JP3200926B2 - ヘッド保護装置を設けた直角座標型ロボット - Google Patents
ヘッド保護装置を設けた直角座標型ロボットInfo
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- JP3200926B2 JP3200926B2 JP05028192A JP5028192A JP3200926B2 JP 3200926 B2 JP3200926 B2 JP 3200926B2 JP 05028192 A JP05028192 A JP 05028192A JP 5028192 A JP5028192 A JP 5028192A JP 3200926 B2 JP3200926 B2 JP 3200926B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はヘッド保護装置に関し、
特に部品組立装置の位置決め装置として用いられる直角
座標型ロボットに関する。
特に部品組立装置の位置決め装置として用いられる直角
座標型ロボットに関する。
【０００２】
【従来の技術】電子部品実装機などに用いられる産業用
ロボットには、高速、高精度化とともに長ストローク化
が要求されており、たとえば、基板などのワークに対し
て高い位置精度で各種作業を行なう電子部品実装機の直
角座標型ロボットとして図３のようなものがある。図３
において、Ｘ軸テーブル５の両端部を、平行に配された
２つのＹ軸テーブル１および２で支持しており、これに
より基板などの大形化に対応してＸ軸テーブル５が長ス
トローク化しても、両端で駆動するためＸ軸テーブル５
の振動、Ｙ軸テーブル１および２のヨーイング（Ｙａｗ
ｉｎｇ）、ローリング（Ｒｏｌｌｉｎｇ）を無くすこと
ができる。
ロボットには、高速、高精度化とともに長ストローク化
が要求されており、たとえば、基板などのワークに対し
て高い位置精度で各種作業を行なう電子部品実装機の直
角座標型ロボットとして図３のようなものがある。図３
において、Ｘ軸テーブル５の両端部を、平行に配された
２つのＹ軸テーブル１および２で支持しており、これに
より基板などの大形化に対応してＸ軸テーブル５が長ス
トローク化しても、両端で駆動するためＸ軸テーブル５
の振動、Ｙ軸テーブル１および２のヨーイング（Ｙａｗ
ｉｎｇ）、ローリング（Ｒｏｌｌｉｎｇ）を無くすこと
ができる。
【０００３】Ｘ軸、Ｙ軸テーブルの構成を図４，図５，
図６，図７を参照して説明する。図４〜図７において、
Ｙ軸テーブル１，２はその内部に主要な構成要素として
それぞれＹ軸モータ３、Ｙ軸モータ３の回転軸に固定さ
れたボールねじ４、ボールねじ４に螺合され、移動体１
ｃ，２ｃに固定されたボールねじナット４ａ、上部に回
転軸１ａ，２ａを備えた移動体１ｃ，２ｃをＹ軸方向に
摺動自在に支持する直進ガイド１ｂ，２ｂを備えてい
る。Ｙ軸モータ３の動力はボールねじ４に伝達され、ボ
ールねじナット４ａにて移動体１ｃ，２ｃをＹ軸方向に
直進させる推力に変換される。
図６，図７を参照して説明する。図４〜図７において、
Ｙ軸テーブル１，２はその内部に主要な構成要素として
それぞれＹ軸モータ３、Ｙ軸モータ３の回転軸に固定さ
れたボールねじ４、ボールねじ４に螺合され、移動体１
ｃ，２ｃに固定されたボールねじナット４ａ、上部に回
転軸１ａ，２ａを備えた移動体１ｃ，２ｃをＹ軸方向に
摺動自在に支持する直進ガイド１ｂ，２ｂを備えてい
る。Ｙ軸モータ３の動力はボールねじ４に伝達され、ボ
ールねじナット４ａにて移動体１ｃ，２ｃをＹ軸方向に
直進させる推力に変換される。
【０００４】Ｘ軸テーブル５も上記で説明したＹ軸テー
ブル１，２と同様に、その内部に主要な構成要素として
Ｘ軸モータ６、Ｘ軸モータ６の回転軸に固定されたボー
ルねじ７、ボールねじ７に螺合され図示していないが可
動体８に係合する突出部を備えた移動体に固定されたボ
ールねじナット、移動体をＸ軸方向に摺動自在に支持す
る直進ガイドを備えている。Ｘ軸モータ６の動力はボー
ルねじ７に伝達され、ボールねじナットにて移動体をＸ
軸方向に直進させる推力に変換される。これにより移動
体の突出部に係合した可動体８がＸ軸テーブル上をＸ軸
方向に沿って移動するように駆動され、Ｘ軸方向の任意
の位置に位置決めされる。
ブル１，２と同様に、その内部に主要な構成要素として
Ｘ軸モータ６、Ｘ軸モータ６の回転軸に固定されたボー
ルねじ７、ボールねじ７に螺合され図示していないが可
動体８に係合する突出部を備えた移動体に固定されたボ
ールねじナット、移動体をＸ軸方向に摺動自在に支持す
る直進ガイドを備えている。Ｘ軸モータ６の動力はボー
ルねじ７に伝達され、ボールねじナットにて移動体をＸ
軸方向に直進させる推力に変換される。これにより移動
体の突出部に係合した可動体８がＸ軸テーブル上をＸ軸
方向に沿って移動するように駆動され、Ｘ軸方向の任意
の位置に位置決めされる。
【０００５】ケーブルユニット９ａはＹ軸テーブル１と
Ｘ軸テーブル５との間で動力および制御信号を伝達す
る。ケーブルユニット９ｂはＸ軸テーブル５と可動体８
との間で動力および制御信号を伝達する。可動体８には
作業位置を認識する位置認識カメラ１０と作業ツール１
１が固定されている。
Ｘ軸テーブル５との間で動力および制御信号を伝達す
る。ケーブルユニット９ｂはＸ軸テーブル５と可動体８
との間で動力および制御信号を伝達する。可動体８には
作業位置を認識する位置認識カメラ１０と作業ツール１
１が固定されている。
【０００６】上記のような構成のロボットでは、二つの
Ｙ軸テーブル１，２の平方度と送り速度に誤差が避けら
れず、この誤差を吸収するためにＸ軸テーブル５とＹ軸
テーブル１，２の連結は図６に示すような構成になって
いる。回転軸受用外輪体１４はリング状の回転軸受用内
輪体１３を介してＹ軸テーブル１の軸心方向にスライド
する移動体１ｃ上部の回転軸１ａを軸として回転でき
る。回転軸受用外輪体１４とスライドブロック１５は摺
動可能に構成されており、スライドブロック１５はＸ軸
テーブル５の一端の下面に固定されている。
Ｙ軸テーブル１，２の平方度と送り速度に誤差が避けら
れず、この誤差を吸収するためにＸ軸テーブル５とＹ軸
テーブル１，２の連結は図６に示すような構成になって
いる。回転軸受用外輪体１４はリング状の回転軸受用内
輪体１３を介してＹ軸テーブル１の軸心方向にスライド
する移動体１ｃ上部の回転軸１ａを軸として回転でき
る。回転軸受用外輪体１４とスライドブロック１５は摺
動可能に構成されており、スライドブロック１５はＸ軸
テーブル５の一端の下面に固定されている。
【０００７】一方、回転軸受用外輪体１６は、リング状
の回転軸受用内輪体１７を介して、Ｙ軸テーブル２の軸
心方向にスライドする移動体２ｃ上部の回転軸２ａを回
転軸として回転できる。回転軸受用外輪体１６はＸ軸テ
ーブル５の他端の下面に固定されている。
の回転軸受用内輪体１７を介して、Ｙ軸テーブル２の軸
心方向にスライドする移動体２ｃ上部の回転軸２ａを回
転軸として回転できる。回転軸受用外輪体１６はＸ軸テ
ーブル５の他端の下面に固定されている。
【０００８】以上のような構成とし、Ｙ軸テーブル１，
２間に送りの誤差が発生するとＸ軸テーブル５はＹ軸テ
ーブル１をＸ軸方向にスライドすると同時に移動体１
ｃ，２ｃ上部の回転軸１ａ，２ａを回転軸として回転す
ることにより誤差を吸収している。
２間に送りの誤差が発生するとＸ軸テーブル５はＹ軸テ
ーブル１をＸ軸方向にスライドすると同時に移動体１
ｃ，２ｃ上部の回転軸１ａ，２ａを回転軸として回転す
ることにより誤差を吸収している。
【０００９】このＹ軸テーブル１，２間に送り誤差が発
生した場合は、Ｘ軸テーブル５がＹ軸テーブル１上をス
ライドするので、そのスライドをＸ軸テーブル５内に設
けたリミットスイッチ１８および回転軸受用外輪体１４
に設けたドグ１９により検知する。このスライドを検知
した段階でＹ軸モータ３、Ｘ軸モータ６に電源を供給し
ているコントローラ２０はそれ以上の電源供給を停止
し、前記各モータをフリーの状態にする。
生した場合は、Ｘ軸テーブル５がＹ軸テーブル１上をス
ライドするので、そのスライドをＸ軸テーブル５内に設
けたリミットスイッチ１８および回転軸受用外輪体１４
に設けたドグ１９により検知する。このスライドを検知
した段階でＹ軸モータ３、Ｘ軸モータ６に電源を供給し
ているコントローラ２０はそれ以上の電源供給を停止
し、前記各モータをフリーの状態にする。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記構
成の直角座標型ロボットで、Ｙ軸テーブル１，２間の同
期制御に大きくずれが発生したり、動力または信号ケー
ブルの断線などで、ロボットが暴走し、上述した連結機
構によりＸ軸テーブル５が回転およびスライドして図７
のようになった場合、可動体８に固定設置された位置認
識カメラ１０や作業用ツール１１が、Ｙ軸テーブル１ま
たは２と衝突し、高価な位置認識カメラ１０や作業ツー
ル１１が破損するおそれがある。Ｙ軸テーブル１，２の
偏差が最大になった場合でも、可動体８上の位置認識カ
メラ１０または作業用ツール１１がＹ軸テーブル１，２
と衝突しないようにＸ軸テーブル５のストロークを長く
し、Ｘ軸テーブルに必要とされるストローク以上の余裕
をとれば、上記問題は解決するが、必要以上にＸ軸テー
ブルが長くなり、高速化、高精度化のさまたげになると
いう問題点を有している。
成の直角座標型ロボットで、Ｙ軸テーブル１，２間の同
期制御に大きくずれが発生したり、動力または信号ケー
ブルの断線などで、ロボットが暴走し、上述した連結機
構によりＸ軸テーブル５が回転およびスライドして図７
のようになった場合、可動体８に固定設置された位置認
識カメラ１０や作業用ツール１１が、Ｙ軸テーブル１ま
たは２と衝突し、高価な位置認識カメラ１０や作業ツー
ル１１が破損するおそれがある。Ｙ軸テーブル１，２の
偏差が最大になった場合でも、可動体８上の位置認識カ
メラ１０または作業用ツール１１がＹ軸テーブル１，２
と衝突しないようにＸ軸テーブル５のストロークを長く
し、Ｘ軸テーブルに必要とされるストローク以上の余裕
をとれば、上記問題は解決するが、必要以上にＸ軸テー
ブルが長くなり、高速化、高精度化のさまたげになると
いう問題点を有している。
【００１１】本発明は上記問題点を解決するもので、Ｘ
軸テーブルのストロークを長大化させることなく、容易
に可動体とＹ軸テーブルの衝突を防止し、可動体８上の
位置認識カメラおよび作業用ツールを主体とするヘッド
を保護するヘッド保護装置を設けた直角座標型ロボット
を提供することを目的とする。
軸テーブルのストロークを長大化させることなく、容易
に可動体とＹ軸テーブルの衝突を防止し、可動体８上の
位置認識カメラおよび作業用ツールを主体とするヘッド
を保護するヘッド保護装置を設けた直角座標型ロボット
を提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明の直角座標型ロボットは、軸方向がそれぞれ平行
になるように配置された一対の第１テーブルと、その第
１テーブルに沿って互いに同一の位置になるようにそれ
ぞれ案内移動される移動体と、軸方向が前記第１テーブ
ルと直交し、両端部をそれぞれ前記移動体に支持された
第２テーブルと、前記第２テーブルに沿って案内移動さ
れる可動体と、を備え、前記第２テーブルは、一端を一
方の移動体上に水平面内に回転可能に支持され、他端を
他方の移動体上に水平面内に回転可能にかつ前記第２テ
ーブルの軸方向にスライド可能に支持された直角座標型
ロボットであって、前記移動体が互いに同一の位置を保
てなくなり前記第２テーブルが前記第１テーブルに対し
て傾斜した状態になった時のために、前記可動体が前記
第２テーブルの軸線上における動作範囲にあるにもかか
わらず前記第２テーブルの軸線上にない第１テーブルの
箇所に前記可動体または前記可動体に設けた位置認識カ
メラもしくは作業用ツールを始めとする部材が衝突する
ことを避けるための保護突起を前記可動体の前記第１テ
ーブルに対向する位置に設けたものである。
本発明の直角座標型ロボットは、軸方向がそれぞれ平行
になるように配置された一対の第１テーブルと、その第
１テーブルに沿って互いに同一の位置になるようにそれ
ぞれ案内移動される移動体と、軸方向が前記第１テーブ
ルと直交し、両端部をそれぞれ前記移動体に支持された
第２テーブルと、前記第２テーブルに沿って案内移動さ
れる可動体と、を備え、前記第２テーブルは、一端を一
方の移動体上に水平面内に回転可能に支持され、他端を
他方の移動体上に水平面内に回転可能にかつ前記第２テ
ーブルの軸方向にスライド可能に支持された直角座標型
ロボットであって、前記移動体が互いに同一の位置を保
てなくなり前記第２テーブルが前記第１テーブルに対し
て傾斜した状態になった時のために、前記可動体が前記
第２テーブルの軸線上における動作範囲にあるにもかか
わらず前記第２テーブルの軸線上にない第１テーブルの
箇所に前記可動体または前記可動体に設けた位置認識カ
メラもしくは作業用ツールを始めとする部材が衝突する
ことを避けるための保護突起を前記可動体の前記第１テ
ーブルに対向する位置に設けたものである。
【００１３】
【作用】本発明によると、上記した構成により、可動体
が第２テーブルの軸線上における動作範囲にあるのにも
かかわらず、第１テーブル上の移動体が互いに同調不能
になり第１テーブル上に第２テーブルが斜めになる状態
になることにより、可動体がその移動軸上にない第１テ
ーブルの箇所に衝突しそうになっても、可動体に設けた
保護突起が第１テーブルの衝突しそうな箇所に当たり可
動体を押し返すため、可動体が第１テーブルに直接衝突
するのを防ぎ、可動体が破損するのを防ぐことができ
る。従って、可動体のみならず、例えば、可動体に設け
た位置認識カメラもしくは作業ツールが第１テーブルに
衝突して破損するのを防ぐことができる。
が第２テーブルの軸線上における動作範囲にあるのにも
かかわらず、第１テーブル上の移動体が互いに同調不能
になり第１テーブル上に第２テーブルが斜めになる状態
になることにより、可動体がその移動軸上にない第１テ
ーブルの箇所に衝突しそうになっても、可動体に設けた
保護突起が第１テーブルの衝突しそうな箇所に当たり可
動体を押し返すため、可動体が第１テーブルに直接衝突
するのを防ぎ、可動体が破損するのを防ぐことができ
る。従って、可動体のみならず、例えば、可動体に設け
た位置認識カメラもしくは作業ツールが第１テーブルに
衝突して破損するのを防ぐことができる。
【００１４】
【実施例】以下、本実施例の一実施例のヘッド保護装置
について図面を参照して説明する。図１，図２に示すよ
うに、可動体８のＹ軸テーブル１，２と対向する前後、
左右の位置にそれぞれ突起１２を設けたものである。そ
れ以外の構成は従来の技術で説明した構成と同一のた
め、同一の部材には同一の符号を付けその説明を省略す
る。
について図面を参照して説明する。図１，図２に示すよ
うに、可動体８のＹ軸テーブル１，２と対向する前後、
左右の位置にそれぞれ突起１２を設けたものである。そ
れ以外の構成は従来の技術で説明した構成と同一のた
め、同一の部材には同一の符号を付けその説明を省略す
る。
【００１５】次に本実施例の動作について説明する。万
一、一対のＹ軸テーブル１，２間で送り誤差が発生して
こじれが発生し、Ｘ軸テーブル５に沿って移動する可動
体８上の位置認識カメラ１０、または作業ツール１１
と、Ｙ軸テーブル１または２が衝突するおそれがある場
合でも、従来例で説明したように、そのこじれをＸ軸テ
ーブル５のスライドにより検知し、各モータへの電源供
給を停止することにより各モータがフリーになり、可動
体８のＹ軸テーブル１または２と対向する前後、左右の
位置に設けた突起１２がＹ軸テーブル１または２と当っ
たときに可動体８を押し返すため、可動体に搭載された
位置認識カメラ１０または作業ツール１１が保護され
る。
一、一対のＹ軸テーブル１，２間で送り誤差が発生して
こじれが発生し、Ｘ軸テーブル５に沿って移動する可動
体８上の位置認識カメラ１０、または作業ツール１１
と、Ｙ軸テーブル１または２が衝突するおそれがある場
合でも、従来例で説明したように、そのこじれをＸ軸テ
ーブル５のスライドにより検知し、各モータへの電源供
給を停止することにより各モータがフリーになり、可動
体８のＹ軸テーブル１または２と対向する前後、左右の
位置に設けた突起１２がＹ軸テーブル１または２と当っ
たときに可動体８を押し返すため、可動体に搭載された
位置認識カメラ１０または作業ツール１１が保護され
る。
【００１６】
【発明の効果】以上の実施例の説明からも明らかなよう
に本発明は、軸方向がそれぞれ平行になるように配置さ
れた一対の第１テーブルと、その第１テーブルに沿って
互いに同一の位置になるようにそれぞれ案内移動される
移動体と、軸方向が前記第１テーブルと直交し、両端部
をそれぞれ前記移動体に支持された第２テーブルと、前
記第２テーブルに沿って案内移動される可動体と、を備
え、前記第２テーブルは、一端を一方の移動体上に水平
面内に回転可能に支持され、他端を他方の移動体上に水
平面内に回転可能にかつ前記第２テーブルの軸方向にス
ライド可能に支持された直角座標型ロボットであって、
前記移動体が互いに同一の位置を保てなくなり前記第２
テーブルが前記第１テーブルに対して傾斜した状態にな
った時のために、前記可動体が前記第２テーブルの軸線
上における動作範囲にあるにもかかわらず前記第２テー
ブルの軸線上にない第１テーブルの箇所に前記可動体ま
たは前記可動体に設けた位置認識カメラもしくは作業用
ツールを始めとする部材が衝突することを避けるための
保護突起を前記可動体の前記第１テーブルに対向する位
置に設けたことにより、可動体が第２テーブルの軸線上
における動作範囲にあるのにもかかわらず、第１テーブ
ル上の移動体が互いに同調不能になり第１テーブル上に
第２テーブルが斜めになる状態になることにより、可動
体がその移動軸上にない第１テーブルの箇所に衝突しそ
うになっても、可動体に設けた保護突起が第１テーブル
の衝突しそうな箇所に当たり可動体を押し返すため、可
動体が第１テーブルに直接衝突するのを防ぎ、可動体が
破損するのを防ぐことができる。従って、可動体のみな
らず、例えば、可動体に設けた位置認識カメラもしくは
作業ツールが第１テーブルに衝突して破損するのを防ぐ
ことができる。
に本発明は、軸方向がそれぞれ平行になるように配置さ
れた一対の第１テーブルと、その第１テーブルに沿って
互いに同一の位置になるようにそれぞれ案内移動される
移動体と、軸方向が前記第１テーブルと直交し、両端部
をそれぞれ前記移動体に支持された第２テーブルと、前
記第２テーブルに沿って案内移動される可動体と、を備
え、前記第２テーブルは、一端を一方の移動体上に水平
面内に回転可能に支持され、他端を他方の移動体上に水
平面内に回転可能にかつ前記第２テーブルの軸方向にス
ライド可能に支持された直角座標型ロボットであって、
前記移動体が互いに同一の位置を保てなくなり前記第２
テーブルが前記第１テーブルに対して傾斜した状態にな
った時のために、前記可動体が前記第２テーブルの軸線
上における動作範囲にあるにもかかわらず前記第２テー
ブルの軸線上にない第１テーブルの箇所に前記可動体ま
たは前記可動体に設けた位置認識カメラもしくは作業用
ツールを始めとする部材が衝突することを避けるための
保護突起を前記可動体の前記第１テーブルに対向する位
置に設けたことにより、可動体が第２テーブルの軸線上
における動作範囲にあるのにもかかわらず、第１テーブ
ル上の移動体が互いに同調不能になり第１テーブル上に
第２テーブルが斜めになる状態になることにより、可動
体がその移動軸上にない第１テーブルの箇所に衝突しそ
うになっても、可動体に設けた保護突起が第１テーブル
の衝突しそうな箇所に当たり可動体を押し返すため、可
動体が第１テーブルに直接衝突するのを防ぎ、可動体が
破損するのを防ぐことができる。従って、可動体のみな
らず、例えば、可動体に設けた位置認識カメラもしくは
作業ツールが第１テーブルに衝突して破損するのを防ぐ
ことができる。
【図１】本発明の一実施例のヘッド保護装置の構成を示
す斜視図
す斜視図
【図２】同平面図
【図３】従来のヘッドの構成を示す斜視図
【図４】同平面図
【図５】本発明および従来の直角座標型ロボットのＹ軸
テーブル内の構成を示す斜視図
テーブル内の構成を示す斜視図
【図６】同、直角座標型ロボットのＹ軸テーブルのＸ軸
テーブルと係合する部分を示す斜視図
テーブルと係合する部分を示す斜視図
【図７】従来の直角座標型ロボットのヘッドが、Ｘ軸テ
ーブルを駆動する一対のＹ軸テーブル間の同期制御に大
きなずれが発生し、Ｘ軸テーブル上の可動体がＹ軸テー
ブルと衝突した状態を示す平面図
ーブルを駆動する一対のＹ軸テーブル間の同期制御に大
きなずれが発生し、Ｘ軸テーブル上の可動体がＹ軸テー
ブルと衝突した状態を示す平面図
１，２ Ｙ軸テーブル １ａ，２ａ 回転軸 １ｂ，２ｂ 直進ガイド １ｃ，２ｃ 移動体 ３ Ｙ軸モータ ５ Ｘ軸テーブル ６ Ｘ軸モータ ８ 可動体 １２ 突起
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平３−221385（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−71991（ＪＰ，Ａ) 実開 昭63−172592（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B25J 9/02 B25J 19/06
Claims (2)
- 【請求項１】 軸方向がそれぞれ平行になるように配置
された一対の第１テーブルと、その第１テーブルに沿っ
て互いに同一の位置になるようにそれぞれ案内移動され
る移動体と、軸方向が前記第１テーブルと直交し、両端
部をそれぞれ前記移動体に支持された第２テーブルと、
前記第２テーブルに沿って案内移動される可動体と、を
備え、前記第２テーブルは、一端を一方の移動体上に水
平面内に回転可能に支持され、他端を他方の移動体上に
水平面内に回転可能にかつ前記第２テーブルの軸方向に
スライド可能に支持された直角座標型ロボットであっ
て、前記移動体が互いに同一の位置を保てなくなり前記
第２テーブルが前記第１テーブルに対して傾斜した状態
になった時のために、前記可動体が前記第２テーブルの
軸線上における動作範囲にあるにもかかわらず前記第２
テーブルの軸線上にない第１テーブルの箇所に前記可動
体または前記可動体に設けた位置認識カメラもしくは作
業用ツールを始めとする部材が衝突することを避けるた
めの保護突起を前記可動体の前記第１テーブルに対向す
る位置に設けた直角座標型ロボット。 - 【請求項２】 保護突起を可動体の移動方向に向いて前
後の面においてそれぞれ左端および右端の位置に設けた
請求項１記載の直角座標型ロボット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05028192A JP3200926B2 (ja) | 1992-03-09 | 1992-03-09 | ヘッド保護装置を設けた直角座標型ロボット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05028192A JP3200926B2 (ja) | 1992-03-09 | 1992-03-09 | ヘッド保護装置を設けた直角座標型ロボット |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05253871A JPH05253871A (ja) | 1993-10-05 |
| JP3200926B2 true JP3200926B2 (ja) | 2001-08-20 |
Family
ID=12854549
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP05028192A Expired - Fee Related JP3200926B2 (ja) | 1992-03-09 | 1992-03-09 | ヘッド保護装置を設けた直角座標型ロボット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3200926B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19630823C1 (de) * | 1996-07-31 | 1997-12-11 | Zeiss Carl Fa | Koordinatenmeßgerät mit Kollisionsschutz |
| JP7391674B2 (ja) * | 2020-01-23 | 2023-12-05 | 株式会社Ｉｈｉインフラ建設 | 物品移動装置 |
-
1992
- 1992-03-09 JP JP05028192A patent/JP3200926B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05253871A (ja) | 1993-10-05 |
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