JP3146964B2 - クリーンルームの免振床構造 - Google Patents
クリーンルームの免振床構造Info
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- JP3146964B2 JP3146964B2 JP00727996A JP727996A JP3146964B2 JP 3146964 B2 JP3146964 B2 JP 3146964B2 JP 00727996 A JP00727996 A JP 00727996A JP 727996 A JP727996 A JP 727996A JP 3146964 B2 JP3146964 B2 JP 3146964B2
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば精密機械や
ＩＣ等の生産工場に採用されるクリーンルームの免振床
構造に関する。
ＩＣ等の生産工場に採用されるクリーンルームの免振床
構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】精密機械やＩＣ等の生産工場は、微細な
塵挨等の異物を排除したクリーンルームとして構成され
る。このクリーンルームは、天井に設けたフィルタ付き
のファンから無塵空気を室内に供給しつつ、床面から室
内の空気を排出することにより、室内が無塵状態に維持
されるようになっている。
塵挨等の異物を排除したクリーンルームとして構成され
る。このクリーンルームは、天井に設けたフィルタ付き
のファンから無塵空気を室内に供給しつつ、床面から室
内の空気を排出することにより、室内が無塵状態に維持
されるようになっている。
【０００３】ところで、このようなクリーンルームの床
構造としては、ワッフルスラブ方式と、根太受梁方式と
が知られている。ワッフルスラブ方式は、ＲＣ造等によ
って格子状のスラブを構築し、この格子状スラブに形成
されたグレーチングサイズの開口部上にグレーチングを
敷設するものである。一方、根太受梁方式は、ＲＣ造、
Ｓ造またはＳＲＣ造によって根太受梁を平行に構築し、
これら根太受梁間に複数の根太を根太受梁と直交する方
向に掛け渡し、この根太の上にグレーチングを敷設する
ものである。
構造としては、ワッフルスラブ方式と、根太受梁方式と
が知られている。ワッフルスラブ方式は、ＲＣ造等によ
って格子状のスラブを構築し、この格子状スラブに形成
されたグレーチングサイズの開口部上にグレーチングを
敷設するものである。一方、根太受梁方式は、ＲＣ造、
Ｓ造またはＳＲＣ造によって根太受梁を平行に構築し、
これら根太受梁間に複数の根太を根太受梁と直交する方
向に掛け渡し、この根太の上にグレーチングを敷設する
ものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、いずれ
の方式の床構造にあっても、クリーンルーム内に設置さ
れる各種生産設備、測定機器等の設備機器は、クリーン
ルームを備えた構造物が受ける地震力はもちろん、グレ
ーチング上を作業員が通行する際の微振動をも嫌うもの
が一般的である（以下、これらの設備機器を嫌振機器と
称する）。
の方式の床構造にあっても、クリーンルーム内に設置さ
れる各種生産設備、測定機器等の設備機器は、クリーン
ルームを備えた構造物が受ける地震力はもちろん、グレ
ーチング上を作業員が通行する際の微振動をも嫌うもの
が一般的である（以下、これらの設備機器を嫌振機器と
称する）。
【０００５】そこで、本発明は、嫌振機器に加わる地震
力及び作業員の通行時における微振動を確実に抑えるこ
とができるクリーンルームの免振床構造を提供すること
を目的とする。
力及び作業員の通行時における微振動を確実に抑えるこ
とができるクリーンルームの免振床構造を提供すること
を目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】かかる目的を達成するた
めに、本発明は、クリーンルーム内の空気を床面に設置
されたグレーチングを介して床下のリタンチャンバに流
通させるクリーンルームにおいて、前記リタンチャンバ
の床面上に免振装置を介して設置されるＲＣ造のスラブ
と、該スラブ上に載置され前記床面の一部に形成された
開口を通して前記グレーチングの床レベルとほぼ同じレ
ベルに設定される嫌振機器設置用の架台とを設け、前記
グレーチングと前記スラブ及び嫌振機器設置用架台とを
絶縁し、前記スラブが、前記グレーチングサイズの複数
倍の大きさを有していることを特徴とするものである。
めに、本発明は、クリーンルーム内の空気を床面に設置
されたグレーチングを介して床下のリタンチャンバに流
通させるクリーンルームにおいて、前記リタンチャンバ
の床面上に免振装置を介して設置されるＲＣ造のスラブ
と、該スラブ上に載置され前記床面の一部に形成された
開口を通して前記グレーチングの床レベルとほぼ同じレ
ベルに設定される嫌振機器設置用の架台とを設け、前記
グレーチングと前記スラブ及び嫌振機器設置用架台とを
絶縁し、前記スラブが、前記グレーチングサイズの複数
倍の大きさを有していることを特徴とするものである。
【０００７】嫌振機器が載置される架台は、免振装置を
介してリタンチャンバの床面上に設置されるスラブ上に
載置されているので、地震による振動が抑えられる。グ
レーチング上を作業員が通行する際に発生する微振動は
隣接する他のグレーチングに伝播するが、グレーチング
とスラブ及び嫌振機器設置用架台とが絶縁されているの
で、この微振動がスラブ及び嫌振機器設置用架台に伝播
することはなく、その結果、嫌振機器に作業員通行時の
微振動が伝播されない。
介してリタンチャンバの床面上に設置されるスラブ上に
載置されているので、地震による振動が抑えられる。グ
レーチング上を作業員が通行する際に発生する微振動は
隣接する他のグレーチングに伝播するが、グレーチング
とスラブ及び嫌振機器設置用架台とが絶縁されているの
で、この微振動がスラブ及び嫌振機器設置用架台に伝播
することはなく、その結果、嫌振機器に作業員通行時の
微振動が伝播されない。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を添付図面
を参照して詳細に説明する。図１は、本発明にかかるク
リーンルームの免振床構造の好適な実施形態を示してい
る。
を参照して詳細に説明する。図１は、本発明にかかるク
リーンルームの免振床構造の好適な実施形態を示してい
る。
【０００９】本実施形態のクリーンルーム１は、ルーム
内の空気を床面を通して床下のリタンチャンバ５に流通
させるものである。
内の空気を床面を通して床下のリタンチャンバ５に流通
させるものである。
【００１０】リタンチャンバ５の床面上には例えば７．
２ｍスパンでトラス状の主柱７，７が立設されている。
これら主柱７，７間には大梁９，９が平行に架設され、
大梁９，９間には小梁１１，１１が大梁９，９と直交す
る方向に適宜ピッチで平行に架設され、さらに大梁９，
９及び小梁１１，１１で構成される格子上には複数本の
根太１３，１３がグレーチングサイズに応じたピッチで
平行に架設されている。そして、これら根太１３，１３
の上にグレーチング１５，１５が載置されてクリーンル
ーム１の床面が構成されている。リタンチャンバ５の床
面とクリーンルーム１の床面とのレベル差は、例えば４
ｍとなっている。これらの大梁９、小梁１１、根太１３
及びグレーチング１５は第１の振動系を構成している。
２ｍスパンでトラス状の主柱７，７が立設されている。
これら主柱７，７間には大梁９，９が平行に架設され、
大梁９，９間には小梁１１，１１が大梁９，９と直交す
る方向に適宜ピッチで平行に架設され、さらに大梁９，
９及び小梁１１，１１で構成される格子上には複数本の
根太１３，１３がグレーチングサイズに応じたピッチで
平行に架設されている。そして、これら根太１３，１３
の上にグレーチング１５，１５が載置されてクリーンル
ーム１の床面が構成されている。リタンチャンバ５の床
面とクリーンルーム１の床面とのレベル差は、例えば４
ｍとなっている。これらの大梁９、小梁１１、根太１３
及びグレーチング１５は第１の振動系を構成している。
【００１１】リタンチャンバ５内には、該チャンバ５の
床面上に前記主柱７，７と同スパンで立設された柱１
７，１７に支持された架台１９が設けられている。な
お、リタンチャンバ５の床面と架台１９との間には複数
のブレース材２０，２０がトラス状に配置されている。
架台１９上には、複数の免振装置２１，２１を介して比
較的大型のワッフルスラブ２３（スラブ）が支持されて
いる。ワッフルスラブ２３は、周知のように、ＲＣ造等
によって構築された格子状のスラブであって、グレーチ
ングサイズの複数倍の大きさを有している。グレーチン
グ１５の寸法が６００×６００ｍｍである場合、ワッフ
ルスラブ２３の寸法は３０００×３０００ｍｍ以上とす
ることが好ましい。
床面上に前記主柱７，７と同スパンで立設された柱１
７，１７に支持された架台１９が設けられている。な
お、リタンチャンバ５の床面と架台１９との間には複数
のブレース材２０，２０がトラス状に配置されている。
架台１９上には、複数の免振装置２１，２１を介して比
較的大型のワッフルスラブ２３（スラブ）が支持されて
いる。ワッフルスラブ２３は、周知のように、ＲＣ造等
によって構築された格子状のスラブであって、グレーチ
ングサイズの複数倍の大きさを有している。グレーチン
グ１５の寸法が６００×６００ｍｍである場合、ワッフ
ルスラブ２３の寸法は３０００×３０００ｍｍ以上とす
ることが好ましい。
【００１２】本実施形態における免振装置２１は、周知
の積層ゴムからなる水平方向免振装置２１ａを架台１９
上に配置し、その上に空気ばねまたは金属ばね等の鉛直
方向免振装置２１ｂを配置した二層構造のもの２１Ａを
平面内の適宜位置に配置するとともに、当該二層構造の
もの２１Ａの間に鉛直方向の振動を抑えるダンパ２１Ｂ
を配置したものである。
の積層ゴムからなる水平方向免振装置２１ａを架台１９
上に配置し、その上に空気ばねまたは金属ばね等の鉛直
方向免振装置２１ｂを配置した二層構造のもの２１Ａを
平面内の適宜位置に配置するとともに、当該二層構造の
もの２１Ａの間に鉛直方向の振動を抑えるダンパ２１Ｂ
を配置したものである。
【００１３】クリーンルーム１の床面の一部には、小梁
１１、根太１３及びグレーチング１５が除去されて開口
２５が形成されている。一方、ワッフルスラブ２３上に
は、クリーンルーム１の床面開口２５を通して免振架台
２７が載置され、免振架台２７の上にはさらに振動を嫌
う精密機器等の嫌振機器２９が設置されている。ワッフ
ルスラブ２３及び嫌振機器設置用免振架台２７は、第２
の振動系を構成している。
１１、根太１３及びグレーチング１５が除去されて開口
２５が形成されている。一方、ワッフルスラブ２３上に
は、クリーンルーム１の床面開口２５を通して免振架台
２７が載置され、免振架台２７の上にはさらに振動を嫌
う精密機器等の嫌振機器２９が設置されている。ワッフ
ルスラブ２３及び嫌振機器設置用免振架台２７は、第２
の振動系を構成している。
【００１４】そして、前記大梁９，小梁１１，根太１３
及びグレーチング１５からなる第１の振動系と、ワッフ
ルスラブ２３及び免振架台２７からなる第２の振動系と
の間には所定の隙間が形成されて両者間は絶縁されてい
る。但し、クリーンルーム１の床面開口２５と免振架台
２７との隙間はできるだけ小さく設定することが作業員
の安全上好ましい。また、免振架台２７の床レベルは、
嫌振機器２９の取扱いが容易となるようクリーンルーム
１（グレーチング１５）の床レベルとほぼ同じレベルに
設定されることが好ましい。なお、ワッフルスラブ２３
の重量は、免振装置２１の特性並びに免振架台２７及び
その上に載置される嫌振機器２９の重量等を考慮して設
定される。
及びグレーチング１５からなる第１の振動系と、ワッフ
ルスラブ２３及び免振架台２７からなる第２の振動系と
の間には所定の隙間が形成されて両者間は絶縁されてい
る。但し、クリーンルーム１の床面開口２５と免振架台
２７との隙間はできるだけ小さく設定することが作業員
の安全上好ましい。また、免振架台２７の床レベルは、
嫌振機器２９の取扱いが容易となるようクリーンルーム
１（グレーチング１５）の床レベルとほぼ同じレベルに
設定されることが好ましい。なお、ワッフルスラブ２３
の重量は、免振装置２１の特性並びに免振架台２７及び
その上に載置される嫌振機器２９の重量等を考慮して設
定される。
【００１５】リタンチャンバ５は、図外のダクトを介し
てクリーンルーム１の天井に設けたフィルタ付きのファ
ンに連通されて除塵されており、このファンからクリー
ンルーム１内に供給された空気は、床面のグレーチング
１５を介して格子状に組み合わされた大梁９と小梁１１
との間隙からリタンチャンバ５内に還流され、これによ
り、クリーンルーム１内は常時無塵化されるようになっ
ている。ワッフルスラブ２３には開口２３ａ，２３ａが
形成されているので、ワッフルスラブ２３を介してクリ
ーンルーム１内の空気はリタンチャンバ５に流通する。
てクリーンルーム１の天井に設けたフィルタ付きのファ
ンに連通されて除塵されており、このファンからクリー
ンルーム１内に供給された空気は、床面のグレーチング
１５を介して格子状に組み合わされた大梁９と小梁１１
との間隙からリタンチャンバ５内に還流され、これによ
り、クリーンルーム１内は常時無塵化されるようになっ
ている。ワッフルスラブ２３には開口２３ａ，２３ａが
形成されているので、ワッフルスラブ２３を介してクリ
ーンルーム１内の空気はリタンチャンバ５に流通する。
【００１６】本発明の実施形態は以上の特徴を有してお
り、嫌振機器２９が載置される免振架台２７は、免振装
置２１を介してリタンチャンバ５の床面上に設置されて
いるので、地震による振動が抑えられる。特に、本実施
形態における免振装置２１は、水平方向免振装置２１ａ
のみならず、鉛直方向免振装置２１ｂ及びダンパ２１Ｂ
を備えているので、地震時における水平，鉛直両方向の
免振機能を果たす。
り、嫌振機器２９が載置される免振架台２７は、免振装
置２１を介してリタンチャンバ５の床面上に設置されて
いるので、地震による振動が抑えられる。特に、本実施
形態における免振装置２１は、水平方向免振装置２１ａ
のみならず、鉛直方向免振装置２１ｂ及びダンパ２１Ｂ
を備えているので、地震時における水平，鉛直両方向の
免振機能を果たす。
【００１７】また、グレーチング１５上を作業員が通行
する際に発生する微振動は根太１３を介して隣接する他
のグレーチング１５に伝播するが、大梁９，小梁１１，
根太１３及びグレーチング１５からなる第１の振動系
と、ワッフルスラブ２３及び免振架台２７からなる第２
の振動系とが絶縁されているので、この微振動がワッフ
ルスラブ２３及び免振架台２７に伝播することはなく、
その結果、嫌振機器２９に作業員通行時の微振動が伝播
されることはない。
する際に発生する微振動は根太１３を介して隣接する他
のグレーチング１５に伝播するが、大梁９，小梁１１，
根太１３及びグレーチング１５からなる第１の振動系
と、ワッフルスラブ２３及び免振架台２７からなる第２
の振動系とが絶縁されているので、この微振動がワッフ
ルスラブ２３及び免振架台２７に伝播することはなく、
その結果、嫌振機器２９に作業員通行時の微振動が伝播
されることはない。
【００１８】そして、ワッフルスラブ２３はグレーチン
グサイズの複数倍の大きさを有しているので、ワッフル
スラブ２３上における任意の位置のグレーチング１５を
除去して開口２５の位置を変更することができ、当該開
口２５に免振架台２７を設置することができる。このた
め、ワッフルスラブ２３上において免振架台２７（嫌振
機器２９）の位置を容易に変更することができるし、一
つのワッフルスラブ２３上に複数台の免振架台２７を設
置することもできる。
グサイズの複数倍の大きさを有しているので、ワッフル
スラブ２３上における任意の位置のグレーチング１５を
除去して開口２５の位置を変更することができ、当該開
口２５に免振架台２７を設置することができる。このた
め、ワッフルスラブ２３上において免振架台２７（嫌振
機器２９）の位置を容易に変更することができるし、一
つのワッフルスラブ２３上に複数台の免振架台２７を設
置することもできる。
【００１９】さらに、ワッフルスラブ２３上に走行用の
レールを配置し、免振架台２７がこのレール上を走行す
るように構成したり、免振架台２７の下部に自走用の車
輪を設けることができ、この場合には、免振架台２７
（嫌振機器２９）が、小梁１１，根太１３，グレーチン
グ１５を除去して形成される一つの開口２５内を自由に
移動することができる。
レールを配置し、免振架台２７がこのレール上を走行す
るように構成したり、免振架台２７の下部に自走用の車
輪を設けることができ、この場合には、免振架台２７
（嫌振機器２９）が、小梁１１，根太１３，グレーチン
グ１５を除去して形成される一つの開口２５内を自由に
移動することができる。
【００２０】なお、上記実施例ではスラブとしてワッフ
ルスラブを例示したが、本発明のスラブはこれに限定さ
れるものではない。
ルスラブを例示したが、本発明のスラブはこれに限定さ
れるものではない。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように、本願発明によれ
ば、嫌振機器が載置される架台は、免振装置を介してリ
タンチャンバの床面上に設置されるスラブ上に載置され
ているので、地震による振動が抑えられるとともに、グ
レーチングとスラブ及び嫌振機器設置用架台とが絶縁さ
れているので、グレーチング上を作業員が通行する際に
発生する微振動がスラブ及び嫌振機器設置用架台に伝播
することはなく、嫌振機器に作業員通行時の微振動が伝
播されない。また、スラブが、グレーチングサイズの複
数倍の大きさを有しているので、スラブ上における任意
の位置のグレーチングを除去して開口の位置を変更する
ことができ、当該開口に嫌振機器設置用架台を設置する
ことができる。
ば、嫌振機器が載置される架台は、免振装置を介してリ
タンチャンバの床面上に設置されるスラブ上に載置され
ているので、地震による振動が抑えられるとともに、グ
レーチングとスラブ及び嫌振機器設置用架台とが絶縁さ
れているので、グレーチング上を作業員が通行する際に
発生する微振動がスラブ及び嫌振機器設置用架台に伝播
することはなく、嫌振機器に作業員通行時の微振動が伝
播されない。また、スラブが、グレーチングサイズの複
数倍の大きさを有しているので、スラブ上における任意
の位置のグレーチングを除去して開口の位置を変更する
ことができ、当該開口に嫌振機器設置用架台を設置する
ことができる。
【図１】本発明にかかるクリーンルームの免振床構造を
示す側面図である。
示す側面図である。
１ クリーンルーム ５ リタンチャンバ １５ グレーチング １９ 架台 ２１ 免振装置 ２３ ワッフルスラブ（スラブ） ２１ａ 水平方向免振装置 ２１ｂ 鉛直方向免振装置 ２１Ｂ ダンパ ２５ 開口 ２７ 免振架台 ２９ 嫌振機器
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平２−66249（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−14025（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−67369（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) E04H 5/02 B01L 1/00 E04B 5/43
Claims (1)
- 【請求項１】 クリーンルーム内の空気を床面に設置さ
れたグレーチングを介して床下のリタンチャンバに流通
させるクリーンルームにおいて、 前記リタンチャンバの床面上に免振装置を介して設置さ
れるＲＣ造のスラブと、該スラブ上に載置され前記床面
の一部に形成された開口を通して前記グレーチングの床
レベルとほぼ同じレベルに設定される嫌振機器設置用の
架台とを設け、前記グレーチングと前記スラブ及び嫌振
機器設置用架台とを絶縁し、前記スラブが、前記グレー
チングサイズの複数倍の大きさを有していることを特徴
とするクリーンルームの免振床構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP00727996A JP3146964B2 (ja) | 1996-01-19 | 1996-01-19 | クリーンルームの免振床構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP00727996A JP3146964B2 (ja) | 1996-01-19 | 1996-01-19 | クリーンルームの免振床構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09195556A JPH09195556A (ja) | 1997-07-29 |
| JP3146964B2 true JP3146964B2 (ja) | 2001-03-19 |
Family
ID=11661598
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP00727996A Expired - Fee Related JP3146964B2 (ja) | 1996-01-19 | 1996-01-19 | クリーンルームの免振床構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3146964B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5627901B2 (ja) * | 2010-02-24 | 2014-11-19 | 株式会社竹中工務店 | 建物構造、建物及び免震建物 |
-
1996
- 1996-01-19 JP JP00727996A patent/JP3146964B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH09195556A (ja) | 1997-07-29 |
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Legal Events
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