JP3038560B2 - 光切断法用顕微鏡 - Google Patents
光切断法用顕微鏡Info
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- JP3038560B2 JP3038560B2 JP3191851A JP19185191A JP3038560B2 JP 3038560 B2 JP3038560 B2 JP 3038560B2 JP 3191851 A JP3191851 A JP 3191851A JP 19185191 A JP19185191 A JP 19185191A JP 3038560 B2 JP3038560 B2 JP 3038560B2
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- 238000000386 microscopy Methods 0.000 title 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 39
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 2
- 230000003796 beauty Effects 0.000 description 1
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は光切断法用顕微鏡に係
り、特に測定ポイントの認識をするためのモニタヘッド
と測定ポイントの高さを測定するための測定ヘッドとを
共用する構造の微細測定対象物用の装置に関する。
り、特に測定ポイントの認識をするためのモニタヘッド
と測定ポイントの高さを測定するための測定ヘッドとを
共用する構造の微細測定対象物用の装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】現在、光切断法用顕微鏡として市販され
ているものは、大別して２種類がある。第１の種類は、
被測定物の測定ポイントの指定のために、白色光を投光
して位置を指定する方式であり、第２の種類は測定ヘッ
ドとしてはレーザ式センサを用い、測定ポイントのモニ
タヘッドとしては、レーザ式センサとは別のＣＣＤカメ
ラを用いる方式である。
ているものは、大別して２種類がある。第１の種類は、
被測定物の測定ポイントの指定のために、白色光を投光
して位置を指定する方式であり、第２の種類は測定ヘッ
ドとしてはレーザ式センサを用い、測定ポイントのモニ
タヘッドとしては、レーザ式センサとは別のＣＣＤカメ
ラを用いる方式である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来装
置における第１の種類では、測定対象物の高さ寸法が測
定ポイントの指定のために使用するランプ・ハウスの白
色光の形状よりも小さい場合には、この白色光によって
測定ポイントの特定が出来ない欠点がある。また第２の
種類では測定ポイントのモニタヘッドとしてＣＣＤカメ
ラを用い、測定ポイントの測定ヘッドとしてレーザ式セ
ンサを使用するので、装置全体が大型となり、かつ繁雑
になる問題点がある。本発明は装置全体を小型化し、し
かも被測定ワークの測定ポイントを正確にモニタできる
と共に実際の高さ、深さの測定もできる光切断法用顕微
鏡の提供を目的とする。
置における第１の種類では、測定対象物の高さ寸法が測
定ポイントの指定のために使用するランプ・ハウスの白
色光の形状よりも小さい場合には、この白色光によって
測定ポイントの特定が出来ない欠点がある。また第２の
種類では測定ポイントのモニタヘッドとしてＣＣＤカメ
ラを用い、測定ポイントの測定ヘッドとしてレーザ式セ
ンサを使用するので、装置全体が大型となり、かつ繁雑
になる問題点がある。本発明は装置全体を小型化し、し
かも被測定ワークの測定ポイントを正確にモニタできる
と共に実際の高さ、深さの測定もできる光切断法用顕微
鏡の提供を目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するためになされたもので、ワークの測定ポイントを測
定するための顕微鏡を設けたＣＣＤカメラと、このＣＣ
Ｄカメラを固定するカメラベースと、このカメラベース
を支持すると共に、前記測定ポイントを中心として弧状
に形成した貫通孔を有する第１ブラケットと、この第１
ブラケットの貫通孔に貫挿すると共に、前記カメラベー
スに支持されるピンと、このピンの先端部を挟むフォー
クと、このフォークを押動するエアシリンダと、前記第
１ブラケットの所定位置に設けた測定用光源とを備え、
前記ＣＣＤカメラが、ワークの測定ポイントに対して上
方向に設定された場合を、その測定ポイントの観測およ
び指定をするためのモニタヘッドとし、このモニタヘッ
ドの位置から前記エアシリンダによりフォークを押動さ
せ前記貫通孔に沿って前記ピンを移動して前記ＣＣＤカ
メラが斜めに設定された場合を、前記測定ポイントの高
さまたは深さ寸法の測定を行うための測定ヘッドとして
使用する光切断法用顕微鏡として構成した。
するためになされたもので、ワークの測定ポイントを測
定するための顕微鏡を設けたＣＣＤカメラと、このＣＣ
Ｄカメラを固定するカメラベースと、このカメラベース
を支持すると共に、前記測定ポイントを中心として弧状
に形成した貫通孔を有する第１ブラケットと、この第１
ブラケットの貫通孔に貫挿すると共に、前記カメラベー
スに支持されるピンと、このピンの先端部を挟むフォー
クと、このフォークを押動するエアシリンダと、前記第
１ブラケットの所定位置に設けた測定用光源とを備え、
前記ＣＣＤカメラが、ワークの測定ポイントに対して上
方向に設定された場合を、その測定ポイントの観測およ
び指定をするためのモニタヘッドとし、このモニタヘッ
ドの位置から前記エアシリンダによりフォークを押動さ
せ前記貫通孔に沿って前記ピンを移動して前記ＣＣＤカ
メラが斜めに設定された場合を、前記測定ポイントの高
さまたは深さ寸法の測定を行うための測定ヘッドとして
使用する光切断法用顕微鏡として構成した。
【０００５】
【作用】本発明はカメラベースが被測定ワークの上方向
に取り付けられており、顕微鏡を取り付けた受光用ＣＣ
Ｄカメラは第１ブラケット内の弧状の貫通穴に沿ってワ
ークの被測定ポイントの表面状態を上面から観察でき
る。次に、エアシリンダがエアを吹き込むことによって
駆動されたフォークが挟み込んだピンを移動させる。こ
のピンは被測定ワークの測定ポイントを中心とした貫通
穴に沿って移動するので、ピンを植立したカメラベース
もワークの測定ポイントを中心とする円弧状の貫通穴に
沿って回動する。カメラベースの回動によって受光側に
顕微鏡を設けた受光用ＣＣＤカメラも回動する。従っ
て、被測定ワークの斜め位置に設定して測定ヘッドとし
て使用される受光用ＣＣＤカメラの回動がワークの測定
ポイントを中心とする円弧状貫通穴に沿っているので、
顕微鏡の焦点距離は変化せずに測定方向を変えてワーク
の測定ポイントを観察できる。
に取り付けられており、顕微鏡を取り付けた受光用ＣＣ
Ｄカメラは第１ブラケット内の弧状の貫通穴に沿ってワ
ークの被測定ポイントの表面状態を上面から観察でき
る。次に、エアシリンダがエアを吹き込むことによって
駆動されたフォークが挟み込んだピンを移動させる。こ
のピンは被測定ワークの測定ポイントを中心とした貫通
穴に沿って移動するので、ピンを植立したカメラベース
もワークの測定ポイントを中心とする円弧状の貫通穴に
沿って回動する。カメラベースの回動によって受光側に
顕微鏡を設けた受光用ＣＣＤカメラも回動する。従っ
て、被測定ワークの斜め位置に設定して測定ヘッドとし
て使用される受光用ＣＣＤカメラの回動がワークの測定
ポイントを中心とする円弧状貫通穴に沿っているので、
顕微鏡の焦点距離は変化せずに測定方向を変えてワーク
の測定ポイントを観察できる。
【０００６】
【実施例】以下に本発明の実施例を参照して説明する。
図１（ａ）は、本実施例の切断正面図であり、図１
（ｂ）は図１（ａ）のA‐A線切断側面図である。同図に
おいて、１はテーブル２上に載置した被測定ワークであ
る。本実施例ではワークとして半導体素子を使用し、そ
の一部分の高さ寸法または深さ寸法を測定しようとする
ものである。前記テーブル２と相対する上方にＬ型の第
１ブラケット３が設けられ、この第１ブラケット３に
は、投光用顕微鏡４ａを付設した測定用光源４が取り付
けされている外に、ワークの測定ポイント１ａを中心と
する２つの同心円弧状の貫通穴としての第１穴５と第２
穴６とが形成されている。ワーク１の測定ポイント１ａ
の真上位置には、受光用ＣＣＤカメラ１２が配置されて
いる。そして、この受光用ＣＣＤカメラ１２には、顕微
鏡１３が設けられており、カメラベース１１に取り付け
られている。第１穴５および第２穴６には、第１ベアリ
ング７および第２ベアリング８が移動自在に支持されて
いる。そして、カメラベース１１は、第１ベアリング７
に支持される第１ピン９および、第２ベアリング８に支
持される第２ピン１０とを介して第１ブラケット３に支
持されている。さらに、第１ピン９の先端９ａは、第１
ブラケット３の裏側に貫通して突出する位置に配置され
ている。 第１穴５を貫通した第１ピン９の先端９ａを挟
むフォーク１４は、第１ブラケット３に固定した第２ブ
ラケット１５に支持されたエアシリンダ１６によって駆
動可能に連結されている。なお、エアシリンダ１６を取
り付けた第２ブラケット１５および同心円弧状の第１穴
５、第２穴６や測定用光源４を設けたL型の第１ブラケ
ット３は、カバー１７によって覆われている。つぎに、
本実施例の作用を述べる。先ず、受光用ＣＣＤカメラ１
２は、ワーク１の測定ポイント１ａを真上位置でその表
面状態をモニタする。そして、エアシリンダ１６の前進
動作によってフォーク１４に第１ピン９の先端９ａを押
動させ、その第１ピン９および第２ピン１ ０がそれぞれ
第１穴５および第２穴６に沿って回動し、カメラベース
１１を回動させることで受光用ＣＣＤカメラ１２を傾斜
位置に移動させる。そして、測定用光源４からの光を受
光してワーク１の測定ポイント１ａでの高さ、深さ寸法
の測定時の位置１２ａに移動することになる。このと
き、測定時の位置１２ａは、第１穴５が、測定ポイント
１ａを中心とする円弧状の同心円なので、モニタ位置と
しての受光用ＣＣＤカメラ１２の位置と測定ポイント１
ａからの距離が変わらないため、全く調整なしに、用途
を切り換えて作業に供することができる。
図１（ａ）は、本実施例の切断正面図であり、図１
（ｂ）は図１（ａ）のA‐A線切断側面図である。同図に
おいて、１はテーブル２上に載置した被測定ワークであ
る。本実施例ではワークとして半導体素子を使用し、そ
の一部分の高さ寸法または深さ寸法を測定しようとする
ものである。前記テーブル２と相対する上方にＬ型の第
１ブラケット３が設けられ、この第１ブラケット３に
は、投光用顕微鏡４ａを付設した測定用光源４が取り付
けされている外に、ワークの測定ポイント１ａを中心と
する２つの同心円弧状の貫通穴としての第１穴５と第２
穴６とが形成されている。ワーク１の測定ポイント１ａ
の真上位置には、受光用ＣＣＤカメラ１２が配置されて
いる。そして、この受光用ＣＣＤカメラ１２には、顕微
鏡１３が設けられており、カメラベース１１に取り付け
られている。第１穴５および第２穴６には、第１ベアリ
ング７および第２ベアリング８が移動自在に支持されて
いる。そして、カメラベース１１は、第１ベアリング７
に支持される第１ピン９および、第２ベアリング８に支
持される第２ピン１０とを介して第１ブラケット３に支
持されている。さらに、第１ピン９の先端９ａは、第１
ブラケット３の裏側に貫通して突出する位置に配置され
ている。 第１穴５を貫通した第１ピン９の先端９ａを挟
むフォーク１４は、第１ブラケット３に固定した第２ブ
ラケット１５に支持されたエアシリンダ１６によって駆
動可能に連結されている。なお、エアシリンダ１６を取
り付けた第２ブラケット１５および同心円弧状の第１穴
５、第２穴６や測定用光源４を設けたL型の第１ブラケ
ット３は、カバー１７によって覆われている。つぎに、
本実施例の作用を述べる。先ず、受光用ＣＣＤカメラ１
２は、ワーク１の測定ポイント１ａを真上位置でその表
面状態をモニタする。そして、エアシリンダ１６の前進
動作によってフォーク１４に第１ピン９の先端９ａを押
動させ、その第１ピン９および第２ピン１ ０がそれぞれ
第１穴５および第２穴６に沿って回動し、カメラベース
１１を回動させることで受光用ＣＣＤカメラ１２を傾斜
位置に移動させる。そして、測定用光源４からの光を受
光してワーク１の測定ポイント１ａでの高さ、深さ寸法
の測定時の位置１２ａに移動することになる。このと
き、測定時の位置１２ａは、第１穴５が、測定ポイント
１ａを中心とする円弧状の同心円なので、モニタ位置と
しての受光用ＣＣＤカメラ１２の位置と測定ポイント１
ａからの距離が変わらないため、全く調整なしに、用途
を切り換えて作業に供することができる。
【０００７】
【発明の効果】本発明は以上説明したように、被測定ワ
ークの測定ポイントを垂直上方から顕微鏡を付設した受
光用ＣＣＤカメラによってモニタし、その後、ワークの
測定ポイントを中心とする円弧状における斜め反射光を
受光するセンサ・ヘッドとしての位置に切換えられるた
め、装置全体が小型でしかも正確に、モニタと測定とを
遂行できる効果を奏する。
ークの測定ポイントを垂直上方から顕微鏡を付設した受
光用ＣＣＤカメラによってモニタし、その後、ワークの
測定ポイントを中心とする円弧状における斜め反射光を
受光するセンサ・ヘッドとしての位置に切換えられるた
め、装置全体が小型でしかも正確に、モニタと測定とを
遂行できる効果を奏する。
【図１】（ａ）は本実施例の切断正面図であり、（ｂ）
は同じく（ａ）のＡ−Ａ線切断側面図である。
は同じく（ａ）のＡ−Ａ線切断側面図である。
１ ワーク１ａ 測定ポイント ２ テーブル ３ 第１ブラケット ４ 測定用光源 ５ 第１穴（貫通穴） ６ 第２穴（貫通穴） ７ 第１ベアリング ８ 第２ベアリング ９ 第１ピン（ピン） １０ 第２ピン（ピン） １１ カメラベース １２ 受光用ＣＣＤカメラ（ＣＣＤカメラ） １３ 顕微鏡 １４ フォーク １５ 第２ブラケット １６ エアシリンダ
Claims (1)
- 【請求項１】 ワークの測定ポイントを測定するための
顕微鏡を設けたＣＣＤカメラと、このＣＣＤカメラを固
定するカメラベースと、このカメラベースを支持すると
共に、前記測定ポイントを中心として弧状に形成した貫
通孔を有する第１ブラケットと、この第１ブラケットの
貫通孔に貫挿すると共に、前記カメラベースに支持され
るピンと、このピンの先端部を挟むフォークと、このフ
ォークを押動するエアシリンダと、前記第１ブラケット
の所定位置に設けた測定用光源とを備え、 前記ＣＣＤカメラが、ワークの測定ポイントに対して上
方向に設定された場合を、その測定ポイントの観測およ
び指定をするためのモニタヘッドとし、このモニタヘッ
ドの位置から前記エアシリンダによりフォークを押動さ
せ前記貫通孔に沿って前記ピンを移動して前記ＣＣＤカ
メラが斜めに設定された場合を、前記測定ポイントの高
さまたは深さ寸法の測定を行うための測定ヘッドとして
使用する ことを特徴とする光切断法用顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3191851A JP3038560B2 (ja) | 1991-07-31 | 1991-07-31 | 光切断法用顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3191851A JP3038560B2 (ja) | 1991-07-31 | 1991-07-31 | 光切断法用顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0534116A JPH0534116A (ja) | 1993-02-09 |
| JP3038560B2 true JP3038560B2 (ja) | 2000-05-08 |
Family
ID=16281565
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3191851A Expired - Fee Related JP3038560B2 (ja) | 1991-07-31 | 1991-07-31 | 光切断法用顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3038560B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110127594B (zh) * | 2019-04-02 | 2022-03-29 | 华中科技大学 | 一种高厚宽比微纳结构的制造方法及装置 |
-
1991
- 1991-07-31 JP JP3191851A patent/JP3038560B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0534116A (ja) | 1993-02-09 |
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Legal Events
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
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