JPS6376981A

JPS6376981A - 配管・ダクトの防振支持装置

Info

Publication number: JPS6376981A
Application number: JP61219936A
Authority: JP
Inventors: 沼田　章; 安藤　啓; 泰之中村; 浜田　博康
Original assignee: Kajima Corp
Current assignee: Kajima Corp
Priority date: 1986-09-18
Filing date: 1986-09-18
Publication date: 1988-04-07
Also published as: JPH0328633B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）この発明は、微振動対策が必要な超精密機器製造工場や
半導体製造工場などに適用される配管・ダクトの防振支
持装置に関するものである。

（従来技術）超ＬＳＩ工場等のクリーンルームにおいては、μｍ単位
の加工あるいは検査をする生産機器を設置するだめ、厳
しい微振動対策が必要となってくる。このようなりリー
ンルームの床下知は、願音源となる配管・ダクトが通さ
れているので、この配管・ダクトに防振対策を施さなけ
ればならない。

従来においては、第１３図、第１４図に示すように、グ
レーチングなどのクリーンルーム床１を支持しているコ
ンクリート製あるいは鉄骨製の柱２間に、梁３の下方に
おいて鋼材４を縦横に配設し、この鋼材４に配管５．ダ
クト６をそれぞれ別個のスプリング方式の防振装置７を
介して支持させている。

（この発明が解決すべき問題点）しかしながら、従来のように、配管、ダクｌ−’ｔこ個
別に防振装置を設ける方式では、次のような問題点があ
る。

（ｉ）　　クリーンルーム床に対する防振効果はあり、
微振動の制約に悪影響はないが、大規模な面積では、防
振装置のコストが高くつき、また煩雑な防振計算が必要
となる。

（ｉｉ）　　クリーンルーム床下は、生産機器の付属機
械が置かれ、そのメンテナンスや、配管・ダクトの保守
のため低い階高にもかかわらず入間の通るスペース確保
が条件となるが、防振装置が個々にあると支持方法に制
約を受け、限られたスペース内でフレキシビリティをも
った配管、ダクトのルート計画がしにくい。

（ホ）第１５図に示すように鋼材４は、リップ付溝形鋼
あるいは山形鋼であるとともに吊りボルト１３を使用す
るため、吊シボルト用の穴を開けるなどの加工を必要と
し、クリーンルーム床下でゴミを出すため、室内清浄度
に影響がある。

これは、将来の生産機器のレイアウト変更などによる配
管、ダクト変更工事においても同様に問題となる。

（財）鋼材の形状から、はこシが溜りやすく、また清掃
もしにくい。

この発明は、このような問題点を解消すべく提案された
もので、その目的は、配管・ダクト毎に防振装置を必要
とせず低コストで容易に施工でき人間の通るスペースを
容易に確保でき、さらに柔軟性のある配管・ダクトの配
設を行なうことのできる防振支持装置を提供することに
ある。

（問題点を解決するための手段）この発明に係る配管・ダクトの防振支持装置は隣り合っ
て林立する４つの柱に、その角部をブラケットを介して
取付けられるように鋼材を四辺形に枠組みして防振水平
架台フレームを形成し、この防振水平架台フレームに配
管あるいはダクトを取付け、防振水平架台フレームの角
部とブラケットの間に防振装置を介在させたものである
。

（作　用）クリーンルーム床下の全面にわたって防振水平架台フレ
ームを互い違いに配設し、この防振水平架台フレームに
配管、ダクトを吊シボルト等を介して直接取付け、１ユ
ニツトの防振水平架台フレームを４点で防振支持する。

（実　施　例）以下この発明を図示する一実施例に基づいて説明する。

第１図ないし第３図に示すように、隣り合って林立する
４つの柱２に、その角部をブラケット８を介して取付け
られるように鋼材９を四辺形に枠組みして防振水平架台
フレーム１０を形成し、このフレーム１０に配管１１．
ダク）１２を吊シボルト１３を介して取付け、フレーム
１０の角部とブラケット８の間に防振ゴム１４を介在さ
せて４点で防振支持する。

フレーム１０を構成する鋼材９は、角形鋼とし、第４図
ないし第８図に示すように、２本の角形鋼を間隔をおい
て平行に配置して用いる。このようにすれば、配管１１
．ダクト１２．防振ゴム１４をフレーム１０に取付ける
際には、ボルト１３゜１５を間隙内に挿入し、ナツトと
座金によシ固定できるので、穴明け、溶接などの加工が
全く不要となる。なお、第７図に示すように、フレーム
１０の鋼材９どうしは、ブラケット１６．ボルト・ナツ
ト１７によシ着脱自在に接続されている。

以上のようなフレーム１０は、配管１１．ダクト１２の
荷重の大小により防振性能が左右されず一定であり、ま
たフレームのどの位置に荷重がかかつても、フレームが
重い荷重の方に斜めに傾かずほぼ一定のレベルを保つ機
構となっている。

このような機構とするためには、第１２図に示すような
防振検討フローによシフレーム１０および防振ゴム１４
を決定するが、要するに、フレーム１０にかかる配管・
ダクトの予想される最大荷重と同等以上の重量の鋼材か
ら構成し、フレーム１０自体の荷重からフレーム自重も
含んだ最大荷重までに対して防振効果を発揮する防振ゴ
ム１４とを組合せた構造とすればよい。

さらに、将来、生産機器が大きく変更され、計画当初の
予想最大荷重を上まわる場合、新たに防振検討を行ない
、フレーム１０と防振ゴム１４の変更が必要となる。防
振ゴム１４は許容荷重の大きいものに取替えることは比
較的容易であるが、鋼材９を取替えることは、コスト上
も技術上も困難である。そこで、鋼材９は、両端部に盲
板１８を取付けた角形鋼とし、この中に現地でコンクリ
ート等を注入することでフレーム１０の自重を増せる構
造とする。

また、第９図、第１０図に示すように、将来、アングル
１９を設けて分岐ダクト、配管などの細ものの配管等に
対応できるようにフレーム１ｏの内側、外側に計１２ケ
所ブラケット２０を取付けておく。

以上のような構成において、フレーム１０は、第１１図
に示すように、クリーンルーム床下の全面にわたって互
い違いに市松模様を描くように配設する。

取付けに当っては、治具を用いてブラケット８のレベル
のすみ出し、アンカーボルト穴のすみ出しを行ない、ブ
ラケット８をアンカーボルト２１によシ柱２に取付ける
。ここで、アンカーボルト２１回りは発塵源とならない
ように十分シールをしておく。フレーム１０に防振ゴム
１４を取付けておき、４本の鋼材９をブラケット８上で
レベルの凹凸がないように組立て、ブラケット８に取付
け、防振ゴム１４を固定することで取付けが完了する。

（発明の効果）前述のとおり、この発明によれば、鋼材を四辺形に枠組
みして防振水平架台フレームを形成し、このフレームに
配管あるいはダクトを取付け、フレームの角部と柱のブ
ラケットの間に防振装置を介在させるようにしたため、
次のような効果を奏する。

（ｉ）　　従来のように配管・ダクト毎に防振装置を必
要とせず、低コストで容易に防振支持を行なえる。

（ｉｉ）　　従来のような煩雑な防振計算を必要としな
い。

（ホ）人間の通るスペースを容易に確保できる。

（ハ）柔軟性のある配管・ダクトの配設を行なうことが
できる。

（ｖ）　　フレームの鋼材を２本の平行な角形鋼とすれ
ば、吊りボルト用の穴明けなどの加工が不要となる。ま
た、はこりが溜りにくく清掃も容易である。

【図面の簡単な説明】

第１図、第２図、第３図はこの発明に係る防振支持装置
を示す斜視図、平面図、横断面図、第４図、第５図、第
６図はそのフレームを示す正面図断面図、平面図、第７
図、第８図はフレームの角部の詳細を示す平面図、正面
図、第９図、第１Ｏ図はフレームの他の状態を示す平面
図、正面図、第１１図はフレームの配置状態を示す平面
図、第１２図は防振検討フローを示すチャート図、第１
３図、第１４図は従来の防振構造を示す平面図断面図、
第１５図はその鋼材を示す斜視図である。１・・クリーンルーム床、２・・柱３・・梁、４・・鋼材、５・・配管、６・・ダクト、７
・・防振装置、８・・ブラケット９・・鋼材、１０・・
防振水平架台フレーム１１・・配管、１２・・ダクト１３愉・吊シボルト、１４・―防振ゴム１５・・ボルト
、１６・・ブラケット１７・・ボルト・ナツト、１８・・盲板１９・・アング
ル、２０・・ブラケット２１・・アンカーボルト第４１２１第７図第８図第９図第１０図第１１図第１２図

Claims

【特許請求の範囲】

（１）隣り合つて林立する４つの柱に、その角部をブラ
ケットを介して取付けられるように鋼材を四辺形に枠組
みして防振水平架台フレームを形成し、この防振水平架
台フレームに配管あるいはダクトを取付け、防振水平架
台フレームの角部と前記ブラケットの間に防振装置を介
在させたことを特徴とする配管・ダクトの防振支持装置
。