JP2915524B2 - アルミニウム・有機物混合膜 - Google Patents
アルミニウム・有機物混合膜Info
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- JP2915524B2 JP2915524B2 JP22753290A JP22753290A JP2915524B2 JP 2915524 B2 JP2915524 B2 JP 2915524B2 JP 22753290 A JP22753290 A JP 22753290A JP 22753290 A JP22753290 A JP 22753290A JP 2915524 B2 JP2915524 B2 JP 2915524B2
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- organic mixed
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Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は、アルミニウム・有機物混合膜に関するも
のである。さらに詳しくは、この発明は、耐ピンホール
性、耐食性および耐侯性に優れ、密着強度も良好なアル
ミニウム・有機物混合膜に関するものである。
のである。さらに詳しくは、この発明は、耐ピンホール
性、耐食性および耐侯性に優れ、密着強度も良好なアル
ミニウム・有機物混合膜に関するものである。
（従来の技術） 従来より、金属、ガラス、セラミックス、プラスティ
ック等の基板に、金属、無機物、有機ポリマーなどの蒸
着薄膜を形成し、絶縁膜、反射膜、光学薄膜、表示素
子、電子デバイスなどとして広く用いてきている。この
ような薄膜形成のための反応プロセスについても、これ
までに真空蒸着、スパッタリング、イオンプレーティン
グ、CVD,MOCVD,MBE等の様々な方法が知られている。
ック等の基板に、金属、無機物、有機ポリマーなどの蒸
着薄膜を形成し、絶縁膜、反射膜、光学薄膜、表示素
子、電子デバイスなどとして広く用いてきている。この
ような薄膜形成のための反応プロセスについても、これ
までに真空蒸着、スパッタリング、イオンプレーティン
グ、CVD,MOCVD,MBE等の様々な方法が知られている。
（発明が解決しようとする課題） しかしながら、従来の薄膜やその形成方法において
は、所望の特性、機能性を有する薄膜を製造するために
は、未だに改善すべき課題があり、また、薄膜の利用に
ついても様々な見地からの検討が必要とされている現状
にある。
は、所望の特性、機能性を有する薄膜を製造するために
は、未だに改善すべき課題があり、また、薄膜の利用に
ついても様々な見地からの検討が必要とされている現状
にある。
このような課題の一つとして、たとえば基板の種類や
性状に対応し、耐ピンホール性、耐食性、耐侯性などの
表面機能性を向上させることができ、しかも密着強度に
優れた薄膜がこれまでに必ずしも実現されていないこと
が挙げられる。
性状に対応し、耐ピンホール性、耐食性、耐侯性などの
表面機能性を向上させることができ、しかも密着強度に
優れた薄膜がこれまでに必ずしも実現されていないこと
が挙げられる。
この発明は、以上の通りの事情に鑑みてなされたもの
であり、耐ピンホール性、耐食性および耐侯性に優れ
た、密着強度も良好なアルミニウム・有機混合膜を提供
することを目的としている。
であり、耐ピンホール性、耐食性および耐侯性に優れ
た、密着強度も良好なアルミニウム・有機混合膜を提供
することを目的としている。
（課題を解決するための手段） この発明は、上記の課題を解決するものとして、アル
ミニウムまたはその合金とポリカーボネートとの混合膜
を高周波励起型イオンプレーティングにより、Ag,Al,ま
たはMgの金属、もしくはAl2O3,MgO,またはSiO2である基
板表面に気相蒸着させてなることを特徴とするアルミニ
ウム・有機物混合膜を提供する。
ミニウムまたはその合金とポリカーボネートとの混合膜
を高周波励起型イオンプレーティングにより、Ag,Al,ま
たはMgの金属、もしくはAl2O3,MgO,またはSiO2である基
板表面に気相蒸着させてなることを特徴とするアルミニ
ウム・有機物混合膜を提供する。
この発明のアルミニウム・有機物混合膜を形成するに
あたっては、アルミニウムまたはその合金とポリカーボ
ネートとを同時に蒸発させて、高周波励起型イオンプレ
ーティングにより蒸発粒子、あるいは蒸発粒子とガス分
子を真空反応装置内のグロー放電によってプラズマ励起
し、イオン化粒子、中性粒子またはラジカルの状態とし
て、Ag,Al,またはMgの金属、もしくはAl2O3,MgO,または
SiO2である基板表面に蒸着する。この時の真空反応装置
内の圧力は、たとえば10-2〜10-5Torr程度の真空状態と
することができ、また、基板温度は、室温〜400C程度の
範囲とすることができる。なお、蒸着に際し、反応装置
内にアルゴン等の不活性ガスを導入することも可能であ
る。
あたっては、アルミニウムまたはその合金とポリカーボ
ネートとを同時に蒸発させて、高周波励起型イオンプレ
ーティングにより蒸発粒子、あるいは蒸発粒子とガス分
子を真空反応装置内のグロー放電によってプラズマ励起
し、イオン化粒子、中性粒子またはラジカルの状態とし
て、Ag,Al,またはMgの金属、もしくはAl2O3,MgO,または
SiO2である基板表面に蒸着する。この時の真空反応装置
内の圧力は、たとえば10-2〜10-5Torr程度の真空状態と
することができ、また、基板温度は、室温〜400C程度の
範囲とすることができる。なお、蒸着に際し、反応装置
内にアルゴン等の不活性ガスを導入することも可能であ
る。
この発明においては、アルミニウム・有機物混合膜を
形成する基板の材質や性状などにより、たとえば第１図
に示したように、基板（１）表面に有機重合膜（２）を
蒸着し、その上にアルミニウム・有機物混合膜（３）を
積層し、一体化して配設することができる。また、第２
図に示したように、さらにその上に有機重合膜（４）を
積層一体化することもできる。あるいはまた、第３図に
示したように、基板（１）表面にアルミニウム・有機物
混合膜（３）を蒸着し、この上に有機重合膜（５）を積
層して一体化したり、第４図に示したように、さらにそ
の上にアルミニウム・有機物混合膜（６）を積層一体化
して配設することもできる。
形成する基板の材質や性状などにより、たとえば第１図
に示したように、基板（１）表面に有機重合膜（２）を
蒸着し、その上にアルミニウム・有機物混合膜（３）を
積層し、一体化して配設することができる。また、第２
図に示したように、さらにその上に有機重合膜（４）を
積層一体化することもできる。あるいはまた、第３図に
示したように、基板（１）表面にアルミニウム・有機物
混合膜（３）を蒸着し、この上に有機重合膜（５）を積
層して一体化したり、第４図に示したように、さらにそ
の上にアルミニウム・有機物混合膜（６）を積層一体化
して配設することもできる。
この場合の有機重合膜（２）（４）（５）の原料とし
ては、前述したアルミニウム・有機物混合膜の原料と同
様のポリカーボネートだけでなく、ポリアクリレート、
ポリエステル、ポリオレフィン、ポリエチレン等の有機
ポリマー、または炭化水素等の有機モノマーガスを例示
することができ、また、その形成方法としても、高周波
励起型イオンプレーティングによるプラズマ重合とする
ことができる。
ては、前述したアルミニウム・有機物混合膜の原料と同
様のポリカーボネートだけでなく、ポリアクリレート、
ポリエステル、ポリオレフィン、ポリエチレン等の有機
ポリマー、または炭化水素等の有機モノマーガスを例示
することができ、また、その形成方法としても、高周波
励起型イオンプレーティングによるプラズマ重合とする
ことができる。
（実施例） 以下、実施例を示し、この発明のアルミニウム・有機
物混合膜についてさらに詳しく説明する。
物混合膜についてさらに詳しく説明する。
実施例１ 基板としてAlを用い、５×10-5Torrのアルゴンガスを
導入して、Al基板をボンバード処理し、次いで４×10-3
Torrのアルゴン圧条件下で高周波励起型イオンプレーテ
ィングによりポリカーボネートの蒸発粒子をプラズマイ
オン化して重合膜を蒸着した。この後に、同一の圧力条
件下でアルミニウムとポリカーボネートとの蒸発粒子を
プラズマイオン化して混合膜を重合膜に積層一体化し
た。なお、放電電力は300Wとした。
導入して、Al基板をボンバード処理し、次いで４×10-3
Torrのアルゴン圧条件下で高周波励起型イオンプレーテ
ィングによりポリカーボネートの蒸発粒子をプラズマイ
オン化して重合膜を蒸着した。この後に、同一の圧力条
件下でアルミニウムとポリカーボネートとの蒸発粒子を
プラズマイオン化して混合膜を重合膜に積層一体化し
た。なお、放電電力は300Wとした。
塩水テストを行ったところ、ピンホールは生じなかっ
た。耐食性、耐侯性ともに良好であった。また、この混
合積層膜は密着強度、耐摩耗性にも優れていた。
た。耐食性、耐侯性ともに良好であった。また、この混
合積層膜は密着強度、耐摩耗性にも優れていた。
実施例２ 実施例１で得られた混合多層膜の表面に、４×10-3To
rrのアルゴン圧条件下でポリカーボネート重合膜を積層
一体化した。
rrのアルゴン圧条件下でポリカーボネート重合膜を積層
一体化した。
硬質の透明重合膜が得られ、表面の保護性に優れてい
た。
た。
実施例３ 基板としてMgを用い、実施例１と同様に、５×10-5To
rrのアルゴンガスを導入してMg基板をボンバード処理
し、次いで４×10-3Torrのアルゴン圧条件下で高周波励
起型イオンプレーティングによりポリカーボネートとの
蒸発粒子をプラズマイオン化して重合膜を蒸着した。こ
の後に、同一の圧力条件下でアルミニウムとポリカーボ
ネートとの蒸発粒子をプラズマイオン化して混合膜を重
合膜に積層一体化した。なお、放電電力は300Wとした。
rrのアルゴンガスを導入してMg基板をボンバード処理
し、次いで４×10-3Torrのアルゴン圧条件下で高周波励
起型イオンプレーティングによりポリカーボネートとの
蒸発粒子をプラズマイオン化して重合膜を蒸着した。こ
の後に、同一の圧力条件下でアルミニウムとポリカーボ
ネートとの蒸発粒子をプラズマイオン化して混合膜を重
合膜に積層一体化した。なお、放電電力は300Wとした。
塩水テストを行ったところ、ピンホールは生じなかっ
た。耐食性、耐侯性ともに良好であった。また、この混
合積層膜は密着強度、耐摩耗性にも優れていた。
た。耐食性、耐侯性ともに良好であった。また、この混
合積層膜は密着強度、耐摩耗性にも優れていた。
実施例４ 実施例３と同様に、Ag基板を５×10-5Torrのアルゴン
ガス圧条件下でボンバード処理した後、４×10-3Torrの
アルゴン圧条件下で高周波励起型イオンプレーティング
によりアルミニウムとポリカーボネートとの蒸発粒子を
プラズマイオン化して混合膜を蒸着した。この後に、同
一の圧力条件下でポリカーボネート重合膜を積層一体化
した。
ガス圧条件下でボンバード処理した後、４×10-3Torrの
アルゴン圧条件下で高周波励起型イオンプレーティング
によりアルミニウムとポリカーボネートとの蒸発粒子を
プラズマイオン化して混合膜を蒸着した。この後に、同
一の圧力条件下でポリカーボネート重合膜を積層一体化
した。
塩水テストを行ったところ、ピンホールは生じなかっ
た。耐食性、耐侯性に優れ、硬質透明保護膜による表面
保護性も良好であった。また、この混合積層膜は密着強
度、耐摩耗性にも優れていた。
た。耐食性、耐侯性に優れ、硬質透明保護膜による表面
保護性も良好であった。また、この混合積層膜は密着強
度、耐摩耗性にも優れていた。
実施例５ 基板としてSiO2,MgOを各々用い、実施例１と同様にし
てアルミニウム・有機物混合多層膜を蒸着した。
てアルミニウム・有機物混合多層膜を蒸着した。
塩水テストによるピンホールは発生しなかった。耐食
性、耐侯性に優れ、密着強度、耐摩耗性も良好であっ
た。
性、耐侯性に優れ、密着強度、耐摩耗性も良好であっ
た。
もちろんこの発明は、以上の例によって限定されるも
のではない。有機重合膜の種類、蒸着条件等の細部につ
いては様々な態様が可能であることはいうまでもない。
のではない。有機重合膜の種類、蒸着条件等の細部につ
いては様々な態様が可能であることはいうまでもない。
（発明の効果） 以上詳しく説明した通り、この発明によって、耐ピン
ホール性、耐食性および耐侯性に優れ、密着強度、耐摩
耗性も良好なアルミニウム・有機物混合膜、またはこの
混合膜と有機重合膜との積層膜が提供される。特にAl,M
g基板に適用したものは、軽量であるMgの特質を生かし
つつその表面安定性に極めて優れたものとなる。
ホール性、耐食性および耐侯性に優れ、密着強度、耐摩
耗性も良好なアルミニウム・有機物混合膜、またはこの
混合膜と有機重合膜との積層膜が提供される。特にAl,M
g基板に適用したものは、軽量であるMgの特質を生かし
つつその表面安定性に極めて優れたものとなる。
第１図、第２図、第３図および第４図は、各々、この発
明の一例を示した断面図である。 １……基板 2,4,5……有機重合膜 3,6……アルミニウム・有機物混合膜
明の一例を示した断面図である。 １……基板 2,4,5……有機重合膜 3,6……アルミニウム・有機物混合膜
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) C23C 14/00 - 14/58 B21D 53/44
Claims (6)
- 【請求項１】アルミニウムまたはその合金とポリカーボ
ネートとの混合膜を高周波励起型イオンプレーティング
により、Ag,Al,またはMgの金属、もしくはAl2O3,MgO,ま
たはSiO2である基板表面に気相蒸着させてなることを特
徴とするアルミニウム・有機物混合膜。 - 【請求項２】有機重合膜を形成した基板表面に、請求項
（１）記載のアルミニウム・有機物混合膜を積層してな
るアルミニウム・有機物混合多層膜。 - 【請求項３】請求項（２）記載のアルミニウム・有機物
混合多層膜の上に、さらに有機重合膜を気相蒸着してな
るアルミニウム・有機物混合多層膜。 - 【請求項４】請求項（１）記載のアルミニウム・有機物
混合膜の上に、有機重合膜を気相蒸着してなるアルミニ
ウム・有機物混合多層膜。 - 【請求項５】請求項（４）記載のアルミニウム・有機物
混合多層膜の上に、請求項（１）記載のアルミニウム・
有機物混合膜を気相蒸着してなるアルミニウム・有機物
混合多層膜。 - 【請求項６】有機重合膜がポリカーボネート、ポリアク
リレート、ポリシロキサン、ポリエステル、ポリオレフ
ィンおよび／またはポリエチレンからなる請求項（２）
（３）または（４）記載のアルミニウム・有機物混合多
層膜。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22753290A JP2915524B2 (ja) | 1990-08-28 | 1990-08-28 | アルミニウム・有機物混合膜 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22753290A JP2915524B2 (ja) | 1990-08-28 | 1990-08-28 | アルミニウム・有機物混合膜 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04107261A JPH04107261A (ja) | 1992-04-08 |
| JP2915524B2 true JP2915524B2 (ja) | 1999-07-05 |
Family
ID=16862385
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22753290A Expired - Lifetime JP2915524B2 (ja) | 1990-08-28 | 1990-08-28 | アルミニウム・有機物混合膜 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2915524B2 (ja) |
-
1990
- 1990-08-28 JP JP22753290A patent/JP2915524B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04107261A (ja) | 1992-04-08 |
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