JP2021171702A - 洗浄方法 - Google Patents
洗浄方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2021171702A JP2021171702A JP2020077361A JP2020077361A JP2021171702A JP 2021171702 A JP2021171702 A JP 2021171702A JP 2020077361 A JP2020077361 A JP 2020077361A JP 2020077361 A JP2020077361 A JP 2020077361A JP 2021171702 A JP2021171702 A JP 2021171702A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nozzle
- cleaning
- injection
- cleaning method
- axis
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
- B08B3/02—Cleaning by the force of jets or sprays
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
- B08B3/02—Cleaning by the force of jets or sprays
- B08B3/022—Cleaning travelling work
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
- B08B3/02—Cleaning by the force of jets or sprays
- B08B3/024—Cleaning by means of spray elements moving over the surface to be cleaned
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B5/00—Cleaning by methods involving the use of air flow or gas flow
- B08B5/02—Cleaning by the force of jets, e.g. blowing-out cavities
- B08B5/023—Cleaning travelling work
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B2203/00—Details of cleaning machines or methods involving the use or presence of liquid or steam
- B08B2203/02—Details of machines or methods for cleaning by the force of jets or sprays
- B08B2203/0217—Use of a detergent in high pressure cleaners; arrangements for supplying the same
Landscapes
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
- Cleaning In General (AREA)
Abstract
Description
本発明は、対象物の隅々まで十分に洗浄可能な洗浄方法を提供することを目的とする。
第1洗浄面を有する対象物を、テーブル回転軸を中心に回転または揺動させ、
ノズルが洗浄流体を噴射軸線に沿って噴射し、
前記テーブル回転軸と平行なノズル回転軸を中心に、前記噴射軸線が前記第1洗浄面と一定の衝突角度を保つように前記ノズルを揺動させて、前記対象物を洗浄する、
洗浄方法である。
テーブルの位相に対して、ノズルを単振動させても良い。そうすれば、洗浄面が平面であれば、洗浄面と噴射軸線との交点が描く軌跡は正弦波となる。
洗浄液は、好ましくは、直線棒状または扇型に噴出される。洗浄液が扇形に噴出されるとき、噴流は、ノズル回転軸の方向に広がる。より好ましくは、洗浄液は噴射平面から3度〜45度傾斜した平面上に広がる。
衝突角度は、好ましくは60度〜90度、より好ましくは80度〜90度である。
図1に示すように、実施形態1の洗浄機10は、モータ(テーブル回転モータ)11と、テーブル15と、モータ(ノズル回転モータ)17と、ノズル進退装置18と、ノズルパイプ20と、複数のノズル21と、制御装置22とを有する。
モータ11は、テーブル15に接続する。モータ11は、減速機(不図示)を有しても良い。テーブル15には、対象物1が固定される。例えば、テーブル15は、鉛直なテーブル回転軸13を中心に一定の角速度で回転する。
モータ17は、ノズルパイプ20と接続する。モータ17は、減速機(不図示)を有しても良い。好ましくは、モータ17は、同期モータである。
ノズル21は、扇形噴射ノズルである。ノズル21は、ノズルパイプ20と一体となって揺動する。モータ11と、モータ17と、ノズル進退装置18は、制御装置22によって制御される。
なお、本実施形態のテーブル回転軸13は鉛直であるが、これに限定されない。例えば、テーブル回転軸13は水平に、又は、傾斜して設置されても良い。
図3Bに示すように、噴射軸線25が境界部5に到達すると、ノズル21は、噴射軸線25が境界部5と衝突し続けるように、対象物1の回転に同期して回転を続ける。噴射平面23も、洗浄面3aと衝突角度27で交差する。
図3Cに示すように、噴射軸線25と次の洗浄面3bとのなす角度が衝突角度27に到達すると、洗浄面3Bについて洗浄を開始する。つまり、噴射軸線25が境界部5から離れて、噴射軸線25と洗浄面3bとが衝突角度27を保つように、ノズル21が回転する。噴射平面も、洗浄面3bと衝突角度27を保つ。
範囲35a1、35a2、35b1、35b2は、ノズル21aの1周目、ノズル21aの2周目、ノズル21bの1周目、ノズル21bの2周目の衝突範囲をそれぞれ示す。衝突範囲35a1は、洗浄面3aの上端よりも上方にはみ出ている。衝突範囲35a1、35a2、35b1、35b2は、隣り合った衝突範囲とそれぞれ重なる。噴流29の広がる方向が、噴射軸線25の方向から見て傾斜しているため、隣り合う噴流29同士が衝突しない。
実施形態2においても、実施形態1の洗浄機10が用いられる。ただし、対象物1は単一の洗浄面3aを有する。図5に示すように、本実施形態では、テーブル15は揺動する(S12)。テーブル15の揺動幅は、一定である。好ましくは、テーブル15は、加減速を除いて、揺動幅の中央の大半の範囲において一定の速度で揺動する。
図6Bに示すように、噴射軸線25が境界部5に到達すると、テーブル15の回転方向を反転させる。同時に、ノズル21の回転方向も反転する。
図6Cに示すように、再び噴射軸線25と洗浄面3aとのなす衝突角度27が予め定められた角度を保つように、ノズル21が回転する。
なお、図6Aにおける時計回りの回転時と、図6Cにおける半時計回りの回転時において、衝突角度27を変更しても良い。例えば、図6Aにおける衝突角度27を70度に、図6Cにおける衝突角度を110度にしても良い。
3、3a、3b 洗浄面
13 テーブル回転軸
15 テーブル
21 ノズル
27 噴射角度
Claims (9)
- 第1洗浄面を有する対象物を、テーブル回転軸を中心に回転または揺動させ、
ノズルが洗浄流体を噴射軸線に沿って噴射し、
前記テーブル回転軸と平行なノズル回転軸を中心に、前記噴射軸線が前記第1洗浄面と一定の衝突角度を保つように前記ノズルを揺動させて、前記対象物を洗浄する、
洗浄方法。 - 前記ノズルが、前記ノズル回転軸を通る噴射平面上に配置された前記噴射軸線に沿って噴射する、
請求項1に記載の洗浄方法。 - 前記噴射平面が、前記第1洗浄面と一定の前記衝突角度を保つように、前記ノズルの位相を前記対象物の位相に同期させる、
請求項2に記載の洗浄方法。 - 前記第1洗浄面と第2洗浄面との境界部に前記噴射軸線が到達したときに、前記第2洗浄面と前記噴射軸線とのなす角度が前記衝突角度に達するまで、前記噴射軸線が前記境界部と交差するように、前記ノズルを回転する、
請求項1〜3のいずれかに記載の洗浄方法。 - 前記対象物が一回転する毎に、前記ノズルがステップ幅だけ上昇または下降する、
請求項4に記載の洗浄方法。 - 前記第1洗浄面の端に前記噴射軸線が到達したときに、前記対象物を逆方向に回転させる、
請求項1〜3のいずれかに記載の洗浄方法。 - 前記第1洗浄面の端に前記噴射軸線が到達したときに、前記ノズルがステップ幅だけ上昇または下降する、
請求項6に記載の洗浄方法。 - 前記対象物を、前記テーブル回転軸を中心に一定の角速度で回転させる、
請求項1〜7のいずれかに記載の洗浄方法。 - 複数の前記ノズルが洗浄流体を噴射する、
請求項1〜8のいずれかに記載の洗浄方法。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2020077361A JP7013520B2 (ja) | 2020-04-24 | 2020-04-24 | 洗浄方法 |
| US17/170,337 US11318503B2 (en) | 2020-04-24 | 2021-02-08 | Cleaning method |
| EP21158906.4A EP3900850A1 (en) | 2020-04-24 | 2021-02-24 | Cleaning method |
| KR1020210031170A KR20210131868A (ko) | 2020-04-24 | 2021-03-10 | 세정 방법 |
| CN202110283002.6A CN113546894A (zh) | 2020-04-24 | 2021-03-16 | 清洗方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2020077361A JP7013520B2 (ja) | 2020-04-24 | 2020-04-24 | 洗浄方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2021171702A true JP2021171702A (ja) | 2021-11-01 |
| JP7013520B2 JP7013520B2 (ja) | 2022-01-31 |
Family
ID=75108117
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2020077361A Active JP7013520B2 (ja) | 2020-04-24 | 2020-04-24 | 洗浄方法 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US11318503B2 (ja) |
| EP (1) | EP3900850A1 (ja) |
| JP (1) | JP7013520B2 (ja) |
| KR (1) | KR20210131868A (ja) |
| CN (1) | CN113546894A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2025034379A (ja) * | 2023-08-31 | 2025-03-13 | 特殊電極株式会社 | 塗装乾燥装置および塗装乾燥方法 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11458511B2 (en) * | 2019-07-05 | 2022-10-04 | Sugino Machine Limited | Cleaning apparatus and cleaning method |
| KR102912779B1 (ko) | 2021-10-05 | 2026-01-15 | 주식회사 엘지화학 | 디스플레이 장치 |
| CN113857153B (zh) * | 2021-11-21 | 2023-07-21 | 湖南玖芯光电科技有限公司 | 一种光纤端面清洁方法及设备 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0885063A (ja) * | 1994-09-16 | 1996-04-02 | Nippon Steel Corp | ウォータジェット研削方法および装置 |
| JPH09260321A (ja) * | 1996-03-19 | 1997-10-03 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板洗浄装置 |
| JP2011062577A (ja) * | 2009-09-15 | 2011-03-31 | Senshin:Kk | 物品搬送容器用洗浄装置 |
| JP2017062657A (ja) * | 2015-09-25 | 2017-03-30 | 株式会社スギノマシン | 運動プログラムの作成方法、コンピュータ、プログラム、および記録媒体 |
| JP2020037178A (ja) * | 2019-10-24 | 2020-03-12 | 株式会社スギノマシン | 送り台装置および動力伝達装置 |
Family Cites Families (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0692318B1 (en) * | 1994-06-28 | 2001-09-12 | Ebara Corporation | Method of and apparatus for cleaning workpiece |
| EP0849043A1 (de) * | 1996-12-19 | 1998-06-24 | Ernst Schäublin AG | Verfahren zum Entgraten der Schneidkanten eines Schneidwerkzeuges |
| US6106635A (en) * | 1997-03-06 | 2000-08-22 | Ebara Corporation | Washing method and washing apparatus |
| KR100970601B1 (ko) * | 2003-10-20 | 2010-07-16 | 요시하루 야마모토 | 기판 세정장치 |
| DE102004046802B3 (de) | 2004-09-27 | 2006-04-27 | Mafac Ernst Schwarz Gmbh & Co. Kg Maschinenfabrik | Behandlungsvorrichtung und Verfahren zur reinigenden und/oder trocknenden Behandlung von Werkstücken |
| JP4755519B2 (ja) * | 2006-03-30 | 2011-08-24 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置および基板処理方法 |
| DE102007026237B4 (de) | 2007-05-31 | 2010-04-15 | Aduna Tec Gmbh Reinigungsanlagen | Behandlungsvorrichtung und Verfahren zum Reinigen und/oder zum Trocknen von Werkstücken |
| DE202007012861U1 (de) | 2007-05-31 | 2007-12-13 | Aduna Tec Gmbh Reinigungsanlagen | Behandlungsvorrichtung zum Reinigen und/oder zum Trocknen von Werkstücken |
| JP5829082B2 (ja) * | 2011-09-09 | 2015-12-09 | オリンパス株式会社 | 洗浄装置 |
| US20140261572A1 (en) * | 2013-03-15 | 2014-09-18 | Dainippon Screen Mfg.Co., Ltd. | Substrate treatment apparatus and substrate treatment method |
| JP6498892B2 (ja) | 2014-09-12 | 2019-04-10 | 森合精機株式会社 | 洗浄装置 |
| KR102338647B1 (ko) * | 2016-05-09 | 2021-12-13 | 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 | 기판 세정 장치 |
| JP6945314B2 (ja) * | 2017-03-24 | 2021-10-06 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置 |
| CN110756490B (zh) * | 2019-11-05 | 2024-07-19 | 中信戴卡股份有限公司 | 一种副车架清洗装置 |
-
2020
- 2020-04-24 JP JP2020077361A patent/JP7013520B2/ja active Active
-
2021
- 2021-02-08 US US17/170,337 patent/US11318503B2/en active Active
- 2021-02-24 EP EP21158906.4A patent/EP3900850A1/en not_active Withdrawn
- 2021-03-10 KR KR1020210031170A patent/KR20210131868A/ko not_active Ceased
- 2021-03-16 CN CN202110283002.6A patent/CN113546894A/zh active Pending
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0885063A (ja) * | 1994-09-16 | 1996-04-02 | Nippon Steel Corp | ウォータジェット研削方法および装置 |
| JPH09260321A (ja) * | 1996-03-19 | 1997-10-03 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板洗浄装置 |
| JP2011062577A (ja) * | 2009-09-15 | 2011-03-31 | Senshin:Kk | 物品搬送容器用洗浄装置 |
| JP2017062657A (ja) * | 2015-09-25 | 2017-03-30 | 株式会社スギノマシン | 運動プログラムの作成方法、コンピュータ、プログラム、および記録媒体 |
| JP2020037178A (ja) * | 2019-10-24 | 2020-03-12 | 株式会社スギノマシン | 送り台装置および動力伝達装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2025034379A (ja) * | 2023-08-31 | 2025-03-13 | 特殊電極株式会社 | 塗装乾燥装置および塗装乾燥方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US11318503B2 (en) | 2022-05-03 |
| KR20210131868A (ko) | 2021-11-03 |
| JP7013520B2 (ja) | 2022-01-31 |
| CN113546894A (zh) | 2021-10-26 |
| US20210331213A1 (en) | 2021-10-28 |
| EP3900850A1 (en) | 2021-10-27 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP7013520B2 (ja) | 洗浄方法 | |
| KR100747098B1 (ko) | 엽채류 연속 세척장치 | |
| JP6831150B1 (ja) | 洗浄機 | |
| JP2002158202A (ja) | ウエハ洗浄装置 | |
| JP7112645B2 (ja) | 洗浄装置 | |
| JP2024102252A (ja) | スプレーアームの速度を調整する方法 | |
| JP2743665B2 (ja) | 食器洗浄機 | |
| JP2024132229A (ja) | 液体供給装置および研磨装置 | |
| JP2782943B2 (ja) | 食器洗浄機 | |
| JP2000318583A (ja) | 乾燥装置および車両を乾燥させる方法 | |
| JPH08148459A (ja) | 半導体基板の洗浄方法 | |
| JP7462082B2 (ja) | 炉蓋洗浄装置の設置方法 | |
| JP2018177213A (ja) | 洗浄装置 | |
| JP2009277933A (ja) | 高圧水噴射洗浄装置 | |
| CN105916604B (zh) | 用于对金属表面去氧化皮的方法和装置以及用于制造金属半成品的设备 | |
| JP4540031B2 (ja) | ウォータージェットによるコンクリート破砕用回転ノズル装置 | |
| KR20150101958A (ko) | 디스크-유사 물체의 표면으로부터 액체를 제거하기 위한 디바이스 및 방법 | |
| CN113769906B (zh) | 一种基于高效螺旋状清洗吹扫喷嘴的油漆表面清洗装置 | |
| JP4680688B2 (ja) | 塗装機用洗浄機構、塗装機の洗浄方法 | |
| JP5084050B2 (ja) | 物品表面の小径の孔・袋穴の洗浄方法 | |
| JP2827483B2 (ja) | パウダービームエッチングとデポジションの方法及びその装置 | |
| JP7359129B2 (ja) | 洗車機 | |
| US20250375893A1 (en) | Painting robot | |
| JP6328913B2 (ja) | オープンドラム洗浄機 | |
| JP2009156492A (ja) | 煙突のライニング材除去方法およびその装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210426 |
|
| RD13 | Notification of appointment of power of sub attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7433 Effective date: 20210512 |
|
| A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20210607 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20210513 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210713 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210721 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20211019 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20211117 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220104 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220119 |
|
| R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 7013520 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |