JPH0345846A - クリーンルーム用空調機器 - Google Patents
クリーンルーム用空調機器Info
- Publication number
- JPH0345846A JPH0345846A JP17841189A JP17841189A JPH0345846A JP H0345846 A JPH0345846 A JP H0345846A JP 17841189 A JP17841189 A JP 17841189A JP 17841189 A JP17841189 A JP 17841189A JP H0345846 A JPH0345846 A JP H0345846A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- clean room
- air
- damper
- flow
- closing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、例えばクリーンベンチ等のクリーンルーム用
空調機器に関するものである。
空調機器に関するものである。
一般に、半導体製造分野で広く知られているクリーンル
ームとしては、空気の澱み層が形成されないという利点
をもつことから、所謂垂直層流式の構造をもつものが広
く採用されている。
ームとしては、空気の澱み層が形成されないという利点
をもつことから、所謂垂直層流式の構造をもつものが広
く採用されている。
そして、この種のクリーンルーム内には、例えばクリー
ンベンチ等の空調機器が付設されている。
ンベンチ等の空調機器が付設されている。
従来、この種のクリーンルーム用空調機器は第２図に示
すように構成されている。これを同図に基づいて説明す
ると、同図において、符号１は空気取入口（図示せず）
と空気吹出口（図示せず〉間を接続する通路２をその内
部に有する筐体、３はこの筺体１の通路２の空気取入口
側に設けられ空気吹出口側に空気を吹き出す送風機、４
はこの送風機３の吹き出し方向に設けられ塵埃を捕捉す
るフィルタ、５はこのフィルタ４と前記送風機３との間
に開閉自在に設けられ空気送風量を調節する手動式のダ
ンパである。なお、６は前記送風機３を駆動する電動機
である。
すように構成されている。これを同図に基づいて説明す
ると、同図において、符号１は空気取入口（図示せず）
と空気吹出口（図示せず〉間を接続する通路２をその内
部に有する筐体、３はこの筺体１の通路２の空気取入口
側に設けられ空気吹出口側に空気を吹き出す送風機、４
はこの送風機３の吹き出し方向に設けられ塵埃を捕捉す
るフィルタ、５はこのフィルタ４と前記送風機３との間
に開閉自在に設けられ空気送風量を調節する手動式のダ
ンパである。なお、６は前記送風機３を駆動する電動機
である。
このように構成されたクリーンルーム用空調機器におい
ては、電動機６によって送風機３が駆動されると、空気
取入口（図示せず）から筺体１内に取り入れられた空気
がフィルタ４を通過してクリーンルーム（図示せず）内
に清浄空気として吹き出される。このとき、クリーンル
ーム（図示せず）内は垂直層流（ダウンフロー）によっ
て清浄化されている。なお、空気吹出口（図示せず）か
ら吹き出される空気の吹き出し方向は、クリーンルーム
（図示せず）の垂直層流と直角な方向（水平方向）であ
る。
ては、電動機６によって送風機３が駆動されると、空気
取入口（図示せず）から筺体１内に取り入れられた空気
がフィルタ４を通過してクリーンルーム（図示せず）内
に清浄空気として吹き出される。このとき、クリーンル
ーム（図示せず）内は垂直層流（ダウンフロー）によっ
て清浄化されている。なお、空気吹出口（図示せず）か
ら吹き出される空気の吹き出し方向は、クリーンルーム
（図示せず）の垂直層流と直角な方向（水平方向）であ
る。
〔発明が解決しようとする課題］
ところで、この種のクリーンルーム用空調機器において
は、ダンパ５の開閉による吹き出し空気量の調節を手動
によって行うものであるため、クリーンルーム（図示せ
ず）内に供給される空気量とクリーンルーム（図示せず
）外に吐き出される空気量のバランスが崩れることがあ
った。すなわち、クリーンルーム（図示せず〉の床面を
例えば搬送機等が移動すると、その都度クリーンルーム
（図示せず）の排出口（図示せず）一部が閉塞されるこ
とになるからである。この結果、クリーンルーム（図示
せず）内において垂直層流と直角な方向の空気流が発生
し、垂直層流を常時維持することができないという問題
があった。
は、ダンパ５の開閉による吹き出し空気量の調節を手動
によって行うものであるため、クリーンルーム（図示せ
ず）内に供給される空気量とクリーンルーム（図示せず
）外に吐き出される空気量のバランスが崩れることがあ
った。すなわち、クリーンルーム（図示せず〉の床面を
例えば搬送機等が移動すると、その都度クリーンルーム
（図示せず）の排出口（図示せず）一部が閉塞されるこ
とになるからである。この結果、クリーンルーム（図示
せず）内において垂直層流と直角な方向の空気流が発生
し、垂直層流を常時維持することができないという問題
があった。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、垂直
層流と直角な方向の空気流の発生を防止することができ
、もってクリーンルーム内の垂直層流を維持することが
できるクリーンルーム用空調機器を提供するものである
。
層流と直角な方向の空気流の発生を防止することができ
、もってクリーンルーム内の垂直層流を維持することが
できるクリーンルーム用空調機器を提供するものである
。
本発明に係るクリーンルーム用空調機器は、クリーンル
ーム内に垂直層流の変化を検出するセンサを設け、この
センサにダンパを開閉制御するコントローラを接続した
ものである。
ーム内に垂直層流の変化を検出するセンサを設け、この
センサにダンパを開閉制御するコントローラを接続した
ものである。
本発明においては、コントローラがセンサからの出力信
号を受けてダンパを開閉制御することにより、垂直層流
と直角な方向に吹き出す清浄空気の供給量を自動的に調
節することができる。
号を受けてダンパを開閉制御することにより、垂直層流
と直角な方向に吹き出す清浄空気の供給量を自動的に調
節することができる。
以下、本発明の構成等を図に示す実施例によって詳細に
説明する。
説明する。
第１図は本発明に係るクリーンルーム用空調機器を示す
概略図で、同図において第２図と同一の部材については
同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。同図におい
て、符号１１で示す筐体の両壁には、水平方向に開口す
る空気取入口１２と空気吐出口１３が設けられている。
概略図で、同図において第２図と同一の部材については
同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。同図におい
て、符号１１で示す筐体の両壁には、水平方向に開口す
る空気取入口１２と空気吐出口１３が設けられている。
１４は垂直層流によってその内部が清浄化されるクリー
ンルームで、天井部および床部には吹出口１５と排出口
１６が各々設けられている。１７は垂直層流の変化（風
向、風速および圧力）を検出する複数個のセンサで、前
記クリーンルーム１４内の天井部近傍に設けられている
。１８は前記フィルタ４に導く空気量を調節するダンパ
で、前記通路２内に開閉自在に設けられている。１９は
前記ダンパ１８の開閉制御するコントローラで、前記セ
ンサ１７に接続され、かつ前記筺体１１内に設けられて
いる。なお、図中矢印ＡおよびＢは空気吐出口１３と吹
出口１５から供給される清浄空気の方向である。
ンルームで、天井部および床部には吹出口１５と排出口
１６が各々設けられている。１７は垂直層流の変化（風
向、風速および圧力）を検出する複数個のセンサで、前
記クリーンルーム１４内の天井部近傍に設けられている
。１８は前記フィルタ４に導く空気量を調節するダンパ
で、前記通路２内に開閉自在に設けられている。１９は
前記ダンパ１８の開閉制御するコントローラで、前記セ
ンサ１７に接続され、かつ前記筺体１１内に設けられて
いる。なお、図中矢印ＡおよびＢは空気吐出口１３と吹
出口１５から供給される清浄空気の方向である。
このように構成されたクリーンルーム用空調機器におい
ては、コントローラ１９がセンサ１７からの出力信号を
受けてダンパ１８を開閉制御することにより、垂直層流
と直角な方向に吹き出す清浄空気の供給量を自動的に調
節することができる。
ては、コントローラ１９がセンサ１７からの出力信号を
受けてダンパ１８を開閉制御することにより、垂直層流
と直角な方向に吹き出す清浄空気の供給量を自動的に調
節することができる。
したがって、本実施例においては、クリーンルーム１４
の床面を例えば搬送機等が移動して排出口１６の一部が
閉塞されることがあっても、クリーンルーム１４内に供
給される空気量とクリーンルーム１４内に吐き出される
空気量のバランスを保つことができ、垂直層流と直角な
方向の空気流の発生を防止することができる。
の床面を例えば搬送機等が移動して排出口１６の一部が
閉塞されることがあっても、クリーンルーム１４内に供
給される空気量とクリーンルーム１４内に吐き出される
空気量のバランスを保つことができ、垂直層流と直角な
方向の空気流の発生を防止することができる。
なお、本実施例においてはクリーンベンチ等に適用する
例を示したが、本発明はこれに限定されず、他の空調機
器にも実施例と同様に適用可能である。
例を示したが、本発明はこれに限定されず、他の空調機
器にも実施例と同様に適用可能である。
また、本発明におけるセンサ１７およびコントローラ１
９の設定位置は、前述した実施例に限定されるものでな
いことは勿論である。
９の設定位置は、前述した実施例に限定されるものでな
いことは勿論である。
以上説明したように本発明によれば、クリーンルーム内
に垂直層流の変化を検出するセンサを設け、このセンサ
にダンパを開閉制御するコントローラを接続したので、
コントローラがセンサからの出力信号を受けてダンパを
開閉制御することにより、垂直層流と直角な方向に吹き
出す清浄空気の供給量を自動的に調節することができる
。したがって、クリーンルームの床面を例えば搬送機等
が移動して排出口の一部が閉塞されることがあっても、
クリーンルーム内に供給される空気量とクリーンルーム
外に吐き出される空気量のバランスを保つことができる
から、垂直層流と直角な方向の空気流の発生を防止する
ことができ、クリーンルーム内の垂直層流を維持するこ
とができる。
に垂直層流の変化を検出するセンサを設け、このセンサ
にダンパを開閉制御するコントローラを接続したので、
コントローラがセンサからの出力信号を受けてダンパを
開閉制御することにより、垂直層流と直角な方向に吹き
出す清浄空気の供給量を自動的に調節することができる
。したがって、クリーンルームの床面を例えば搬送機等
が移動して排出口の一部が閉塞されることがあっても、
クリーンルーム内に供給される空気量とクリーンルーム
外に吐き出される空気量のバランスを保つことができる
から、垂直層流と直角な方向の空気流の発生を防止する
ことができ、クリーンルーム内の垂直層流を維持するこ
とができる。
第１図は本発明に係るクリーンルーム用空調機器を示す
概略図、第２図は従来のクリーンルーム用口調機器を示
す概略図である。 １１・・・・筐体、１２・・・・空気取入口、１３・・
・・空気吐出口、１４・・・・クリーンルーム、１５・
・・・吹出口、１６・・・・排出口、１７・・・・セン
サ、１８・・・・ダンパ、１９・・・・コントローラ。 代 理 人 大 岩 増 雄 蘂 図 １５； マク； 戯 ロ、 第２図
概略図、第２図は従来のクリーンルーム用口調機器を示
す概略図である。 １１・・・・筐体、１２・・・・空気取入口、１３・・
・・空気吐出口、１４・・・・クリーンルーム、１５・
・・・吹出口、１６・・・・排出口、１７・・・・セン
サ、１８・・・・ダンパ、１９・・・・コントローラ。 代 理 人 大 岩 増 雄 蘂 図 １５； マク； 戯 ロ、 第２図
Claims (1)
- 垂直層流式のクリーンルーム内に水平方向に吹き出され
る空気の容量を調節する開閉用のダンパを備えたクリー
ンルーム用空調機器において、前記クリーンルーム内に
垂直層流の変化を検出するセンサを設け、このセンサに
前記ダンパを開閉制御するコントローラを接続したこと
を特徴とするクリーンルーム用空調機器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17841189A JPH0345846A (ja) | 1989-07-11 | 1989-07-11 | クリーンルーム用空調機器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17841189A JPH0345846A (ja) | 1989-07-11 | 1989-07-11 | クリーンルーム用空調機器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0345846A true JPH0345846A (ja) | 1991-02-27 |
Family
ID=16048025
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17841189A Pending JPH0345846A (ja) | 1989-07-11 | 1989-07-11 | クリーンルーム用空調機器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0345846A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008094464A (ja) * | 2006-10-13 | 2008-04-24 | Matsushita Electric Works Ltd | ケースの嵌合構造 |
-
1989
- 1989-07-11 JP JP17841189A patent/JPH0345846A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008094464A (ja) * | 2006-10-13 | 2008-04-24 | Matsushita Electric Works Ltd | ケースの嵌合構造 |
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