JP2746105B2 - ミラー偏向器 - Google Patents
ミラー偏向器Info
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- 230000008602 contraction Effects 0.000 claims description 45
- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims description 14
- 230000006835 compression Effects 0.000 claims description 2
- 238000007906 compression Methods 0.000 claims description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000003796 beauty Effects 0.000 description 1
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- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はミラー偏向器に関し、特
に、圧電素子を駆動源とする信頼度の高い高速のミラー
偏向器に関する。
に、圧電素子を駆動源とする信頼度の高い高速のミラー
偏向器に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のミラー偏向器は、図３に示すよう
に、光ビームを偏向するためのミラー１と、ミラー１を
保持し、第１圧電素子１６と第２圧電素子１７の伸縮差
を角度に変換するための２系統のヒンジを有する可動部
２と、ミラー偏向器全体を固定するための固定部３と、
電極１８，１９に電圧を加えることにより伸縮させられ
る第１圧電素子１６と、電極２０，２１に電圧を加える
ことにより伸縮させられる第２圧電素子１７とからな
る。
に、光ビームを偏向するためのミラー１と、ミラー１を
保持し、第１圧電素子１６と第２圧電素子１７の伸縮差
を角度に変換するための２系統のヒンジを有する可動部
２と、ミラー偏向器全体を固定するための固定部３と、
電極１８，１９に電圧を加えることにより伸縮させられ
る第１圧電素子１６と、電極２０，２１に電圧を加える
ことにより伸縮させられる第２圧電素子１７とからな
る。
【０００３】電極１８，１９に電圧を印加すると、第１
圧電素子１６は長さ方向に伸縮し、電極２０，２１に電
圧を印加すると、第２圧電素子１７も長さ方向に伸縮
し、その伸縮量は印加電圧にほぼ比例する。第１圧電素
子１６への印加電圧を第２圧電素子１７への印加電圧よ
りも大きくすると、第１圧電素子１６の伸長量が第２圧
電素子１７の伸長量より大きくなり、伸長量の差が可動
部２のヒンジ部分で角度変化に変換され、可動部２に保
持されたミラー１は＋θ方向に偏向される。第１圧電素
子１６と第２圧電素子１７に印加する電圧の大小関係を
逆転すれば、ミラー１は−θ方向に偏向される。このよ
うに、ミラー１は第１圧電素子１６と第２圧電素子１７
に印加する電圧を制御することにより、±θ方向に偏向
することができる。
圧電素子１６は長さ方向に伸縮し、電極２０，２１に電
圧を印加すると、第２圧電素子１７も長さ方向に伸縮
し、その伸縮量は印加電圧にほぼ比例する。第１圧電素
子１６への印加電圧を第２圧電素子１７への印加電圧よ
りも大きくすると、第１圧電素子１６の伸長量が第２圧
電素子１７の伸長量より大きくなり、伸長量の差が可動
部２のヒンジ部分で角度変化に変換され、可動部２に保
持されたミラー１は＋θ方向に偏向される。第１圧電素
子１６と第２圧電素子１７に印加する電圧の大小関係を
逆転すれば、ミラー１は−θ方向に偏向される。このよ
うに、ミラー１は第１圧電素子１６と第２圧電素子１７
に印加する電圧を制御することにより、±θ方向に偏向
することができる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】この従来のミラー偏向
器は第１圧電素子及び第２圧電素子が駆動源であり、第
１圧電素子及び第２圧電素子に設けた電極の破損によ
り、一方が故障した場合、ミラーの偏向角は＋θ方向か
又は−θ方向のいずれかしか駆動できず、そのため、故
障時には光ビームをトラッキングするような、±θ方向
に駆動する用途には使用できなくなるという問題があっ
た。
器は第１圧電素子及び第２圧電素子が駆動源であり、第
１圧電素子及び第２圧電素子に設けた電極の破損によ
り、一方が故障した場合、ミラーの偏向角は＋θ方向か
又は−θ方向のいずれかしか駆動できず、そのため、故
障時には光ビームをトラッキングするような、±θ方向
に駆動する用途には使用できなくなるという問題があっ
た。
【０００５】本発明の目的は、圧電素子（ミラー偏向
器）の信頼度を高め、高速駆動を可能とするものであ
る。
器）の信頼度を高め、高速駆動を可能とするものであ
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、光ビームを偏向するためのミラーと、所
定の方向に伸縮する第１および第２の２系統の伸縮手段
と、前記ミラーを保持し、前記第１および第２の伸縮手
段の一端とそれぞれ接続され、前記第１および第２の伸
縮手段における伸縮差を角度に変換するための第１およ
び第２のヒンジを有する可動部と、前記第１および第２
の伸縮手段の他端を固定する固定部と、を有するミラー
偏光器において、前記第１の伸縮手段として伸縮方向に
対して垂直な方向に電界がかかるよう両側面に対向して
電極を有し、伸縮方向に対して直列に接続された複数の
圧電素子を備え、前記第２の伸縮手段として伸縮方向に
対して垂直な方向に電界がかかるよう両側面に対向して
電極を有し、伸縮方向に対して直列に接続された複数の
圧電素子を備える。これにより、前記第１の伸縮手段に
おける複数の圧電素子のうちの少なくとも１つにおける
伸縮動作と、前記第２の伸縮手段における複数の圧電素
子のうちの少なくとも１つにおける伸縮動作のみによる
偏向動作が可能となり、ミラー偏向器の信頼度を大きく
高めることができる。
に、本発明は、光ビームを偏向するためのミラーと、所
定の方向に伸縮する第１および第２の２系統の伸縮手段
と、前記ミラーを保持し、前記第１および第２の伸縮手
段の一端とそれぞれ接続され、前記第１および第２の伸
縮手段における伸縮差を角度に変換するための第１およ
び第２のヒンジを有する可動部と、前記第１および第２
の伸縮手段の他端を固定する固定部と、を有するミラー
偏光器において、前記第１の伸縮手段として伸縮方向に
対して垂直な方向に電界がかかるよう両側面に対向して
電極を有し、伸縮方向に対して直列に接続された複数の
圧電素子を備え、前記第２の伸縮手段として伸縮方向に
対して垂直な方向に電界がかかるよう両側面に対向して
電極を有し、伸縮方向に対して直列に接続された複数の
圧電素子を備える。これにより、前記第１の伸縮手段に
おける複数の圧電素子のうちの少なくとも１つにおける
伸縮動作と、前記第２の伸縮手段における複数の圧電素
子のうちの少なくとも１つにおける伸縮動作のみによる
偏向動作が可能となり、ミラー偏向器の信頼度を大きく
高めることができる。
【０００７】そして、本発明は、前記第１および第２の
伸縮手段が、伸縮方向に対して直列に接続された２つの
圧電素子によりそれぞれ伸縮動作するように構成したも
のである。これにより、第１の伸縮手段における２つの
圧電素子のうちの少なくとも１つにおける伸縮動作と第
２の伸縮手段における２つの圧電素子のうちの少なくと
も１つにおける伸縮動作によって偏向動作を可能とし、
ミラー偏向器の信頼度を高めることができる。
伸縮手段が、伸縮方向に対して直列に接続された２つの
圧電素子によりそれぞれ伸縮動作するように構成したも
のである。これにより、第１の伸縮手段における２つの
圧電素子のうちの少なくとも１つにおける伸縮動作と第
２の伸縮手段における２つの圧電素子のうちの少なくと
も１つにおける伸縮動作によって偏向動作を可能とし、
ミラー偏向器の信頼度を高めることができる。
【０００８】また、本発明は、第１圧電素子と第２圧電
素子に印加する電圧の増減を互いに異なる方向に制御
し、第３圧電素子と第４圧電素子に印加する電圧の増減
を互いに異なる方向に制御するようにしたものである。
素子に印加する電圧の増減を互いに異なる方向に制御
し、第３圧電素子と第４圧電素子に印加する電圧の増減
を互いに異なる方向に制御するようにしたものである。
【０００９】さらに、本発明は、光ビームを偏向するた
めのミラーと、所定の方向に伸縮する第１および第２の
２系統の伸縮手段と、前記ミラーを保持し、前記第１お
よび第２の伸縮手段の一端とそれぞれ接続され、前記第
１および第２の伸縮手段における伸縮差を角度に変換す
るための第１および第２のヒンジを有する可動部と、前
記第１および第２の伸縮手段の他端を固定する固定部
と、を備えたミラー偏光器において、前記第１の伸縮手
段は伸縮方向に対してそれぞれ垂直な方向に電界がかか
るよう両側面に２つに分割された第１および第２の対向
電極が設けられた第１の圧電素子により伸縮動作し、前
記第２の伸縮手段は伸縮方向に対してそれぞれ垂直な方
向に電界がかかるよう両側面に２つに分割された第３お
よび第４の対向電極が設けられた第２の圧電素子により
伸縮動作するように構成したものである。これにより、
前記第１または第２の対向電極に発生した電界による前
記第１の圧電素子の伸縮動作と、前記第３または第４の
対向電極に発生した電界による前記第２の圧電素子の何
れか一方における伸縮動作とによって偏向動作が可能と
なり、ミラー偏向器の信頼度を高めると共により高速な
ミラー偏向器の駆動が実現できる。
めのミラーと、所定の方向に伸縮する第１および第２の
２系統の伸縮手段と、前記ミラーを保持し、前記第１お
よび第２の伸縮手段の一端とそれぞれ接続され、前記第
１および第２の伸縮手段における伸縮差を角度に変換す
るための第１および第２のヒンジを有する可動部と、前
記第１および第２の伸縮手段の他端を固定する固定部
と、を備えたミラー偏光器において、前記第１の伸縮手
段は伸縮方向に対してそれぞれ垂直な方向に電界がかか
るよう両側面に２つに分割された第１および第２の対向
電極が設けられた第１の圧電素子により伸縮動作し、前
記第２の伸縮手段は伸縮方向に対してそれぞれ垂直な方
向に電界がかかるよう両側面に２つに分割された第３お
よび第４の対向電極が設けられた第２の圧電素子により
伸縮動作するように構成したものである。これにより、
前記第１または第２の対向電極に発生した電界による前
記第１の圧電素子の伸縮動作と、前記第３または第４の
対向電極に発生した電界による前記第２の圧電素子の何
れか一方における伸縮動作とによって偏向動作が可能と
なり、ミラー偏向器の信頼度を高めると共により高速な
ミラー偏向器の駆動が実現できる。
【００１０】
【作用】本発明は、一方の系統の圧電素子を、両側面に
対向して設けられた電極を有する第１圧電素子と、両側
面に対向して設けられた電極を有する第２圧電素子との
直列接続から構成し、他方の系統の圧電素子を、両側面
に対向して設けられた電極を有する第３圧電素子と、両
側面に対向して設けられた電極を有する第４圧電素子と
の直列接続から構成して、各電極に電圧を印加し、各系
統の圧電素子を動作させているので、第１圧電素子の電
極が破損しても、第２圧電素子が動作しているので、ミ
ラー偏向器としての動作をしなくなることはない。
対向して設けられた電極を有する第１圧電素子と、両側
面に対向して設けられた電極を有する第２圧電素子との
直列接続から構成し、他方の系統の圧電素子を、両側面
に対向して設けられた電極を有する第３圧電素子と、両
側面に対向して設けられた電極を有する第４圧電素子と
の直列接続から構成して、各電極に電圧を印加し、各系
統の圧電素子を動作させているので、第１圧電素子の電
極が破損しても、第２圧電素子が動作しているので、ミ
ラー偏向器としての動作をしなくなることはない。
【００１１】また、本発明は、各々の系統の圧電素子の
両側面に対向して電極を設け、電極を２つに分割して構
成し、各電極に電圧を印加し、各系統の圧電素子を動作
させているので、１つの電極が破損しても、その系統の
圧電素子は動作しているので、ミラー偏向器としての動
作をしなくなることはない。
両側面に対向して電極を設け、電極を２つに分割して構
成し、各電極に電圧を印加し、各系統の圧電素子を動作
させているので、１つの電極が破損しても、その系統の
圧電素子は動作しているので、ミラー偏向器としての動
作をしなくなることはない。
【００１２】
【実施例】次に、本発明について図面を参照して説明す
る。図１は本発明の一実施例のミラー偏向器の構成図で
ある。ミラー偏向器は、光ビームを偏向するためのミラ
ー１と、ミラー１を保持し、第１圧電素子４と第２圧電
素子５とを直列接続したものと、第３圧電素子６と第４
圧電素子７とを直列接続したものとの伸縮差を角度に変
換するための２系統のヒンジを有する可動部２と、ミラ
ー偏向器全体を固定するための固定部３と、電極８，９
に電圧を加えることにより伸縮させられる第１圧電素子
４と、電極１０，１１に電圧を加えることにより伸縮さ
せられる第２圧電素子５と、電極１２，１３に電圧を加
えることにより伸縮させられる第３圧電素子６と、電極
１４，１５に電圧を加えることにより伸縮させられる第
４圧電素子７とからなる。
る。図１は本発明の一実施例のミラー偏向器の構成図で
ある。ミラー偏向器は、光ビームを偏向するためのミラ
ー１と、ミラー１を保持し、第１圧電素子４と第２圧電
素子５とを直列接続したものと、第３圧電素子６と第４
圧電素子７とを直列接続したものとの伸縮差を角度に変
換するための２系統のヒンジを有する可動部２と、ミラ
ー偏向器全体を固定するための固定部３と、電極８，９
に電圧を加えることにより伸縮させられる第１圧電素子
４と、電極１０，１１に電圧を加えることにより伸縮さ
せられる第２圧電素子５と、電極１２，１３に電圧を加
えることにより伸縮させられる第３圧電素子６と、電極
１４，１５に電圧を加えることにより伸縮させられる第
４圧電素子７とからなる。
【００１３】第１圧電素子４と第２圧電素子５に電圧を
印加したときの合計の伸長量が、第３圧電素子６と第４
圧電素子７に電圧を印加したときの合計の伸長量よりも
大きい場合、伸長量の差が可動部２のヒンジ部分で角度
変化に変換され、可動部２に保持されたミラー１は＋θ
方向に偏向される。第１圧電素子４と第２圧電素子５の
合計の伸長量と第３圧電素子６と第４圧電素子７の合計
の伸長量の関係を逆転すれば、ミラー１は−θ方向に偏
向される。
印加したときの合計の伸長量が、第３圧電素子６と第４
圧電素子７に電圧を印加したときの合計の伸長量よりも
大きい場合、伸長量の差が可動部２のヒンジ部分で角度
変化に変換され、可動部２に保持されたミラー１は＋θ
方向に偏向される。第１圧電素子４と第２圧電素子５の
合計の伸長量と第３圧電素子６と第４圧電素子７の合計
の伸長量の関係を逆転すれば、ミラー１は−θ方向に偏
向される。
【００１４】仮に、４個の圧電素子のうち、１個、例え
ば、第１圧電素子４が、電極８の破損により、故障した
場合、ミラー偏向器は、＋θ方向にも故障前の半分の角
度ではあるが、駆動することができる。つまり、１個の
圧電素子の故障による致命的な性能逸失は回避できるの
で、信頼度を増すことができる。
ば、第１圧電素子４が、電極８の破損により、故障した
場合、ミラー偏向器は、＋θ方向にも故障前の半分の角
度ではあるが、駆動することができる。つまり、１個の
圧電素子の故障による致命的な性能逸失は回避できるの
で、信頼度を増すことができる。
【００１５】圧電素子は、ミラー偏向器全体の形状の制
約や機械的剛性等の制約が許せば、３個以上有限個の直
列接続が可能であり、更に、信頼度を増すことができ
る。
約や機械的剛性等の制約が許せば、３個以上有限個の直
列接続が可能であり、更に、信頼度を増すことができ
る。
【００１６】また、ミラー偏向器の駆動時に、直列に接
続した圧電素子に印加する電圧の増減を互いに異なる方
向に制御することにより、圧電素子に特有なヒステリシ
スを小さくすることができる。
続した圧電素子に印加する電圧の増減を互いに異なる方
向に制御することにより、圧電素子に特有なヒステリシ
スを小さくすることができる。
【００１７】更に、従来のミラー偏向器に使用している
圧電素子を伸縮方向に分割することにより、圧電素子１
個当りの電極の面積と体積が減少することになり、圧電
素子の等価容量及び電極間容量が減少するので、より高
速なミラー偏向器の駆動が実現できる。
圧電素子を伸縮方向に分割することにより、圧電素子１
個当りの電極の面積と体積が減少することになり、圧電
素子の等価容量及び電極間容量が減少するので、より高
速なミラー偏向器の駆動が実現できる。
【００１８】図２は本発明の他の実施例のミラー偏向器
の構成図である。図１に記載されたものと同一のものに
は、同一の記号を使用した。図２に記載されたもので、
図１に記載されたものと異なるものは、第１圧電素子４
と第２圧電素子５との直列接続の代わりに第１圧電素子
１６を設け、第３圧電素子６と第４圧電素子７との直列
接続の代わりに第２圧電素子１７を設けたものである。
の構成図である。図１に記載されたものと同一のものに
は、同一の記号を使用した。図２に記載されたもので、
図１に記載されたものと異なるものは、第１圧電素子４
と第２圧電素子５との直列接続の代わりに第１圧電素子
１６を設け、第３圧電素子６と第４圧電素子７との直列
接続の代わりに第２圧電素子１７を設けたものである。
【００１９】電極８，９と電極１０，１１に電圧を印加
したときの第１圧電素子１６の伸長量が、電極１２，１
３と電極１４，１５に電圧を印加したときの第２圧電素
子１７の伸長量よりも大きい場合、伸長量の差が可動部
２のヒンジ部分で角度変化に変換され、可動部２に保持
されたミラー１は＋θ方向に偏向される。第１圧電素子
１６の伸長量と第２圧電素子１７の伸長量の関係を逆転
すれば、ミラー１は−θ方向に偏向される。
したときの第１圧電素子１６の伸長量が、電極１２，１
３と電極１４，１５に電圧を印加したときの第２圧電素
子１７の伸長量よりも大きい場合、伸長量の差が可動部
２のヒンジ部分で角度変化に変換され、可動部２に保持
されたミラー１は＋θ方向に偏向される。第１圧電素子
１６の伸長量と第２圧電素子１７の伸長量の関係を逆転
すれば、ミラー１は−θ方向に偏向される。
【００２０】仮に、第１圧電素子１６の電極８が破損し
ても、電極１０，１１により第１圧電素子を駆動するこ
とができるので、信頼度を増すことができる。
ても、電極１０，１１により第１圧電素子を駆動するこ
とができるので、信頼度を増すことができる。
【００２１】また、従来のミラー偏向器に使用している
電極を伸縮方向に分割することにより、電極の面積を減
らしたので、電極間容量が減少し、より高速なミラー偏
向器の駆動が実現できる。
電極を伸縮方向に分割することにより、電極の面積を減
らしたので、電極間容量が減少し、より高速なミラー偏
向器の駆動が実現できる。
【００２２】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、圧電素子の信頼度を高め、高速に駆動でき
るという効果を有する。
ているので、圧電素子の信頼度を高め、高速に駆動でき
るという効果を有する。
【図１】本発明の一実施例のミラー偏向器の構成図であ
る。
る。
【図２】本発明の他の実施例のミラー偏向器の構成図で
ある。
ある。
【図３】従来のミラー偏向器の構成図である。
１ ミラー ２ 可動部 ３ 固定部 ４，１６ 第１圧電素子 ５，１７ 第２圧電素子 ６ 第３圧電素子 ７ 第４圧電素子 ８，９，１０，１１，１２，１３，１４，１５ 電極
Claims (4)
- 【請求項１】光ビームを偏向するためのミラーと、所定の方向に伸縮する第１および第２の伸縮手段と、 前記ミラーを保持し、前記第１および第２の伸縮手段の
一端とそれぞれ接続され、前記第１および第２の伸縮手
段における伸縮差を角度に変換するための第１および第
２のヒンジを有する可動部と、前記第１および第２の伸縮手段の他端を固定する 固定部
と、 を有するミラー偏光器において、前記第１の伸縮手段は、伸縮方向に対してそれぞれ垂直
な方向に電界がかかるよう、両側面に対向して電極が設
けられ、伸縮方向に対して直列に接続された複数の圧電
素子により伸縮動作し、 前記第２の伸縮手段は、伸縮方向に対してそれぞれ垂直
な方向に電界がかかるよう、両側面に対向して電極が設
けられ、伸縮方向に対して直列に接続された第複数の圧
電素子により伸縮動作し、 前記第１の伸縮手段における複数の圧電素子のうちの少
なくとも１つにおける伸縮動作と、前記第２の伸縮手段
における複数の圧電素子のうちの少なくとも１つにおけ
る伸縮動作によって偏向動作が可能である 、 ことを特徴とするミラー偏向器。 - 【請求項２】光ビームを偏向するためのミラーと、 所定の方向に伸縮する第１および第２の伸縮手段と、 前記ミラーを保持し、前記第１および第２の伸縮手段の
一端とそれぞれ接続され、前記第１および第２の伸縮手
段における伸縮差を角度に変換するための第１および第
２のヒンジを有する可動部と、 前記第１および第２の伸縮手段の他端を固定する固定部
と、 を有するミラー偏光器において、 前記第１の伸縮手段は、伸縮方向に対してそれぞれ垂直
な方向に電界がかかるよう、両側面に対向して電極が設
けられ、伸縮方向に対して直列に接続された第 １および
第２の圧電素子により伸縮動作し、 前記第２の伸縮手段は、伸縮方向に対してそれぞれ垂直
な方向に電界がかかるよう、両側面に対向して電極が設
けられ、伸縮方向に対して直列に接続された第３および
第４の圧電素子により伸縮動作し、 前記第１または第２の圧電素子の何れか一方における伸
縮動作と、前記第３または第４の圧電素子の何れか一方
における伸縮動作とによって偏向動作が可能である、 ことを特徴とするミラー偏向器。 - 【請求項３】第１の圧電素子と第２の圧電素子に印加す
る電圧の増減を互いに異なる方向に制御し、 第３の圧電素子と第４の圧電素子に印加する電圧の増減
を互いに異なる方向に制御する、 ことを特徴とする請求項２に記載のミラー偏向器。 - 【請求項４】光ビームを偏向するためのミラーと、 所定の方向に伸縮する第１および第２の伸縮手段と、 前記ミラーを保持し、前記第１および第２の伸縮手段の
一端とそれぞれ接続され、前記第１および第２の伸縮手
段における伸縮差を角度に変換するための第１および第
２のヒンジを有する可動部と、 前記第１および第２の伸縮手段の他端を固定する固定部
と、 を備えたミラー偏光器において、 前記第１の伸縮手段は、伸縮方向に対してそれぞれ垂直
な方向に電界がかかるよう、両側面に２つに分割された
第１および第２の対向電極が設けられた第１の圧電素子
により伸縮動作し、 前記第２の伸縮手段は、伸縮方向に対してそれぞれ垂直
な方向に電界がかかるよう、両側面に２つに分割された
第３および第４の対向電極が設けられた第２の圧電素子
により伸縮動作し、 前記第１または第２の対向電極に発生した電界による前
記第１の圧電素子の伸 縮動作と、前記第３または第４の
対向電極に発生した電界による前記第２の圧電素子の何
れか一方における伸縮動作とによって偏向動作が可能で
ある、 ことを特徴とするミラー偏向器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6057950A JP2746105B2 (ja) | 1994-03-29 | 1994-03-29 | ミラー偏向器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6057950A JP2746105B2 (ja) | 1994-03-29 | 1994-03-29 | ミラー偏向器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07270691A JPH07270691A (ja) | 1995-10-20 |
| JP2746105B2 true JP2746105B2 (ja) | 1998-04-28 |
Family
ID=13070321
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6057950A Expired - Lifetime JP2746105B2 (ja) | 1994-03-29 | 1994-03-29 | ミラー偏向器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2746105B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5675412A (en) * | 1995-11-24 | 1997-10-07 | On-Line Technologies, Inc. | System including unified beamsplitter and parallel reflecting element, and retroreflecting component |
| KR20020028689A (ko) * | 2000-10-11 | 2002-04-17 | 구자홍 | 마이크로 미러 |
| KR101024997B1 (ko) * | 2009-01-16 | 2011-03-25 | 한국전기연구원 | 압전 소자를 이용한 각도 조절 장치 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04120916U (ja) * | 1991-04-16 | 1992-10-29 | 日本電気株式会社 | ミラー駆動機構 |
| JPH05333274A (ja) * | 1992-05-29 | 1993-12-17 | Hitachi Ltd | 形状可変鏡および該形状可変鏡の組立方法ならびに該形状可変鏡を用いた補償光学装置、アレイレーザ発振器、レーザ同位体分離器 |
-
1994
- 1994-03-29 JP JP6057950A patent/JP2746105B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07270691A (ja) | 1995-10-20 |
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