JP3147420B2 - 積層型磁気ヘッドおよびその製造方法 - Google Patents
積層型磁気ヘッドおよびその製造方法Info
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- JP3147420B2 JP3147420B2 JP21203391A JP21203391A JP3147420B2 JP 3147420 B2 JP3147420 B2 JP 3147420B2 JP 21203391 A JP21203391 A JP 21203391A JP 21203391 A JP21203391 A JP 21203391A JP 3147420 B2 JP3147420 B2 JP 3147420B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はコンピュータの外部記憶
装置等に用いられる磁気記録再生装置に使用する積層型
磁気ヘッドおよびその製造方法に関する。
装置等に用いられる磁気記録再生装置に使用する積層型
磁気ヘッドおよびその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年の小型化，大容量化による記録密度
の向上により、これまで主として用いられていたフェラ
イト等の酸化物磁性材を磁気コアに形成し、巻線を施し
て作っていた磁気ヘッド（以降フェライト系ヘッド）で
は薄膜磁気記録媒体や金属塗布磁気記録媒体等の高保持
力媒体を十分に飽和記録させることができない。そこ
で、高い飽和磁束密度を有するＦｅ−Ｎｉ合金やＦｅ−
Ａｌ−Ｓｉ合金等の金属磁性材で磁気コアを形成するこ
とが提案されている。金属磁性材の飽和磁束密度は酸化
物磁性材の飽和磁束密度の２〜３倍程高く、薄膜磁気記
録媒体や金属塗布磁気記録媒体等の高保持力媒体を十分
に飽和記録させることができる。また、高周波数帯域で
の記録，再生能力を高めるためにスパッタリング法や蒸
着法等の真空薄膜形成技術により金属磁性材と絶縁材を
交互に積層した積層膜で磁気コアを形成した積層型磁気
ヘッドも提案されている。
の向上により、これまで主として用いられていたフェラ
イト等の酸化物磁性材を磁気コアに形成し、巻線を施し
て作っていた磁気ヘッド（以降フェライト系ヘッド）で
は薄膜磁気記録媒体や金属塗布磁気記録媒体等の高保持
力媒体を十分に飽和記録させることができない。そこ
で、高い飽和磁束密度を有するＦｅ−Ｎｉ合金やＦｅ−
Ａｌ−Ｓｉ合金等の金属磁性材で磁気コアを形成するこ
とが提案されている。金属磁性材の飽和磁束密度は酸化
物磁性材の飽和磁束密度の２〜３倍程高く、薄膜磁気記
録媒体や金属塗布磁気記録媒体等の高保持力媒体を十分
に飽和記録させることができる。また、高周波数帯域で
の記録，再生能力を高めるためにスパッタリング法や蒸
着法等の真空薄膜形成技術により金属磁性材と絶縁材を
交互に積層した積層膜で磁気コアを形成した積層型磁気
ヘッドも提案されている。
【０００３】図５に示すように、従来の積層型磁気ヘッ
ドは、金属磁性膜と絶縁膜を交互に積層して形成した積
層膜４を挟むように非磁性基板で固着したブロックを切
断して一対としたブロック６ａ，６ｂのうち、ブロック
６ｂに巻線窓８を形成し、さらに真空薄膜形成技術で非
磁性体のギャップ層７を形成して接着用ガラス５で固着
させた構成である。
ドは、金属磁性膜と絶縁膜を交互に積層して形成した積
層膜４を挟むように非磁性基板で固着したブロックを切
断して一対としたブロック６ａ，６ｂのうち、ブロック
６ｂに巻線窓８を形成し、さらに真空薄膜形成技術で非
磁性体のギャップ層７を形成して接着用ガラス５で固着
させた構成である。
【０００４】以下に従来の積層型磁気ヘッドの製造方法
について説明する。図６（ａ）に示すように、ＴｉＯ2
・ＣａやＡｌ2Ｏ3・ＴｉＣ等の一対の非磁性基板１ａ，
１ｂの少なくとも一方に真空薄膜形成技術によりＦｅ−
Ａｌ−Ｓｉ合金やＦｅ−Ｎｉ合金等の飽和磁束密度およ
び透磁率の高い金属磁性膜２と金属磁性膜２の電気的絶
縁性をとるためのＳｉＯ2やＡｌ2Ｏ3等の絶縁膜３を交
互に積層した積層膜４を形成し、この積層膜４を挟持す
るように非磁性基板１ａ，１ｂで固着してブロック６を
形成する。
について説明する。図６（ａ）に示すように、ＴｉＯ2
・ＣａやＡｌ2Ｏ3・ＴｉＣ等の一対の非磁性基板１ａ，
１ｂの少なくとも一方に真空薄膜形成技術によりＦｅ−
Ａｌ−Ｓｉ合金やＦｅ−Ｎｉ合金等の飽和磁束密度およ
び透磁率の高い金属磁性膜２と金属磁性膜２の電気的絶
縁性をとるためのＳｉＯ2やＡｌ2Ｏ3等の絶縁膜３を交
互に積層した積層膜４を形成し、この積層膜４を挟持す
るように非磁性基板１ａ，１ｂで固着してブロック６を
形成する。
【０００５】図６（ｂ）に示すように、機械加工等によ
り切断して一対のブロック６ａ，６ｂとする。ついで、
図６（ｃ）に示すように、一対のブロック６ａ，６ｂの
うち少なくとも一方のブロック（本説明では６ｂ）に巻
線窓８を形成し、一対のブロック６ａ，６ｂのギャップ
対向面に真空薄膜形成技術で非磁性体のギャップ層７を
形成する。
り切断して一対のブロック６ａ，６ｂとする。ついで、
図６（ｃ）に示すように、一対のブロック６ａ，６ｂの
うち少なくとも一方のブロック（本説明では６ｂ）に巻
線窓８を形成し、一対のブロック６ａ，６ｂのギャップ
対向面に真空薄膜形成技術で非磁性体のギャップ層７を
形成する。
【０００６】ついで図６（ｄ）に示すように、接着用ガ
ラス５を融点以上の温度で溶融して巻線溝８のギャップ
部に流し込み充填し、積層膜４がギャップ層７を介して
対向するようにブロック６ａ，６ｂを固着させる。
ラス５を融点以上の温度で溶融して巻線溝８のギャップ
部に流し込み充填し、積層膜４がギャップ層７を介して
対向するようにブロック６ａ，６ｂを固着させる。
【０００７】積層膜４の構成を図６（ｄ）のＡ部で拡大
して、図７に示した。ついで、図５に示したように所定
の形状に機械加工し巻線窓８にコイル１０を巻く。ここ
で、接着用ガラス５も金属磁性膜２の熱的安定性を考慮
し融点を下げる方向とし、鉛等を主成分とする低融点の
接着用ガラスが使われ、金属磁性膜２に加熱処理温度以
上の熱を加える必要をなくして磁気特性を劣化させるこ
とがなくなった。
して、図７に示した。ついで、図５に示したように所定
の形状に機械加工し巻線窓８にコイル１０を巻く。ここ
で、接着用ガラス５も金属磁性膜２の熱的安定性を考慮
し融点を下げる方向とし、鉛等を主成分とする低融点の
接着用ガラスが使われ、金属磁性膜２に加熱処理温度以
上の熱を加える必要をなくして磁気特性を劣化させるこ
とがなくなった。
【０００８】以上のように低融点の接着用ガラス５を用
いることにより、熱的に金属磁性膜２の磁気特性を劣化
させることがなく、また、金属磁性膜２の積層膜４を用
いているので一層当りの膜厚を薄くして高周波数帯域ま
での磁気特性を向上させることができるため、記録再生
特性の良好な積層型磁気ヘッドを作ることができる。
いることにより、熱的に金属磁性膜２の磁気特性を劣化
させることがなく、また、金属磁性膜２の積層膜４を用
いているので一層当りの膜厚を薄くして高周波数帯域ま
での磁気特性を向上させることができるため、記録再生
特性の良好な積層型磁気ヘッドを作ることができる。
【０００９】近年、さらに高記録密度化が進み磁気記録
媒体の保持力や磁気ヘッドと磁気記録媒体とのスペーシ
ング等の関係からギャップデプスは小さくなる傾向にあ
る。特にハードディスクドライブでは磁気ヘッドのギャ
ップデプスは５μｍ前後になってきている。従来のＶＴ
Ｒ用ヘッドのようにギャップデプスが２０μｍ〜３０μ
ｍあるような積層型磁気ヘッドと異なり、近年のギャッ
プデプスの小さい積層型磁気ヘッドにおいては、第３図
に示すようにギャップデプスの小さい領域では従来のフ
ェライト系ヘッドと比べると記録再生特性に著しい劣化
が生じ、積層型磁気ヘッドの出力はフェライト系ヘッド
の出力より小さくなってしまうことが判明した。この原
因として、ギャップ形成において巻線窓のギャップ近傍
に接着用ガラスを高温で溶融して流し込み接着する時、
ギャップ近傍の前記金属磁性膜と接着用ガラスが反応，
拡散し、前記ギャップ近傍の金属磁性膜の磁気特性を劣
化させているので、積層型磁気ヘッドのギャップデプス
を小さくすると記録再生特性が低下していることが推測
される。
媒体の保持力や磁気ヘッドと磁気記録媒体とのスペーシ
ング等の関係からギャップデプスは小さくなる傾向にあ
る。特にハードディスクドライブでは磁気ヘッドのギャ
ップデプスは５μｍ前後になってきている。従来のＶＴ
Ｒ用ヘッドのようにギャップデプスが２０μｍ〜３０μ
ｍあるような積層型磁気ヘッドと異なり、近年のギャッ
プデプスの小さい積層型磁気ヘッドにおいては、第３図
に示すようにギャップデプスの小さい領域では従来のフ
ェライト系ヘッドと比べると記録再生特性に著しい劣化
が生じ、積層型磁気ヘッドの出力はフェライト系ヘッド
の出力より小さくなってしまうことが判明した。この原
因として、ギャップ形成において巻線窓のギャップ近傍
に接着用ガラスを高温で溶融して流し込み接着する時、
ギャップ近傍の前記金属磁性膜と接着用ガラスが反応，
拡散し、前記ギャップ近傍の金属磁性膜の磁気特性を劣
化させているので、積層型磁気ヘッドのギャップデプス
を小さくすると記録再生特性が低下していることが推測
される。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】上記のように従来の構
成では、ギャップデプスを小さくすることによって、積
層型磁気ヘッドの記録再生特性を向上させる方法に限界
が生じるという問題点を有している。
成では、ギャップデプスを小さくすることによって、積
層型磁気ヘッドの記録再生特性を向上させる方法に限界
が生じるという問題点を有している。
【００１１】本発明は上記従来の問題点を解決するもの
で、ギャップ近傍の金属磁性膜の磁気特性が劣化せず、
記録再生特性の良好な積層型磁気ヘッドを提供すること
を目的とする。
で、ギャップ近傍の金属磁性膜の磁気特性が劣化せず、
記録再生特性の良好な積層型磁気ヘッドを提供すること
を目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の積層型磁気ヘッドおよびその製造方法は、ギ
ャップ近傍の巻線窓と同一形状の非磁性材を巻線窓のギ
ャップ近傍に接着用ガラスで固着した構成としたもので
ある。
に本発明の積層型磁気ヘッドおよびその製造方法は、ギ
ャップ近傍の巻線窓と同一形状の非磁性材を巻線窓のギ
ャップ近傍に接着用ガラスで固着した構成としたもので
ある。
【００１３】
【作用】この構成によって、ギャップ近傍で金属磁性膜
と接触する接着用ガラスの量は微量となり金属磁性膜と
接着用ガラスの反応，拡散は減少することとなる。
と接触する接着用ガラスの量は微量となり金属磁性膜と
接着用ガラスの反応，拡散は減少することとなる。
【００１４】
【実施例】以下本発明の一実施例について、図面を参照
しながら説明する。
しながら説明する。
【００１５】本発明の一実施例を示す図１ないし図３で
は、従来例と同一部品に同一番号を付して説明は省略す
る。
は、従来例と同一部品に同一番号を付して説明は省略す
る。
【００１６】図１に示すように、従来例で説明した図５
に示した積層型磁気ヘッドの巻線８のギャップ近傍に、
ギャップ近傍と同一形状の非磁性材９を固着させた構成
である。
に示した積層型磁気ヘッドの巻線８のギャップ近傍に、
ギャップ近傍と同一形状の非磁性材９を固着させた構成
である。
【００１７】以下に本実施例の積層型磁気ヘッドの製造
方法について説明する。図６（ａ）ないし図６（ｃ）に
基づき説明した従来の積層型磁気ヘッドの製造方法と同
じ図２（ａ）ないし図２（ｃ）については説明を省略す
る。
方法について説明する。図６（ａ）ないし図６（ｃ）に
基づき説明した従来の積層型磁気ヘッドの製造方法と同
じ図２（ａ）ないし図２（ｃ）については説明を省略す
る。
【００１８】図２（ｄ）および図３に示すように、巻線
窓８のギャップ近傍と同一形状をしたＴａＣ，ＴａＮ，
ＴｉＮ，ＴｉＯ2・ＣａまたはＡｌ2Ｏ3・ＴｉＣ等の非
磁性材９を巻線窓８のギャップ近傍に配置し、その上に
接着用ガラス５を融点以上の温度で溶融させて流し込
み、ギャップ層７を介し積層膜４が対向するようにブロ
ック６ａ，６ｂを接着する。ついで所定の形状に機械加
工を行い巻線窓８にコイル１０を巻いて図１に示すよう
に積層型磁気ヘッドとする。
窓８のギャップ近傍と同一形状をしたＴａＣ，ＴａＮ，
ＴｉＮ，ＴｉＯ2・ＣａまたはＡｌ2Ｏ3・ＴｉＣ等の非
磁性材９を巻線窓８のギャップ近傍に配置し、その上に
接着用ガラス５を融点以上の温度で溶融させて流し込
み、ギャップ層７を介し積層膜４が対向するようにブロ
ック６ａ，６ｂを接着する。ついで所定の形状に機械加
工を行い巻線窓８にコイル１０を巻いて図１に示すよう
に積層型磁気ヘッドとする。
【００１９】図４に示すように、本実施例の積層型磁気
ヘッドは、従来のフェライトヘッドに比べて記録再生特
性が、ギャップデプスの全領域にわたって優れた結果と
なる。
ヘッドは、従来のフェライトヘッドに比べて記録再生特
性が、ギャップデプスの全領域にわたって優れた結果と
なる。
【００２０】以上のように本実施例によれば、巻線窓８
のギャップ近傍に巻線窓と同一形状の非磁性材９を配設
することにより、ギャップ近傍の金属磁性膜２と接着用
ガラス５との反応，拡散が減少し、ギャップ近傍の金属
磁性膜２もほとんど磁気特性が劣化せず、ギャップデプ
スの小さい領域でも、従来のフェライト系ヘッドの出以
下になることはない。また、ギャップ近傍に接着用ガラ
ス５がほとんどないため、ギャップ形成時に発生する接
着用ガラス５と金属磁性膜２の熱膨張係数の差による応
力も減少し、ギャップ近傍の金属磁性膜２の磁気特性が
劣化してしまうこともほとんどなくなり、記録再生特性
を良好にできる。さらに、低融点のＰｂ系接着用ガラス
も使用できるため金属磁性膜に加熱処理温度以上の熱を
加えなくてもよいので金属磁性膜の磁気特性も劣化しな
い。
のギャップ近傍に巻線窓と同一形状の非磁性材９を配設
することにより、ギャップ近傍の金属磁性膜２と接着用
ガラス５との反応，拡散が減少し、ギャップ近傍の金属
磁性膜２もほとんど磁気特性が劣化せず、ギャップデプ
スの小さい領域でも、従来のフェライト系ヘッドの出以
下になることはない。また、ギャップ近傍に接着用ガラ
ス５がほとんどないため、ギャップ形成時に発生する接
着用ガラス５と金属磁性膜２の熱膨張係数の差による応
力も減少し、ギャップ近傍の金属磁性膜２の磁気特性が
劣化してしまうこともほとんどなくなり、記録再生特性
を良好にできる。さらに、低融点のＰｂ系接着用ガラス
も使用できるため金属磁性膜に加熱処理温度以上の熱を
加えなくてもよいので金属磁性膜の磁気特性も劣化しな
い。
【００２１】
【発明の効果】以上の実施例の説明からも明らかなよう
に本発明は、ギャップ近傍の巻線窓と同一形状の非磁性
材を巻線枠のギャップ近傍に接着用ガラスで固着した構
成により、ギャップ近傍の金属磁性膜の磁気特性が劣化
せず、記録再生特性の良好な優れた積層型磁気ヘッドを
実現できるものである。
に本発明は、ギャップ近傍の巻線窓と同一形状の非磁性
材を巻線枠のギャップ近傍に接着用ガラスで固着した構
成により、ギャップ近傍の金属磁性膜の磁気特性が劣化
せず、記録再生特性の良好な優れた積層型磁気ヘッドを
実現できるものである。
【図１】本発明の一実施例の積層型磁気ヘッドの要部斜
視図
視図
【図２】同積層型磁気ヘッドの製造方法の工程順を示す
斜視図
斜視図
【図３】同積層型磁気ヘッドの要部拡大図
【図４】同積層型磁気ヘッドとフェライト系ヘッドのギ
ャップデプスと出力の関係を示すグラフ
ャップデプスと出力の関係を示すグラフ
【図５】従来の積層型磁気ヘッドの要部斜視図
【図６】同積層型磁気ヘッドの製造方法の工程順を説明
するための斜視図
するための斜視図
【図７】同積層型磁気ヘッドの要部拡大図
【図８】同積層型磁気ヘッドとフェライト系ヘッドのギ
ャップデプスと出力の関係を示すグラフ
ャップデプスと出力の関係を示すグラフ
１ａ，１ｂ 非磁性基板 ４ 積層膜 ５ 接着用ガラス ７ ギャップ層 ８ 巻線窓 ９ 非磁性材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G11B 5/127 - 5/255
Claims (3)
- 【請求項１】 金属磁性膜と絶縁膜を交互に積層して形
成した積層膜を挟むように一対の非磁性基板で固着した
ブロックを、非磁性体のギャップ層を介して、対向させ
た一対のブロックと、前記一対のブロックのうち少なくとも一方のブロックに
形成された 巻線窓と、 前記ギャップ層近傍の前記巻線窓の形状と同一形状の非
磁性材と、前記ギャップ層を介して、前記一対のブロックの積層膜
が対向するように、前記非磁性材及び前記一対のブロッ
クを接着する接着用ガラスとを備えた積層型磁気ヘッド
であって、 前記非磁性材を前記非磁性基板と同一材料で構成し、前
記金属磁性膜と前記接着用ガラスの反応、拡散を減少さ
せることを特徴とする 積層型磁気ヘッド。 - 【請求項２】 金属磁性膜と絶縁膜を交互に積層して形
成した積層膜を挟むように一対の非磁性基板で固着した
ブロックを、非磁性体のギャップ層を介して、対向させ
た一対のブロックと、 前記一対のブロックのうち少なくとも一方のブロックに
形成された巻線窓と、 前記ギャップ層近傍の前記巻線窓の形状と同一形状の非
磁性材と、 前記ギャップ層を介して、前記一対のブロックの積層膜
が対向するように、前記非磁性材及び前記一対のブロッ
クを接着する接着用ガラスとを備えた積層型磁気ヘッド
であって、 前記非磁性材を前記接着用ガラスの融点より高い軟化点
を持つガラス材料で構成し、前記金属磁性膜と前記接着
用ガラスの反応、拡散を減少させることを特徴とする積
層型磁気ヘッド。 - 【請求項３】 請求項１，２いずれか１記載の積層型磁
気ヘッドの製造方法であって、前記非磁性材を前記巻線
部のギャップ近傍に配置し、前記非磁性材の周辺に前記
接着用ガラスをその融点以上の温度で溶融させて流し込
むことを特徴とする積層型磁気ヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21203391A JP3147420B2 (ja) | 1991-08-23 | 1991-08-23 | 積層型磁気ヘッドおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21203391A JP3147420B2 (ja) | 1991-08-23 | 1991-08-23 | 積層型磁気ヘッドおよびその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0554319A JPH0554319A (ja) | 1993-03-05 |
| JP3147420B2 true JP3147420B2 (ja) | 2001-03-19 |
Family
ID=16615758
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21203391A Expired - Fee Related JP3147420B2 (ja) | 1991-08-23 | 1991-08-23 | 積層型磁気ヘッドおよびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3147420B2 (ja) |
-
1991
- 1991-08-23 JP JP21203391A patent/JP3147420B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0554319A (ja) | 1993-03-05 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |