JP2880314B2 - フィルム搬送機構およびこのフィルム搬送機構を具えた露光装置 - Google Patents
フィルム搬送機構およびこのフィルム搬送機構を具えた露光装置Info
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- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Registering, Tensioning, Guiding Webs, And Rollers Therefor (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、フィルムを摩擦駆動力
により搬送し所定の位置に停止させるフィルム搬送機構
およびこのフィルム搬送機構を具えた露光装置に関す
る。
により搬送し所定の位置に停止させるフィルム搬送機構
およびこのフィルム搬送機構を具えた露光装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】例えば、フレキシブルプリント基板のパ
ターン露光装置においては、パーフォレーションを有す
るフィルムを用い、このフィルムをスプロケットで露光
位置まで搬送し、この露光位置でパーフォレーションに
複数個のピンを差し込んで、フィルムの正しい位置にパ
ターンの像が露光されるよう位置合わせが行われてい
る。
ターン露光装置においては、パーフォレーションを有す
るフィルムを用い、このフィルムをスプロケットで露光
位置まで搬送し、この露光位置でパーフォレーションに
複数個のピンを差し込んで、フィルムの正しい位置にパ
ターンの像が露光されるよう位置合わせが行われてい
る。
【０００３】しかして、最近においては、技術の高度化
に伴って、露光されるフィルムの厚さが薄くなっていく
傾向があり、厚さ75〜100 μｍの従来のフィルムに代わ
って厚さ30〜50μｍのフィルムが対象となる場合があ
る。このような薄いフィルムに対して、スプロケットに
よる搬送やピンの差し込みによる位置決めを行うと、パ
ーフォレーションの変形や破損を生じ、確実な搬送、正
確な位置決めができなくなり、フィルムの正しい位置に
パターンの像を露光することができない。また、パーフ
ォレーションの形成加工自体も煩雑である。
に伴って、露光されるフィルムの厚さが薄くなっていく
傾向があり、厚さ75〜100 μｍの従来のフィルムに代わ
って厚さ30〜50μｍのフィルムが対象となる場合があ
る。このような薄いフィルムに対して、スプロケットに
よる搬送やピンの差し込みによる位置決めを行うと、パ
ーフォレーションの変形や破損を生じ、確実な搬送、正
確な位置決めができなくなり、フィルムの正しい位置に
パターンの像を露光することができない。また、パーフ
ォレーションの形成加工自体も煩雑である。
【０００４】このようなことから、パーフォレーション
の形成されていないフィルムを、摩擦ローラによる摩擦
駆動力を利用して搬送する搬送機構が採用されている。
摩擦駆動力を利用する搬送機構における位置決めは、フ
ィルムの一コマ毎に穿孔された２つアライメント穴を露
光装置の検出部によって検出し、これに基づいて摩擦駆
動を制御することにより行われる。従って、フィルムの
搬送方向における位置合わせが正確になされる。
の形成されていないフィルムを、摩擦ローラによる摩擦
駆動力を利用して搬送する搬送機構が採用されている。
摩擦駆動力を利用する搬送機構における位置決めは、フ
ィルムの一コマ毎に穿孔された２つアライメント穴を露
光装置の検出部によって検出し、これに基づいて摩擦駆
動を制御することにより行われる。従って、フィルムの
搬送方向における位置合わせが正確になされる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、摩擦駆
動力を利用する搬送機構においては、フィルムの厚さに
起因して、フィルムの送り方向に伸びる皺が発生し、あ
るいは幅方向への位置ズレ即ち偏行や蛇行が発生しやす
い。そして幅方向への位置ズレが大きくなると、送り方
向の位置を決定するためのアライメント穴も検出できな
くなり、極端な場合にはフィルムが駆動ローラから外れ
てしまう。このような薄いフィルムは、厚いフィルムに
比べ剛性が低いため当然皺が発生しやすい。そして幅方
向への位置ズレが発生しやすい理由は、駆動ローラの表
面状態、寸法精度、ローラ面の回転軸に対する振れ等の
影響を受けやすく、またフィルム自体の表面状態、平面
度等の微妙な変化にも影響されるからである。
動力を利用する搬送機構においては、フィルムの厚さに
起因して、フィルムの送り方向に伸びる皺が発生し、あ
るいは幅方向への位置ズレ即ち偏行や蛇行が発生しやす
い。そして幅方向への位置ズレが大きくなると、送り方
向の位置を決定するためのアライメント穴も検出できな
くなり、極端な場合にはフィルムが駆動ローラから外れ
てしまう。このような薄いフィルムは、厚いフィルムに
比べ剛性が低いため当然皺が発生しやすい。そして幅方
向への位置ズレが発生しやすい理由は、駆動ローラの表
面状態、寸法精度、ローラ面の回転軸に対する振れ等の
影響を受けやすく、またフィルム自体の表面状態、平面
度等の微妙な変化にも影響されるからである。
【０００６】そしてこのような不具合の発生により、フ
ィルムの正しい位置にパターンの像を露光することがで
きない、という問題が生じる。
ィルムの正しい位置にパターンの像を露光することがで
きない、という問題が生じる。
【０００７】本発明は、上記のような問題に鑑みてなさ
れたものであって、本発明の第１の目的は、搬送される
フィルムに送り方向に伸びる皺を発生させないフィルム
搬送機構を提供することにある。また本発明の第２の目
的は、搬送されるフィルムの幅方向への位置ズレ即ち偏
行や蛇行を自動的に矯正することが可能なフィルム搬送
機構を提供することにある。更に本発明の第３の目的
は、フィルムの確実な搬送および正確な位置合わせを行
わせることにより、フィルムの正しい位置にパターンの
像を露光することができるフィルム露光装置を提供する
ことにある。
れたものであって、本発明の第１の目的は、搬送される
フィルムに送り方向に伸びる皺を発生させないフィルム
搬送機構を提供することにある。また本発明の第２の目
的は、搬送されるフィルムの幅方向への位置ズレ即ち偏
行や蛇行を自動的に矯正することが可能なフィルム搬送
機構を提供することにある。更に本発明の第３の目的
は、フィルムの確実な搬送および正確な位置合わせを行
わせることにより、フィルムの正しい位置にパターンの
像を露光することができるフィルム露光装置を提供する
ことにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明のフィルム搬送機
構は、駆動ローラと、押圧ローラとよりなるフィルム搬
送機構であって、フィルムを幅方向に引張する幅方向引
張機構を有し、この幅方向引張機構は、前記駆動ローラ
の両外側に設けられた、当該駆動ローラより常に大きな
周速で駆動される、フィルムの幅方向の両端部に接する
矯正ローラと矯正補助ローラとを具えていることを特徴
とする。
構は、駆動ローラと、押圧ローラとよりなるフィルム搬
送機構であって、フィルムを幅方向に引張する幅方向引
張機構を有し、この幅方向引張機構は、前記駆動ローラ
の両外側に設けられた、当該駆動ローラより常に大きな
周速で駆動される、フィルムの幅方向の両端部に接する
矯正ローラと矯正補助ローラとを具えていることを特徴
とする。
【０００９】また、搬送されるフィルムの幅方向の位置
ズレを検出する位置ズレ検出手段と、この位置ズレ検出
手段からの信号によって、一端側の矯正ローラと他端側
の矯正ローラとを異なる周速で駆動させることにより、
幅方向の位置ズレを矯正する位置ズレ矯正手段とを具え
ていることを特徴とする。
ズレを検出する位置ズレ検出手段と、この位置ズレ検出
手段からの信号によって、一端側の矯正ローラと他端側
の矯正ローラとを異なる周速で駆動させることにより、
幅方向の位置ズレを矯正する位置ズレ矯正手段とを具え
ていることを特徴とする。
【００１０】本発明の露光装置は、帯状のフィルムの長
さ方向に沿って並ぶ複数のコマに順次に回路パターンを
露光していくフィルム露光装置であって、照射部と、照
射部からの光が照射される位置に配置された、回路パタ
ーンが形成されたフォトマスクと、フォトマスクの回路
パターンの像を投影する投影レンズと、投影レンズによ
る回路パターンの像の投影位置に、フィルムを一コマず
つ搬送するフィルム搬送機構とを具備してなるフィルム
露光装置であって、前記フィルム搬送機構は、上記のフ
ィルム搬送機構であることを特徴とする。
さ方向に沿って並ぶ複数のコマに順次に回路パターンを
露光していくフィルム露光装置であって、照射部と、照
射部からの光が照射される位置に配置された、回路パタ
ーンが形成されたフォトマスクと、フォトマスクの回路
パターンの像を投影する投影レンズと、投影レンズによ
る回路パターンの像の投影位置に、フィルムを一コマず
つ搬送するフィルム搬送機構とを具備してなるフィルム
露光装置であって、前記フィルム搬送機構は、上記のフ
ィルム搬送機構であることを特徴とする。
【００１１】
【作用】フィルムの幅方向の両端部に接する矯正ローラ
は、駆動ローラより常に大きな周速で駆動されるので、
フィルムは中央から幅方向の両端へ引張力が作用された
状態で搬送される。従って、搬送されるフィルムに送り
方向に伸びる皺を発生させない。
は、駆動ローラより常に大きな周速で駆動されるので、
フィルムは中央から幅方向の両端へ引張力が作用された
状態で搬送される。従って、搬送されるフィルムに送り
方向に伸びる皺を発生させない。
【００１２】フィルムの幅方向の位置ズレが発生したと
きには、位置ズレ検出手段からの信号を受けた位置ズレ
矯正手段によって、周速の大きい矯正ローラの方向へフ
ィルムが移動するので、幅方向の位置ズレを矯正するこ
とができる。
きには、位置ズレ検出手段からの信号を受けた位置ズレ
矯正手段によって、周速の大きい矯正ローラの方向へフ
ィルムが移動するので、幅方向の位置ズレを矯正するこ
とができる。
【００１３】送り方向に伸びる皺の発生およびフィルム
の幅方向の位置ズレを防止するフィルム搬送機構を具え
ているので、フィルムの確実な搬送および正確な位置合
わせが可能になり、フィルムの正しい位置にパターンの
像を露光することができる。
の幅方向の位置ズレを防止するフィルム搬送機構を具え
ているので、フィルムの確実な搬送および正確な位置合
わせが可能になり、フィルムの正しい位置にパターンの
像を露光することができる。
【００１４】フィルムの幅方向の位置ズレを矯正する手
段を有するフィルム搬送機構を具えているので、フィル
ムの搬送および位置合わせが一層確実なものとなり、フ
ィルムの正しい位置にパターンの像を露光することがで
きる。
段を有するフィルム搬送機構を具えているので、フィル
ムの搬送および位置合わせが一層確実なものとなり、フ
ィルムの正しい位置にパターンの像を露光することがで
きる。
【００１５】
【実施例】＜フィルム搬送機構＞以下、本発明の実施例
を図面に基づいて説明する。
を図面に基づいて説明する。
【００１６】 図１は本発明のフィルム搬送機構の一実
施例を示す説明用斜視図であり、図２は、その要部を示
す説明用断面図である。本実施例のフィルム搬送機構
は、駆動ローラ10と、押圧ローラ20とを有してなるフィ
ルム搬送機構であって、フィルムを幅方向に引張する幅
方向引張機構を有し、この幅方向引張機構は、駆動ロー
ラ10の両外側に設けられた、駆動ローラ10より常に大き
な周速で駆動される、フィルムＦの幅方向の両端部に接
する矯正ローラ31、矯正補助ローラ32、矯正ローラ41お
よび矯正補助ローラ42を具えている。
施例を示す説明用斜視図であり、図２は、その要部を示
す説明用断面図である。本実施例のフィルム搬送機構
は、駆動ローラ10と、押圧ローラ20とを有してなるフィ
ルム搬送機構であって、フィルムを幅方向に引張する幅
方向引張機構を有し、この幅方向引張機構は、駆動ロー
ラ10の両外側に設けられた、駆動ローラ10より常に大き
な周速で駆動される、フィルムＦの幅方向の両端部に接
する矯正ローラ31、矯正補助ローラ32、矯正ローラ41お
よび矯正補助ローラ42を具えている。
【００１７】駆動ローラ10の表面は硬質ゴム等よりな
り、押圧ローラ20の表面は金属等よりなる。このように
両表面に硬度差があるので、フィルムＦは押圧ローラ20
により確実に押圧され、フィルムＦと駆動ローラ10との
スベリが防止される。図１において、15はガイドロー
ラ、25はテンションローラであり、フィルムＦの送り方
向にテンション（引張）を与えている。
り、押圧ローラ20の表面は金属等よりなる。このように
両表面に硬度差があるので、フィルムＦは押圧ローラ20
により確実に押圧され、フィルムＦと駆動ローラ10との
スベリが防止される。図１において、15はガイドロー
ラ、25はテンションローラであり、フィルムＦの送り方
向にテンション（引張）を与えている。
【００１８】図２において、50は、駆動ローラ10、押圧
ローラ20、矯正ローラ31，41および矯正補助ローラ32，
42を駆動させる駆動モータである。この駆動モータ50
は、スッテピングモータまたはサーボモータよりなる。
60は押圧ローラ20および矯正補助ローラ32，42に押圧力
を与えるスプリングである。33は矯正ローラ31および矯
正補助ローラ32の駆動機構であり、43は矯正ローラ41お
よび矯正補助ローラ42の駆動機構である。駆動機構33
は、歯車33Ａ〜歯車33Ｆよりなる歯車機構である。歯車
33Ａおよび歯車33Ｅは、駆動ローラ10の回転軸Ｐ1に固
定されて、駆動モータ50により駆動ローラ10と同じ回転
数で回転する。一方、歯車33Ｃおよび歯車33Ｄは、矯正
補助ローラ32と一体となって、押圧ローラ20の回転軸Ｐ
2 に対して回転自在に取り付けられている。この駆動機
構33においては、歯車33Ａ、歯車33Ｆのピッチ円の直径
および矯正ローラ31の外径は、駆動ローラ10の外径と同
じであり、歯車33Ｅのピッチ円の直径はこれよりも大き
く設定してある。また、歯車33Ｂ、歯車33Ｄのピッチ円
の直径および矯正補助ローラ32の外径は押圧ローラ20の
外径と同じであり、歯車33Ｃのピッチ円の直径はこれよ
りも小さく設定してある。駆動モータ50により駆動ロー
ラ10が回転数Ｎ10で回転するとき、矯正ローラ31の回転
数Ｎ31は、
ローラ20、矯正ローラ31，41および矯正補助ローラ32，
42を駆動させる駆動モータである。この駆動モータ50
は、スッテピングモータまたはサーボモータよりなる。
60は押圧ローラ20および矯正補助ローラ32，42に押圧力
を与えるスプリングである。33は矯正ローラ31および矯
正補助ローラ32の駆動機構であり、43は矯正ローラ41お
よび矯正補助ローラ42の駆動機構である。駆動機構33
は、歯車33Ａ〜歯車33Ｆよりなる歯車機構である。歯車
33Ａおよび歯車33Ｅは、駆動ローラ10の回転軸Ｐ1に固
定されて、駆動モータ50により駆動ローラ10と同じ回転
数で回転する。一方、歯車33Ｃおよび歯車33Ｄは、矯正
補助ローラ32と一体となって、押圧ローラ20の回転軸Ｐ
2 に対して回転自在に取り付けられている。この駆動機
構33においては、歯車33Ａ、歯車33Ｆのピッチ円の直径
および矯正ローラ31の外径は、駆動ローラ10の外径と同
じであり、歯車33Ｅのピッチ円の直径はこれよりも大き
く設定してある。また、歯車33Ｂ、歯車33Ｄのピッチ円
の直径および矯正補助ローラ32の外径は押圧ローラ20の
外径と同じであり、歯車33Ｃのピッチ円の直径はこれよ
りも小さく設定してある。駆動モータ50により駆動ロー
ラ10が回転数Ｎ10で回転するとき、矯正ローラ31の回転
数Ｎ31は、
【００１９】
【数１】
【００２０】となる（数１において、ｄC 、ｄD 、ｄE
およびｄF は、それぞれ歯車33Ｃ，33Ｄ，33Ｅ，33Ｆの
ピッチ円の直径を示す。）。ここで、ｄE ＞ｄF かつｄ
D ＞ｄC であるので、Ｎ31＞Ｎ10となる。従って、矯正
ローラ31の周速は駆動ローラ10の周速より常に大きくな
る。また、押圧ローラ20の回転数Ｎ20は、
およびｄF は、それぞれ歯車33Ｃ，33Ｄ，33Ｅ，33Ｆの
ピッチ円の直径を示す。）。ここで、ｄE ＞ｄF かつｄ
D ＞ｄC であるので、Ｎ31＞Ｎ10となる。従って、矯正
ローラ31の周速は駆動ローラ10の周速より常に大きくな
る。また、押圧ローラ20の回転数Ｎ20は、
【００２１】
【数２】
【００２２】となり（数２において、ｄA およびｄ
B は、それぞれ歯車33Ａ，33Ｂのピッチ円の直径を示
す。）、矯正補助ローラ32の回転数Ｎ32は、
B は、それぞれ歯車33Ａ，33Ｂのピッチ円の直径を示
す。）、矯正補助ローラ32の回転数Ｎ32は、
【００２３】
【数３】
【００２４】となる（数３において、ｄC およびｄ
E は、それぞれ歯車33Ｃ，33Ｅのピッチ円の直径を示
す。）。ここで、ｄE ＞ｄA かつｄB ＞ｄC であるの
で、Ｎ32＞Ｎ20となる。従って、矯正補助ローラ32の周
速は、押圧ローラ20の周速より常に大きくなる。
E は、それぞれ歯車33Ｃ，33Ｅのピッチ円の直径を示
す。）。ここで、ｄE ＞ｄA かつｄB ＞ｄC であるの
で、Ｎ32＞Ｎ20となる。従って、矯正補助ローラ32の周
速は、押圧ローラ20の周速より常に大きくなる。
【００２５】 なお、駆動機構43も駆動機構33と同様の
機構である。このように、駆動機構33および駆動機構43
によって、矯正ローラ31，41は、駆動ローラ10の両外側
において当該駆動ローラ10より常に大きな周速で駆動さ
れるので、フィルムＦは、その幅方向外方に引張される
ことになり、送り方向に伸びる皺の発生が防止される。
機構である。このように、駆動機構33および駆動機構43
によって、矯正ローラ31，41は、駆動ローラ10の両外側
において当該駆動ローラ10より常に大きな周速で駆動さ
れるので、フィルムＦは、その幅方向外方に引張される
ことになり、送り方向に伸びる皺の発生が防止される。
【００２６】図３は本発明のフィルム搬送機構の他の実
施例の要部を示す説明用断面図である。本実施例のフィ
ルム搬送機構においては、駆動ローラ10および押圧ロー
ラ20を駆動させる駆動モータ51と共に、駆動モータ52お
よび駆動モータ53がそれぞれ独立して設けられている。
駆動モータ51の回転により、駆動ローラ10が回転し、歯
車35Ｄおよび歯車35Ｅを介して押圧ローラ20が回転す
る。駆動モータ52の回転により、歯車35Ａおよび歯車35
Ｂを介して矯正ローラ31が回転し、更に歯車35Ｃを介し
て矯正補助ローラ32が回転する。駆動モータ53の回転に
より、歯車45Ａおよび歯車45Ｂを介して矯正ローラ41が
回転し、更に歯車45Ｃを介して矯正補助ローラ42が回転
する。本実施例によれば、駆動モータ52および駆動モー
タ53の回転数を、駆動モータ51の回転数よりも大きくす
ることにより、矯正ローラ31，41の周速を、駆動ローラ
10の周速よりも速くすることができ、これによりフィル
ムＦを、その幅方向に引張することができる。従って、
搬送されるフィルムＦに送り方向に伸びる皺の発生が防
止される。
施例の要部を示す説明用断面図である。本実施例のフィ
ルム搬送機構においては、駆動ローラ10および押圧ロー
ラ20を駆動させる駆動モータ51と共に、駆動モータ52お
よび駆動モータ53がそれぞれ独立して設けられている。
駆動モータ51の回転により、駆動ローラ10が回転し、歯
車35Ｄおよび歯車35Ｅを介して押圧ローラ20が回転す
る。駆動モータ52の回転により、歯車35Ａおよび歯車35
Ｂを介して矯正ローラ31が回転し、更に歯車35Ｃを介し
て矯正補助ローラ32が回転する。駆動モータ53の回転に
より、歯車45Ａおよび歯車45Ｂを介して矯正ローラ41が
回転し、更に歯車45Ｃを介して矯正補助ローラ42が回転
する。本実施例によれば、駆動モータ52および駆動モー
タ53の回転数を、駆動モータ51の回転数よりも大きくす
ることにより、矯正ローラ31，41の周速を、駆動ローラ
10の周速よりも速くすることができ、これによりフィル
ムＦを、その幅方向に引張することができる。従って、
搬送されるフィルムＦに送り方向に伸びる皺の発生が防
止される。
【００２７】更に、本実施例においては、駆動モータ52
および駆動モータ53の回転速度を相対的に変えることが
でき、フィルムＦは周速の大きい矯正ローラの方向へ移
動する。従って、後述する位置ズレ検出手段および位置
ズレ矯正手段によって、搬送されるフィルムの幅方向へ
の位置ズレを矯正することができる。
および駆動モータ53の回転速度を相対的に変えることが
でき、フィルムＦは周速の大きい矯正ローラの方向へ移
動する。従って、後述する位置ズレ検出手段および位置
ズレ矯正手段によって、搬送されるフィルムの幅方向へ
の位置ズレを矯正することができる。
【００２８】以上、本発明のフィルム搬送機構は、上記
の実施例に限定されるものではなく、種々の変化が可能
である。例えば、図４に示すように、駆動モータ50およ
び駆動機構33によって矯正ローラ31，矯正補助ローラ32
を駆動ローラ10より常に大きな周速で駆動させるととも
に、駆動モータ54および駆動機構45によって矯正ローラ
41，矯正補助ローラ42を駆動させることも可能である。
の実施例に限定されるものではなく、種々の変化が可能
である。例えば、図４に示すように、駆動モータ50およ
び駆動機構33によって矯正ローラ31，矯正補助ローラ32
を駆動ローラ10より常に大きな周速で駆動させるととも
に、駆動モータ54および駆動機構45によって矯正ローラ
41，矯正補助ローラ42を駆動させることも可能である。
【００２９】また、フィルムＦへの押圧はレジストが塗
布されていない領域のみで行われるため、図５に示すよ
うに、押圧ローラ20が当接される周縁部の径よりも中央
部の径が小さい駆動ローラ11を用いてもよい。このよう
な駆動ローラ11を用いることによって、幅方向引張機構
と相まって確実に皺の発生を防止することができ、ま
た、ローラ表面とフィルムとの接触面積が小さいので、
フィルムＦを傷付けにくい。
布されていない領域のみで行われるため、図５に示すよ
うに、押圧ローラ20が当接される周縁部の径よりも中央
部の径が小さい駆動ローラ11を用いてもよい。このよう
な駆動ローラ11を用いることによって、幅方向引張機構
と相まって確実に皺の発生を防止することができ、ま
た、ローラ表面とフィルムとの接触面積が小さいので、
フィルムＦを傷付けにくい。
【００３０】＜露光装置＞図６は、フィルムの搬送機構
を具えた本実施例の露光装置の一例を示す説明図であ
る。本実施例の露光装置は、帯状のフィルムＦの長さ方
向に沿って並ぶ複数のコマに順次に回路パターンを露光
していくフィルム露光装置であって、照射部１と、照射
部１からの光が照射される位置に配置されたフォトマス
クＭと、投影レンズ３と、フィルム搬送機構４とを具備
してなる。
を具えた本実施例の露光装置の一例を示す説明図であ
る。本実施例の露光装置は、帯状のフィルムＦの長さ方
向に沿って並ぶ複数のコマに順次に回路パターンを露光
していくフィルム露光装置であって、照射部１と、照射
部１からの光が照射される位置に配置されたフォトマス
クＭと、投影レンズ３と、フィルム搬送機構４とを具備
してなる。
【００３１】照射部１は、超高圧水銀灯等のようにレジ
ストが感度を有する光を効率的に放射するランプ２を内
蔵している。
ストが感度を有する光を効率的に放射するランプ２を内
蔵している。
【００３２】フォトマスクＭは、照射部１からの光が照
射される位置に配置されており、このフォトマスクＭに
は、フィルムＦに投影して転写すべき回路パターンとと
もに、フィルム側アライメント用マークに対応してフォ
トマスク側アライメント用マークが形成されている。Ｍ
10はフォトマスクの位置調節機構であり、フォトマスク
ホルダーＭ11とサーボモータＭ12を備えている。システ
ムコントローラ７からの信号によってサーボモータＭ12
が駆動されるとフォトマスクホルダーＭ11が移動してフ
ォトマスクＭが追従制御される。フォトマスクホルダー
Ｍ11を駆動するサーボモータＭ12は、光軸に直角な平面
内で互いに直角な二つの方向への駆動および光軸を中心
としたフォトマスクＭの回転駆動が可能なように、実際
には三つ設けられている。
射される位置に配置されており、このフォトマスクＭに
は、フィルムＦに投影して転写すべき回路パターンとと
もに、フィルム側アライメント用マークに対応してフォ
トマスク側アライメント用マークが形成されている。Ｍ
10はフォトマスクの位置調節機構であり、フォトマスク
ホルダーＭ11とサーボモータＭ12を備えている。システ
ムコントローラ７からの信号によってサーボモータＭ12
が駆動されるとフォトマスクホルダーＭ11が移動してフ
ォトマスクＭが追従制御される。フォトマスクホルダー
Ｍ11を駆動するサーボモータＭ12は、光軸に直角な平面
内で互いに直角な二つの方向への駆動および光軸を中心
としたフォトマスクＭの回転駆動が可能なように、実際
には三つ設けられている。
【００３３】投影レンズ３は、照射されたフォトマスク
Ｍの像を投影するものである。６は、ステージ５の下部
に配置された検出部であり、この検出部６は、フィルム
側アライメント用マークを臨む位置に配置された対物レ
ンズおよび検出器を具えている。
Ｍの像を投影するものである。６は、ステージ５の下部
に配置された検出部であり、この検出部６は、フィルム
側アライメント用マークを臨む位置に配置された対物レ
ンズおよび検出器を具えている。
【００３４】フィルム搬送機構４は、図２に示したもの
と同様の機構であり、このフィルム搬送機構４によっ
て、フィルムＦの確実な搬送および正確な位置合わせが
行われ、フィルムＦの正しい位置にパターンの像を露光
することができる。
と同様の機構であり、このフィルム搬送機構４によっ
て、フィルムＦの確実な搬送および正確な位置合わせが
行われ、フィルムＦの正しい位置にパターンの像を露光
することができる。
【００３５】図７は、フィルムの搬送機構を具えた本実
施例の露光装置の他の例を示す説明図である。この例の
露光装置は、図６に示す装置と略同様であるが、フィル
ム搬送機構９は、図３に示したものと同様の機構であ
る。
施例の露光装置の他の例を示す説明図である。この例の
露光装置は、図６に示す装置と略同様であるが、フィル
ム搬送機構９は、図３に示したものと同様の機構であ
る。
【００３６】図７において、91は搬送されるフィルムの
幅方向の位置ズレを検出するレーザ検出器等よりなる位
置ズレ検出手段であり、92は位置ズレ検出手段91からの
信号によって、矯正ローラ31と矯正ローラ32とを異なる
周速で駆動させる位置ズレ矯正手段である。本実施例の
露光装置において、フィルムＦが幅方向に位置ズレした
状態で搬送されたときには、位置ズレ検出手段91がこれ
を検出し、その検出信号を位置ズレ矯正手段92へ送る。
この検出信号を受けた位置ズレ矯正手段92は、位置ズレ
が発生した方向と反対側の矯正ローラの周速を大きくす
るよう駆動モータ52および53の回転速度を相対的に変化
させる。これにより、フィルムＦは周速の大きい方向へ
移動して、幅方向への位置ズレが矯正される。なお、回
転速度の相対的な変化としては、駆動モータ52および駆
動モータ53のうち一方を一定のスピードで固定し、他方
のスピードを変化させて行ってもよい。
幅方向の位置ズレを検出するレーザ検出器等よりなる位
置ズレ検出手段であり、92は位置ズレ検出手段91からの
信号によって、矯正ローラ31と矯正ローラ32とを異なる
周速で駆動させる位置ズレ矯正手段である。本実施例の
露光装置において、フィルムＦが幅方向に位置ズレした
状態で搬送されたときには、位置ズレ検出手段91がこれ
を検出し、その検出信号を位置ズレ矯正手段92へ送る。
この検出信号を受けた位置ズレ矯正手段92は、位置ズレ
が発生した方向と反対側の矯正ローラの周速を大きくす
るよう駆動モータ52および53の回転速度を相対的に変化
させる。これにより、フィルムＦは周速の大きい方向へ
移動して、幅方向への位置ズレが矯正される。なお、回
転速度の相対的な変化としては、駆動モータ52および駆
動モータ53のうち一方を一定のスピードで固定し、他方
のスピードを変化させて行ってもよい。
【００３７】
【発明の効果】請求項１の発明によれば、フィルムの幅
方向の両端部に接する矯正ローラと矯正補助ローラと
が、駆動ローラの両外側において当該駆動ローラより常
に大きな周速で駆動されるので、フィルムは中央から幅
方向の両端方向へ引張力が作用された状態で搬送され、
送り方向に伸びる皺の発生を防止することができる。
方向の両端部に接する矯正ローラと矯正補助ローラと
が、駆動ローラの両外側において当該駆動ローラより常
に大きな周速で駆動されるので、フィルムは中央から幅
方向の両端方向へ引張力が作用された状態で搬送され、
送り方向に伸びる皺の発生を防止することができる。
【００３８】請求項２の発明によれば、フィルムの幅方
向の位置ズレが発生したときには、位置ズレ検出手段か
らの信号を受けた位置ズレ矯正手段によって、周速の大
きい矯正ローラの方向へフィルムが移動するので、幅方
向の位置ズレを矯正することができる。
向の位置ズレが発生したときには、位置ズレ検出手段か
らの信号を受けた位置ズレ矯正手段によって、周速の大
きい矯正ローラの方向へフィルムが移動するので、幅方
向の位置ズレを矯正することができる。
【００３９】請求項３の発明によれば、送り方向に伸び
る皺の発生およびフィルムの幅方向の位置ズレを防止す
るフィルム搬送機構を具えているので、フィルムの確実
な搬送および正確な位置合わせが可能になり、フィルム
の正しい位置にパターンの像を露光することができる。
る皺の発生およびフィルムの幅方向の位置ズレを防止す
るフィルム搬送機構を具えているので、フィルムの確実
な搬送および正確な位置合わせが可能になり、フィルム
の正しい位置にパターンの像を露光することができる。
【図１】本発明のフィルム搬送機構の一実施例を示す説
明用斜視図である。
明用斜視図である。
【図２】図１に示すフィルム搬送機構の要部を示す説明
用断面図である。
用断面図である。
【図３】本発明のフィルム搬送機構の他の実施例の要部
を示す説明用断面図である。
を示す説明用断面図である。
【図４】本発明のフィルム搬送機構の要部の変更例を示
す説明用断面図である。
す説明用断面図である。
【図５】本発明のフィルム搬送機構の要部の変更例を示
す説明用断面図である。
す説明用断面図である。
【図６】フィルムの搬送機構を具えた本実施例の露光装
置の一例を示す説明図である。
置の一例を示す説明図である。
【図７】フィルムの搬送機構を具えた本実施例の露光装
置の他の例を示す説明図である。
置の他の例を示す説明図である。
１ 照射部 ２ ランプ ３ 投影レンズ ４ フィルム搬送機構 ５ ステージ ６ 検出部 ７ システムコントローラ ９ フィルム搬送機構 10 駆動ローラ 11 駆動ローラ 15 ガイドローラ 20 押圧ローラ 25 テンションローラ 31 矯正ローラ 32 矯正補助ローラ 33 駆動機構 41 矯正ローラ 42 矯正補助ローラ 43 駆動機構 45 駆動機構 50 駆動モータ 51 駆動モータ 52 駆動モータ 53 駆動モータ 54 駆動モータ 60 スプリング 91 位置ズレ検出手段 92 位置ズレ矯正手段 Ｍ フォトマスク Ｍ10 フォトマスクの位置調節機構 Ｍ11 フォトマスクホルダー Ｍ12 サーボモータ Ｆ フィルム
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G03B 27/32 B65H 23/038 G03F 7/20 521
Claims (3)
- 【請求項１】 駆動ローラと、押圧ローラとよりなるフ
ィルム搬送機構であって、フィルムを幅方向に引張する
幅方向引張機構を有し、 この幅方向引張機構は、前記駆動ローラの両外側に設け
られた、当該駆動ローラより常に大きな周速で駆動され
る、フィルムの幅方向の両端部に接する矯正ローラと矯
正補助ローラとを具えていることを特徴とするフィルム
の搬送機構。 - 【請求項２】 搬送されるフィルムの幅方向の位置ズレ
を検出する位置ズレ検出手段と、この位置ズレ検出手段
からの信号によって、一端側の矯正ローラと他端側の矯
正ローラとを異なる周速で駆動させることにより、幅方
向の位置ズレを矯正する位置ズレ矯正手段とを具えてい
ることを特徴とする請求項１に記載のフィルム搬送機
構。 - 【請求項３】 帯状のフィルムの長さ方向に沿って並ぶ
複数のコマに順次に回路パターンを露光していくフィル
ム露光装置であって、照射部と、照射部からの光が照射
される位置に配置された、回路パターンが形成されたフ
ォトマスクと、フォトマスクの回路パターンの像を投影
する投影レンズと、投影レンズによる回路パターンの像
の投影位置に、フィルムを一コマずつ搬送するフィルム
搬送機構とを具備してなるフィルム露光装置であって、
前記フィルム搬送機構は、請求項１もしくは請求項２の
いずれかに記載のフィルム搬送機構であることを特徴と
するフィルム露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3084415A JP2880314B2 (ja) | 1991-03-26 | 1991-03-26 | フィルム搬送機構およびこのフィルム搬送機構を具えた露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3084415A JP2880314B2 (ja) | 1991-03-26 | 1991-03-26 | フィルム搬送機構およびこのフィルム搬送機構を具えた露光装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04296741A JPH04296741A (ja) | 1992-10-21 |
| JP2880314B2 true JP2880314B2 (ja) | 1999-04-05 |
Family
ID=13829958
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3084415A Expired - Fee Related JP2880314B2 (ja) | 1991-03-26 | 1991-03-26 | フィルム搬送機構およびこのフィルム搬送機構を具えた露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2880314B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4775076B2 (ja) * | 2006-03-31 | 2011-09-21 | 住友金属鉱山株式会社 | 露光方法及び装置 |
| JP5144992B2 (ja) * | 2007-08-27 | 2013-02-13 | 株式会社オーク製作所 | 露光装置 |
| JP6459234B2 (ja) * | 2014-06-16 | 2019-01-30 | 株式会社ニコン | 基板処理装置 |
| KR102097769B1 (ko) * | 2013-07-08 | 2020-04-07 | 가부시키가이샤 니콘 | 기판 처리 장치, 디바이스 제조 시스템, 디바이스 제조 방법, 및 패턴 형성 장치 |
| JP7378910B2 (ja) * | 2017-10-31 | 2023-11-14 | 株式会社アドテックエンジニアリング | 両面露光装置及び両面露光方法 |
| JP6702404B2 (ja) * | 2018-12-21 | 2020-06-03 | 株式会社ニコン | デバイス製造システムおよびデバイス製造方法 |
| JP2020166275A (ja) * | 2020-04-27 | 2020-10-08 | 株式会社ニコン | パターン形成装置 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55145956A (en) * | 1979-04-24 | 1980-11-13 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Method of correcting meandering |
| JPS62171856A (ja) * | 1986-01-24 | 1987-07-28 | Toyoda Gosei Co Ltd | 幅広材の送り装置 |
| JPH02100036A (ja) * | 1988-10-07 | 1990-04-12 | Ushio Inc | フィルム露光装置及びその装置を用いたフィルム露光方法 |
-
1991
- 1991-03-26 JP JP3084415A patent/JP2880314B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04296741A (ja) | 1992-10-21 |
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