JP2023128200A - 溶接方法およびレーザ装置 - Google Patents
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Abstract
Description
近年、ハイブリッド車や電気自動車に組み込むモータ用のステータ(固定子)の製造においてこのレーザ溶接が利用されている。ステータは、ステータコアと、ステータコアのスロットに装着された複数のセグメントコイルとから構成され、対応するセグメントコイルの端部同士をレーザ溶接により接合する。通常、個々のセグメントコイルは丸線ではなく平角導線を用いる。これにより、丸線が作る隙間を無くし接合部の密度を上げることが可能となり、低燃費且つ小型化を実現する。溶接面は数ミリ平方メートルと微細なためレーザ溶接が適している。
特許文献1には、ステータ用コイルのレーザ溶接技術が開示されている。ここでは、対応する平角導体を隙間を置いて並べ両端面をレーザ溶融する。このとき、溶融した平角導体が固化した溶融固化部分が、両端面を窪ませるように端面下に侵入していることを特徴としている。すなわち、この技術は、従来の溶接方法において、溶融池が凸レンズ上に膨らみ溶融池が深くなることがスパッタの一つの要因であると捉え、これを抑制するために、溶接中の溶融平角導体が隙間に順次流入することにより、レーザ光が照射される被照射点における溶融池を浅く形成するというものである(段落0045参照)。
そこで本発明は、レーザ溶接により金属溶接を行う溶接方法において、良好な溶接品質を保ちながらも処理時間を短縮することが可能な溶接方法およびレーザ装置を提供することを目的とする。
また、上記の先行技術文献は溶接面の中心部分に常にレーザ光が照射される構成ではないため、上記の先行技術文献と比較すると、本発明の溶接方法は、中心部分の溶け始めが早い。それにより溶融池の形成が促進され、溶接対象のワークを早く溶融することが可能となる。
本実施態様の一態様に係る溶接方法は、レーザ装置に対向して配置される第1部材および第2部材の端部を突き合わせて、レーザ光により溶接する溶接方法であって、前記レーザ光を前記第1部材および前記第2部材を突き合わせた端面に対し、所定の旋回径で旋回照射する、前記レーザ光の集光径は、前記旋回径と同一または前記旋回径より大きく、旋回照射による前記レーザ光の照射領域は、前記第1部材および前記第2部材に跨っていることを特徴とする。
本実施形態の別態様に係る溶接方法において、前記レーザ光の波長は300~600μmであることを特徴とする。 
本実施形態の別態様に係る溶接方法において、前記端面は矩形であって、前記端面を形成する矩形の短辺の長さをaとし、前記レーザ光の集光径をd1とし、前記旋回径をrとすると、r≦d1<aであることを特徴とする。
本実施形態の別態様に係る溶接方法において、前記レーザ光の出力パワーは、500W~2kWであることを特徴とする。
本実施形態の別態様に係る溶接方法において、前記端面における前記レーザ光のエネルギー強度分布は、前記照射領域の略中心部分において最も強く、前記照射領域の前記略中心部以外の領域において弱くなり、前記照射領域外がゼロであることを特徴とする。
本実施形態の別態様に係る溶接方法は、さらに、前記レーザ光と波長が異なる第2のレーザ光を前記端面に対して旋回照射し、前記第2のレーザ光の集光径は、前記レーザ光の集光径より小さいことを特徴とする。
本実施形態の別態様に係る溶接方法において、前記第2のレーザ光の波長は、780nm~1100nmであることを特徴とする。
本実施形態の別態様に係る溶接方法において、前記第2のレーザ光の集光径は、前記レーザ光の集光径の10分の1以下であることを特徴とする。
本実施形態の別態様に係る溶接方法において、前記第2のレーザ光の集光径は、10μm~100μmであることを特徴とする。
本実施形態の別態様に係る溶接方法において、前記レーザ光および前記第2のレーザ光を、旋回速度100~1000mm/sで旋回させることを特徴とする。
本実施形態の別態様に係る溶接方法において、前記レーザ光および前記第2のレーザ光の照射時間は、50msec以上であることを特徴とする。
本実施形態の別態様に係る溶接方法において、前記レーザ光および前記第2のレーザ光の照射と同時若しくは照射前から、照射が終了するまで若しくはそれ以上、前記端面に対して、流量が5L/min~100L/min、前記端面に対する傾き角度が0~90°で窒素を吹き付けることを特徴とする。
本実施態様の一態様に係る溶接方法は、レーザ装置に対向して配置される第1部材および第2部材の端部を突き合わせて、レーザ光により溶接する溶接方法であって、前記レーザ光は、波長が異なる第1レーザ光と第2レーザ光とから成り、前記レーザ光を前記端面の略中心に対し所定の旋回径で旋回照射することにより、前記第1レーザ光および前記第2レーザ光が前記端面に対して環状に照射され、前記第2レーザ光の集光径は、前記第1レーザ光の集光径より小さいことを特徴とする。
本実施態様の一態様に係るレーザ装置は、第1部材および第2部材の端部を突き合わせて溶接するレーザ装置であって、第1レーザ光を発振する第1発振器と、前記第1レーザ光と波長が異なる第2レーザ光を発振する第2発振器と、前記第1レーザ光と前記第2レーザ光とを同一の光軸上に重畳するコンバイナ部と、前記第1レーザ光および前記第2レーザ光を前記端面の略中心に対し所定の旋回径で旋回照射するガルバノスキャナ部とを備え、前記第1レーザ光の集光径は、前記旋回径と同一または前記旋回径より大きく、前記第2レーザ光の集光径は、前記第1レーザ光の集光径より小さいことを特徴とする。
<第1実施形態>
ここでは、本発明の第1実施形態であるレーザ装置100について説明する。レーザ装置100は、熱伝導率が高い材料で形成された被加工物の突き合わせ溶接を行う装置であって、矩形形状の溶接面におけるレーザのエネルギー分布が、中心部において最も高く、周縁部においてゼロとなるようにレーザを照射することにより熱伝導溶接を行う。
第1レーザ光L1として本実施形態では、マルチモードファイバと連結した青色半導体レーザを用いる。第1レーザ光L1は、波長が300~600nmであればよく、青色レーザに替えて緑色レーザを用いてもよい。第1レーザ光L1の出力パワーは500W~2kWが好ましい。
図3を用いて溶接対象のワークWについて説明する。図3(a)は、電気自動車等のモータの固定子であるステータ50の概略構成を示す斜視図である。同図に示すように、ステータ50は、略円筒形状のステータコア51と複数のセグメントコイル52とを有する。セグメントコイル52は、断面が矩形状の電線すなわち平角導体である。通常、セグメントコイル52は純銅製のものが用いられるが、銅を主成分とする合金、銅およびアルミニウムから成る合金等、高導電率を有する金属材料で構成してもよい。各セグメントコイル52の端部はステータコア51の上端部から突出しており、レーザ装置100は、ステータコア51の径方向に隣接する2つのセグメントコイル(平角導体)52の端部同士をレーザ溶接する。
図4(a)は、ガルバノスキャナ8が停止している状態のワークWにおける第1レーザ光L1の照射領域を模式的に示す図である。ワークWは上述したように2つのセグメントコイル52の端部を突き合わせた矩形状をしており、その大きさは任意である。短辺の長さをa、長辺の長さをbとすると、通常のステータのセグメントコイルの場合、2.5mm≦a≦4.0mm、3.0mm≦b≦5.0mm程度である。そうすると、ワークWの総面積(a×b)は、7.5mm2≦(a×b)≦20.0mm2程度となる。本実施形態では、一例として、a=2.8mm、b=3.2mmとする。
図4(a)に示すように、第1レーザ光L1の集光径をd1として、この第1レーザ光L1を矢印で示すように、ワークWの中心Oに対して旋回径rで旋回させる。このとき、r≦d1<aとなる。好ましくはr<d1<aである。
また、第1レーザ光L1の集光面積(図4(a)のグレーの領域)がワークWの総面積の1パーセント~30パーセントとなるように集光径d1を決定してもよい。ここでは一例として、旋回径rを800μmとし、集光径d1を1050μmとする。
図4(b)に示すように、ワークWの中心部分における径がd1-rである円形領域s(図4(b)の濃いグレーの領域)には、第1レーザ光L1が常時照射される。すなわち、第1レーザ光L1のエネルギー分布は、ワークWの中心部分である円形領域sが最も高く、それ以外の領域では中心部分よりも低く一定であり、照射領域Sの外部には第1レーザ光L1が照射されないため、エネルギー分布はゼロとなる。
レーザ装置100は、第1レーザ光L1を旋回速度500mm/sで旋回させる。また、第1レーザ光L1の照射時間は、50msec以上とする。
また、第1レーザ光L1を旋回照射することにより、集光径が大きく且つ大出力のレーザ光源を用いなくとも、ワークWに対して必要なエネルギーを供給することが可能となる。
シールドノズル9a、9bによってワークWに対し窒素を供給することにより、レーザ装置100は、窒素雰囲気中でワークWの溶接を行う。シールドガスにより溶接面の酸化を防止し、これにより、溶接面の酸化により生じる溶接強度の低下およびポロシティの発生を抑制することが可能となる。更には、シールドガスの流量、ノズルチップ径、ワーキングディスタンス等の条件を好適に選択することにより、溶融玉のゆれを抑制し綺麗な溶融玉を形成することが可能となる。特に、左右から窒素を吹き付けることにより、左右対称の綺麗な溶融玉が形成される。これにより溶接品質が向上する。
続いて、本発明の第2実施形態について説明する。第2実施形態は、第1レーザ光L1に更に第2レーザ光L2を追加で照射することにより、溶接処理を更に高速で行うことができる溶接方法である。
図5は、第2実施形態に係るレーザ装置1の概略構成を示す図である。同図に示すように、レーザ装置1は、第1レーザ光L1を発振する第1発振器2と、第2レーザ光L2を発振する第2発振器3と、第1レーザ光L1を伝送する光ファイバである伝送ファイバ21と、第2レーザ光L2を伝送する光ファイバである伝送ファイバ31と、第1レーザ光L1を平行光に変換するコリメートレンズ22と、第2レーザ光L2を平行光に変換するコリメートレンズ32と、第1レーザ光L1および第2レーザ光L2の光軸を一致させるためのミラー4、5と、第1レーザ光L1および第2レーザ光L2の集光径を縮小する集光レンズ6と、集光レンズ6を保護するための保護ガラス7と、ワークWに対する第1レーザ光L1および第2レーザ光L2の照射位置を変位させるガルバノスキャナ8と、ワークWに対しシールドガスを供給するためのシールドノズル9a、9bとから構成される。
第1発振器2、第2発振器3から発振された第1レーザ光L1、第2レーザ光L2は、それぞれコリメートレンズ22、32にて平行光化される。コリメートレンズ22、32を通過した第1レーザ光L1、第2レーザ光L2は、ミラー4およびミラー5により光軸が一致するように重畳される。その後、集光レンズ6に向けて光軸が変更され、集光レンズ6により所定の径に縮小される。そして、ガルバノスキャナ8にて対向するワークWに対し旋回照射される。なお、ミラー5は、第1レーザ光L1の波長は反射し、第2レーザ光L2の波長は透過するダイクロイックミラーである。このように、レーザ装置1は、ワークWに対し2つのレーザ光L1およびL2を照射して溶接を行う。
また、第1レーザ光L1の波長は、300nm~600nmであり、第2レーザ光L2の波長は、780nm~1100nmである。すなわち、第1レーザ光L1および第2レーザ光L2は互いに波長が異なり、第1レーザ光L1の波長が第2レーザ光L2の波長よりも短い。ビームモードはマルチモード、シングルモードいずれを使用することも可能であるが、本実施形態では、第1レーザ光L1はマルチモード、第2レーザ光L2はシングルモードを用いている。後述するが、第2レーザ光L2は第1レーザ光L1と比較すると集光径が小さいスポット光である。そのため、第2発振器3としてシングルモードファイバレーザを用いることにより、ビーム径が小さくエネルギー強度が高尖頭値の第2レーザ光L2を効果的に生成することができる。
図6は、第1レーザ光L1の集光径d1が、第1実施形態と同様にr≦d1である場合の溶接方法の一例を示している。図7は、第1レーザ光L1の集光径d1が、r>d1である場合の溶接方法の一例を示している。
先ずは、r≦d1の例を説明する。図6(a)は、ガルバノスキャナ8が停止している状態のワークWにおける第1レーザ光L1および第2レーザ光L2の照射領域を模式的に示す図である。ワークWについては既に第1実施形態で説明した通りであり、本実施形態においてもワークWの大きさは一例として、a=2.8mm、b=3.2mmとする。
また、第1実施形態と同様に、第1レーザ光L1の集光面積(図6(a)のグレーの領域)がワークWの総面積の1パーセント~30パーセントとなるように集光径d1を決定してもよい。
図6(b)に示すように、ワークWの中心部分における径がd1-rである円形領域s(図6(b)の濃いグレーの領域)には、第1レーザ光L1が常時照射される。すなわち、第1レーザ光L1のエネルギー分布は、ワークWの中心部分である円形領域sが最も高く、それ以外の領域では中心部分よりも低く一定であり、照射領域Sの外部には第1レーザ光L1が照射されないため、エネルギー分布はゼロとなる。
このようにr≦d1の場合、ワークWの中心部分には常に第1レーザ光L1が照射されるため、ワークWの中心部分に対して十分なエネルギー密度で第1レーザ光L1を照射することが可能となる。そのため、中心部分に最も熱が蓄積され、2つのセグメントコイル52の接合面において最も温度が上昇し、突合せ面52bに深い溶融池が形成される。そして熱伝導によってワークWの端部に向かって徐々に溶融していく。すなわち、本実施形態のレーザ装置1も第1実施形態のレーザ装置100と同様に熱伝導溶接を行う。
レーザ装置1は、第1レーザ光L1の照射により熱吸収率が高まっている状態のワークWに対し、さらに、第2レーザ光L2も照射する。これにより、被加工物の溶融が加速されて、溶接処理の高速化が可能となる。
このように、ワークWの中心部分に第1レーザ光L1が照射されない場合であっても、第2レーザ光L2の照射が追加されることにより、照射開始直後は、第2レーザ光L2が照射された部分から溶け始めるが、ワークWの中心部分に熱が伝播し、中心部分に最もエネルギーが蓄積される。そのため、2つのセグメントコイル52の接合面において最も温度が上昇し、突合せ面52bに深い溶融池が形成される。更に、第2レーザ光L2の照射により、被加工物の溶融が加速されて、溶接処理の高速化が可能となる。また、ワークWのエッジ部分にはレーザ光が照射されないので、ワークWの中心部分から端部に向かって徐々に溶融し、綺麗な溶融玉を形成することができる。
<実施形態の効果>
レーザ装置100は、波長が300nm~600nmであり銅に対する光吸収率が高い第1レーザ光L1を旋回照射することによりワークWに溶融池を形成する。そして、レーザ装置100は、照射面の中心に強いエネルギー、照射面の周縁部にはレーザ光を照射しない。このようなエネルギー分布で第1レーザ光L1を照射することにより、熱伝導率が高い被加工物に対して綺麗な溶融玉を形成することが可能となる。
レーザ装置1は、波長が300nm~600nmであり銅に対する光吸収率が高い第1レーザ光L1を旋回照射することによりワークWに溶融池を形成する。そして、形成される溶融池内部において集光径が小さくエネルギー密度が高い第2レーザ光L2を高速で旋回させながら照射することにより、溶融池内部において局所的に深い溶け込み深さを実現し、溶融池の形成を促進させる。
また、レーザ装置1、レーザ装置100は、従来の溶接装置と比較すると、集光径が大きい第1レーザ光L1を溶接に用いる。その第1レーザ光L1を、レーザ装置1、レーザ装置100は更に旋回照射することにより、ワークWに対し効果的に熱を与えて熔融することができる。
図8は、第2実施形態のレーザ装置1を用いてステータ50のセグメントコイル52を溶接した結果を示す。同図に示すように、光沢があり左右対称の綺麗な溶融玉が形成されていることが分かる。
また、レーザ装置1、レーザ装置100はガルバノスキャナ8により各レーザ光の光軸を二次元的に変位することが可能であるから、ガルバノスキャナ8を備えていないレーザ装置と比較すると、各段にステータ用のセグメントコイルの溶接に要する処理時間を短縮させることが可能となる。
一方で、ガルバノスキャナ8を備えるレーザ装置1、レーザ装置100を用いれば、図9(b)に示すように、ガルバノスキャナ8にてワークW1に対するレーザ光L1、L2の照射位置を合わせた後、レーザ照射する。次に、ワークW2の溶接を行うため、ガルバノスキャナ8にてワークW2に対するレーザ光L1、L2の照射位置を合わせた後、レーザ照射する。すなわち、レーザ装置1、レーザ装置100では、ガルバノスキャナ8を用いることにより、レーザ装置の搬送が不要となる。ワークW3、ワークW4についても同様に、各ワークの溶接加工の都度レーザ装置を搬送する必要がなく、位置決めおよびレーザ照射を繰り返し行うことができる。
<変形例>
以上、本発明の一実施態様として、レーザ装置1およびレーザ装置100について説明したが、本発明は上記に説明したレーザ装置1、レーザ装置100およびこれらの装置による溶接方法に限定されないのは勿論であり、上記実施形態を以下のように変更することも可能である。
ここでは、上記実施形態の変形例を説明する。上記実施形態と以下に説明する変形例とを如何様にも組み合わせることができる。
(2)第1実施形態、第2実施形態において、第1レーザ光L1の集光径d1は、1050μmに限定されない。上記で説明したように、第1レーザ光L1の照射領域の面積(集光面積、スポット面積)がワークWの総面積の1パーセント~30パーセントとなるように集光径d1を選択することが可能である。
また、第2実施形態において、第2レーザ光L2の集光径d2は40μmに限定されない。第2レーザ光L2の集光径d2は、10~100μm程度とすることが可能であり、第1レーザ光L1の集光径d1の10分の1以下とすることが好ましい。
(3)上記の第1実施形態、第2実施形態では、第1レーザ光L1、第2レーザ光L2の旋回速度を500mm/sとして説明したが、第1レーザ光L1、第2レーザ光L2の旋回速度はこれに限定されず、100~1000mm/sの範囲であればよい。
(4)上記の第2実施形態では、第1レーザ光L1はマルチモードであり、第2レーザ光L2はシングルモードであると説明したが、これは一例であり、各レーザ光のビームモードは限定されない。
(6)上記の第1実施形態、第2実施形態では、第1レーザ光L1および第2レーザ光L2は、ワークW(溶接面)上に焦点を合わせているが、本発明においては、第1レーザ光L1および第2レーザ光L2はともに、溶接面から鉛直方向に±2mmの範囲の位置に焦点を合わせてもよい。
(7)上記の第1実施形態、第2実施形態において第1レーザ光L1、第2レーザ光L2は円形ビームであったが、第1レーザ光L1、第2レーザ光L2のビーム形状はこれに限定されない。例えば、楕円形状のビームや矩形形状のビームを用いてもよい。この場合、矩形の溶接面において長手方向を長径とすることが好ましい。
(9)第2実施形態では第1レーザ光L1の光軸と第2レーザ光L2の光軸とを一致させてガルバノスキャナ8で旋回照射している。しかし本発明はこれには限定されず、第1レーザ光L1の光軸と第2レーザ光L2の光軸とが不一致でもよく、それぞれを別個のレーザ走査光学系(ガルバノスキャナ)で旋回させることも可能である。すなわち、レーザ装置100が2つのガルバノスキャナを備えており、一方のガルバノスキャナが第1レーザ光L1を旋回させて、他方のガルバノスキャナが第2レーザ光L2を旋回させる構成も本発明に含まれる。
2 第1発振器
3 第2発振器
4、5 ミラー(コンバイナ部)
6 集光レンズ
7 保護ガラス
8 ガルバノスキャナ
9a、9b シールドノズル
21、31 伝送ファイバ
21、32 コリメートレンズ
52 セグメントコイル(第1部材、第2部材)
52a 端面
Claims (19)
- レーザ装置に対向して配置される第1部材および第2部材の端部を突き合わせて、レーザ光により溶接する溶接方法であって、
前記レーザ光を前記第1部材および前記第2部材を突き合わせた端面に対し、所定の旋回径で旋回照射する、
前記レーザ光の集光径は、前記旋回径と同一または前記旋回径より大きく、
旋回照射による前記レーザ光の照射領域は、前記第1部材および前記第2部材に跨っている
ことを特徴とする溶接方法。 - 前記レーザ光の波長は300~600μmである
ことを特徴とする請求項1に記載の溶接方法。 - 前記端面は矩形であって、
前記端面を形成する矩形の短辺の長さをaとし、前記レーザ光の集光径をd1とし、前記旋回径をrとすると、
r≦d1<aである
ことを特徴とする請求項2に記載の溶接方法。 - 前記レーザ光の集光面積は前記端面の総面積の1パーセント~30パーセントである
ことを特徴とする請求項3に記載の溶接方法。 - 前記レーザ光の出力パワーは、500W~2kWである
ことを特徴とする請求項4に記載の溶接方法。 - 前記端面における前記レーザ光のエネルギー強度分布は、前記照射領域の略中心部分において最も強く、前記照射領域の前記略中心部以外の領域において弱くなり、前記照射領域外がゼロである
ことを特徴とする請求項1から請求項5の何れか一項に記載の溶接方法。 - 前記溶接方法は、さらに、
前記レーザ光と波長が異なる第2のレーザ光を前記端面に対して旋回照射し、
前記第2のレーザ光の集光径は、前記レーザ光の集光径より小さい
ことを特徴とする請求項1に記載の溶接方法。 - 前記レーザ光の光軸と前記第2のレーザ光の光軸とが一致している
ことを特徴とする請求項7に記載の溶接方法。 - 前記第2のレーザ光の波長は、780nm~1100nmである
ことを特徴とする請求項8に記載の溶接方法。 - 前記第2のレーザ光の集光径は、前記レーザ光の集光径の10分の1以下である
ことを特徴とする請求項9に記載の溶接方法。 - 前記第2のレーザ光の集光径は、10μm~100μmである
ことを特徴とする請求項9に記載の溶接方法。 - 前記レーザ光および前記第2のレーザ光を、旋回速度100~1000mm/sで旋回させる
ことを特徴とする請求項7から請求項11の何れか一項に記載の溶接方法。 - 前記レーザ光および前記第2のレーザ光の照射時間は、50msec以上である
ことを特徴とする請求項7から請求項12の何れか一項に記載の溶接方法。 - 前記第1部材と前記第2部材とは、ステータ用のコイルを構成する断面矩形の平角導体であって、
前記レーザ装置に対向して配置される2つの平角導体の端部を突き合わせて前記レーザ光および前記第2のレーザ光により溶接することにより前記端面に溶融玉を形成する
ことを特徴とする請求項1から請求項13の何れか一項に記載の溶接方法。 - 前記レーザ光および前記第2のレーザ光の照射と同時若しくは照射前から、照射が終了するまで若しくはそれ以上、前記端面に対して、流量が5L/min~100L/min、前記端面に対する傾き角度が0~90°で窒素を吹き付ける
ことを特徴とする請求項1から請求項14の何れか一項に記載の溶接方法。 - レーザ装置に対向して配置される第1部材および第2部材の端部を突き合わせて、レーザ光により溶接する溶接方法であって、
前記レーザ光は、波長が異なる第1レーザ光と第2レーザ光とから成り、
前記レーザ光を前記端面の略中心に対し所定の旋回径で旋回照射することにより、前記第1レーザ光および前記第2レーザ光が前記端面に対して環状に照射され、
前記第2レーザ光の集光径は、前記第1レーザ光の集光径より小さい
ことを特徴とする溶接方法。 - 第1部材および第2部材の端部を突き合わせて溶接するレーザ装置であって、
レーザ光を発振する発振器と、
前記レーザ光を前記端面の略中心に対し所定の旋回径で旋回照射するガルバノスキャナ部とを備え、
前記レーザ光の集光径は、前記旋回径と同一または前記旋回径より大きく、
旋回照射による前記レーザ光の照射領域は、前記第1部材および前記第2部材に跨っている
ことを特徴とするレーザ装置。 - 第1部材および第2部材の端部を突き合わせて溶接するレーザ装置であって、
第1レーザ光を発振する第1発振器と、
前記第1レーザ光と波長が異なる第2レーザ光を発振する第2発振器と、
前記第1レーザ光と前記第2レーザ光とを同一の光軸上に重畳するコンバイナ部と、
前記第1レーザ光および前記第2レーザ光を前記端面の略中心に対し所定の旋回径で旋回照射するガルバノスキャナ部とを備え、
前記第1レーザ光の集光径は、前記旋回径と同一または前記旋回径より大きく、
前記第2レーザ光の集光径は、前記第1レーザ光の集光径より小さい
ことを特徴とするレーザ装置。 - 第1部材および第2部材の端部を突き合わせて溶接するレーザ装置であって、
第1レーザ光を発振する第1発振器と、
前記第1レーザ光と波長が異なる第2レーザ光を発振する第2発振器と、
前記第1レーザ光および前記第2レーザ光を前記端面の略中心に対し所定の旋回径で旋回照射する1以上のガルバノスキャナ部とを備え、
前記第1レーザ光および前記第2レーザ光が前記端面に対して環状に照射され、
前記第2レーザ光の集光径は、前記第1レーザ光の集光径より小さい
ことを特徴とするレーザ装置。
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