JPH10279050A - 非接触式ガラス基板ズレ検知装置 - Google Patents
非接触式ガラス基板ズレ検知装置Info
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- JPH10279050A JPH10279050A JP9185797A JP9185797A JPH10279050A JP H10279050 A JPH10279050 A JP H10279050A JP 9185797 A JP9185797 A JP 9185797A JP 9185797 A JP9185797 A JP 9185797A JP H10279050 A JPH10279050 A JP H10279050A
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- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 3
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- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
- B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
- B65G49/068—Stacking or destacking devices; Means for preventing damage to stacked sheets, e.g. spaces
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G2249/00—Aspects relating to conveying systems for the manufacture of fragile sheets
- B65G2249/02—Controlled or contamination-free environments or clean space conditions
Landscapes
- Control Of Conveyors (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 機械的構造の簡素化及び小スペース化を図る
ことができる非接触式ガラス基板ズレ検知装置を提供す
ること。 【解決手段】 撮像手段１４は、各ガラス基板６１の四
辺のうち取出方向に沿う辺６１ａの端点６１ｂを含む一
部６１ｃを撮像することができるよう搬送ロボット１０
に配置される。図示しない制御装置は、撮像手段１４か
らの画像信号により辺６１ａの一部６１ｃの座標データ
を求め、該座標データに基づいて収納カセット５内の各
ガラス基板６１の正しい収納位置からのズレを検知す
る。
ことができる非接触式ガラス基板ズレ検知装置を提供す
ること。 【解決手段】 撮像手段１４は、各ガラス基板６１の四
辺のうち取出方向に沿う辺６１ａの端点６１ｂを含む一
部６１ｃを撮像することができるよう搬送ロボット１０
に配置される。図示しない制御装置は、撮像手段１４か
らの画像信号により辺６１ａの一部６１ｃの座標データ
を求め、該座標データに基づいて収納カセット５内の各
ガラス基板６１の正しい収納位置からのズレを検知す
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶パネル等の製
造工程において、収納カセット内に水平状態で収納され
ている長方形板状のガラス基板の正しい収納位置からの
ズレを検知する非接触式ガラス基板ズレ検知装置に関す
る。
造工程において、収納カセット内に水平状態で収納され
ている長方形板状のガラス基板の正しい収納位置からの
ズレを検知する非接触式ガラス基板ズレ検知装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】一般に、液晶パネル等の製造工程におい
て、収納カセット内に水平状態で収納されている長方形
板状のガラス基板を搬送ロボットによって取り出して処
理室内にセットし又は他の収納カセット内に収納する工
程がある。
て、収納カセット内に水平状態で収納されている長方形
板状のガラス基板を搬送ロボットによって取り出して処
理室内にセットし又は他の収納カセット内に収納する工
程がある。
【０００３】そして、このような工程においては、処理
室内の正しいセット位置にガラス基板をセットした状態
で所定の処理を行なう必要があるため、収納カセット内
からガラス基板を取り出す際、搬送ロボットのハンド
が、ガラス基板の正しい位置を保持して取り出すことが
要求される。
室内の正しいセット位置にガラス基板をセットした状態
で所定の処理を行なう必要があるため、収納カセット内
からガラス基板を取り出す際、搬送ロボットのハンド
が、ガラス基板の正しい位置を保持して取り出すことが
要求される。
【０００４】このような要求に応えるために、通常次の
ような対応策、すなわち、実工程に先立ち、まずガラ
ス基板を収納カセット内に正しい収納位置で収納してお
き、この状態で、搬送ロボットのハンドに対し、ガラス
基板の正しい位置で保持して取り出す作業をティーチン
グしておき、その後の実工程において、新たに収納カ
セット内に収納されているガラス基板の正しい収納位置
からのズレを検知し、上記ティーチングにより記憶され
ているハンドの動きを、上記検知されたズレに基づいて
ガラス基板の位置に適合した動きに補正することによ
り、ガラス基板取出時にハンドがガラス基板の正しい位
置を保持して取り出すことができるようにする対応策が
講じられている。
ような対応策、すなわち、実工程に先立ち、まずガラ
ス基板を収納カセット内に正しい収納位置で収納してお
き、この状態で、搬送ロボットのハンドに対し、ガラス
基板の正しい位置で保持して取り出す作業をティーチン
グしておき、その後の実工程において、新たに収納カ
セット内に収納されているガラス基板の正しい収納位置
からのズレを検知し、上記ティーチングにより記憶され
ているハンドの動きを、上記検知されたズレに基づいて
ガラス基板の位置に適合した動きに補正することによ
り、ガラス基板取出時にハンドがガラス基板の正しい位
置を保持して取り出すことができるようにする対応策が
講じられている。
【０００５】ここで、ガラス基板ズレ検知装置、すなわ
ち、実工程において収納カセット内に収納されているガ
ラス基板の正しい収納位置からのズレを検知するための
ガラス基板ズレ検知装置、の従来例としては、図８及び
図９に示すものが知られている。
ち、実工程において収納カセット内に収納されているガ
ラス基板の正しい収納位置からのズレを検知するための
ガラス基板ズレ検知装置、の従来例としては、図８及び
図９に示すものが知られている。
【０００６】図８及び図９に示すガラス基板ズレ検知装
置は、搬送ロボットのハンド（ロボットハンド）１とは
別個のズレ検知用ハンド２の上面に、前後方向（Ｙ軸方
向）に所定間隔Ｌを置いて２組の光センサ３と４（各
々、一対の発光素子３ａ又は４ａと受光素子３ｂ又は４
ｂとからなる。）を配置し、ロボットハンド１が収納カ
セット５内に水平状態で複数段に収納されているガラス
基板６１、６２、６３、…、６ｍを取り出す前に、次の
(1) から(n+2) までの順序でズレ検知用ハンド２を動作
させることによって各ガラス基板６１、６２、６３、
…、６ｍの角度ズレΔθを検知している。
置は、搬送ロボットのハンド（ロボットハンド）１とは
別個のズレ検知用ハンド２の上面に、前後方向（Ｙ軸方
向）に所定間隔Ｌを置いて２組の光センサ３と４（各
々、一対の発光素子３ａ又は４ａと受光素子３ｂ又は４
ｂとからなる。）を配置し、ロボットハンド１が収納カ
セット５内に水平状態で複数段に収納されているガラス
基板６１、６２、６３、…、６ｍを取り出す前に、次の
(1) から(n+2) までの順序でズレ検知用ハンド２を動作
させることによって各ガラス基板６１、６２、６３、
…、６ｍの角度ズレΔθを検知している。
【０００７】(1) 最初に、停止位置にあるズレ測定用ハ
ンド２をＸ軸方向に前進させて最上段のガラス基板６１
の下方へ侵入させる。そして、２組の光センサ３、４の
各発光素子３ａ、４ａの光がガラス基板６１の下面によ
って反射され各受光素子３ｂ、４ｂで受光されることに
よって受光素子３ｂ、４ｂがいずれもオンすると、ズレ
検知用ハンド２の前進を停止させる。
ンド２をＸ軸方向に前進させて最上段のガラス基板６１
の下方へ侵入させる。そして、２組の光センサ３、４の
各発光素子３ａ、４ａの光がガラス基板６１の下面によ
って反射され各受光素子３ｂ、４ｂで受光されることに
よって受光素子３ｂ、４ｂがいずれもオンすると、ズレ
検知用ハンド２の前進を停止させる。
【０００８】(2) 次に、ズレ検知用ハンド２を後退さ
せ、停止させる。
せ、停止させる。
【０００９】(3) 次に、ズレ検知用ハンド２をＺ軸方向
に沿って、上から二段目のガラス基板６２の下方からズ
レ検知用ハンド２を侵入させることができる高さ位置ま
で下降させる。
に沿って、上から二段目のガラス基板６２の下方からズ
レ検知用ハンド２を侵入させることができる高さ位置ま
で下降させる。
【００１０】(4) 次に、最上段のガラス基板６１に対し
て行なった動作と同様、ズレ検知用ハンド２をＸ軸方向
に前進させて上から二段目のガラス基板６２の下方へ侵
入させ、受光素子３ｂ、４ｂがいずれもオンすると、前
進を停止させる。
て行なった動作と同様、ズレ検知用ハンド２をＸ軸方向
に前進させて上から二段目のガラス基板６２の下方へ侵
入させ、受光素子３ｂ、４ｂがいずれもオンすると、前
進を停止させる。
【００１１】(5) 次に、ズレ検知用ハンド２を後退さ
せ、停止させる。
せ、停止させる。
【００１２】(6) 次に、ズレ検知用ハンド２をＺ軸方向
に沿って、上から三段目のガラス基板６３の下方からズ
レ検知用ハンド２を侵入させることができる高さ位置ま
で下降させる。
に沿って、上から三段目のガラス基板６３の下方からズ
レ検知用ハンド２を侵入させることができる高さ位置ま
で下降させる。
【００１３】(7) 次に、最上段及び上から二段目のガラ
ス基板６１と６２に対して行なった動作と同様、ズレ検
知用ハンド２をＸ軸方向に前進させて上から三段目のガ
ラス基板６３の下方へ侵入させ、受光素子３ｂ、４ｂが
いずれもオンすると、前進を停止させる。
ス基板６１と６２に対して行なった動作と同様、ズレ検
知用ハンド２をＸ軸方向に前進させて上から三段目のガ
ラス基板６３の下方へ侵入させ、受光素子３ｂ、４ｂが
いずれもオンすると、前進を停止させる。
【００１４】(8) 次に、ズレ検知用ハンド２を後退さ
せ、停止させる。以後、上から四段目以降のガラス基板
に対して、ズレ検知用ハンド２を上記と同様に動作させ
る。
せ、停止させる。以後、上から四段目以降のガラス基板
に対して、ズレ検知用ハンド２を上記と同様に動作させ
る。
【００１５】(n) そして、最下段のガラス基板６ｍに対
して、ズレ検知用ハンド２をＸ軸方向に前進させて最下
段のガラス基板６ｍの下方へ侵入させ、受光素子３ｂ、
４ｂがいずれもオンすると、前進を停止させる。
して、ズレ検知用ハンド２をＸ軸方向に前進させて最下
段のガラス基板６ｍの下方へ侵入させ、受光素子３ｂ、
４ｂがいずれもオンすると、前進を停止させる。
【００１６】(n+1) 次に、ズレ検知用ハンド２を後退さ
せ、停止させる。
せ、停止させる。
【００１７】(n+2) 最後に、ズレ検知用ハンド２をＺ軸
方向に沿って上昇させ、元の停止位置で停止させる。
方向に沿って上昇させ、元の停止位置で停止させる。
【００１８】なお、上記の説明における(1)、(2)、(3)、
(4)、(5)、(6)、(7)、(8)、…(n)、(n+1)、(n+2) は図８中に示
したズレ検知用ハンド２の動作順序を示す同一符号と１
対１に対応させてある。
(4)、(5)、(6)、(7)、(8)、…(n)、(n+1)、(n+2) は図８中に示
したズレ検知用ハンド２の動作順序を示す同一符号と１
対１に対応させてある。
【００１９】上述した一連のズレ検知用ハンド２の動作
の間、各段毎のガラス基板６１、６２、６３、…、６ｍ
に対する受光素子３ｂ、４ｂの検出信号は図示しない制
御回路に入力される。制御回路は、各受光素子３ｂ、４
ｂがオンしたタイミング及び光センサ３と４との距離Ｌ
に基づいて各段毎のガラス基板６１、６２、６３、…６
ｍの角度ズレΔθを演算する。
の間、各段毎のガラス基板６１、６２、６３、…、６ｍ
に対する受光素子３ｂ、４ｂの検出信号は図示しない制
御回路に入力される。制御回路は、各受光素子３ｂ、４
ｂがオンしたタイミング及び光センサ３と４との距離Ｌ
に基づいて各段毎のガラス基板６１、６２、６３、…６
ｍの角度ズレΔθを演算する。
【００２０】そして、各段毎のガラス基板取出開始時
に、上記演算した当該ガラス基板の角度ズレΔθに基づ
いてロボットハンド１のθ軸及びＸ軸を補正する。
に、上記演算した当該ガラス基板の角度ズレΔθに基づ
いてロボットハンド１のθ軸及びＸ軸を補正する。
【００２１】さらに、上記補正された姿勢からロボット
ハンド１が収納カセット５に向かって直線移動している
時に、ロボットハンド１に配設されている反射型光セン
サ７（一対の発光素子と受光素子からなる。）によって
ガラス基板例えば６１の前端位置を検出し、この前端位
置に基づいてロボットハンド１の直線移動の終了位置を
決定し、ロボットハンド１がこの直線移動の終了位置に
達した時、直線移動を停止させ、ガラス基板例えば６１
を保持して収納カセット５から取り出す。このようにハ
ンド１上の光センサ７はガラス基板６１、６２、６３、
…、６ｍのＹ軸方向のズレを補正する。
ハンド１が収納カセット５に向かって直線移動している
時に、ロボットハンド１に配設されている反射型光セン
サ７（一対の発光素子と受光素子からなる。）によって
ガラス基板例えば６１の前端位置を検出し、この前端位
置に基づいてロボットハンド１の直線移動の終了位置を
決定し、ロボットハンド１がこの直線移動の終了位置に
達した時、直線移動を停止させ、ガラス基板例えば６１
を保持して収納カセット５から取り出す。このようにハ
ンド１上の光センサ７はガラス基板６１、６２、６３、
…、６ｍのＹ軸方向のズレを補正する。
【００２２】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のガラス基板ズレ検知装置によると、ズレ検知用ハン
ド２が上述したような複雑な動きをしているため、ズレ
検知用ハンド２を駆動する機械的構造が複雑になり、ま
た、ズレ検知用ハンド２がハンド２を基準としたときの
前後方向（Ｘ軸方向）及び上下方向（Ｚ軸方向）に移動
することからガラス基板のズレ検知装置が占めるスペー
スが比較的大きいという問題があった。
来のガラス基板ズレ検知装置によると、ズレ検知用ハン
ド２が上述したような複雑な動きをしているため、ズレ
検知用ハンド２を駆動する機械的構造が複雑になり、ま
た、ズレ検知用ハンド２がハンド２を基準としたときの
前後方向（Ｘ軸方向）及び上下方向（Ｚ軸方向）に移動
することからガラス基板のズレ検知装置が占めるスペー
スが比較的大きいという問題があった。
【００２３】本発明は、上記問題点を解決し、収納カセ
ットからガラス基板を取り出す時にロボットハンドの姿
勢及び直線移動の終了位置を決定することはできない
が、収納カセット内から取り出したガラス基板を処理室
内の正しいセット位置にセットし又は他の収納カセット
内の正しい収納位置に収納することを可能にする非接触
式ガラス基板ズレ検知装置であって、機械的構造の簡素
化及び小スペース化を図ることができる非接触式ガラス
基板ズレ検知装置を提供することを目的とする。また、
ガラス基板をハンドの正しい位置で持つ必要性が有る時
には、ロボット上等にステージを設けガラス基板を持ち
直すことで可能とする。
ットからガラス基板を取り出す時にロボットハンドの姿
勢及び直線移動の終了位置を決定することはできない
が、収納カセット内から取り出したガラス基板を処理室
内の正しいセット位置にセットし又は他の収納カセット
内の正しい収納位置に収納することを可能にする非接触
式ガラス基板ズレ検知装置であって、機械的構造の簡素
化及び小スペース化を図ることができる非接触式ガラス
基板ズレ検知装置を提供することを目的とする。また、
ガラス基板をハンドの正しい位置で持つ必要性が有る時
には、ロボット上等にステージを設けガラス基板を持ち
直すことで可能とする。
【００２４】
【課題を解決するための手段】本発明の非接触式ガラス
基板ズレ検知装置は、請求項１に記載されるように、収
納カセット内に水平状態で複数段に収納されている長方
形板状のガラス基板を搬送ロボットによって一枚ずつ取
り出す途中で、前記収納カセット内の各ガラス基板の正
しい収納位置からのズレを検知する非接触式ガラス基板
ズレ検知装置であって、各ガラス基板の四辺のうち取出
方向に沿う辺の全部又は該辺の端点を含む一部を撮像す
るための撮像手段を固定的な所定位置に配置し、該撮像
手段からの画像信号により前記辺の全部又は前記一部の
座標データを求め、該座標データに基づいて前記収納カ
セット内の各ガラス基板の正しい収納位置からのズレを
検知することを特徴とする。
基板ズレ検知装置は、請求項１に記載されるように、収
納カセット内に水平状態で複数段に収納されている長方
形板状のガラス基板を搬送ロボットによって一枚ずつ取
り出す途中で、前記収納カセット内の各ガラス基板の正
しい収納位置からのズレを検知する非接触式ガラス基板
ズレ検知装置であって、各ガラス基板の四辺のうち取出
方向に沿う辺の全部又は該辺の端点を含む一部を撮像す
るための撮像手段を固定的な所定位置に配置し、該撮像
手段からの画像信号により前記辺の全部又は前記一部の
座標データを求め、該座標データに基づいて前記収納カ
セット内の各ガラス基板の正しい収納位置からのズレを
検知することを特徴とする。
【００２５】また、本発明の非接触式ガラス基板ズレ検
知装置は、請求項２に記載されるように、請求項１にお
いて、前記撮像手段は、前記搬送ロボット側に配設され
ていることを特徴とする。
知装置は、請求項２に記載されるように、請求項１にお
いて、前記撮像手段は、前記搬送ロボット側に配設され
ていることを特徴とする。
【００２６】また、本発明の非接触式ガラス基板ズレ検
知装置は、請求項３に記載されるように、請求項１にお
いて、前記撮像手段は、前記収納カセット側に配設され
ていることを特徴とする。
知装置は、請求項３に記載されるように、請求項１にお
いて、前記撮像手段は、前記収納カセット側に配設され
ていることを特徴とする。
【００２７】また、本発明の非接触式ガラス基板ズレ検
知装置は、請求項４に記載されるように、請求項２又は
請求項３において、前記撮像手段はＣＣＤラインセンサ
を含んで構成されることを特徴とする。
知装置は、請求項４に記載されるように、請求項２又は
請求項３において、前記撮像手段はＣＣＤラインセンサ
を含んで構成されることを特徴とする。
【００２８】
【発明の作用効果】請求項１に記載の本発明において、
各ガラス基板の寸法は予め判明しているため、各ガラス
基板の四辺のうちガラス基板取出方向に沿う辺の全部又
は該辺の端点を含む一部の座標データに基づいて、収納
カセット内のガラス基板の正しい収納位置からのズレを
検知することができる。したがって、請求項１に記載の
本発明によると、撮像手段を、上記辺の取出経路に応じ
た固定的な所定位置例えば請求項２に記載のように搬送
ロボット側の所定位置又は請求項３に記載のように収納
カセット側の所定位置に配置することによって、収納カ
セット内の全てのガラス基板の各々について正しい収納
位置からのズレを検知できるようになり、機械的構造の
簡素化及び小スペース化を図ることができる。
各ガラス基板の寸法は予め判明しているため、各ガラス
基板の四辺のうちガラス基板取出方向に沿う辺の全部又
は該辺の端点を含む一部の座標データに基づいて、収納
カセット内のガラス基板の正しい収納位置からのズレを
検知することができる。したがって、請求項１に記載の
本発明によると、撮像手段を、上記辺の取出経路に応じ
た固定的な所定位置例えば請求項２に記載のように搬送
ロボット側の所定位置又は請求項３に記載のように収納
カセット側の所定位置に配置することによって、収納カ
セット内の全てのガラス基板の各々について正しい収納
位置からのズレを検知できるようになり、機械的構造の
簡素化及び小スペース化を図ることができる。
【００２９】ここで、請求項２に記載されるように、撮
像手段を搬送ロボット側に配設することにより、各収納
カセット毎に撮像手段を配設しなくて済み、撮像手段を
各収納カセットに対し共通して使用することができる。
像手段を搬送ロボット側に配設することにより、各収納
カセット毎に撮像手段を配設しなくて済み、撮像手段を
各収納カセットに対し共通して使用することができる。
【００３０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。
に基づいて説明する。
【００３１】図１は、第１実施例による非接触式ガラス
基板ズレ検知装置の要部の平面構成図、図２は、同装置
の要部の正面構成図、図３は、同装置の撮像手段の構成
図をそれぞれ示す。
基板ズレ検知装置の要部の平面構成図、図２は、同装置
の要部の正面構成図、図３は、同装置の撮像手段の構成
図をそれぞれ示す。
【００３２】図１〜図３において、収納カセット５内に
は、長方形板状の複数枚のガラス基板６１、…が水平状
態で複数段に収納されている。
は、長方形板状の複数枚のガラス基板６１、…が水平状
態で複数段に収納されている。
【００３３】搬送ロボット１０は、本体部１１とアーム
１２とハンド１からなる。ハンド１は、収納カセット５
内からガラス基板６１、…を取り出すとき、図１に破線
で示す状態から図１に二点鎖線で示す状態まで収納カセ
ット５に向かって直線的に前進し、ガラス基板６１、…
を保持した後、図１に二点鎖線で示す状態から図１に破
線で示す状態まで直線的に後退するよう動作する。
１２とハンド１からなる。ハンド１は、収納カセット５
内からガラス基板６１、…を取り出すとき、図１に破線
で示す状態から図１に二点鎖線で示す状態まで収納カセ
ット５に向かって直線的に前進し、ガラス基板６１、…
を保持した後、図１に二点鎖線で示す状態から図１に破
線で示す状態まで直線的に後退するよう動作する。
【００３４】搬送ロボット１０のθ軸１３は、本体部１
１に対してアーム１２とハンド１とを一体的にθ軸方向
に回動させるとともにＺ軸方向に上下動させる。そし
て、このθ軸１３には、撮像手段１４を保持するホルダ
ー１５が延設されている。
１に対してアーム１２とハンド１とを一体的にθ軸方向
に回動させるとともにＺ軸方向に上下動させる。そし
て、このθ軸１３には、撮像手段１４を保持するホルダ
ー１５が延設されている。
【００３５】撮像手段１４は、ハンド１が収納カセット
５内からガラス基板６１、…を保持しながら後退すると
き、ガラス基板６１、…の取出方向に沿った辺６１ａ、
…の一部６１ｄ、…の形状を撮像できるよう配設されて
おり、例えば図４に示すように、ガラス基板６１の取出
方向に沿った辺６１ａを含むガラス基板側部の前部（辺
６１ａの端点６１ｂから中間点６１ｃまでの直線部分６
１ｄのみが含まれている部分）が投光部２１と受光部２
２との間の空間を通過するよう、投光部２１と受光部２
２を配置して構成される。
５内からガラス基板６１、…を保持しながら後退すると
き、ガラス基板６１、…の取出方向に沿った辺６１ａ、
…の一部６１ｄ、…の形状を撮像できるよう配設されて
おり、例えば図４に示すように、ガラス基板６１の取出
方向に沿った辺６１ａを含むガラス基板側部の前部（辺
６１ａの端点６１ｂから中間点６１ｃまでの直線部分６
１ｄのみが含まれている部分）が投光部２１と受光部２
２との間の空間を通過するよう、投光部２１と受光部２
２を配置して構成される。
【００３６】投光部２１は、光源２１１例えばレーザ光
源と、光源２１１の光を発散させてから平行光に変換す
るためのレンズ２１２とを備える。
源と、光源２１１の光を発散させてから平行光に変換す
るためのレンズ２１２とを備える。
【００３７】受光部２２は、投光部２１からの外乱光を
カットするフィルタ２２１と、フィルタ２２１により濾
過された平行光を受光し、図示しない制御装置に画像信
号を出力する固体撮像素子２２２例えばＣＣＤラインセ
ンサとを備える。
カットするフィルタ２２１と、フィルタ２２１により濾
過された平行光を受光し、図示しない制御装置に画像信
号を出力する固体撮像素子２２２例えばＣＣＤラインセ
ンサとを備える。
【００３８】次に、上記のように構成された非接触式ガ
ラス基板ズレ検知装置の動作を説明する。
ラス基板ズレ検知装置の動作を説明する。
【００３９】収納カセット５内に収納されているガラス
基板６１を取り出すにあたっては、図１に示すように、
収納カセット５の前方に搬送ロボット１０を位置させ、
ハンド１を収納カセット５に向けて直線的に前進させ、
ハンド１でガラス基板６１を保持し、ハンド１を今度は
直線的に後退させる。
基板６１を取り出すにあたっては、図１に示すように、
収納カセット５の前方に搬送ロボット１０を位置させ、
ハンド１を収納カセット５に向けて直線的に前進させ、
ハンド１でガラス基板６１を保持し、ハンド１を今度は
直線的に後退させる。
【００４０】このハンド１の後退時、ガラス基板６１の
取出方向に沿った辺６１ａを含むガラス基板側部の前部
が投光部２１と受光部２２との間の空間を通過し、受光
部２２の固体撮像素子２２２から、このガラス基板側部
前部の形状に応じた画像信号が図示しない制御装置に出
力される。制御装置の画像処理部では、固体撮像素子２
２２からの画像信号を基に、ガラス基板側部前部の直線
部分６１ｄの座標データを求め、この座標データからガ
ラス基板６１の元の収納位置を求め、さらに、この収納
位置と正しい収納位置とを比較してガラス基板６１の正
しい収納位置からのズレを求める。制御装置のコントロ
ーラ部は、当該取り出したガラス基板６１を処理室内に
セットする際、又は、当該取り出したガラス基板６１を
他の収納カセット内に収納する際、上記のように画像処
理部で求めたガラス基板６１のズレに基づいて搬送ロボ
ット１０の姿勢を補正し、ガラス基板６１を処理室内の
正しいセット位置にセットさせ又は収納カセット内の正
しい収納位置に収納させる。
取出方向に沿った辺６１ａを含むガラス基板側部の前部
が投光部２１と受光部２２との間の空間を通過し、受光
部２２の固体撮像素子２２２から、このガラス基板側部
前部の形状に応じた画像信号が図示しない制御装置に出
力される。制御装置の画像処理部では、固体撮像素子２
２２からの画像信号を基に、ガラス基板側部前部の直線
部分６１ｄの座標データを求め、この座標データからガ
ラス基板６１の元の収納位置を求め、さらに、この収納
位置と正しい収納位置とを比較してガラス基板６１の正
しい収納位置からのズレを求める。制御装置のコントロ
ーラ部は、当該取り出したガラス基板６１を処理室内に
セットする際、又は、当該取り出したガラス基板６１を
他の収納カセット内に収納する際、上記のように画像処
理部で求めたガラス基板６１のズレに基づいて搬送ロボ
ット１０の姿勢を補正し、ガラス基板６１を処理室内の
正しいセット位置にセットさせ又は収納カセット内の正
しい収納位置に収納させる。
【００４１】図５は、第２実施例による非接触式ガラス
基板ズレ検知装置の要部の平面構成図、図６は、同装置
の要部の側面構成図を示す。
基板ズレ検知装置の要部の平面構成図、図６は、同装置
の要部の側面構成図を示す。
【００４２】第２実施例による非接触式ガラス基板ズレ
検知装置は、上記第１実施例が撮像手段１４を搬送ロボ
ット１０に配設したのに対し、撮像手段を収納カセット
の一方の側部の前方の所定位置に配設したことを特徴と
しており、その他の構成は第１実施例と同様である。
検知装置は、上記第１実施例が撮像手段１４を搬送ロボ
ット１０に配設したのに対し、撮像手段を収納カセット
の一方の側部の前方の所定位置に配設したことを特徴と
しており、その他の構成は第１実施例と同様である。
【００４３】すなわち、撮像手段１４は、ハンド１が収
納カセット５内からガラス基板６１、…を保持しながら
後退するとき、ガラス基板６１、…の取出方向に沿った
辺６１ａ、…の全部６１ｅ、…の形状を撮像できるよう
配設されており、例えば図７に示すように、ガラス基板
６１の取出方向に沿った辺６１ａを含むガラス基板側部
の全部（辺６１ａの前側端点６１ｂから後側端点６１ｆ
までの直線部分６１ｅを含む部分）が投光部２１と受光
部２２との間の空間を通過するよう、投光部２１と受光
部２２を配置して構成される。
納カセット５内からガラス基板６１、…を保持しながら
後退するとき、ガラス基板６１、…の取出方向に沿った
辺６１ａ、…の全部６１ｅ、…の形状を撮像できるよう
配設されており、例えば図７に示すように、ガラス基板
６１の取出方向に沿った辺６１ａを含むガラス基板側部
の全部（辺６１ａの前側端点６１ｂから後側端点６１ｆ
までの直線部分６１ｅを含む部分）が投光部２１と受光
部２２との間の空間を通過するよう、投光部２１と受光
部２２を配置して構成される。
【００４４】次に、上記のように構成された第２実施例
による非接触式ガラス基板ズレ検知装置の動作を説明す
る。
による非接触式ガラス基板ズレ検知装置の動作を説明す
る。
【００４５】収納カセット５内に収納されているガラス
基板６１を取り出すにあたっては、図５に示すように、
収納カセット５の前方に搬送ロボット１０を位置させ、
ハンド１を収納カセット５に向けて直線的に前進させ、
ハンド１でガラス基板６１を保持し、ハンド１を今度は
直線的に後退させる。
基板６１を取り出すにあたっては、図５に示すように、
収納カセット５の前方に搬送ロボット１０を位置させ、
ハンド１を収納カセット５に向けて直線的に前進させ、
ハンド１でガラス基板６１を保持し、ハンド１を今度は
直線的に後退させる。
【００４６】このハンド１の後退時、ガラス基板６１の
取出方向に沿った辺６１ａを含むガラス基板側部が投光
部２１と受光部２２との間の空間を通過し、受光部２２
の固体撮像素子２２２から、このガラス基板側部の形状
に応じた画像信号が図示しない制御装置に出力される。
制御装置の画像処理部では、固体撮像素子２２２からの
画像信号を基に、ガラス基板側部の直線部分６１ｅ（６
１ａ）の座標データを求め、この座標データからガラス
基板６１の元の収納位置を求め、さらに、この収納位置
と正しい収納位置とを比較してガラス基板６１の正しい
収納位置からのズレを求める。制御装置のコントローラ
部は、当該取り出したガラス基板６１を処理室内にセッ
トする際、又は、当該取り出したガラス基板６１を他の
収納カセット内に収納する際、上記のように画像処理部
で求めたガラス基板６１のズレに基づいて搬送ロボット
１０の姿勢を補正し、ガラス基板６１を処理室内の正し
いセット位置にセットさせ又は収納カセット内の正しい
収納位置に収納させる。なお、収納時にロボットハンド
１のガラス基板６１を持つ位置が問題となる場合には、
ロボット１０上等にステージを設けガラス基板６１を置
き直すことで対応できる。
取出方向に沿った辺６１ａを含むガラス基板側部が投光
部２１と受光部２２との間の空間を通過し、受光部２２
の固体撮像素子２２２から、このガラス基板側部の形状
に応じた画像信号が図示しない制御装置に出力される。
制御装置の画像処理部では、固体撮像素子２２２からの
画像信号を基に、ガラス基板側部の直線部分６１ｅ（６
１ａ）の座標データを求め、この座標データからガラス
基板６１の元の収納位置を求め、さらに、この収納位置
と正しい収納位置とを比較してガラス基板６１の正しい
収納位置からのズレを求める。制御装置のコントローラ
部は、当該取り出したガラス基板６１を処理室内にセッ
トする際、又は、当該取り出したガラス基板６１を他の
収納カセット内に収納する際、上記のように画像処理部
で求めたガラス基板６１のズレに基づいて搬送ロボット
１０の姿勢を補正し、ガラス基板６１を処理室内の正し
いセット位置にセットさせ又は収納カセット内の正しい
収納位置に収納させる。なお、収納時にロボットハンド
１のガラス基板６１を持つ位置が問題となる場合には、
ロボット１０上等にステージを設けガラス基板６１を置
き直すことで対応できる。
【００４７】以上説明したように、第１実施例及び第２
実施例によると、各ガラス基板６１、…の寸法は予め判
明しているため、各ガラス基板６１、…の四辺のうちガ
ラス基板取出方向に沿う辺６１ａ、…の全部又は該辺の
端点６１ｂを含む一部の座標データに基づいて、収納カ
セット５内のガラス基板６１、…の正しい収納位置から
のズレを検知することができる。したがって、撮像手段
１４を、上記辺６１ａの取出経路に応じた固定的な所定
位置例えば第１実施例のように搬送ロボット１０側の所
定位置又は第２実施例のように収納カセット５側の所定
位置に配置することによって、収納カセット５内の全て
のガラス基板６１、…の各々について正しい収納位置か
らのズレを検知できるようになり、機械的構造の簡素化
及び小スペース化を図ることができる。
実施例によると、各ガラス基板６１、…の寸法は予め判
明しているため、各ガラス基板６１、…の四辺のうちガ
ラス基板取出方向に沿う辺６１ａ、…の全部又は該辺の
端点６１ｂを含む一部の座標データに基づいて、収納カ
セット５内のガラス基板６１、…の正しい収納位置から
のズレを検知することができる。したがって、撮像手段
１４を、上記辺６１ａの取出経路に応じた固定的な所定
位置例えば第１実施例のように搬送ロボット１０側の所
定位置又は第２実施例のように収納カセット５側の所定
位置に配置することによって、収納カセット５内の全て
のガラス基板６１、…の各々について正しい収納位置か
らのズレを検知できるようになり、機械的構造の簡素化
及び小スペース化を図ることができる。
【００４８】ここで、第１実施例のように、撮像手段１
４を搬送ロボット１０側に配設することにより、各収納
カセット６１、…毎に撮像手段１４を配設しなくて済
み、撮像手段１４を各収納カセット６１、…に対し共通
して使用することができる。
４を搬送ロボット１０側に配設することにより、各収納
カセット６１、…毎に撮像手段１４を配設しなくて済
み、撮像手段１４を各収納カセット６１、…に対し共通
して使用することができる。
【図１】第１実施例による非接触式ガラス基板ズレ検知
装置の要部の平面構成図
装置の要部の平面構成図
【図２】同装置の要部の正面構成図
【図３】同装置の撮像手段の構成図
【図４】撮像手段によって撮像されるガラス基板の側部
の前部を説明するための図
の前部を説明するための図
【図５】第２実施例による非接触式ガラス基板ズレ検知
装置の要部の平面構成図
装置の要部の平面構成図
【図６】同装置の要部の側面構成図
【図７】撮像手段によって撮像されるガラス基板の側部
の全部を説明するための図
の全部を説明するための図
【図８】図９図示Ａ矢視図
【図９】従来装置の平面構成図
５ 収納カセット ６１ ガラス基板 ６１ａ 辺 ６１ｂ 端点 ６１ｃ 一部 ６１ｅ 全部 １０ 搬送ロボット １４ 撮像手段 ２２２ 固体撮像素子（ＣＣＤラインセンサ）
Claims (4)
- 【請求項１】 収納カセット内に水平状態で複数段に収
納されている長方形板状のガラス基板を搬送ロボットに
よって一枚ずつ取り出す途中で、前記収納カセット内の
各ガラス基板の正しい収納位置からのズレを検知する非
接触式ガラス基板ズレ検知装置であって、 各ガラス基板の四辺のうち取出方向に沿う辺の全部又は
該辺の端点を含む一部を撮像するための撮像手段を固定
的な所定位置に配置し、該撮像手段からの画像信号によ
り前記辺の全部又は前記一部の座標データを求め、該座
標データに基づいて前記収納カセット内の各ガラス基板
の正しい収納位置からのズレを検知することを特徴とす
る非接触式ガラス基板ズレ検知装置。 - 【請求項２】 前記撮像手段は、前記搬送ロボット側に
配設されていることを特徴とする請求項１に記載の非接
触式ガラス基板ズレ検知装置。 - 【請求項３】 前記撮像手段は、前記収納カセット側に
配設されていることを特徴とする請求項１に記載の非接
触式ガラス基板ズレ検知装置。 - 【請求項４】 前記撮像手段はＣＣＤラインセンサを含
んで構成されることを特徴とする請求項２又は請求項３
に記載の非接触式ガラス基板ズレ検知装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9185797A JPH10279050A (ja) | 1997-04-10 | 1997-04-10 | 非接触式ガラス基板ズレ検知装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9185797A JPH10279050A (ja) | 1997-04-10 | 1997-04-10 | 非接触式ガラス基板ズレ検知装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10279050A true JPH10279050A (ja) | 1998-10-20 |
Family
ID=14038238
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9185797A Withdrawn JPH10279050A (ja) | 1997-04-10 | 1997-04-10 | 非接触式ガラス基板ズレ検知装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10279050A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101440158B1 (ko) * | 2007-06-06 | 2014-09-16 | 가부시키가이샤 야스카와덴키 | 기판 반송 로봇 및 그 제어 방법 |
-
1997
- 1997-04-10 JP JP9185797A patent/JPH10279050A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101440158B1 (ko) * | 2007-06-06 | 2014-09-16 | 가부시키가이샤 야스카와덴키 | 기판 반송 로봇 및 그 제어 방법 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20040706 |