JP3144925B2 - プローバ - Google Patents
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体装置の検査で使
用されるプローバに関し、特に検査対象の半導体ウエハ
を外部との間で受け渡すローダ部分を改良したプローバ
に関する。
用されるプローバに関し、特に検査対象の半導体ウエハ
を外部との間で受け渡すローダ部分を改良したプローバ
に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体装置の製造工程では、半導体ウエ
ハ（以下ウエハと称する。）上に形成された段階の半導
体チップ（以下チップと称する。）の各電極パッドを介
して電気的特性を検査することが行なわれる。この検査
を行なうためには、ウエハを保持した上で触針を電極パ
ッドに接触させる必要があり、これを行なうための装置
がプローバである。
ハ（以下ウエハと称する。）上に形成された段階の半導
体チップ（以下チップと称する。）の各電極パッドを介
して電気的特性を検査することが行なわれる。この検査
を行なうためには、ウエハを保持した上で触針を電極パ
ッドに接触させる必要があり、これを行なうための装置
がプローバである。
【０００３】ウエハ上の各チップの検査を行なうために
は、プローバに検査対象であるウエハを供給し、検査終
了後は回収する必要がある。このウエハの給排機構がロ
ーダと呼ばれる部分であり、図６にその例を示す。図６
において、６１はプローバ本体であり、６０は上記の触
針を有するプローブカードである。６２は搬送アームで
あり、ウエハ格納箱（カセット）６５内に格納されてい
るウエハ１００を取り出してウエハチャック６４上に搬
送する。ウエハチャック６４上のウエハ１００は、真空
吸着によって保持され、プローブカード６０の下に移動
した後、各チップの電極パッドに触針を接触させて検査
が行なわれる。これをウエハ１００上のすべてのチップ
について行ない、終了後再び搬送アーム６２によってウ
エハカセット６５内に戻される。
は、プローバに検査対象であるウエハを供給し、検査終
了後は回収する必要がある。このウエハの給排機構がロ
ーダと呼ばれる部分であり、図６にその例を示す。図６
において、６１はプローバ本体であり、６０は上記の触
針を有するプローブカードである。６２は搬送アームで
あり、ウエハ格納箱（カセット）６５内に格納されてい
るウエハ１００を取り出してウエハチャック６４上に搬
送する。ウエハチャック６４上のウエハ１００は、真空
吸着によって保持され、プローブカード６０の下に移動
した後、各チップの電極パッドに触針を接触させて検査
が行なわれる。これをウエハ１００上のすべてのチップ
について行ない、終了後再び搬送アーム６２によってウ
エハカセット６５内に戻される。
【０００４】プローバ、及びこのプローバと組み合され
触針を介して試験信号の入出力を行なうテストヘッドは
非常に高価な装置であり、検査コスト低減のため稼働効
率の向上が要求されている。ウエハチャック６４へのウ
エハの給排時には検査が行なえないため、給排に要する
時間を短縮する必要がある。ウエハカセット６５の設置
及び回収は人手により行なわれるか、又は自動搬送シス
テムによって行なわれる。いずれにしろウエハカセット
６５を回収して再び設置するまでは検査を行なうことが
できない。そこでウエハカセット６５には複数枚のウエ
ハを格納しておき、複数枚のウエハの検査が終了した時
点で回収するようにすることで、全体としてウエハカセ
ットの回収と設置に要する時間の割合を低減している。
触針を介して試験信号の入出力を行なうテストヘッドは
非常に高価な装置であり、検査コスト低減のため稼働効
率の向上が要求されている。ウエハチャック６４へのウ
エハの給排時には検査が行なえないため、給排に要する
時間を短縮する必要がある。ウエハカセット６５の設置
及び回収は人手により行なわれるか、又は自動搬送シス
テムによって行なわれる。いずれにしろウエハカセット
６５を回収して再び設置するまでは検査を行なうことが
できない。そこでウエハカセット６５には複数枚のウエ
ハを格納しておき、複数枚のウエハの検査が終了した時
点で回収するようにすることで、全体としてウエハカセ
ットの回収と設置に要する時間の割合を低減している。
【０００５】近年半導体製造システムは増々大型化して
おり、自動化と共にシステム全体での統合化が図られて
いる。それに応じて検査装置もシステムに組み込まれ、
ウエハカセットの設置及び回収も自動化される傾向にあ
る。検査装置はチップの品種に応じてプローブカードを
交換することで多種類のチップを検査できるようになっ
ており、このような検査装置を多数組み込んだ検査シス
テムでは、検査装置もシステム全体として効率的な運用
が行なえるものが要求されるようになっている。
おり、自動化と共にシステム全体での統合化が図られて
いる。それに応じて検査装置もシステムに組み込まれ、
ウエハカセットの設置及び回収も自動化される傾向にあ
る。検査装置はチップの品種に応じてプローブカードを
交換することで多種類のチップを検査できるようになっ
ており、このような検査装置を多数組み込んだ検査シス
テムでは、検査装置もシステム全体として効率的な運用
が行なえるものが要求されるようになっている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上記のように、プロー
バとの間のウエハの供給と回収は、複数のウエハが格納
されたウエハカセット単位で行なわれている。これは各
検査装置をウエハ検査システムとして統合している場合
も同様であり、無人搬送システム等を用いてウエハカセ
ットの設置及び回収を行っている。
バとの間のウエハの供給と回収は、複数のウエハが格納
されたウエハカセット単位で行なわれている。これは各
検査装置をウエハ検査システムとして統合している場合
も同様であり、無人搬送システム等を用いてウエハカセ
ットの設置及び回収を行っている。
【０００７】近年ウエハの大口径化が進んでおり、１枚
のウエハに形成されるチップの個数も増大する傾向にあ
る。それと同時にチップの高集積化が図られており、そ
れに応じて１個のチップを検査するのに要する時間も増
大する傾向にある。そのため多数のウエハをウエハカセ
ットに格納して供給したのでは、ウエハカセットの供給
から回収までに要する時間は長くなる。
のウエハに形成されるチップの個数も増大する傾向にあ
る。それと同時にチップの高集積化が図られており、そ
れに応じて１個のチップを検査するのに要する時間も増
大する傾向にある。そのため多数のウエハをウエハカセ
ットに格納して供給したのでは、ウエハカセットの供給
から回収までに要する時間は長くなる。
【０００８】多数の検査装置を組み合せて各検査装置と
の間のウエハの供給と回収を一元的に管理するシステム
では、１個のウエハカセットの供給から回収までに要す
る時間が長くなると、システム全体の柔軟な運用が難し
くなるという問題がある。例えば緊急に検査を行なうウ
エハが出現した場合でも、既に各プローバに供給されて
いるすべてのウエハの検査が終了するまでは、検査が行
なえないといった問題である。
の間のウエハの供給と回収を一元的に管理するシステム
では、１個のウエハカセットの供給から回収までに要す
る時間が長くなると、システム全体の柔軟な運用が難し
くなるという問題がある。例えば緊急に検査を行なうウ
エハが出現した場合でも、既に各プローバに供給されて
いるすべてのウエハの検査が終了するまでは、検査が行
なえないといった問題である。
【０００９】またプローバへのウエハの供給及び回収
は、すべてウエハカセットに格納した形で行なわれる。
ウエハカセットは、回収後検査済のウエハを取り出して
新たに未検査のウエハを格納した上で各プローバに供給
する必要がある。この回収から再度供給するまでの間検
査装置が非稼動状態になるのは好ましくないため、予備
のウエハカセットを用意しているが、多数の検査装置で
構成されるシステムではこの予備のウエハカセットの数
が多くなり、保管等の管理が煩雑になるという問題があ
る。特に直径の異なるウエハを混在させて検査するシス
テムでは、異なるウエハカセットを用いるため、使用さ
れないウエハカセットの数が膨大になるという問題があ
る。
は、すべてウエハカセットに格納した形で行なわれる。
ウエハカセットは、回収後検査済のウエハを取り出して
新たに未検査のウエハを格納した上で各プローバに供給
する必要がある。この回収から再度供給するまでの間検
査装置が非稼動状態になるのは好ましくないため、予備
のウエハカセットを用意しているが、多数の検査装置で
構成されるシステムではこの予備のウエハカセットの数
が多くなり、保管等の管理が煩雑になるという問題があ
る。特に直径の異なるウエハを混在させて検査するシス
テムでは、異なるウエハカセットを用いるため、使用さ
れないウエハカセットの数が膨大になるという問題があ
る。
【００１０】本発明は上記問題点に鑑みてなされたもの
であり、検査システムの中で使用した時に、より効率的
なウエハの供給及び回収を行なうことを可能にするプロ
ーバの実現を目的とする。
であり、検査システムの中で使用した時に、より効率的
なウエハの供給及び回収を行なうことを可能にするプロ
ーバの実現を目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】図１は本発明のプローバ
の基本構成を示す図であり、給排機構部分の上面図であ
る。図１において、１００は検査対象のウエハである。
１はプローバ本体であり、ウエハ上に形成されたチップ
の電気的特性を検査するため、チップの電極パッドに接
触する触針を有しており、この触針を介してテストヘッ
ドから試験信号の入出力が行なわれる。外部との間でウ
エハの供給及び回収を行なうため、搬送アーム２にウエ
ハ１００を保持して、触針位置との間で給排動作を行な
うウエハ給排機構を備えている。そして上記問題点を解
決するため、ウエハ給排機構は、プローバ本体１の外部
でのウエハ１００の受け渡しが可能であるように、プロ
ーバの外周付近に位置し、回転可能な第１アーム部に直
線伸縮可能な第２アーム部が軸止し、該第２アーム部の
先端部分はウエハを保持するための真空チャックで構成
される搬送アームであり、搬送アーム２がプローバ本体
１の外部まで伸るように構成され、プローバと外部との
ウエハの受け渡しを１枚づつ行ない、外部より供給され
るウエハ又は検査を終了したウエハを一時的に格納する
一時格納手段５を備える。
の基本構成を示す図であり、給排機構部分の上面図であ
る。図１において、１００は検査対象のウエハである。
１はプローバ本体であり、ウエハ上に形成されたチップ
の電気的特性を検査するため、チップの電極パッドに接
触する触針を有しており、この触針を介してテストヘッ
ドから試験信号の入出力が行なわれる。外部との間でウ
エハの供給及び回収を行なうため、搬送アーム２にウエ
ハ１００を保持して、触針位置との間で給排動作を行な
うウエハ給排機構を備えている。そして上記問題点を解
決するため、ウエハ給排機構は、プローバ本体１の外部
でのウエハ１００の受け渡しが可能であるように、プロ
ーバの外周付近に位置し、回転可能な第１アーム部に直
線伸縮可能な第２アーム部が軸止し、該第２アーム部の
先端部分はウエハを保持するための真空チャックで構成
される搬送アームであり、搬送アーム２がプローバ本体
１の外部まで伸るように構成され、プローバと外部との
ウエハの受け渡しを１枚づつ行ない、外部より供給され
るウエハ又は検査を終了したウエハを一時的に格納する
一時格納手段５を備える。
【００１２】
【００１３】
【作用】これまではプローバ本体１上に設置されるウエ
ハカセットよりウエハを取り出し、検査終了後は再びウ
エハカセットに格納するという具合にウエハの給排動作
を行っていた。そのため搬送アームの移動範囲はプロー
バ内に限られていた。しかしウエハカセットを利用せず
にウエハの受け渡しを行なうためには、受け渡し位置を
プローバ本体１の外部にすることが必要であり、搬送ア
ーム２がプローバ本体１の外部にまで伸ることにより可
能になる。
ハカセットよりウエハを取り出し、検査終了後は再びウ
エハカセットに格納するという具合にウエハの給排動作
を行っていた。そのため搬送アームの移動範囲はプロー
バ内に限られていた。しかしウエハカセットを利用せず
にウエハの受け渡しを行なうためには、受け渡し位置を
プローバ本体１の外部にすることが必要であり、搬送ア
ーム２がプローバ本体１の外部にまで伸ることにより可
能になる。
【００１４】また外部とのウエハの受け渡しは、従来の
ようにウエハカセットの形で行なわず、搬送アーム２を
使用して１枚づつ行なうことにより、より柔軟な使用方
法が可能になる。更に、外部とのウエハの受け渡しのた
めの一時格納手段５が設けられており、ウエハの検査終
了後は検査済のウエハを一時格納手段５に移動した後、
直ちに一時格納手段５に格納されているウエハを取り出
して検査を開始すれば、その間の非稼働時間は短かくで
きる。一時格納手段５からの検査済ウエハの回収及び未
検査ウエハの供給は、検査動作中に行なえばよい。
ようにウエハカセットの形で行なわず、搬送アーム２を
使用して１枚づつ行なうことにより、より柔軟な使用方
法が可能になる。更に、外部とのウエハの受け渡しのた
めの一時格納手段５が設けられており、ウエハの検査終
了後は検査済のウエハを一時格納手段５に移動した後、
直ちに一時格納手段５に格納されているウエハを取り出
して検査を開始すれば、その間の非稼働時間は短かくで
きる。一時格納手段５からの検査済ウエハの回収及び未
検査ウエハの供給は、検査動作中に行なえばよい。
【００１５】
【実施例】図２は本発明の第１実施例の全体構成を示す
図である。図２は検査システムにおいて複数個設置され
たプローバと、プローバとの間でウエハの供給及び回収
を行なうウエハ自動搬送装置を示している。２１1 ，２
１2 ，２１3 …はプローバであり、多数のプローバが配
置され一元的に管理されている。プローバ２１1 には、
２２１1 と２２２1 とで構成される搬送アームと、ウエ
ハチャック２４1 と、一時格納箱２５１1 ，２５２1 と
が設けられており、これは他のプローバも同様である。
図である。図２は検査システムにおいて複数個設置され
たプローバと、プローバとの間でウエハの供給及び回収
を行なうウエハ自動搬送装置を示している。２１1 ，２
１2 ，２１3 …はプローバであり、多数のプローバが配
置され一元的に管理されている。プローバ２１1 には、
２２１1 と２２２1 とで構成される搬送アームと、ウエ
ハチャック２４1 と、一時格納箱２５１1 ，２５２1 と
が設けられており、これは他のプローバも同様である。
【００１６】２６は各プローバとの間でウエハの供給及
び回収を行なうための自走式自動搬送装置である。これ
には、ウエハの受け渡しを行なうための搬送アーム２７
と、搬送アーム２７が取り付けられ回転と上下方向の移
動を行なう移動台２８と、ウエハが格納される格納箱２
９を有している。図３はプローバ２１の上面図である。
搬送アームは第１アーム部２２１と第２アーム部２２２
で構成され、第２アーム部２２２が第１アーム部２２１
に沿って伸縮する。第２アーム部２２２の先端部分はウ
エハを保持するための真空チャックになっている。搬送
アームは回転台２３に取り付けられており、回転可能で
ある。必要に応じて上下移動機構を付加して搬送アーム
が上下移動できるようにしてもよい。
び回収を行なうための自走式自動搬送装置である。これ
には、ウエハの受け渡しを行なうための搬送アーム２７
と、搬送アーム２７が取り付けられ回転と上下方向の移
動を行なう移動台２８と、ウエハが格納される格納箱２
９を有している。図３はプローバ２１の上面図である。
搬送アームは第１アーム部２２１と第２アーム部２２２
で構成され、第２アーム部２２２が第１アーム部２２１
に沿って伸縮する。第２アーム部２２２の先端部分はウ
エハを保持するための真空チャックになっている。搬送
アームは回転台２３に取り付けられており、回転可能で
ある。必要に応じて上下移動機構を付加して搬送アーム
が上下移動できるようにしてもよい。
【００１７】２４はウエハチャックであり、図示の位置
でウエハを受け取った後、プローブカード２０の下に移
動させる。検査終了後は再び図示の位置に移動して検査
済ウエハを渡し、未検査のウエハを受け取る。上記の動
作中ウエハは真空吸着により、ウエハチャック２４に固
定されている。２５１と２５２はウエハを一時的に格納
する格納箱であり、本実施例では２５１が未検査のウエ
ハを格納し、２５２が検査済のウエハを格納している
が、一方の格納箱に未検査と検査済の両方のウエハを格
納してもよく、また未検査と検査済のウエハをそれぞれ
複数枚格納できるようにしてもよい。
でウエハを受け取った後、プローブカード２０の下に移
動させる。検査終了後は再び図示の位置に移動して検査
済ウエハを渡し、未検査のウエハを受け取る。上記の動
作中ウエハは真空吸着により、ウエハチャック２４に固
定されている。２５１と２５２はウエハを一時的に格納
する格納箱であり、本実施例では２５１が未検査のウエ
ハを格納し、２５２が検査済のウエハを格納している
が、一方の格納箱に未検査と検査済の両方のウエハを格
納してもよく、また未検査と検査済のウエハをそれぞれ
複数枚格納できるようにしてもよい。
【００１８】外部とのウエハの受け渡しは、図示のよう
にプローバ本体２１の外部で行なわれ、そのため搬送ア
ームの先端が外部にまで伸びるようになっている。図２
に戻って、自走式自動搬送装置との間のウエハの受け渡
しについて説明する。１枚のウエハの検査が終了したプ
ローバは、全体の制御部に終了したことを報知し、それ
と同時に検査済のウエハの検査済格納箱への格納と未検
査格納箱からの未検査ウエハの取り出しとチャックを行
なう。これに応じて全体制御部は自走式自動搬送装置２
６が次に検査するウエハを格納箱２９に格納してそのプ
ローバとのウエハの受け渡しを行なうように指示する。
これに応じて自走式自動搬送装置２６はウエハを格納し
た後で、そのプローバとの受け渡し位置に移動し、移動
位置に来たことを全体制御部又はプローバに報知する。
プローバに報知するのであれば、例えば光信号を使用し
て行なう。
にプローバ本体２１の外部で行なわれ、そのため搬送ア
ームの先端が外部にまで伸びるようになっている。図２
に戻って、自走式自動搬送装置との間のウエハの受け渡
しについて説明する。１枚のウエハの検査が終了したプ
ローバは、全体の制御部に終了したことを報知し、それ
と同時に検査済のウエハの検査済格納箱への格納と未検
査格納箱からの未検査ウエハの取り出しとチャックを行
なう。これに応じて全体制御部は自走式自動搬送装置２
６が次に検査するウエハを格納箱２９に格納してそのプ
ローバとのウエハの受け渡しを行なうように指示する。
これに応じて自走式自動搬送装置２６はウエハを格納し
た後で、そのプローバとの受け渡し位置に移動し、移動
位置に来たことを全体制御部又はプローバに報知する。
プローバに報知するのであれば、例えば光信号を使用し
て行なう。
【００１９】受け渡し位置では、搬送装置の搬送アーム
２７が未検査のウエハを格納箱２９より取り出した後受
け渡し位置に移動させる。プローバの搬送アーム２２２
も受け渡位置に移動し、搬送アーム２７を降下させて受
け渡しを行なう。そしてプローバの搬送アーム２２２は
受け取ったウエハを未検査格納箱に格納した後、検査済
格納箱からウエハを取り出して受け渡し位置に移動す
る。搬送アーム２７は上昇してウエハを受け取ると格納
箱２９に格納する。
２７が未検査のウエハを格納箱２９より取り出した後受
け渡し位置に移動させる。プローバの搬送アーム２２２
も受け渡位置に移動し、搬送アーム２７を降下させて受
け渡しを行なう。そしてプローバの搬送アーム２２２は
受け取ったウエハを未検査格納箱に格納した後、検査済
格納箱からウエハを取り出して受け渡し位置に移動す
る。搬送アーム２７は上昇してウエハを受け取ると格納
箱２９に格納する。
【００２０】自走式自動搬送装置は、検査済ウエハを回
収する位置に移動して格納してあるウエハを渡して受け
渡し動作を終了する。上記の説明では各プローバとのウ
エハの受け渡し毎に一旦所定位置まで戻ってウエハの回
収と供給を行なうが、格納箱２９を複数枚格納できるも
のにして、複数のプローバに対するウエハの受け渡しを
連続して行なうようにしてもよい。
収する位置に移動して格納してあるウエハを渡して受け
渡し動作を終了する。上記の説明では各プローバとのウ
エハの受け渡し毎に一旦所定位置まで戻ってウエハの回
収と供給を行なうが、格納箱２９を複数枚格納できるも
のにして、複数のプローバに対するウエハの受け渡しを
連続して行なうようにしてもよい。
【００２１】図３に示した第１実施例のプローバにおい
ては、外部とのウエハの受け渡し位置は１箇所であった
が、これに限られるものではなく、複数箇所で受け渡し
可能にしてもよい。図４は２箇所で受け渡し可能にした
図３の変型例を示している。このように２箇所で受け渡
し可能にすることで、自動搬送装置に２個の格納箱を設
け、それぞれが図４の受け渡し位置になるように移動さ
せる。そしてプローバの搬送アームを使用して受け渡し
を行なえば、自動搬送装置側の搬送アームをなくすこと
ができるようになる。
ては、外部とのウエハの受け渡し位置は１箇所であった
が、これに限られるものではなく、複数箇所で受け渡し
可能にしてもよい。図４は２箇所で受け渡し可能にした
図３の変型例を示している。このように２箇所で受け渡
し可能にすることで、自動搬送装置に２個の格納箱を設
け、それぞれが図４の受け渡し位置になるように移動さ
せる。そしてプローバの搬送アームを使用して受け渡し
を行なえば、自動搬送装置側の搬送アームをなくすこと
ができるようになる。
【００２２】またベルト等を用いた搬送装置を用いる場
合も、未検査と検査済のウエハの経路を別の経路にする
ことでシステム構成を簡単にすることができる。同一品
種のウエハを検査する場合には、ウエハカセットに多数
枚のウエハを格納して供給及び回収することは検査効率
向上の点から重要であり、従来もこれによって効率向上
を図っていた。効率を向上するにはウエハカセット内に
格納できるウエハの枚数を増加させることが望ましい。
しかし、従来のウエハカセットはプローバ上に設置され
るものであるため、あまり多くの枚数を格納することは
できなかった。しかし本発明のようにウエハの受け渡し
をプローバの外部で行なえるようにすることで、大容量
のウエハカセットが使用でき、検査効率が向上する。図
５はウエハカセットを外部に設けられるようにした第２
実施例の構成を示す図である。
合も、未検査と検査済のウエハの経路を別の経路にする
ことでシステム構成を簡単にすることができる。同一品
種のウエハを検査する場合には、ウエハカセットに多数
枚のウエハを格納して供給及び回収することは検査効率
向上の点から重要であり、従来もこれによって効率向上
を図っていた。効率を向上するにはウエハカセット内に
格納できるウエハの枚数を増加させることが望ましい。
しかし、従来のウエハカセットはプローバ上に設置され
るものであるため、あまり多くの枚数を格納することは
できなかった。しかし本発明のようにウエハの受け渡し
をプローバの外部で行なえるようにすることで、大容量
のウエハカセットが使用でき、検査効率が向上する。図
５はウエハカセットを外部に設けられるようにした第２
実施例の構成を示す図である。
【００２３】図５において、５１がプローバであり、５
２１と５２２が搬送アームである。５３は搬送アームの
駆動部である。５６はウエハカセットであり、ここでは
自走式として示した。１００がウエハであり、カセット
５７に格納されている。カセット５７はねじ５８がモー
タ５９によって回転することにより上下移動し、プロー
バの搬送アームにより受け渡たされるウエハを変化させ
る。
２１と５２２が搬送アームである。５３は搬送アームの
駆動部である。５６はウエハカセットであり、ここでは
自走式として示した。１００がウエハであり、カセット
５７に格納されている。カセット５７はねじ５８がモー
タ５９によって回転することにより上下移動し、プロー
バの搬送アームにより受け渡たされるウエハを変化させ
る。
【００２４】ウエハカセット５６は図示のような所定位
置に移動して、検査するウエハが取り出される。検査が
終了したウエハは同じ位置に戻される。すべてのウエハ
の検査が終了するとウエハカセット５６は他の位置へ移
動し、回収される。以上のように本実施例においては、
ウエハカセットは自走式の点を除けば従来と同じ構成で
あるが、図５に示すようにプローバ５１の外部に設けら
れるため高さ方向の制限が少なくなり、格納できるウエ
ハの枚数を増加することができる。
置に移動して、検査するウエハが取り出される。検査が
終了したウエハは同じ位置に戻される。すべてのウエハ
の検査が終了するとウエハカセット５６は他の位置へ移
動し、回収される。以上のように本実施例においては、
ウエハカセットは自走式の点を除けば従来と同じ構成で
あるが、図５に示すようにプローバ５１の外部に設けら
れるため高さ方向の制限が少なくなり、格納できるウエ
ハの枚数を増加することができる。
【００２５】図５ではウエハカセットは自走式として示
したが、搬送システムによって搬送されても、人手によ
って移動されてもよい。
したが、搬送システムによって搬送されても、人手によ
って移動されてもよい。
【００２６】
【発明の効果】本発明により、外部とのウエハの受け渡
しが、検査効率を損なわず、逆に検査効率を向上した上
で、ウエハの供給と回収がより柔軟に行なえる検査シス
テムの構築に適したプローバが実現できる。
しが、検査効率を損なわず、逆に検査効率を向上した上
で、ウエハの供給と回収がより柔軟に行なえる検査シス
テムの構築に適したプローバが実現できる。
【図１】本発明のプローバの基本構成を示す図である。
【図２】第１実施例の全体構成を示す図である。
【図３】第１実施例のプローバのウエハ給排機構部の上
面図である。
面図である。
【図４】ウエハ受け渡し位置を２箇所にした図３のプロ
ーバの変形例を示す図である。
ーバの変形例を示す図である。
【図５】第２実施例の構成を示す図である。
【図６】従来のプローバのウエハ給排機構を示す図であ
る。
る。
１…プローバ本体 ２…搬送アーム ３…回転手段 ４…ウエハチャック ５…一時格納手段 １００…ウエハ
Claims (1)
- 【請求項１】 半導体ウエハ（１００）上に形成された
チップの電気的特性を検査するための触針を前記チップ
の電極パッドに接触させるプローバであって、搬送アー
ム（２）に前記半導体ウエハ（１００）を保持して給排
動作を行なうウエハ給排機構を備えるプローバにおい
て、 前記ウエハ給排機構は、当該プローバの外部での前記半
導体ウエハの受け渡しが可能であるように、当該プロー
バの外周付近に位置し、回転可能な第１アーム部（２２
１）に直線伸縮可能な第２アーム部（２２２）が軸止
し、該第２アーム部（２２２）の先端部分はウエハを保
持するための真空チャックで構成される搬送アームであ
り、前記搬送アーム（２）が当該プローバの外部まで伸
び、当該プローバと外部との前記半導体ウエハの受け渡
しを１枚づつ行ない、且つ外部より供給される半導体ウ
エハ又は検査を終了した半導体ウエハを一時的に格納す
る一時格納手段（５）を備えることを特徴とするプロー
バ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31999392A JP3144925B2 (ja) | 1992-11-30 | 1992-11-30 | プローバ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31999392A JP3144925B2 (ja) | 1992-11-30 | 1992-11-30 | プローバ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06168993A JPH06168993A (ja) | 1994-06-14 |
| JP3144925B2 true JP3144925B2 (ja) | 2001-03-12 |
Family
ID=18116554
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31999392A Expired - Fee Related JP3144925B2 (ja) | 1992-11-30 | 1992-11-30 | プローバ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3144925B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4820006B2 (ja) * | 2001-01-12 | 2011-11-24 | 東京エレクトロン株式会社 | 被処理体の搬送システム及び被処理体の搬送方法 |
| JP4820007B2 (ja) * | 2001-01-12 | 2011-11-24 | 東京エレクトロン株式会社 | 被処理体の搬送方法 |
| JP4820008B2 (ja) * | 2001-01-12 | 2011-11-24 | 東京エレクトロン株式会社 | 被処理体の搬送システム及び被処理体の搬送方法 |
-
1992
- 1992-11-30 JP JP31999392A patent/JP3144925B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06168993A (ja) | 1994-06-14 |
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