JP2978794B2 - 半導体集積回路 - Google Patents

半導体集積回路

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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体集積回路に関
し、特に全体の動作を停止し低消費電力状態にするスタ
ンバイ機能の有し、ROM,RAM,セレクタ等に対す
るデコーダを内蔵したマイクロコンピュータ等の大規模
な半導体集積回路に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、半導体集積回路の製造技術におけ
る微細化技術の進展に伴い、ゲート酸化膜厚が極度に薄
くなり、製造中に作り込まれるゲート酸化膜の破壊によ
るリーク電流不良が問題となっている。この問題は、マ
イクロコンピュータ(以下、マイコンと呼ぶ)などの半
導体集積回路で、消費電力の削減の為、外部端子からの
信号入力やプログラムによる全体の動作を停止した状態
(以下、スタンバイモードと呼ぶ)で特に顕著であり、
回路規模が大きくなる程不良発生の可能性が高まる。
【0003】まず、スタンバイモードを有したマイコン
の一般的な構成について、図6に示されたブロック図を
参照して説明する。
【0004】通常動作時、このマイコンは、発振器12
で生成されるシステムクロックSCKを、CPU部1
1、及びシリアルインターフェイス,ROM,RAM,
タイマなどを含む各周辺ユニット13a〜13dへ供給
し、これにより全体が動作している。スタンバイモード
への遷移の要求が発生すると、CPU部11内部でスタ
ンバイモードに設定する為の制御信号のスタンバイ信号
STBYが生成され、発振器12へ入力される。これに
より発振器12は発振を停止し、CPU部11及び各周
辺ユニット13a〜13dへのシステムクロックSCK
の供給が断たれ、マイコン全体の動作が停止する。
【0005】次に、スタンバイモード時に特に問題とな
る、リーク電流が発生する原因について説明する。図7
はマイコンなどのCMOS型の半導体集積回路に含まれ
る、インバータ回路部分の断面図である。ゲートGnと
ソースSn,ドレインDnとでNチャンネル型のトラン
ジスタ(以下、Nチャンネルトランジスタと呼ぶ)が構
成され、ゲートGpとソースSp,ドレインDpとでP
チャンネル型のトランジスタ(以下、Pチャンネルトラ
ンジスタと呼ぶ)が構成されている。
【0006】製造過程において、Nチャンネルトランジ
スタ及びPチャンネルトランジスタのゲート酸化膜GO
n,GOpが破壊された場合、電気的絶縁性が低下し、
NチャンネルトランジスタのゲートGnと、ソースS
n,ドレインDn,Pウェル102,P型基板101と
の間、及びPチャンネルトランジスタのゲートGpと、
ソースSp,ドレインDp,Nウェル103,P型基板
101との間にリーク電流が流れる。この様なスタンバ
イモード時のリーク電流不良が有る製品の市場への流出
を防止する為に、通常はRAMセル,レジスタなどのあ
らゆる記憶素子に“0”,“1”のデータを書き込ん
で、それぞれ2回スタンバイモード時の電流の測定を実
施し、市場への出荷を行っている。
【0007】一方、スタンバイモード時に、ROM,R
AM,セレクタ等の回路に対するデコーダは、どの出力
がアクティブレベルとなるか一定せず、リーク電流不良
が有る製品の市場への流出を防止する為には、その出力
を1本づつアクティブレベルにして電流の測定をする必
要が有る。その為に、デコーダの規模が大きくなる程リ
ーク電流の測定に要する時間が増大する。この事を、6
4kバイトのマスクROMを例(従来の半導体集積回路
の第1の例)にとり、その構成を示す図8を参照して説
明する。
【0008】まず、行デコーダ2xは、アドレスデータ
A6〜A15をデコードし、メモリセルアレイ1xのワ
ード線WL1〜WLmへ出力する。つまり、16ビット
のアドレスデータA0〜A15のうちの上位10ビット
によって、64kバイトのメモリセルアレイ1xの10
24本のワード線WL1〜WLm(m=1024)のう
ちから1本を選択しアクティブレベル(選択レベル)と
する。
【0009】次に、列デコーダ14は、16ビットのア
ドレスデータA0〜A15のうちのA2〜A5をデコー
ドし、16の列選択信号YS1〜YSk(k=16)を
列セレクタ15へ出力する。列セレクタ15にはメモリ
セルアレイ1xからの512本のビット線BL11〜B
L1k,〜BLn1〜BLnk(n=32)が入力して
おり、列デコーダ14からの列選択信号YS1〜YSk
のうちの入力のいずれが“1”になっているかにより、
512本のビット線を16本づつの32グループに分け
たそれぞれのグループから各々1本が選択され、センス
増幅回路16へ出力される。例えば、列選択信号YS1
が“1”の場合、ビット線の各グループの16本のうち
の1本づつのビット線BL11〜BLn1が選択され
て、センス増幅回路16に出力される。つまり、16ビ
ットのアドレスデータA0〜A15のうちの最下位の2
ビットA0,A1を除く下位側4ビット(最下位の2ビ
ットA0,A1は、1バイト単位のデータ読出し場合の
み必要で、この例では32ビット単位のデータ読出しで
あるので使用していない)によって、メモリセルアレイ
1xの512本のビット線BL11〜BL1k,〜,B
Ln1〜BLnkのうちから32本が選択される。
【0010】センス増幅回路16は、この様にして14
ビットのアドレスデータA2〜A15により指定された
メモリセルアレイ1x上のアドレスのデータを検知,増
幅し論理値“0”又は“1”に変換して32ビットの出
力データDO1〜DOnとして出力する。
【0011】この様な構成のマスクROMでは、スタン
バイモードに入るタイミングによりアドレスデータA2
〜A15の内容が変わると、行デコーダ2xにより選択
される1024本のワード線WL1〜WLmのうちの1
本、列デコーダ14の16の列選択信号YS1〜YSk
により選択される512本のビット線BL11〜BL1
k,〜,BLn1〜BLnkのうちの32本の内容が変
化する。よって、スタンバイモード時のメモリセルアレ
イ1xにおけるリーク電流不良を完全に検出する為に
は、アドレスデータA2〜A15があらゆる状態でスタ
ンバイモードに入った場合を想定しなければならない。
つまり、スタンバイモード時に1024本のワード線W
L1〜WLnと列選択信号YS1〜YSkの何れをもア
クティブレベルにしてリーク電流の測定をする必要があ
る。ワード線WL1〜WLmは1度に1本しかアクティ
ブレベルに出来ないので、その為には、ワード線WL1
〜WLmが1本づつ選択される毎に、列選択信号YS1
〜YSkも16のうちの所定の1つが選択される様なア
ドレスデータA2〜A15を、1024回設定しなけれ
ばならない。よって、1回の電流測定に1ミリ秒の時間
を要する場合、1秒以上の時間がかかる事になる。この
様に、ROM,RAM,セレクタ等の回路に対するデコ
ーダの規模及び数が大きくなる程、スタンバイモード時
のリーク電流の測定に要する時間が増大する。
【0012】これに対し、特開平6−35743号公報
には、制御信号により全ワード線をアクティブレベル、
全ビット線をインアクティブレベルにしてリーク電流を
検出するようにした例が記載されている。図9はこの特
開平6−35743号公報を参照して作成したダイナミ
ックROM(従来の半導体集積回路の第2の例)の回路
図である。
【0013】このダイナミックROMは、通常動作時に
は、制御信号CNTは低レベルにあり、ワード線プリチ
ャージ/ディスチャージ信号WP・D及びビット線プリ
チャージ/ディスチャージ信号BP・Dによって全ワー
ド線WL1〜WLM及び全ビット線BL1〜BLNを所
定のタイミングでプリチャージ又はディスチャージし、
アドレスデータA0〜Ajで指定されるメモリセルアレ
イ1yのアドレスにアクセスする。
【0014】また、リーク電流の測定時には、制御信号
CNTを高レベルにし、制御回路10及び行デコーダ2
yに含まれるプリチャージ用のトランジスタQ21によ
り全ワード線WL1〜WLMをプリチャージレベルの高
レベルとし、制御回路10及びディスチャージ用のトラ
ンジスタQ12により全ビット線BL1〜BLNをディ
スチャージレベルの低レベルとする。こうすることによ
り、第1の例のようにワード線を1本づつ順次高レベル
にする必要がなく、少ない回数でリーク電流の検出が可
能となる。なお、ワード線及びビット線のうちの一方を
高レベル、他方を低レベルとしているのは、ゲート酸化
膜のリーク電流をより確実に検出するようにするためで
ある。
【0015】このような、全ワード線を高レベルにして
リーク電流を測定する技術を、スタティック型のROM
に適用した代表的な例(従来の半導体集積回路の第3の
例)を図10に示す(ただし、ワード線を4本とした基
本原理を説明するための例)。
【0016】この半導体集積回路は、インバータIV2
1,IV22及びANDゲートG21〜G24を備えア
ドレスデータA1,A2に従ってワード線WL1〜WL
4のうちの1本を選択レベル(アクティブレベル)の高
レベルとするための信号を出力する行デコーダ2と、選
択レベルのワード線と接続するメモリセルの記憶データ
をビット線BL1〜BLmに出力するメモリセルアレイ
1と、ORゲートG91〜G94を備え制御信号CNT
が低レベルのときは行デコーダ2の出力信号を対応する
ワード線に伝達し高レベルのときはワード線WL1〜W
L4全てを高レベルとするデコード出力制御回路9とを
有する構成となっている。
【0017】この半導体集積回路でも、制御信号CNT
を高レベルとすることにより、ワード線WL1〜WL4
を1本づつ高レベルにする必要がなく、少ない回数でリ
ーク電流の検出ができる。
【0018】図11はデコーダを有する他の半導体集積
回路の一例(第4の例)を示す回路図である。
【0019】この半導体集積回路は、システムクロック
SCKを互いに異なる周期の3つのクロック信号DCK
1〜DCK3に分周する分周器4と、インバータIV5
1,IV52及びNORゲートG51〜G53を備えク
ロック選択制御信号SC1,SC2をデコードしてクロ
ック選択信号SL1〜SL3を出力するデコーダ5と、
ANDゲートG61〜G63及びNORゲートG64を
備えクロック選択信号SL1〜SL3に従って分周され
たクロック信号DCK1〜DCK3のうちの1つを選択
して内部クロックICKとして内部処理部7に供給する
セレクタ6とを有する構成となっている。
【0020】この半導体集積回路では、クロック選択制
御信号SC1,SC2が(0,0)のときは内部クロッ
クICKは供給されず、(0,1)のときはクロック信
号DCK1が、(1,0)のときはクロック信号DCK
2が、(1,1)のときはクロック信号DCK3がそれ
ぞれ選択され、内部クロックICKとして供給される。
【0021】この半導体集積回路においても、スタンバ
イモードに入るタイミングによりクロック選択制御信号
SC1,SC2の内容が変るので、スタンバイモード時
のリーク電流の検出には、クロック選択制御信号SC
1,SC2のあらゆる状態での電流測定を行っている。
【0022】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の半導体
集積回路は、第1の例及び第4の例では、スタンバイモ
ードに入るタイミングにより行デコーダ2x,デコーダ
5等に入力される信号(A6〜A15、SC1,SC
2)の内容が変化するため、スタンバイモード時のリー
ク電流の検出には、これら行デコーダ2x,デコーダ5
に入力される信号のあらゆる状態での電流測定が必要と
なり、リーク電流の検出に多くの時間がかかるという問
題点があり、行デコーダ2y,2の出力信号を制御信号
CNTで全てのワード線をアクティブレベルにする第
3,第4の例では、行デコーダの出力信号全て、ワード
線全てと対応して論理ゲートを設ける必要があるため、
回路規模が増大するという問題点と、制御信号CNT生
成のための回路が必要になり、やはり回路規模が増大す
るという問題点と、行デコーダ,デコーダ等そのものに
対するリーク電流の検出ができないという問題点があ
る。
【0023】本発明の目的は、スタンバイモード時のリ
ーク電流の検出のための回路規模を小さくし、かつ検出
時間を短縮すると共に、デコーダそのものリーク電流を
検出することができる半導体集積回路を提供することに
ある。
【0024】
【課題を解決するための手段】本発明の半導体集積回路
は、供給された複数ビットの第1の信号をデコードして
複数ビットのうちの所定のビットのみをアクティブレベ
ルとした第2の信号を出力するデコーダと、スタンバイ
信号が第1のレベルの通常の動作モード時には前記デコ
ーダでデコードされた第2の信号に応答して所定の処理
動作を行い前記スタンバイ信号が第2のレベルのスタン
バイモード時には前記所定の処理動作を停止して低消費
電力状態となる内部回路とを有する半導体集積回路にお
いて、前記スタンバイ信号が第2のレベルのときには前
記第1の信号の複数ビットのうちの所定のビットを所定
のレベルに固定して前記デコーダに供給する信号レベル
固定回路を設けて構成される。また、信号レベル固定回
路を、第1の信号の複数ビット全てを所定のレベルに固
定する回路として構成される。
【0025】また、内部回路を、複数のワード線及びビ
ット線を備え通常の動作モード時にはこれら複数のワー
ド線及びビット線のうちの選択されたワード線及びビッ
ト線と対応するアドレスをアクセスし、スタンバイモー
ド時には前記アクセスを停止して記憶内容保持状態とな
るメモリセルアレイとし、第1の信号をアドレス信号と
し、デコーダを、前記第1の信号のうちの供給された第
1のビットをデコードして前記複数のワード線のうちの
1本をアクティブレベルとしてその1本のワード線を選
択する行デコーダ、及び前記第1の信号のうちの供給さ
れた第2のビットをデコードして前記複数のビット線の
うちの所定のビット線を選択する列デコーダのうちの少
なくとも行デコーダとして構成され、更にまた、内部回
路を、選択信号に従って複数の第3の信号のうちの1つ
を選択するセレクタと、通常の動作モード時にはこのセ
レクタで選択された第3の信号に応答して所定の処理動
作を行い、スタンバイモード時には前記所定の処理動作
を停止して低消費電力状態となる内部処理部とを含む回
路とし、デコーダを、供給された第1の信号をデコード
して前記選択信号を出力する回路として構成される。
【0026】また、スタンバイモード時に、デコーダか
らの第2の信号のうちのアクティブレベルとなっている
ビットを、インアクティブレベルとして内部回路に供給
する出力レベル制御回路を設けて構成される。
【0027】
【発明の実施の形態】次に本発明の実施の形態について
図面を参照して説明する。
【0028】図1は本発明の第1の実施の形態を示す回
路図である。
【0029】この第1の実施の形態が図10に示された
従来の半導体集積回路の第3の例(以下第3の従来例と
いう、他の例についても同様)と相違する点は、第3の
従来例のデコード出力制御回路9をなくして行デコーダ
2の出力信号をワード線WL1〜WL4に互いに対応す
るものどうしで直接供給し、また第3の従来例では、ア
ドレスデータA1,A2を直接行デコーダ2に供給して
いたのに対し、本発明では、ORゲートG31,G32
により、アドレスデータA1,A2それぞれとスタンバ
イ信号STBYとの論理和をとって行デコーダ2に供給
する入力信号レベル固定回路3を設けた点にある。
【0030】次に、この第1の実施の形態の動作につい
て説明する。
【0031】まず、スタンバイ信号STBYが低レベル
の通常の動作モード時には、入力信号レベル固定回路3
からアドレスデータA1,A2がそのまま行デコーダ2
に供給され、アドレスデータA1,A2に応じてワード
線WL1〜WL4のうちの1本が選択レベル(アクティ
ブレベル)となる。その結果、選択レベルのワード線と
選択されたビット線とに対応するメモリセルアレイ1の
アドレスがアクセスされる。
【0032】スタンバイ信号STBYが高レベルのスタ
ンバイモードになると、行デコーダ2に供給されるアド
レスデータCA1,CA2は共に高レベルに固定され、
常にワード線WL4のみアクティブレベル(選択レベ
ル)の高レベル、他のワード線WL1〜WL3はインア
クティブレベル(非選択レベル)の低レベルに固定され
る。すなわち、どのようなタイミングでスタンバイモー
ドに入っても、行デコーダ5に入力される信号(CA
1,CA2)は常に1つの状態に固定されるので、行デ
コーダ2の内部状態、その出力信号のレベル、及びメモ
リセルアレイ1の内部状態が1つの状態に固定され、従
ってこの1つの状態に固定されたときの電流を測定する
だけでリーク電流の検出ができ、このリーク電流の検出
に要する時間を短かくすることができる。なおリーク電
流の検出は、リーク電流がない良品の半導体集積回路の
電流を予め測定しておき、この電流とリーク電流検出対
象の半導体集積回路の電流とを比較すればよい。
【0033】図2は本発明の第2の実施の形態を示す回
路図である。
【0034】この第2の実施の形態は、図11に示され
た第4の従来例に本発明を適用したものである。
【0035】第4の従来例では、デコーダ5にクロック
選択制御信号SC1,SC2を直接供給しているが、こ
の第2の実施の形態では、ORゲートG31,G32を
備えた入力信号レベル固定回路3aにより、クロック選
択制御信号SC1,SC2それぞれとスタンバイ信号S
TBYとの論理和をとってデコーダ5に供給している。
従って、どのようなタイミングでスタンバイモードに入
ってもデコーダ5に供給される信号のレベルが固定さ
れ、デコーダ5の内部状態、その出力(SL1〜SL
3)、セレクタ6及び内部処理部7の内部状態が1つの
状態に固定されるので、この1つの状態に固定されたと
きの電流を測定するだけでリーク電流の検出ができ、そ
の検出時間を短かくすることができる。
【0036】図3は本発明の第3の実施の形態を示す回
路図である。
【0037】この第3の実施の形態は、第1の実施の形
態における入力信号レベル固定回路3のORゲートG3
1,G32をANDゲートG33,G34に変え、かつ
スタンバイ信号STBYのレベルを反転するインバータ
IV31を設けて入力信号レベル固定回路3bとし、ア
ドレスデータA1,A2それぞれとスタンバイ信号ST
BYのレベル反転信号との論理積をとって行デコーダ2
に供給するようにしたものである。
【0038】この第3の実施の形態では、スタンバイモ
ード時(スタンバイ信号STBYが高レベルのとき)、
行デコーダ2に供給される信号(CA1,CA2)は共
に低レベルに固定され、常にワード線WL1のみが高レ
ベル、他のワードセンWL2〜WL4は低レベルに固定
される。この点を除いて、この第3の実施の形態の動作
及び作用効果は、基本的には第1の実施の形態と同様で
あるので、これ以上の説明は省略する。
【0039】図4は本発明の第4の実施の形態を示す回
路図である。
【0040】この第4の実施の形態は、第3の実施の形
態においてスタンバイモード時に1本だけ高レベルにな
るワード線WL1のレベルも低レベルにしてメモリセル
アレイ1に供給する出力信号レベル制御回路8を設けた
ものである。すなわち、スタンバイモード時、ワード線
WL1〜WL4全てを低レベルに固定するようにしたも
のである。その他の基本的な動作及び作用効果は第3の
実施の形態と同様である。
【0041】図5は本発明の第5の実施の形態を示す回
路図である。
【0042】この第5の実施の形態は、第3の実施の形
態における2ビットのアドレスデータを3ビットのA
1,A2,A3とし、入力信号レベル固定回路3bに代
えて、スタンバイモード時、行デコーダ2aに供給され
るアドレスデータCA1〜CA3のうちのCA1,CA
2のみを低レベルに固定し、アドレスデータCA3はア
ドレスデータA3そのままとして供給する入力信号レベ
ル固定回路3cを設けたものである。なお、当然のこと
ながら、アドレスデータが3ビットとなった関係で、行
デコーダは2a,メモリセルアレイは1aに変更されて
いる。
【0043】この実施の形態においては、スタンバイモ
ード時、ワード線WL2〜WL4,WL6〜WL8が低
レベルに固定され、ワード線WL1,WL5はアドレス
データA3のレベルに依存し、A3が高レベルならWL
1は低レベル、WL5は高レベルとなり、A3が低レベ
ルならその逆となる。すなわち、アドレスデータA3の
レベルに依存する2つの状態があるが、アドレスデータ
A3のレベルを変えてこれら2つの状態のときの電流を
測定するだけでよいので、ワード線全てを1本づつ順次
高レベルにして電流を測定する従来例に比べ、リーク電
流の検出に要する時間を大幅に短縮することができる。
またこの第5の実施の形態では、スタンバイモード時、
全てのアドレスデータを固定する場合に比べ、アドレス
データを固定したビットの分、論理ゲートの数を少なく
することができる。
【0044】これら実施の形態においては、行デコーダ
2,2a及びデコーダ5に供給する信号(CA1〜CA
3等)のレベルをスタンバイ信号STBYにより固定す
る構成となっているので、行デコーダの出力信号レベ
ル、すなわちワード線のレベルを制御信号CNTによっ
て固定する第2,第3の従来例に比べ、信号レベルを固
定するための回路の規模を小さくすることができる。す
なわち、この回路の規模は、本発明の場合、例えばアド
レスデータをNビット(Nは2以上の整数)としこれら
のレベルを全て固定するものとするとN個の論理ゲート
で済むが、従来例では2のN乗個の論理ゲートが必要と
なる。従って、そのビット数(N)が多くなる程本発明
の効果は大となる。
【0045】また、従来例では、制御信号CNTにより
信号のレベルを固定しているので、この制御信号CNT
生成のための回路が必要となるが、本発明では既存のス
タンバイ信号STBYを使用しているので、その分回路
規模を小さくすることができる。
【0046】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、デコーダ
に入力される信号のレベルをスタンバイモード時、スタ
ンバイ信号によって固定する構成とすることにより、ど
のようなタイミングでスタンバイモードに入っても、デ
コーダを含む各部の状態及び各部の信号レベルを1つ又
は少数の状態に固定することができるので、リーク電流
検出時の電流測定の回数を少なくしてリーク電流検出に
要する時間を短縮することができると共にデコーダその
もののリーク電流の検出もでき、かつ信号レベル固定の
ための回路、及び信号レベル固定制御のための信号の生
成等の回路等の回路規模を小さくすることができる効果
がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態を示す回路図であ
る。
【図2】本発明の第2の実施の形態を示す回路図であ
る。
【図3】本発明の第3の実施の形態を示す回路図であ
る。
【図4】本発明の第4の実施の形態を示す回路図であ
る。
【図5】本発明の第5の実施の形態を示す回路図であ
る。
【図6】従来の半導体集積回路のスタンバイモードを説
明するためのブロック図である。
【図7】従来の半導体集積回路のリーク電流の発生原因
を説明するためのインバータ回路部分の断面図である。
【図8】従来の半導体集積回路の第1の例を示すブロッ
ク図である。
【図9】従来の半導体集積回路の第2の例を示す回路図
である。
【図10】従来の半導体集積回路の第3の例を示す回路
図である。
【図11】従来の半導体集積回路の第4の例を示す回路
図である。
【符号の説明】
1,1a,1x,1y メモリセルアレイ 2,2a,2x,2y 行デコーダ 3,3a〜3c 入力信号レベル固定回路 4 分周器 5 デコーダ 6 セレクタ 7 内部処理部 8 出力信号レベル制御回路 9 デコード出力制御回路 10 制御回路 11 CPU部 12 発振器 13a〜13d 周辺ユニット BL1〜BLm,BLn,BL11〜BLnk ビッ
ト線 WL1〜WL4,〜,WLm ワード線
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平9−293399(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G11C 29/00 G06F 15/78

Claims (5)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 供給された複数ビットの第1の信号をデ
    コードして複数ビットのうちの所定のビットのみをアク
    ティブレベルとした第2の信号を出力するデコーダと、
    スタンバイ信号が第1のレベルの通常の動作モード時に
    は前記デコーダでデコードされた第2の信号に応答して
    所定の処理動作を行い前記スタンバイ信号が第2のレベ
    ルのスタンバイモード時には前記所定の処理動作を停止
    して低消費電力状態となる内部回路とを有する半導体集
    積回路において、前記スタンバイ信号が第2のレベルの
    ときには前記第1の信号の複数ビットのうちの所定のビ
    ットを所定のレベルに固定して前記デコーダに供給する
    信号レベル固定回路を設けたことを特徴とする半導体集
    積回路。
  2. 【請求項2】 信号レベル固定回路を、第1の信号の複
    数ビット全てを所定のレベルに固定する回路とした請求
    項1記載の半導体集積回路。
  3. 【請求項3】 内部回路を、複数のワード線及びビット
    線を備え通常の動作モード時にはこれら複数のワード線
    及びビット線のうちの選択されたワード線及びビット線
    と対応するアドレスをアクセスし、スタンバイモード時
    には前記アクセスを停止して記憶内容保持状態となるメ
    モリセルアレイとし、第1の信号をアドレス信号とし、
    デコーダを、前記第1の信号のうちの供給された第1の
    ビットをデコードして前記複数のワード線のうちの1本
    をアクティブレベルとしてその1本のワード線を選択す
    る行デコーダ、及び前記第1の信号のうちの供給された
    第2のビットをデコードして前記複数のビット線のうち
    の所定のビット線を選択する列デコーダのうちの少なく
    とも行デコーダとした請求項1又は請求項2記載の半導
    体集積回路。
  4. 【請求項4】 内部回路を、選択信号に従って複数の第
    3の信号のうちの1つを選択するセレクタと、通常の動
    作モード時にはこのセレクタで選択された第3の信号に
    応答して所定の処理動作を行い、スタンバイモード時に
    は前記所定の処理動作を停止して低消費電力状態となる
    内部処理部とを含む回路とし、デコーダを、供給された
    第1の信号をデコードして前記選択信号を出力する回路
    とした請求項1又は請求項2記載の半導体集積回路。
  5. 【請求項5】 スタンバイモード時に、デコーダからの
    第2の信号のうちのアクティブレベルとなっているビッ
    トを、インアクティブレベルとして内部回路に供給する
    出力レベル制御回路を設けた請求項1又は請求項2記載
    の半導体集積回路。
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