JP2803039B2 - 多段式クライオポンプおよび多段式クライオポンプの吸着面の再生方法 - Google Patents
多段式クライオポンプおよび多段式クライオポンプの吸着面の再生方法Info
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
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- F04B37/06—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means
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Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は多段式クライオポンプお
よび多段式クライオポンプの吸着面の再生方法に関す
る。
よび多段式クライオポンプの吸着面の再生方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】ＬＳＩや超ＬＳＩ等を製造する際等に、
オイルレスの清浄な真空を形成するために用いられる真
空ポンプとして、多段式クライオポンプが用いられてい
る。クライオポンプは、真空容器に連結し、該真空容器
中のガスを極低温面に吸着凝縮させて、真空を作るもの
である。
オイルレスの清浄な真空を形成するために用いられる真
空ポンプとして、多段式クライオポンプが用いられてい
る。クライオポンプは、真空容器に連結し、該真空容器
中のガスを極低温面に吸着凝縮させて、真空を作るもの
である。
【０００３】冷凍機付きのクライオポンプは、図３に示
すようにヘリウム圧縮機２と、このヘリウム圧縮機２へ
ガス配管１３により接続された極低温冷凍機、たとえば
ＧＭ（ギフォード・マクマホン）冷凍機１とからなり、
この冷凍機１へ図示しない真空容器を連結する。
すようにヘリウム圧縮機２と、このヘリウム圧縮機２へ
ガス配管１３により接続された極低温冷凍機、たとえば
ＧＭ（ギフォード・マクマホン）冷凍機１とからなり、
この冷凍機１へ図示しない真空容器を連結する。
【０００４】冷凍機１は、第１冷却段３に第１のクライ
オパネル５を取付け、第２冷却段４に第２のクライオパ
ネル６を取り付けている。第２のクライオパネル６上に
は活性炭等の吸着剤が載置されている。
オパネル５を取付け、第２冷却段４に第２のクライオパ
ネル６を取り付けている。第２のクライオパネル６上に
は活性炭等の吸着剤が載置されている。
【０００５】第１のクライオパネル５はたとえば約８０
Ｋ程度に冷却され、真空容器中の水蒸気、炭酸ガス等の
沸点が比較的高いガスを固化捕捉する。第２のクライオ
パネル６はたとえば約２０Ｋに冷却され、真空容器中の
窒素、アルゴン等のより低沸点のガスを固化捕捉し、最
も沸点の低い水素、ネオン、ヘリウム等のガスは第２の
クライオパネル６上の吸着剤に吸着される。このように
してクライオポンプは真空容器中の各種のガスを排気し
て高真空をつくる。
Ｋ程度に冷却され、真空容器中の水蒸気、炭酸ガス等の
沸点が比較的高いガスを固化捕捉する。第２のクライオ
パネル６はたとえば約２０Ｋに冷却され、真空容器中の
窒素、アルゴン等のより低沸点のガスを固化捕捉し、最
も沸点の低い水素、ネオン、ヘリウム等のガスは第２の
クライオパネル６上の吸着剤に吸着される。このように
してクライオポンプは真空容器中の各種のガスを排気し
て高真空をつくる。
【０００６】ところが各々のガスに対するクライオポン
プの排気容量は異なっている。すなわち吸着剤の吸着能
力は比較的短時間で失われ、水素、ネオン、ヘリウム等
のガスに対する排気能力は零になる。このため他のガス
に対しては十分排気能力があるにもかかわらず吸着剤を
昇温して吸着ガスを排出する再生作業を行なわなければ
ならない。
プの排気容量は異なっている。すなわち吸着剤の吸着能
力は比較的短時間で失われ、水素、ネオン、ヘリウム等
のガスに対する排気能力は零になる。このため他のガス
に対しては十分排気能力があるにもかかわらず吸着剤を
昇温して吸着ガスを排出する再生作業を行なわなければ
ならない。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】従来、吸着剤の再生作
業は、冷凍機の運転を停止して各クライオパネル５，６
の温度を上げて固化捕捉および吸着されていたガスを放
出することにより行なっている。再生作業が完了すると
冷凍機の運転を再始動して、各クライオパネル５，６を
所定の温度（たとえば約８０Ｋおよび約２０Ｋ）に冷却
する。
業は、冷凍機の運転を停止して各クライオパネル５，６
の温度を上げて固化捕捉および吸着されていたガスを放
出することにより行なっている。再生作業が完了すると
冷凍機の運転を再始動して、各クライオパネル５，６を
所定の温度（たとえば約８０Ｋおよび約２０Ｋ）に冷却
する。
【０００８】しかしながら、一旦温度を上げた後の各ク
ライオパネル５，６を再び所定の温度に冷却するために
要する時間はクライオポンプのロスである。この問題を
解決するため、特公平３−６４７１７号には、冷却段あ
るいはクライオパネルにヒータを取付け、再生時にこの
ヒータによりクライオパネルを加熱するようにしたクラ
イオポンプを開示しているが、ヒータの断線等の点で信
頼性が劣る。
ライオパネル５，６を再び所定の温度に冷却するために
要する時間はクライオポンプのロスである。この問題を
解決するため、特公平３−６４７１７号には、冷却段あ
るいはクライオパネルにヒータを取付け、再生時にこの
ヒータによりクライオパネルを加熱するようにしたクラ
イオポンプを開示しているが、ヒータの断線等の点で信
頼性が劣る。
【０００９】本発明の目的は、クライオパネルの吸着面
の再生を短時間にしかも確実に行なうことができる多段
式クライオポンプを提供することにある。
の再生を短時間にしかも確実に行なうことができる多段
式クライオポンプを提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明の多段式クライオ
ポンプは、低温を発生する膨張室と、膨張室により冷却
されるクライオパネルと、クライオパネルの吸着面の再
生時に膨張室と連通するガス室と、膨張室とガス室との
間の弁とを備えることを特徴とする。
ポンプは、低温を発生する膨張室と、膨張室により冷却
されるクライオパネルと、クライオパネルの吸着面の再
生時に膨張室と連通するガス室と、膨張室とガス室との
間の弁とを備えることを特徴とする。
【００１１】また、本発明の多段式クライオポンプの吸
着面の再生方法は、弁を開いて膨張室とガス室とを連通
してクライオパネルの温度を所定温度に上昇させること
によってクライオパネルに固化捕捉および吸着されてい
たガスを放出させる工程と、弁を閉じる工程とを備え、
上記工程の間、クライオポンプの運転を継続することを
特徴とする。
着面の再生方法は、弁を開いて膨張室とガス室とを連通
してクライオパネルの温度を所定温度に上昇させること
によってクライオパネルに固化捕捉および吸着されてい
たガスを放出させる工程と、弁を閉じる工程とを備え、
上記工程の間、クライオポンプの運転を継続することを
特徴とする。
【００１２】
【作用】冷凍機の運転を開始する際には、弁を閉じた状
態とする。冷凍機が定常冷却状態となると、第２のクラ
イオパネルはたとえば約２０Ｋに冷却され、真空容器中
のガスを固化捕捉する。
態とする。冷凍機が定常冷却状態となると、第２のクラ
イオパネルはたとえば約２０Ｋに冷却され、真空容器中
のガスを固化捕捉する。
【００１３】第２のクライオパネルの排気能力がなくな
ってくると再生作業を行なうため、弁を開いて膨張室と
ガス室とを連通する。この結果、膨張室の容積が無効空
間として接続されるので膨張室での冷却効率が低下し、
第２のクライオパネルの温度が上昇する。
ってくると再生作業を行なうため、弁を開いて膨張室と
ガス室とを連通する。この結果、膨張室の容積が無効空
間として接続されるので膨張室での冷却効率が低下し、
第２のクライオパネルの温度が上昇する。
【００１４】第２のクライオパネルの温度が約４０Ｋ程
度になると、クライオパネル上に固化捕捉および吸着さ
れていたガスは放出される。この再生作業の間冷凍機の
運転は継続されており、他の膨張室および第１のクライ
オパネルの温度は定常の冷却温度に保たれている。
度になると、クライオパネル上に固化捕捉および吸着さ
れていたガスは放出される。この再生作業の間冷凍機の
運転は継続されており、他の膨張室および第１のクライ
オパネルの温度は定常の冷却温度に保たれている。
【００１５】このようにして、第２のクライオパネルの
再生が終わると弁を閉じる。その後は第２のクライオパ
ネルの温度は短時間のうちに所定の温度、たとえば約２
０Ｋに戻り、冷凍機は定常冷却状態となる。
再生が終わると弁を閉じる。その後は第２のクライオパ
ネルの温度は短時間のうちに所定の温度、たとえば約２
０Ｋに戻り、冷凍機は定常冷却状態となる。
【００１６】
【実施例】以下、図面に示した一実施例に基づいて本発
明の多段式クライオポンプを説明する。
明の多段式クライオポンプを説明する。
【００１７】図１は本発明の多段式クライオポンプの一
実施例の概略図、図２は図１に示した多段式クライオポ
ンプの一部拡大断面図である。これらの図に示すよう
に、クライオポンプはヘリウム圧縮機２と、このヘリウ
ム圧縮機２へ接続された極低温冷凍機、たとえばＧＭ
（ギフォード・マクマホン）冷凍機１とからなり、この
冷凍機１へ真空容器２０が連結されている。
実施例の概略図、図２は図１に示した多段式クライオポ
ンプの一部拡大断面図である。これらの図に示すよう
に、クライオポンプはヘリウム圧縮機２と、このヘリウ
ム圧縮機２へ接続された極低温冷凍機、たとえばＧＭ
（ギフォード・マクマホン）冷凍機１とからなり、この
冷凍機１へ真空容器２０が連結されている。
【００１８】冷凍機１は、第１冷却段３に第１のクライ
オパネル５を取付け、第２冷却段４に第２のクライオパ
ネル６を取り付けている。第２のクライオパネル６上に
は活性炭等の吸着剤１４が取付けられている。また、第
２のクライオパネル６の上方にはシェブロン１５が配置
されている。
オパネル５を取付け、第２冷却段４に第２のクライオパ
ネル６を取り付けている。第２のクライオパネル６上に
は活性炭等の吸着剤１４が取付けられている。また、第
２のクライオパネル６の上方にはシェブロン１５が配置
されている。
【００１９】上記第１および第２冷却段３，４、第１お
よび第２のクライオパネル５，６は真空外筒１２により
囲まれている。この真空外筒１２と真空容器２０間には
ゲートバルブ２１が設けられている。また、真空外筒１
２は、管２４およびバルブ２２を介して真空ポンプ２３
に連結されている。
よび第２のクライオパネル５，６は真空外筒１２により
囲まれている。この真空外筒１２と真空容器２０間には
ゲートバルブ２１が設けられている。また、真空外筒１
２は、管２４およびバルブ２２を介して真空ポンプ２３
に連結されている。
【００２０】冷凍機１の第１冷却段３は、低温を発生す
る図示しない第１膨張室内のヘリウムガスの膨張作用に
より低温となったヘリウムガスにより冷却される。さら
に、ヘリウムガスは、図２に示すように、低温を発生す
る第２膨張室７内で膨張して低温となって冷凍機１の第
２冷却段４を冷却する。なお、図中８は低温のヘリウム
ガスを膨張室内から排出するためのディスプレーサであ
る。
る図示しない第１膨張室内のヘリウムガスの膨張作用に
より低温となったヘリウムガスにより冷却される。さら
に、ヘリウムガスは、図２に示すように、低温を発生す
る第２膨張室７内で膨張して低温となって冷凍機１の第
２冷却段４を冷却する。なお、図中８は低温のヘリウム
ガスを膨張室内から排出するためのディスプレーサであ
る。
【００２１】第２膨張室７は、調整弁１０を設けられた
ガス配管９を介してガス室１１と接続されている。ガス
室１１内にはヘリウムガスが収容されている。冷凍機１
の運転を開始する際には、調整弁１０、バルブ２２を閉
じた状態とし、ゲートバルブ２１は適当な時期に開いた
状態とする。冷凍機１が定常冷却状態となると、第１の
クライオパネル５はたとえば約８０Ｋ程度に冷却され、
該第１のクライオパネル５の表面（第１吸着面）に真空
容器２０中の水蒸気、炭酸ガス等の沸点の比較的高いガ
スを固化捕捉する。
ガス配管９を介してガス室１１と接続されている。ガス
室１１内にはヘリウムガスが収容されている。冷凍機１
の運転を開始する際には、調整弁１０、バルブ２２を閉
じた状態とし、ゲートバルブ２１は適当な時期に開いた
状態とする。冷凍機１が定常冷却状態となると、第１の
クライオパネル５はたとえば約８０Ｋ程度に冷却され、
該第１のクライオパネル５の表面（第１吸着面）に真空
容器２０中の水蒸気、炭酸ガス等の沸点の比較的高いガ
スを固化捕捉する。
【００２２】また、第２のクライオパネル６はたとえば
約２０Ｋに冷却され、該第２のクライオパネル６の表面
に真空容器２０中の窒素、アルゴン等のより低沸点のガ
スを固化捕捉する。また、最も沸点の低い水素、ネオ
ン、ヘリウム等のガスは第２のクライオパネル６上の吸
着剤１４に吸着される。このようにしてクライオポンプ
は真空容器２０中の各種のガスを排気して高真空をつく
る。
約２０Ｋに冷却され、該第２のクライオパネル６の表面
に真空容器２０中の窒素、アルゴン等のより低沸点のガ
スを固化捕捉する。また、最も沸点の低い水素、ネオ
ン、ヘリウム等のガスは第２のクライオパネル６上の吸
着剤１４に吸着される。このようにしてクライオポンプ
は真空容器２０中の各種のガスを排気して高真空をつく
る。
【００２３】なお、第２のクライオパネル６の吸着面
（第２吸着面）は第２のクライオパネル６自身の表面
と、吸着剤１４の吸着面を含む。その後吸着剤１４の吸
着能力（第２段クライオパネル６の排気能力）がなくな
ってくると、再生作業を行なう。この再生作業は次のよ
うにして行なわれる。
（第２吸着面）は第２のクライオパネル６自身の表面
と、吸着剤１４の吸着面を含む。その後吸着剤１４の吸
着能力（第２段クライオパネル６の排気能力）がなくな
ってくると、再生作業を行なう。この再生作業は次のよ
うにして行なわれる。
【００２４】まず、ゲートバルブ２１を閉めて真空外筒
１２の内部を真空容器２０から遮断する。次いで調整弁
１０を開く。この結果、ガス室１１が第２膨張室７の無
効空間部となり、冷却効率が低下し、第２冷却段４の温
度が直ちに上昇し、第２のクライオパネル６の温度も上
昇する。
１２の内部を真空容器２０から遮断する。次いで調整弁
１０を開く。この結果、ガス室１１が第２膨張室７の無
効空間部となり、冷却効率が低下し、第２冷却段４の温
度が直ちに上昇し、第２のクライオパネル６の温度も上
昇する。
【００２５】次に、バルブ２２を開いて真空外筒１２を
真空ポンプ２３に接続し、真空外筒１２内を排気する。
第２のクライオパネル６の温度が４０Ｋ程度まで上昇す
ると、第２のクライオパネル６の表面および吸着剤に固
化捕捉および吸着されていたガスは放出されて、管２４
を経て真空ポンプ２３に吸引される。
真空ポンプ２３に接続し、真空外筒１２内を排気する。
第２のクライオパネル６の温度が４０Ｋ程度まで上昇す
ると、第２のクライオパネル６の表面および吸着剤に固
化捕捉および吸着されていたガスは放出されて、管２４
を経て真空ポンプ２３に吸引される。
【００２６】このようにして、第２のクライオパネル６
は再生される。この再生作業の間、冷凍機１の運転は継
続されているので第１のクライオパネル５は約８０Ｋの
温度に保たれている。
は再生される。この再生作業の間、冷凍機１の運転は継
続されているので第１のクライオパネル５は約８０Ｋの
温度に保たれている。
【００２７】第２のクライオパネル６の再生が終わると
調整弁１０を閉じ、バルブ２２も閉じる。第１のクライ
オパネル５は約８０Ｋの温度に保たれているため、第２
のクライオパネル６は短時間のうち約２０Ｋに冷却され
て冷凍機１は定常冷却状態となり、クライオポンプの運
転が可能となる。
調整弁１０を閉じ、バルブ２２も閉じる。第１のクライ
オパネル５は約８０Ｋの温度に保たれているため、第２
のクライオパネル６は短時間のうち約２０Ｋに冷却され
て冷凍機１は定常冷却状態となり、クライオポンプの運
転が可能となる。
【００２８】再生時の第２のクライオパネル６の上昇温
度の値は、調整弁１０の開度、ガス室１１の容積の大き
さにより調節する。なお、ガス配管９の調整弁１０は真
空外筒１２内に配置しても真空外筒１２外に配置しても
よく、その開閉は手動で行なうことができるが、適当な
開閉手段により、自動的に開閉することもできる。真空
外筒１２内に配置したときは自動開閉とするのがよい。
度の値は、調整弁１０の開度、ガス室１１の容積の大き
さにより調節する。なお、ガス配管９の調整弁１０は真
空外筒１２内に配置しても真空外筒１２外に配置しても
よく、その開閉は手動で行なうことができるが、適当な
開閉手段により、自動的に開閉することもできる。真空
外筒１２内に配置したときは自動開閉とするのがよい。
【００２９】また、上記の実施例においては、第２のク
ライオパネル６へ吸着剤１４を載置した例について説明
したが、本発明はこのような吸着剤１４を設けず、第２
のクライオパネル６の面のみで吸着するものについても
適用可能である。この場合は、第２のクライオパネル６
自身の表面の吸着能力がなくなると、上述した再生作業
を行なう。
ライオパネル６へ吸着剤１４を載置した例について説明
したが、本発明はこのような吸着剤１４を設けず、第２
のクライオパネル６の面のみで吸着するものについても
適用可能である。この場合は、第２のクライオパネル６
自身の表面の吸着能力がなくなると、上述した再生作業
を行なう。
【００３０】さらに、上記の実施例においては第２膨張
室７へガス室１１を接続した例について説明したが、第
２膨張室７のみならず第１膨張室へもガス室を接続する
ことができる。
室７へガス室１１を接続した例について説明したが、第
２膨張室７のみならず第１膨張室へもガス室を接続する
ことができる。
【００３１】また、上記実施例では２段のクライオパネ
ルを用いて冷凍を行なうクライオポンプについて説明し
たが、これには限定されず、３段以上のクライオパネル
を用いて冷凍を行なうライオポンプについても用いるこ
とができる。この場合、最終段のクライオパネルを冷凍
する膨張室のみをガス室へ接続することもできるし、２
つ以上の膨張室のそれぞれへ、ガス配管および調整弁を
介してガス室を接続することもできる。
ルを用いて冷凍を行なうクライオポンプについて説明し
たが、これには限定されず、３段以上のクライオパネル
を用いて冷凍を行なうライオポンプについても用いるこ
とができる。この場合、最終段のクライオパネルを冷凍
する膨張室のみをガス室へ接続することもできるし、２
つ以上の膨張室のそれぞれへ、ガス配管および調整弁を
介してガス室を接続することもできる。
【００３２】複数の膨張室へガス室を接続する場合、各
膨張室に接続される調整弁の開閉により、各段のクライ
オパネルの再生を独立に行なうことができる。たとえ
ば、特定のクライオパネルの吸着面の再生のみを行なう
必要が生じた場合、そのクライオパネルおよびより低温
側のクライオパネルに対応する調整弁を開いてその吸着
面に吸着されているガスの放出に必要な温度にまで吸着
面を上昇させる。この間、冷凍機の運転は継続したまま
としておくことにより、より高温のクライオパネルの温
度はほぼ一定温度に保たれているので、再生終了後クラ
イオポンプは短時間のうち定常状態となる。
膨張室に接続される調整弁の開閉により、各段のクライ
オパネルの再生を独立に行なうことができる。たとえ
ば、特定のクライオパネルの吸着面の再生のみを行なう
必要が生じた場合、そのクライオパネルおよびより低温
側のクライオパネルに対応する調整弁を開いてその吸着
面に吸着されているガスの放出に必要な温度にまで吸着
面を上昇させる。この間、冷凍機の運転は継続したまま
としておくことにより、より高温のクライオパネルの温
度はほぼ一定温度に保たれているので、再生終了後クラ
イオポンプは短時間のうち定常状態となる。
【００３３】また、冷凍機１としては、ＧＭ冷凍機のみ
ならず、ソルベーサイクル冷凍機、スターリング冷凍機
等の各種の蓄冷式多段冷凍機を用いることができる。
ならず、ソルベーサイクル冷凍機、スターリング冷凍機
等の各種の蓄冷式多段冷凍機を用いることができる。
【００３４】
【発明の効果】本発明によれば、クライオポンプの吸着
面の再生を短時間にしかも確実に行なうことができる。
面の再生を短時間にしかも確実に行なうことができる。
【図１】 本発明のクライオポンプの一実施例の概略図
である。
である。
【図２】 図１に示したクライオポンプの一部拡大断面
図である。
図である。
【図３】 従来例のクライオポンプの概略図である。
１ 冷凍機 ２ ヘリウム圧縮機 ３ 第１冷却段 ４ 第２冷却段 ５ 第１のクライオパネル ６ 第２のクライオパネル ７ 第２膨張室 ８ ディスプレーサ ９ ガス配管 １０ 調整弁（弁） １１ ガス室 １２ 真空外筒 １３ ガス配管 １４ 吸着剤 １５ シェブロン ２０ 真空容器 ２１ ゲートバルブ ２２ バルブ ２３ 真空ポンプ ２４ 管
Claims (2)
- 【請求項１】 低温を発生する膨張室と、 前記膨張室により冷却されるクライオパネルと、 前記クライオパネルの吸着面の再生時に前記膨張室と連
通するガス室と、 前記膨張室と前記ガス室との間の弁とを備えることを特
徴とする多段式クライオポンプ。 - 【請求項２】 弁を開いて膨張室とガス室とを連通して
クライオパネルの温度を所定温度に上昇させることによ
ってクライオパネルに固化捕捉および吸着されていたガ
スを放出させる工程と、 弁を閉じる工程とを備え、 上記工程の間、クライオポンプの運転を継続することを
特徴とする請求項１記載の多段式クライオポンプの吸着
面の再生方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4126450A JP2803039B2 (ja) | 1992-05-19 | 1992-05-19 | 多段式クライオポンプおよび多段式クライオポンプの吸着面の再生方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4126450A JP2803039B2 (ja) | 1992-05-19 | 1992-05-19 | 多段式クライオポンプおよび多段式クライオポンプの吸着面の再生方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05321832A JPH05321832A (ja) | 1993-12-07 |
| JP2803039B2 true JP2803039B2 (ja) | 1998-09-24 |
Family
ID=14935520
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4126450A Expired - Lifetime JP2803039B2 (ja) | 1992-05-19 | 1992-05-19 | 多段式クライオポンプおよび多段式クライオポンプの吸着面の再生方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2803039B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100715934B1 (ko) * | 2000-05-15 | 2007-05-08 | 삼성전자주식회사 | 스퍼터링 장치 및 이의 재생방법 |
-
1992
- 1992-05-19 JP JP4126450A patent/JP2803039B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05321832A (ja) | 1993-12-07 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19980609 |