JP3220716B2 - 製造処理装置の制御システム - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、蒸着装置等の製造処理
装置と主制御装置とをオンライン接続した製造処理装置
の制御システムに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来の製造処理装置の制御システムを図
４に示す概略構成図により説明する。図では、製造処理
装置の一例として、複数の処理室を有する蒸着装置４１
を示す。蒸着装置４１は、搬送室４２と、この搬送室４
２に接続した第１処理室４３ないし第４処理室４６とに
よりなる。蒸着装置４１には制御端末機４７を設ける。
そして蒸着装置４１と制御端末機４７とを一組にしたも
のを複数組設ける。さらに各制御端末機４７を主制御装
置４８に接続する。

【０００３】次に上記蒸着装置４１におけるロットの処
理方法を図５の流れ図により説明する。まず、作業者は
処理を行う蒸着装置の制御端末機に処理を行うロット番
号を入力する。続いて、制御端末機は入力されたロット
番号と蒸着装置の認識データとを主制御装置に通知し、
それらに基付いてロット番号，工程名，ウエハの枚数，
プロセスプログラム等のロット処理情報を問い合わせ
る。

【０００４】そして主制御装置は制御端末機に入力した
ロット番号のロットを該当する蒸着装置で処理すること
が可能か否かを判別する。この判別の結果、制御端末機
に入力したロット番号のロットを該当する蒸着装置で処
理することが可能な場合には、入力されたロット番号と
蒸着装置の認識データとに該当するロット処理情報を制
御端末機にロードして、ロードしたロット処理情報を制
御端末機の画面に表示する。上記判別の結果、制御端末
機に入力したロット番号のロットを該当する蒸着装置で
処理することが不可能な場合には、ロット処理情報を呼
び出さないで、該当するロット処理情報がないことのみ
を制御端末機の画面に表示する。

【０００５】次に作業者は制御端末機の画面の表示を確
認する。そして該当するロット処理情報が表示されてな
い場合には終了する。次いで入力したロット番号を取り
消して、再び制御端末機に処理を行うロット番号を入力
し、上記過程を再び行う。該当するロット処理情報が表
示されている場合には、作業者は表示されたロット処理
情報の正誤を確認する。そしてロット情報に誤りがある
場合には終了する。次いで入力したロット番号を取り消
して、再び制御端末機に処理を行うロット番号を入力
し、上記過程を再び行う。ロット処理情報に誤りがない
場合には、制御端末機にロードされたプロセスプログラ
ムにしたがって蒸着装置の処理条件，処理雰囲気等を設
定して、処理が行える状態にする。このとき、作業者は
ロット番号を入力したロットを該当する蒸着装置に仕掛
ける。

【０００６】その後蒸着装置においてロットの処理が可
能になってから、作業者は制御端末機より蒸着装置に処
理開始を指令する。処理開始の指令を受けた蒸着装置は
プロセスプログラムに基付いてプロセス処理を開始す
る。

【０００７】上記プロセス処理の開始とともに、制御端
末機より主制御装置に処理を開始したことを通知する。
主制御装置では、通知されたロット番号と処理内容に基
づいてロットの進行状況を記憶するとともにロットの処
理を行っている蒸着装置に他のロットが仕掛からないよ
うにロットの進捗状況や装置の稼働状況等の管理情報
（以下ステータスと称する）の変更を行う。

【０００８】その後、蒸着装置におけるプロセス処理が
終了した場合には、プロセス処理が終了したことを制御
端末機の画面に表示する。作業者は画面によりプロセス
処理終了の表示を確認した後、プロセス処理データとプ
ロセス処理が終了したことを主制御装置に通知する。主
制御装置では、通知されたプロセス処理データを収集す
る。それとともに、プロセス処理を行っていた蒸着装置
が次のロットの処理を行えるように、蒸着装置がロット
待ちの状態になるように主制御装置のステータスの変更
を行う。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記構
成のロットを処理するプログラムでは、プロセスプログ
ラムがロットの進行状況によって一議的に決定される。
すなわち上記従来の技術で説明した蒸着装置は四つの処
理室を有している。このため、同一のプロセス処理を行
う場合でも第１処理室ないし第４処理室の組合せによっ
て、主制御装置に複数のプロセスプログラムを組むこと
ができる。

【００１０】次に複数のプログラム例を説明する。まず
通常使用するプロセスプログラムの一例を図６に示す流
れ図により説明する。第１工程では、ローダより搬送室
にカセットを搬送するカセット搬入工程を行う。次に第
２工程では、搬送室に搬送したカセットよりウエハを取
り出し、そのウエハを第１処理室に搬送して加熱処理す
る加熱処理工程を行う。続いて第３工程では、第１処理
室より第２処理室にウエハを搬送して第１の蒸着工程を
行う。次いで第４工程では、第２処理室より第３処理室
にウエハを搬送して第２の蒸着工程を行う。その後第５
工程では、第３処理室より第４処理室にウエハを搬送
し、蒸着によって加熱されたウエハを冷却する放熱処理
工程を行う。そして第６工程では、第４処理室よりウエ
ハを取り出して搬送室のカセットに収納し、そのカセッ
トをアンローダに搬出するカセット搬出工程を行う。

【００１１】次に、図４に示した蒸着装置４１の処理室
のうち例えば第２処理室４４がある要因によって放熱処
理しか行えない場合には、第２処理室４４で放熱処理を
行って、他の処理室で他の処理を行う別のプロセスプロ
グラムを組む。この別のプロセスプログラムの一例を図
７に示す流れ図により説明する。第１工程では、上記同
様のカセット搬入工程を行う。次に第２工程では、上記
同様にして第１処理室で加熱処理工程を行う。続いて第
３工程では、第１処理室より第４処理室にウエハを搬送
して第１の蒸着をする第１蒸着工程を行う。次いで第４
工程では、第４処理室より第３処理室にウエハを搬送し
て第２の蒸着をする第２蒸着工程を行う。その後第５工
程では、第４処理室より第２処理室にウエハを搬送し、
蒸着によって加熱されたウエハを冷却する放熱処理工程
を行う。そして第６工程では、第２処理室よりウエハを
取り出して搬送室のカセットに収納し、そのカセットを
アンローダに搬出するカセット搬出工程を行う。

【００１２】例えばある蒸着装置で第２処理室が放熱処
理工程しかできなくなった場合には、上記図６で説明し
た通常使用するプロセスプログラムに代えて上記図７で
説明した別のプロセスプログラムを使用しなければなら
ない。この場合には、主制御装置より別のプロセスプロ
グラムが全蒸着装置にロードされるために、別のプロセ
スプログラムに代えた蒸着装置以外の他の蒸着装置も上
記別のプロセスプログラムを使用しなければならない。
このとき、他の蒸着装置で上記別のプロセスプログラム
を使用することができる場合には問題は生じないが、他
の蒸着装置で上記別のプロセスプログラムを使用するこ
とができない場合には通常使用しているプロセスプログ
ラムを変更することはできない。このようにプロセスプ
ログラムの変更ができない場合には、専門のオペレータ
がプロセスプログラムを変更する必要がある蒸着装置の
みをオフラインに切り換えて、オペレータによって該当
する蒸着装置にロードされたプロセスプログラムのみを
変更する。このため、プロセスプログラムをオンライン
状態で変更できないので、プロセスプログラムの変更に
手間が掛かり作業性が低下する。またプロセスプログラ
ムを変更する際にデータを間違えて入力する等のプログ
ラムミスが生じる。

【００１３】本発明は、オンライン化に優れた製造処理
装置の制御システムを提供することを目的とする。

【００１４】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するためになされた製造処理装置の制御システムであ
り、複数の製造処理装置と、前記複数の製造処理装置に
対して共通の処理情報を供給する主制御装置と、前記複
数の製造処理装置それぞれに対応して設けられ、主制御
装置から供給された処理情報がそれぞれの対応する製造
処理装置で実行可能か否かを判定する複数の情報判定装
置と、前記複数の製造処理装置それぞれに対応して設け
られ、前記情報判定装置によって前記主制御装置から供
給された処理情報が対応する製造処理装置で実行不可能
と判定された場合、処理情報をその製造処理装置で実行
可能な別の処理情報に変換する複数の情報変換装置とを
含むものである。

【００１５】

【作用】上記構成の製造処理装置の制御システムでは、
複数の製造処理装置それぞれに対応して情報判定装置と
情報変換装置とが設けられ、その情報判定装置により、
主制御装置から供給された共通の処理情報がそれぞれの
対応する製造処理装置で実行可能か否かが判定され、情
報判定装置によって主制御装置から供給された処理情報
が対応する製造処理装置で実行不可能と判定された場
合、情報変換装置によって、処理情報をその製造処理装
置で実行可能な別の処理情報に変換される。このため、
特定の製造処理装置で主制御装置からの処理情報に基づ
く処理が実行不可能な場合でも、それぞれの製造処理装
置単位で実効可能な状態に処理情報の変換が行われる。
すなわち、処理情報を変換した製造処理装置では変更し
た処理情報に基づいた処理が行われ、処理情報を変換し
ない他の製造処理装置では主制御装置からの共通の処理
情報に基づく処理が行われる。よって、どの製造処理装
置でも処理が継続して実行される。

【００１６】

【実施例】本発明の実施例を図１に示す制御システムの
概略構成図により説明する。図では、製造処理装置の一
例として、蒸着装置１１を示す。まず図に示すように、
蒸着装置１１は搬送室１２と搬送室１２に接続して設け
た第１処理室１３ないし第４処理室１６とによりなる。
この蒸着装置１１にはそれぞれに制御端末機１７が設け
られている。この制御端末機１７は、入力した例えばロ
ット番号等のロットの情報と蒸着装置１１の情報として
例えば当該制御端末機１７に接続する蒸着装置１１の認
識データとを後述する主制御装置１８に問い合わせる。
そして一つの蒸着装置１１と一つの制御端末機１７とを
一組としてそれらは複数組設けられる。

【００１７】各制御端末機１７はロットの進捗状況や蒸
着装置１１の認識データ等を把握する主制御装置１８に
接続されている。また主制御装置１８には、各制御端末
機１７に対応した数の情報判定装置１９が接続されてい
る。各情報判定装置１９は、主制御装置１８よりロード
されたロット処理情報のうちのプロセスプログラムが先
に主制御装置１８に問い合わせた蒸着装置１１で使用で
きるか否かを判定し、使用できる場合には制御端末機１
７にそのロット処理情報を送り、使用できない場合には
ロードしたロット処理情報を後述する情報変換装置２０
に送る。各情報判定装置１９には情報変換装置２０が接
続されている。各情報変換装置２０は、プロセスプログ
ラムを変換する必要がある場合にプロセスプログラムの
変換を行う。さらに各情報変換装置２０は対応する制御
端末機１７に接続されている。そして情報変換装置２０
で変更したプロセス処理情報を含むロット処理情報を制
御端末機１７に送る。

【００１８】上記制御システム１では、ある蒸着装置１
１のある処理室で通常のロット処理情報が使用できない
場合でも、制御端末機１７に送られるロット処理情報は
情報変換装置２０によって当該蒸着装置１１で使用でき
る別のロット処理情報に変換される。このため、ロット
処理情報を変換した蒸着装置１１では変更したロット処
理情報で処理を行い、ロット処理情報を変換しない他の
蒸着装置１１では通常のロット処理情報で処理を行う。
この結果、各蒸着装置１１と主制御装置１８とはオンラ
イン状態でロット処理情報が変換される。

【００１９】次に上記制御システム１によるロットの処
理方法の一例を図２により詳細に説明する。以下の説明
文中の蒸着装置，制御端末機，主制御装置，情報判定装
置，情報変換装置に付した番号は図１に示した制御シス
テム１中の主制御装置と１点鎖線で囲んだ蒸着装置，制
御端末機，情報判定装置および情報変換装置とに付した
番号と同一の番号である。まず、作業者は処理を行う蒸
着装置１１の制御端末機１７にロットの情報として処理
を行うロット番号を入力する。制御端末機１７は入力さ
れたロット番号と蒸着装置１１の認識データとを主制御
装置１８に通知して、ロット番号，工程名，ウエハの枚
数，プロセスプログラム等のロット処理情報を問い合わ
せる。

【００２０】主制御装置１８は制御端末機１７に入力し
たロット番号のロットを蒸着装置１１で処理することが
可能か否かを判別する。この判別の結果、該当する蒸着
装置１１で入力したロット番号のロットの処理が不可能
な場合には、主制御装置１８よりロット処理情報を呼び
出さない。そして、該当するロット処理情報がないこと
のみを制御端末機１７の画面に表示する。他方判別の結
果、蒸着装置１１で入力したロット番号のロットの処理
が可能な場合には、入力したロット番号と蒸着装置１１
の認識データとに該当するロット処理情報として例えば
ロット番号，工程名，処理するウエハ数，プロセスプロ
グラム等を情報判定装置１９にロードする。

【００２１】情報判定装置１９ではロードしたロット処
理情報のうちのプロセスプログラムが該当する蒸着装置
１１で使用できるプロセスプログラムと一致するか否か
を判別する。一致した場合には、そのままロット処理情
報を情報判定装置１９より制御端末機１７にロードし、
制御端末機１７の画面にロット処理情報を表示する。一
致しない場合には、ロット処理情報を情報変換装置２０
に送る。情報変換装置２０にはロードされてきたプロセ
スプログラムを蒸着装置１１で使用できるプロセスプロ
グラムに自動的に変換するプログラム（以下このプログ
ラムを変換プログラムと記す）が登録されている。この
ため、ロードされてきたプロセスプログラムは登録され
ている変換プログラムによって蒸着装置１１で使用でき
るプロセスプログラムに自動的に変換される。そして情
報変換装置２０より制御端末機１７に上記変更したプロ
セスプログラムを含むロット処理情報をロードする。そ
して、制御端末機１７の画面にロードしたロット処理情
報を表示する。このとき、プロセスプログラムを変更し
たことも表示する。

【００２２】作業者は制御端末機１７の画面の表示を確
認する。該当するロット処理情報がないことが制御端末
機１７の画面に表示された場合には終了する。当該ロッ
トを再度処理しようとする場合には始めに戻る。該当す
るロット処理情報が表示された場合には、作業者は表示
されたロット処理情報の正誤を確認する。そしてロット
処理情報に誤りがある場合には、上記同様にして終了し
て始めに戻る。ロット処理情報に誤りがない場合には、
制御端末機１７にロードしたプロセスプログラム（変更
したプロセスプログラムを含む）を該当する蒸着装置１
１に設定して記憶させる。そして、蒸着装置１１を処理
ができる状態にする。またプロセスプログラムの設定が
完了したことを制御端末機１７の画面に表示する。この
とき、作業者は該当する蒸着装置１１にロット番号を入
力したロットを仕掛ける。

【００２３】その後蒸着装置１１によってロットの処理
が可能になってから、作業者は制御端末機１７より蒸着
装置１１にプロセス処理開始の指令を行う。プロセス処
理開始の指令を受けた蒸着装置１１はプロセスプログラ
ムに基づいてプロセス処理を行う。

【００２４】上記プロセス処理の開始とともに、制御端
末機１７より主制御装置１８にプロセス処理を開始した
ことを通知する。主制御装置１８では、通知されたロッ
ト番号とプロセス処理内容に基づいてロットの進捗状況
を記憶するとともに当該ロットの処理を行っている蒸着
装置１１に他のロットが仕掛からないようにステータス
の変更を行う。

【００２５】そしてプロセス処理が終了した後に、プロ
セス処理が終了したことを制御端末機１７の画面に表示
する。作業者は画面に表示されたプロセス処理終了の表
示を確認した後、蒸着装置１１より処理したロットを取
り除く。また蒸着装置１１が行ったプロセス処理のデー
タとプロセス処理で使用したプロセスプログラムとプロ
セス処理が終了したこととを制御端末機１７より主制御
装置１８に通知する。主制御装置１８では、プロセス処
理のデータを収集しかつこのデータに対応させて使用し
たプロセスプログラムを収集して記憶する。それととも
に、プロセス処理を行った蒸着装置１１がロット待ちの
状態になるように主制御装置１８のステータスの変更を
行う。

【００２６】このようにして、一つのロットの処理が完
了する。連続してロットを処理する場合には、上記図２
に示した流れ図にしたがって、ロットの処理を繰り返せ
ばよい。

【００２７】次に上記情報変換装置２０によってプロセ
スプログラムを変更する方法の一例を図３により説明す
る。情報変換装置２０にロードしたプロセスプログラム
は、変換プログラムにしたがって蒸着装置１１で使用可
能なプロセスプログラムに変換する。上記変換プログラ
ムには、例えばファンクションＦ１としてプログラムを
追加する機能，ファンクションＦ２としてプログラムを
交換する機能，ファンクションＦ３としてプログラムを
削除する機能およびファンクションＦ４として変換プロ
グラムを終了する機能が備えられている。変換プログラ
ムによってプロセスプログラムを変換するには、まずフ
ァンクションＦ１ないしＦ３より変換プログラムが指定
するファンクションを選択する。そして変換プログラム
の指示にしたがってファンクションＦ１ないしＦ３によ
ってプロセスプログラムの変換を行う。

【００２８】次に各ファンクションＦ１ないしＦ４の各
機能を詳しく説明する。ファンクションＦ１では、変換
プログラムにしたがってプロセスプログラムの不足して
いる部分を補うプログラムを追加する。プログラムの追
加を行うには、まずプロセスプログラムのＩＤ（識別番
号）を変換プログラムに入力する。次いで入力したプロ
セスプログラムの不足している部分に必要なプログラム
を追加して、別のプロセスプログラムに変換する。そし
て、変換したプロセスプログラムのＩＤを入力して、蒸
着装置で使用するプロセスプログラムとして登録する。

【００２９】ファンクションＦ２では、変換プログラム
にしたがってプロセスプログラムの異なっている部分を
別のプログラムに交換する。交換を行うには、変換プロ
グラムに対して該当する交換式のＮｏ．を入力し、続い
てプロセスプログラムのＩＤを入力する。そして選択し
た交換式に基づいてプロセスプログラムの異なっている
部分を別のプログラムに変換する。その後交換したプロ
セスプログラムのＩＤを入力して、蒸着装置で使用する
プロセスプログラムとして登録する。

【００３０】ファンクションＦ３では、変換プログラム
にしたがってプロセスプログラムの余分な部分を削除す
る。削除するには、変換プログラムに対して削除したい
変換式のＮｏ．を入力し、続いて変換式の確認を行った
後、当該プロセスプログラムの余分な部分の削除を行
う。その後、削除したプロセスプログラムのＩＤを入力
して、蒸着装置で使用するプロセスプログラムとして登
録する。

【００３１】そして、プロセスプログラムに対して上記
プログラムの追加，プログラムの交換，プログラムの削
除等を行う必要がない場合には、ファンクションＦ４の
終了を実行して、プロセスプログラムの変換を終了す
る。

【００３２】プロセスプログラムに対するプログラムの
追加，プログラムの交換，プログラムの削除等は、変換
プログラムに定められた順序にしたがって行われる。こ
れらの順序は、ロードしたプロセスプログラムが蒸着装
置１１で使用するプロセスプログラムに変換されるよう
に設定されている。

【００３３】例えば、ロードしたプロセスプログラムＮ
ｏ．１を蒸着装置１１で使用可能なプロセスプログラム
Ｎｏ．１１に変換する一例を説明する。ロードしたプロ
セスプログラムＮｏ．１のプログラム内容を１Ａ−１Ｂ
−１Ｃとする。また蒸着装置１１で使用可能なプロセス
プログラムＮｏ．１１のプログラム内容を１１Ａ−１１
Ｂ−１１Ｃとする。変換プログラムには、予め種々の内
容のファンクションＦ１ないしＦ３が設定されている。

【００３４】例えば、ファンクションＦ１にはプロセス
プログラムＮｏ．１の最後に１Ｄのプログラムを追加す
るプログラムが設定されている。またファンクションＦ
２にはプログラム内容が１Ａ−１Ｂ−１Ｃ−１Ｄのプロ
セスプログラムをプログラム内容が１１Ａ−１１Ｂ−１
１Ｃ−１１Ｄのプロセスプログラムに変換するプログラ
ムが設定されている。さらにファンクションＦ３にはプ
ログラム内容が１１Ａ−１１Ｂ−１１Ｃ−１１Ｄのプロ
セスプログラムより１１Ｄのプログラムを削除するプロ
グラムが設定されている。

【００３５】プロセスプログラムＮｏ．１をプロセスプ
ログラムＮｏ．１１に変換するには、予め変換プログラ
ムに設定されているファンクションの実行によって行わ
れる。例えばファンクションＦ１によって、プロセスプ
ログラムＮｏ．１の１Ｃの後に１Ｄのプログラムを追加
する。次にファンクションＦ２によってプログラム内容
が１Ａ−１Ｂ−１Ｃ−１Ｄのプロセスプログラムをプロ
グラム内容が１１Ａ−１１Ｂ−１１Ｃ−１１Ｄのプロセ
スプログラムに変換する。その後ファンクションＦ３に
よって、プログラム内容が１１Ａ−１１Ｂ−１１Ｃ−１
１Ｄのプロセスプログラムのうちより１１Ｄのプログラ
ムを削除する。そしてファンクションＦ４を実行する。
上記の如くして、プログラム内容が１Ａ−１Ｂ−１Ｃの
プロセスプログラムＮｏ．１をプログラム内容が１１Ａ
−１１Ｂ−１１ＣのプロセスプログラムＮｏ．１１に自
動的に変換する。

【００３６】上記変換プログラムによって実行されるプ
ログラムの追加，プログラムの交換，プログラムの削除
等の内容は、各ファンクションＦ１ないしＦ４の実行ご
とに制御端末機１７の画面に表示される。

【００３７】

【発明の効果】以上、説明したように本発明によれば、
製造処理装置それぞれに対応して情報判定装置と情報変
換装置とを設けたので、特定の製造処理装置で主制御装
置からの共通の処理情報に基づく処理ができなくなった
場合でも、情報変換装置によってその処理情報を自動的
に使用できる処理情報に変換することが可能になる。こ
の結果、処理情報を変換した製造処理装置では変換した
処理情報に基づいて処理を行うことができ、処理情報を
変換しない他の製造処理装置では共通の処理情報で処理
を行うことができる。すなわち、主制御装置からの処理
情報自体は変更する必要はなく、個々の製造処理装置に
おいて対応することが可能になる。よって作業効率の向
上が図れる。また共通の処理情報の変更を間違えなく行
うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】制御システムの概略構成図である。

【図２】ロットの処理方法を説明する流れ図である。

【図３】プロセスプログラムの変換方法を説明する流れ
図である。

【図４】従来例の制御システムの概略構成図である。

【図５】従来例のロットの処理方法を説明する流れ図で
ある。

【図６】通常のプロセスプログラムの流れ図である。

【図７】別のプロセスプログラムの流れ図である。

【符号の説明】

１１ 蒸着装置 １７ 制御端末機 １８ 主制御装置 １９ 情報判定装置 ２０ 情報変換装置

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G05B 15/02 B23Q 41/08 C23C 14/54 G06F 17/60

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の製造処理装置と、 前記複数の製造処理装置に対して共通の処理情報を供給
   する主制御装置と、 前記複数の製造処理装置それぞれに対応して設けられ、
   前記主制御装置から供給された前記処理情報がそれぞれ
   の対応する前記製造処理装置で実行可能か否かを判定す
   る複数の情報判定装置と、 前記複数の製造処理装置それぞれに対応して設けられ、
   前記情報判定装置によって前記主制御装置から供給され
   た前記処理情報が対応する前記製造処理装置で実行不可
   能と判定された場合、前記処理情報をその製造処理装置
   で実行可能な別の処理情報に変換する複数の情報変換装
   置と、 を含むことを特徴とする製造処理装置の制御システム。