JP3140102B2 - ピッチ工具の製造方法およびその装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はレンズ、ミラー等の光学
素子を研磨加工する際に使用されるピッチ工具の製造方
法およびその装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、上述のようなピッチ工具は、例え
ば図４に示すような、ピッチ工具製作用治具１００を用
いて製作されていた。

【０００３】このピッチ工具製作用治具１００は、円柱
形の小軸部２０１ａと該小軸部２０１ａの下部に、これ
と同心に形成された円柱形の大軸部２０１ｂとからなる
ペレット２０１と、該ペレット２０１の大軸部２０１ｂ
の下部に固着されたピッチ２０２とから構成されるピッ
チ工具２００を製作するためのものである。

【０００４】ペレット保持具１０１は、ペレット２０１
の小軸部２０１ａが嵌合する小穴１０１ａと、ペレット
２０１の大軸部２０１ｂが嵌合する大穴１０１ｂとを備
え、該大穴１０１ｂが形成されている側の端面１０１ｃ
はガラス製の押し付け台３００の上面の基準面３００ａ
と当接する平坦な面となっている。ここで、ペレット２
０１の大軸部２０１ｂの長さはペレット保持具１０１の
大穴１０１ｂの高さより低くなっている。また、前記押
し付け台３００の基準面３００ａ上には、ピッチ２０２
に対して形成する凹凸形状に応じた、ナイロン製の網１
０２（図５参照）が備えられている。

【０００５】次に、このピッチ工具製作用治具１００を
用いてピッチ工具６０を製作する方法を説明する。

【０００６】まず、ペレット２０１を、その大軸部２０
１ｂがペレット保持具１０１の大穴１０１ｂの上面に当
接するまで、ペレット保持具１０１に嵌め込む。

【０００７】次に、ペレット２０１の下方に形成された
空間内に加熱された所定の量の塊のピッチ２０２を挿入
し、ペレット保持具１０１の端面１０１ｃを押し付け台
３００の基準面３００ａに押し付ける。そして、ピッチ
２０２がペレット２０１に固着するまで冷却する。つづ
いて、ピッチ２０２が固着したペレット２０１をペレッ
ト保持具１０１から取り外し、基準面３００ａ上に張ら
れた網１０２に押し付ける。すると、ピッチ２０２が網
１０２の網目に塑性流動し、ピッチ２０２のピッチ加工
面２０２ａに、前記網１０２の形状に応じた凹凸が形成
される。最後に網１０２をピッチ２０２から剥すとピッ
チ工具２００が完成する。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来のピッチ工具製作用治具には、下記のような問題
点がある。

【０００９】（１）ピッチ工具のピッチの凹凸を網によ
り形成するので、網の張り方によって網目の大きさや、
糸の太さが変化し、ピッチ工具を製作する毎にその凹凸
の形状にばらつきが生じてしまう。

【００１０】（２）ピッチに凹凸を形成する際に、ペレ
ットから押し付け台の基準面までの距離が一定せずピッ
チの厚さがピッチ工具を製作する毎にばらついてしま
う。

【００１１】（３）網の種類には限りがあるので凹凸の
形状の種類が制限されてしまう。

【００１２】本発明は、上記従来の技術が有する問題点
に鑑みてなされたもので、均一な研磨凹凸パターンを有
するピッチ工具を容易に製造できる、ピッチ工具の製造
方法およびその装置を提供することを目的としている。

【００１３】

【課題を解決するための手段】レンズ、ミラー等の光学
素子を研磨加工する際に用いるピッチ工具の研磨加工面
に研磨用凹凸パターンを成形する、ピッチ工具の製造方
法であって、使用するピッチの軟化点温度よりも高い温
度である第１の温度で、前記使用するピッチを一定時間
保つ第１の工程と、 前記第１の工程の後、前記使用する
ピッチの温度を下げて、前記使用するピッチの前記軟化
点温度以下の温度である第２の温度で、前記使用するピ
ッチを一定時間保つ第２の工程と、 前記第２の温度に達
した時点から、前記使用するピッチに対して、前記使用
するピッチのピッチ面の成形を行う転写板の押しつけを
開始し、前記使用するピッチの温度と前記転写板の押し
つけ力との所定の関係を保ちながら一定時間保持する第
３の工程と、 前記第３の工程の後、前記所定の関係を保
ちながら、徐々に前記使用するピッチの温度と前記押し
つけ力とを下げ、前記使用するピッチの温度が室温とな
った時点で、前記使用するピッチを前記押しつけ力をな
くす第４の工程とを含むものである。

【００１４】また、本発明は、レンズ、ミラー等の光学
素子を研磨加工する際に用いるピッチ工具の研磨加工面
に研磨用凹凸パターンを成形するピッチ工具製造装置で
あって、前記研磨用凹凸パターンに応じた凹凸が形成さ
れたパターン面を有する転写板が着脱自在に装着される
転写板ホルダーと、該転写板ホルダーに装着された転写
板の前記パターン面を前記ピッチ工具の研磨加工面に押
し付けるための加圧手段と、該加圧手段に対向して配置
されて前記ピッチ工具を保持するピッチ工具保持台と、
前記加圧手段の押し付け力を検出するための圧力センサ
と、前記ピッチ工具の研磨加工面に相当する面を、軟化
温度に加熱するための加熱手段と、前記ピッチ工具を冷
却するための冷却手段と、前記ピッチ工具の温度を検出
するための温度センサと、予め定めた、前記加圧手段に
よる押し付け圧力と前記加熱手段による加熱温度との時
間的変化プログラムを記憶する記憶部と、該時間的変化
プログラムに沿って前記加圧手段を駆動しながら、前記
圧力センサが検出した検出押し付け力と前記時間的変化
プログラムにて定められている設定押し付け力とを比較
して前記加圧手段の押し付け力を補正するための圧力制
御指令を発する加圧制御部と、前記時間的変化プログラ
ムに沿って前記加熱手段を駆動しながら、前記温度セン
サが検出した検出温度と前記時間的変化プログラムにて
定められている設定温度とを比較して、前記ピッチ工具
の温度を補正するため、前記冷却手段を駆動する冷却指
令あるいは前記加熱手段を駆動する加熱指令を発する温
度制御部とを備えた制御部とを有するものである。

【００１５】

【作用】本発明のピッチ工具の製造方法は、研磨用凹凸
パターンに応じた凹凸が形成されたパターン面を有する
転写板を用い、予め定めた加熱温度と押し付け力との時
間的変化プログラムに沿って、ピッチ工具を軟化温度に
加熱しながら前記転写板のパターン面を前記ピッチ工具
に押し付けるので、常に一定の条件の下で製造工程を実
施でき、転写される研磨用凹凸パターンのバラツキがな
くなる。

【００１６】本発明のピッチ工具成形装置は、転写板ホ
ルダーに着脱自在に装着された転写板を前記ピッチ工具
に押し付けて、該ピッチ工具に研磨用凹凸パターンを成
形するので、前記転写板を交換することで種々の研磨用
凹凸パターンの転写が可能となる。また、成形動作中
は、前記ピッチ工具の温度および加圧手段による転写板
の押し付け力が検出されており、それらの検出値が、制
御部にて、予め定められた時間的変化プログラムの設定
値に対して比較、補正されるので常に一定の条件の下で
成形作業を実施することが可能となる。

【００１７】

【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。

【００１８】図１は本発明のピッチ工具製造装置の一実
施例を示す縦断面図である。

【００１９】本実施例のピッチ工具成形装置は円柱形の
大軸部３１ａの下面に、これと同心に形成された円柱形
の小軸部３１ｂとからなるペレット３１と、該ペレット
３１の大軸部３１ａの上面に固着され、表面が、凹凸の
ピッチ加工面３２ａとなっているピッチ３２とから構成
されるピッチ工具３０を製作するためのものであり、該
ピッチ工具３０を保持するためのペレットホルダー１１
と転写板ホルダー１２とを備えている。

【００２０】ペレットホルダー１１はペレット３１の小
軸部３１ｂと嵌合する円形の小穴１１ａを備え、該小穴
１１ａが形成されている押し付け面１１ｂは転写板ホル
ダー１２の嵌合部内の平坦なペレットホルダー基準面１
２ａと当接する平坦な面となっている。また、前記ペレ
ットホルダー１１内部には、ピッチ工具３０を冷却する
ための冷却水が注入される入水口１４ａと出水口１４ｂ
に連通された冷却手段である冷却水ジャケット１４が設
けられている。さらに、前記ペレットホルダー１１は下
面も平坦であり、前記ピッチ工具３０を軟化させるため
に加熱する電熱式加熱器５０と当接している。この電熱
式加熱器５０は、後述する制御装置（図２参照）からの
加熱駆動信号によって駆動される。

【００２１】転写板ホルダー１２は、その下部が、ペレ
ットホルダー１１と嵌合する大穴１２ｂとなっており、
大穴１２ｂ内には平坦なペレットホルダー基準面１２ａ
が形成されている。また、転写板ホルダー１２の上部
は、ピッチ３２のピッチ加工面３２ａに形成すべき研磨
用凹凸パターンに対応した多数の小孔１３ａが予め設け
られたパターン面を有する一定の厚さの転写板１３とピ
ッチ面成形基準面２０ａを持つ成形基準板２０とを隙間
なく嵌め込む転写板取付穴１２ｃと、該転写板取付穴１
２ｃ内の転写板１３と成形基準板２０との姿勢を規定す
るための平坦な姿勢基準面１２ｄとが形成されている。
この姿勢基準面１２ｄは大穴１２ｂ内の平坦なペレット
ホルダー基準面１２ａと平行になっている。前述の転写
板１３と成形基準板２０は前記転写板取付穴１２ｃ中に
一体的に嵌め込まれて固定具１２ｅにより転写板ホルダ
ー１２に固定される。本実施例では固定具１２ｅは複数
のネジ１２ｆを用いて転写板ホルダー１２にネジ止めさ
れている。

【００２２】また、本実施例において、転写板１３をピ
ッチ工具３０に押し付けるための加圧手段は、成形基準
板２０に当接して前記転写板１３を押圧する加圧シャフ
ト４０ａが挿入された加圧シリンダ４０と、該シリンダ
４０を固定保持するフレーム４１と、該フレーム４１と
ともに、前記ペレットホルダー１１および転写板ホルダ
ー１２が嵌合した状態で載置され、かつ前記シリンダ４
０に対向して加圧力を受けるベース４２とから構成され
ている。このベース４２の上面は平坦であり、電熱式加
熱器５０と当接している。

【００２３】さらに、前記ペレットホルダー１１の上面
の小穴１１ａには、前記電熱式加熱器５０によって加熱
されるピッチ工具３０の温度を検出するための温度セン
サ５１が固定されており、前記シリンダ４０に挿入され
ている加圧シャフト４０ａには、前記転写板１３に対す
る押し付け力を検出するための圧力センサ５２が固定さ
れている。これらの温度センサ５１および圧力センサ５
２が検出した検出温度および検出押し付け力は、検出温
度信号と検出押し付け力信号として後述する制御装置へ
転送される。本実施例の温度センサ５１は白金測温抵抗
体からなり、圧力センサ５２はロードセルからなるもの
である。

【００２４】また、前記加圧シリンダ４０についての押
し付け力制御は、後述する制御装置から出力される、圧
力弁制御信号によって圧力調整弁６１の開度を変化させ
ることで行なわれ、前記冷却水ジャケット１４への冷却
水の流量制御は、同様に制御装置から出力される、流量
弁制御信号によって流量調整弁６２の開度を変化させる
ことで行なわれる。

【００２５】ここで、前述した押し付け力制御、冷却水
の流量制御およびピッチ工具３０の加熱制御を行なう制
御装置について図２を参照して説明する。

【００２６】本実施例の制御装置は、前記ピッチ工具製
造装置の、前記加熱、押し付け力の時間的変化プログラ
ムを含む運転プログラムや制御プログラム等の入力部で
ある入力装置７１と、該入力装置７１から入力された運
転プログラムや制御プログラムが格納されるメモリ７２
と、前記運転プログラムおよび制御プログラムに沿って
動作するプロセッサ７３と、第１および第２の２つのＡ
／Ｄコンバータ７４，７６と、第１ないし第３の３つの
Ｄ／Ａコンバータ７５，７７，７８と第１および第２の
バルブ駆動アンプ７９，８０と、電熱器アンプ８１とか
ら構成されている。

【００２７】前記第１のＡ／Ｄコンバータ７４は前記圧
力センサ５２からの検出押し付け信号をデジタルコード
化して検出圧力データとして、プロセッサ７３へ転送す
る。前記第２のＡ／Ｄコンバータ７６は前記温度センサ
５１からの検出温度信号をデジタルコード化して検出温
度データとして、同様にプロセッサ７３へ転送する。

【００２８】プロセッサ７３は、加圧制御部と温度制御
部を兼ねるものであり、前記検出温度データおよび検出
圧力データを参照して、前記温度センサ５１が検出する
ピッチ工具３０の温度と前記圧力センサ５２が検出する
押し付け力とが前記時間的変化プログラムにて定められ
ている設定値になるように、圧力制御指令、加熱指令お
よび前記冷却指令を出力する。

【００２９】第１のＤ／Ａコンバータ７５は、前記プロ
セッサ７３が出力した圧力制御指令をアナログ信号に変
換して、前記圧力調整弁６１を駆動するための第１のバ
ルブ駆動アンプ７９へ転送する。該第１のバルブ駆動ア
ンプ７９はアナログ化された圧力制御指令を受け、該圧
力制御指令に応じた、前記圧力調整弁６１の開度を示す
圧力駆動信号を出力して前記圧力調整弁６１を駆動す
る。

【００３０】第２のＤ／Ａコンバータ７７は、前記プロ
セッサ１０３が出力した冷却指令をアナログ信号に変換
して、前記流量調整弁９２を駆動するための第２のバル
ブ駆動アンプ８０へ転送する。該第２のバルブ駆動アン
プ８０はアナログ化された冷却指令を受け、該冷却指令
に応じた、前記流量調整弁６２の開度を示す流量弁駆動
信号を出力して前記流量調整弁６２を駆動する。

【００３１】第３のＤ／Ａコンバータ７８は、前記プロ
セッサ７３が出力した加熱指令をアナログ信号に変換し
て、前記電熱式加熱器５０を駆動するための電熱器アン
プ８１へ転送する。該電熱器アンプ８１は、アナログ化
された加熱指令を受け、該加熱指令に応じた、前記電熱
式加熱器５０の加熱量を示す加熱駆動信号を出力して、
前記電熱式加熱器５０を駆動する。

【００３２】また、前述の運転プログラムや制御プログ
ラムが格納されるメモリ７２はプロセッサ７３によって
温度データ、加圧力データおよび冷却水の流量データ等
の一時記憶域としても利用される。

【００３３】次に、本実施例におけるピッチ工具製造動
作を説明する。

【００３４】まず、ペレット３１の小軸部３１ｂを、ペ
レットホルダー１１の小穴１１ａに前記ペレット３１の
大軸部３１ａの下面が押し付け面１１ｂに当接するまで
挿入する。

【００３５】つづいて、ペレット３１の大軸部３１ａの
上面に適宜量の塊のピッチ３２を載せる。ここで、適宜
量とは完成時のピッチ使用量よりも若干多い量である。
そして、転写板ホルダー１２に、その転写板取付穴１２
ｃ内に転写板１３と成形基準板２０をはめこみ、固定具
１２ｅおよび複数のネジ１２ｆを用いて固定し、転写板
ホルダー１２と転写板１３と成形基準板２０とを一体に
する。次に、転写板ホルダー１２の大穴１２ｂをペレッ
トホルダー１１の外径と嵌合させ、ピッチ３２の上面に
転写板１３を載せる。このように組み合わされた、ペレ
ットホルダー１１と転写板ホルダー１２を電熱式加熱器
５０上に載せてベース４２上の、加圧シリンダ４０と対
向する位置に設置する。以上で運転準備は終了である。

【００３６】次に、研磨用凹凸パターンの成形プロセス
を開始する。

【００３７】ここで、あらかじめ設定した加熱、押し付
け力の時間的変化プログラムを、入力装置７１を介して
メモリ７２上に記憶させる。この時間的変化プログラム
の例を図３に示すとともに、その入力データ形式の例を
表１に示す。

【００３８】

【表１】 入力装置７１を介して成形プロセスを開始するが、ま
ず、室温から、図３に示す時間と温度の関係を保ちなが
ら、使用しているピッチ３２の材料の軟化点温度を若干
越える温度（本実施例では約１００℃）まで加熱する
（図３の［１］）。この温度を一定時間（約３０秒）保
ったのち、同様に時間と温度の関係を保ちながら軟化点
温度ないし軟化点温度より若干低い温度（本実施例では
約７５℃）までピッチ３２の温度を下げて約１分間その
温度に保持する（図３の［２］）。また、この温度（約
７５℃）に達した時点から転写板１３のピッチ工具３０
への押し付けを開始する。

【００３９】まず、図３に示す時間と押し付け力および
温度の関係を保ちながら、所定の押し付け力（約１ｋｇ
ｆ／ｃｍ² ）まで押し付け、一定時間保持する（図３の
［３］）。その後、同様に図３に示す時間と押し付け力
および温度の関係を保ちながら、徐々に温度と押し付け
力を減少させ、室温となったところで押し付け力を０と
する。

【００４０】上述した成形プロセスにおいて、ピッチ工
具３０の温度と押し付け力は温度センサ５１と圧力セン
サ５２でモニターされ、実時間でプロセッサ７３に取り
こまれ、該プロセッサ７３にて、図３で示される温度お
よび押し付け力の時間的変化プログラムに参照される。
このとき、検出温度および検出押し付け力が前記時間的
変化プログラムにて定められている設定温度および設定
押し付け力と比較して偏差がある場合は、それを補正す
るような押し付け力の加圧または減圧、冷却水の増量ま
たは減量、電熱式加熱器５０の発熱量の増大または減少
を指令する。

【００４１】この指令は、加圧力の場合、前述したよう
に、第１のＤ／Ａコンバータ７５および第１のバルブ駆
動アンプ７９を介して、圧力弁駆動信号として圧力調整
弁６１に伝えられる。冷却水の流量の場合は、第２のＤ
／Ａコンバータ７７および第２のバルブ駆動アンプ８０
を介して、流量弁駆動信号として流量調整弁６２へ伝え
られる。また、電熱式加熱器５０に対しては、第３のＤ
／Ａコンバータ８および加熱器アンプ８１を介して加熱
器駆動信号として伝えられる。

【００４２】最後に、ピッチ３２が冷却してからピッチ
工具３０をペレットホルダー１１から取り外し、また、
転写板ホルダー１２を分解する。これにより、ピッチ工
具３０およびピッチ３２と転写板１３が装置から外れ
る。このとき、ピッチ工具３０とピッチ３２とが固着し
ており、該ピッチ３２のピッチ加工面３２ａには転写板
１３が付着した状態となっている。そこで、転写板１２
を剥し、ペレット３１から横にはみ出した余分のピッチ
３２を取り除くことでピッチ工具３０が完成する。

【００４３】本実施例において、転写板１３として用い
る材料としてはフッ素系樹脂がピッチ３２のこびりつき
がなく、また、柔軟性があり好ましい。

【００４４】本実施例の効果について述べる。

【００４５】（１）ピッチ３２の凹凸が転写板１３によ
り形成されるので、転写される凹凸形状のばらつきがな
くなる。

【００４６】（２）転写板１３の小孔１３ａの個数、形
状、配置、転写板１３の厚さを、転写板１３がピッチ３
２から剥がされるときに破損しない程度の強度の範囲内
でそれぞれ自由に設定できるので、ピッチ３２に様々な
形状の凹凸を形成することができる。また、転写板１３
のピッチ加工面３２ａの周縁より外側に相当する部位に
は、小孔１３ａをあけないようにすることにより、ピッ
チ加工面３２ａの周縁に不完全な形状の凸部が形成され
ないようにすることができる。

【００４７】（３）転写板１３はペレットホルダー１１
に保持されたペレット３１に対して位置決めされ、ペレ
ット３１に対して一定の距離に保持される。ピッチ３２
の厚さは常に同一となり、ばらつきがなくなる。また、
転写板１３の中心軸とペレット３１の中心軸とは一致す
るので、ピッチ加工面３２ａの凹凸をペレット３１の中
心軸に対して常に一定の位置に形成することができる。

【００４８】（４）転写板１３によりピッチ３２に凹凸
を形成する際、余分のピッチ３２がペレット３１の大軸
部３１ａとペレットホルダー１２との間のピッチ逃げ用
間隙１１ｃに押しやられるので、転写板ホルダー１２が
ペレットホルダー１１に嵌合するのが妨げられることは
ない。

【００４９】（５）成形プロセスを自動化することによ
り多数のピッチ工具３０を成形しても品質のばらつきの
ない揃ったピッチ工具を得ることができる。

【００５０】（６）成形プロセスをデジタル化して入力
できるのでプロセスの変更が容易であり、種々のピッチ
工具３０を作成するに当っても、適正な条件をすみやか
に設定できる。

【００５１】前述した実施例では、ペレット３１の大軸
部３１ａおよび小軸部３１ｂをそれぞれ円柱形とした
が、その必要はない。また、ピッチ３２のピッチ加工面
３２ａの形状は平面ではなく、凹球面、凸球面であって
もよい。

【００５２】本実施例の加圧手段は、その加圧機構をシ
リンダ加圧としたが、その他にも、リニアモーター等の
電磁力であってもよい。

【００５３】

【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので下記のような効果を奏する。

【００５４】（１）本発明のピッチ工具の製造方法によ
れば、使用するピッチの温度と前記転写板の押しつけ力
との所定の関係を保ちながら転写板を使用するピッチに
転写板の研磨用凹凸パターンを転写するので、常に一定
の条件の下で同一の凹凸パターンを成形することが可能
となり、均一なピッチ工具を製造することができる。

【００５５】（２）本発明のピッチ工具製造装置によれ
ば、研磨用凹凸パターンに応じた凹凸パターンが形成さ
れた転写板を着脱自在に転写板ホルダーに装着するの
で、異なる研磨用凹凸パターンを形成した複数の転写板
を交換装着することが可能となり、種々の凹凸パターン
のピッチ工具を容易に製造することができる。

【００５６】（３）製造動作中、制御部によって、ピッ
チ工具の温度および加圧手段による押し付け力が、時間
的変化プログラムにて定められている設定値に対して比
較、補正されるので、製造条件を常に一定にすることが
可能となり、常に均一な凹凸パターン形状のピッチ工具
を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のピッチ工具製造装置の一実施例を示す
図である。

【図２】本発明のピッチ工具製造装置における制御部の
一例を示すブロック図である。

【図３】加圧手段による転写板の押し付け力とピッチ工
具の温度との時間的変化プログラムの一例を示す図であ
る。

【図４】従来のピッチ工具成形治具の一例を示す図であ
る。

【図５】図４に示す従来のピッチ工具成形治具によって
ピッチ工具のピッチ加工面の成形状態を示す図である。

【符号の説明】

１１ ペレットホルダー １１ａ 小穴 １１ｂ 取り付け面 １１ｃ ピッチ逃げ用間隙 １２ 転写板ホルダー １２ａ ペレットホルダー基準面 １２ｂ 大穴 １２ｃ 転写板取付穴 １２ｄ 姿勢基準面 １２ｅ 固定具 １２ｆ ネジ １３ 転写板 １３ａ 小孔 １４ 冷却水ジャケット １４ａ 入水口 １４ｂ 出水口 ２０ 成形基準板 ２０ａ ピッチ面成形基準面 ３０ ピッチ工具 ３１ ペレット ３１ａ 大軸部 ３１ｂ 小軸部 ３２ ピッチ ３２ａ ピッチ加工面 ４０ 加圧シリンダ ４０ａ 加圧シャフト ４２ ベース ５０ 電熱式加熱器 ５１ 温度センサ ５２ 圧力センサ ６１ 圧力調整弁 ６２ 流量調整弁 ７１ 入力装置 ７２ メモリ ７３ プロセッサ ７４，７６ Ａ／Ｄコンバータ ７５，７７，７８ Ｄ／Ａコンバータ ７９，８０ バルブ駆動アンプ ８１ 電熱器アンプ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B24B 13/01 B24B 37/00 - 37/04 B24D 3/00 340 B24D 3/28 B29C 59/00 - 59/02

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 レンズ、ミラー等の光学素子を研磨加工
   する際に用いるピッチ工具の研磨加工面に研磨用凹凸パ
   ターンを成形する、ピッチ工具の製造方法であって、使用するピッチの軟化点温度よりも高い温度である第１
   の温度で、前記使用するピッチを一定時間保つ第１の工
   程と、 前記第１の工程の後、前記使用するピッチの温度を下げ
   て、前記使用するピッチの前記軟化点温度以下の温度で
   ある第２の温度で、前記使用するピッチを一定時間保つ
   第２の工程と、 前記第２の温度に達した時点から、前記使用するピッチ
   に対して、前記使用するピッチのピッチ面の成形を行う
   転写板の押しつけを開始し、前記使用するピッチの温度
   と前記転写板の押しつけ力との所定の関係を保ちながら
   一定時間保持する第３の工程と、 前記第３の工程の後、前記所定の関係を保ちながら、徐
   々に前記使用するピッチの温度と前記押しつけ力とを下
   げ、前記使用するピッチの温度が室温となった時点で、
   前記使用するピッチを前記押しつけ力をなくす第４の工
   程とを含む ことを特徴とするピッチ工具の製造方法。
2. 【請求項２】 前記転写板がフッ素系の樹脂で構成され
   ている請求項１記載のピッチ工具の製造方法。
3. 【請求項３】 レンズ、ミラー等の光学素子を研磨加工
   する際に用いるピッチ工具の研磨加工面に研磨用凹凸パ
   ターンを成形するピッチ工具製造装置であって、前記研
   磨用凹凸パターンに応じた凹凸が形成されたパターン面
   を有する転写板が着脱自在に装着される転写板ホルダー
   と、該転写板ホルダーに装着された転写板の前記パター
   ン面を前記ピッチ工具の研磨加工面に押し付けるための
   加圧手段と、該加圧手段に対向して配置されて前記ピッ
   チ工具を保持するピッチ工具保持台と、前記加圧手段の
   押し付け力を検出するための圧力センサと、前記ピッチ
   工具の研磨加工面に相当する面を、軟化温度に加熱する
   ための加熱手段と、前記ピッチ工具を冷却するための冷
   却手段と、前記ピッチ工具の温度を検出するための温度
   センサと、予め定めた、前記加圧手段による押し付け力
   と前記加熱手段による加熱温度との時間的変化プログラ
   ムを記憶する記憶部と、該時間的変化プログラムに沿っ
   て前記加圧手段を駆動しながら、前記圧力センサが検出
   した検出押し付け力と前記時間的変化プログラムにて定
   められている設定押し付け力とを比較して前記加圧手段
   の押付け力を補正するための圧力制御指令を発する加圧
   制御部と、前記時間的変化プログラムに沿って前記加熱
   手段を駆動しながら、前記温度センサが検出した検出温
   度と前記時間的変化プログラムにて定められている設定
   温度とを比較して、前記ピッチ工具の温度を補正するた
   め、前記冷却手段を駆動する冷却指令あるいは前記加熱
   手段を駆動する加熱指令を発する温度制御部とを備えた
   制御部とを有することを特徴とするピッチ工具製造装
   置。
4. 【請求項４】 制御部の加圧制御部および温度制御部
   は、それぞれ、一定時間毎に温度センサの検出温度と圧
   力センサの検出押し付け力をモニタして、該検出温度と
   検出圧力を、対応する時点の設定温度および設定押し付
   け力と比較することを特徴とする請求項３記載のピッチ
   工具製造装置。
5. 【請求項５】 冷却手段は冷却水が流通するウォータジ
   ャケットであり、制御部の温度制御部は、該ウォータジ
   ャケットに流入する流量を変化させる冷却指令を発する
   ことを特徴とする請求項３または４記載のピッチ工具製
   造装置。