JP3146922B2 - 基板搬送装置 - Google Patents
基板搬送装置Info
- Publication number
- JP3146922B2 JP3146922B2 JP10335295A JP10335295A JP3146922B2 JP 3146922 B2 JP3146922 B2 JP 3146922B2 JP 10335295 A JP10335295 A JP 10335295A JP 10335295 A JP10335295 A JP 10335295A JP 3146922 B2 JP3146922 B2 JP 3146922B2
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、マガジンから基板を１
枚ずつ取り出す基板搬送装置に関するものである。
枚ずつ取り出す基板搬送装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】液晶パネルのような基板を複数段収納す
るマガジンと、このマガジンに収納された基板を１枚ず
つ取り出す取り出しテーブルを備えた基板搬送装置が知
られている。このような基板搬送装置は、基板はマガジ
ンの正しい位置に収納されることを前提とするものであ
る。基板の収納位置が誤っている場合には、取り出しを
行う前に異常を検知できるようにしておく必要がある。
ところが、従来の基板搬送装置では、基板が誤った位置
に収納されていても、異常を検出できないことがあっ
た。
るマガジンと、このマガジンに収納された基板を１枚ず
つ取り出す取り出しテーブルを備えた基板搬送装置が知
られている。このような基板搬送装置は、基板はマガジ
ンの正しい位置に収納されることを前提とするものであ
る。基板の収納位置が誤っている場合には、取り出しを
行う前に異常を検知できるようにしておく必要がある。
ところが、従来の基板搬送装置では、基板が誤った位置
に収納されていても、異常を検出できないことがあっ
た。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】図８は、従来の基板搬
送装置のマガジンを示す拡大図である。図８において、
１は基板２を収納するマガジンである。図８に示すよう
に、本来基板２はマガジン１の各段に水平に収納されて
いなければならないのであるが、図８に示すように、基
板２が段違いの状態で斜めに収納されていることがあ
る。このような場合、従来の基板搬送装置では、異常を
検出することができなかった。
送装置のマガジンを示す拡大図である。図８において、
１は基板２を収納するマガジンである。図８に示すよう
に、本来基板２はマガジン１の各段に水平に収納されて
いなければならないのであるが、図８に示すように、基
板２が段違いの状態で斜めに収納されていることがあ
る。このような場合、従来の基板搬送装置では、異常を
検出することができなかった。
【０００４】そこで本発明は、基板が段違いで収納され
ている場合でも異常を事前に検出することができる基板
搬送装置を提供することを目的とする。
ている場合でも異常を事前に検出することができる基板
搬送装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の基板搬送装置
は、基板を保持するマガジンと、マガジンに収納された
基板の下面を下受けしてマガジンから基板を取り出す取
り出しテーブルと、取り出しテーブルを移動させる移動
手段と、取り出しテーブルに設けられ、基板に接触する
接触子とを備え、接触子は、取り出しテーブルに対して
３次元方向に変位可能に支持されており、かつ接触子の
変位を検出するセンサを備える。
は、基板を保持するマガジンと、マガジンに収納された
基板の下面を下受けしてマガジンから基板を取り出す取
り出しテーブルと、取り出しテーブルを移動させる移動
手段と、取り出しテーブルに設けられ、基板に接触する
接触子とを備え、接触子は、取り出しテーブルに対して
３次元方向に変位可能に支持されており、かつ接触子の
変位を検出するセンサを備える。
【０００６】
【作用】上記構成により、基板がマガジンの中で段違い
に収納されている場合には、接触子が３次元方向のいず
れかに変位し、この変位をセンサが検出することによ
り、異常を基板の取り出し前に知ることができる。
に収納されている場合には、接触子が３次元方向のいず
れかに変位し、この変位をセンサが検出することによ
り、異常を基板の取り出し前に知ることができる。
【０００７】
【実施例】次に図面を参照しながら、本発明の実施例を
説明する。
説明する。
【０００８】図１は、本発明の一実施例における基板搬
送装置の斜視図である。図中、従来の構成を示す図８と
同様の構成要素については、同一符号を付すことにより
説明を省略する。図１において、３は基板２の下面を下
受けするマガジン１から基板２を取り出す取り出しテー
ブルである。４は取り出しテーブル３をＹ方向に移動さ
せるＹテーブル、５はＹテーブル４をＺ方向に移動させ
るＺテーブルである。１５はＺテーブル５を水平方向へ
回転させるθテーブルである。これらＹテーブル４、Ｚ
テーブル５，θテーブル１５は、取り出しテーブル３の
移動手段に対応する。６はマガジン１から取り出された
基板２を載置する載置台である。
送装置の斜視図である。図中、従来の構成を示す図８と
同様の構成要素については、同一符号を付すことにより
説明を省略する。図１において、３は基板２の下面を下
受けするマガジン１から基板２を取り出す取り出しテー
ブルである。４は取り出しテーブル３をＹ方向に移動さ
せるＹテーブル、５はＹテーブル４をＺ方向に移動させ
るＺテーブルである。１５はＺテーブル５を水平方向へ
回転させるθテーブルである。これらＹテーブル４、Ｚ
テーブル５，θテーブル１５は、取り出しテーブル３の
移動手段に対応する。６はマガジン１から取り出された
基板２を載置する載置台である。
【０００９】次に図２から図７を参照しながら、取り出
しテーブル３などの構成を詳細に説明する。図２におい
て、７は取り出しテーブル３の前面と平行な（Ｘ方向を
向く）第１辺７ａと、この第１辺７ａに対してほぼ直角
に連設される第２辺７ｂとを有する接触子である。接触
子７の第１辺７ａは角柱状のゴム材からなる連結部８に
よって取り出しテーブル３の前面に、３次元方向に弾性
変位可能に支持されている。
しテーブル３などの構成を詳細に説明する。図２におい
て、７は取り出しテーブル３の前面と平行な（Ｘ方向を
向く）第１辺７ａと、この第１辺７ａに対してほぼ直角
に連設される第２辺７ｂとを有する接触子である。接触
子７の第１辺７ａは角柱状のゴム材からなる連結部８に
よって取り出しテーブル３の前面に、３次元方向に弾性
変位可能に支持されている。
【００１０】図３、図４にも示すように、第１辺７ａの
上部には、それぞれ等しい高さを有する第１垂直突起
９、第２垂直突起１０が設けられている。これらの第１
垂直突起９、第２垂直突起１０は、ゴム材からなり、基
板２の下面に接触するように構成されており、しかもそ
の上面の高さは、取り出しテーブル３の上面の高さと面
一になるようにしてある。１１は第１辺７ａの先端部の
みに前方に突設された水平突起である。この水平突起１
１も、基板２に接触する際の損傷を防ぐため、第１垂直
突起９、第２垂直突起１０と同様にゴム材から構成され
ている。
上部には、それぞれ等しい高さを有する第１垂直突起
９、第２垂直突起１０が設けられている。これらの第１
垂直突起９、第２垂直突起１０は、ゴム材からなり、基
板２の下面に接触するように構成されており、しかもそ
の上面の高さは、取り出しテーブル３の上面の高さと面
一になるようにしてある。１１は第１辺７ａの先端部の
みに前方に突設された水平突起である。この水平突起１
１も、基板２に接触する際の損傷を防ぐため、第１垂直
突起９、第２垂直突起１０と同様にゴム材から構成され
ている。
【００１１】また第２辺７ｂの先端部には、小さな透孔
７ｃが厚み方向に開設されている。そして、取り出しテ
ーブル３の側部に、センサ１２（門型の光透過型のセン
サ）が設けられている。接触子７が変位をしない状態に
おいて、第２辺７ｂに開設された透孔７ｃを介して光路
Ｎが形成され、センサ１２の光は遮光されないようにな
っている。
７ｃが厚み方向に開設されている。そして、取り出しテ
ーブル３の側部に、センサ１２（門型の光透過型のセン
サ）が設けられている。接触子７が変位をしない状態に
おいて、第２辺７ｂに開設された透孔７ｃを介して光路
Ｎが形成され、センサ１２の光は遮光されないようにな
っている。
【００１２】一方、接触子７が何らかの理由により、３
次元方向のいずれかに無視できない程度変位した際、透
孔７ｃの位置が光路Ｎからずれて、第２辺７ｂの透孔７
ｃ以外の部分が光路Ｎを閉じ、センサ１２の光が遮光さ
れることにより、この変位を検出できるようになってい
る。
次元方向のいずれかに無視できない程度変位した際、透
孔７ｃの位置が光路Ｎからずれて、第２辺７ｂの透孔７
ｃ以外の部分が光路Ｎを閉じ、センサ１２の光が遮光さ
れることにより、この変位を検出できるようになってい
る。
【００１３】次に、図５から図７を参照しながら、接触
子７の変位を検出する過程を具体的に説明する。図５を
参照しながら、基板２が段違いの状態で斜めにマガジン
１に収納されている場合の検出動作を説明する。
子７の変位を検出する過程を具体的に説明する。図５を
参照しながら、基板２が段違いの状態で斜めにマガジン
１に収納されている場合の検出動作を説明する。
【００１４】まず、Ｙテーブル４及びＺテーブル５を駆
動することにより、取り出しテーブル３を斜めになった
基板２のやや下方に挿入する。次に、Ｚテーブル５を駆
動して、わずかに取り出しテーブル３及び接触子７を上
昇させ、斜めになった基板２の下面に接触させる。
動することにより、取り出しテーブル３を斜めになった
基板２のやや下方に挿入する。次に、Ｚテーブル５を駆
動して、わずかに取り出しテーブル３及び接触子７を上
昇させ、斜めになった基板２の下面に接触させる。
【００１５】このようにすると、図５に示すように、第
１辺７ａの上面に設けられた第１垂直突起９、第２垂直
突起１０が、斜めになった基板２の下面に接触すること
になる。図示しているように、基板２は斜めになってい
るので、第１垂直突起９、第２垂直突起１０も、斜めに
基板２の下面に当接する。これにより、連結部８はねじ
れる状態になる。このとき、図６に示しているように、
連結部８がねじれて、第２辺７ｂがやや上方に移動する
ことにより、第２辺７ｂの先端部に開設された透孔７ｃ
が光路Ｎからずれてしまい、センサ１２の光は、第２辺
７ｂの透孔７でない部分によって遮光される。その結
果、センサ１２は、接触子７の異常な変位を検出するの
である。
１辺７ａの上面に設けられた第１垂直突起９、第２垂直
突起１０が、斜めになった基板２の下面に接触すること
になる。図示しているように、基板２は斜めになってい
るので、第１垂直突起９、第２垂直突起１０も、斜めに
基板２の下面に当接する。これにより、連結部８はねじ
れる状態になる。このとき、図６に示しているように、
連結部８がねじれて、第２辺７ｂがやや上方に移動する
ことにより、第２辺７ｂの先端部に開設された透孔７ｃ
が光路Ｎからずれてしまい、センサ１２の光は、第２辺
７ｂの透孔７でない部分によって遮光される。その結
果、センサ１２は、接触子７の異常な変位を検出するの
である。
【００１６】以上の動作により、従来検出できなかった
異常（マガジン１に基板２が斜めに収納されているこ
と）を検出できる。また、取り出しテーブル３をマガジ
ン１に挿入する際に、接触子７が基板２の端面に当接し
てしまい、そのまま取り出しテーブル３をマガジン１側
に押し込むと、基板２が破損する場合がある。このよう
な異常を検出する過程を図７を参照しながら説明する。
異常（マガジン１に基板２が斜めに収納されているこ
と）を検出できる。また、取り出しテーブル３をマガジ
ン１に挿入する際に、接触子７が基板２の端面に当接し
てしまい、そのまま取り出しテーブル３をマガジン１側
に押し込むと、基板２が破損する場合がある。このよう
な異常を検出する過程を図７を参照しながら説明する。
【００１７】図７は、取り出しテーブル３をマガジン１
内へ挿入する際に、接触子７の第１辺７ａが基板２の端
面に当接した状態を示す。さて上述したように、第１辺
７ａには片側のみ水平突起１１が突設されている。この
とき、図７に示すように、この水平突起１１と、水平突
起１１が設けられていない側の第１辺７ａの前面とが、
基板２の端面に当接することになる。このとき連結部８
は、斜めにやや曲がり、これに応じて第２辺７ｂも同方
向に変位する。この変位によって、光路Ｎから透孔７ｃ
がずれてしまい、上述と同様に、センサ１２の光が遮光
され、このような異常を検出することができる。
内へ挿入する際に、接触子７の第１辺７ａが基板２の端
面に当接した状態を示す。さて上述したように、第１辺
７ａには片側のみ水平突起１１が突設されている。この
とき、図７に示すように、この水平突起１１と、水平突
起１１が設けられていない側の第１辺７ａの前面とが、
基板２の端面に当接することになる。このとき連結部８
は、斜めにやや曲がり、これに応じて第２辺７ｂも同方
向に変位する。この変位によって、光路Ｎから透孔７ｃ
がずれてしまい、上述と同様に、センサ１２の光が遮光
され、このような異常を検出することができる。
【００１８】
【発明の効果】本発明の基板搬送装置は、基板を保持す
るマガジンと、マガジンに収納された基板の下面を下受
けしてマガジンから基板を取り出す取り出しテーブル
と、取り出しテーブルを移動させる移動手段と、取り出
しテーブルに設けられ、基板に接触する接触子とを備
え、接触子は、取り出しテーブルに対して３次元方向に
変位可能に支持されており、かつ接触子の変位を検出す
るセンサを備えるので、マガジンに基板が斜めに収納さ
れている場合など、種々の異常を検出することができ、
誤動作による基板の破損を事前に回避することができ
る。
るマガジンと、マガジンに収納された基板の下面を下受
けしてマガジンから基板を取り出す取り出しテーブル
と、取り出しテーブルを移動させる移動手段と、取り出
しテーブルに設けられ、基板に接触する接触子とを備
え、接触子は、取り出しテーブルに対して３次元方向に
変位可能に支持されており、かつ接触子の変位を検出す
るセンサを備えるので、マガジンに基板が斜めに収納さ
れている場合など、種々の異常を検出することができ、
誤動作による基板の破損を事前に回避することができ
る。
【図１】本発明の一実施例における基板搬送装置の斜視
図
図
【図２】本発明の一実施例における取り出しテーブルの
拡大斜視図
拡大斜視図
【図３】本発明の一実施例における取り出しテーブルの
平面図
平面図
【図４】本発明の一実施例における基板搬送装置の動作
説明図
説明図
【図５】本発明の一実施例における基板搬送装置の動作
説明図
説明図
【図６】本発明の一実施例における基板搬送装置の動作
説明図
説明図
【図７】本発明の一実施例における基板搬送装置の動作
説明図
説明図
【図８】従来の基板搬送装置のマガジンを示す拡大図
１ マガジン ２ 基板 ３ 取り出しテーブル ４ Ｙテーブル ５ Ｚテーブル ７ 接触子 ７ａ 第１辺 ７ｂ 第２辺 １２ センサ
Claims (2)
- 【請求項１】基板を保持するマガジンと、前記マガジン
に収納された基板の下面を下受けして前記マガジンから
基板を取り出す取り出しテーブルと、前記取り出しテー
ブルを移動させる移動手段と、前記取り出しテーブルに
設けられ、基板に接触する接触子とを備え、 前記接触子は、前記取り出しテーブルに対して３次元方
向に変位可能に支持されており、かつ前記接触子の変位
を検出するセンサを備えたことを特徴とする基板搬送装
置。 - 【請求項２】前記接触子は、前記取り出しテーブルの前
面に３次元方向について変位可能に支持される第１辺
と、この第１辺に対してほぼ直角に連設された第２辺と
を有し、前記センサは、前記第２辺により遮光されるこ
とにより前記接触子の変位を検出するものであることを
特徴とする請求項１記載の基板搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10335295A JP3146922B2 (ja) | 1995-04-27 | 1995-04-27 | 基板搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10335295A JP3146922B2 (ja) | 1995-04-27 | 1995-04-27 | 基板搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08298278A JPH08298278A (ja) | 1996-11-12 |
| JP3146922B2 true JP3146922B2 (ja) | 2001-03-19 |
Family
ID=14351748
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10335295A Expired - Fee Related JP3146922B2 (ja) | 1995-04-27 | 1995-04-27 | 基板搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3146922B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4627515B2 (ja) * | 2006-06-07 | 2011-02-09 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 薄板材の搬送装置 |
-
1995
- 1995-04-27 JP JP10335295A patent/JP3146922B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08298278A (ja) | 1996-11-12 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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