin２内に貯留されたインク９が、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内へ誘導されることになる（図４参照）。

次いで、このようにして吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内へ誘導されたインク９は、圧力波となって吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの内部に伝播する。そして、ノズルプレート４１１のノズル孔Ｈ１，Ｈ２にこの圧力波が到達したタイミングで、駆動電極Ｅｄに印加される駆動電圧が、０（ゼロ）Ｖとなる。これにより、上記した屈曲変形の状態から駆動壁Ｗｄが復元する結果、一旦増大した吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの容積が、再び元に戻ることになる（図３参照）。

このようにして、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの容積が元に戻ると、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内部の圧力が増加し、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内のインク９が加圧される。その結果、液滴状のインク９が、ノズル孔Ｈ１，Ｈ２を通って外部へと（記録紙Ｐへ向けて）吐出される（図３，図４参照）。このようにしてインクジェットヘッド４におけるインク９の噴射動作（吐出動作）がなされ、その結果、記録紙Ｐに対する画像や文字等の記録動作が行われることになる。

特に、本実施の形態のノズル孔Ｈ１，Ｈ２はそれぞれ、前述したように、出口に向かうに従って漸次縮径するテーパ状の断面となっているため（図３，図４参照）、インク９を高速度で真っ直ぐに（直進性良く）吐出することができる。よって、高画質な記録を行うことが可能となる。

（Ｃ．インク９の循環動作）
続いて、図１，図４を参照して、循環機構５によるインク９の循環動作について、詳細に説明する。

図１に示したように、このプリンタ１では、送液ポンプ５２ａによって、インクタンク３内から流路５０ａ内へと、インク９が送液される。また、送液ポンプ５２ｂによって、流路５０ｂ内を流れるインク９が、インクタンク３内へと送液される。

この際に、インクジェットヘッド４内では、インクタンク３内から流路５０ａを介して流れるインク９が、入口側共通インク室Ｒin１，Ｒin２へと流入する。これらの入口側共通インク室Ｒin１，Ｒin２へと供給されたインク９は、図４に示したように、供給スリットＳin１，Ｓin２を介して、アクチュエータプレート４１２における各吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内へと供給される。

また、各吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内のインク９は、図４に示したように、排出スリットＳout１，Ｓout２を介して、各出口側共通インク室Ｒout１，Ｒout２内へと流入する。これらの出口側共通インク室Ｒout１，Ｒout２へ供給されたインク９は、流路５０ｂへと排出されることで、インクジェットヘッド４内から流出される。そして、流路５０ｂへと排出されたインク９は、インクタンク３内へと戻されることになる。このようにして、循環機構５によるインク９の循環動作がなされる。

ここで、循環式ではないインクジェットヘッドでは、乾燥性の高いインクを使用した場合、ノズル孔の近傍でのインクの乾燥に起因して、インクの局所的な高粘度化や固化が生じる結果、インク不吐出の不良が発生するおそれがある。これに対して、本実施の形態のインクジェットヘッド４（循環式のインクジェットヘッド）では、ノズル孔Ｈ１，Ｈ２の近傍に常に新鮮なインク９が供給されることから、上記したようなインク不吐出の不良が回避されることになる。

（Ｄ．作用・効果）
次に、本実施の形態のヘッドチップ４１、インクジェットヘッド４およびプリンタ１における作用および効果について、比較例と比較しつつ詳細に説明する。

（比較例）
図６は、比較例に係るヘッドチップ（ヘッドチップ１０４）の断面構成例を模式的に表したものであり、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ付近の断面構成例に対応している。この比較例のヘッドチップ１０４は、図６に示したように、図４に示した本実施の形態のヘッドチップ４１において、前述した拡張流路部Ｆｅを設けないようにしたものに対応している。具体的には、このヘッドチップ１０４では、供給スリットＳin１，Ｓin２および排出スリットＳout１，Ｓout２と吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅとを連通する部分のインク９の流路がそれぞれ、主流路部Ｆｍのみで構成されている。つまり、ヘッドチップ１０４におけるカバープレート１０３には、ヘッドチップ４１におけるカバープレート４１３とは異なり、溝部Ｄin，Ｄoutの双方が設けられていない。

このような比較例のヘッドチップ１０４では、供給スリットＳin１，Ｓin２および排出スリットＳout１，Ｓout２と吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅとを連通する部分（連通部分）の流路において、その断面積が小さい（狭い）ことから、例えば以下のようになる。すなわち、インク９の流量が確保しにくくなることから、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅへのインク９の供給量不足が生じ、その結果、例えば抜けや白スジ等の吐出不良が生じるおそれがある。つまり、この比較例のヘッドチップ１０４では、吐出安定性が損なわれるおそれがある。なお、上記した連通部分の流路の断面積を広げようとして、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅのサイズ（中央付近の直線状部分の長さ）を大きくすると、ヘッドチップ１０４におけるＹ軸方向（短手方向）の長さが大きくなってしまい、チップサイズの大型化を招くことになる。

（本実施の形態）
これに対して本実施の形態のヘッドチップ４１では、図４に示したように、供給スリットＳin１，Ｓin２および排出スリットＳout１，Ｓout２と吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅとを連通する部分（連通部分）のインク９の流路に、その流路の断面積を広げる拡張流路部Ｆｅが設けられている。

これによりヘッドチップ４１では、上記比較例のヘッドチップ１０４のように、そのような拡張流路部Ｆｅが設けられていない場合（主流路部Ｆｍのみが設けらている場合）と比べ、以下のようになる。すなわち、上記した連通部分の流路において、流路の断面積が大きくなるため、インク９の流量が確保し易くなることから、例えば上記したような、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅへのインク９の供給量不足に起因した、抜けや白スジ等の吐出不良が低減される。よって、本実施の形態では上記比較例と比べ、ヘッドチップ４１、インクジェットヘッド４およびプリンタ１における吐出安定性を向上させることが可能となる。

また、このような拡張流路部Ｆｅを設けることで、上記した連通部分の流路の断面積を広げることができることから、例えば上記したように、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅのサイズ（中央付近の直線状部分の長さ）を大きくしなくても済むようになる。よって、ヘッドチップ４１におけるチップサイズの大型化を防止する（チップサイズの小型化を図る）ことも可能となる。

また、特に本実施の形態では、図４に示したように、このような拡張流路部Ｆｅが、供給スリットＳin１，Ｓin２および排出スリットＳout１，Ｓout２における各内側面のうちのノズル孔Ｈ１，Ｈ２側の縁部に形成された、溝部Ｄin，Ｄoutにより構成されている。これにより、供給スリットＳin１，Ｓin２内から吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅを介して、インク９がノズル孔Ｈ１，Ｈ２へ向けて流れる際に、インク９の流れがスムーズとなる。よって、本実施の形態では、ヘッドチップ４１における吐出安定性を更に向上させることが可能となる。

更に、本実施の形態では図４に示したように、このような溝部Ｄin，Ｄoutの側面が、前述した逆テーパ状となっているため、溝部Ｄin，Ｄoutにおける角部付近に気泡が溜まりにくくなり（気泡が流れ易くなり）、インク９の流れがよりスムーズとなる。よって、ヘッドチップ４１における吐出安定性を更に向上させることが可能となる。ちなみに、気泡がこのような角部等に溜まると、気泡の周囲に乱流が発生するため、インク９の流れが複雑となり、吐出安定性に悪影響を及ぼすことになる。

加えて、本実施の形態では図４に示したように、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内へのインク９の流入側（供給スリットＳin１，Ｓin２側）に、少なくとも拡張流路部Ｆｅが設けられている。これにより、例えば、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内からのインク９の流出側（排出スリットＳout１，Ｓout２側）にのみ拡張流路部Ｆｅが設けられている場合（後述する変形例３に相当）と比べ、以下のようになる。すなわち、少なくともインク９の流入側に拡張流路部Ｆｅが設けられていることから、インク９の吐出動作に直接寄与することとなり、その結果、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅへのインク９の供給量不足に起因した吐出不良の低減効果が、大きくなる。よって、ヘッドチップ４１における吐出安定性の更なる向上を図ることが可能となる。

また、特に本実施の形態では、図４に示したように、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅに対するインク９の流入側（供給スリットＳin１，Ｓin２側）および流出側（排出スリットＳout１，Ｓout２側）の双方に、拡張流路部Ｆｅ（溝部Ｄin，Ｄout）が設けられている。これにより、ヘッドチップ４１と外部（インクタンク３）とのインク９の循環流量が、確保し易くなる。よって、ヘッドチップ４１における吐出安定性をより一層向上させることが可能となる。

更に、本実施の形態では図４に示したように、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅにおける側面がそれぞれ、前述した円弧状となっている。このように、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの側面が円弧状である場合、供給スリットＳin１，Ｓin２および排出スリットＳout１，Ｓout２と吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅとの間を流れるインク９の流路における断面積が、特に狭くなる傾向となる。したがって、この場合、上記したような、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅへのインク９の供給量不足に起因した吐出不良の低減効果が、特に大きくなると言える。

＜２．変形例＞
続いて、上記実施の形態の変形例（変形例１〜８）について説明する。なお、実施の形態における構成要素と同一のものには同一の符号を付し、適宜説明を省略する。

［変形例１］
図７は、変形例１に係るヘッドチップ（ヘッドチップ４１Ａ）の断面構成例を模式的に表したものであり、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ付近の断面構成例に対応している。この変形例１のヘッドチップ４１Ａ（カバープレート４１３Ａ）は、図４に示した実施の形態のヘッドチップ４１（カバープレート４１３）において、拡張流路部Ｆｅを構成する溝部Ｄin，Ｄoutの側面形状を変更したものに対応しており、他の構成は基本的に同様となっている。

具体的には、実施の形態のヘッドチップ４１（図４）では、溝部Ｄin，Ｄoutの側面が前述した逆テーパ状となっている。これに対し、本変形例のヘッドチップ４１Ａ（図７）では、溝部Ｄin，Ｄoutの側面がそれぞれ、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅへ向かうに従って（下方に向かって）溝部Ｄin，Ｄoutの断面積が徐々に大きくなる、曲面状となっている。なお、このような曲面状の側面は、例えば、サンドブラスト加工により形成することが可能である。

このような構成の本変形例のヘッドチップ４１Ａにおいても、基本的には実施の形態のヘッドチップ４１と同様の作用により、同様の効果を得ることが可能である。

具体的には、本変形例では、溝部Ｄin，Ｄoutの側面が前述した曲面状となっているため、実施の形態と同様に、溝部Ｄin，Ｄoutにおける角部付近に気泡が溜まりにくくなり（気泡が流れ易くなり）、インク９の流れがよりスムーズとなる。よって、ヘッドチップ４１Ａにおける吐出安定性を更に向上させることが可能となる。

［変形例２，３］
図８は、変形例２に係るヘッドチップ（ヘッドチップ４１Ｂ）の断面構成例を模式的に表したものであり、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ付近の断面構成例に対応している。また、図９は、変形例３に係るヘッドチップ（ヘッドチップ４１Ｃ）の断面構成例を模式的に表したものであり、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ付近の断面構成例に対応している。

図８に示した変形例２のヘッドチップ４１Ｂ（カバープレート４１３Ｂ）では、図４に示した実施の形態のヘッドチップ４１（カバープレート４１３）とは異なり、以下のようになっている。すなわち、このヘッドチップ４１Ｂでは、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内へのインク９の流入側（供給スリットＳin１，Ｓin２側）にのみ、拡張流路部Ｆｅ（溝部Ｄin）が設けられている。

一方、図９に示した変形例３のヘッドチップ４１Ｃ（カバープレート４１３Ｃ）では、図４に示した実施の形態のヘッドチップ４１（カバープレート４１３）とは異なり、以下のようになっている。すなわち、このヘッドチップ４１Ｃでは、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内からのインク９の流出側（排出スリットＳout１，Ｓout２側）にのみ、拡張流路部Ｆｅ（溝部Ｄout）が設けられている。

このような構成の変形例２，３のヘッドチップ４１Ｂ，４１Ｃにおいても、基本的には実施の形態のヘッドチップ４１と同様の作用により、同様の効果を得ることが可能である。

ただし、実施の形態のヘッドチップ４１では、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅに対するインク９の流入側および流出側の双方に拡張流路部Ｆｅ（溝部Ｄin，Ｄout）が設けられていることから、これら変形例２，３のヘッドチップ４１Ｂ，４１Ｃでは、以下のようになる。すなわち、実施の形態と比べると、変形例２，３では前述した吐出不良の低減効果が小さくなり、特に変形例３ではインク９の吐出動作に直接寄与することができないことから、その低減効果がより小さくなる。したがって、実施の形態のように、インク９の流入側および流出側の双方に拡張流路部Ｆｅ（溝部Ｄin，Ｄout）を設けるのが望ましいと言える。

［変形例４］
図１０は、変形例４に係るヘッドチップ（ヘッドチップ４１Ｄ）の断面構成例を模式的に表したものであり、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ付近の断面構成例に対応している。この変形例４のヘッドチップ４１Ｄ（カバープレート４１３Ｄ）は、図４に示した実施の形態のヘッドチップ４１（カバープレート４１３）において、拡張流路部Ｆｅの構造を変更したものに対応しており、他の構成は基本的に同様となっている。

具体的には、実施の形態のヘッドチップ４１（図４）では、拡張流路部Ｆｅを前述した溝部Ｄin，Ｄoutにより構成している。これに対し、本変形例のヘッドチップ４１Ｄ（図１０）では、拡張流路部Ｆｅが、以下説明するバイパス流路Ｆｂin，Ｆｂoutにより構成されている。

バイパス流路Ｆｂinは、図１０に示したように、供給スリットＳin１，Ｓin２の内側面から壁部Ｗ１，Ｗ２内を貫通して吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅへと至る流路である。具体的には、このヘッドチップ４１Ｄでは、供給スリットＳin１の内側面から壁部Ｗ１内を貫通して吐出チャネルＣ１ｅへと至るバイパス流路Ｆｂinと、供給スリットＳin２の内側面から壁部Ｗ２内を貫通して吐出チャネルＣ２ｅへと至るバイパス流路Ｆｂinとが設けられている。

また、バイパス流路Ｆｂoutは、図１０に示したように、排出スリットＳout１，Ｓout２の内側面から壁部Ｗ１，Ｗ２内を貫通して吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅへと至る流路である。具体的には、このヘッドチップ４１Ｄでは、排出スリットＳout１の内側面から壁部Ｗ１内を貫通して吐出チャネルＣ１ｅへと至るバイパス流路Ｆｂoutと、排出スリットＳout２の内側面から壁部Ｗ２内を貫通して吐出チャネルＣ２ｅへと至るバイパス流路Ｆｂoutとが設けられている。

このように本変形例のヘッドチップ４１Ｄでは、拡張流路部Ｆｅが、上記したバイパス流路Ｆｂin，Ｆｂoutにより構成されている。換言すると、このヘッドチップ４１Ｄでは、供給スリットＳin１，Ｓin２および排出スリットＳout１，Ｓout２と吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅとを連通する部分（連通部分）のインク９の流路が、互いに独立した複数の流路部（主流路部Ｆｍおよびバイパス流路Ｆｂin，Ｆｂout）により構成されている。これにより、ゴミなどの異物がこの連通部分の流路内に詰まるリスクが低減すると共に、この連通部分の流路全体の経路や位置、形状等が自由に設計できるようになる。よって、前述したように、インク９の供給量不足に起因した吐出不良を低減して、ヘッドチップ４１Ｄにおける吐出安定性を向上させることが可能となるのに加え、ヘッドチップ４１Ｄの信頼性を向上させることが可能となると共に、利便性を向上させることも可能となる。

また、本変形例では図１０に示したように、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内へのインク９の流入側（供給スリットＳin１，Ｓin２側）に、少なくとも拡張流路部Ｆｅが設けられている。これにより、例えば、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内からのインク９の流出側（排出スリットＳout１，Ｓout２側）にのみ拡張流路部Ｆｅが設けられている場合（後述する変形例６に相当）と比べ、以下のようになる。すなわち、少なくともインク９の流入側に拡張流路部Ｆｅが設けられていることから、インク９の吐出動作に直接寄与することとなり、その結果、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅへのインク９の供給量不足に起因した吐出不良の低減効果が、大きくなる。よって、ヘッドチップ４１Ｄにおける吐出安定性の更なる向上を図ることが可能となる。

更に、特に本変形例では図１０に示したように、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅに対するインク９の流入側（供給スリットＳin１，Ｓin２側）および流出側（排出スリットＳout１，Ｓout２側）の双方に、拡張流路部Ｆｅ（バイパス流路Ｆｂin，Ｆｂout）が設けられている。これにより、ヘッドチップ４１Ｄと外部（インクタンク３）とのインク９の循環流量が、確保し易くなる。よって、ヘッドチップ４１Ｄにおける吐出安定性をより一層向上させることが可能となる。

［変形例５，６］
図１１は、変形例５に係るヘッドチップ（ヘッドチップ４１Ｅ）の断面構成例を模式的に表したものであり、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ付近の断面構成例に対応している。また、図１２は、変形例６に係るヘッドチップ（ヘッドチップ４１Ｆ）の断面構成例を模式的に表したものであり、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ付近の断面構成例に対応している。

図１１に示した変形例５のヘッドチップ４１Ｅ（カバープレート４１３Ｅ）では、図１０に示した変形例４のヘッドチップ４１Ｄ（カバープレート４１３Ｄ）とは異なり、以下のようになっている。すなわち、このヘッドチップ４１Ｅでは、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内へのインク９の流入側（供給スリットＳin１，Ｓin２側）にのみ、拡張流路部Ｆｅ（バイパス流路Ｆｂin）が設けられている。

一方、図１２に示した変形例６のヘッドチップ４１Ｆ（カバープレート４１３Ｆ）では、図１０に示した変形例４のヘッドチップ４１Ｄ（カバープレート４１３Ｄ）とは異なり、以下のようになっている。すなわち、このヘッドチップ４１Ｆでは、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内からのインク９の流出側（排出スリットＳout１，Ｓout２側）にのみ、拡張流路部Ｆｅ（バイパス流路Ｆｂout）が設けられている。

このような構成の変形例５，６のヘッドチップ４１Ｅ，４１Ｆにおいても、基本的には変形例４のヘッドチップ４１Ｄと同様の作用により、同様の効果を得ることが可能である。

ただし、変形例４のヘッドチップ４１Ｄでは、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅに対するインク９の流入側および流出側の双方に拡張流路部Ｆｅ（バイパス流路Ｆｂin，Ｆｂout）が設けられていることから、これら変形例５，６のヘッドチップ４１Ｅ，４１Ｆでは、以下のようになる。すなわち、変形例４と比べると、変形例５，６では前述した吐出不良の低減効果が小さくなり、特に変形例６ではインク９の吐出動作に直接寄与することができないことから、その低減効果がより小さくなる。したがって、変形例４のように、インク９の流入側および流出側の双方に拡張流路部Ｆｅ（バイパス流路Ｆｂin，Ｆｂout）を設けるのが望ましいと言える。

［変形例７，８］
図１３は、変形例７に係るヘッドチップ（ヘッドチップ４１Ｇ）の断面構成例を模式的に表したものであり、吐出チャネルＣ１ｅ付近の断面構成例に対応している。また、図１４は、変形例８に係るヘッドチップ（ヘッドチップ４１Ｈ）の断面構成例を模式的に表したものであり、吐出チャネルＣ１ｅ付近の断面構成例に対応している。

これら図１３，図１４に示した変形例７，８のヘッドチップ４１Ｇ，４１Ｈではそれぞれ、これまでに説明してきた実施の形態および変形例１〜６のヘッドチップ４１，４１Ａ〜４１Ｆとは異なり、以下のようになっている。すなわち、変形例１〜６のヘッドチップ４１，４１Ａ〜４１Ｆはいずれも、チャネルＣ１，Ｃ２の延在方向（前述した斜め方向）の中央部からインク９を吐出する、いわゆるサイドシュートタイプのインクジェットヘッドに適用されるものである。これに対し、変形例７，８のヘッドチップ４１Ｇ，４１Ｈはそれぞれ、以下説明するように、吐出チャネルＣ１ｅ等のチャネルＣ１の延在方向（Ｚ軸方向）に沿ってインク９を吐出する、いわゆるエッジシュートタイプのインクジェットヘッドに適用されるものとなっている。なお、図１３，図１４に示したように、このエッジシュートタイプのインクジェットヘッドでは、アクチュエータプレート４１２Ｇが、前述したカンチレバータイプの構成（１つの圧電基板からなる構成）となっている。

具体的には、図１３に示した変形例７のヘッドチップ４１Ｇでは、複数の吐出チャネルＣ１ｅおよび複数のダミーチャネルＣ１ｄを有するアクチュエータプレート４１２Ｇと、このアクチュエータプレート４１２Ｇの上方を覆うカバープレート４１３Ｇとが設けられている。なお、アクチュエータプレート４１２Ｇにおける各チャネルＣ１（吐出チャネルＣ１ｅおよびダミーチャネルＣ１ｄ）は、上記したようにＺ軸方向に沿って延在している。また、このヘッドチップ４１Ｇには、複数の吐出チャネルＣ１ｅに個別に連通する複数のノズル孔Ｈ１を有すると共にＸ−Ｙ平面内で延在するノズルプレート４１１と、アクチュエータプレート４１２Ｇおよびカバープレート４１３Ｇとノズルプレート４１１とを支持する支持プレート４１０とが設けられている。なお、カバープレート４１３Ｇには、インク９を吐出チャネルＣ１ｅ内に流入させるための供給スリットＳinと、吐出チャネルＣ１ｅの上方を覆う壁部Ｗとが設けられている。

そして、このヘッドチップ４１Ｇでは、供給スリットＳinと吐出チャネルＣ１ｅとを連通する部分（連通部分）のインク９の流路に、カバープレート４１３Ｇの壁部Ｗに形成されると共にその流路の断面積を広げる、拡張流路部Ｆｅが設けられている。特に、このヘッドチップ４１Ｇでは、このような拡張流路部Ｆｅが、供給スリットＳinにおける内側面のうちのノズル孔Ｈ１側の縁部に形成された、溝部Ｄinにより構成されている。

一方、図１４に示した変形例８のヘッドチップ４１Ｈは、上記した変形例７のヘッドチップ４１Ｇにおいて、カバープレート４１３Ｇの代わりにカバープレート４１３Ｈを設けたものとなっている。このヘッドチップ４１Ｈでは、ヘッドチップ４１Ｇと同様に、供給スリットＳinと吐出チャネルＣ１ｅとを連通する部分（連通部分）のインク９の流路に、カバープレート４１３Ｈの壁部Ｗに形成されると共にその流路の断面積を広げる、拡張流路部Ｆｅが設けられている。

ただし、このヘッドチップ４１Ｈでは、このような拡張流路部Ｆｅが、供給スリットＳinの内側面から壁部Ｗ内を貫通して吐出チャネルＣ１ｅへと至る、バイパス流路Ｆｂinにより構成されている。

このような構成（エッジシュートタイプ）の変形例７，８のヘッドチップ４１Ｇ，４１Ｈにおいても、基本的にはこれまでに説明したヘッドチップ４１，４１Ａ〜４１Ｆ（サイドシュートタイプ）と同様の作用により、同様の効果を得ることが可能である。

＜３．その他の変形例＞
以上、実施の形態および変形例をいくつか挙げて本開示を説明したが、本開示はこれらの実施の形態等に限定されず、種々の変形が可能である。

例えば、上記実施の形態等では、プリンタ、インクジェットヘッドおよびヘッドチップにおける各部材の構成例（形状、配置、個数等）を具体的に挙げて説明したが、上記実施の形態等で説明したものには限られず、他の形状や配置、個数等であってもよい。また、上記実施の形態等で説明した各種パラメータの値や範囲、大小関係等についても、上記実施の形態等で説明したものには限られず、他の値や範囲、大小関係等であってもよい。

具体的には、例えば、上記実施の形態等では、２列タイプの（２列のノズル列Ａｎ１，Ａｎ２を有する）インクジェットヘッド４を挙げて説明したが、この例には限られない。すなわち、例えば、１列タイプ（１列のノズル列を有する）のインクジェットヘッドや、３列以上（例えば３列や４列など）の複数例タイプ（３列以上のノズル列を有する）インクジェットヘッドであってもよい。

また、例えば、上記実施の形態等では、各吐出チャネル（吐出溝）および各ダミーチャネル（非吐出溝）がそれぞれ、アクチュエータプレート４１２内で斜め方向に沿って延在している場合について説明したが、この例には限られない。すなわち、例えば、各吐出チャネルおよび各ダミーチャネルがそれぞれ、アクチュエータプレート４１２内でＹ軸方向に沿って延在するようにしてもよい。

更に、例えば、ノズル孔Ｈ１，Ｈ２の断面形状については、上記実施の形態等で説明したような円形状には限られず、例えば、楕円形状や、三角形状等の多角形状、星型形状などであってもよい。

加えて、例えば、拡張流路部Ｆｅの構成例についても、上記実施の形態等で説明したもの（溝部Ｄin，Ｄoutまたはバイパス流路Ｆｂin，Ｆｂoutの構成例）には限られず、他の構成例としてもよい。

また、上記実施の形態等では、主に、インクタンクとインクジェットヘッドとの間でインク９を循環させて利用する、循環式のインクジェットヘッドを例に挙げて説明したが、この例には限られない。すなわち、インク９を循環させずに利用する、非循環式のインクジェットヘッドにおいて、本開示を適用するようにしてもよい。

更に、上記実施の形態等で説明した一連の処理は、ハードウェア（回路）で行われるようにしてもよいし、ソフトウェア（プログラム）で行われるようにしてもよい。ソフトウェアで行われるようにした場合、そのソフトウェアは、各機能をコンピュータにより実行させるためのプログラム群で構成される。各プログラムは、例えば、上記コンピュータに予め組み込まれて用いられてもよいし、ネットワークや記録媒体から上記コンピュータにインストールして用いられてもよい。

加えて、上記実施の形態等では、本開示における「液体噴射記録装置」の一具体例として、プリンタ１（インクジェットプリンタ）を挙げて説明したが、この例には限られず、インクジェットプリンタ以外の他の装置にも、本開示を適用することが可能である。換言すると、本開示の「ヘッドチップ」および「液体噴射ヘッド」（インクジェットヘッド）を、インクジェットプリンタ以外の他の装置に適用するようにしてもよい。具体的には、例えば、ファクシミリやオンデマンド印刷機などの装置に、本開示の「ヘッドチップ」および「液体噴射ヘッド」を適用するようにしてもよい。

加えて、これまでに説明した各種の例を、任意の組み合わせで適用させるようにしてもよい。

なお、本明細書中に記載された効果はあくまで例示であって限定されるものではなく、また、他の効果があってもよい。

また、本開示は、以下のような構成を取ることも可能である。
（１）
液体を噴射するヘッドチップであって、
前記液体が充填される複数の吐出溝を有するアクチュエータプレートと、
前記複数の吐出溝に個別に連通する複数のノズル孔を有するノズルプレートと、
前記吐出溝との間で前記液体が流れる貫通孔と、前記吐出溝を覆う壁部とを有するカバープレートと
を備え、
前記貫通孔と前記吐出溝とを連通する部分の前記液体の流路は、
主流路部と、
前記壁部に形成され、前記流路の断面積を広げる拡張流路部と
を有するヘッドチップ。
（２）
前記拡張流路部が、前記貫通孔の内側面のうちの前記ノズル孔側の縁部に形成された、溝部である
上記（１）に記載のヘッドチップ。
（３）
前記溝部の側面が、前記吐出溝へ向かうに従って前記溝部の断面積が徐々に大きくなる、逆テーパ状または曲面状である
上記（２）に記載のヘッドチップ。
（４）
前記拡張流路部が、前記貫通孔の内側面から前記壁部内を貫通して前記吐出溝へと至る、バイパス流路である
上記（１）に記載のヘッドチップ。
（５）
前記ヘッドチップ内と前記ヘッドチップの外部との間を前記液体が循環するように構成されていると共に、
前記貫通孔が、前記吐出溝内に前記液体を流入させるための第１貫通孔と、前記吐出溝内から前記液体を流出させるための第２貫通孔とにより構成されており、
前記第１貫通孔および前記第２貫通孔のうち、少なくとも前記第１貫通孔と前記吐出溝とを連通する部分の前記流路に、前記拡張流路部が設けられている
上記（１）ないし（４）のいずれかに記載のヘッドチップ。
（６）
前記第１貫通孔と前記吐出溝とを連通する部分の前記流路、および、前記第２貫通孔と前記吐出溝とを連通する部分の前記流路の双方に、前記拡張流路部が設けられている
上記（５）に記載のヘッドチップ。
（７）
前記吐出溝は、前記カバープレート側から前記ノズルプレート側へ向けて前記吐出溝の断面積が徐々に小さくなる、円弧状の側面を有する
上記（１）ないし（６）のいずれかに記載のヘッドチップ。
（８）
上記（１）ないし（７）のいずれかに記載のヘッドチップを備えた
液体噴射ヘッド。
（９）
上記（８）に記載の液体噴射ヘッドと、
前記液体を収容する収容部と
を備えた液体噴射記録装置。

１…プリンタ、１０…筺体、２ａ，２ｂ…搬送機構、２１…グリッドローラ、２２…ピンチローラ、３（３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｂ）…インクタンク、４（４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂ）…インクジェットヘッド、４０…流路プレート、４１Ａ〜４１Ｈ…ヘッドチップ、４１０…支持プレート、４１１…ノズルプレート、４１２，４１２Ｇ…アクチュエータプレート、４１３，４１３Ａ〜４１３Ｈ…カバープレート、４２１，４２２…チャネル列、５…循環機構、５０…循環流路、５０ａ，５０ｂ…流路（供給チューブ）、５２ａ，５２ｂ…送液ポンプ、６…走査機構、６１ａ，６１ｂ…ガイドレール、６２…キャリッジ、６３…駆動機構、６３１ａ，６３１ｂ…プーリ、６３２…無端ベルト、６３３…駆動モータ、９…インク、Ｐ…記録紙、ｄ…搬送方向、Ｈ１，Ｈ２…ノズル孔、Ａｎ１，Ａｎ２…ノズル列、Ｃ１，Ｃ２…チャネル、Ｃ１ｅ，Ｃ２ｅ…吐出チャネル、Ｃ１ｄ，Ｃ２ｄ…ダミーチャネル、Ｗｄ…駆動壁、Ｅｄ…駆動電極、Ｅｄｃ…共通電極（コモン電極）、Ｅｄａ…個別電極（アクティブ電極）、Ｒin１，Ｒin２…入口側共通インク室、Ｒout１，Ｒout２…出口側共通インク室、Ｓin１，Ｓin２…供給スリット、Ｓout１，Ｓout２…排出スリット、Ｗ，Ｗ１，Ｗ２…壁部、Ｆｍ…主流路部、Ｆｅ…拡張流路部、Ｄin，Ｄout…溝部、Ｆｂin，Ｆｂout…バイパス流路。

Claims (9)

1. 液体を噴射するヘッドチップであって、
   前記液体が充填される複数の吐出溝を有するアクチュエータプレートと、
   前記複数の吐出溝に個別に連通する複数のノズル孔を有するノズルプレートと、
   前記吐出溝との間で前記液体が流れる貫通孔と、前記吐出溝を覆う壁部とを有するカバープレートと
   を備え、
   前記貫通孔と前記吐出溝とを連通する部分の前記液体の流路は、
   主流路部と、
   前記壁部に形成され、前記流路の断面積を広げる拡張流路部と
   を有するヘッドチップ。
2. 前記拡張流路部が、前記貫通孔の内側面のうちの前記ノズル孔側の縁部に形成された、溝部である
   請求項１に記載のヘッドチップ。
3. 前記溝部の側面が、前記吐出溝へ向かうに従って前記溝部の断面積が徐々に大きくなる、逆テーパ状または曲面状である
   請求項２に記載のヘッドチップ。
4. 前記拡張流路部が、前記貫通孔の内側面から前記壁部内を貫通して前記吐出溝へと至る、バイパス流路である
   請求項１に記載のヘッドチップ。
5. 前記ヘッドチップ内と前記ヘッドチップの外部との間を前記液体が循環するように構成されていると共に、
   前記貫通孔が、前記吐出溝内に前記液体を流入させるための第１貫通孔と、前記吐出溝内から前記液体を流出させるための第２貫通孔とにより構成されており、
   前記第１貫通孔および前記第２貫通孔のうち、少なくとも前記第１貫通孔と前記吐出溝とを連通する部分の前記流路に、前記拡張流路部が設けられている
   請求項１ないし請求項４のいずれか１項に記載のヘッドチップ。
6. 前記第１貫通孔と前記吐出溝とを連通する部分の前記流路、および、前記第２貫通孔と前記吐出溝とを連通する部分の前記流路の双方に、前記拡張流路部が設けられている
   請求項５に記載のヘッドチップ。
7. 前記吐出溝は、前記カバープレート側から前記ノズルプレート側へ向けて前記吐出溝の断面積が徐々に小さくなる、円弧状の側面を有する
   請求項１ないし請求項６のいずれか１項に記載のヘッドチップ。
8. 請求項１ないし請求項７のいずれか１項に記載のヘッドチップを備えた
   液体噴射ヘッド。
9. 請求項８に記載の液体噴射ヘッドと、
   前記液体を収容する収容部と
   を備えた液体噴射記録装置。

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