JP2020131294A

JP2020131294A - 廃液処理装置

Info

Publication number: JP2020131294A
Application number: JP2019023350A
Authority: JP
Inventors: ヴァントアンダン; Van Toan Dang; 新井　賢; Masaru Arai; 賢新井; 吉田　幹; Miki Yoshida; 幹吉田
Original assignee: Disco Abrasive Systems Ltd
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2019-02-13
Filing date: 2019-02-13
Publication date: 2020-08-31
Anticipated expiration: 2039-02-13
Also published as: JP7364341B2

Abstract

【課題】加工屑を含む加工廃液から浄水を取水するための廃液処理装置において、取水口から浄水を適切に取水しているか否かが確認出来る処理装置を提供する。【解決手段】加工装置から排出される加工屑を含む加工廃液から、加工屑を含まない浄水を取水する廃液処理装置であって、加工屑を含む加工廃液を溜める液槽２と、液槽２とポンプ６９とを接続しポンプ６９を駆動させ液槽２から浄水を取水する取水口３９０を有する取水管３９と、浄水を取水しているか否かを確認可能とする確認手段７とを備え、確認手段７は、水を溜めたカップ７０と、取水管３９から分岐しカップ７０の水に先端を水没させる確認管７１と、を備え、ポンプ６９を駆動させ取水口３９０から浄水を取水させている際に、確認管７１内の圧力が低下することでカップ７０の水を吸い上げた確認管７１の水位によって取水口３９０から浄水を取水しているか否かを確認可能とする廃液処理装置。【選択図】図３

Description

本発明は、加工屑を含む加工廃液から加工屑を含まない浄水を取水するための廃液処理装置に関する。

加工液を供給して半導体ウェーハ等の被加工物を加工する加工装置は、加工屑を含んだ加工廃液を排出している。そして、加工廃液から加工屑を取り除いて浄水として、該浄水を再利用する廃液処理装置がある（例えば、特許文献１参照）。

特開２０１４−１２４５７６号公報

特許文献１に記載されている廃液処理装置では、加工廃液を溜める液槽に陽極板と陰極板とを所定の間隔をあけて水没させ、陰極板と陽極板とに直流電力を供給し、プラスに帯電させた陽極板にマイナスに帯電する加工屑を付着させ、加工屑が取り除かれた浄水を陰極板の上部に配設され液槽の液面付近に位置する取水口から取水して再利用している。

しかし、陽極板に所定量の加工屑が付着した後に、陽極板を液槽から引き上げて陽極板に付着した加工屑を削ぎ取る必要があるため、陽極板を液槽から取り出すときに加工屑が落ちること等により、取水口に加工屑が詰まり浄水を取水できなくなるという問題がある。そのため、浄水を廃液処理装置から加工装置に循環させて加工水として使用している場合には、加工装置において加工水が不足する場合が生じるという問題がある。

よって、加工屑を含む加工廃液から加工屑を含まない浄水を取水するための廃液処理装置においては、取水管の取水口から浄水を適切に取水しているか否かを確認するという課題がある。

上記課題を解決するための本発明は、加工装置から排出される加工屑を含む加工廃液から、該加工屑を含まない浄水を取水する廃液処理装置であって、該加工屑を含む該加工廃液を溜める液槽と、該液槽とポンプとを接続し該ポンプを駆動させ該液槽から該浄水を取水する取水口を有する取水管と、該浄水を取水しているか否かを確認可能とする確認手段とを備え、該確認手段は、水を溜めたカップと、該取水管から分岐し該カップの水に先端を水没させる確認管と、を備え、該ポンプを駆動させ該取水口から該浄水を取水させている際に、該確認管内の圧力が低下することで該カップの水を吸い上げた該確認管の水位によって該取水口から該浄水を取水しているか否かを確認可能とする廃液処理装置である。

前記確認管は、水位が確認可能な透明部材で形成されると好ましい。

本発明に係る廃液処理装置は、前記確認管の水位を検知する検知部と、該検知部の検知により前記取水口から取水しているか否かを判断する判断部と、を備えると好ましい。

加工装置から排出される加工屑を含む加工廃液から、加工屑を含まない浄水を取水する本発明に係る廃液処理装置は、加工屑を含む加工廃液を溜める液槽と、液槽とポンプとを接続しポンプを駆動させ液槽から浄水を取水する取水口を有する取水管と、浄水を取水しているか否かを確認可能とする確認手段とを備え、確認手段は、水を溜めたカップと、取水管から分岐しカップの水に先端を水没させる確認管と、を備えていることで、ポンプを駆動させ取水口から浄水を取水させている際に、確認管内の圧力が低下することでカップの水を吸い上げた確認管の水位を作業者が確認すること等で取水口から浄水を取水しているか否かを確認することができる。

確認管は、透明部材で形成されることで、例えば作業者の目視による確認管の水位の確認が容易になる。

本発明に係る廃液処理装置は、確認管の水位を検知する検知部と、検知部の検知により取水口から取水しているか否かを判断する判断部と、を備えることで、判断部が例えば取水口から取水がされていないとの判断をした場合に、判断部が警告の発報、又は警告の表示等を行うことによって作業者が取水口から取水されていないことを認識することが可能となる。

廃液処理装置の一例を示す斜視図である。液槽、陽極板、陰極板、及びカップが有底筒状である確認手段を説明する斜視図である。確認手段により取水管の取水口から浄水を取水しているか否かを確認する場合を説明する断面図である。

図１に示す廃液処理装置１は、図示しない加工装置から排出される加工屑を含む加工廃液から、加工屑を含まない浄水を取水するための装置である。廃液処理装置１は、加工屑を含む加工廃液を溜める液槽２と、液槽２とポンプ６９とを接続しポンプ６９を駆動させ液槽２から浄水を取水する取水口３９０を有する取水管３９と、該浄水を取水しているか否かを確認可能とする確認手段７とを少なくとも備えている。

構造を図示しない加工装置は、例えば、加工水を供給しながら回転する研削砥石でシリコンウェーハ等の被加工物を所望の厚みまで研削する研削装置、又は、加工水を供給しながら回転する切削ブレードで該被加工物を切削加工する切削装置である。廃液処理装置１は図示しない加工装置内に組み込まれて一体となっていてもよいし、加工装置とは別体となっていてもよい。

図１に示すように、廃液処理装置１の上記各構成要素は、廃液処理装置１の直方体状の筐体１０内部に収容されている。
図１〜３に示す略直方体の箱状の液槽２は、例えば、合成樹脂等の絶縁部材によって形成されており、平面視矩形の底板２１（図２、３参照）と、底板２１の外周から一体的に＋Ｚ方向に立ち上がる４枚の側壁とからなり、図２に示すように底板２１と各側壁とで囲まれた空間に加工屑（例えばシリコン屑）を含む加工廃液を溜めることができる。図１〜３でＸ軸方向において対向する２枚の側壁を側壁２２ａとして、Ｙ軸方向において対向する２枚の側壁を側壁２２ｂ（図３では不図示）とする。

図２に示すように、例えば、側壁２２ｂの下部側の領域には、図示しない加工装置から排出される加工廃液が送られてくる給液管４００が連通する供給口２２３が形成されている。
また、液槽２の側壁２２ａの上部には、加工廃液が液槽２から溢れることを防止するオーバーフロー孔２２２ａが設けられている。オーバーフロー孔２２２ａは図示しないタンクに連通しており、したがって、液槽２から廃液処理装置１の筐体１０内へ水が溢れることが防止されている。

図１に示すように、廃液処理装置
１は、液槽２に等間隔で配設されマイナスに帯電させる陰極板３０と、陰極板３０にＹ軸方向において対面して陰極板３０と所定の間隔で離間して液槽２に抜き差し可能に配設されプラスに帯電させる陽極板３１と、陽極板３１の上部を保持し液槽２から陽極板３１を抜き出し又は液槽２に差し込みする抜き差し手段３２と、を備えている。

陽極板３１は、電気化学的に貴となる材料で構成され、平面形状が矩形平板状に形成されている。例えば、陽極板３１は、銅、銀、白金、又は金などの材料で構成することができる。本実施形態では、陽極板３１としてＳＵＳを適用している。
例えば、図２に示すように、液槽２のＸ軸方向において対向する二枚の側壁２２ａの内側面には、陽極板支持溝２２２が形成されており、陽極板３１は、Ｘ軸方向に所定間隔を空けて該各陽極板支持溝２２２に挿嵌された状態で、液槽２内に配設されている。即ち、複数の陽極板３１は、その表面が液槽２の長手方向（Ｙ軸方向）と直交する状態、言い換えると、液槽２の幅方向（Ｘ軸方向）と平行な状態で、互いに間隔をあけて配置されている。

陽極板３１の上端面には、例えば、幅方向（Ｘ軸方向）の中央部から互いに間隔をあけて上方に突出した二つの被係合部３１０が設けられている。被係合部３１０は、矩形板状に形成され、中央にＸ軸方向に貫通した被係合孔３１０ａが設けられている。被係合孔３１０ａには、後述する図１に示す抜き差し手段３２の保持部３２０の係合ピン３２０ａが進入して係合する。

陰極板３０は、陽極板３１と同様に、電気化学的に貴となる材料で構成され、平面形状が矩形の平板状に形成されている。例えば、陰極板３０は、銅、銀、白金、又は金などの材料で構成することができる。本実施形態では、陰極板３０としてＳＵＳを適用している。例えば、図２に示すように、液槽２のＸ軸方向において対向する二枚の側壁２２ａの内側面には、陰極板支持溝２２５が形成されており、陰極板３０は、Ｘ軸方向に所定間隔を空けて該各陰極板支持溝２２５に挿嵌された状態で、液槽２内に配設されている。陰極板３０は、互いに隣り合う陽極板３１の間に設けられている。即ち、陰極板３０は、陽極板３１にＹ軸方向において対向して、陽極板３１と離間して交互に複数配設されており、陽極板３１と平行な状態になっている。

各陰極板３０の下端及び各陽極板３１の下端と液槽２の底板２１との間には所定幅の隙間が設けられており、液槽２に図２に示す供給口２２３から流入した加工廃液は、該隙間を通り陰極板３０と陽極板３１との間を上昇していく。

本実施形態において、陽極板３１と陰極板３０との間には直流電圧が印加される。すなわち、各陽極板３１に直流電源ＤＣ（図２参照）のプラス（＋）側が電気的に接続されて液槽２内の加工廃液中でプラスに帯電される。陽極板３１は、加工廃液中でプラスに帯電されて、加工廃液中でマイナスに帯電したシリコン屑等の加工屑を吸着するために用いられる。一方、陰極板３０に直流電源ＤＣのマイナス（−）側が電気的に接続されて加工廃液中でマイナスに帯電される。

図１に示す陽極板３１の上部を保持し液槽２から陽極板３１を抜き出し又は液槽２に差し込みする抜き差し手段３２は、Ｙ軸方向移動手段３４によって、液槽２の上方を水平にＹ軸方向に往復移動可能となっている。筐体１０の内側壁上部に固定されたＹ軸方向移動手段３４は、液槽２の長手方向（Ｙ軸方向）と平行に設けられた水平ボールネジ３４０と、水平ボールネジ３４０を回転駆動するモータ３４３と、Ｙ軸方向に延在する一対の水平移動用のガイドレール３４１と、内部のナットが水平ボールネジ３４０に螺合し両端下面がガイドレール３４１に摺接する可動部材３４２と、を備えている。そして、モータ３４３の駆動により水平ボールネジ３４０が回動することにより可動部材３４２に固定された抜き差し手段３２がガイドレール３４１にガイドされてＹ軸方向に移動する構成となっている。水平ボールネジ３４０及びガイドレール３４１は、液槽２の上方から加工屑を陽極板３１から分離するための図１に示す分離部５０の上方にわたる長さを有しており、抜き差し手段３２をＹ軸方向に移動させることにより、抜き差し手段３２の保持部３２０が保持した陽極板３１を液槽２から分離部５０に移動させることができる。

抜き差し手段３２は、可動部材３４２に上端が固定された鉛直板３２９と、液槽２の深さ方向（Ｚ軸方向）と平行に鉛直板３２９の側面に設けられた鉛直ボールネジ３２１と、鉛直ボールネジ３２１を回転駆動するモータ３２３と、Ｚ軸方向に延在する一対のガイドレール３２２と、内部のナットが鉛直ボールネジ３２１に螺合し側面がガイドレール３２２に摺接する保持部３２０と、を備えている。そして、モータの駆動により鉛直ボールネジ３２１が回動することにより保持部３２０がガイドレール３２２にガイドされてＺ軸方向に移動する構成となっている。

抜き差し手段３２の陽極板３１を保持する保持部３２０は、例えば、内部のナットが鉛直ボールネジ３２１に螺合する板状部材３２０ｄと、板状部材３２０ｄの下面に配設された一対のチャックシリンダ３２０ｃとを備えている。一対のチャックシリンダ３２０ｃは、液槽２の幅方向（Ｘ軸方向）に互いに間隔をあけて配設されている。一対のチャックシリンダ３２０ｃは、板状部材３２０ｄに取り付けられたシリンダ本体３２０ｂと、シリンダ本体３２０ｂから液槽２の幅方向（Ｘ軸方向）に突没自在に設けられた係合ピン３２０ａとを備えている。一対のチャックシリンダ３２０ｃは、例えば、シリンダ本体３２０ｂから突出する係合ピン３２０ａがＸ軸方向において互いに近づく状態となっている。各係合ピン３２０ａは、下降する保持部３２０が陽極板３１の上方に位置付けられた状態でシリンダ本体３２０ｂから突出すると、陽極板３１の各被係合部３１０の被係合孔３１０ａにそれぞれ挿嵌される。これによって、抜き差し手段３２の保持部３２０が陽極板３１を保持した状態になる。

加工屑を陽極板３１から分離するための図１に示す分離部５０は、上部に陽極板３１が入り込む開口を備えるハウジング５００を備えており、該ハウジング５００内に、例えば、陽極板３１の表面をＹ軸方向両側から挟み込むことができる図示しない一対のスクレーパーを備えている。

分離部５０の下方には、陽極板３１から剥ぎ取られた加工屑を収容する加工屑タンク５６が配設されている。加工屑タンク５６は、上部が開口した容器であり、分離部５０の下部に連結され、分離部５０において分離され落下してきた加工屑を貯蔵する。

例えば、分離部５０は、加工屑タンク５６に貯蔵された加工屑から発生する水素ガスを外部に排出する水素ガス排出手段５７を備えている。水素ガス排出手段５７は、分離部５０のハウジング５００の壁を貫通することにより、分離部５０の内部を大気に開放している。

陽極板３１に加工屑が吸着されたことにより加工屑がおおまかに除去された加工廃液（浄水）は、図１〜３に示す取水口３９０を有する複数の取水管３９によって取水される。各取水管３９は、例えば、各陰極板３０の上部に取り付けられＹ軸方向の両端が閉塞された浄水吸引パイプ３９１と、各浄水吸引パイプ３９１に連結された連結パイプ３９２と、を有している。図１〜３に示すように、浄水吸引パイプ３９１の側面には、パイプの延在方向（Ｘ軸方向）に沿って複数の取水口３９０が等間隔を空けて形成されている。なお、取水口３９０は、一本のスリット状に浄水吸引パイプ３９１の側面において延在していてもよい。
また、取水口３９０は、陽極板３１と陽極板３１との中間に配設することが好ましい。
さらに、加工屑がシリコンなどのように水に沈んでしまう場合は、本実施例のように水面近くに取水口３９０を配設することが好ましい。しかし、加工屑に水に浮かぶ材質が含まれている場合には、取水口３９０を水中に配設してもよい。
連結パイプ３９２は、例えば、浄水吸引パイプ３９１の上方に延びた後に側壁２２ａ側に曲がり、側壁２２ａの上方において−Ｘ方向に延在した後、下方に向かって屈曲して−Ｚ方向に延在している。

例えば、液槽２の−Ｘ方向側の側壁２２ａの外側には、各連結パイプ３９２から浄水が流入し該浄水が一時的に溜められる浄水タンク６０と、浄水を取水管３９が取水しているか否かを確認可能とする確認手段７とが並べて配設されている。
浄水タンク６０には、図１に示すポンプ６９が連通管６９０を介して連通しており、ポンプ６９が駆動することで浄水を液槽２から取水する吸引力が取水管３９に伝達される。ポンプ６９には、浄水送出管６９４が連通しており、浄水送出管６９４に送出される浄水は、その後、加工装置に供給されて加工水として再利用される。

図１、３に示す本発明に係る廃液処理装置１が備える取水管３９が液槽２から浄水を取水しているか否かを確認可能とする確認手段７は、水を溜めたカップ７０と、取水管３９から分岐しカップ７０の水に先端を水没させる確認管７１と、少なくとも備えている。

本実施形態において複数の確認管７１は、複数の連結パイプ３９２からそれぞれ分岐しており、例えば、浄水タンク６０の上方を水平に延びた後に下方に曲がり、−Ｚ方向に延在してその下端側がカップ７０内の所定の深さまで入り込んでいる。確認管７１は、例えば、本実施形態のように水位が確認可能な透明部材（例えば、アクリル樹脂やガラス等）で形成されていると好ましいが、ＳＵＳ等の金属や塩ビ管等の非透明部材で形成されていてもよい。

カップ７０は、図１、３に示す例においては、全本数の確認管７１が入り込み液槽２の長手方向（Ｙ軸方向）に延在する略直方体の箱状に形成されており、その上面の開口７０ａから各確認管７１の下端側が内部に入り込んだ状態になっている。図１、３に示すように、カップ７０の側壁上部には、オーバーフロー孔７００が厚み方向（Ｘ軸方向）に貫通形成されており、オーバーフロー孔７００には図示しないタンクに連通する配管７００ａが連通している。したがって、カップ７０の開口７０ａから廃液処理装置１の筐体１０内へ水が溢れることが防止されている。

図３に示すように、例えば、カップ７０の側壁下部には、カップ７０に水を供給する供給口７０１が厚み方向（Ｘ軸方向）に貫通形成されており、該供給口７０１には図示しない水供給源が連通している。

例えば、廃液処理装置１は、図１、３に示すように、確認管７１の水位を検知する検知部７５と、検知部７５の検知により取水管３９の取水口３９０から取水しているか否かを判断する判断部７９とを備えている。
検知部７５は、例えば、発光部７５０（＋Ｘ方向側）と受光部７５１（−Ｘ方向側）とを備える透過型の光センサであり、カップ７０の上方において発光部７５０と受光部７５１とが確認管７１を挟むように配設されている。受光部７５１は、ＣＰＵ及び記憶素子等からなる判断部７９に無線又は有線の通信経路７９０を介して確認管７１の水位についての検出信号を送信する。なお、図１においては１つの受光部７５１のみが判断部７９に通信経路７９０を介して接続されているが、実際は他の各受光部７５１も判断部７９に通信経路を介して個別に接続されている。したがって、判断部７９は、どの検知部７５が検知信号を送信したのかを判断することができる。

検知部７５や判断部７９を廃液処理装置１が備えず、代わりに、作業者が透明部材からなる確認管７１の水位を確認するものとしてもよい。また、確認管７１が透明部材で構成されていない場合等においては、検知部７５は防水がされた状態で、確認管７１の管内に配設されていてもよい。この場合において、検知部７５は透過型の光センサではなく、水の接触による圧力変化で水位の確認を行う感圧センサ等であってもよい。また、透明部材からなる確認管７１の場合、確認管７１の近傍に配設したカメラで撮像して複数の確認管７１の水位を同時に撮像画像を用いて認識することができる。

確認手段７は、図１、３に示す全本数の確認管７１が入り込み液槽２の長手方向（Ｙ軸方向）に延在する略直方体の箱状のカップ７０に代えて、図２に示す、各確認管７１が個別に入り込む有底筒状のカップ７４を備えていてもよい。カップ７４の側壁上部には、オーバーフロー孔７４０が厚み方向（Ｘ軸方向）に貫通形成されており、オーバーフロー孔７４０には図示しないタンクに連通する配管７４０ａが連通している。したがって、カップ７４の上部の開口７４ａから図１に示す廃液処理装置１の筐体１０内へ水が溢れることが防止されている。
なお、図２においては、浄水タンク６０やポンプ６９等を簡略化して示している。

以下に、図１〜３を用いて、廃液処理装置１において、加工屑（例えば、シリコン屑）を含む加工廃液から、加工屑を含まない浄水を取水する場合について説明する。
図１〜３においては、液槽２に図２、３に示す供給口２２３から流入した加工廃液Ｌ（図３参照）が、各陰極板３０の下端及び各陽極板３１の下端と液槽２の底板２１との間の隙間を通り、陰極板３０と陽極板３１との間を上昇していく。そして、加工屑を含む加工廃液Ｌが液槽２に貯液されていき、加工廃液Ｌに陽極板３１及び陰極板３０が着液する。そして、陽極板３１に図２に示す直流電源ＤＣのプラス（＋）を通電する一方、陰極板３０に直流電源ＤＣのマイナス（−）を通電する。この結果、陽極板３１と陰極板３０との間には電界が形成される。そして、加工廃液Ｌに混入されてマイナス（−）に帯電されている加工屑は、電気泳動によって、マイナス（−）に帯電された陰極板３０から反発し、プラス（＋）に帯電された陽極板３１に吸着される。

陽極板３１に加工屑が吸着されたことにより加工屑がおおまかに除去された液槽２の上部の加工廃液Ｌ（浄水となった加工廃液Ｌ）は、図１に示すポンプ６９の生み出す吸引力が伝達された取水管３９によって取水されて、浄水タンク６０に送出される。

図１において、一定量の加工屑を陽極板３１が吸着した後、図１に示すＹ軸方向移動手段３４が抜き差し手段３２の保持部３２０を１枚の陽極板３１の上方に位置づける。次いで、保持部３２０が降下して陽極板３１を保持し、陽極板３１を液槽２内の加工廃液Ｌから引き上げる。次いで、Ｙ軸方向移動手段３４は、水平ボールネジ３４０を回動させることにより、陽極板３１を保持した保持部３２０を分離部５０の直上まで移動させる。そして、抜き差し手段３２において鉛直ボールネジ３２１が回動することで保持部３２０が下降していき、陽極板３１が、分離部５０のハウジング５００内に挿入される。このとき、分離部５０のハウジング５００内に配設された図示しない一対のスクレーパーは、互いにＹ軸方向に間隔を空けて平行な状態となっている。

陽極板３１がハウジング５００内に下降した後、一対のスクレーパーが陽極板３１の表面を挟み込む。この状態で、抜き差し手段３２の陽極板３１を保持した保持部３２０が上方に引き上げられることで、一対のスクレーパーが陽極板３１に付着している加工屑を剥ぎ取る。陽極板３１から剥ぎ取られた加工屑は、加工屑タンク５６に収容される。

上記のように陽極板３１を液槽２から取り出すときに加工屑が落ちること等により、取水管３９の取水口３９０に加工屑が詰まり浄水を取水できなくなるという問題が生じ得るため、本発明に係る廃液処理装置１においては、確認手段７によって取水管３９単位で取水口３９０が浄水を取水しているか否かを継続的に確認する。

廃液処理装置１が稼動している最中において、各取水管３９の取水口３９０に加工屑が詰まっていない状態においては、図３に示す駆動するポンプ６９が生み出す吸引力は、浄水タンク６０、連結パイプ３９２、及び各浄水吸引パイプ３９１を通り各取水口３９０に伝達される。したがって、陰極板３０の上部に生成された浄水は、各取水口３９０から浄水吸引パイプ３９１に吸引され、吸引力が伝達される上記経路と同様の経路を経てポンプ６９に至り、ポンプ６９から加工装置に送出される。

廃液処理装置１が前記のように稼動する際には、その準備として確認手段７のカップ７０に水が溜められており、また、図３に示す確認管７１のカップ７０に水没している先端側の管内の所定の高さ位置Ｚ０（検知部７５の高さ位置よりも下方の高さ位置Ｚ０）に水面が位置している状態になる。カップ７０に溜められている水は、例えば作業者が目視しやすいように所定の着色料（例えば、検知光を通さない黒色の顔料等）で着色されていてもよい。

例えば、前記のように取り出された陽極板３１の隣に位置しているある１本の取水管３９の複数の取水口３９０に加工屑が詰まり、該取水管３９の浄水となった加工廃液Ｌの吸引量が減少する、または０になることで、該取水管３９に伝達されていたポンプ６９の吸引力が該取水管３９から分岐している確認管７１側に伝達されていく。したがって、該１本の確認管７１内の空気がポンプ６９により吸われて確認管７１内の圧力が低下して、確認管７１の管内における高さ位置Ｚ０に位置していた水面が、カップ７０の水が吸い上げられることで上昇していく。

確認管７１内の水位が検知部７５よりも高い位置Ｚ１まで上昇することによって、検知部７５の発光部７５０から出射された検知光が受光部７５１に到達する前に水（例えば、黒く着色された水）により遮られることで、検知部７５は確認管７１内の水位を検出する。そして、検知部７５から通信経路７９０を介して検知信号が判断部７９に送られることで、判断部７９はある１本の取水管３９の取水量が、その取水口３９０に加工屑が詰まることで許容値を下回ったと判断して、取水量が許容値を下回った取水管３９があるとの警告や、該取水量が許容値を下回った取水管３９の番号、即ち、該取水量が許容値を下回った取水管３９が液槽２内において−Ｙ方向から何番目の位置にある取水管３９かを、スピーカーで発報したり、モニターに表示したりして作業者に知らしめる。

廃液処理装置１が検知部７５と判断部７９とを備えていない場合においては、作業者が廃液処理装置１が稼動している最中において、例えば透明部材で形成された各確認管７１の水位を見て回ることで、各取水管３９が取水口３９０から浄水を取水しているか否かを確認するものとしてもよい。この場合には、取水管３９の取水量が許容値内にあることを示す許容水位を確認管７１に目盛り等の目印として形成しておき、該目盛りを確認管７１内の水位が超えた場合に、確認管７１を見て回る作業者が取水管３９が取水口３９０から浄水を適切に取水していないと判断できるようにしてもよい。

上記のように、加工装置から排出される加工屑を含む加工廃液Ｌから、加工屑を含まない浄水を取水する本発明に係る廃液処理装置１は、加工屑を含む加工廃液Ｌを溜める液槽２と、液槽２とポンプ６９とを接続しポンプ６９を駆動させ液槽２から浄水を取水する取水口３９０を有する取水管３９と、浄水を取水しているか否かを確認可能とする確認手段７とを備え、確認手段７は、水を溜めたカップ７０（又は、カップ７４）と、取水管３９から分岐しカップ７０の水に先端を水没させる確認管７１と、を備えていることで、ポンプ６９を駆動させ取水口３９０から浄水を取水させている際に、確認管７１内の圧力が低下することでカップ７０の水を吸い上げた確認管７１の水位を作業者が確認すること等で取水口３９０から浄水を取水しているか否かを確認することができる。

確認管７１は、透明部材で形成されることで、作業者による確認管７１の水位の確認が容易になる。

本発明に係る廃液処理装置１は、確認管７１の水位を検知する検知部７５と、検知部７５の検知により取水口３９０から取水しているか否かを判断する判断部７９と、を備えることで、判断部７９が例えば取水口３９０から取水がされていないとの判断をした場合に、判断部７９が警告の発報又は警告の表示等をすることによって、作業者が取水口３９０から取水されていないことを認識することが可能となる。

本発明に係る廃液処理装置１は上述の実施形態に限定されず、その技術的思想の範囲内において種々異なる形態にて実施されてよいことは言うまでもない。また、添付図面に図示されている廃液処理装置１の各構成要素の外形等についても、これに限定されず、本発明の効果を発揮できる範囲内で適宜変更可能である。

１：廃液処理装置１０：筐体
２：液槽２１：底板２２ａ：側壁２２２：陽極板支持溝２２２ａ：オーバーフロー孔２２５：陰極板支持溝２２ｂ：側壁２２３：供給口
３０：陰極板
３１：陽極板３１０：被係合部３１０ａ：被係合孔
３２：抜き差し手段
３２０：保持部３２０ｄ：板状部材３２０ｃ：一対のチャックシリンダ３２０ａ：係合ピン３２０ｂ：シリンダ本体３２９：鉛直板３２１：鉛直ボールネジ３２２：一対のガイドレール
３４：Ｙ軸方向移動手段３４０：水平ボールネジ３４１：ガイドレール３４２：可動部材
３９：取水管３９０：取水口３９１：浄水吸引パイプ３９２：連結パイプ
６９：ポンプ６０：浄水タンク
７：確認手段７０：カップ７０ａ：開口７００：オーバーフロー孔７１：確認管
７５：検知部７９：判断部７４：カップ
５０：分離部５００：ハウジング５６：加工屑タンク５７：水素ガス排出手段

Claims

加工装置から排出される加工屑を含む加工廃液から、該加工屑を含まない浄水を取水する廃液処理装置であって、
該加工屑を含む該加工廃液を溜める液槽と、該液槽とポンプとを接続し該ポンプを駆動させ該液槽から該浄水を取水する取水口を有する取水管と、該浄水を取水しているか否かを確認可能とする確認手段とを備え、
該確認手段は、水を溜めたカップと、該取水管から分岐し該カップの水に先端を水没させる確認管と、を備え、該ポンプを駆動させ該取水口から該浄水を取水させている際に、該確認管内の圧力が低下することで該カップの水を吸い上げた該確認管の水位によって該取水口から該浄水を取水しているか否かを確認可能とする廃液処理装置。
前記確認管は、水位が確認可能な透明部材で形成される請求項１記載の廃液処理装置。
前記確認管の水位を検知する検知部と、該検知部の検知により前記取水口から取水しているか否かを判断する判断部と、を備えた請求項１又は２記載の廃液処理装置。