JP2913206B2 - ウエーハ保管庫 - Google Patents
ウエーハ保管庫Info
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Landscapes
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Ventilation (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Control Of Fluid Pressure (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は半導体製造工程において、上方向から清浄な
空気をウエーハ面に流しながらウエーハを一時的に保管
するようにしたウエーハ保管庫に関する。
空気をウエーハ面に流しながらウエーハを一時的に保管
するようにしたウエーハ保管庫に関する。
〈従来の技術〉 はじめにウエーハ保管庫の概要について説明する。半
導体製造工場において、ウエーハの処理量が相違するた
め、各工程間の処理時間を調整することが多い。このた
め、バッファとしてのウエーハ保管庫が用いられる。
導体製造工場において、ウエーハの処理量が相違するた
め、各工程間の処理時間を調整することが多い。このた
め、バッファとしてのウエーハ保管庫が用いられる。
従来のウエーハ保管庫はウエーハを保管する複数段の
収納棚と、収納棚にウエーハを出入れするスタッカと、
搬送装置によって搬送されたウエーハをスタッカに移し
変えるローダを備えている。
収納棚と、収納棚にウエーハを出入れするスタッカと、
搬送装置によって搬送されたウエーハをスタッカに移し
変えるローダを備えている。
またウエーハ保管庫は、その天井に空気の通風口が、
床面に排気口がそれぞれ形成されており、通風口から清
浄空気を下方に流し、下方にある排気口から外部にその
空気を排出させ、収納棚に保管中のウエーハ表面に塵が
付着しないように工夫されている。
床面に排気口がそれぞれ形成されており、通風口から清
浄空気を下方に流し、下方にある排気口から外部にその
空気を排出させ、収納棚に保管中のウエーハ表面に塵が
付着しないように工夫されている。
そして、通常はウエーハ保管庫内の圧力は庫外に比べ
て正圧になるように、すなわち、清浄空気は庫内から庫
外へ流出するようになっている。
て正圧になるように、すなわち、清浄空気は庫内から庫
外へ流出するようになっている。
〈発明が解決しようとする課題〉 しかしながら、半導体工場の空気圧力は各装置のレイ
アウトや建屋の構造の変更等によって変動することがあ
る。甚だしい場合には、ウエーハ保管庫内の圧力が庫外
の圧力よりも低下し、その結果、外部の空気が庫内に逆
流し、ひいては庫内のクリーン度が低下する場合があ
る。
アウトや建屋の構造の変更等によって変動することがあ
る。甚だしい場合には、ウエーハ保管庫内の圧力が庫外
の圧力よりも低下し、その結果、外部の空気が庫内に逆
流し、ひいては庫内のクリーン度が低下する場合があ
る。
本発明は上記事情に鑑みて創案されたもので、各装置
のレイアウトや建屋構造の変更等により空気の圧力が変
動しても、庫内外の圧力の差をある限度内に保持するこ
とにより、前記空気の逆流を防止し、クリーン度を維持
するようにしたウエーハ保管庫を提供することを目的と
している。
のレイアウトや建屋構造の変更等により空気の圧力が変
動しても、庫内外の圧力の差をある限度内に保持するこ
とにより、前記空気の逆流を防止し、クリーン度を維持
するようにしたウエーハ保管庫を提供することを目的と
している。
〈課題を解決するための手段〉 本発明に係るウエーハ保管庫は、流れ落ちる清浄空気
のもとで各工程毎に一時保管するウエーハ保管庫であっ
て、庫内空気が外部に排出される排気口に開閉可能に設
けられた移動扉と、側壁の所定位置に設けられ庫内外の
圧力の差を検出する圧力差検出センサと、圧力差検出セ
ンサの出力に基づいて前記庫内の圧力P1と庫外の圧力P2
の差P1−P2が所定の正の値になるように、前記移動扉の
開閉を制御する制御部を具備したことを特徴としてい
る。また前記移動扉は排気口下方に長手方向に配設され
たレール上に移動可能に載置され、レール両端近くに配
設した１対のシーブと、前記シーブを巻回しその両端が
移動扉の前後に連結されたサーボモータとを備えた移動
装置によって移動するように構成したものである。
のもとで各工程毎に一時保管するウエーハ保管庫であっ
て、庫内空気が外部に排出される排気口に開閉可能に設
けられた移動扉と、側壁の所定位置に設けられ庫内外の
圧力の差を検出する圧力差検出センサと、圧力差検出セ
ンサの出力に基づいて前記庫内の圧力P1と庫外の圧力P2
の差P1−P2が所定の正の値になるように、前記移動扉の
開閉を制御する制御部を具備したことを特徴としてい
る。また前記移動扉は排気口下方に長手方向に配設され
たレール上に移動可能に載置され、レール両端近くに配
設した１対のシーブと、前記シーブを巻回しその両端が
移動扉の前後に連結されたサーボモータとを備えた移動
装置によって移動するように構成したものである。
〈作用〉 圧力差検出センサで検知された信号に基づいて制御部
は移動扉を開閉させる。排気口から庫外に流出する空気
の排出量が増減し、庫内外の圧力差は設定値に保持され
る。これにより前記空気の逆流は防止される。
は移動扉を開閉させる。排気口から庫外に流出する空気
の排出量が増減し、庫内外の圧力差は設定値に保持され
る。これにより前記空気の逆流は防止される。
〈実施例〉 以下、図面を参照して本発明に係る一実施例を説明す
る。第１図は全体の構成を説明する説明図、第２図はウ
エーハ保管庫の外観斜視図、第３図は移動扉の移動装置
の説明図である。
る。第１図は全体の構成を説明する説明図、第２図はウ
エーハ保管庫の外観斜視図、第３図は移動扉の移動装置
の説明図である。
本発明に係るウエーハ保管庫10は４周が側壁で囲ま
れ、天井に通風口10Aが、また床には排気口10Bが形成さ
れており、クリーンルーム内に設置されている。ウエー
ハ保管庫10には、クリーンルームの天井から吹き出す清
浄空気Ａが通風口10Aから庫内を流れ落ち、排気口10Bを
通過して排気口10Bの下部に設けたグレーチング11から
外部に流出するようになっている。なおウエーハ保管庫
10がクリーンルーム外などに設置され、清浄空気Ａを必
要とする場合には、エアフィルタ及びファンからなるク
リーンベンチを通風口10Aの上部に設けるものとする。
れ、天井に通風口10Aが、また床には排気口10Bが形成さ
れており、クリーンルーム内に設置されている。ウエー
ハ保管庫10には、クリーンルームの天井から吹き出す清
浄空気Ａが通風口10Aから庫内を流れ落ち、排気口10Bを
通過して排気口10Bの下部に設けたグレーチング11から
外部に流出するようになっている。なおウエーハ保管庫
10がクリーンルーム外などに設置され、清浄空気Ａを必
要とする場合には、エアフィルタ及びファンからなるク
リーンベンチを通風口10Aの上部に設けるものとする。
ウエーハ保管庫10は収納棚20と、出入口31と、スタッ
カ32と、ローダ33と、移動扉40と、制御部50と、圧力差
検出センサ51を含んでいる。
カ32と、ローダ33と、移動扉40と、制御部50と、圧力差
検出センサ51を含んでいる。
収納棚20は第２図に示すように、ウエーハ60を保管す
るもので、庫内左右に複数段配設されている。そして収
納棚20には、複数個の通気孔（図示せず）が上下方向に
開設されている。
るもので、庫内左右に複数段配設されている。そして収
納棚20には、複数個の通気孔（図示せず）が上下方向に
開設されている。
側壁の所定位置には、出入口31が開設されており、ウ
エーハ60を出し入れするように構成されている。
エーハ60を出し入れするように構成されている。
スタッカ32は左右に配設された収納棚20の中間部分に
配置され、収納棚20の全域にわたって移動可能に設けら
れている。そして出入口31に移されたウエーハ60を収納
棚20の所定位置に収納するようになっている。
配置され、収納棚20の全域にわたって移動可能に設けら
れている。そして出入口31に移されたウエーハ60を収納
棚20の所定位置に収納するようになっている。
ローダ33は出入口31と搬送装置34の間で、搬送された
ウエーハ60を出入口31に移し変えるものである。
ウエーハ60を出入口31に移し変えるものである。
移動扉40は複数個の排気口10Bの下方に設けられてい
る。本実施例では、排気口10Bはスタッカ32の移動面に
沿って複数個開設されている。各移動扉40は移動装置に
よって移動し、排気口10Bを開閉するように構成されて
いる。
る。本実施例では、排気口10Bはスタッカ32の移動面に
沿って複数個開設されている。各移動扉40は移動装置に
よって移動し、排気口10Bを開閉するように構成されて
いる。
移動装置は移動扉40に連結されたワイヤロープ41と、
排気口10Bの下方でウエーハ保管庫40の長手方向に配設
され移動扉40を左右移動可能に載置するレール42と、１
対のシーブ43、44と、サーボモータ45を含んでいる。
排気口10Bの下方でウエーハ保管庫40の長手方向に配設
され移動扉40を左右移動可能に載置するレール42と、１
対のシーブ43、44と、サーボモータ45を含んでいる。
複数個の隣接する移動扉40は、排気口10Bをカバーす
る面積を有しており、排気口10Bに見合った間隔をもっ
てワイヤーロープ41で直列に連結されている。またワイ
ヤロープ41はその一端が最左端の移動扉40Aに連結さ
れ、レール42の左端近くに設けられたシーブ43と、レー
ル42の右端近くに設けられたシーブ44を巻回し、最右端
の移動扉40Bにその他端が連結されている。さらに、シ
ーブ44はサーボモータ45に連結されている。なおシーブ
43、44は塵を発生しないようにポリアセタールなどの合
成樹脂材を用いている。
る面積を有しており、排気口10Bに見合った間隔をもっ
てワイヤーロープ41で直列に連結されている。またワイ
ヤロープ41はその一端が最左端の移動扉40Aに連結さ
れ、レール42の左端近くに設けられたシーブ43と、レー
ル42の右端近くに設けられたシーブ44を巻回し、最右端
の移動扉40Bにその他端が連結されている。さらに、シ
ーブ44はサーボモータ45に連結されている。なおシーブ
43、44は塵を発生しないようにポリアセタールなどの合
成樹脂材を用いている。
制御部50はスタッカ32、ローダ33を自動制御するほ
か、ウエーハ保管庫10の在庫状況を上位コンピュータに
リアルタイムに出力するようになっている。
か、ウエーハ保管庫10の在庫状況を上位コンピュータに
リアルタイムに出力するようになっている。
圧力差検出センサ51は例えば半導体拡散型歪ゲージで
あって、庫内の圧力P1と庫外の圧力P2の差P1−P2を検出
するものであり、出入口31の近くで庫内の側壁に取付け
られている。また制御部50は圧力差検出センサ51からの
信号に基づいて前記サーボモータ45を制御するようにな
っている。
あって、庫内の圧力P1と庫外の圧力P2の差P1−P2を検出
するものであり、出入口31の近くで庫内の側壁に取付け
られている。また制御部50は圧力差検出センサ51からの
信号に基づいて前記サーボモータ45を制御するようにな
っている。
ウエーハ60はカセット61に収納された状態で保管され
る。
る。
搬送装置34によって搬送されたきたカセット61はロー
ダ33を介して出入口31に移し変えられ、スタッカ33によ
って収納棚20の予め設定された位置に入庫される。また
前記と逆の順序に従って出庫される。
ダ33を介して出入口31に移し変えられ、スタッカ33によ
って収納棚20の予め設定された位置に入庫される。また
前記と逆の順序に従って出庫される。
一方、通風口10Aから流入する清浄空気Ａは庫内を流
れ落ち、大部分の空気Ｃは排気口10B、グレーチング11
を通って外部に排出され、一部の空気Ｂは出入口31から
庫外に流出する。ウエーハ60の表面には、清浄空気Ａが
常に表面に降りかかっているので、ウエーハ60には塵が
付着することはない。
れ落ち、大部分の空気Ｃは排気口10B、グレーチング11
を通って外部に排出され、一部の空気Ｂは出入口31から
庫外に流出する。ウエーハ60の表面には、清浄空気Ａが
常に表面に降りかかっているので、ウエーハ60には塵が
付着することはない。
前記した庫内外の圧力差P1−P2は予め正の値が設定さ
れており、この設定値に対して空気Ｃの排出量に対応す
る排気口10Bの開口面積、すなわち、移動扉40の移動量
が設定されている。
れており、この設定値に対して空気Ｃの排出量に対応す
る排気口10Bの開口面積、すなわち、移動扉40の移動量
が設定されている。
つぎに本発明のウエーハ保管庫10の動作について説明
する。
する。
庫内の圧力P1が一定であっても、庫外の圧力P2が変動
し、前記圧力差が設定値から外れると、サーボモータ45
が正逆方向に回転し、移動扉40が所定量移動する。これ
によって排気口10Bの開口面積が変化し、空気Ｃの排出
量が増減する。それ故、庫内外の圧力差は設定値に引き
戻され、正の所定値に保持される。
し、前記圧力差が設定値から外れると、サーボモータ45
が正逆方向に回転し、移動扉40が所定量移動する。これ
によって排気口10Bの開口面積が変化し、空気Ｃの排出
量が増減する。それ故、庫内外の圧力差は設定値に引き
戻され、正の所定値に保持される。
〈発明の効果〉 以上説明したように、本発明のウエーハ保管庫は庫内
外の圧力差を検出する圧力差検出センサを設け、圧力差
検出センサの出力に基づいて排気口を開閉し、流出する
空気量を増減し、圧力差の設定値に維持するようにして
いる。
外の圧力差を検出する圧力差検出センサを設け、圧力差
検出センサの出力に基づいて排気口を開閉し、流出する
空気量を増減し、圧力差の設定値に維持するようにして
いる。
従って、庫外の圧力が変動しても、外部の空気が庫内
に逆流することがなく、庫内のクリーン度が維持され
る。
に逆流することがなく、庫内のクリーン度が維持され
る。
第１図から第３図にかけては本発明に係る図面であっ
て、第１図は全体の構成を説明する説明図、第２図はウ
エーハ保管庫の外観斜視図、第３図は移動扉の移動装置
の説明図である。 10……ウエーハ保管庫 10B……排気口 20……収納棚 32……スタッカ 33……ローダ 34……搬送装置 40……移動扉 45……サーボモータ 50……制御部 51……圧力差検出センサ
て、第１図は全体の構成を説明する説明図、第２図はウ
エーハ保管庫の外観斜視図、第３図は移動扉の移動装置
の説明図である。 10……ウエーハ保管庫 10B……排気口 20……収納棚 32……スタッカ 33……ローダ 34……搬送装置 40……移動扉 45……サーボモータ 50……制御部 51……圧力差検出センサ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H01L 21/68 B65G 1/00 521 F24F 7/06
Claims (2)
- 【請求項１】流れ落ちる清浄空気のもとで各工程毎に一
時保管するウエーハ保管庫であって、庫内空気が外部に
排出される排気口に開閉可能に設けられた移動扉と、側
壁の所定位置に設けられ庫内外の圧力の差を検出する圧
力差検出センサと、圧力差検出センサの出力に基づいて
前記庫内の圧力P1と庫外の圧力P2の差P1−P2が所定の正
の値になるように、前記移動扉の開閉を制御する制御部
を具備したことを特徴とするウエーハ保管庫。 - 【請求項２】前記移動扉は排気口下方に長手方向に配設
されたレール上に移動可能に載置され、レール両端近く
に配設した１対のシーブと、前記シーブを巻回しその両
端が移動扉の前後に連結されたサーボモータとを備えた
移動装置によって移動するように構成した請求項１記載
のウエーハ保管庫。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25159790A JP2913206B2 (ja) | 1990-09-19 | 1990-09-19 | ウエーハ保管庫 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25159790A JP2913206B2 (ja) | 1990-09-19 | 1990-09-19 | ウエーハ保管庫 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04129245A JPH04129245A (ja) | 1992-04-30 |
| JP2913206B2 true JP2913206B2 (ja) | 1999-06-28 |
Family
ID=17225188
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25159790A Expired - Fee Related JP2913206B2 (ja) | 1990-09-19 | 1990-09-19 | ウエーハ保管庫 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2913206B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4519242B2 (ja) * | 2000-02-25 | 2010-08-04 | シャープ株式会社 | クリーン搬送車 |
| KR100483428B1 (ko) * | 2003-01-24 | 2005-04-14 | 삼성전자주식회사 | 기판 가공 장치 |
-
1990
- 1990-09-19 JP JP25159790A patent/JP2913206B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04129245A (ja) | 1992-04-30 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |